JPH0455133U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0455133U JPH0455133U JP9778190U JP9778190U JPH0455133U JP H0455133 U JPH0455133 U JP H0455133U JP 9778190 U JP9778190 U JP 9778190U JP 9778190 U JP9778190 U JP 9778190U JP H0455133 U JPH0455133 U JP H0455133U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- production apparatus
- water supply
- supply system
- systems
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す超純水供給シ
ステムの概略系統図、第２図は従来のシステムの
概略系統図である。 １……超純水製造装置、２……超純水供給配管
、３……超純水戻り配管、４……半導体製造装置
、５……超純水製造装置、６……超純水供給配管
、７……超純水戻り配管、８……切替バルブ。
ステムの概略系統図、第２図は従来のシステムの
概略系統図である。 １……超純水製造装置、２……超純水供給配管
、３……超純水戻り配管、４……半導体製造装置
、５……超純水製造装置、６……超純水供給配管
、７……超純水戻り配管、８……切替バルブ。
Claims (1)
- １台の製造装置に対し少なくとも２系統の超純
水製造装置から超純水を供給することを特徴とし
た超純水供給システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9778190U JPH0455133U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9778190U JPH0455133U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455133U true JPH0455133U (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=31838453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9778190U Pending JPH0455133U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455133U (ja) |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP9778190U patent/JPH0455133U/ja active Pending