JPH044710U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044710U JPH044710U JP4501290U JP4501290U JPH044710U JP H044710 U JPH044710 U JP H044710U JP 4501290 U JP4501290 U JP 4501290U JP 4501290 U JP4501290 U JP 4501290U JP H044710 U JPH044710 U JP H044710U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed air
- magnet coil
- semiconductor processing
- air
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体処理
装置用マグネツト・コイルを示す側面図と断面図
、第２図および第３図は従来の半導体処理装置用
マグネツト・コイルを示す側面図と断面図である
。 図において、２１ａはコイルＡ、２１ｂはコイ
ルＢ、２２は電流導入端子、２３は接続電線、２
４はボビンＡ、２５はボビンＢ、２６はボビンＣ
、２７はボビンＤ、２８は空気供給口、２９は空
気排出口、３０は流路、３１は整流支持板、３４
は支持板Ａ、３５は支持板Ｂである。なお、図中
、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
装置用マグネツト・コイルを示す側面図と断面図
、第２図および第３図は従来の半導体処理装置用
マグネツト・コイルを示す側面図と断面図である
。 図において、２１ａはコイルＡ、２１ｂはコイ
ルＢ、２２は電流導入端子、２３は接続電線、２
４はボビンＡ、２５はボビンＢ、２６はボビンＣ
、２７はボビンＤ、２８は空気供給口、２９は空
気排出口、３０は流路、３１は整流支持板、３４
は支持板Ａ、３５は支持板Ｂである。なお、図中
、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- マグネトロンＲＩＥ装置等の半導体処理装置に
用いるマグネツト・コイルにおいて、圧縮空気を
導入するための導入口と、圧縮空気を排出するた
めの排出口と、導入した空気の流れを整えるため
の整流板と、コイルの周囲全体に空気を流すため
に設けられた支持板とを有し、圧縮空気によつて
マグネツト・コイルを強制的に冷却することを特
徴とする、半導体処理装置用マグネツト・コイル
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4501290U JPH044710U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4501290U JPH044710U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044710U true JPH044710U (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=31558821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4501290U Pending JPH044710U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044710U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018235940A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 日本マグネティックス株式会社 | 電磁石 |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP4501290U patent/JPH044710U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018235940A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 日本マグネティックス株式会社 | 電磁石 |
| JP2019009272A (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-17 | 日本マグネティックス株式会社 | 電磁石 |
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