JPH044337A - Active vibration damping device - Google Patents

Active vibration damping device

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JPH044337A
JPH044337A JP10020690A JP10020690A JPH044337A JP H044337 A JPH044337 A JP H044337A JP 10020690 A JP10020690 A JP 10020690A JP 10020690 A JP10020690 A JP 10020690A JP H044337 A JPH044337 A JP H044337A
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support frame
disturbance
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supporting frame
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宏次 谷田
Mitsuru Muto
満 武藤
Kiyoko Hoshi
星 聖子
Koichi Okubo
孝一 大久保
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ISHIKAWAJIMA BOUON KOGYO KK
IHI Corp
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ISHIKAWAJIMA BOUON KOGYO KK
IHI Corp
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Abstract

PURPOSE:To obtain the constitution being compact in the whole by installing a shifting means for position-controlling a supporting frame body in a specific direction according to the detection value, between a supporting frame body and a base board, and reducing the cut-off frequency. CONSTITUTION:A payload 10 is supported in noncontact form in the three-axis direction on a supporting frame body 18 by the electro-magnetic suspensions 15 - 17. The external turbulence applied on the payload 10 is detected by shift sensors 12 - 14, and the exciting current of a controller 20 is controlled on the basis of the information. Through this control, each supporting force of the electromagnetic suspensions 15 - 17 is adjusted so that vibration is eliminated, and the transmission of the external turbulence is cut off. When a basic board 11 is shifted by receiving a large external turbulence, a screw rod 30 is revolution-operated, and the supporting frame body 18 is shifted so as to always keep a neutral position for the payload 10. Accordingly, the external turbulence in the Z-axis direction is treated by the quantity in addition of the allowable shift of the electromagnetic suspension and the stroke of a shifting means 19, and also the external turbulence in the low frequency region having the large shift quantity can be disposed of.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁気力によって支持及び防振を行う能動制振
装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an active vibration damping device that performs support and vibration isolation using magnetic force.

[従来の技術] 本出願人は先に、宇宙空間などの微小重力環境において
使用される実験装置(ペイロード)を、外乱を遮断して
適宜支持するシステム([宇宙における装置の防振・支
持機構」、特願昭61165011号、他)を提案した
[Prior Art] The present applicant has previously developed a system for properly supporting experimental equipment (payloads) used in microgravity environments such as outer space ([Vibration isolation and support mechanism for equipment in space]) that isolates disturbances and appropriately supports experimental equipment (payloads). ”, Japanese Patent Application No. 61165011, etc.).

第5図に示すように、このシステムは、ペイロード1を
ボイスコイル型電磁サスペンション2によって支持する
支持枠3と、ペイロード1に作用する外乱を加速度或い
は変位として検出するセンサ4と、このセンサ4からの
出力信号によって電磁サスペンション2に供給する励磁
電流を制御する制御部5とにより主に構成されている。
As shown in FIG. 5, this system includes a support frame 3 that supports a payload 1 by a voice coil electromagnetic suspension 2, a sensor 4 that detects disturbances acting on the payload 1 as acceleration or displacement, and a sensor 4 that detects disturbances acting on the payload 1 as acceleration or displacement. The control section 5 controls the excitation current supplied to the electromagnetic suspension 2 based on the output signal of the electromagnetic suspension 2.

第6図に示すように、電磁サスペンション2は、ペイロ
ード1に取り付けられた永久磁石6と、これに所定の間
隔を隔てて対向するコイル7とで成り、直角座標の三軸
方向に配設されている(第5図においては紙面直交方向
省略)。そしてその磁気力によってペイロード1を非接
触で支持すると共に、その支持力が励磁電流が一定なら
ば変位にかかわらす一定であることを利用し、電流値を
適宜制御することによって支持枠3の振動(外乱)がペ
イロード1に伝わるのを防ぐようになっている。
As shown in FIG. 6, the electromagnetic suspension 2 consists of a permanent magnet 6 attached to the payload 1 and a coil 7 facing the permanent magnet 6 at a predetermined distance, and is arranged in three axes of rectangular coordinates. (The direction perpendicular to the plane of the paper is omitted in FIG. 5). The payload 1 is supported by the magnetic force without contact, and the supporting force is constant regardless of displacement if the excitation current is constant, and by appropriately controlling the current value, vibration of the support frame 3 is (disturbance) is prevented from being transmitted to payload 1.

このシステムによって、航空機、ロケット、スペースシ
ャトルなどにおける微小重力環境を劣化させる外乱を遮
断でき、μ−g実験を行うことの出来る優れた環境が得
られることとなった。
This system can block disturbances that degrade the microgravity environment in aircraft, rockets, space shuttles, etc., and provides an excellent environment for conducting μ-g experiments.

[発明が解決しようとする課題] ところでこのシステムは、第7図のボード線図に示すよ
うに、外乱遮断の状態をペイロード加速度pと外乱加速
度qとの比(p/q>で表わすと、設定した遮断周波数
f。以降の周波数領域の外乱に対して能動的に作用し、
その比値を小さくさせるものである。
[Problems to be Solved by the Invention] In this system, as shown in the Bode diagram in FIG. 7, the state of disturbance interruption is expressed as the ratio of payload acceleration p to disturbance acceleration q (p/q>). The set cutoff frequency f. Actively acts on disturbances in the following frequency range,
This reduces the ratio value.

言い換えると、遮断周波数f。よりも小さい低周波振動
の外乱(第8図A参照)に対しては位置制御を行い(第
8図B参照)、大きい高周波振動(第9図A参照)に対
してはこれを遮断する(第9図B参照)ものである。即
ち、遮断周波数f。
In other words, the cutoff frequency f. Position control is performed for low-frequency vibration disturbances smaller than (see Fig. 8A) (see Fig. 8B), and is blocked for large high-frequency vibrations (see Fig. 9A) (see Fig. 8B). (see Figure 9B). That is, the cutoff frequency f.

が小さいほど、広い周波数領域に亘って振動を略完全に
遮断することができる。
The smaller the value, the more completely vibrations can be blocked over a wider frequency range.

しかしながら、遮断周波数f。と電磁サスペンション2
の許容変位δ及び外乱加速度qとの間には次式のような
関係かある。
However, the cutoff frequency f. and electromagnetic suspension 2
There is a relationship between the allowable displacement δ and the disturbance acceleration q as shown in the following equation.

fo −1/2π×F互フ]1 ・・・■従って、遮断
周波数f。を小さくしようとすると許容変位δが大きく
なると共に、外乱加速度qが大きい場合にもそれたけ許
容変位δが大きくならざるを得ない。このため外乱が大
きい場合には、遮断周波数f。を小さくすると、許容変
位δの大きい電磁サスペンション2を有した長大なシス
テムになってしまうという問題があった。
fo −1/2π×F]1...■Therefore, the cutoff frequency f. If an attempt is made to reduce the allowable displacement δ, the allowable displacement δ increases, and even when the disturbance acceleration q is large, the allowable displacement δ inevitably increases accordingly. Therefore, when the disturbance is large, the cutoff frequency f. If .delta. is made small, there is a problem that the system becomes a long system having an electromagnetic suspension 2 with a large allowable displacement .delta..

例えば航空機によるμmg環境を例にとると、最悪の場
合1O−2Gオーダーまでの加速度外乱があり、それに
対して0.1H7,の遮断周波数f。を設定しようとす
ると、±25cmもの許容変位が必要となってくる。μ
−g実験の場合、搭載装置はできるだけコンパクトにす
る必要があるため、このように大きなストロークを要す
るシステムは現実的でない。
For example, taking the μmg environment caused by an aircraft as an example, there is an acceleration disturbance of up to 1O-2G order in the worst case, and the cutoff frequency f is 0.1H7. If you try to set this, you will need an allowable displacement of ±25 cm. μ
In the case of -g experiments, it is necessary to make the mounted equipment as compact as possible, so a system that requires such a large stroke is not realistic.

そこで本発明は、上記事情に鑑み、外乱加速度が大きい
場合にあっても遮断周波数を小さくでき、しかも全体を
コンパクトにできる能動制振装置を提供すべく創案され
たものである。
In view of the above circumstances, the present invention was devised in order to provide an active vibration damping device that can reduce the cutoff frequency even when the disturbance acceleration is large and can be made compact as a whole.

[課題を解決するための手段] 本発明は、基台に設けられる被支持体の外乱を検出する
なめの外乱検出手段と、この外乱検出手段による検出値
に基づいて励磁電流が制御される電磁サスペンションと
、この電磁サスペンションを介して被支持体を直角三軸
方向で支持する支持枠体と、この支持枠体と基台との間
に設けられ検出値により支持枠体を特定方向で位置制御
する移動手段とを備えたものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention includes a rectangular disturbance detection means for detecting disturbance of a supported object provided on a base, and an electromagnetic device in which an excitation current is controlled based on a detected value by the disturbance detection means. A suspension, a support frame that supports the supported object in three orthogonal axes directions via the electromagnetic suspension, and a system that controls the position of the support frame in a specific direction based on the detected value, which is provided between the support frame and the base. It is equipped with means of transportation.

[作 用] 上記構成によって、支持枠体は、電磁サスペンションの
磁気力により非接触で被支持体を支持すると共に、外乱
検出手段の検出値に基づいて励磁電流が制御されること
で外乱の伝達が遮断される。
[Function] With the above configuration, the support frame supports the supported object in a non-contact manner by the magnetic force of the electromagnetic suspension, and also transmits disturbance by controlling the excitation current based on the detected value of the disturbance detection means. is blocked.

そして移動手段は、特定方向の大きな加速度外乱に対し
て支持枠体を追従移動させることで、電磁サスペンショ
ンの許容変位と併せて対応し、外乱遮断作用を確保する
The moving means moves the support frame to follow a large acceleration disturbance in a specific direction, thereby responding to the permissible displacement of the electromagnetic suspension and ensuring a disturbance blocking effect.

「実施例」 以下、本発明の実施例を、添付図面に従って説明する。"Example" Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

第1図及び第2図は、本発明に係る能動制振装置の一実
施例を示したものであり、航空機に基台11を介して搭
載された場合を示している。
FIGS. 1 and 2 show an embodiment of an active vibration damping device according to the present invention, and show a case where it is mounted on an aircraft via a base 11. FIG.

この能動制振装置は、被支持体たるペイロード10の外
乱を検出するための外乱検出手段である変位センサ12
,13.14と、その検出値に基づいて励磁電流が制御
される従来同様の電磁サスペンション15,16.17
と、電磁サスペンション15・・・17を介してペイロ
ード1oを直角軸方向(X、Y、Z)で支持する支持枠
体18と、支持枠体18と基台11との間に設けられ検
出値により支持枠体18を特定方向で位置制御する移動
手段1つとにより主として構成され、さらに変位センサ
12・・・14、電磁サスペンション15・・・17及
び移動手段19に接続されたコントローラ20が備えら
れている。
This active vibration damping device includes a displacement sensor 12 which is a disturbance detection means for detecting disturbance to a payload 10 which is a supported body.
, 13.14, and conventional electromagnetic suspensions 15, 16.17 in which the excitation current is controlled based on the detected values.
, a support frame 18 that supports the payload 1o in the orthogonal axis directions (X, Y, Z) via electromagnetic suspensions 15...17, and a detection value provided between the support frame 18 and the base 11. It mainly consists of one moving means for controlling the position of the support frame 18 in a specific direction, and further includes a controller 20 connected to the displacement sensors 12...14, electromagnetic suspensions 15...17, and the moving means 19. ing.

基台11は、機体上に載置される底板21と、底板21
から直角に折り曲げられた側板22とで成り、ペイロー
ド10のz、X方向の側面を囲むようにL字形に形成さ
れている。
The base 11 includes a bottom plate 21 that is placed on the aircraft body, and a bottom plate 21 that is placed on the aircraft body.
and a side plate 22 bent at right angles, and is formed into an L-shape so as to surround the side surfaces of the payload 10 in the Z and X directions.

支持枠体18は、基台11の内方でペイロード10を囲
繞する立方体構造で成り、その各辺を形成する断面り字
状の辺材23と、各面部に一本づつ、所定の方向で辺材
23間に適宜掛は渡された合計6枚の帯板24とで形成
されている。そしてこれら帯板24に、それぞれ二個づ
つの変位センサ12・・・14及び電磁サスペンション
15・・・17が取り付けられている。なお、第1図中
には各軸−組のもののみ示しである。
The support frame 18 has a cubic structure that surrounds the payload 10 inside the base 11, and has a sap member 23 with a cross-sectional shape forming each side, and one sap member on each surface in a predetermined direction. A total of six strips 24 are provided between the sapwoods 23 to form appropriate hooks. Two displacement sensors 12...14 and two electromagnetic suspensions 15...17 are attached to each of these strip plates 24. In addition, in FIG. 1, only each axis-set is shown.

本実施例にあっては、第3図に示すように、これら各六
個の変位センサ12・・・14及び電磁サスペンション
15・・・17によって、三軸に沿う方向の相対変位と
、それぞれの軸廻りの回転変位とを検出し、六自由度の
制御を行うようになっている。
In this embodiment, as shown in FIG. 3, these six displacement sensors 12...14 and electromagnetic suspensions 15...17 measure the relative displacement along the three axes and the respective It detects rotational displacement around the axis and performs six degrees of freedom control.

例えばX軸側に設けられた変位センサ12は、X軸に沿
った変位量x、、x2を検出し、この検出値を、コント
ローラ20のX軸方向制御回路25及びY軸廻り制御回
路26の入力部に入力させる6そして回路25.26の
演算処理部27.28が、これら変位量X 1+ X 
2を比較してY軸廻りの回転変位量θyを算出すると共
に、これら検出・算出値に基づいて、該当する電磁サス
ペンション15の励磁電流を適宜出力させるようになっ
ている。
For example, the displacement sensor 12 provided on the X-axis side detects the amount of displacement x, x2 along the X-axis, and this detected value is sent to the 6 and the arithmetic processing units 27 and 28 of the circuits 25 and 26 input these displacement amounts X 1+
2 to calculate the amount of rotational displacement θy around the Y-axis, and based on these detected and calculated values, the excitation current of the corresponding electromagnetic suspension 15 is outputted as appropriate.

移動手段1つは、本実施例にあっては、機体上下方向(
X方向)に沿って形成されている。これは、第4図に示
すように、航空機によるμ−g環境においては、機体上
下方向の外乱加速度(Aに示す)が、機体前後方向の外
乱加速度及び機体左右方向(B、C)よりも−桁大きい
ことによる。
In this embodiment, one moving means moves in the vertical direction of the aircraft (
X direction). As shown in Figure 4, in the μ-g environment caused by an aircraft, the disturbance acceleration in the vertical direction of the aircraft (shown in A) is greater than the disturbance acceleration in the longitudinal direction of the aircraft and the horizontal direction (B, C) of the aircraft. -Due to orders of magnitude larger.

即ち、特に他の方向よりも大きい外乱加速度に対応させ
るべく、移動手段1つの特定方向く位置制御方向)か設
定されている。
That is, in order to cope with a disturbance acceleration that is particularly larger than other directions, a specific direction (position control direction) of one moving means is set.

第2図に示したように、移動手段1つは、基台11の側
板22にフランジ2つを介して取り付けられたネジロッ
ド30と、ネジロッド30にホールネジで螺合されてい
ると共に側板22と対面する支持枠体18の帯板24に
取り付けられたナツト体31と、ネジロッド30に連結
されたサーボモータ32とで構成されている。そしてサ
ーボモータ32は、コントローラ20によってその回転
速度、回転方向及び作動時間を調節されるようになって
いる。即ち、Z軸方向の検出値に基づいて、支持枠体1
8を位置制御するようになっている。
As shown in FIG. 2, one moving means has a threaded rod 30 attached to the side plate 22 of the base 11 via two flanges, and is screwed into the threaded rod 30 with a hole screw and faces the side plate 22. The nut body 31 is attached to the strip plate 24 of the support frame 18, and the servo motor 32 is connected to a threaded rod 30. The rotation speed, rotation direction, and operating time of the servo motor 32 are adjusted by the controller 20. That is, based on the detected value in the Z-axis direction, the support frame 1
The position of 8 is controlled.

また第1図に示したように、側板22にはネジロッド3
0を挟んでこれと並行に延長されたガイドレール33が
取り付けられ、支持枠体18にはこれと遊嵌する脚ブロ
ック34が取り付けられている。即ち、ネジロッド30
による支持枠体18の移動を安定して案内するようにな
っている。
Further, as shown in FIG. 1, the side plate 22 has a threaded rod 3.
A guide rail 33 is attached to the support frame 18 and extends parallel to the guide rail 33, and a leg block 34 is attached to the support frame 18. That is, the threaded rod 30
The movement of the support frame 18 is stably guided.

次に本実施例の作用を説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

航空機によるμ−g環境の下で、ペイロード10は電磁
サスペンション15・・・17により支持枠体18に三
軸方向で非接触に支持される。そしてペイロード10へ
の外乱は、変位センサ12・・・14によって検出され
て、その情報に基づいてコンl−ローラ20の励磁電流
が制御される。この制御により、電磁サスペンション1
5・・・17の支持力は、振動を消去するように加減さ
れ、外乱の伝達が遮断される。
Under the μ-g environment of the aircraft, the payload 10 is supported by the electromagnetic suspensions 15 . . . 17 on the support frame 18 in three axial directions without contact. Disturbances to the payload 10 are detected by the displacement sensors 12...14, and the excitation current of the control roller 20 is controlled based on the information. With this control, the electromagnetic suspension 1
The supporting forces of Nos. 5 to 17 are adjusted to eliminate vibrations, and transmission of external disturbances is blocked.

そして、特に他の方向の外乱よりも大きいZ軸方向の外
乱に対しては、移動手段19か支持枠体18を位置制御
する。即ち、基台11か大きな外乱を受けて移動した場
合には、支持枠体18とペイロード10との相対位置が
変化して電磁サスペンション17の許容変位δを越えて
しまい、接触のおそれが生じる。これに対し、ネジロッ
ド30がその変位に追従させるべく回転動作することで
、支持枠体18は、ペイロード10に対して常に中立位
置に保つように移動する。これによりZ軸方向の外乱に
対しては、電磁サスペンションの許容変位δと移動手段
19のストロークとを足し合わせた量で応じることとな
り、変位量の大きい低周波領域の外乱に対しても充分に
対応できる。
In particular, for disturbances in the Z-axis direction that are larger than disturbances in other directions, the position of the moving means 19 or the support frame 18 is controlled. That is, if the base 11 moves due to a large disturbance, the relative position between the support frame 18 and the payload 10 will change and exceed the permissible displacement δ of the electromagnetic suspension 17, creating a risk of contact. On the other hand, as the threaded rod 30 rotates to follow the displacement, the support frame 18 moves so as to be always maintained at a neutral position with respect to the payload 10. As a result, disturbances in the Z-axis direction are responded to by the sum of the permissible displacement δ of the electromagnetic suspension and the stroke of the moving means 19, which is sufficient even for disturbances in the low frequency range with large displacements. I can handle it.

このように、電磁サスペンション15・・・17を取り
付けた支持枠体18によってペイロード10を非接触で
支持し、この支持枠体18を移動手段1つによって2軸
方向に移動可能に基台11に支持させるようにしたので
、小さい遮断周波数f。
In this way, the payload 10 is supported without contact by the support frame 18 to which the electromagnetic suspensions 15 . Since it is supported, the cutoff frequency f is small.

を設定しても、移動手段1つの位置制御によって衝突な
どを未然に防ぎ、広い周波数領域に渡って外乱を遮断で
きる。
Even if set, collisions and the like can be prevented by controlling the position of one moving means, and disturbances can be blocked over a wide frequency range.

言い換えると、電磁サスペンション15・・・17を許
容変位δの大きなものにする必要がなく、能動制振装置
のサイズをコンパクトにできるものである。例えば0.
02G程度の外乱に対応するに際して、電磁サスペンシ
ョン15・・・17の許容変位を±51にしても、ネジ
ロッド30のストロークを±10On+n+とすれば、
0.511□程度の遮断周波数f。
In other words, the electromagnetic suspensions 15...17 do not need to have a large allowable displacement δ, and the size of the active vibration damping device can be made compact. For example 0.
When dealing with a disturbance of about 0.02G, even if the allowable displacement of the electromagnetic suspensions 15...17 is set to ±51, if the stroke of the threaded rod 30 is set to ±10On+n+,
The cutoff frequency f is about 0.511□.

を設定することができる。can be set.

なお、本実施例にあっては外乱検出手段として変位セン
サを示したが、加速度センサを設けてコントローラに接
続させるようにしても構わない。
In this embodiment, a displacement sensor is shown as the disturbance detection means, but an acceleration sensor may be provided and connected to the controller.

この場合、例えば第1図に示したように、ペイロードの
重心位置に加速度センサSを設けて、その加速度の方向
及び大きさを検出するようにすればよい。
In this case, for example, as shown in FIG. 1, an acceleration sensor S may be provided at the center of gravity of the payload to detect the direction and magnitude of the acceleration.

また本発明は航空機によるμmg環境だけでなく、スペ
ースシャトル或いはロケットなどによるμmg環境にも
適用できるものである。
Further, the present invention can be applied not only to a μmg environment caused by an aircraft, but also to a μmg environment caused by a space shuttle or a rocket.

[発明の効果] 以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を
発揮する。
[Effects of the Invention] In summary, according to the present invention, the following excellent effects are achieved.

被支持体の外乱を検出する外乱検出手段と、その検出値
に基づいて励磁電流が制御される電磁サスペンションと
、電磁サスペンションを介して被支持体を支持する支持
枠体と、検出値により支持枠体を位置制御する移動手段
とを備えたので、外乱加速度が大きい場合にあってもそ
の方向の位置制御を移動手段と電磁サスペンションの許
容変位とで行うことで、電磁サスペンションの遮断周波
数を小さくでき、しかも装置全体をコンパクトにできる
Disturbance detecting means for detecting disturbance of a supported object, an electromagnetic suspension whose excitation current is controlled based on the detected value, a support frame body that supports the supported object via the electromagnetic suspension, and a support frame body that supports the supported object via the electromagnetic suspension. Since it is equipped with a moving means that controls the position of the body, even when disturbance acceleration is large, the cutoff frequency of the electromagnetic suspension can be reduced by controlling the position in that direction using the moving means and the allowable displacement of the electromagnetic suspension. Moreover, the entire device can be made compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る能動制振装置の一実施例を示した
斜視図、第2図はその要部断面図、第3図は第1図の電
磁サスペンションの制御を説明するための制御回路図、
第4図は第1図の直角三軸方向の外乱加速度を示した周
波数別分布図、第5図は従来の能動制振装置なる防振・
支持機構を示した構成図、第6図はその電磁サスペンシ
ョンを示した側断面図、第7図は電磁サスペンションの
特性を説明するためのボード線図、第8図は電磁サスペ
ンションの作用を説明するための低周波振動における支
持枠加速度の時間変化図(A>及びペイロード加速度の
時間変化図(B)、第9図は同じく高周波振動における
支持枠加速度の時間変化図(A)及びペイロード加速度
の時間変化図(B)である。 図中、10は被支持体たるペイロード、11は基台、1
2,13.14は外乱検出手段たる変位センサ、15,
16.17は電磁サスペンション、18は支持枠体、1
9は移動手段である。 特許出願人 石川島播磨重工業株式会社石川島防音工業
株式会社 代理人弁理士 絹 谷 信 雄(外1名)dB 第 図
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the active vibration damping device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the main part thereof, and FIG. 3 is a control diagram for explaining the control of the electromagnetic suspension shown in FIG. 1. circuit diagram,
Figure 4 is a frequency distribution diagram showing the disturbance acceleration in the three orthogonal axes directions in Figure 1, and Figure 5 is a diagram showing the distribution of disturbance acceleration in the three orthogonal axes directions in Figure 1.
A configuration diagram showing the support mechanism, FIG. 6 is a side sectional view showing the electromagnetic suspension, FIG. 7 is a Bode diagram for explaining the characteristics of the electromagnetic suspension, and FIG. 8 is for explaining the action of the electromagnetic suspension. Fig. 9 is a time change diagram (A) of support frame acceleration under low frequency vibration and a time change diagram (B) of payload acceleration under low frequency vibration. It is a change diagram (B). In the figure, 10 is a payload as a supported body, 11 is a base, 1
2, 13. 14 is a displacement sensor serving as a disturbance detection means; 15;
16.17 is an electromagnetic suspension, 18 is a support frame, 1
9 is a means of transportation. Patent applicant: Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Ishikawajima Soundproofing Industry Co., Ltd. Representative patent attorney: Nobuo Kinutani (1 other person) dB Figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、基台に設けられる被支持体の外乱を検出するための
外乱検出手段と、該外乱検出手段による検出値に基づい
て励磁電流が制御される電磁サスペンションと、該電磁
サスペンションを介して上記被支持体を直角三軸方向で
支持する支持枠体と、該支持枠体と上記基台との間に設
けられ上記検出値により上記支持枠体を特定方向で位置
制御する移動手段とを備えたことを特徴とする能動制振
装置。
1. Disturbance detection means for detecting disturbance of the supported object provided on the base, an electromagnetic suspension whose excitation current is controlled based on the detected value by the disturbance detection means, and A support frame that supports the support in three orthogonal axes, and a moving means that is provided between the support frame and the base and controls the position of the support frame in a specific direction based on the detected value. An active vibration damping device characterized by:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5394032A (en) * 1992-03-07 1995-02-28 Robert Bosch Gmbh Programming details of a programmable circuit
WO2021225553A1 (en) * 2020-05-06 2021-11-11 Aselsan Elektroni̇k Sanayi̇ Ve Ti̇c.A.Ş. Vibration isolation system with adjustable flexibility

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