JPH0449543A - Hub joining device for optical information recording medium - Google Patents

Hub joining device for optical information recording medium

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Publication number
JPH0449543A
JPH0449543A JP16038190A JP16038190A JPH0449543A JP H0449543 A JPH0449543 A JP H0449543A JP 16038190 A JP16038190 A JP 16038190A JP 16038190 A JP16038190 A JP 16038190A JP H0449543 A JPH0449543 A JP H0449543A
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JP
Japan
Prior art keywords
disk substrate
hub
disk
substrate
vacuum groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP16038190A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Kikuchi
泰 菊池
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP16038190A priority Critical patent/JPH0449543A/en
Publication of JPH0449543A publication Critical patent/JPH0449543A/en
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Abstract

PURPOSE:To center a hub to the center of turning of a group of disk substrates with a high precision to easily and stably join the hub in a short time by providing a disk eccentricity correcting means which can be moved in horizontal and vertical directions, a means which detects the group or an area boundary, etc. CONSTITUTION:The outer peripheral end of a substrate 10 is brought into contact with members 210a and 210b by pressing plates 212 and 213, and the substrate 10 is sucked and fixed to a face 103 by suction from a vacuum groove 107, and a hub 20 is placed on the substrate 10. Boundary positions in four directions are obtained by a group area detecting means 300. A Z table 202 is set to the 'equal' position by a fine adjustment mechanism 201, and the substrate 10 is fixed to a placing part 206 of a Y table 205 by a suction from a groove 207. The Z table 202 is set to the 'high' position, and the eccentricity of an X table 204 is eliminated by a mechanism 203. Next, the table 202 is set to the 'equal' position and the substrate 10 is sucked to the face 103. The outer peripheral end of the substrate 10 is pressed, and the hub 20 is joined to the disk substrate 10 with an ultrasonic means 400 by welding. In this case, a projecting part 22 is fused and disappears to firmly join them.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の分野] 本発明は、光情報記録媒体のハブ接合用装置に関するも
のであり、特に、ハブの回転中心が光情報記録媒体に形
成されたグループの回転中心に精度高く合致するように
、ハブを光情報記録媒体のディスク基板に接合するため
に使用される光情報記録媒体のハブ接合用装置に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to a hub joining device for optical information recording media. The present invention relates to an apparatus for joining a hub of an optical information recording medium, which is used to join a hub to a disk substrate of an optical information recording medium in a highly accurate manner.

[発明の技術的背景] 近年において、レーザービーム等の高エネルギー密度の
ビームを用いる光情報記録媒体が開発され、実用化され
ている。この光情報記録媒体は光ディスクと称され、ビ
デオ・ディスク、オーディオ・ディスク、さらには大容
量静止画像ファイルおよび大容量コンピュータ用ディス
ク・メモリとして使用され得るものである。
[Technical Background of the Invention] In recent years, optical information recording media that use high energy density beams such as laser beams have been developed and put into practical use. This optical information recording medium is called an optical disk and can be used as a video disk, an audio disk, a large-capacity still image file, and a large-capacity computer disk memory.

光ディスクは、基本構造としてプラスチック、ガラス等
からなる円板状の透明な樹脂基板と、この−トに設けら
れた記録層とを有する。記録層が設けられた側の基板表
面には、基板の平面性の改善、記録層との接着力の向上
あるいは光ディスクの感度の向上などの点から、高分子
物質からなる下塗層または中間層が設けられていること
がある。
The basic structure of an optical disk is a disk-shaped transparent resin substrate made of plastic, glass, or the like, and a recording layer provided on this substrate. The surface of the substrate on which the recording layer is provided is coated with an undercoat layer or an intermediate layer made of a polymer material in order to improve the flatness of the substrate, improve the adhesion with the recording layer, and improve the sensitivity of the optical disc. may be provided.

現在、直径が130mm (5,25インチ)の光ディ
スクに関して、ハブ(感磁性ハブ)を用いる光情報記録
媒体がISO規格により定められている。この光ディス
クは中央に円形孔を備え、少なくとも一方に記録層が設
けられた二枚の円板状の樹脂基板が記録層を内側にして
接合されてなるエアーサンドイッチ構造の情報記録ディ
スクであって、その両面にハブが接合されている。ハブ
は、光ディスクを記録および再生装置等で回転駆動させ
る際に、光ディスクの確実な装着、固定を保証するディ
スククランプとしての役割を果たすものであり、中央に
クランピング孔を有し、金属片等の感磁性体を備えてお
り、磁力により固定される。
Currently, for optical disks with a diameter of 130 mm (5.25 inches), an optical information recording medium using a hub (magnetically sensitive hub) is defined by the ISO standard. This optical disc is an information recording disc with an air sandwich structure in which two disc-shaped resin substrates each having a circular hole in the center and a recording layer provided on at least one side are joined with the recording layer inside, Hubs are joined to both sides. The hub plays the role of a disc clamp that ensures the secure mounting and fixing of the optical disc when the optical disc is rotated by a recording/playback device, etc. It has a clamping hole in the center and is used to hold metal pieces, etc. It is equipped with a magnetically sensitive material and is fixed by magnetic force.

従って、光ディスクの製造に際しては、ハブを、その回
転中心がディスク基板に形成されたグループの回転中心
に精度高く合致するように接合しなくてはならない。
Therefore, when manufacturing an optical disk, the hub must be joined so that its center of rotation precisely matches the center of rotation of the group formed on the disk substrate.

上記のようにハブをディスクに接合する方法として、大
別すると(A)ディスク基板の中央にその中心がグルー
プの回転中心と同心になるように設けられた円形孔を基
準としてハブを嵌合させ接合する方法と、(B)ディス
ク基板のグループ又はグループ領域境界を基準にしてX
Yテーブルを利用してグループの回転中心にハブの中心
が合致するようにハブを接合する方法とがある。
The methods for joining the hub to the disk as described above can be roughly divided into (A) fitting the hub into the circular hole provided in the center of the disk substrate so that its center is concentric with the rotation center of the group; (B) X based on the group or group area boundary of the disk substrate;
There is a method of joining the hubs using a Y table so that the center of the hub matches the rotation center of the group.

上記(A)の方法は、ハブの接合自体は比較的簡単であ
るが、ディスク基板の円形孔をグループの回転中心に対
して偏心のないように、また円形孔の直径が正確になる
ように製造しなくてはならない。これに比べて上記(B
)の方法は、ディスク基板の円形孔の偏心及び直径に影
響されることなくハブを接合することができるという利
点がある。
In method (A) above, joining the hub itself is relatively simple, but it is important to ensure that the circular hole in the disk substrate is not eccentric to the rotation center of the group and that the diameter of the circular hole is accurate. must be manufactured. Compared to this, the above (B
) has the advantage that the hub can be joined without being affected by the eccentricity and diameter of the circular hole in the disk substrate.

上記(B)に属する方法を利用したものとして、特開昭
63−76131号公報に光ディスクのディスクハブ取
付装置が提案されている。
Japanese Patent Laid-Open No. 63-76131 proposes a disk hub mounting device for an optical disk that utilizes the method belonging to the above (B).

しかしながら、上記公報に記載された装置は、実用化に
際し幾つかの問題点がある。その一つは、ディスク基板
のプレグルーブが形成されている領域とプレグルーブが
形成されていない領域との境界を検出する手段にある。
However, the device described in the above publication has several problems when put into practical use. One of them is means for detecting the boundary between the region of the disk substrate where the pregroove is formed and the region where the pregroove is not formed.

即ち、上記公報に記載された装置においては、上記公報
の第2図に示されている反射率検出器202a、202
b、202c及び202dによって上記境界を検出する
のであるが、実際的には上記プレグルーブの回転中心は
偏心が10μm以内になるようにしなくてはならず、そ
のためにはディスクハブ保持部106の中心から各反射
率検出器までの距離が、該中心から202aまでの距離
−該中心から2025までの距離で、かつ該中心から2
020までの距離−該中心から202dまての距離であ
って、それらの誤差が2〜3μm以内という高精度であ
るように各反射率検出器が配置されなくてはならない。
That is, in the apparatus described in the above publication, the reflectance detectors 202a and 202 shown in FIG.
b, 202c, and 202d are used to detect the boundary, but in reality, the center of rotation of the pregroove must be eccentric within 10 μm. The distance from the center to each reflectance detector is the distance from the center to 202a - the distance from the center to 2025, and the distance from the center to 202a is
020-202d from the center, and each reflectance detector must be arranged so that the error thereof is highly accurate within 2 to 3 μm.

しかしながら、このような高精度に各反射率検出器を配
置し、環境条件の変化に影響されることなく維持するこ
とは困難である。
However, it is difficult to arrange each reflectance detector with such high precision and maintain it without being affected by changes in environmental conditions.

また、上記公報に記載された装置を使用した場合、超音
波融着接合方法によりハブをディスク基板に鯖度よく接
合することが極めて困難なことである。超音波融着接合
方法は、ディスク基板とハブとの固着が一瞬で完了する
ので量産性に優れている、液体接着剤を取り扱わないの
で接合装置のメンテナンスが容易である、ディスク基板
とハブとの接合面に異物としての接着剤が存在しないの
で光ディスクの性能が温湿度変化に影響され難い、など
の多くの利点を有しているために、ディスク基板にハブ
を接合する手段として極めて優れた方法である。しかし
ながら、上記公報に記載された装置を使用した場合に超
音波融着接合方法が利用し難いことは実用上好ましくな
い。ちなみに、−1−記公報にはハブの接合手段として
は接着剤を使用して固定する方法しか記載されていない
Furthermore, when using the apparatus described in the above-mentioned publication, it is extremely difficult to join the hub to the disk substrate with good precision using the ultrasonic fusion joining method. The ultrasonic fusion bonding method is excellent for mass production because the bonding between the disk substrate and the hub is completed in an instant, and maintenance of the bonding equipment is easy because no liquid adhesive is used. This is an extremely excellent method for bonding a hub to a disk substrate, as it has many advantages, such as the fact that there is no adhesive as a foreign substance on the bonding surface, so the performance of the optical disk is less affected by changes in temperature and humidity. It is. However, it is practically undesirable that the ultrasonic fusion bonding method is difficult to use when the apparatus described in the above publication is used. Incidentally, Publication No. 1-1 only describes a method of fixing the hub using an adhesive as a means for joining the hub.

上記公報に記載された装置を使用した場合、超音波融着
接合方法によりハブをディスク基板に精度よく接合する
ことが極めて困難である理由は次の通りである。即ち、
超音波融着の原理は、超音波電気エネルギーを機械的振
動エネルギーに変換し、同時に加圧することによってデ
ィスク基板とハブとの接合面に摩擦熱を発生させ接合面
を溶融して溶着させるものである。従って、融着時に超
音波融着機のホーンが振動するため、通常ホーンのノー
ダルポイント(振幅の最も小さな点)を0リングなどを
使用して、弾性的に保持している。
The reason why it is extremely difficult to accurately join the hub to the disk substrate by the ultrasonic fusion bonding method when using the apparatus described in the above publication is as follows. That is,
The principle of ultrasonic welding is to convert ultrasonic electrical energy into mechanical vibration energy and apply pressure at the same time to generate frictional heat on the joint surface of the disk substrate and hub, melting and welding the joint surface. be. Therefore, since the horn of the ultrasonic welding machine vibrates during welding, the nodal point (the point of the smallest amplitude) of the horn is normally held elastically using an O-ring or the like.

よって、このようなホーンの先端に仮固定されたハブを
、前記グループの回転中心に対して安定して高精度に心
出しした状態で接合させることは極めて困難である。
Therefore, it is extremely difficult to join the hub temporarily fixed to the tip of such a horn in a state where it is stably and accurately centered with respect to the rotation center of the group.

本発明老け、上記の問題点を解決するために、ディスク
基板グループの回転中心に対して高精度に心出しした状
態で、高能率で容易に安定してハブをディスク基板に接
合することができる光情報記録媒体のハブ接合用装置を
発明し、本特許出願人により既に特許出願している(特
願平1−84343号)。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention makes it possible to easily and stably join a hub to a disk substrate with high efficiency and with high precision centering with respect to the rotation center of the disk substrate group. He invented a hub joining device for optical information recording media, and the applicant of this patent has already filed a patent application (Japanese Patent Application No. 1-84343).

上記特許出願に係る発明は、ディスク基板の内周部を吸
着するための真空溝を外周部に、ハブのクランピング孔
を嵌合させるためのハブ係止突起を中心部にそれぞれ設
け、ディスク基板載置面を上端に有するスピンドル主軸
を垂直にして、ベースに固定されたスピンドルケースに
回動可能に設けて成るディスク回転手段、該ディスク基
板の外周部を吸着するための真空溝を該ディスク回転手
段を取り囲んで上端に有する、水平方向及び垂直方向に
移動可能なディスク偏心補正手段、該ディスク基板に形
成されているグループ又はグループ領域境界を検出する
手段、及びハブを超音波融着により接合する手段を少な
くとも具備したことを特徴とする光情報記録媒体のハブ
接合用装置である。
The invention according to the above patent application provides a vacuum groove on the outer circumference for adsorbing the inner circumference of the disk substrate, a hub locking protrusion for fitting the clamping hole of the hub in the center, and A disk rotating means is provided rotatably on a spindle case fixed to a base with a spindle main shaft having a mounting surface at the upper end vertically, and a vacuum groove for adsorbing the outer periphery of the disk substrate is used to rotate the disk. A horizontally and vertically movable disk eccentricity correcting means surrounding the means and having at an upper end, a means for detecting a group or group region boundary formed on the disk substrate, and a hub are joined by ultrasonic welding. An apparatus for hub joining of optical information recording media, characterized in that it comprises at least means.

このハブ接合用装置は、上記のような優れた特長を有す
るものであるが、この装置を使用して超音波融着により
ディスク基板にハブを接合する際に、場合によっては、
超音波振動がハブを通してディスク基板に伝わり、ディ
スク基板と接合装置のディスク基板載置面との間の摩擦
力が瞬間的に零に近くなり、そのときたまたまディスク
基板が横ずれを起こすことがあり、その場合はハブの偏
心が大きくなりハブの接合精度が低下する恐れがある。
Although this hub bonding device has the excellent features described above, in some cases, when bonding a hub to a disk substrate by ultrasonic welding using this device,
Ultrasonic vibrations are transmitted to the disk substrate through the hub, and the frictional force between the disk substrate and the disk substrate mounting surface of the bonding device momentarily becomes close to zero, which may cause the disk substrate to shift laterally. In that case, the eccentricity of the hub may increase and the joining accuracy of the hub may decrease.

[発明の目的] 本発明は、特殊の精度の高い、グループ又はグループ領
域検出手段を備えた接合装置を使用することなく、ディ
スク基板グループの回転中心に対して高精度に心出しし
た状態で、高能率で容易にハブをディスク基板に接合す
ることができ、しかもハブとディスク基板とを超音波融
着する際に、超音波振動によってディスク基板が横ずれ
することを1分防止し、高精度の心出し状態を確実に維
持しながら安定してハブをディスク基板に接合すること
ができる光情報記録媒体のハブ接合用装置を提供するこ
とを目的とする。
[Object of the Invention] The present invention provides a method for bonding a disk substrate group in a state in which it is centered with respect to the center of rotation of a disk substrate group with high precision, without using a bonding device equipped with a special highly accurate group or group area detection means. The hub can be easily joined to the disk substrate with high efficiency, and when the hub and the disk substrate are ultrasonically fused, the disk substrate is prevented from shifting laterally due to ultrasonic vibration for one minute, resulting in high precision. It is an object of the present invention to provide a hub joining device for an optical information recording medium that can stably join a hub to a disk substrate while reliably maintaining a centered state.

[発明の要旨] 本発明は、ディスク基板の内周部を吸着するための内円
環状真空溝が外周部に、ハブのクランピング孔を嵌合さ
せるためのハブ係止突起が中心部にそれぞれ設けられ、
ディスク基板載置面を上端に有するスピンドル主軸を垂
直にして、ベースに固定されたスピンドルケースに回動
可能に設けて成るディスク回転手段、 該ディスク回転手段を取り囲む位置に設けられた該ディ
スク基板の外周部を吸着するための外円環状真空溝、該
外円環状真空溝の外側であフて該外円環状真空溝の同一
半円内に設けられた二個のディスク基板停止部材、及び
該外円環状真空溝の外側であって該ハブ係止突起を挟ん
で該二個のディスク基板停止部材と対面する位置に設け
られたディスク基板押圧部材をF面に有する、水平方向
及び垂直方向に移動可能なディスク偏心補正手段、 該ディスク基板に形成されているグループ又はグループ
領域境界を検出する手段、並びに、ハブを超音波融着に
より接合する手段を少なくとも具備したことを特徴とす
る光情報記録媒体のハブ接合用装置である。
[Summary of the Invention] The present invention has an inner annular vacuum groove on the outer circumference for adsorbing the inner circumference of the disk substrate, and a hub locking protrusion on the center for fitting the clamping hole of the hub. established,
A disk rotating means rotatably provided on a spindle case fixed to a base with a spindle main shaft having a disk substrate mounting surface at the upper end being vertical, and a disk substrate provided at a position surrounding the disk rotating means. an outer annular vacuum groove for adsorbing the outer periphery, two disk substrate stop members provided outside the outer annular vacuum groove and within the same semicircle of the outer annular vacuum groove; The disk substrate pressing member is provided on the F side at a position outside the outer annular vacuum groove and facing the two disk substrate stopping members across the hub locking protrusion, and the disk substrate pressing member is provided in the horizontal and vertical directions. An optical information recording device comprising at least a movable disk eccentricity correction means, a means for detecting a group or group area boundary formed on the disk substrate, and a means for joining hubs by ultrasonic fusion. This is a device for hub joining of media.

[発明の詳細な記述] 本発明のハブ接合用装置を、添付した図面を参照しなが
ら詳しく説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The hub joining device of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図は、本発明の光情報記録媒体のハブ接合用装置の
一実施例を示す、一部断面概略図である。
FIG. 1 is a partially cross-sectional schematic diagram showing an embodiment of the hub joining device for optical information recording media of the present invention.

第1図において、ハブ接合装置は、ベース1に固定され
たディスク回転手段、ベース1に固定されたディスク偏
心補正手段、ディスク回転手段に載置されるディスクの
外周部の上部に配置されたグループ領域境界検出手段3
00、及びディスク回転手段の中央部の上部に配置され
た超音波融着接合手段400から構成されている。
In FIG. 1, the hub joining device includes a disk rotating means fixed to the base 1, a disk eccentricity correcting means fixed to the base 1, and a group arranged above the outer periphery of the disk placed on the disk rotating means. Area boundary detection means 3
00, and ultrasonic fusion bonding means 400 disposed above the central portion of the disk rotation means.

ディスク回転手段は、ベース1に固定されたスピンドル
ケース101にスピンドル主軸102が回動可能に軸を
垂直にして設けられており、スピンドル主軸102の上
部にはディスク基板載置面103を上面に有するディス
ク基板載置部104が設けられ、ディスク基板載置部1
04の上面の中央部にはハブ20を収容し得る大きさの
凹部105が設けられ、凹部105の中心部にはハブ2
0のクランピング孔を嵌合させるためのハブ係止突起1
06が、ディスク基板載置面103から突出してスピン
ドル主軸と同心になるように設けられてあり、ディスク
基板載置部104の上面の外周部にはディスク基板10
の内周部を吸着するための内円環状真空溝107が設け
られ、スピンドル主軸102の下部にはタイミングプー
リー108が取り付けられタイミングベルト109を介
して、モータ110により回動されるように構成されて
いる。内円環状真空溝107はスピンドル主軸102の
軸内に設けられた長孔111に連通しており、スピンド
ル主軸102の下端に取り付けられたロータリージヨイ
ント112及びホース113を介して真空ポンプ(図示
せず)により吸引されるようになフている。スピンドル
主軸102は、軸方向の移動及び横ぶれかないように高
い剛性でスピンドルケース101に取り付けることが必
要で、そのためには例えばアンギュラベアリングを使用
して取り付けることが好ましい。ハブ係止突起106の
先端部の外径は、ハブ20のクランピング孔の直径(5
,25インチの光ディスクに関しては4mm)と実質的
に同じ寸法であり、そのクリアランスは9.006mm
以内であることが好ましい。また、ハブ係止突起106
の根元部は、その先端部よりも若干(1mm程度)小さ
い外径に形成されていることが好ましい。凹部105け
、ディスク基板10の両面にハブを接合させる場合、二
枚口のハブを接合する際に先に接合したハブを収容する
ための空間であって、最初のハブ20を接合する場合に
は、凹部105にハブに相当する大きさのスペーサ11
4を入れておく。前記のようにハブ係止突起106の根
元部を、その先端部よりも若干小さい外径に形成する理
由は、二枚口のハブを接合する際にハブ係止突起106
を貫通する先に接合したハブによって、心出しのときの
ディスク基板の移動を制限しないようにするためである
。モータ110は、速度制御が容易であり、回転角度を
指定し易い点からステッピングモータが好ましい。
The disk rotation means has a spindle main shaft 102 rotatably arranged vertically in a spindle case 101 fixed to a base 1, and has a disk substrate mounting surface 103 on the upper surface of the spindle main shaft 102. A disk substrate mounting section 104 is provided, and the disk substrate mounting section 1
A recess 105 large enough to accommodate the hub 20 is provided in the center of the upper surface of the 04, and the hub 2 is placed in the center of the recess 105.
Hub locking protrusion 1 for fitting the clamping hole of 0
06 is provided so as to protrude from the disk substrate mounting surface 103 and be concentric with the spindle main axis.
A timing pulley 108 is attached to the lower part of the spindle main shaft 102 and is configured to be rotated by a motor 110 via a timing belt 109. ing. The inner annular vacuum groove 107 communicates with a long hole 111 provided in the shaft of the spindle main shaft 102, and is connected to a vacuum pump (not shown) via a rotary joint 112 and a hose 113 attached to the lower end of the spindle main shaft 102. The air is being sucked by the air. The spindle main shaft 102 needs to be attached to the spindle case 101 with high rigidity to prevent axial movement and lateral wobbling, and for this purpose, it is preferable to attach it using an angular bearing, for example. The outer diameter of the tip of the hub locking protrusion 106 is the diameter of the clamping hole of the hub 20 (5
, 4mm for a 25-inch optical disc), and its clearance is 9.006mm.
It is preferable that it is within the range. In addition, the hub locking protrusion 106
It is preferable that the root portion of the tube has an outer diameter slightly smaller (about 1 mm) than the tip portion thereof. The recess 105 is a space for accommodating the hub that was joined first when joining two hubs when joining the hubs to both sides of the disk substrate 10, and when joining the first hub 20. A spacer 11 of a size corresponding to the hub is placed in the recess 105.
Enter 4. The reason why the base of the hub locking protrusion 106 is formed to have a slightly smaller outer diameter than the tip of the hub locking protrusion 106 as described above is that when joining two-piece hubs, the hub locking protrusion 106
This is to prevent movement of the disk substrate during centering from being restricted by the previously joined hub that passes through the disk. The motor 110 is preferably a stepping motor because the speed can be easily controlled and the rotation angle can be easily specified.

ディスク偏心補正手段は、それ自体公知のXYZテーブ
ル(XYZステージ)である。即ち、ディスク偏心補正
手段は、ベース1に固定されたZ方向微動機構201に
より垂直方向に移動可能に支持されたZテーブル202
上に、X方向微動機構203が固定され更にXテーブル
204が第1図において左右水平方向に移動可能である
ように設けられており、そして、Xテーブル204上に
Y方向微動機構(図示せず)が固定され更にYテーブル
205が第1図において紙面の表裏水平方向に移動可能
であるように設けられて構成されている。Zテーブル2
02、Xテーブル204及びYテーブル205は、前記
ディスク回転手段を取り囲むようにドーナッツ状の構造
になっている。Yテーブル205のディスク基板載置部
206にはディスク基板10の外周部を吸着するための
外円環状真空溝207が設けられ、ホース208を介し
て真空ポンプ(図示せず)により吸引されるようになっ
ている。外円環状真空溝207の外側のXテーブル20
5の上面209には、ディスク基板停止部材210が固
着されている。ディスク基板停止部材210は、その外
円環状真空溝207側の面が、載置したディスク基板1
0の外周端に当接するような位置に設けられている。ま
た、ディスク基板停止部材210の上部には、外円環状
真空溝207側に下がる傾斜面211が形成されている
。この傾斜面211は、ディスク基板10を載置する際
にディスク基板10の外周部が傾斜面211を滑って、
ディスク基板10がディスク基板停止部材210の内側
に容易に入る作用をする。また、ディスク基板停止部材
2!0が設けられている部分の反対側の外円環状真空満
207の外側のXテーブル205の上面209aには、
ディスク基板押圧板支持部材212が固着されている。
The disk eccentricity correction means is a known XYZ table (XYZ stage). That is, the disk eccentricity correction means includes a Z table 202 supported movably in the vertical direction by a Z direction fine movement mechanism 201 fixed to the base 1.
An X-direction fine movement mechanism 203 is fixed on the top, and an ) is fixed, and a Y table 205 is provided so as to be movable horizontally on the front and back sides of the paper in FIG. Z table 2
02, the X table 204 and the Y table 205 have a donut-like structure so as to surround the disk rotating means. The disk substrate mounting portion 206 of the Y table 205 is provided with an outer annular vacuum groove 207 for sucking the outer circumferential portion of the disk substrate 10, and the groove is sucked by a vacuum pump (not shown) via a hose 208. It has become. X table 20 outside the outer annular vacuum groove 207
A disk substrate stop member 210 is fixed to the upper surface 209 of the disk substrate 5 . The surface of the disk substrate stopping member 210 on the outer annular vacuum groove 207 side is connected to the disk substrate 1 placed thereon.
It is provided at a position such that it comes into contact with the outer peripheral end of 0. Further, an inclined surface 211 that descends toward the outer annular vacuum groove 207 is formed on the upper part of the disk substrate stop member 210 . This inclined surface 211 allows the outer circumferential portion of the disk substrate 10 to slide on the inclined surface 211 when the disk substrate 10 is placed.
The disk substrate 10 can easily enter inside the disk substrate stop member 210. Further, on the upper surface 209a of the X table 205 outside the outer annular vacuum chamber 207 on the opposite side of the part where the disk substrate stop member 2!0 is provided,
A disk substrate pressing plate support member 212 is fixed.

ディスク基板押圧板支持部材212にはディスク基板押
圧板213が往復動可能に取り付けられ、ホース214
からの圧縮空気により、載置されたディスク基板10の
外周端を押圧できるようになっており、ディスク基板押
圧板支持部材212とディスク基板押圧板213とでデ
ィスク基板押圧部材215を構成している。
A disk substrate pressing plate 213 is reciprocatably attached to the disk substrate pressing plate support member 212, and a hose 214
The outer circumferential edge of the mounted disk substrate 10 can be pressed by the compressed air from the disk substrate 10, and the disk substrate pressing member 215 is composed of the disk substrate pressing plate support member 212 and the disk substrate pressing plate 213. .

ディスク基板押圧板213のディスク基板10との当接
部は弾性材料で形成されている。ディスク基板押圧板支
持部材212に対面する、外円環状真空溝207の外周
側のディスク基板載置部206の部分は、ディスク基板
10を載置したとき、その外周端がディスク基板10の
外周端よりも若干内側になるように、即ち、ディスク基
板10の外周部がディスク基板載置部206よりも若干
突出するように形成されている。ディスク基板停止部材
210及びディスク基板押圧板支持部材212について
は、後に更に詳細に説明する。
The contact portion of the disk substrate pressing plate 213 with the disk substrate 10 is made of an elastic material. The portion of the disk substrate mounting portion 206 on the outer circumferential side of the outer annular vacuum groove 207 that faces the disk substrate pressing plate support member 212 has an outer circumferential edge that corresponds to the outer circumferential edge of the disk substrate 10 when the disk substrate 10 is placed thereon. In other words, the outer periphery of the disk substrate 10 is formed to slightly protrude from the disk substrate mounting portion 206. The disk substrate stopping member 210 and the disk substrate pressing plate supporting member 212 will be explained in more detail later.

Zテーブル202、Xテーブル204及びXテーブル2
05のストロークは、5.25インチディスクの場合そ
れぞれ±1mm程度あればよく、分解能はXテーブル2
04及びXテーブル205について1μm程度、Zテー
ブル202について10μm程度あればよい。また、Z
テーブル202により、Xテーブル205のディスク基
板載置部206の上面は、ディスク基板載置面103と
同一水平面(「同」ポジション)、ディスク基板載置面
103よりも高い(r高」ポジション)、及びディスク
基板載置面103よりも低い(「低」ポジション)の三
個のポジションが選択できるように設定されている。5
.25インチディスクの場合については、「高」ポジシ
ョンはディスク基板載置部206の上面がディスク基板
載置面103よりも約1mm高くなり、「低」ポジショ
ンはディスク基板載置部206の上面がディスク基板載
置面103よりも約1mm低くなる。
Z table 202, X table 204 and X table 2
The stroke of 05 should be about ±1mm for each 5.25 inch disc, and the resolution is X table 2.
04 and the X table 205, and about 10 μm for the Z table 202. Also, Z
With the table 202, the upper surface of the disk substrate placement part 206 of the and lower than the disk substrate mounting surface 103 (“low” position). 5
.. In the case of a 25-inch disk, in the "high" position, the top surface of the disk substrate mounting section 206 is approximately 1 mm higher than the disk substrate mounting surface 103, and in the "low" position, the top surface of the disk substrate mounting section 206 is approximately 1 mm higher than the disk substrate mounting surface 103. It is approximately 1 mm lower than the substrate mounting surface 103.

グループ領域境界検出手段300は、ディスク基板10
の表面に形成されているグループ領域11の、グループ
が形成されていない部分との境界12を検出する手段で
ある。グループの回転中心を検出する方法としては、グ
ループ領域とグループが形成されていない部分とで光反
射率が異なるので、このように両者の反射率を測定する
ことにより上記境界を検出する方法のほか、グループ領
域の任意の一本のトラックを検出する(トラックがスパ
イラル状で形成されていても、トラックピッチは極めて
小さいのでトラックは同心円と見なすことができる)方
法もある。本発明においてはどちらの方法を採用しても
よく、前者の方法の場合には、グループ領域境界検出手
段300として、顕微鏡、ラインセンサ、CCDカメラ
、その他を使用することができ、後者の方法の場合には
、光ピツクアップその他を使用することができる。第1
図においては、グループ領域境界検出手段300として
顕微鏡+CCDカメラ+CRTデイスプレー十記憶装置
の組合せを使用している。
The group area boundary detection means 300 detects the disk substrate 10
This is a means for detecting a boundary 12 between a group area 11 formed on the surface of a group area 11 and a portion where no group is formed. As a method for detecting the center of rotation of a group, since the light reflectance is different between the group area and the part where no group is formed, the above method is used to detect the boundary by measuring the reflectance of both. There is also a method of detecting any one track in a group area (even if the tracks are formed in a spiral shape, the track pitch is extremely small, so the tracks can be considered as concentric circles). In the present invention, either method may be adopted; in the case of the former method, a microscope, line sensor, CCD camera, etc. can be used as the group area boundary detection means 300; In some cases, optical pickups and the like can be used. 1st
In the figure, a combination of a microscope, a CCD camera, a CRT display, and a storage device is used as the group area boundary detection means 300.

超音波融着接合手段400としては、一般に市販されて
いるものを使用することができる。例えば、超音波が超
音波発信器401かう発振され、コンバータ402を経
て印加ホーン403に伝達されるようになフている超音
波融着機を使用することができる。第1図に示すような
先端形状の印加ホーン403を有するものであって、ハ
ブ2゜を予め取り付けておく型のものではない。
As the ultrasonic fusion bonding means 400, those generally available on the market can be used. For example, an ultrasonic fusing machine can be used in which ultrasonic waves are generated by an ultrasonic transmitter 401 and transmitted through a converter 402 to an application horn 403. It has an application horn 403 with a tip shape as shown in FIG. 1, and is not of the type in which the hub 2° is attached in advance.

第2図は、第1図におけるディスク回転手段及びディス
ク偏心補正手段の主要部を示す上面図である。
FIG. 2 is a top view showing the main parts of the disk rotating means and disk eccentricity correcting means in FIG. 1.

第2図において、第1図に示す参照番号と同じ参照番号
は、第1図について説明したものと同じものを意味する
In FIG. 2, reference numbers that are the same as those shown in FIG. 1 have the same meanings as described with respect to FIG.

第2図において、中心部にハブ係止突起106が設けら
れ、ハブ係止突起106の周囲には四部105が設けら
れ、凹部105の周囲にはディスク基板載置面103及
び内円環状真空溝107が設けられている。
In FIG. 2, a hub locking projection 106 is provided at the center, four portions 105 are provided around the hub locking projection 106, and a disk substrate mounting surface 103 and an inner annular vacuum groove are provided around the recess 105. 107 is provided.

Yテーブルの上面209には、外円環状真空溝207の
外側(厳密には、外円環状真空溝207の外壁ともなる
ディスク基板載置部206の外側であるが、以下説明の
便宜上外円環状真空溝207の外側と言う)に、ディス
ク基板停止部材210a及びディスク基板停止部材21
0bが、それぞれその外円環状真空満207側の面が載
置したディスク基板の外周端に当接するような位置に固
着されて設けられている。また、ディスク基板停止部材
210aとディスク基板停止部材210bとは、ハブ係
止突起106の中心に対してなす角度αが90°である
ように設けられている。従って、ディスク基板停止部材
210a及びディスク基板停止部材2!Obは、外円環
状真空溝207の同一半円内(即ち、第2図の中心線■
−Hの左上半分内)に存在することになる。
The upper surface 209 of the Y table is provided with an outer annular vacuum groove 207 outside the outer annular vacuum groove 207 (strictly speaking, an outer annular vacuum groove 207 which also serves as an outer wall of the disk substrate mounting portion 206, but for the sake of explanation below, an outer annular vacuum groove 207). A disk substrate stop member 210a and a disk substrate stop member 21 are placed outside the vacuum groove 207.
0b are fixedly provided at positions such that their surfaces on the outer annular vacuum 207 side abut against the outer circumferential ends of the disk substrates placed thereon. Further, the disk substrate stopping member 210a and the disk substrate stopping member 210b are provided so that the angle α with respect to the center of the hub locking protrusion 106 is 90°. Therefore, the disk substrate stop member 210a and the disk substrate stop member 2! Ob is within the same semicircle of the outer annular vacuum groove 207 (that is, the center line ■ in FIG.
- within the upper left half of H).

ディスク基板停止部材210a及び210bは、例えば
、金属、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などのような硬質
材料で作られたものであり、例えば、螺子止め、接着な
どの手段によってYテーブルの上面209に固着されて
いる。
The disk substrate stop members 210a and 210b are made of a hard material such as metal, thermoplastic resin, thermosetting resin, etc., and are fixed to the top surface 209 of the Y table by, for example, screwing, gluing, or other means. is fixed to.

Yテーブルの上面209には、更に、ディスク基板停止
部材210aと210bとの中間の、ハブ係止突起10
6を挟んで反対側の上面209aに、ディスク基板押圧
板支持部材212が固着され設けられている。
The upper surface 209 of the Y table further includes a hub locking protrusion 10 located between the disk board stop members 210a and 210b.
A disk substrate pressing plate support member 212 is fixedly provided on the upper surface 209a on the opposite side of the disk substrate 6.

ディスク基板抑圧板支持部材212にはディスク基板押
圧板213が往復動可能に取り付けられ、ホース214
からの圧縮空気により、載置されたディスク基板の外周
端を、ディスク基板停止部材210aと210bとの中
間点に向う矢印Aの方向に押圧できるようになっている
。ディスク基板押圧板213のディスク基板10との当
接部213aは弾性材料で形成されており、裏打部21
3bに固着されている。
A disk substrate pressing plate 213 is reciprocatably attached to the disk substrate suppressing plate support member 212, and a hose 214
The compressed air from the disk substrate can press the outer peripheral edge of the mounted disk substrate in the direction of arrow A toward the midpoint between the disk substrate stop members 210a and 210b. The contact portion 213a of the disk substrate pressing plate 213 with the disk substrate 10 is made of an elastic material, and the backing portion 21
3b.

当接部213aを形成する弾性材料としては、天然ゴム
、ブタジェン系ゴム、イソプレン系ゴム、アクリロニト
リル系ゴム、ポリウレタンゴム、ブチルゴム、シリコー
ンゴムなどの合成ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
共重合体などのような、種々の加硫ゴム及び熱可塑性エ
ラストマーに何れであってもよい。特に、衝撃エネルギ
ー吸収率が大きく、損失係数(tanδ)が大きい弾性
体が好ましい。特に好ましい上記弾性材料の具体例とし
ては、ポリオールとMDIとから得られたエーテル系ポ
リウレタンであるソルポセイン(商品名、三進興産株式
会社から販売)を挙げることができる。また、裏打部2
13bの材料としては、ディスク基板停止部材210の
材料として前記例示した材料を挙げることができる。
Examples of the elastic material forming the contact portion 213a include natural rubber, butadiene rubber, isoprene rubber, acrylonitrile rubber, polyurethane rubber, butyl rubber, synthetic rubber such as silicone rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer. However, any of various vulcanized rubbers and thermoplastic elastomers may be used. In particular, an elastic body with a high impact energy absorption rate and a large loss coefficient (tan δ) is preferable. A particularly preferred example of the above-mentioned elastic material is Sorposein (trade name, sold by Sanshin Kosan Co., Ltd.), which is an ether polyurethane obtained from polyol and MDI. In addition, the backing part 2
As the material of 13b, the materials exemplified above as the material of the disk substrate stopping member 210 can be mentioned.

ディスク基板押圧部材215は、ディスク基板押圧板2
13をディスク基板の外周端に対し10kg/cm2程
度までの任意に制御された押圧力で押圧することができ
るものであることが好ましい。
The disk substrate pressing member 215 is a disk substrate pressing member 215.
13 is preferably capable of being pressed against the outer peripheral edge of the disk substrate with an arbitrarily controlled pressing force of up to about 10 kg/cm<2>.

ディスク基板押圧板213に押圧力を与える手段として
は、前記のように圧縮空気のような気体圧力を加えるこ
との他に、液体圧力を加えてもよく、バネのような機械
的手段、磁石のような電磁的手段を挙げることができる
As means for applying a pressing force to the disk substrate pressing plate 213, in addition to applying gas pressure such as compressed air as described above, liquid pressure may be applied, mechanical means such as a spring, or a magnet. For example, electromagnetic means such as

ディスク基板停止部材210のディスク基板10の外周
端との当接面は、平面、ディスク基板10の外周円弧に
合せた凹面、及び凸面の何れであってもよいが、ディス
ク基板の外周形状には一般に誤差があり、ディスク基板
停止部材210の製作の便宜上からも平面にすることが
望ましい。
The contact surface of the disk substrate stopping member 210 with the outer peripheral edge of the disk substrate 10 may be a flat surface, a concave surface matching the outer circumferential arc of the disk substrate 10, or a convex surface, but depending on the outer peripheral shape of the disk substrate, Generally, there is a margin of error, and for convenience in manufacturing the disk substrate stopping member 210, it is desirable to make it flat.

更に、ディスク基板停止部材210を一個だけ設け、そ
のディスク基板10の外周端との当接面をディスク基板
10の外周円弧に合せた凹面に形成することも考えられ
るが、ディスク基板の外周形状には一般に誤差があるこ
とと、ディスク基板押圧部材215によってディスク基
板10をディスク基板停止部材210に押し付けた際の
ディスク基板10の安定性の面から、本発明の効果を十
分達成するために、ディスク基板停止部材を二個設ける
ことが必要である。
Furthermore, it is conceivable to provide only one disk substrate stopping member 210 and to form the contact surface with the outer peripheral edge of the disk substrate 10 into a concave surface that matches the outer circumferential arc of the disk substrate 10; In order to fully achieve the effects of the present invention, in order to fully achieve the effects of the present invention, it is necessary to It is necessary to provide two substrate stops.

第2図における角度αは、60°〜150゜特に90°
〜120°であることが好ましい。
The angle α in FIG. 2 is between 60° and 150°, especially 90°.
It is preferable that it is -120 degrees.

第2図において、ディスク基板押圧部材が一個設けられ
た態様を示しているが、ディスク基板押圧部材を二〜三
個設けてもよい。
Although FIG. 2 shows an embodiment in which one disk substrate pressing member is provided, two to three disk substrate pressing members may be provided.

ディスク基板停止部材210aとディスク基板停止部材
210bとがハブ係止突起106の中心に対してなす角
度α、及びディスク基板抑圧部材215の数を変えた本
発明の装置の態様の他の例を、第3図にディスク基板停
止部材とディスク基板押圧部材とに関してのみ概略を示
す。
Another example of the aspect of the device of the present invention in which the angle α formed by the disk substrate stopping member 210a and the disk substrate stopping member 210b with respect to the center of the hub locking protrusion 106 and the number of the disk substrate suppressing members 215 is as follows. FIG. 3 schematically shows only the disk substrate stopping member and the disk substrate pressing member.

第3図の(A)は、前記角度αが90°であるようにデ
ィスク基板停止部材210a及びディスク基板停止部材
210bが設けられ、二個のディスク基板押圧部材21
5a及びディスク基板押圧部材215bが、それぞれデ
ィスク基板停止部材210a及びディスク基板停止部材
210bに対面するように設けられた態様を示している
In FIG. 3A, a disk substrate stopping member 210a and a disk substrate stopping member 210b are provided so that the angle α is 90°, and two disk substrate pressing members 21
5a and the disk substrate pressing member 215b are provided so as to face the disk substrate stopping member 210a and the disk substrate stopping member 210b, respectively.

第3図の(B)は、前記角度αが】20°であるように
ディスク基板停止部材210a及びディスク基板停止部
材210bが設けられ、−個のディスク基板押圧部材2
15が、ディスク基板停止部材210aとディスク基板
停止部材210bとの中間点に対面するように設けられ
た態様を示している。
In FIG. 3(B), a disk substrate stopping member 210a and a disk substrate stopping member 210b are provided so that the angle α is ]20°, and - disk substrate pressing members 2
Reference numeral 15 indicates a mode in which the disk substrate stopping member 210a and the disk substrate stopping member 210b are provided so as to face each other at the midpoint thereof.

第3図の(C)は、前記角度αが90°であるようにデ
ィスク基板停止部材210a及びディスク基板停止部材
210bが設けられ、二個のディスク基板押圧部材21
5a及びディスク基板押圧部材215bが、それぞれデ
ィスク基板停止部材210a及びディスク基板停止部材
210bに対面するように設けられ、更に、−個のディ
スク基板押圧部材215cが、ディスク基板停止部材2
10aとディスク基板停止部材210bとの中間点に対
面するように設けられた態様を示している。
In FIG. 3(C), a disk substrate stopping member 210a and a disk substrate stopping member 210b are provided so that the angle α is 90°, and two disk substrate pressing members 21
5a and the disk substrate pressing member 215b are provided to face the disk substrate stopping member 210a and the disk substrate stopping member 210b, respectively.
10a and the disk substrate stop member 210b are shown facing each other at an intermediate point.

次に、第1図及び第2図に示すハブ接合装置を使用して
、ディスク基板にハブを接合する方法について説明する
Next, a method of joining a hub to a disk substrate using the hub joining apparatus shown in FIGS. 1 and 2 will be described.

(1) Z方向微動機構201により2テーブル202
を「低」ポジションにする。凹部105内にスペーサ1
14を入れ、ディスク基板載置面103にディスク基板
10を第1図に示すように載せる。
(1) Two tables 202 by Z direction fine movement mechanism 201
to the "low" position. A spacer 1 is placed in the recess 105.
14, and place the disk substrate 10 on the disk substrate mounting surface 103 as shown in FIG.

(2)次いで、ディスク基板押圧部材212を作動させ
てディスク基板押圧板213によってディスク基板10
を、その外周端がディスク基板停止部材210a及び2
10bに当接するように、小さな力(例えば、2 kg
/cm2程度の圧力)で押し付ける。この際押圧力が大
き過ぎるとディスク基板に傷がつく恐れがある。
(2) Next, actuate the disk substrate pressing member 212 to press the disk substrate 10 by the disk substrate pressing plate 213.
, whose outer peripheral ends are the disk substrate stop members 210a and 2
10b, a small force (e.g. 2 kg
/cm2 pressure). At this time, if the pressing force is too large, the disk substrate may be damaged.

(3)ディスク基板10を押圧した状態で内円環状真空
溝107から吸引してディスク基板1oをディスク基板
載置面103に吸着固定する。その後押圧を解除する。
(3) While pressing the disk substrate 10, suction is applied from the inner annular vacuum groove 107 to suction and fix the disk substrate 1o to the disk substrate mounting surface 103. Then release the pressure.

ディスク基板1oの上にハブ20を載せておく。The hub 20 is placed on the disk substrate 1o.

ハブ20は、第4図にその斜視図を示すように、略円環
状であり、中心にクランピング孔21が形成され、外周
部にリング状の突起部22が形成され、反対面には感磁
性体(図示せず)が取り付けられている。ハブ20は、
突起部22を下にしクランピング孔21をハブ係止用突
起106に嵌合させてディスク基板10上に載せる。
As shown in a perspective view in FIG. 4, the hub 20 has a substantially annular shape, and has a clamping hole 21 formed in the center, a ring-shaped protrusion 22 on the outer periphery, and a sensitive plate on the opposite surface. A magnetic body (not shown) is attached. The hub 20 is
It is placed on the disk substrate 10 with the protrusion 22 facing down, the clamping hole 21 being fitted into the hub locking protrusion 106.

(4)次に、グループ領域検出手段300によりグルー
プ領域11の境界12の位置を検出し記憶させておく。
(4) Next, the position of the boundary 12 of the group area 11 is detected and stored by the group area detection means 300.

このときの境界12の位置を0°方向の境界位置(Pa
)とする。次いで、モータ110を駆動させてスピンド
ル主軸102を90゜回転させ、その時の境界12の位
置を検出し記憶させておく。この時の境界12の位置を
90°方向の境界位置(P 9o)とする。以下同様に
して90゛ずつスピンドル主軸102を回転させ、その
都度境界12の位置を検出して、18o°方向の境界位
置(P+ao)及び27o°方向の境界位置(P270
)を求める。このようにして四方向の境界位置を求める
The position of the boundary 12 at this time is the boundary position in the 0° direction (Pa
). Next, the motor 110 is driven to rotate the spindle main shaft 102 through 90 degrees, and the position of the boundary 12 at that time is detected and stored. The position of the boundary 12 at this time is defined as a boundary position in the 90° direction (P 9o). Thereafter, in the same manner, the spindle main shaft 102 is rotated by 90°, and the position of the boundary 12 is detected each time.
). In this way, the boundary positions in the four directions are determined.

これらの境界位置をCRTデイスプレーに映し出したも
のを第5図に示す。第5図において、PoとP180と
の差(Dx)の半分をX方向の偏心量δ8とし、P9゜
とP270との差(Dy )の半分をY方向の偏心量δ
、とする。
FIG. 5 shows these boundary positions projected on a CRT display. In Fig. 5, half of the difference (Dx) between Po and P180 is the eccentricity δ8 in the X direction, and half of the difference (Dy) between P9° and P270 is the eccentricity δ in the Y direction.
, and so on.

(5)次いで、2方向微動機構201によりZテーブル
202を「同」ポジションにする。外円環状真空溝20
7から吸引してディスク基板10をYテーブル205の
ディスク基板載置部206に吸着固定する。次いで内円
環状真空溝107からの吸着を止め、ディスク基板10
をディスク基板載置面103に対してフリーにする。
(5) Next, the two-direction fine movement mechanism 201 brings the Z table 202 to the "same" position. Outer annular vacuum groove 20
7 to suction and fix the disk substrate 10 to the disk substrate mounting portion 206 of the Y table 205. Next, suction from the inner annular vacuum groove 107 is stopped, and the disk substrate 10
is made free with respect to the disk substrate mounting surface 103.

(6)次いで、Z方向微動機構201により2テーブル
202をr高」ポジションにし、X方向微動機構203
を作動させて、Xテーブル204を上記(4)で求めた
偏心量δ8たけ偏心量が零になる方向に移動させ、Y方
向微動機構を作動させて、Yテーブル205を上記(り
で求めた偏心量δ7だけ偏心量が零になる方向に移動さ
せる。
(6) Next, the Z-direction fine movement mechanism 201 sets the second table 202 to the r-high position, and the X-direction fine movement mechanism 203
is activated to move the X-table 204 by the amount of eccentricity δ8 determined in (4) above in the direction in which the eccentricity becomes zero, and the Y-direction fine movement mechanism is activated to move the Y-table 205 by the amount of eccentricity δ8 determined in (4) above. It is moved by the amount of eccentricity δ7 in the direction where the amount of eccentricity becomes zero.

(7)次いで、2方向微動機構201によりZテーブル
202を「同」ポジションにし、内円環状真空溝107
からも吸引してディスク基板1oをディスク基板載置面
103に吸着固定する。
(7) Next, the two-direction fine movement mechanism 201 brings the Z table 202 to the “same” position, and the inner annular vacuum groove 107
The disk substrate 1o is also suctioned and fixed to the disk substrate mounting surface 103 by suction.

(8)次いで、再びディスク基板押圧部材215を作動
させてディスク基板押圧板213によってディスク基板
10を、その外周端がディスク基板停止部材210a及
び210bに当接させた状態で、例えば、5 kg/c
m2程度の圧力で押し付ける。
(8) Next, the disk substrate pressing member 215 is operated again, and the disk substrate 10 is pressed by the disk substrate pressing plate 213 with its outer peripheral end in contact with the disk substrate stopping members 210a and 210b, for example, 5 kg/ c.
Press with a pressure of about m2.

この際の押圧力は、ディスク基板の材料及び寸法、並び
に超音波融着の周波数及びエネルギーなどによって変わ
るが、一般に3〜7 kg/cm2であることが好まし
い。押圧力が上記範囲よりも小さいと、超音波融着の際
のディスク基板の振動を十分吸収することができないた
めに本発明の目的が十分達成されず、また押圧力が上記
範囲よりも太きいと、ディスク基板が変形する恐れがあ
る。
The pressing force at this time varies depending on the material and dimensions of the disk substrate, the frequency and energy of ultrasonic welding, etc., but is generally preferably 3 to 7 kg/cm<2>. If the pressing force is smaller than the above range, the vibration of the disk substrate during ultrasonic welding cannot be sufficiently absorbed, so that the object of the present invention cannot be fully achieved, and if the pressing force is larger than the above range. Otherwise, the disk substrate may be deformed.

(9)次いで、内円環状真空溝107及び外円環状真空
溝207&:よるディスク基板10の吸着と、ディスク
基板押圧板213による押圧とを共に行なった状態で、
超音波融着接合手段400を作動させて、常法によりハ
ブ20をディスク基板10に融着接合させる。この際突
起部22が溶融して消滅し両者は強固に接合される。
(9) Next, with the disk substrate 10 being sucked by the inner annular vacuum groove 107 and the outer annular vacuum groove 207 &: and being pressed by the disk substrate pressing plate 213,
The ultrasonic fusion bonding means 400 is activated to fusion bond the hub 20 to the disk substrate 10 using a conventional method. At this time, the protrusion 22 melts and disappears, and the two are firmly joined.

(lO)内円環状真空溝107及び外円環状真空溝20
7による吸着を解放して、ハブが接合されたディスク基
板を取り出す。
(lO) Inner annular vacuum groove 107 and outer annular vacuum groove 20
Release the adsorption by 7 and take out the disk substrate to which the hub is joined.

上記の工程によりディスク基板の片面に、ディスク基板
のグループの回転中心に正確に心出しされた状態でハブ
を接合することができる。このようにして得られたディ
スク基板の反対側の面にハブを接合するには、スペーサ
114を取り出し凹部105に接合されたハブが入るよ
うにディスク基板を載置する他は上記の方法と同様にし
てハブを接合させればよい。
Through the above process, the hub can be joined to one side of the disk substrate in a state where it is accurately centered on the center of rotation of the group of disk substrates. To bond the hub to the opposite surface of the disk substrate obtained in this way, the method is the same as described above except that the spacer 114 is removed and the disk substrate is placed so that the bonded hub is placed in the recess 105. All you have to do is connect the hub.

上記の説明から明らかなように、ディスク基板に最初に
ハブを接合させる場合には、ディスク基板載置部104
に凹部105が形成されていない装置を使用することも
できる。
As is clear from the above description, when the hub is first joined to the disk substrate, the disk substrate mounting section 104
It is also possible to use a device in which the recess 105 is not formed.

また、光ディスクは、磁性層からなる記録層が形成され
た、いわゆる光磁気ディスクであってもよい。この場合
、二枚の樹脂基板は、いわゆるエアーサンドイッチ構造
で組立てられる必要はなく、内側および外側のリング状
スペーサーも不要である。この光磁気ディスクの組立て
においても本発明の効果が発揮されることは勿論である
Further, the optical disk may be a so-called magneto-optical disk in which a recording layer made of a magnetic layer is formed. In this case, the two resin substrates do not need to be assembled in a so-called air sandwich structure, and there is no need for inner and outer ring-shaped spacers. It goes without saying that the effects of the present invention are also exhibited in the assembly of this magneto-optical disk.

また、本発明の装置を使用してハブを接合できる光ディ
スクは、磁性層からなる記録層が形成された、いわゆる
光磁気ディスクであってもよい。
Further, the optical disk to which a hub can be joined using the apparatus of the present invention may be a so-called magneto-optical disk in which a recording layer made of a magnetic layer is formed.

本発明の装置により接合できるハブ及びディスク基板と
しては、超音波融着により接合できるものであれば公知
のものが任意に利用できる。
As the hub and disk substrates that can be joined by the apparatus of the present invention, any known hub and disk substrates can be used as long as they can be joined by ultrasonic fusion.

ハブ(感磁性ハブ)は、ディスク基板と良好に接合する
ものであれば特に限定はなく、ポリカーボネート樹脂、
ポリアクリル樹脂およびアセタール樹脂等の熱可塑性樹
脂を挙げることができる。
The hub (magnetic hub) is not particularly limited as long as it bonds well with the disk substrate, and may be made of polycarbonate resin,
Mention may be made of thermoplastic resins such as polyacrylic resins and acetal resins.

また、ハブは、熱膨張係数および吸湿膨張係数を考慮し
てディスク基板と同じ材質を用いることが好ましい。
Further, it is preferable that the hub is made of the same material as the disk substrate in consideration of the coefficient of thermal expansion and the coefficient of hygroscopic expansion.

ハブ(感磁性ハブ)の構成に必要な、感磁性体は、鉄、
鉄を含む合金などの感磁性物質からなるものであるが、
さびにくい物質からなるものであることが好ましい。感
磁性体の形態は、特に限定はないが、代表的な形態とし
ては、棒状、板状、リング状等の感磁性片、さらには感
磁性体を粉状にした感磁竹粉を挙げることができる。感
磁竹粉を、ハブの材料に練り込んで、射出成形を行なう
こともできる。
The magnetically sensitive material required for the configuration of the hub (magnetically sensitive hub) is iron,
It is made of magnetically sensitive materials such as alloys containing iron,
It is preferable that it be made of a substance that does not easily rust. The form of the magnetically sensitive material is not particularly limited, but representative forms include magnetically sensitive pieces such as rods, plates, and rings, as well as magnetically sensitive bamboo powder in which the magnetically sensitive material is powdered. I can do it. Magnetically sensitive bamboo powder can also be kneaded into the hub material and then injection molded.

ディスク基板の材料は、従来より光情報記録媒体のディ
スク基板材料として用いられている各種の材料から任意
に選択することができ、ハブと同様の材料が好ましい。
The material for the disk substrate can be arbitrarily selected from various materials conventionally used as disk substrate materials for optical information recording media, and preferably the same material as the hub.

記録層が設けられる側のディスク基板表面には、平面性
の改善、接着力の向上および記録層の変質の防止の目的
で、下塗層(および/または中間層)が設けられていて
もよい。
An undercoat layer (and/or intermediate layer) may be provided on the surface of the disk substrate on the side where the recording layer is provided for the purpose of improving flatness, increasing adhesive strength, and preventing deterioration of the recording layer. .

記録層に用いられる材料の例としては、Te、Zn、I
n、Sn、Zr、All、Ti%Cu。
Examples of materials used for the recording layer include Te, Zn, I
n, Sn, Zr, All, Ti%Cu.

Ge、Au%Pt等の金属;Bi、As、Sb等の半金
属:Si等の半導体:およびこれらの合金またはこれら
の組合わせを挙げることができる。
Examples include metals such as Ge and Au%Pt; metalloids such as Bi, As, and Sb; semiconductors such as Si; and alloys thereof, or combinations thereof.

また、これらの金属、半金属または半導体の硫化物、酸
化物、ホウ化物、ケイ素化合物、炭化物および窒化物等
の化合物:およびこれらの化合物と金属との混合物も記
録層に用いることができる。
Compounds such as sulfides, oxides, borides, silicon compounds, carbides, and nitrides of these metals, semimetals, or semiconductors; and mixtures of these compounds and metals can also be used in the recording layer.

あるいは、色素、色素とポリマー、色素と前掲の金属お
よび半金属との組合わせを利用することもできる。
Alternatively, combinations of dyes, dyes and polymers, and dyes and the aforementioned metals and metalloids can also be used.

記録層には、さらに記録層材料として公知の各種の金属
、半金属あるいはそれらの化合物などが含有されていて
もよい。
The recording layer may further contain various known metals, semimetals, or compounds thereof as recording layer materials.

記録層は、上記材料を蒸着、スパッタリング、イオンブ
レーティング、塗布などの方法により基板−Fに直接に
または下塗層を介して形成することができる。
The recording layer can be formed on the substrate-F directly or via an undercoat layer by using the above-mentioned materials by vapor deposition, sputtering, ion blasting, coating, or the like.

[接合例] 第1図及び第2図に示す装置を使用して、前記のような
方法で、5.25インチのディスク基板の表裏の両面に
ハブを超音波融着法により接合した。
[Joining Example] Using the apparatus shown in FIGS. 1 and 2, hubs were bonded to both the front and back surfaces of a 5.25-inch disk substrate by ultrasonic fusion in the manner described above.

同一条件で接合した100枚のディスクについて、ハブ
の偏心量を測定した。その結果を下記に示す。
The eccentricity of the hub was measured for 100 disks joined under the same conditions. The results are shown below.

’s    m上  −皿盈一 0〜5未満     35 5〜10未満    46 10〜15未満    16 15〜20未満     3 20〜25未満     0 25以上     0 [比較接合例1] 接合例において使用した装置を使用し、ディスク基板押
圧板支持部材212を作動させず、即ち、前記の方法で
(2)に於けるディスク基板の押圧、及び(8)と(9
)とに於けるディスク基板の押圧を行なわなかった他は
、接合例における方法と同様の方法で、5.25インチ
のディスク基板の表裏の両面にハブを超音波融着法によ
り接合した。 従って、この例は、ディスク基板押圧部
材及びディスク基板停止部材が設けられていない装置を
使用したものと同じ接合例を示すものである。
's m top - Plate plate 0 to less than 5 35 5 to less than 10 46 10 to less than 15 16 15 to less than 20 3 20 to less than 25 0 25 or more 0 [Comparative joining example 1] Using the device used in the joining example However, the disc substrate pressing plate support member 212 is not operated, that is, the pressing of the disc substrate in (2), and (8) and (9) is performed in the above method.
) Hubs were bonded to both the front and back surfaces of a 5.25-inch disk substrate by ultrasonic welding in the same manner as in the bonding example except that the disk substrates were not pressed in step 2). Therefore, this example shows the same joining example using the apparatus without the disk substrate pressing member and the disk substrate stopping member.

同一条件で接合した100枚のディスクについて、ハブ
の偏心量を測定した。その結果を下記に示す。
The eccentricity of the hub was measured for 100 disks joined under the same conditions. The results are shown below.

’s     m     J目【− 0〜5未満     19 5〜10未満    31 10〜15未満    18 15〜20未満    15 20〜25未満    11 25以上     6 接合例と比較接合例1との結果の比較から明らかなよう
に、比較接合例1においては、6枚が偏心量25μm以
上(ISO規格外)であって実用に供し得ないものであ
り、偏心量25μm未満のものであっても広範囲にばら
ついており偏心量も大きく接合精度が悪いのに対し、本
発明の装置を使用して接合した接合例においては、全て
偏心量が20μm未満であり、偏心量10μm未満が8
1枚あり、極めて接合精度が優れている。
's m Jth [- 0 to less than 5 19 5 to less than 10 31 10 to less than 15 18 15 to less than 20 15 20 to less than 25 11 25 or more 6 It is clear from the comparison of the results of the joining example and comparative joining example 1 As shown, in Comparative Joining Example 1, six sheets had an eccentricity of 25 μm or more (outside the ISO standard) and could not be put to practical use, and even those with an eccentricity of less than 25 μm varied over a wide range and had eccentricity. The amount of eccentricity is large and the joining accuracy is poor, whereas in all the joining examples bonded using the device of the present invention, the amount of eccentricity is less than 20 μm, and the amount of eccentricity of less than 10 μm is 8
There is only one piece, and the joining accuracy is extremely excellent.

[比較接合例2] 第6図に示すような、印加ホーン403°の中心にハブ
係止用ピン404が設けられた超音波融着機と、第1図
に示すようなハブ係止突起106がなくzテーブルのな
い通常のXYテーブルとを使用して、ハブを印加ホーン
403°に磁力で仮固定させた状態で、前記[比較接合
例1]と同様にして(ディスク基板押圧部材を使用しな
いで)ディスク基板10°の表裏の両面にハブを超音波
融着法により接合した。
[Comparative joining example 2] An ultrasonic welding machine having a hub locking pin 404 at the center of the application horn 403° as shown in FIG. 6, and a hub locking protrusion 106 as shown in FIG. Using an ordinary XY table without a z-table and with the hub temporarily fixed to the application horn 403° by magnetic force, the process was carried out in the same manner as in [Comparative joining example 1] (using the disc substrate pressing member). Hubs were bonded to both the front and back surfaces of the disk substrate at a 10° angle by ultrasonic fusion.

同一条件で接合した30枚のディスクについて、ハブの
偏心量を測定した。その結果を下記に示す。
The eccentricity of the hub was measured for 30 disks joined under the same conditions. The results are shown below.

”%m−−−−イv(−1がζ−−−−0〜5未満  
    2 5〜10未満     5 10〜15未満     4 15〜20未満     7 20〜25未満     3 25以上     9 接合例と比較接合例2との結果の比較から明らかなよう
に、比較接合例2においては、9枚(30%)が偏心量
25μm以上であって実用に供し得ないものであり、偏
心量25μm未満のものであっても広範囲にばらついて
おり接合精度が悪いものであった。
"%m----Iv(-1 is ζ----0 to less than 5
2 5 to less than 10 5 10 to less than 15 4 15 to less than 20 7 20 to less than 25 3 25 or more 9 As is clear from the comparison of the results of the joining example and comparative joining example 2, in comparative joining example 2, 9 (30%) had an eccentricity of 25 μm or more and could not be put to practical use, and even those with an eccentricity of less than 25 μm varied over a wide range and had poor joining accuracy.

[発明の効果] 本発明の光情報記録媒体のハブ接合用装置は、前記のよ
うに優れた特長を有する超音波融着接合方法を使用しな
がらも、超音波融着ホーンの振動に影響されることなく
、ディスク基板の孔の精度に左右されることなく、ディ
スク基板のグループの回転中心に対してハブを高精度に
心出しした状態で、短時間で容易に安定してハブをディ
スク基板に接合することができ、しかも傷のない優れた
品質のディスクを製造できるという顕著に優れた効果を
奏することができる。
[Effects of the Invention] Although the hub joining device for optical information recording media of the present invention uses the ultrasonic fusion joining method which has the excellent features as described above, it is not affected by the vibrations of the ultrasonic fusion horn. The hub can be easily and stably attached to the disk board in a short period of time without being affected by the accuracy of the hole in the disk board, with the hub being precisely centered with respect to the center of rotation of the group of disk boards. Furthermore, it is possible to produce a disk of excellent quality without scratches, which is a remarkable advantage.

また、本発明の光情報記録媒体のハブ接合用装置は、グ
ループの境界を検出する手段の高精度のアライメントが
不要であるので、長期間使用しても接合精度が低下する
恐れがなく安定して使用できるという優れた効果も奏す
るものである。
Furthermore, since the hub joining device for optical information recording media of the present invention does not require highly accurate alignment of the means for detecting group boundaries, the joining accuracy is stable even after long-term use without fear of deterioration. It also has the excellent effect of being able to be used in many ways.

[実施態様項] 本発明の技術的範囲内で以下の実施態様が好ましい。[Implementation section] The following embodiments are preferred within the technical scope of the present invention.

前記ディスク基板停止部材が硬質材料で作られたもので
あり、前記ディスク基板押圧板のディスク基板との当接
部が弾性材料で作られたものであることを特徴とする請
求項1記載の光情報記録媒体のハブ接合用装置。
2. The light source according to claim 1, wherein the disk substrate stopping member is made of a hard material, and the contact portion of the disk substrate pressing plate with the disk substrate is made of an elastic material. Device for hub joining of information recording media.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の光情報記録媒体のハブ接合用装置の
一実施例を示す、一部断面概略図、第2図は、第1図に
おけるディスク回転手段及びディスク偏心補正手段の主
要部を示す上面図、第3図は、ディスク基板停止部材及
びディスク基板押圧部材に関する本発明の装置の他の態
様の概略を示す上面図、 第4図は、ハブの一例を示す斜視図、 第5図は、ディスク基板のグループ領域の境界位置を検
出した状態をCRTデイスプレーに映し出したものの概
略図、 第6図は、比較接合例2で使用した接合装置の部概略図
である。 1:ベース、 10.10° :ディスク基板、 11ニゲループ領域、  12:境界、20:ハブ、 
  21:クランピング孔、22:突起部、  23:
感磁性体、 101ニスピンドルケース、 102ニスピンドル主軸、 103:ディスク基板載置面、 104:ディスク基板載置部、 105:凹部、   106:ハブ係止突起、107:
内円環状真空溝、 108:タイミングプーリー 109:タイミングベルト、 110:モータ、   111:長孔、112:ロータ
リージヨイント、 113:ホース、   114ニスペーサ、201:Z
方向微動機構、 202 : Zテーブル、 203 : X方向微動機構、 204 : Xテーブル、 205:Yテーブル、 206:ディスク基板載置部、 207:外円環状真空溝、 208:ホース、209:
上面、 210:ディスク基板停止部材、 211:傾斜面、 212:ディスク基板押圧板支持部材、213:ディス
ク基板押圧板、 214:ホース、 215:ディスク基板押圧部材、 300ニゲル一プ領域境界検出手段、 400:超音波融着接合手段、 401:超音波発信器、 402:コンバータ、 403.403° :印加ホーン、 404:ハブ係止用ピン。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社代 理 人 弁
理士  柳 川 泰 男ば)
FIG. 1 is a partially cross-sectional schematic diagram showing an embodiment of the hub joining device for optical information recording media of the present invention, and FIG. 2 is a main part of the disk rotation means and disk eccentricity correction means in FIG. 1. 3 is a top view schematically showing another aspect of the device of the present invention regarding the disk substrate stopping member and the disk substrate pressing member; FIG. 4 is a perspective view showing an example of the hub; The figure is a schematic diagram of the detected state of the boundary position of the group area of the disk substrate projected on a CRT display, and FIG. 6 is a schematic diagram of a part of the bonding apparatus used in Comparative Bonding Example 2. 1: Base, 10.10°: Disk substrate, 11 Niger loop area, 12: Boundary, 20: Hub,
21: Clamping hole, 22: Projection, 23:
Magnetically sensitive material, 101 Nissin spindle case, 102 Nissin spindle main shaft, 103: Disc substrate mounting surface, 104: Disc substrate mounting portion, 105: Recess, 106: Hub locking protrusion, 107:
Inner annular vacuum groove, 108: Timing pulley 109: Timing belt, 110: Motor, 111: Long hole, 112: Rotary joint, 113: Hose, 114 Varnish spacer, 201: Z
Directional fine movement mechanism, 202: Z table, 203: X direction fine movement mechanism, 204: X table, 205: Y table, 206: Disk substrate mounting section, 207: Outer annular vacuum groove, 208: Hose, 209:
upper surface, 210: disk substrate stopping member, 211: inclined surface, 212: disk substrate pressing plate support member, 213: disk substrate pressing plate, 214: hose, 215: disk substrate pressing member, 300 Nigel-pu region boundary detection means, 400: Ultrasonic fusion bonding means, 401: Ultrasonic transmitter, 402: Converter, 403.403°: Application horn, 404: Hub locking pin. Patent applicant: Fuji Photo Film Co., Ltd. Representative: Yasushi Yanagawa (patent attorney)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、ディスク基板の内周部を吸着するための内円環状真
空溝が外周部に、ハブのクランピング孔を嵌合させるた
めのハブ係止突起が中心部にそれぞれ設けられ、ディス
ク基板載置面を上端に有するスピンドル主軸を垂直にし
て、ベースに固定されたスピンドルケースに回動可能に
設けて成るディスク回転手段、該ディスク回転手段を取
り囲む位置に設けられた該ディスク基板の外周部を吸着
するための外円環状真空溝、該外円環状真空溝の外側で
あって該外円環状真空溝の同一半円内に設けられた二個
のディスク基板停止部材、及び該外円環状真空溝の外側
であって該ハブ係止突起を挟んで該二個のディスク基板
停止部材と対面する位置に設けられたディスク基板押圧
部材を上面に有する、水平方向及び垂直方向に移動可能
なディスク偏心補正手段、該ディスク基板に形成されて
いるグループ又はグループ領域境界を検出する手段、並
びにハブを超音波融着により接合する手段を少なくとも
具備したことを特徴とする光情報記録媒体のハブ接合用
装置。
1. An inner annular vacuum groove for adsorbing the inner circumference of the disk substrate is provided on the outer circumference, and a hub locking protrusion for fitting the clamping hole of the hub is provided at the center, and the disk substrate is mounted. A disk rotating means is rotatably provided on a spindle case fixed to a base with a spindle main shaft having a vertical surface at the upper end, and an outer circumferential portion of the disk substrate provided at a position surrounding the disk rotating means is attracted. an outer annular vacuum groove, two disk substrate stop members provided outside the outer annular vacuum groove and within the same semicircle of the outer annular vacuum groove, and the outer annular vacuum groove; A horizontally and vertically movable disk eccentricity corrector having a disk substrate pressing member on its upper surface, which is located on the outside of the hub and faces the two disk substrate stopping members across the hub locking protrusion. 1. An apparatus for joining hubs of optical information recording media, comprising at least a means for detecting a group or a group area boundary formed on the disk substrate, and a means for joining hubs by ultrasonic welding.
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