JPH0457298A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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Publication number
JPH0457298A
JPH0457298A JP2165224A JP16522490A JPH0457298A JP H0457298 A JPH0457298 A JP H0457298A JP 2165224 A JP2165224 A JP 2165224A JP 16522490 A JP16522490 A JP 16522490A JP H0457298 A JPH0457298 A JP H0457298A
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JP
Japan
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sector
memory
signal
writing
reloading
Prior art date
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Application number
JP2165224A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Yamamoto
誠 山本
Kazuo Kobayashi
和男 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To read the possibility of reloading data before executing the reloading of each sector by reading whether the reloading is enabled or not, before executing reloading to each sector. CONSTITUTION:When erasing or writing is disabled for a certain sector, writing is executed to a non-volatile memory to store the reloading information of the sector. A column decoder selects the sector and a row decoder is completely set in a non-selective state by a signal A. A write circuit is operated by a signal C after applying a positive high voltage to the gate of the memory by a signal B, and writing is executed by applying a high voltage to a bit line. Thus, the output data of the memory to store the information of the sector disabling write becomes 0. When reading this memory, all the word lines in an array are made non-selective by the signal A, the signal B output a select signal due to a read power source and afterwards, it is enough only, to turn a sense amplifier to an operatable state.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分計〕 本発明は、フローティングゲートを有し電気的に書換え
可能な半導体不揮発性メモリに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application] The present invention relates to an electrically rewritable semiconductor nonvolatile memory having a floating gate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図(a)は従来およびこの発明による半導体記憶装
置を説明するための構成図である。
FIG. 2(a) is a configuration diagram for explaining a conventional semiconductor memory device and a semiconductor memory device according to the present invention.

電気的に書換え可能な半導体不揮発性メモリの一つとし
て、フラッシュEEPROMがある。このメモリは一括
消去型(全ビットを同時に消去)であり、バイト単位で
の書換えはできないが、つのメモリトランジスタで1ビ
ツトを構成できるため、安価な半導体不揮発性メモリと
なりうるものである。また、このフラッシュEEPRO
Mはセクター単位での消去も可能であるため、これが実
現すればフロッピーディスクに置き換わるメモリとして
大いに注目されてさている。
Flash EEPROM is one type of electrically rewritable semiconductor nonvolatile memory. This memory is of the batch erasing type (all bits are erased at the same time) and cannot be rewritten in byte units, but since one bit can be configured with one memory transistor, it can be used as an inexpensive semiconductor nonvolatile memory. Also, this flash EEPRO
M can also be erased in sector units, so if this were realized, it would attract a lot of attention as a memory that could replace floppy disks.

このフラッi15 EEPROMは第2図(a)に示す
ように構成されている。図において、(1)はP型基板
、(21,(3)はN+拡散層であり、それぞれドレイ
ン・ソースを示す。ドレイン(2)はアレイ内ではビッ
ト線と接続されており、ソース(3)は通常接地電位と
なっている。(4)はメモリトランジスタを制御するた
めのゲートであり、アレイ内ではワード線と接続されて
いる。(5)はフローティングゲートであり書込みによ
り電子を捕獲し、電源をOFFしても書込み後の状態を
保持している。そして消去時には電子を放出する。(6
)はフローティングゲ−ト(51一基板(1)間の絶縁
膜であり、酸化膜で形成され通常100人程度の膜厚で
ありトンネル酸化膜と呼ばれる。消去時、トンネル現象
を用いてフローティングゲート(5)内の電子をドレイ
ン(2)或いはソース(3)に放出するからである、(
7)はゲート(4)−フローティングゲート(5)間の
絶縁膜であり、通常200Å以上の酸化膜で形成される
。また、図中ドレイン(2)、ソース(3)、ゲート(
4)に加える電圧をそれぞれVD、■8.■Gとし、ド
レイン(2)に流れる電流をIDとする。
This flash i15 EEPROM is constructed as shown in FIG. 2(a). In the figure, (1) is a P-type substrate, (21, (3) are N+ diffusion layers, and indicate the drain and source, respectively. The drain (2) is connected to the bit line in the array, and the source (3) is ) is normally at ground potential. (4) is a gate for controlling the memory transistor, and is connected to the word line in the array. (5) is a floating gate that captures electrons by writing. , the state after writing is retained even when the power is turned off.And when erasing, electrons are emitted.(6
) is an insulating film between the floating gate (51 and the substrate (1)), which is formed of an oxide film and is usually about 100 mm thick, and is called a tunnel oxide film. During erasing, the floating gate is This is because the electrons in (5) are released to the drain (2) or source (3).
7) is an insulating film between the gate (4) and the floating gate (5), and is usually formed of an oxide film of 200 Å or more. In addition, the drain (2), source (3), gate (
4) the voltages applied to VD and ■8. (2) Let G be the current flowing through the drain (2) and ID be the current flowing through the drain (2).

次に動作について説明する。第2図(b)は、メモリト
ランジスタのVo〜■D特性図である。消去状態のメモ
リのしきい値(以下VTHと呼ぶ)は、一般に低く、そ
の状態をVTHEとする。メモリを書込む場合、ドレイ
ン(2)・ゲート(4)に正の高電圧を加え、ソース(
3)ば接地電位にする。この時、ドレイン(2)−ソー
ス(3)間にチャネルが形成され、電流が流れるととも
にドレイン(2)の空乏層内でホットエレクトロンが発
生する。このホットエレクトロンは、ゲート(4)に加
えた正の電圧により発生する電界により、フローティン
グゲート(5)へ引っばられ捕獲される。このフローテ
ィングゲート(5)内に捕獲された電子により、書込み
後のメモリの■止は高い方へとシフトし第2図(b)の
VTHPの状態になる。
Next, the operation will be explained. FIG. 2(b) is a characteristic diagram of Vo to ■D of the memory transistor. The threshold value of a memory in an erased state (hereinafter referred to as VTH) is generally low, and this state is referred to as VTHE. When writing to memory, a high positive voltage is applied to the drain (2) and gate (4), and the source (
3) Set it to ground potential. At this time, a channel is formed between the drain (2) and the source (3), current flows, and hot electrons are generated within the depletion layer of the drain (2). These hot electrons are attracted to the floating gate (5) and captured by the electric field generated by the positive voltage applied to the gate (4). Due to the electrons captured in the floating gate (5), the stop of the memory after writing is shifted to a higher side, resulting in the state of VTHP shown in FIG. 2(b).

メモリを消去する場合、ドレイン(2)又はソース(3
)に高電圧を加える。ここではドレイン(2)に正の高
電圧を加えるものとする。この時、ゲート(4)は接地
電位、ソース(3)はフローティング状態にすると、ド
レイン(2)−フローティングゲート(5)間の電界に
よりフローティングゲート(5)に捕獲された電子はト
ンネル現象によりドレイン(2)に放出され、消去後の
メモリの■、は低い方へとシフトし第2図(b)のVT
HHの状態にもどる。
When erasing memory, drain (2) or source (3
). Here, it is assumed that a positive high voltage is applied to the drain (2). At this time, when the gate (4) is placed at ground potential and the source (3) is placed in a floating state, the electrons captured by the floating gate (5) due to the electric field between the drain (2) and the floating gate (5) are transferred to the drain by a tunneling phenomenon. (2), and the value of the memory after erasing shifts to the lower side, and the VT of FIG. 2(b)
Return to HH state.

第3図に従来の半導体記憶装置として、フラッシュEE
PROMのブロック図を示す。図において、1Mビット
のメモリをIKXIK  (IK=1024)のアレイ
状に配置し、ワード線及びビット線をそれぞれIK有し
ている。また、入出力データは8ピット並列となってい
る(DO〜D7)。
Figure 3 shows a flash EE as a conventional semiconductor memory device.
A block diagram of a PROM is shown. In the figure, 1M bit memories are arranged in an IKXIK (IK=1024) array, each having IK word lines and bit lines. Moreover, input/output data is 8-pit parallel (DO to D7).

アドレスは17本有り、アドレス(A0〜A、)の10
本が各アドレスバッファを通してローデコーダに入力さ
れ、ローデコーダの出力により、一つのワード線だけが
選択状態となる。アドレス(A、。〜A1g)の7本が
各アドレスバッファを通してコラムデコーダに入力され
、コラムデコーダの出力により、各入出力(D0〜D?
)に対して一つのコラムゲートが導通状態になり、この
コラムゲートに対応したビット線が選択される。
There are 17 addresses, 10 of the addresses (A0 to A,)
A book is input to the row decoder through each address buffer, and only one word line is selected by the output of the row decoder. Seven addresses (A, .~A1g) are input to the column decoder through each address buffer, and each input/output (D0~D?) is input to the column decoder through each address buffer.
), one column gate becomes conductive, and the bit line corresponding to this column gate is selected.

書込み時は、8ピツト(DO〜D?)の入力データが入
力バッファを通して書込み回路に入力され、データの内
容に従って選択されたメモリが書込まれる。書込みたい
メモリのビット線は高電圧とし、書込みたくないメモリ
のビット線は低電圧、例えば接地電位とすることによっ
て所望のデータが書込まれる。この時、選択されたワー
ド線は高電圧、非選択のワード線は接地電位となってい
る。入出力データとして、書込み前つまり消去後は「1
」であり、書込み後は「0」となる。
At the time of writing, input data of 8 pits (DO to D?) is inputted to the writing circuit through the input buffer, and a selected memory is written according to the contents of the data. Desired data is written by setting the bit line of the memory to be written to a high voltage, and setting the bit line of the memory to which it is not desired to write to a low voltage, for example, a ground potential. At this time, the selected word line is at a high voltage, and the unselected word lines are at a ground potential. The input/output data is "1" before writing, that is, after erasing.
", and becomes "0" after writing.

読出し時は、書込み時同様−つのワード線と各入出力デ
ータ (D O〜D?)に対して一つのビット線が選択
される。選択されたワード線の電圧は読出し用電源■。
During reading, as in writing, two word lines and one bit line are selected for each input/output data (DO to D?). The voltage of the selected word line is the read power supply ■.

。電位(通常SV)となり、センスアップが動作状態と
なる。第2図(b)より、ワード線が■。。っま’l 
V o = V c。の時、消去状態のメモリのvT)
lは、Vmt<Vc。となりドレイン電流IDが流れる
。また書込み状態のメモリの■、は、vTHP > V
 a cとなりドレイン電流■Dは流れない。
. The voltage becomes the potential (usually SV), and the sense-up becomes operational. From FIG. 2(b), the word line is ■. . I'm
V o = V c. (vT of memory in erased state)
l is Vmt<Vc. Therefore, a drain current ID flows. Also, ■ of the memory in the write state is vTHP > V
ac, and the drain current ■D does not flow.

センスアンプはこのドレイン電流IDが流れるか流れな
いかを検知して、出力バッファから出力されろ。
The sense amplifier detects whether this drain current ID flows or not, and outputs it from the output buffer.

消去には次の二つがある。−括消去の場合、ワード線は
全て非選択状態つまり接地電位にし、ビット線は全て選
択状態にするためにコラムゲートを全て導通状態にする
。そして、消去回路により高電圧を発生させることによ
り全ビット−括して消去することができる。もう一つの
消去としてセクタ消去がある。装置の構成上−つのビッ
ト線を一つのセクターとするのが一番好ましく、従って
一つのセクタはIKバイトとなる。この時、ワード線は
一括消去同様全て接地電位とする。そして、コラムデコ
ーダはアドレスに従って一つの入出力データ (D0〜
D?)に対して一つのコラムゲートを導通状態にし、消
去回路から高電圧を発生させることにより、一つのビッ
ト線つまり一つのセクターだけを消去することができる
。このセクター消去の後、同しビット線に書込むことに
よってセクター単位でのデータの書換えが可能になる。
There are two types of erasure: - In the case of batch erasing, all word lines are set to a non-selected state, that is, set to ground potential, and all column gates are set to a conductive state to set all bit lines to a selected state. Then, all bits can be erased at once by generating a high voltage using an erase circuit. Another type of erasure is sector erasure. Considering the structure of the device, it is most preferable to use one bit line as one sector, and therefore one sector is IK bytes. At this time, all word lines are set to the ground potential as in the case of batch erasing. Then, the column decoder outputs one input/output data (D0~
D? ), by making one column gate conductive and generating a high voltage from the erase circuit, it is possible to erase only one bit line, or one sector. After erasing this sector, data can be rewritten in units of sectors by writing to the same bit line.

上記の説明では、書込み/続出し/消去するための制御
回路が必要であるが、ここでは省略している。
In the above description, a control circuit for writing/continuation/erasing is required, but it is omitted here.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従来の半導体記憶装置は以上のように構成されているの
で、従来の不揮発性メモリの一つであるフラッシュEE
PROMは、全ビットを一括消去して新たにデータを書
込む、或いはセクター単位で消去して、そのセクターに
新たなデータを書込むといったことが可能であったが、
この不揮発性メモリのデータ書換え可能な回数は104
回程度である。従って、この不揮発性メモリは書換え回
数が104回以内の用途に用いられてきた。また、セク
ター単位での書換えを可能にした場合、セクターによっ
て書換え回数が異なり、他のほとんどのセクターは充分
書換え可能であるが、一部のセクターだけがすでに数多
く書換えが成されて104回を越えてしまい、書換え不
能という場合が生じてくる。そして1ビツトでも書換え
ができなくなった時点で半導体記憶装置全体の製品寿命
とみなされるという問題点があった。
Since conventional semiconductor storage devices are configured as described above, flash EE, which is a type of conventional nonvolatile memory,
With PROM, it was possible to erase all bits at once and write new data, or to erase in units of sectors and write new data in that sector.
The number of times data can be rewritten in this nonvolatile memory is 104.
About once. Therefore, this nonvolatile memory has been used for applications where the number of rewrites is 104 times or less. In addition, when rewriting is enabled in sector units, the number of rewrites varies depending on the sector, and while most other sectors can be rewritten sufficiently, some sectors have already been rewritten many times and have exceeded 104 times. This may result in a case where the data cannot be rewritten. There is a problem in that the product life of the entire semiconductor memory device is considered to have ended when even one bit cannot be rewritten.

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、各セクターの書換えを実行する前に、データ
の書換の可否を読み出せる半導体記憶装置を得ることを
目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can read whether or not data can be rewritten before rewriting each sector.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明に係る半導体記憶装置は、各セクターに対して
データの書換え可能かどうかという情報を記憶するため
の不揮発性、メモリを内蔵し、各セクターの書換えを実
行する前に、データの書換えが可能かどうかを読出せる
ようにしたものである。
The semiconductor storage device according to the present invention has a built-in non-volatile memory for storing information as to whether data can be rewritten for each sector, and data can be rewritten before rewriting each sector. This allows you to read out whether the

〔作用〕[Effect]

この発明における半導体記憶装置は、各セクターへの書
換え実行前に、書換え可能かどうかを読だすことができ
るように構成したので、可能な場合はセクターに書換え
を実行し、不能な場合は、そのセクターをスキップして
他のセクターに書換することができる。
The semiconductor storage device of the present invention is configured so that it is possible to read out whether or not each sector is rewritable before rewriting the sector, so if it is possible, the sector is rewritten, and if it is not possible, it is rewritten. It is possible to skip sectors and rewrite to other sectors.

〔実施例( 以下この発明の一実施例を図について説明する。〔Example( An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例による半導体記憶装置のブロ
ック図である。図において、従来例である第3図と同じ
ものは説明を省略する。この発明で新たに付加したもの
は、まず書換え情報を記憶するための不揮発性メモリで
ある。本実施例の場合、メモリアレイの近傍に配置され
ている。この書換え情報を記憶するための不揮発性メモ
リは、アレイ内の不揮発性メモリと同一構造であり、各
ビット線に1つのメモリのドレインを接続し、メモリの
ソースは通常接地電位にある。そして各メモリのゲート
は共通接続されて1つのワード線を形成し、制御回路か
ら出力される信号Bで制御される。
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. In the figure, explanations of the same parts as in the conventional example shown in FIG. 3 will be omitted. What is newly added in this invention is a non-volatile memory for storing rewriting information. In this embodiment, it is placed near the memory array. The nonvolatile memory for storing this rewritten information has the same structure as the nonvolatile memory in the array, with the drain of one memory connected to each bit line, and the source of the memory normally at ground potential. The gates of each memory are commonly connected to form one word line, which is controlled by a signal B output from a control circuit.

上記制御回路は、書換え情報を記憶するための不揮発性
メモリへの情報の書込み/読出しを制御するため回路で
あり、信号Aは、書換え情報を記憶するための不揮発性
メモリのワード線を選択したときに、アレイ内のメモリ
のワード線をすべて非選択にするための信号であり、信
号Cは、書換え情報を記憶するための不揮発性メモリに
情報を書込む時、書込み回路を動作させるようにするた
めの信号である。
The above control circuit is a circuit for controlling writing/reading of information in a non-volatile memory for storing rewrite information, and the signal A selects a word line of the non-volatile memory for storing rewrite information. This signal is used to deselect all memory word lines in the array, and the signal C is used to operate the write circuit when writing information to a non-volatile memory for storing rewrite information. This is a signal to do so.

次に動作について説明する。書換え情報を記憶するため
の不揮発性メモリ【よ最初消去状態(VTH=Vr+−
+E)にしておく。このメモリを読出したときは、各デ
ータ出力(D o〜D?)から「1」が出力されろ。各
セクターに対して、この情報を読取った後消去及び書込
みを行うわけであるが、あるセクターが消去或いは書込
みができなくなった場合、その時点でそのセクターの書
換え情報を記憶する不揮発性メモリに書込みを行なう。
Next, the operation will be explained. Non-volatile memory for storing rewriting information [initial erased state (VTH=Vr+-
+E). When this memory is read, "1" should be output from each data output (D o to D?). After reading this information, it erases and writes to each sector, but if a certain sector cannot be erased or written, at that point the rewrite information for that sector is written to the nonvolatile memory that stores it. Do this.

この時コラムデコーダは書換え不能なビット線っまりセ
クターを選択し、ローデコーダは信号Aによりすへて非
選択状態にする。そして信号Bによりメモリのゲートに
正の高電圧を加え、信号Cにより書込み回路を動作させ
てビット線に高電圧を加え、書込みを行う。
At this time, the column decoder selects a non-rewritable bit line sector, and the row decoder is rendered unselected by signal A. Then, a high positive voltage is applied to the gate of the memory by signal B, and a write circuit is operated by signal C to apply a high voltage to the bit line to perform writing.

この動作により書換え不能なセクターの情報を記憶する
メモリの出力データは「0」となる。このメモリを読出
す場合は、記号Aはアレイ内のワード線をすべて非選択
になるようにし、記号Bは読出し電源による選択信号を
出し、センスアンプを動作状態にするだけでよい。そし
て、書換え不能なセクターをスキップして他の例えば次
のセクターにデータの書換えを行なっていくようにすれ
ば良い。そして、各セクターの読出し/書換えを行う際
、まず書換え情報を記憶するためのメモリを読出し各デ
ータ (Dll〜D?)とも「1」であれば実行し、1
データでも「0」になっていればスキップするような操
作方法にすれば良いわけである。また、更に他のセクタ
ーで書換えが不能となった場合、同じようなシーケンス
でそのセクターの書換え情報を記憶するメモリに「0」
を書けば良いわけである。
As a result of this operation, the output data of the memory that stores information on non-rewritable sectors becomes "0". When reading this memory, all the word lines in the array need to be unselected with symbol A, and the selection signal with symbol B needs to be outputted by the read power supply to put the sense amplifier into operation. Then, data may be rewritten in another sector, for example, the next sector, by skipping the sector that cannot be rewritten. When reading/rewriting each sector, first read the memory for storing the rewriting information, and if each data (Dll to D?) is "1", execute it.
If the data is "0", the operation method should be such that it is skipped. Additionally, if rewriting becomes impossible in another sector, "0" is written to the memory that stores the rewriting information for that sector in the same sequence.
All you have to do is write .

また、この発明による半導体記憶装置は、各セクターに
対応して配置された他の不揮発性メモリの内容を、アレ
イ状に配置される不揮発性メモリの内容を外部に出力す
る手段と同一の手段で出力できるようにしても、上記実
施例と同様の効果を期待できる。
Further, the semiconductor memory device according to the present invention outputs the contents of other nonvolatile memories arranged corresponding to each sector by the same means as the means for outputting the contents of the nonvolatile memories arranged in an array to the outside. Even if output is enabled, the same effects as in the above embodiment can be expected.

さらに、各セクタに対応して配置される他の不揮発性メ
モリは、アレイ状に配置された不揮発性メモリと同一構
造としても、上記実施例と同様の効果を期待できる。
Further, even if the other non-volatile memories arranged corresponding to each sector have the same structure as the non-volatile memories arranged in an array, the same effect as in the above embodiment can be expected.

さらにまた、各セクタに対応して配置されろ他の不揮発
性メモリはNチャネル型としても上記実施例と同様の効
果を期待できる。
Furthermore, the same effects as in the above embodiment can be expected even if the other nonvolatile memories arranged corresponding to each sector are of N-channel type.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明によれば、各セクターの書換え
情報を記憶するためのメモリを内蔵することにより、あ
るセクターが書換え不能となってもその情報を知り、ス
キップすることができ、書換え回数で制限される装置の
寿命を伸ばすことができる。そして、104回以上の書
換えを必要とする用途へも適用できるようになるといっ
た用途の拡大も見込まれる。
As described above, according to the present invention, by incorporating a memory for storing rewrite information for each sector, even if a certain sector cannot be rewritten, the information can be known and skipped, and the number of rewrites can be increased. It is possible to extend the life of the device, which is limited by Further, it is expected that the application will be expanded to include applications that require rewriting more than 104 times.

また、できるだけ回路数を増やさない構成することが望
ましく、本実施例のように、書換え情報を記憶するため
のメモリからの読出しは、アレイ内のメモリを読出す手
段と同一手段とした方が効率的である。そして書換え情
報を記憶するためのメモリはアレイ内のメモリと同一構
造にすることにより、製造工程を増す必要がなく、アレ
イ内のメモリと同一条件で書込み/読出しができるとい
う効果がある。
In addition, it is desirable to configure a structure that does not increase the number of circuits as much as possible, and it is more efficient to use the same means as the means for reading the memory in the array for reading from the memory for storing rewrite information, as in this embodiment. It is true. By making the memory for storing rewrite information the same structure as the memory in the array, there is no need to increase the number of manufacturing steps, and there is an effect that writing/reading can be performed under the same conditions as the memory in the array.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例による半導体記憶装置のブロ
ック図、第2図(、)は不揮発性メモリの断面構造、第
2図(b)は第2図(a)の不揮発性メモリのID−V
o特性図、第3図は従来の半導体記憶装置のブロック図
である。 図において、1は半導体基板、2はドレイン、3はソー
ス、4はゲート、5はフローティングゲート、6はフロ
ーティングゲート−基板間の絶縁膜、7はゲート−フロ
ーティングゲート間の絶縁膜である。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 (, ) is a cross-sectional structure of a nonvolatile memory, and FIG. ID-V
FIG. 3 is a block diagram of a conventional semiconductor memory device. In the figure, 1 is a semiconductor substrate, 2 is a drain, 3 is a source, 4 is a gate, 5 is a floating gate, 6 is an insulating film between the floating gate and the substrate, and 7 is an insulating film between the gate and the floating gate. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  半導体基板上に形成され、ゲート・チャネル間の絶縁
膜中或いは前記絶縁膜の側面にフローティングゲートを
有し、セクター単位で消去及び書込み可能であり、アレ
イ状に配置された絶縁ゲート型不揮発性メモリにおいて
、各セクターに対応して他の不揮発性メモリを配置し、
前記各セクターが消去及び書込み可能かどうかを記憶さ
せることを特徴とした半導体記憶装置。
An insulated gate nonvolatile memory formed on a semiconductor substrate, having a floating gate in an insulating film between the gate and channel or on the side of the insulating film, erasable and writable in sector units, and arranged in an array. , place other non-volatile memory corresponding to each sector,
A semiconductor memory device, characterized in that whether or not each sector is erasable and writable is stored.
JP2165224A 1990-06-21 1990-06-21 Semiconductor memory Pending JPH0457298A (en)

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JP2165224A JPH0457298A (en) 1990-06-21 1990-06-21 Semiconductor memory

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JP2165224A JPH0457298A (en) 1990-06-21 1990-06-21 Semiconductor memory

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02299039A (en) * 1989-05-12 1990-12-11 Toshiba Corp Semiconductor memory device

Patent Citations (1)

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