JPH0449874A - Ultrasonic wave motor - Google Patents

Ultrasonic wave motor

Info

Publication number
JPH0449874A
JPH0449874A JP2157987A JP15798790A JPH0449874A JP H0449874 A JPH0449874 A JP H0449874A JP 2157987 A JP2157987 A JP 2157987A JP 15798790 A JP15798790 A JP 15798790A JP H0449874 A JPH0449874 A JP H0449874A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moving body
motor
reinforced resin
ultrasonic motor
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2157987A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masanori Sumihara
正則 住原
Katsu Takeda
克 武田
Takahiro Nishikura
西倉 孝弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2157987A priority Critical patent/JPH0449874A/en
Publication of JPH0449874A publication Critical patent/JPH0449874A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify a manufacturing process due to the reduction of the number of the component parts of a moving body and the omission of a bonding process, and lighten the weight of a motor by forming the moving body with a fiber reinforced resin complex, and by realizing uniform contact to improve the efficiency of the motor. CONSTITUTION:A moving body 24 is formed with a fiber reinforced resin complex in order to enhance rigidity by using reinforcing fibers at the same time as mechanical strength insufficient with resin component only is made up for. Accordingly, the complex can be easily molded with the use of a metallic mold, and the weight of the moving body 24 can be reduced. Besides, face correcting effect for absorbing the swell of contact surfaces between an oscillating body and the moving body is obtained, and flatness can be secured, and so the efficient transmission of the progressive wave of deflection oscillation due to the oscillating body, to the moving body, and stable working are obtained. As a result, a manufacturing process can be simplified due to the reduction of the number of the component parts of the moving body and the omission of a bonding process, and the weight of a motor can be lightened, and characteristic can be stabilized.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明ζよ 圧電セラミック等の圧電体を用いて弾性波
を励振することにより駆動力を発生する超音波モータに
関し より詳しくは超音波モータの移動体の構造に関す
a 従来の技術 近年圧電体を用いて構成した振動体に弾性振動を励振じ
 これを駆動力とした超音波モータが注目されていも 以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Field of Application The present invention relates to an ultrasonic motor that generates driving force by exciting elastic waves using a piezoelectric material such as a piezoelectric ceramic.More specifically, a moving body of an ultrasonic motor. Conventional technology In recent years, ultrasonic motors that excite elastic vibrations in a vibrating body made of a piezoelectric material and use this as a driving force have been attracting attention. Explain the technology.

第7図は 従来の円環型超音波モータの一部切り欠き斜
視図であも 同図において、 4は複数個の突起体1を有する円環形
弾性基板2の底面に円環形圧電体3を貼合せて構成した
振動体であム 7は弾性体5に耐摩耗性の摩擦材6を結合した移動体で
、振動体4に加圧接触して設置されていも また第8図は 従来の円板型超音波モータの一部切り欠
き斜視図であム 同図において、 4aは複数個の突起体1aを有する円
板形弾性基板2aの底面に円板形圧電体3aを貼合せて
構成した振動体であム 7aは弾性体5aに耐摩耗性の摩擦材6aを結合した移
動体で、振動体4aに加圧接触して設置されていも ここで、上記各従来例において41  弾性体5.5a
の材質としてCヨ  従来は鉄属 ステンレス鋼等の金
属が使用されており、この弾性体5、5aに耐摩耗性の
摩擦材6、6aを接着等の方法により結合することによ
り、超音波モータの移動体7゜7aを構成していも 圧電体3.3aには図示しないが2組の駆動電極が構成
されており、上記駆動電極に所定の位相差を有する2つ
の交流電圧をそれぞれ印加すると圧電体3.3aは伸縮
振動をし 弾性基板2,2aは伸縮に対して抵抗するよ
うに働くので、バイメタルと同様の効果により、撓み振
動の進行波が振動体4.4aに励振されも 振動体4.4aの表面の任意の点は撓み振動の進行波に
より楕円軌跡を描いて運動すム 突起体1、1aはこの
楕円軌跡の横方向(進行波の進行する方向成分)の変位
を拡大すム 振動体4,4aの突起体1.1aに加圧接
触して設置された移動体7.7aは拡大された横方向の
変位によって摩擦駆動されて回転すム 発明が解決しようとする課題 超音波モータは、 圧電体と弾性基板とから成る振動体
に数ミクロン程度の振幅の撓み振動の進行波を励振し 
この進行波による横方向変位を突起体で拡大して、突起
体先端に加圧接触して設置された移動体を駆動するモー
タであム 従って、上記の様に 耐摩耗性の摩擦材を金属等の弾性
体に結合することにより移動体を構成した場合、振動体
による撓み振動の進行波を効率良く移動体に伝達するた
めに(友 摩擦材の剛性は、モータの負荷l・ルクによ
って摩擦材が横方向(進行波の進行方向)に大きく弾性
変形しないだけの剛性が必要であも また 振動体と移動体が加圧状態で相互に面接触するた
八 振動体による撓み振動の進行波を効率良く振動体に
伝達するためには 加圧接触状態での均一接触を実現す
る必要がある力(接触面に金属やセラミック等の剛性の
大きな材料を用いた場合にζ友 加圧時の縦方向の弾性
変形が小さくなり均一接触を実現することが困難であり
、騒音の発生を伴いモータ効率の低下をきたす。
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view of a conventional annular ultrasonic motor. The vibrating body 7 is a movable body composed of an elastic body 5 and a wear-resistant friction material 6 bonded together, and although it is installed in pressurized contact with the vibrating body 4, FIG. 4 is a partially cutaway perspective view of a disc-shaped ultrasonic motor. In the figure, 4a is a disc-shaped piezoelectric body 3a bonded to the bottom surface of a disc-shaped elastic substrate 2a having a plurality of protrusions 1a. The vibrating body 7a is a movable body in which a wear-resistant friction material 6a is bonded to an elastic body 5a. 5.5a
Conventionally, metals such as iron and stainless steel have been used as the material for the ultrasonic motor. Although not shown in the drawings, two sets of drive electrodes are formed on the piezoelectric body 3.3a of the moving body 7. The piezoelectric body 3.3a undergoes expansion and contraction vibration, and the elastic substrates 2, 2a act to resist expansion and contraction, so even if a traveling wave of bending vibration is excited in the vibrating body 4.4a, it will not vibrate due to the same effect as a bimetal. Any point on the surface of the body 4.4a moves in an elliptical trajectory due to the traveling wave of the bending vibration.The protrusions 1 and 1a magnify the displacement in the lateral direction (component in the direction in which the traveling wave travels) of this elliptical trajectory. The movable body 7.7a installed in pressure contact with the protrusion 1.1a of the vibrating bodies 4, 4a is frictionally driven by the enlarged lateral displacement and rotates.The problem to be solved by the invention. An ultrasonic motor excites a traveling wave of bending vibration with an amplitude of several microns in a vibrating body made of a piezoelectric material and an elastic substrate.
The lateral displacement caused by this traveling wave is magnified by the protrusion, and the motor drives the moving body installed in pressure contact with the tip of the protrusion. In order to efficiently transmit the traveling wave of bending vibration caused by the vibrating body to the moving body when the moving body is constructed by coupling it to an elastic body such as The material needs to have enough rigidity to prevent large elastic deformation in the lateral direction (the direction of travel of the traveling wave), and the vibrating body and moving body must be in surface contact with each other under pressure. In order to efficiently transmit the force to the vibrating body, it is necessary to achieve uniform contact under pressure contact (if the contact surface is made of a highly rigid material such as metal or ceramic, The elastic deformation in the vertical direction becomes small, making it difficult to achieve uniform contact, which results in noise generation and a decrease in motor efficiency.

一方上記の様に 耐摩耗性の摩擦材を金属等の弾性体に
結合することにより移動体を構成した場合においてkj
i!擦材の厚みを薄くした際にはモータの加圧力によっ
ても異なる力丈 騒音の発生を伴いモータ効率の低下を
起こす場合があったこれ(友 摩擦材の厚みを薄くする
ことで、移動体の縦方向の弾性変形が小さくなり、均一
接触が実現できなくなることと、不要振動に対する機械
的品質係数(Q、)が大きくなることに起因するものと
思われる力(実用上大きな課題となムさら1二 上記の
様へ 耐摩耗性の摩擦材を金属等の弾性体に結合するこ
とにより移動体を構成した場合、金属材料は比重が大き
いた八 移動体の重量が大きくなり、結果としてモータ
の総重量が大きくなることにより、超音波モータの軽量
化を図る際に 限界が生じてくム 本発明(訳 かかる点に鑑みてなされたもので、均一接
触を実現してモータ効率を向上し 移動体の部品点数の
削減及び接着工程の省略による製造工程の簡略化と同時
にモータ重量の軽量化を目的とするものである。
On the other hand, when a moving body is constructed by bonding a wear-resistant friction material to an elastic body such as metal as described above, kj
i! When the thickness of the friction material is made thinner, the force length varies depending on the motor's pressurizing force.This may cause noise and a decrease in motor efficiency. This force is thought to be caused by the fact that elastic deformation in the longitudinal direction becomes smaller, making it impossible to achieve uniform contact, and increasing the mechanical quality factor (Q,) against unnecessary vibrations (which is a major problem in practice). 12 As mentioned above, when a moving body is constructed by bonding a wear-resistant friction material to an elastic body such as metal, the weight of the moving body increases because the metal material has a high specific gravity, and as a result, the motor As the total weight increases, there is a limit in reducing the weight of the ultrasonic motor.The present invention has been made in view of this problem, and improves motor efficiency by achieving uniform contact. The purpose is to simplify the manufacturing process by reducing the number of parts and omitting the bonding process, and at the same time to reduce the weight of the motor.

課題を解決するための手段 本発明Cヨ  弾性基板に圧電体を結合した振動体に 
移動体を加圧接触させ、上記振動体に撓み振動の進行波
を励振することにより上記移動体を移動させる超音波モ
ータにおいて、移動体を繊維強化樹脂複合体にて構成す
る。
Means for solving the problems The present invention
In an ultrasonic motor that moves the movable body by bringing the movable body into pressure contact and exciting a traveling wave of flexural vibration in the vibrating body, the movable body is made of a fiber-reinforced resin composite.

作用 移動体を繊維強化樹脂複合体にて構成することにより、
強化繊維により摩擦接触面の微小な範囲での剛性を高め
ることができると同時に 大きな範囲での弾性を大きく
することにより、振動体と移動体との接触面のうねりを
吸収する面補正効果を持たせ、平面性を確保することが
できるた敢振動体による撓み振動の進行波を効率良く移
動体に伝達することが可能となム また 移動体を繊維強化樹脂複合体にて構成することに
より、摩擦材を金属弾性体に結合した構成よりも移動体
の部品点数を削減すると同時に接着工程の省略による製
造工程を簡略化することができも さら番ミ  移動体を繊維強化樹脂複合体にて構成する
ことにより、摩擦材を金属弾性体に結合した構成よりも
移動体の重量を低減することができ、従って超音波モー
タの軽量化を実現することができも 実施例 以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
By constructing the action moving body from a fiber-reinforced resin composite,
The reinforced fibers can increase the rigidity of the frictional contact surface in a small range, while at the same time increasing the elasticity in a large range, which has a surface correction effect that absorbs the waviness of the contact surface between the vibrating body and the moving body. In addition, by constructing the moving body from a fiber-reinforced resin composite, it is possible to efficiently transmit the traveling wave of bending vibration from the vibration body to the moving body. Compared to a configuration in which a friction material is bonded to a metal elastic body, the number of moving body parts can be reduced, and at the same time, the manufacturing process can be simplified by omitting the bonding process.The moving body is constructed from a fiber-reinforced resin composite. By doing so, the weight of the moving body can be reduced compared to a structure in which a friction material is combined with a metal elastic body, and the weight of the ultrasonic motor can therefore be reduced. One embodiment will be described in detail.

(第1実施例) 第1図に本発明の超音波モータの第1実施例である円環
型超音波モータの主要部の外観を示す。
(First Embodiment) FIG. 1 shows the appearance of the main parts of an annular ultrasonic motor which is a first embodiment of the ultrasonic motor of the present invention.

第2図は本発明の一実施例である超音波モータの主要部
構成の部分拡大側面図であム 同図において、 23は
複数個の突起体20を有するステンレス鋼製の弾性基板
21の底面に圧電体22を貼合わせて構成した振動体で
あa さらく 24は繊維強化樹脂複合体にて構成した
移動体であり、この移動体24を振動体23に加圧接触
して設置することにより、超音波モータを構成するもの
であも 振動体23により励振された撓み振動の進行波による横
方向変位は複数個の突起体20で拡大され 加圧接触し
て設置された移動体24の駆動が行なわれも 従って、
移動体24は、 負荷トルクによって、この移動体24
の接触面が横方向に大きく弾性変形しないだけの剛性を
有すると同時番ζモータの駆動力を外部に伝達するため
に適度の機械的強度が必要である。
FIG. 2 is a partially enlarged side view of the main components of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 23 indicates the bottom surface of an elastic substrate 21 made of stainless steel and having a plurality of protrusions 20. 24 is a moving body made of a fiber-reinforced resin composite, and this moving body 24 is installed in pressure contact with the vibrating body 23. Therefore, in the ultrasonic motor, the lateral displacement due to the traveling wave of the bending vibration excited by the vibrating body 23 is magnified by the plurality of protrusions 20, and the moving body 24, which is placed in pressure contact with each other, is expanded. Even if the drive is performed,
The moving body 24 is moved by the load torque.
If the contact surface of the contact surface has enough rigidity to prevent large elastic deformation in the lateral direction, an appropriate mechanical strength is required to transmit the driving force of the ζ motor to the outside.

本実施例でCヨ  そのために移動体24を、強化繊維
を用いることで剛性を高めると同時に樹脂単独成分では
不十分な機械的強度を補うためCミ  繊維強化樹脂複
合体で構成していも 本実施例の超音波モータで1表 移動体24と振動体2
3との接触面の幅は同一であム 本実施例では 移動体24を繊維強化樹脂複合体にて構
成することにより、従来例の様な摩擦材を金属弾性体に
結合するための接着工程を必要とせず、しかも射出成慇
 圧縮成形等の方法により金型を用いて容易に成形する
ことが可能であもさらに 上記移動体構成とすることに
より、移動体24.34を従来例の様に摩擦材をステン
レス鋼製弾性体に結合して構成した同寸法の移動体に比
較して、移動体24.34の重量を少なくとも1/4以
下にすることが可能であも また 振動体と移動体との接触面のうねりを吸収する面
補正効果が得られ 平面性を確保することができるた敢
 振動体による撓み振動の進行波を効率良く移動体に伝
達すること及び安定した動作が得られ九 (第2実施例) 次1ミ 第2実施例を第3図に示す。本実施例は、円環
型ではなく円板型の超音波モータである。
In this example, the moving body 24 is constructed of a fiber-reinforced resin composite in order to increase the rigidity by using reinforcing fibers and at the same time compensate for the insufficient mechanical strength of the resin alone. Table 1 for the ultrasonic motor in the example: Moving body 24 and vibrating body 2
In this embodiment, the movable body 24 is made of a fiber-reinforced resin composite, so that the bonding process for bonding the friction material to the metal elastic body as in the conventional example can be avoided. It is possible to easily mold the movable bodies 24 and 34 using a mold using a method such as injection molding or compression molding. It is possible to reduce the weight of the moving body 24.34 to at least 1/4 or less compared to a moving body of the same size constructed by bonding a friction material to a stainless steel elastic body. A surface correction effect that absorbs the undulations of the contact surface with the moving body can be obtained, and flatness can be ensured. Traveling waves of bending vibrations caused by the vibrating body can be efficiently transmitted to the moving body, and stable operation can be achieved. 9 (Second Embodiment) Next 1 The second embodiment is shown in FIG. This embodiment is an ultrasonic motor that is not annular but a disc type.

複数個の突起体30を有するステンレス鋼製の円板形弾
性基板31の底面に圧電体32を接着することにより、
円板形振動体33が構成されていも また円板形状の移動体34ζよ 繊維強化樹脂複合体で
形成され この移動体34にステンレス鋼製の回転軸3
5を圧入した この移動体34は振動体33に加圧接触されるものであ
ム 上記の様に 移動体34を繊維強化樹脂複合体にて構成
することにより、第1実施例と同様な効果が得られ九 この移動体に必要な剛性は 超音波モータの加圧力によ
って異なるた取 繊維強化樹脂複合体に含まれる強化繊
維の含有量を調整することで、移動体の剛性を調整する
ことができる。
By bonding a piezoelectric body 32 to the bottom surface of a stainless steel disc-shaped elastic substrate 31 having a plurality of protrusions 30,
Although the disc-shaped vibrating body 33 is configured, it is also composed of a disc-shaped moving body 34ζ, which is made of a fiber-reinforced resin composite, and this moving body 34 has a rotating shaft 3 made of stainless steel.
The movable body 34 into which 5 is press-fitted is brought into pressure contact with the vibrating body 33. By constructing the movable body 34 from a fiber-reinforced resin composite as described above, the same effects as in the first embodiment can be obtained. The stiffness required for this moving body varies depending on the pressing force of the ultrasonic motor.The stiffness of the moving body can be adjusted by adjusting the content of reinforcing fibers contained in the fiber-reinforced resin composite. can.

(第3実施例) 第3実施例を第4図に示す。(Third example) A third embodiment is shown in FIG.

まず、複数個の突起体40を有するステンレス鋼製の円
環形弾性基板41の底面に圧電体42を接着することに
より、円環形振動体43を構成した 次級 図の様に突起体40表面の内周と外周との両端面
とは接触しない構成とした円環形状の繊維強化樹脂複合
体よりなる移動体44を得池 この移動体44を振動体
43に加圧接触して設置することによりで円環型超音波
モータが構成されも移動体を上記の構成とすることによ
り、突起体40の両端面の角による移動体接触面の機械
的な損傷を避けることができると同時へ この角の部分
との間欠的な接触も起こさないた敢 より均一な摩擦接
触状態を得ることができ 結果として更に効率良く出力
伝達することができるた敢 モータ効率を向上すること
が可能であも この様な突起体40の表面の内周と外周との両端面とは
接触しない構成としてL  上記の他に例えば第5図に
示すものかあも 同図(a)ζ表 突起体の幅をWとす
ると、外周部W/4と内周部W/4とは接触せず、突起
体の中心部W/2で突起体と移動体とが接触する構成と
したもQ 同図(b)は外周部W/2とは接触せず、内
周部W/8を面取りすることにより、突起体の内周側3
W/8で突起体と移動体とが接触する構成としたもα同
図(c)は内周部W/2とは接触せず、外周部W/8を
面取りすることにより、突起体の外周側3W/8で突起
体と移動体とが接触する構成としたものであり、何れの
形状であっても上記に記載したと同様な効果を得ること
ができも また内周部および外周部の逃げ幅1表 特に限定される
ものではない力(突起体の幅によっても異なる力(最小
でも0.1mm程度の逃げ幅を設けておけばよt〜 更に本実施例において叡 摩擦材の接着工程を必要とせ
哄 しかも射出成形 圧縮成形等の方法により金型を用
いて容易に成形することが可能であり、また移動体の重
量を少なくとも1/4以下にすることが可能であム (第4実施例) 第6図に第4実施例を示す。
First, a piezoelectric body 42 is bonded to the bottom surface of a stainless steel circular elastic substrate 41 having a plurality of protrusions 40 to form a circular vibrating body 43. As shown in the figure, the surface of the protrusions 40 is A movable body 44 made of an annular fiber-reinforced resin composite whose inner and outer end surfaces do not come into contact with each other is obtained. By installing this movable body 44 in pressurized contact with the vibrating body 43, Even if an annular ultrasonic motor is configured, by configuring the movable body as described above, it is possible to avoid mechanical damage to the movable body contact surface due to the corners of both end faces of the protrusion 40. It is possible to obtain a more uniform frictional contact condition, which results in more efficient output transmission.It is possible to improve motor efficiency in this way. In addition to the above, for example, the width of the protrusion 40 is defined as W as shown in Fig. 5. Then, even if the outer circumferential part W/4 and the inner circumferential part W/4 do not contact, and the protrusion and the movable body contact at the center part W/2 of the protrusion, Q. By chamfering the inner circumferential part W/8 without contacting the part W/2, the inner circumferential side 3 of the protrusion
Even if the protrusion and the movable body are in contact at W/8, α(c) shows that the protrusion does not contact the inner circumference W/2, and by chamfering the outer circumference W/8, the protrusion The structure is such that the protrusion and the movable body are in contact at 3W/8 on the outer circumferential side, and the same effect as described above can be obtained regardless of the shape. Relief width Table 1 Force that is not particularly limited (force that varies depending on the width of the protrusion (a minimum clearance width of about 0.1 mm should be provided) Moreover, it can be easily molded using a mold using methods such as injection molding and compression molding, and it is possible to reduce the weight of the moving body to at least 1/4 or less. 4th Example) FIG. 6 shows a fourth example.

第4実施例として、まず、複数個の突起体50を有する
ステンレス鋼製の円板形弾性基板51の底面に圧電体5
2を接着することにより、円板形振動体53を構成した 次I、−第5図の様に突起体50表面の内周と外周との
両端面とは接触しない構成とした円板形状の繊維強化樹
脂複合体よりなる移動体54を得た衡 この移動体54
にステンレス鋼製の回転軸55を圧入し通 この移動体54を振動体53に加圧接触して設置するこ
とにより、円板型超音波モータが構成されも また本実施例においては、 摩擦材の接着工程を必要と
せず、 しかも射出成形 圧縮成形等の方法により金型
を用いて容易に成形することが可能であり、また移動体
の重量を少なくとも1/4以下にすることが可能であム 以上 本発明の実施例について説明を行なった力丈 移
動体を構成する繊維強化樹脂複合体に含まれる強化繊維
の含有量(友 超音波モータの加圧力に応じて調整可能
であり、さらに剛性を調整するため番へ  上記繊維に
グラファイト粉末 四フッ化エチレン粉太 硫化モリブ
デン粉末 フッ化黒鉛粉末等の無機充填材を組み合わせ
ることも可能であも 発明の効果 本発明の超音波モータは、 移動体を繊維強化樹脂複合
体にて構成することにより、移動体の部品点数の削減及
び接着工程の省略による製造工程の簡略4t  モータ
重量の軽量化並びに特性の安定化を実現することができ
る。
As a fourth embodiment, first, a piezoelectric material 5 is attached to the bottom surface of a stainless steel disk-shaped elastic substrate 51 having a plurality of protrusions 50.
2, the disk-shaped vibrating body 53 is constructed. As shown in FIG. A mobile body 54 made of a fiber-reinforced resin composite was obtained. This mobile body 54
A disc-type ultrasonic motor is constructed by press-fitting a rotating shaft 55 made of stainless steel into the rotary shaft 55 and installing the movable body 54 in pressure contact with the vibrating body 53. In this embodiment, the friction material It does not require an adhesion process, and it can be easily molded using a mold by injection molding, compression molding, etc., and the weight of the moving body can be reduced to at least 1/4 or less. The content of the reinforcing fibers contained in the fiber-reinforced resin composite that constitutes the moving body can be adjusted according to the pressing force of the ultrasonic motor, and the rigidity can be further increased. It is also possible to combine the above fibers with inorganic fillers such as graphite powder, tetrafluoroethylene powder, molybdenum sulfide powder, and graphite fluoride powder. Effects of the Invention The ultrasonic motor of the present invention can be used as a moving object. By constructing the motor from a fiber-reinforced resin composite, it is possible to simplify the manufacturing process by reducing the number of moving body parts and omitting the adhesion process, reducing the weight of the 4-ton motor and stabilizing its characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の超音波モータの一実施例である円環型
超音波モータの主要構成部を一部断面で円板型超音波モ
ータの主要構成部を一部断面で示した分解斜視医 第4
図は更に他の実施例である円環型超音波モータの主要構
成部を一部断面で示した分解斜視医 第5図は第4図の
実施例における移動体の形状例を示す斜視医 第6図は
更に他の実施例である円板型超音波モータの主要構成部
を一部断面で示した分解斜視@ 第7皿 8図は従来の
円環型超音波モータの主要構成部を一部断面で示した分
解斜視図であム 1、1a、20、30.40、50・・・突起体2、2
a、 21、31.41、51・・・弾性基板3、3a
、22、32.42、52・・・圧電体4、4a、23
、33.43、53・・・振動体5、5a・・・弾性体
 6、6a・・・摩擦材、7.7a・・・移動体 24、34、44、54・・・移動体 35、55・・・回転観 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名第 図 第 図 23静体
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the main components of an annular ultrasonic motor, which is an embodiment of the ultrasonic motor of the present invention, partially in section, and the main components of a disk-type ultrasonic motor partially in section. Medicine 4th
Figure 5 shows a strabismus doctor showing an example of the shape of the movable body in the embodiment shown in Figure 4. Figure 6 is an exploded perspective view showing a partial cross-section of the main components of a disc-type ultrasonic motor, which is another embodiment. In the exploded perspective view shown in partial cross section, the arms 1, 1a, 20, 30.
a, 21, 31.41, 51... elastic substrate 3, 3a
, 22, 32. 42, 52... piezoelectric body 4, 4a, 23
, 33.43, 53... Vibrating body 5, 5a... Elastic body 6, 6a... Friction material, 7.7a... Moving body 24, 34, 44, 54... Moving body 35, 55... Name of rotational agent Patent attorney Shigetaka Awano and one other person Figure Figure 23 Still Body

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)弾性基板に圧電体を結合した振動体に、移動体を
加圧接触させ、前記振動体に撓み振動の進行波を励振す
ることにより前記移動体を移動させる超音波モータにお
いて、前記移動体を繊維強化樹脂複合体にて構成したこ
とを特徴とする超音波モータ。
(1) In an ultrasonic motor that moves a movable body by bringing a movable body into pressure contact with a vibrating body having a piezoelectric body coupled to an elastic substrate and exciting a traveling wave of bending vibration to the vibrating body, the moving body An ultrasonic motor characterized by having a body made of a fiber-reinforced resin composite.
(2)複数個の突起体を有する弾性基板に圧電体を結合
した振動体に、移動体を加圧接触させ、前記振動体に撓
み振動の進行波を励振することにより前記移動体を移動
させる超音波モータにおいて、前記移動体は、繊維強化
樹脂複合体にて構成されると共に前記振動体の突起体表
面の内周と外周との両端とは接触しない構成としたこと
を特徴とする超音波モータ。
(2) A movable body is brought into pressure contact with a vibrating body in which a piezoelectric body is coupled to an elastic substrate having a plurality of protrusions, and the movable body is moved by exciting a traveling wave of bending vibration in the vibrating body. In the ultrasonic motor, the movable body is made of a fiber-reinforced resin composite, and the inner circumference and the outer circumference of the protrusion surface of the vibrating body do not come into contact with each other. motor.
JP2157987A 1990-06-15 1990-06-15 Ultrasonic wave motor Pending JPH0449874A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2157987A JPH0449874A (en) 1990-06-15 1990-06-15 Ultrasonic wave motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2157987A JPH0449874A (en) 1990-06-15 1990-06-15 Ultrasonic wave motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0449874A true JPH0449874A (en) 1992-02-19

Family

ID=15661766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2157987A Pending JPH0449874A (en) 1990-06-15 1990-06-15 Ultrasonic wave motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0449874A (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62114481A (en) * 1985-11-13 1987-05-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH01315281A (en) * 1988-02-18 1989-12-20 Seiko Instr Inc Progressive wave motor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62114481A (en) * 1985-11-13 1987-05-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH01315281A (en) * 1988-02-18 1989-12-20 Seiko Instr Inc Progressive wave motor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5709413B2 (en) Vibration type driving device
JPS61224881A (en) Vibration wave motor
US5532540A (en) Electric motor with vibrating elements and elastic coupling
KR950002401B1 (en) Ultra-sonic motor
JPH02261073A (en) Ultrasonic motor
JPH0449874A (en) Ultrasonic wave motor
JP3279020B2 (en) Ultrasonic motor
JP3049931B2 (en) Ultrasonic motor
KR100661311B1 (en) Piezoelectric ultrasonic motor
JPS63262068A (en) Vibration wave motor
JPS63190570A (en) Ultrasonic motor
JP3001956B2 (en) Disk type ultrasonic motor
JPH0449872A (en) Ultrasonic wave motor
JP2774613B2 (en) Ultrasonic motor
US5637948A (en) Ultrasonic motor
JPH0438178A (en) Ultrasonic motor
JP3229983B2 (en) Ultrasonic motor
JP2004297872A (en) Vibration actuator and its manufacturing method
CN211448938U (en) Noise reduction device and compressor using same
JP2537217B2 (en) Vibration wave drive
JPS6377385A (en) Surface-wave motor
JPH04347583A (en) Circular type ultrasonic motor
JPH02311183A (en) Ultrasonic motor
JPS61173683A (en) Supersonic drive motor
JPH0619341Y2 (en) Ultrasonic linear motor