JPH0453964A - Electrophotographic sensitive body - Google Patents

Electrophotographic sensitive body

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Publication number
JPH0453964A
JPH0453964A JP16446490A JP16446490A JPH0453964A JP H0453964 A JPH0453964 A JP H0453964A JP 16446490 A JP16446490 A JP 16446490A JP 16446490 A JP16446490 A JP 16446490A JP H0453964 A JPH0453964 A JP H0453964A
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JP
Japan
Prior art keywords
layer
protective layer
intermediate layer
amorphous carbon
coupling agent
Prior art date
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Pending
Application number
JP16446490A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Nagame
宏 永目
Shigeto Kojima
成人 小島
Setsu Rokutanzono
節 六反園
Shinji Nosho
伸二 納所
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP16446490A priority Critical patent/JPH0453964A/en
Publication of JPH0453964A publication Critical patent/JPH0453964A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain high-quality copied images which are stable over a long period of time by incorporating a metal compd. and silane coupling agent into an intermediate layer and incorporating amorphous carbon into a surface protective layer. CONSTITUTION:An As2Se3 layer, the intermediate layer and the surface protective layer are successively provided on a conductive base and the metal oxide and the silane coupling agent are incorporated into the intermediate layer. In addition, the amorphous carbon is incorporated into the surface protective layer. The mixture composed of the metal compd. and silane coupling agent used in the intermediate layer have not only the effect of enhancing the adhesiveness of the As2Se3 photosensitive layer and the protective layer consisting of the amorphous carbon but also prohibit the implantation of, for example, positive charges to the photosensitive layer. On the other hand, the mixture has the function to facilitate the bonding of the carriers formed by the implantation of light and the positive charges in the front layer and to stably maintain the electrostatic characteristic of the photosensitive body after repetitive use. The electrophotographic sensitive body which has a high sensitivity, affords the high-quality images stable over a long period of time and has the excellent durability is obtd. in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 〔従来の技術〕 電子写真感光体は無機系のものと有機系のものとに大別
されるが、現在のところ、電子写真特性の点では前者の
方がすぐれていることの理由から、無機系電子写真感光
体が多く実用に供されている。
[Detailed Description of the Invention] [Prior Art] Electrophotographic photoreceptors are broadly classified into inorganic and organic types, but at present, the former is superior in terms of electrophotographic properties. For this reason, many inorganic electrophotographic photoreceptors are in practical use.

ところで、そうした無機系電子写真感光体はSeをはじ
めとして、5e−Te系、 5e−As系、 5e−5
b系などのいわゆるSe系感光体;a(アモルファス)
−5iC:H。
By the way, such inorganic electrophotographic photoreceptors include Se, 5e-Te, 5e-As, and 5e-5.
So-called Se-based photoreceptor such as b-based; a (amorphous)
-5iC:H.

a−5iFI:H,a−5iCO:H,a−5iCF:
I(などのいわゆるアモルファスシリコン(a−5i)
系感光体が知られている。
a-5iFI:H, a-5iCO:H, a-5iCF:
So-called amorphous silicon (a-5i) such as
type photoreceptors are known.

中でも、5e−As系感光体特にAs2Se□感光体は
20万枚以上の耐刷性を有し、画像品質もよく、また、
製造コストはa−5i系感光体に比べて低廉である等か
ら、今のところ、最も多く用いられている。
Among them, 5e-As photoconductors, especially As2Se□ photoconductors, have a printing durability of 200,000 sheets or more, have good image quality, and
The manufacturing cost is lower than that of the a-5i photoreceptor, so it is currently the most commonly used photoreceptor.

しかし、As、Se3感光体は耐久性の面で末だ不充分
な点があり、また帯電能も十分でないことから、通常は
感光層上にヒ素酸化物からなるブロッキング層が設けら
れている。
However, since the As, Se3 photoreceptor is seriously inadequate in terms of durability and also has insufficient charging ability, a blocking layer made of arsenic oxide is usually provided on the photosensitive layer.

ところが、このブロッキング層は数10人という極めて
薄い薄厚で形成されているため、トナーや塵芥あるいは
コピー紙に含有されるタルク等の固形物に接触した場合
、亀劣や破損を生じ、複写画像に白スジ等の異常画像が
発生するといった問題がある。
However, since this blocking layer is formed with an extremely thin thickness of several tens of layers, if it comes into contact with solid matter such as toner, dust, or talc contained in copy paper, it may deteriorate or be damaged, causing damage to the copied image. There is a problem that abnormal images such as white stripes occur.

この様な欠点を解消する為にSe系の感光層の表面に保
護層を設けて、複写機内外で受ける機械的負荷に対する
耐久性を改善する方法が提案されている。
In order to overcome these drawbacks, a method has been proposed in which a protective layer is provided on the surface of the Se-based photosensitive layer to improve its durability against mechanical loads received inside and outside the copying machine.

たとえば、感光層の表面に有機フィルムを設ける方法(
特公昭38−015446)、無機酸化物を設ける方法
(特公昭43−014517)、接着層を設けた後、絶
縁層を積層する方法(特公昭43−027591)、或
し)はプラズマCVD法・光CVD法等によってa−5
i層、a−5i:N:6層、a−5i:O:6層等を積
層する方法(特開昭57−179859、特開昭59−
058437)などが開示されている。
For example, a method of providing an organic film on the surface of a photosensitive layer (
Japanese Patent Publication No. 38-015446), a method of providing an inorganic oxide (Japanese Patent Publication No. 43-014517), a method of laminating an insulating layer after providing an adhesive layer (Japanese Patent Publication No. 43-027591), or a plasma CVD method. a-5 by photo-CVD method etc.
Method of laminating i layer, a-5i:N:6 layer, a-5i:O:6 layer, etc. (JP-A-57-179859, JP-A-59-
058437) etc. have been disclosed.

これらの方法は有機系やSe系の感光体の機械的耐久性
の向上に対して一応の効果を有することが認められてい
る。しかし、有機フィルムの積層をおこなう場合に有機
系感光体に影響を及ぼさなし)溶剤を使用しなければな
らないため、材料の選択自由度が小さく、またシリコン
系の保護層では前述の様に01等による化学的な劣化を
しやすし)とし1う本質的な問題を有しており、実使用
上、まだ解決しなければならない問題点が多い。
It has been recognized that these methods have some effect on improving the mechanical durability of organic and Se-based photoreceptors. However, when laminating an organic film, it is necessary to use a solvent (which does not affect the organic photoreceptor), so there is less freedom in selecting materials, and silicone-based protective layers require 01 etc. as mentioned above. However, there are many problems that still need to be solved in practical use.

この様な背景のなか、感光体の保護層材料として炭素又
は炭素を主成分として成る高硬度薄膜の応用が近年活発
している。
Against this background, the application of carbon or highly hard thin films mainly composed of carbon as a protective layer material for photoreceptors has been active in recent years.

たとえば、感光層上に無定形炭素又は硬質炭素から成る
保護層を設けたもの(特開昭6O−249155)、最
表面にダイヤモンド状カーボン保護層を設けたもの(特
開昭6l−255352)、感光層上に炭素を主成分と
する高硬度絶縁層を形成したもの(特開昭6l−264
355)あるいは有機感光層上に窒素原子、酸素原子、
ハロゲン原子、アルカリ金属原子等の原子を少なくとも
含むプラズマ有機重合膜から成る保護層を設けたもの(
特開昭63−97961〜4)、有機感光層上にカルコ
ゲン原子、■属原子、■属原子、■属原子等の原子を少
なくとも含むグロー放電により生成された非晶質炭化水
素から成る保護層を設けたもの(特開昭63−2201
66〜9)などを挙げることができる。
For example, one in which a protective layer made of amorphous carbon or hard carbon is provided on the photosensitive layer (JP-A-6O-249155), one in which a diamond-like carbon protective layer is provided on the outermost surface (JP-A-6L-255352), A high-hardness insulating layer mainly composed of carbon is formed on a photosensitive layer (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-264)
355) Or nitrogen atoms, oxygen atoms,
Those provided with a protective layer consisting of a plasma organic polymer film containing at least atoms such as halogen atoms and alkali metal atoms (
JP-A No. 63-97961-4), a protective layer made of an amorphous hydrocarbon generated by glow discharge containing at least atoms such as chalcogen atoms, group II atoms, group II atoms, group II atoms, etc., on an organic photosensitive layer. (Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-2201
66-9), etc.

これらの提案はいずれも感光層の表面にイオンプロセス
(スパッタリング、プラズマCVD、グロー放電分解法
、光CVD法等)により作製した炭素又I±炭素を主成
分とする高硬度の薄膜(i−カーボン膜あるいはダイヤ
モンド状炭素膜という総称で呼ばれるものに属する。)
を形成したものである。
In all of these proposals, a highly hard thin film mainly composed of carbon or I± carbon (i-carbon It belongs to what is collectively called a diamond-like carbon film.)
was formed.

これらの方法においては保護層は溶媒を用いない製膜プ
ロセスにより得られ、高い硬度を有し。
In these methods, the protective layer is obtained by a film forming process that does not use a solvent and has high hardness.

更に膜そのものはOl等の酸化雰囲気に強い特徴を有し
ているため、有機系あるいはSe系感光体の耐久性を向
上する上で優れた効果が認められてきている。
Furthermore, since the film itself has a characteristic of being resistant to oxidizing atmospheres such as Ol, it has been recognized that it has an excellent effect in improving the durability of organic or Se-based photoreceptors.

ところが、この様な材料を用いても、電子写真プロセス
中で長期的に繰返し使用された場合、感光層がプラズマ
等の影響を受け、構造劣化を引きおこし、長期に亘って
繰り返し使用すると、耐候性や耐久性が低下し、安定で
高品質な複写画像が得られないといった問題を生じる。
However, even if such a material is used, if it is used repeatedly over a long period of time during the electrophotographic process, the photosensitive layer will be affected by plasma etc., causing structural deterioration, and if used repeatedly over a long period of time, the weather resistance will deteriorate. This causes a problem in that the properties and durability deteriorate, making it impossible to obtain stable and high-quality copied images.

【発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は上記従来技術の実情に鑑みなされたものであっ
て、繰り返し使用しても耐久性や耐候性が低下せず、長
期間に亘り安定で高品質な複写画像を与える電子写真用
感光体を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned state of the prior art, and provides an electrophotographic photoreceptor that does not deteriorate in durability or weather resistance even after repeated use and provides stable and high-quality copied images over a long period of time. The purpose is to provide

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果
、導電性支持体側から順にAs、Sea層、中間層及び
アモルファスカーボンからなる表面保護層を設けた電子
写真感光体においては、中間層として特定な材料を含有
させた場合には上記目的が達成できることを見出し、本
発明を完成するに至った・ すなわち、本発明によれば、導電性支持体上にAs2S
e、層、中間層及び表面保護層を順次設けた電子写真感
光体において、中間層は金属化合物とシランカップリン
グ剤を含有し、かつ表面保護層1士アモルファスカーボ
ンを含有することを特徴とする電子写真感光体が提供さ
れる。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors found that in an electrophotographic photoreceptor in which a surface protective layer consisting of As, a Sea layer, an intermediate layer, and amorphous carbon are provided in order from the conductive support side, the intermediate layer The present invention has been completed based on the discovery that the above object can be achieved when a specific material is contained in the conductive support.
e. An electrophotographic photoreceptor in which a layer, an intermediate layer and a surface protective layer are sequentially provided, wherein the intermediate layer contains a metal compound and a silane coupling agent, and the surface protective layer contains amorphous carbon. An electrophotographic photoreceptor is provided.

本発明で中間層に用いる金属化合物とシランカップリン
グ剤から混合物は、 As、 Se、感光層とアモルフ
ァスカーボン力らなる保護層との接着性を高める作用を
有するばかりでなく、たとえば正電荷が感光層に注入す
るのを阻止し、−力先の注入で生成されたキャリアと表
層中のプラス電荷との結合を容易にさせ、繰返し使用し
後の感光体の静電特性を安定に保持する機能を有する。
The mixture of metal compound and silane coupling agent used in the intermediate layer in the present invention not only has the effect of increasing the adhesion between As, Se, and the photosensitive layer and the protective layer made of amorphous carbon, but also has the effect of increasing the adhesion between the photosensitive layer and the protective layer made of amorphous carbon. A function that prevents injection into the layer and facilitates the combination of carriers generated by force tip injection with positive charges in the surface layer, stably maintaining the electrostatic properties of the photoreceptor after repeated use. has.

従って、本発明の電子写真感光体は、高感度であると共
に耐久性及び耐候性に優れたものとなる。
Therefore, the electrophotographic photoreceptor of the present invention has high sensitivity and excellent durability and weather resistance.

以下、本発明を更に詳細に説明する。The present invention will be explained in more detail below.

本発明に使用される導電性支持体としては、導電体ある
いは導電処理をした絶縁体、たとえばAQ、Ni、 F
e、 Cu、Auなどの金属あるいはそれらの合金の他
、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ガラ
ス等の絶縁性基体上にAQ、 Ag、Au等の金属ある
いはIn2O,、SnO□等の導電材料の薄膜を形成し
たもの、導電処理をした紙等が使用できる。
The conductive support used in the present invention may be a conductor or an insulator treated for conductivity, such as AQ, Ni, F
In addition to metals such as e, Cu, and Au, or their alloys, thin films of metals such as AQ, Ag, and Au, or conductive materials such as In2O, and SnO□ are deposited on insulating substrates such as polyester, polycarbonate, polyimide, and glass. It is possible to use paper that has been formed or has been treated with electrical conductivity.

導電性支持体の形状は特に制約はなく板状、ドラム状あ
るいはベルト状のいずれのものも使用できる。
There are no particular restrictions on the shape of the conductive support, and any of the shapes of a plate, drum, or belt can be used.

本発明に係る中間層は前記したように金属化合物とシラ
ンカップリング剤からなる。
As described above, the intermediate layer according to the present invention is composed of a metal compound and a silane coupling agent.

使用可能な金属化合物としては、たとえばジルコニウム
テトラキスアセチルアセトネート、ジイソプロポキシチ
タンビスアセチルアセトネートなど(以上金属錯体系)
、ジルコジウムn−ブチレート。
Examples of metal compounds that can be used include zirconium tetrakisacetylacetonate, diisopropoxytitanium bisacetylacetonate, etc. (metal complex systems)
, zircodium n-butyrate.

チタンn−ブチレート(以上金属アルコラード系)挙げ
られる。
Titanium n-butyrate (metal alcoholade type) may be mentioned.

また混合するシランカップリング剤としては、たとえば
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカ
プトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the silane coupling agent to be mixed include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and γ-mercaptopropyltrimethoxysilane.

これらの金属化合物がAs、Se、層の表面に被覆され
ることによってAs2Se、層上にプラス電荷が感光層
中に注入されるのを阻止する良質なブロッキング層(立
方状のAs2Se、)が形成され、感光体の帯電特性が
大幅に向上する。また、シランカップリング剤の作用に
より感光層と保護層の接着性が向上し、耐久性の高めら
れた電子写真感光体が得られる。
By coating the surface of the As, Se, and Se layers with these metal compounds, a high-quality blocking layer (cubic-shaped As2Se) is formed on the As2Se layer to prevent positive charges from being injected into the photosensitive layer. This greatly improves the charging characteristics of the photoreceptor. Moreover, the adhesion between the photosensitive layer and the protective layer is improved by the action of the silane coupling agent, and an electrophotographic photoreceptor with improved durability can be obtained.

この中間層の膜厚は400〜5000人好ましくは80
0〜2000人である。膜厚が400人未満であると中
間層にピンホールが生じ易くなり、異常画像の発生原因
となる。また膜厚が5000人を越えると残留電位が上
昇し、望ましくない。
The thickness of this intermediate layer is 400 to 5000, preferably 80.
0 to 2000 people. If the film thickness is less than 400, pinholes are likely to occur in the intermediate layer, causing abnormal images. Moreover, if the film thickness exceeds 5,000 layers, the residual potential will increase, which is not desirable.

中間層を作成するには、たとえば前記した金属化合物と
シランカップリング剤をブタノールのような適当な溶媒
で希釈し、ついで得られた溶液を感光層(AszSea
層)上に塗布・乾燥すればよい。
To create the intermediate layer, for example, the metal compound and silane coupling agent described above are diluted with a suitable solvent such as butanol, and the resulting solution is then applied to the photosensitive layer (AszSea).
layer) and dry it.

本発明に係る感光層はAs2Se、系である。このAs
2Se、は20〜50cp■の複写機で使用される高感
度の感光材料であり、耐結晶性にすぐれているため、溶
剤による本質は比較的少なく、また、As2Se、の溶
融温度以下の温度(150℃以下)であれば、成膜時に
加熱されても問題は生じない。
The photosensitive layer according to the present invention is As2Se based. This As
2Se is a highly sensitive photosensitive material used in 20 to 50 cp copiers, and has excellent crystallization resistance, so it is relatively free from solvents and can be used at temperatures below the melting temperature of As2Se ( 150° C. or lower), no problem will occur even if the film is heated during film formation.

^52Se、はSe中にAsが38.7wt%入ったも
のをさすが、電気特性的には35〜36wt%のものが
良質である。
^52Se refers to Se containing 38.7 wt% As, and in terms of electrical properties, 35 to 36 wt% is of good quality.

したがって本発明においてはAs含量が35〜36wt
%程度のAs2Se、を用いることが望ましい。
Therefore, in the present invention, the As content is 35 to 36 wt.
% of As2Se is preferably used.

本発明において、感光層上に中間層を介して最表面に設
けられる保護層は、アモルファスカーボンを主成分とし
たもので、好ましくはビッカース硬度600〜2500
Kg/園臘1、比程抗([i!有低抵抗1 x 10’
〜9XIO”Ω・C鵬の値を有し、460n蓋の波長に
おいても70%以上の透光性を有する薄膜で形成される
In the present invention, the protective layer provided on the outermost surface of the photosensitive layer via the intermediate layer is mainly composed of amorphous carbon, and preferably has a Vickers hardness of 600 to 2500.
Kg/Sono 1, ratio resistance ([i! low resistance 1 x 10'
It is formed of a thin film having a value of ~9XIO''Ω·C and having a translucency of 70% or more even at a wavelength of 460n.

この様な膜は一般的にスパッタリング、プラズマCvD
、グロー放電分解法、光CVD法などにより形成され、
特にその製膜法は限定されるものではないが、プラズマ
CvD法でありながらスパッタ効果を伴わせつつ成膜さ
せる方法によって良好な特性を有する保護層を得ること
ができる。
Such films are generally produced by sputtering or plasma CVD.
, formed by glow discharge decomposition method, photo-CVD method, etc.
Although the film forming method is not particularly limited, a protective layer having good properties can be obtained by forming the film using a plasma CVD method with a sputtering effect.

アモルファスカーボンを得るため原料としては高純度の
C2H4やC,H,、C3H,などの炭化水素系のガス
の他に必要に応じてNF、、 NH,、C,F、、 B
、)l、などのガスが挙げられ、かかる混合ガスを装置
内に送り込み、高周波(13,56MHz)を印加しプ
ラズマ等の手段によって成膜すればよい。アモルファス
カーボンは有色膜であるが原材料や製法を選択すること
により460n■でも80%以上の透過率が得られる膜
の作製が可能である。
In order to obtain amorphous carbon, raw materials include high-purity hydrocarbon gases such as C2H4, C, H, , C3H, and, if necessary, NF, NH, C, F, and B.
, )l, etc. Such a mixed gas may be fed into the apparatus, high frequency (13.56 MHz) may be applied, and a film may be formed by means such as plasma. Amorphous carbon is a colored film, but by selecting raw materials and manufacturing methods, it is possible to produce a film that can obtain a transmittance of 80% or more even at 460 nm.

本発明の保護層の比抵抗と膜厚は解像力と残留電位及び
その蓄積性、透過率などの因子で決定されるが、比抵抗
はlXl0”−9X10”Ω・0層(<シ型電極)の範
囲であれば良く、好ましくは5X10”−IXIPaΩ
・cIIの範囲が望ましい。
The specific resistance and film thickness of the protective layer of the present invention are determined by factors such as resolution, residual potential, its accumulation property, and transmittance. It may be within the range of, preferably 5X10”-IXIPaΩ
・CII range is desirable.

比抵抗が低い場合には画像流れが、高い場合にはカブリ
現象および画像流れが生じる。
When the resistivity is low, image deletion occurs, and when it is high, fogging and image deletion occur.

保護層の膜厚は1000人〜2声の範囲あれば良いが。The thickness of the protective layer should be in the range of 1000 to 2 voices.

好ましくは4000人〜1μsである。Preferably it is 4000 people to 1 μs.

また1本発明の保護層にはフッ素のごときノ10ゲン元
素、窒素、リン、ホウ素などの添加物を必要に応じて添
加することもでき、その濃度は膜の深さ方向に対し、均
一であっても勾配を設けてもかまわない。更にこの保護
層は単層である必要はなく、添加剤の有無、種類などを
制御した多層構造から成っていてもかまわない。
Additionally, additives such as fluorine, nitrogen, phosphorus, and boron can be added to the protective layer of the present invention as needed, and the concentration thereof is uniform in the depth direction of the film. There is no problem even if there is a gradient. Further, this protective layer does not need to be a single layer, and may have a multilayer structure in which the presence or absence of additives, types, etc. are controlled.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.

実施例1 径80璽曹、長さ340■、厚さ3mmのアルミニウム
ドラム(JIS 3003系)にAs35.5wt%か
らなるAs、Se、層を約60−真空蒸着した。
Example 1 On an aluminum drum (JIS 3003 series) having a diameter of 80mm, a length of 340mm, and a thickness of 3mm, a layer of As, Se, and 35.5% by weight of As was vacuum-deposited at about 60% by vacuum evaporation.

ついで、このAs2Se、層上にγ−メタクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン(KBM 503、信越化学
社製)とジルコニウムテトラキスアセチルアセトネート
(松本文部社製)およびn−BuOHを重量比で1:2
:40の割合で混合撹拌した液をスプレー法で塗布した
あと、120℃で2時間撹拌し、約1200人の中間層
を形成した。
Next, on this As2Se layer, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM 503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), zirconium tetrakis acetylacetonate (manufactured by Matsumoto Bunbu Co., Ltd.) and n-BuOH were added in a weight ratio of 1:2.
The mixture was mixed and stirred at a ratio of :40 and then applied by a spray method, and then stirred at 120° C. for 2 hours to form an intermediate layer of about 1200 people.

次に、このものをプラズマCVD装置にセットし、排気
ポンプにより5 X 10−” Torr以下に排気し
たあと、保護層の材料ガスとしてC2H4とNF、を各
々15SCCM、1.5SCCN導入し排気バルブを操
作し、真空槽圧力を0 、08Torrにコントロール
した。ついでRF電極間に13.56MHz25Wの電
力を印加し、50分間反応させてアモルファスカーボン
からなる表面保護層を形成した。
Next, this was set in a plasma CVD apparatus, and after exhausting to 5 X 10-'' Torr or less with an exhaust pump, 15 SCCM and 1.5 SCCN of C2H4 and NF were introduced as material gases for the protective layer, respectively, and the exhaust valve was closed. The vacuum chamber pressure was controlled at 0.08 Torr. Then, a power of 13.56 MHz, 25 W was applied between the RF electrodes, and a reaction was carried out for 50 minutes to form a surface protective layer made of amorphous carbon.

この様に形成した保護層の膜厚は約8000人、ビッカ
ース硬度的1340Kg/am”、比抵抗9.5 X 
10”Ω・C量であった。また透過率は460■mで7
8%、 780■mで98%のものであった。
The thickness of the protective layer formed in this way is approximately 8,000 mm, Vickers hardness is 1,340 Kg/am, and specific resistance is 9.5
The amount of C was 10”Ω・C.The transmittance was 7 at 460μm.
8%, and 98% at 780 m.

実施例2 実施例1と同じ製法で中間層を形成したAs、Se3感
光体をプラズマでCVD装置にセットし、排気ポンプに
より5 X 10”′GTorr以下に排気したあと、
保護層の材料ガスとしてC2H4155(1:CM導入
し、排気バルブを操作し真空槽圧力を0.06Torr
にコントロールした。次にRF電極間に13.56MH
z25Vの電力を印加し、90分間反応させて表面保護
層を形成した。
Example 2 An As, Se3 photoreceptor with an intermediate layer formed using the same manufacturing method as Example 1 was set in a plasma CVD apparatus, and after being evacuated to below 5 x 10''GTorr with an exhaust pump,
C2H4155 (1:CM) was introduced as a material gas for the protective layer, and the vacuum chamber pressure was adjusted to 0.06 Torr by operating the exhaust valve.
was controlled. Next, 13.56MH between the RF electrodes
A power of z25V was applied and the reaction was carried out for 90 minutes to form a surface protective layer.

この様にして形成した保護層の膜厚は約6500人、ビ
ッカース硬度1400Kg/mm”、比抵抗1.I X
 10’Ω・C鳳であった。また、透過率は460■m
で78%、780■mで98%のものであった。
The thickness of the protective layer thus formed was approximately 6,500 mm, Vickers hardness was 1,400 Kg/mm, and specific resistance was 1.
It was 10'Ω・C Otori. Also, the transmittance is 460μm
It was 78% at 780 m and 98% at 780 m.

比較例1 実施例1と同じ製法で中間層まで形成したAs2Se、
感光体にスチレン−阿阿A−2HEMAの比が2:5:
3となるウレタン架橋型スチレン−HMA樹脂にSnO
□微粒子(S−1、三菱金属社製)を58wt%添加し
、これにトルエン、セロソルブアセテート、およびメチ
ルイソブチルケトンを3:4:3の割合で混合した溶媒
を添加し、サンドミル法で60分間分散した。そして脂
肪酸ポリイソシアネート(スミジュールHT、住友バイ
エル社)を添加し、さらに分散したのちスプレー法で塗
布し130℃、30分間乾燥し、約3−の保護層を形成
することにより感光体を作成した。
Comparative Example 1 As2Se formed up to the intermediate layer by the same manufacturing method as Example 1,
The photoreceptor has a styrene-Aa A-2HEMA ratio of 2:5:
SnO to urethane cross-linked styrene-HMA resin
□Add 58 wt% of fine particles (S-1, manufactured by Mitsubishi Metals), add a solvent containing toluene, cellosolve acetate, and methyl isobutyl ketone in a ratio of 3:4:3, and sand mill for 60 minutes. Dispersed. Then, fatty acid polyisocyanate (Sumidur HT, Sumitomo Bayer) was added, further dispersed, and then applied by spraying and dried at 130° C. for 30 minutes to form a protective layer of about 3 to form a photoreceptor. .

比較例2 実施例1と同し製法で中間層まで形成したAs2Se3
感光体を実施例1とは別のプラズマCVD装置にセット
し、下記の実験条件においてアモルファスシリコン層(
a−5uC:N:B:H)を約1200人成膜した。硬
度は約1360Kg/am”、460■mの透過率は9
0%、 780■mで100%であった。
Comparative Example 2 As2Se3 formed up to the intermediate layer using the same manufacturing method as Example 1
The photoreceptor was set in a plasma CVD apparatus different from that in Example 1, and an amorphous silicon layer (
About 1200 people deposited a-5uC:N:B:H). Hardness is approximately 1360 Kg/am", transmittance at 460 m is 9
0%, and 100% at 780 m.

〔実験条件〕[Experimental conditions]

支持体回転数    : 10rρ■ 支持体温度     :140℃ 反応ガス圧     : 0.8Torr背圧    
    : I X 10−’ Torr放電パワ: 
150(o、1/aJ) 流量比(SCCM ;空気中) : 5iH4(20%
)  :100Co2(100%):16 N、 (100%)=20 BJG (100pp園):12 前記で得た実施例及び比較例の電子写真感光体の静電特
性及び画像品質を評価した。その結果を表−1に示す。
Support rotation speed: 10 rρ Support temperature: 140°C Reaction gas pressure: 0.8 Torr back pressure
: I X 10-' Torr discharge power:
150 (o, 1/aJ) Flow rate ratio (SCCM; in air): 5iH4 (20%
): 100Co2 (100%): 16 N, (100%) = 20 BJG (100 pp garden): 12 The electrostatic properties and image quality of the electrophotographic photoreceptors of Examples and Comparative Examples obtained above were evaluated. The results are shown in Table-1.

なお、静電特性及び画像品質は以下のようにして測定、
評価した。
The electrostatic properties and image quality were measured as follows.
evaluated.

〔静電特性〕[Electrostatic properties]

前記各電子写真感光体を測定ドラムにセットし、コロナ
放電器に+5.5KVを印加し、50秒後の電位Vm、
20秒暗減衰の比率Vo/Vm、rooovニ帯電し1
2μtr/fflの光強度の光を照射したときの200
voltまで光減衰するときの感度El 15、そして
光減衰20秒後の残留電位v2゜を夫々測定した。
Each electrophotographic photoreceptor was set on the measuring drum, +5.5 KV was applied to the corona discharger, and the potential Vm after 50 seconds was
20 seconds dark decay ratio Vo/Vm, rooov 2 charged 1
200 when irradiated with light with a light intensity of 2μtr/ffl
The sensitivity El 15 when light is attenuated to volt and the residual potential v2° after 20 seconds of light attenuation were measured.

〔画像品質〕[Image quality]

前記各電子写真感光体をリコー製複写機FT−6550
にセットし、初期画像、1万枚後、2万枚後、5万枚後
及び10万枚統の画像特性を目視により評価した。
Each of the above electrophotographic photoreceptors was used in a copying machine manufactured by Ricoh, FT-6550.
The image characteristics of the initial image, after 10,000 sheets, after 20,000 sheets, after 50,000 sheets, and after 100,000 sheets were visually evaluated.

O:画像劣化がなく高品質な画像が得られる。O: A high quality image can be obtained without image deterioration.

0:画像劣化が若干あるも画像品質は良好である。0: Image quality is good although there is some image deterioration.

×:画像劣化が著しく画像品質が良好でない。×: Image deterioration is significant and image quality is not good.

−:画像出しが行なわれない。-: Image is not displayed.

表−1の結果から1本発明の電子写真感光体は比較例の
ものに比べ、繰り返し使用後の静電特性が安定しており
、しかも1万枚を越える繰り返しの画像出しにおいても
高品質な複写画像を与えることがわかる。
From the results shown in Table 1, the electrophotographic photoreceptor of the present invention has more stable electrostatic properties after repeated use than that of the comparative example, and has high quality even after repeated image production of more than 10,000 sheets. It can be seen that a duplicate image is given.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の電子写真感光体は高感度であると共に長期に亘
って安定で高品質な画像を与える耐久性の極めて優れた
ものである。
The electrophotographic photoreceptor of the present invention is highly sensitive and extremely durable, providing stable and high-quality images over a long period of time.

特許出願人 株式会社 リ  コPatent applicant Rico Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)導電性支持体上にAs_2Se_3層、中間層及
び表面保護層を順次設けた電子写真感光体において、中
間層は金属化合物とシランカップリング剤を含有し、か
つ表面保護層はアモルファスカーボンを含有することを
特徴とする電子写真感光体。
(1) In an electrophotographic photoreceptor in which As_2Se_3 layers, an intermediate layer, and a surface protective layer are sequentially provided on a conductive support, the intermediate layer contains a metal compound and a silane coupling agent, and the surface protective layer contains amorphous carbon. An electrophotographic photoreceptor comprising:
(2)中間層の膜厚が400〜5000Åであり、表面
保護層はその膜厚が1000Å〜2μmであると共にそ
の比抵抗が1×10^■〜9×10^1^2(Ω・cm
)であることを特徴とする請求項(1)の電子写真感光
体。
(2) The thickness of the intermediate layer is 400 to 5000 Å, and the thickness of the surface protective layer is 1000 Å to 2 μm, and the specific resistance is 1 × 10^■ to 9 × 10^1^2 (Ω cm
) The electrophotographic photoreceptor according to claim (1).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9296925B2 (en) 2012-08-02 2016-03-29 Lintec Corporation Film-like adhesive, adhesive sheet for semiconductor junction, and method for producing semiconductor device
US9534151B2 (en) 2009-09-24 2017-01-03 Lintec Corporation Sheet and adhesive sheet

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