JP2941344B2 - Suction type magnetic levitation device - Google Patents

Suction type magnetic levitation device

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JP2941344B2
JP2941344B2 JP7738690A JP7738690A JP2941344B2 JP 2941344 B2 JP2941344 B2 JP 2941344B2 JP 7738690 A JP7738690 A JP 7738690A JP 7738690 A JP7738690 A JP 7738690A JP 2941344 B2 JP2941344 B2 JP 2941344B2
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levitation
magnetic
magnetic support
guide
support unit
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明平 森下
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Toshiba Corp
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  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、浮上体の支持および案内を磁気吸引力を用
いて行なう吸引式磁気浮上装置に係り、特に浮上体の支
持および案内のために必要な電磁石の数を減らし、装置
の小形化、軽量化を図れるようにするとともに装置の安
全性、信頼性の向上を図れるようにした吸引式磁気浮上
装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to a magnetic levitation apparatus that supports and guides a levitation body by using a magnetic attraction force, and in particular, supports a levitation body. Also, the present invention relates to an attraction type magnetic levitation device capable of reducing the number of electromagnets required for guidance, reducing the size and weight of the device, and improving the safety and reliability of the device.

(従来の技術) 近年、オフィスオートメーションの一環として、伝
票、書類、現金、資料等を搬送装置を用いて建屋内の複
数の地点間で移動させることが行われている。
(Related Art) In recent years, as part of office automation, slips, documents, cash, materials, and the like have been moved between a plurality of points in a building using a transport device.

このような用途に用いられる搬送装置には、搬送物を
速やかに、かつ静かに移動させる機能を備えていること
が要求される。このため、この種の搬送装置の中には、
ガイドレールに対して搬送車を非接触に支持させ、この
状態で走行させるようにしたものも考えられている。中
でも、搬送車を浮上体とし、これを磁気的に非接触支持
する吸引式磁気浮上装置を用いたものは、ガイドレール
に対する追従性や騒音、発塵防止効果に優れている。
A transport device used for such an application is required to have a function of moving a transport object quickly and quietly. For this reason, some transport devices of this type
There has also been proposed a configuration in which a carrier is supported in a non-contact manner with respect to a guide rail and travels in this state. Above all, those using a suction type magnetic levitation device that uses a carrier as a floating body and magnetically supports it in a non-contact manner are excellent in followability to a guide rail, noise and dust prevention effects.

ところで、浮上体を吸引式磁気浮上装置を用いて支持
する場合には、浮上体が、たとえばガイドレールの曲線
部を通過するときなどのように横方向の外力、つまり浮
上方向とは直交する案内方向の外力を受けたとき、如何
にして浮上体の横ゆれやヨーイングを抑制し、安定して
磁気浮上状態を維持させるかが重要となる。
By the way, when the levitation body is supported by using a suction type magnetic levitation device, when the levitation body passes through a curved portion of a guide rail, for example, a lateral external force, that is, a guide orthogonal to the levitation direction. When an external force in the direction is received, it is important how to suppress the lateral swing and yawing of the levitation body and stably maintain the magnetic levitation state.

このようなことから、従来の吸引式磁気浮上装置にあ
っては、ガイドレールに対向して設けられた浮上用電磁
石とは別に案内用電磁石を設け、この案内用電磁石を制
御することによって必要な案内力を得たり、あるいは1
支持点当りにつき2つの電磁石を設け、これら電磁石を
ガイドレールに対し左右にずらして配置するとともに各
電磁石を、そのペア毎に制御することによって支持力と
案内力とを得るようにしている。
For this reason, in the conventional suction type magnetic levitation device, a guide electromagnet is provided separately from the levitation electromagnet provided opposite to the guide rail, and necessary control is performed by controlling the guide electromagnet. Get guidance or 1
Two electromagnets are provided for each support point, and these electromagnets are arranged so as to be shifted left and right with respect to the guide rail, and each electromagnet is controlled for each pair to obtain a supporting force and a guiding force.

しかしながら、上記のように構成された従来の吸引式
磁気浮上装置にあっては、次のような問題があった。す
なわち、浮上体の浮上方向制御と案内方向制御とを独立
的に行なわせるようにしているので、多数の電磁石を必
要とする。このため、電磁石を構成要素とする磁気支持
ユニットや浮上体自身が大形化し、同時にそれらの重量
も増加することになる。この結果、浮上体を地上側から
支持するガイドレール等の構造物もその支持重量の増加
に合わせて強度を増大させなければならず、結局、装置
全体が大形化する問題があった。さらに、従来のこうし
た案内方向の制御手段では、これが故障すると浮上体の
案内が行えなくなるという問題もあった。
However, the conventional suction type magnetic levitation apparatus configured as described above has the following problems. That is, since the control of the floating direction and the control of the guiding direction of the floating body are performed independently, a large number of electromagnets are required. Therefore, the size of the magnetic support unit including the electromagnet as a constituent element and the size of the floating body itself increase, and at the same time, their weight also increases. As a result, the strength of a structure such as a guide rail for supporting the levitation body from the ground side must be increased in accordance with the increase in the weight of the support, and as a result, there has been a problem that the entire apparatus becomes large. Further, the conventional control means for the guide direction has a problem in that if the control means fails, the guide of the floating body cannot be provided.

(発明が解決しようとする課題) このように、従来の吸引式磁気浮上装置にあっては、
支持、案内方向の吸引力制御を行なうために、磁気支持
ユニットや浮上体自身の大形化、重量の増加により装置
が大形化するという問題があった。
(Problems to be solved by the invention) As described above, in the conventional suction type magnetic levitation device,
In order to control the attraction force in the supporting and guiding directions, there has been a problem that the size of the magnetic supporting unit and the levitation body itself and the weight thereof are increased, so that the device becomes large.

また、案内方向の吸引力制御を行う装置が故障する
と、浮上体の案内ができず、装置全体の信頼性、安全性
が低いという問題もあった。
In addition, if the device that controls the suction force in the guide direction fails, the floating body cannot be guided, and there is a problem that the reliability and safety of the entire device are low.

そこで、本発明は、案内方向の吸引力制御を行なくて
も浮上体を良好に案内でき、また、案内方向の吸引力制
御の有無にかかわらず浮上体を案内することができ、も
って装置の小形化、軽量化、信頼性、安全性の向上を図
れる吸引式磁気浮上装置を提供することを目的としてい
る。
Therefore, the present invention can guide the floating body satisfactorily without controlling the suction force in the guiding direction, and can guide the floating body regardless of whether the suction force control in the guiding direction is performed. It is an object of the present invention to provide a suction type magnetic levitation device which can be reduced in size, weight, reliability and safety.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、本発明の1つの好ましい
実施例に係る吸引式磁気浮上装置では、浮上体に取付け
られている電磁石を含む磁気支持ユニットを強磁性ガイ
ドに対して支持力および案内力を同時に発生するように
対向配置している。そして、浮上体の横ゆれによって発
生する浮上体のローリングが収束する位置に浮上体の重
心を配置している。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in a suction type magnetic levitation apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, a magnetic device including an electromagnet attached to a levitation body is provided. The support unit is disposed to face the ferromagnetic guide so as to simultaneously generate a support force and a guide force. The center of gravity of the levitation body is arranged at a position where the rolling of the levitation body caused by the horizontal swing of the levitation body converges.

すなわち、上記実施例に係る吸引式磁気浮上装置で
は、強磁性体で形成されたガイドと、このガイドの近傍
に配置された浮上体と、この浮上体に空隙を会して前記
ガイドに対向する関係に配置された電磁石を含む磁気支
持ユニットと、前記電磁石、電気ガイドおよび前記空隙
を通る磁気回路の状態を検出するセンサ部と、このセン
サ部の出力に基づいて前記電磁石の電磁電流を制御する
ことにより前記磁気回路を安定化させて前記浮上体を磁
気浮上させる制御系とを備え、前記浮上体が安定に磁気
浮上している際に前記浮上体を支持するための支持力と
その支持方向に対してほぼ直交する案内方向に前記浮上
体を案内するための案内力とを同時に発生するように前
記磁気支持ユニットが前記ガイドに対向して配置されて
いる吸引式磁気浮上装置において、前記制御系は前記浮
上対が案内方向に揺動し、前記ガイドに対して横変位し
たとき、揺動の速度が零となる前記横変位のピーク時点
で前記浮上対重心回りの前記支持力の変動に起因するト
ルク成分が前記浮上体の外側方向に移動する前記磁気支
持ユニットについてはその空隙長を減少させず、前記ガ
イドレールに対して前記浮上体の内側方向に移動する前
記磁気支持ユニットについてはその空隙長を増加させな
いように作用する制御手段を備え、前記横変位による前
記支持力の変動に起因する浮上体重心回りのトルク成分
と前記横変位による前記案内力の変動に起因する浮上体
重心回りのトルク成分との合成トルクが前記外側方向に
移動する前記磁気支持ユニットについてはその前記空隙
長を減少させ、前記内側方向に移動する前記磁気支持ユ
ニットについてはその前記空隙長を増加させるように作
用する位置に前記浮上体の重心があるようにしている。
That is, in the suction type magnetic levitation device according to the above-described embodiment, the guide formed of a ferromagnetic material, the floating body disposed in the vicinity of the guide, and facing the guide with a gap formed therebetween. A magnetic support unit including an electromagnet arranged in a relationship, a sensor unit for detecting a state of the electromagnet, an electric guide and a magnetic circuit passing through the gap, and controlling an electromagnetic current of the electromagnet based on an output of the sensor unit A control system for stabilizing the magnetic circuit and magnetically levitating the levitation body, and a supporting force and a supporting direction for supporting the levitation body when the levitation body is magnetically levitated stably. A magnetic levitation device in which the magnetic support unit is arranged to face the guide so as to simultaneously generate a guide force for guiding the levitation body in a guide direction substantially perpendicular to the guide. In the control system, when the levitation pair swings in the guide direction and laterally displaces with respect to the guide, the support around the center of gravity of the levitation pair at the time of the peak of the lateral displacement at which the swinging speed becomes zero. The magnetic support unit in which the torque component due to the fluctuation of the force moves in the outward direction of the levitation body does not reduce the gap length thereof and moves in the inward direction of the levitation body with respect to the guide rail. The unit is provided with control means that acts so as not to increase the gap length, and the torque component around the center of levitation weight caused by the variation of the supporting force due to the lateral displacement and the guide force caused by the lateral displacement. For the magnetic support unit in which the combined torque with the torque component around the center of gravity of the levitation moves in the outward direction, the gap length is reduced and the magnetic support unit moves in the inward direction. So that there is a center of gravity of the floating body in a position to act to increase the said gap length for serial magnetic support units.

また、本発明の他の好ましい実施例に係る吸引式磁気
浮上装置では、前記案内力に加え、前記浮上体を電磁的
に案内する補助案内手段と、この補助案内手段が故障し
た際に補助案内手段の動作を止める補助案内停止手段と
を有し、しかも補助案内手段の故障時に補助案内停止手
段でその動作を停止させても浮上体の横ゆれがそのロー
リングとともに収束するような重心位置を持つ構成とな
っている。
According to another preferred embodiment of the present invention, there is provided a suction-type magnetic levitation device, in which, in addition to the guide force, auxiliary guide means for electromagnetically guiding the levitation body, and auxiliary guide means when the auxiliary guide means fails. Auxiliary guide stopping means for stopping the operation of the means, and having a position of the center of gravity such that even if the operation is stopped by the auxiliary guide stopping means in the event of a failure of the auxiliary guide means, the horizontal swing of the floating body converges with its rolling. It has a configuration.

(作 用) 浮上体に取付けられている電磁石を含む磁気支持ユニ
ットと強磁性ガイドとの間に作用する磁気吸引力が上向
きの力(支持力)と水平方向の力(案内力)とに分解で
きるとき、浮上体の運動は強磁性ガイドに対する水平方
向の移動量(横変位)と、強磁性ガイドとの間の鉛直方
向の距離(空隙長)と、励磁電力の関数で表される電磁
石の吸引力と、浮上体に加わる外力とによって支配され
る。一方、電磁力の電磁電流は、上記距離の時間変化率
と、励磁電流の時間変化率と、電磁石励磁電圧との関数
になる。
(Operation) The magnetic attraction force acting between the magnetic support unit including the electromagnet attached to the levitating body and the ferromagnetic guide is decomposed into an upward force (support force) and a horizontal force (guide force). When possible, the movement of the levitating body depends on the horizontal displacement (lateral displacement) with respect to the ferromagnetic guide, the vertical distance between the ferromagnetic guide (gap length), and the electromagnet as a function of the excitation power. It is governed by the suction force and the external force applied to the floating body. On the other hand, the electromagnetic current of the electromagnetic force is a function of the time change rate of the distance, the time change rate of the excitation current, and the electromagnet excitation voltage.

本発明に係る吸引式磁気浮上装置の1つの例では、前
記横変位を励磁電流にフィードバックしない浮上制御で
磁気浮上している浮上体が、強磁性ガイドに対して案内
方向に揺動したとき、揺動の速度が零となる時点で、前
記浮上体重心回りの前記支持力の変動に起因するトルク
成分が浮上体外側方向に移動した磁気支持ユニットにつ
いては浮上ギャップ長を減少させず、浮上体内側方向に
移動した磁気支持ユニットについては浮上ギャップ長を
増加させないように作用する浮上制御の行った上で、横
変位による支持力の変動に起因する浮上体重心回りのト
ルクと横変位による案内力の変動に起因する浮上体重心
回りのトルクとの合成トルクが浮上体外側方向に移動す
る磁気支持ユニットの浮上ギャップ長を減少させ、浮上
体内側方向に移動する磁気支持ユニットの浮上ギャップ
長を増加させるように作用する位置に浮上体の重心位置
を設定している。
In one example of the suction-type magnetic levitation device according to the present invention, when the levitation body that is magnetically levitating by levitation control that does not feed back the lateral displacement to the excitation current swings in the guide direction with respect to the ferromagnetic guide, At the time when the swinging speed becomes zero, the magnetic support unit in which the torque component caused by the fluctuation of the supporting force around the center of gravity of the levitation has moved in the outward direction of the levitation body does not reduce the levitation gap length. For the magnetic support unit moved inward, the levitation control is performed so as not to increase the levitation gap length, and the torque around the center of gravity of the levitation weight caused by the fluctuation of the support force due to the lateral displacement and the guiding force due to the lateral displacement The combined torque with the torque around the center of gravity of the levitation caused by the fluctuation of the levitation reduces the levitation gap length of the magnetic support unit that moves in the outward direction of the levitation body, and moves in the inward direction of the levitation body. It is set the center of gravity position of the floating member in a position to act to increase the levitation gap length of the magnetic support units.

また、他の例では、上述の構成の浮上体が、これを電
磁的に案内する電磁石を含む補助案内手段と、補助案内
手段の故障時にその動作を停止させる補助案内停止手段
を有している。
Further, in another example, the floating body having the above-described configuration has auxiliary guide means including an electromagnet for electromagnetically guiding the same, and auxiliary guide stop means for stopping the operation when the auxiliary guide means fails. .

したがって、補助案内手段のない場合およびその動作
が停止している場合でも、横変位による浮上体重心回り
の前記合成トルクが、支持力の浮上制御により生じる浮
上体のローリングを抑制するように作用するので、前記
横変位を励磁電流にフィードバックしない浮上制御を用
いても浮上体のローリングを急速に減衰させることがで
きる。浮上体のローリングが減衰すると、ローリングに
より生じる案内力の変動も小さくなり、浮上体の案内方
向の揺動が収束する。この結果、案内力を制御するため
の電磁石や横変位を検出するためのセンサを必要とする
ことなく、浮上体の支持および案内を実現できることに
なり、装置全体の小形化、軽量化が可能となる。また、
補助案内手段を有する浮上体にあっては、その故障時で
も浮上体の案内方向の運動の安定性を確保でき、装置の
安全性・信頼性の向上を図ることができる。
Therefore, even when the auxiliary guide means is not provided and its operation is stopped, the resultant torque around the center of the buoyant body weight due to the lateral displacement acts to suppress the rolling of the levitation body caused by the levitation control of the support force. Therefore, even if the levitation control that does not feed back the lateral displacement to the excitation current is used, the rolling of the levitation body can be rapidly attenuated. When the rolling of the floating body is attenuated, the fluctuation of the guiding force caused by the rolling is reduced, and the swing of the floating body in the guiding direction is converged. As a result, it is possible to support and guide the floating body without the need for an electromagnet for controlling the guiding force or a sensor for detecting the lateral displacement, and it is possible to reduce the size and weight of the entire device. Become. Also,
In the case of the floating body having the auxiliary guide means, the stability of the movement of the floating body in the guiding direction can be ensured even in the event of a failure, and the safety and reliability of the device can be improved.

(実施例) 以下、図面を参照しながら実施例を説明する。第1図
乃至第4図には本発明の一実施例に係る吸引式磁気浮上
装置10aの概略構成が示されている。
(Example) Hereinafter, an example is described, referring to drawings. FIG. 1 to FIG. 4 show a schematic configuration of a magnetic attraction type magnetic levitation apparatus 10a according to an embodiment of the present invention.

これらの図において、11は断面が逆U字状に形成さ
れ、たとえばオフィス空間に障害物を避けるようにして
敷設されて軌道枠を示している。この軌道枠11の上部壁
下面には2本のガイドレール12a,12bが平行に敷設され
ている。ガイドレール12a,12bは、強磁性体で平板状に
形成されており、オフィスへの据付作業を容易化するた
め分割構造となっている。そして、各分割部材21の継目
部分Aには所定の接合処理が施されている。
In these figures, reference numeral 11 denotes a track frame formed in an inverted U-shape in section and laid in an office space so as to avoid obstacles, for example. Two guide rails 12a and 12b are laid in parallel on the lower surface of the upper wall of the track frame 11. The guide rails 12a and 12b are formed of a ferromagnetic material in a flat plate shape, and have a divided structure to facilitate installation work in an office. Then, a predetermined joining process is performed on the joint portion A of each divided member 21.

軌道枠11の側壁内面には、それぞれ断面がコ字状に形
成された非常用ガイド13a,13bが互いの解放側を対面さ
せて配置されている。ガイドレール12a,12bの下側に
は、浮上体15がガイドレール12a,12bに沿って走行自在
に配置されている。軌道枠11の上部壁下面でガイドレー
ル12a,12b間に位置する間には、第2図および第3図に
示すように、ガイドレール12a,12bに沿って所定の距離
を隔ててリニア誘導電動機に固定子16が配置されてい
る。
On the inner surface of the side wall of the track frame 11, emergency guides 13a and 13b each having a U-shaped cross section are arranged with their open sides facing each other. Under the guide rails 12a and 12b, a floating body 15 is arranged so as to be able to run along the guide rails 12a and 12b. While located between the guide rails 12a and 12b on the lower surface of the upper wall of the track frame 11, as shown in FIGS. 2 and 3, the linear induction motor is separated by a predetermined distance along the guide rails 12a and 12b. , A stator 16 is arranged.

浮上体15は次のように構成されている。すなわち、ガ
イドレール12a,12bの下面と対向するように平板状の基
台25を配置している。この基台25は、進行方向に配置さ
れた2つの分割板26a,26bと、両分割板26a,26bを進行方
向と直交する面内で回転可能に連結する回転軸と軸受か
らなる連結機構27とで構成されている。
The floating body 15 is configured as follows. That is, the flat base 25 is arranged so as to face the lower surfaces of the guide rails 12a and 12b. The base 25 includes a coupling mechanism 27 including two divided plates 26a and 26b arranged in the traveling direction, a rotary shaft and a bearing for rotatably coupling the two divided plates 26a and 26b in a plane orthogonal to the traveling direction. It is composed of

基台25の上面四隅位置には、磁気支持ユニット31a〜3
1dがそれぞれ搭載されている。これら磁気支持ユニット
31a〜31dは、第2図に示すように、ボルト32および台座
33を用いて基台25の上面に取付けられている。これら磁
気支持ユニット31a〜31dの近傍には、同ユニット31a〜3
1dとガイドレール12a,12bの下面との間の空隙長を検出
する光学的なギャップセンサ34a〜34dが取付けられてい
る。また、各分割板26a,26bの下面には、連結部材35a,3
5b,36a,36bを介して搬送物を収容するための容器37,38
がそれぞれ取付けられている。これら容器37,38の上面
には、前述した4つの磁気支持ユニット31a〜31dをそれ
ぞれ制御するための制御部41と、定電圧発生装置42と、
これらに電力を供給する小容量の電源43とが分割され、
それぞれ2組ずつ計4組搭載されている。
At the four corners of the upper surface of the base 25, the magnetic support units 31a to 31a
1d is installed respectively. These magnetic support units
31a to 31d are, as shown in FIG.
It is attached to the upper surface of the base 25 using 33. In the vicinity of these magnetic support units 31a to 31d, the units 31a to 31d
Optical gap sensors 34a to 34d for detecting a gap length between 1d and the lower surfaces of the guide rails 12a and 12b are attached. Further, on the lower surface of each of the split plates 26a, 26b, connecting members 35a, 3
Containers 37, 38 for accommodating conveyed goods via 5b, 36a, 36b
Are respectively attached. On the upper surfaces of the containers 37 and 38, a control unit 41 for controlling the above-described four magnetic support units 31a to 31d, a constant voltage generator 42,
The small-capacity power supply 43 that supplies power to these is divided,
A total of four sets are mounted, two sets each.

基台25の下面四隅位置には、磁気支持ユニット31a〜3
1dの磁気力が喪失したときに非常用ガイド13a,13bの上
下壁内面に接触して浮上体15を上下方向に支持する縦車
輪45が4つ取付けられている。また、基台25の下面四隅
位置には、浮上体15に過大な外力が加わったときなどに
非常用ガイド13a,13bの側壁内面に接触して浮上体15を
左右方向に支持する4つの横車輪47が取付けられてい
る。なお、基台25は前述したリニア誘導電動機の二次導
体を兼ねたものであり、装置の稼動時においては固定子
16と僅かのギャップを介して対向する高さに配置されて
いる。
The magnetic support units 31a to 3a are located at the four corners of the lower surface of the base 25.
Four vertical wheels 45 are mounted to contact the inner surfaces of the upper and lower walls of the emergency guides 13a and 13b to support the floating body 15 in the vertical direction when the magnetic force of 1d is lost. Also, at the four corner positions on the lower surface of the base 25, there are four lateral supports for contacting the inner surfaces of the side walls of the emergency guides 13a and 13b to support the floating body 15 in the left-right direction when an excessive external force is applied to the floating body 15. Wheels 47 are mounted. The base 25 also serves as the secondary conductor of the above-described linear induction motor, and when the apparatus is operating, the stator 25 is used.
It is arranged at a height facing 16 with a slight gap.

各磁気支持ユニット31a〜31dは、第4図に磁気支持ユ
ニット31aだけを取出し、代表して示すように、上端部
がガイドレール12a(12b)の下端面に対して外側にずれ
た状態で対向するように浮上体15の進行方向と直交する
方向に配置された2つの電磁石51,52と、これら電磁石5
1,52の各下部側面間に介在した永久磁石53とで構成され
ており、全体としてU字状に形成されている。各電磁石
51,52は、強磁性体で形成された継鉄55と、この継鉄55
に巻装されたコイル56とで構成されている。そして、電
磁石51,52の継鉄55同士の外側寸法L2は、ガイドレール1
2a(12b)の幅L1より所定だけ大きくなる関係に設定さ
れている。各コイル56は、電磁石51,52によって形成さ
れる磁束が互いに加算されるように直列に接続されてい
る。上記構成から判るように、この実施例では磁気支持
ユニット31a〜31dとガイドレール12a,12bとの間に発生
する案内力が浮上体15の内側に向かって作用するように
なっている。
Each of the magnetic support units 31a to 31d takes out only the magnetic support unit 31a in FIG. 4 and, as representatively shown, faces the lower end surface of the guide rail 12a (12b) with its upper end shifted outward. And two electromagnets 51 and 52 arranged in a direction orthogonal to the traveling direction of the levitating body
1, 52 and a permanent magnet 53 interposed between the lower side surfaces, and is formed in a U-shape as a whole. Each electromagnet
51 and 52 are a yoke 55 formed of a ferromagnetic material and the yoke 55
And a coil 56 wound therearound. The yoke 55 outer dimension L 2 between the electromagnets 51 and 52, the guide rail 1
Than the width L 1 of 2a (12b) is set to a predetermined larger by the relationship. Each coil 56 is connected in series such that magnetic fluxes formed by the electromagnets 51 and 52 are added to each other. As can be seen from the above configuration, in this embodiment, the guide force generated between the magnetic support units 31a to 31d and the guide rails 12a and 12b acts toward the inside of the floating body 15.

制御部41は、第1図に示すように4つに分割されてい
るが、実際には第5図に示すように、全体として1つの
制御装置41aを構成している。制御装置41aは、電源43お
よび定電圧発生装置44の出力で動作する。定電圧発生装
置44は、電源43と制御装置41aとの間に設けられてお
り、ギャップセンサ34a〜34dおよび後述する演算回路62
aに常に一定の電圧を印加している。この低電圧発生装
置44は、負荷変動に起因する電源43の出力電圧変動が制
御装置41aに与える影響を除去するためのもので、基準
電圧発生装置57と、この基準電圧発生装置57の出力信号
に基づいて常に一定電圧で必要とされる電流を制御装置
41aに供給する電流増幅器58とから構成されている。
The control unit 41 is divided into four as shown in FIG. 1, but actually forms one control device 41a as a whole as shown in FIG. The control device 41a operates on the outputs of the power supply 43 and the constant voltage generator 44. The constant voltage generator 44 is provided between the power supply 43 and the controller 41a, and includes a gap sensor 34a to 34d and an arithmetic circuit 62 described later.
A constant voltage is always applied to a. The low-voltage generator 44 removes the influence of the output voltage fluctuation of the power supply 43 due to the load fluctuation on the control device 41a, and includes a reference voltage generator 57 and an output signal of the reference voltage generator 57. The required current at a constant voltage based on the control device
The current amplifier 58 supplies the current to the current amplifier 41a.

制御装置41aは、次のように構成されている。なお、
この第5図において、矢印線は信号経路を、また棒線は
コイル56の周辺の電力経路を示している。この制御装置
41aは、浮上体15に取付けられて磁気支持ユニット31a〜
31dによって形成される磁気回路中の起磁力あるいは磁
気抵抗もしくは浮上体15の運動の変化を検出するセンサ
部61aと、このセンサ部61aからの信号に基いて各コイル
56に供給すべき電力を演算する演算回路62aと、この演
算回路62aからの信号に基づいて各コイル56に電力を供
給するパワーアンプ63a〜63dとで構成されており、これ
らで4つの磁気支持ユニット31a〜31dをそれぞれ制御し
ている。
The control device 41a is configured as follows. In addition,
In FIG. 5, arrow lines indicate signal paths, and bar lines indicate power paths around the coil 56. This control device
41a is attached to the levitation body 15 and has a magnetic support unit 31a to
A sensor unit 61a for detecting a magnetomotive force or a magnetic resistance in the magnetic circuit formed by 31d or a change in the movement of the levitation body 15, and each coil based on a signal from the sensor unit 61a.
It comprises an arithmetic circuit 62a for calculating the power to be supplied to 56, and power amplifiers 63a to 63d for supplying power to each coil 56 based on a signal from the arithmetic circuit 62a. The units 31a to 31d are controlled respectively.

センサ部61aは、前述したギャップセンサ34a〜34d
と、各コイル56の電流値を検出する電流検出器65a〜65d
とで構成されている。
The sensor unit 61a includes the gap sensors 34a to 34d described above.
And current detectors 65a to 65d for detecting the current value of each coil 56
It is composed of

演算回路62aは、第1図に示される運動座標毎に浮上
体15の磁気浮上制御を行ている。ここでは浮上体15のz
座標に関する磁気浮上制御系をzモード、y方向(案内
方向)の運動に影響する浮上体15のロール(θ方向)に
関する磁気浮上制御系をθモード、Ψ方向(ヨー方
向)の運動に影響する浮上体15のロール(θ方向)に関
する磁気浮上制御系をθΨモード、浮上体15のピッチ
(ξ方向)に関する磁気浮上制御系をξモードとして説
明する。
The arithmetic circuit 62a controls the magnetic levitation of the levitation body 15 for each movement coordinate shown in FIG. Here, z of the floating body 15
The magnetic levitation control system related to the coordinates affects the movement in the z mode and the y direction (guide direction). The magnetic levitation control system related to the roll (θ direction) of the levitation body 15 affects the movement in the θ y mode and the Ψ direction (the yaw direction). roll (theta direction) magnetic levitation control system of the theta [psi modes for the floating body 15 will be described a magnetic levitation control system with respect to the pitch (xi] direction) of the floating body 15 as xi] mode.

すなわち、演算回路62aは、ギャップセンサ34a〜34d
で得られたギャップ長信号za〜zdからそれぞれのギャッ
プ長設計値zao〜zdoを減算して得られるギャップ長偏差
信号Δza〜Δzdを演算する減算器80a〜80dと、ギャップ
長偏差信号Δza〜Δzdから浮上体15の重心のz方向(支
持方向)の移動量Δz,同重心のy方向(案内方向)の移
動に伴う分割板26a,26bのθ方向(ロール方向)のそれ
ぞれの回転角の和Δθy,浮上体15のΨ方向(ヨー方向)
の回転に伴う分割板26a,26bのθ方向(ロール反対)の
回転角の差ΔθΨおよび浮上体15のξ方向(ピッチ方
向)の回転角Δξを演算する浮上ギャップ長偏差座標変
換回路81と、電流検出器65a〜65dで得られた励磁電流検
出信号ia〜idからそれぞれ電流設計値iao〜idoを減算し
て得られる電流偏差信号Δia〜Δidを演算する減算器82
a〜82dと、電流偏差信号Δia〜Δidから浮上体15の重心
のz方向の運動に関わる電流偏差Δiz,同重心のy方向
の移動に伴う分割板26a,26bのローリングに関わる電流
偏差Δiθy,浮上体15のΨ方向の回転に伴う分割板26
a,26bのローリングに関わる電流偏差ΔiθΨ及び浮上
体15のピッチングに関する電流偏差Δiξを演算する電
流偏差座標変換回路83と、浮上ギャップ長偏差座標変換
回路81および電流偏差座標変換回路83の出力Δz,Δθy,
ΔθΨ,Δξ,Δiz,Δiθy,ΔiθΨ,Δiξを導
入し、z,θyΨ,ξの各モードにおいて浮上体15を安
定に磁気浮上させるモード別電磁石制御電圧ez,eθy,e
θΨ,eξを演算する制御電圧演算回路84と、この制御電
圧演算回路84の出力ez,eθy,eθΨ,eξに基づいて磁気
支持ユニット31a〜31dのそれそれの電磁石励磁電圧ea
edを演算する制御電圧座標変換回路85とで構成されてい
る。そして、制御電圧座標逆変換回路85の演算結果、つ
まり上述したea〜edがパワーアンプ63a〜63dに与えられ
る。
That is, the arithmetic circuit 62a includes the gap sensors 34a to 34d
Subtracters 80a to 80d for calculating gap length deviation signals Δz a to Δz d obtained by subtracting the respective gap length design values z ao to z do from the gap length signals z a to z d obtained in From the long deviation signals Δz a to Δz d, the movement amount Δz of the center of gravity of the floating body 15 in the z direction (supporting direction) and the θ direction (roll direction) of the split plates 26a and 26b accompanying the movement of the center of gravity in the y direction (guide direction) ), The sum of the rotation angles Δθ y , the Ψ direction (yaw direction) of the floating body 15
Split plates 26a due to the rotation, the floating gap length deviation coordinate transformation circuit 81 for calculating a rotation angle Δξ difference [Delta] [theta] [psi and the floating body 15 xi] direction of the rotation angle (the pitch direction) of 26b in the θ direction (roll opposite) subtractor 82 for calculating a current deviation signal Δi a ~Δi d obtained by subtracting the respective current design values i ao through i do from the exciting current detection signal i a through i d obtained by the current detector 65a~65d
and A~82d, current deviation signals Δi a ~Δi d current deviation related to the z direction of movement of the center of gravity of the floating body 15 from .DELTA.i z, split plates 26a caused by the movement in the y direction in the center of gravity, a current related to 26b rolling Deviation Δi θy , division plate 26 accompanying rotation of levitation body 15 in the Ψ direction
a, a current deviation coordinate transformation circuit 83 calculates a current deviation .DELTA.i xi] about pitching current deviation .DELTA.i Shitapusai and levitated object 15 involved in 26b rolling, the output of levitation gap length deviation coordinate transformation circuit 81 and the current deviation coordinate transformation circuit 83 Δz, Δθ y ,
Δθ Ψ, Δξ, Δi z, Δi θy, Δi θΨ, Δi introduced ξ, z, θ y, θ Ψ, each mode electromagnet control voltage stably magnetically levitate the levitated object 15 in each mode of xi] e z, e θy , e
Shitapusai, e and the control voltage calculating circuit 84 for calculating the xi], the output e z of the control voltage calculation circuit 84, e θy, e θΨ, e it of its magnetic support units 31a~31d based on xi] electromagnet exciting voltage e a ~
and a control voltage coordinate conversion circuit 85 that calculates e d . The calculation result of the control voltage coordinate inverse transformation circuit 85, that is above e a to e d is applied to the power amplifier 63 a to 63 d.

制御電圧演算回路84は、Δz,Δizからzモードの電磁
石制御電圧ezを演算する上下動モード制御電圧演算回路
86と、Δθy,Δiθyからθモードの電磁石制御電圧
eyを演算するロール・左右動モード制御電圧演算回路87
と、ΔθΨ,ΔiθΨからθΨモードの電磁石制御電圧
θΨを演算するロール・ヨーモード制御電圧演算回路
88と、Δξ,Δiξからξモードの電磁石制御電圧eξ
を演算するピッチモード制御電圧演算回路89とで構成さ
れている。
Control voltage operation circuit 84, Delta] z, vertical movement mode control voltage calculating circuit for calculating an electromagnet control voltage e z of the z mode from .DELTA.i z
86, Δθ y , Δi θy to θ y mode electromagnet control voltage
Roll / left / right motion mode control voltage calculation circuit 87 that calculates e y
If, [Delta] [theta] [psi, roll-yaw mode control voltage operation circuit for calculating an electromagnet control voltage e Shitapusai of theta [psi mode from the .DELTA.i Shitapusai
88 and Δξ, Δi ξ to ξ mode electromagnet control voltage e ξ
And a pitch mode control voltage calculation circuit 89 for calculating the same.

以上の諸量は次式にまとめられる。すなわち、浮上体
15の質量をM、分枠板26aに付随する浮上体15の前部お
よび分割板26bに付随する浮上体15の後部のロール軸
(x軸)回りの慣性モーメントを共にIθ、浮上体15の
ヨー軸(z軸)回りの慣性モーメントをIΨ、浮上体15
のピッチ軸(y軸)回りの慣性モーメントをIξとする
と、浮上ギャップ長偏差座標変換回路81および電流偏差
座標変換回路83は、 に基いて変換を行う。このとき、浮上体15の線形近似運
動方程式およびコイル56に関わる電圧方程式は、各モー
ド毎に、 の4組にまとめられる。ここで、θξはそれぞれ
磁石ユニット31a〜31dのy軸の平行な間隔およびx軸に
平行な間隔であり、Fzは磁石ユニット31a〜31dのz軸方
向の吸引力、φは浮上ギャップにおける主磁束、 は変数hについて関数の偏分オペレータであり、(∂/
∂h)は浮上体15の浮上目標値における関数の偏分値を
表す。また、L、Rはそれぞれコイル56の浮上ギャップ
に依存しない自己インダクタンスおよびコイル56の電気
抵抗の値、Uzはz軸に平行な外力、Tθy、TθΨ、T
ξは、それぞれ分割板26a,26bのx軸まわりのトルク外
乱の和、同トルク外乱の差およびy軸まわりのトルク外
乱を示し、また記号“・”は1階の時間微分を表わして
いる。
The above quantities are summarized in the following equation. That is, the floating body
15, the mass of M, the moment of inertia around the roll axis (x-axis) of the front part of the floating body 15 attached to the dividing plate 26a and the rear part of the floating body 15 attached to the dividing plate 26b are both , and the floating body 15 the yaw axis (z axis) of the moment of inertia I [psi, floating body 15
Assuming that the moment of inertia about the pitch axis (y-axis) is I, the floating gap length deviation coordinate conversion circuit 81 and the current deviation coordinate conversion circuit 83 Conversion is performed based on At this time, the linear approximate motion equation of the levitation body 15 and the voltage equation relating to the coil 56 are, for each mode, Are grouped into four sets. Here, theta, xi] is a parallel spaced parallel intervals and x axis y axis of each magnet units 31 a to 31 d, F z is the suction force of the z-axis direction of the magnet units 31 a to 31 d, phi is floating gap Main flux at, Is the partial operator of the function with respect to the variable h, and (∂ /
∂h) represents the deviation value of the function at the floating target value of the floating body 15. Also, L, the value of the electrical resistance of the self-inductance and coil 56 does not depend on the levitation gap of each R is the coil 56, U z is an external force parallel to the z-axis, T θy, T θΨ, T
ξ indicates the sum of the torque disturbances around the x-axis of the split plates 26a and 26b, the difference between the torque disturbances, and the torque disturbance around the y-axis, and the symbol “•” indicates the first-order time derivative.

(3)〜(6)式は、次の状態方程式にまとめること
ができる。すなわち、状態ベクトル を、 (但し、Tは転置を表わす)とすると、x3について、 のタイプの状態方程式を得ることができる。
Equations (3) to (6) can be summarized in the following state equation. That is, the state vector To (Where, T is representing transposition) When, for x 3, Can be obtained.

ここで、 は、 の行列であり、 e3は、 e3=ez、eθy、eθΨまたはeξであり、 またはTξとなる。また、制御電圧座標逆変換回路85
は、 に基いて変換を行う。
here, Is A matrix, e 3 is e 3 = e z, e θy , e θΨ or e xi], Or . The control voltage coordinate inverse conversion circuit 85
Is Conversion is performed based on

上下動モード制御演算回路86は第6図に示すように構
成されている。すなわち、zモードの磁気浮上制御系が
浮上体15のy方向およびΨ方向の運動とは無関係である
とみなせるため、Δz,ΔizからΔzの時間変化率 の推定値 (以下、記号“∧”は推定値を表す。)およびzモード
の外力uzの推定値 を演算する上下動モード状態観測器90と、Δz, Δizに適当なフィードバックゲインを乗ずるゲイン補償
器91と、電流偏差目標発生器92と、Δizを電流偏差目標
発生器92の目標値より減じる減算器95と、この減算器93
の出力値を積分し適当なフィードバックゲインを乗じる
積分補償器94と、各ゲイン補償器91の出力値の総和を演
算する加算器95と、この加算器95の出力値を積分補償器
94の出力値より減じてzモードの電磁石励磁電圧ezを出
力する減算器96とで構成されている。
The vertical movement mode control operation circuit 86 is configured as shown in FIG. In other words, can be considered a magnetic levitation control system of the z mode is independent of the movement in the y direction and Ψ direction of the floating body 15, Delta] z, time rate of change of Delta] z from .DELTA.i z Estimate of (Hereinafter, the symbol “∧” indicates an estimated value.) And an estimated value of the external force u z in the z mode A vertical motion mode state observer 90 for calculating Δz, A gain compensator 91 multiplying the appropriate feedback gain .delta.i z, the current deviation target generator 92, a subtracter 95 for subtracting from the target value of the current deviation target generator 92 .delta.i z, the subtracter 93
An integration compensator 94 that integrates the output value of the gain and multiplies it by an appropriate feedback gain, an adder 95 that calculates the sum of the output values of the gain compensators 91, and an integration compensator that calculates the output value of the adder 95.
It is composed of a subtractor 96 which outputs an electromagnet exciting voltage e z of the z mode is subtracted from the output value of 94.

ピッチモード制御電圧演算回路89は第9図に示すよう
に構成されている。ξモードの磁気浮上制御系も浮上体
15のy方向およびΨ方向の運動とは無関係であるとみな
せるため、このピッチモード制御電圧演算回路89は上下
動モード制御電圧演算回路86と同様に構成されている。
すなわち、上下動モード制御電圧演算回路86における上
下動モード状態観測器90を、Δξ,Δiξから からおよびξモードの外乱トルク推定値 を演算するピッチモード状態観測器97に置換えたものと
なっており、他の上下動モード制御電圧演算回路86と同
一構成となっている。したがって、この第9図では対応
する要素を等しい番号で示し、かつその番号に添字aを
付して示してある。
The pitch mode control voltage calculation circuit 89 is configured as shown in FIG. ξ mode magnetic levitation control system is also a levitation body
The pitch mode control voltage calculation circuit 89 is configured in the same manner as the vertical movement mode control voltage calculation circuit 86 because it can be regarded as having nothing to do with the movements in the y and 運動 directions.
That is, the vertical movement mode state observer 90 in vertical movement mode control voltage operation circuit 86, .DELTA..xi, from .DELTA.i xi] And ξ mode disturbance torque estimates Is replaced with a pitch mode state observer 97 for calculating the same, and has the same configuration as the other vertical motion mode control voltage calculation circuit 86. Therefore, in FIG. 9, corresponding elements are indicated by the same numbers, and the numbers are indicated by adding a suffix a.

ロール・左右動モード制御電圧演算回路87は、第7図
に示すように構成されている。θモードの磁気浮上系
は浮上体15のy方向に関係したものであるが、回路の簡
素化のため、ここではy方向の運動を無視し、上下動モ
ード制御電圧演算回路86と同様に構成されている。すな
わち、Δθy,Δiθyから およびθモードの外乱トルク推定値 を演算するロール・左右動モード状態観測器99と、Δθ
y, Δiθyに適当なフィードバックゲインを乗ずるゲイン
補償器91bと、Δiθyを電流偏差目標値発生器92bで設
定された目標値より減じる減算器93bと、この減算器93b
の出力値を積分して適当なフィードバックゲインを乗ず
る積分補償器94bと、ゲイン補償器91bの出力値の総和を
演算する加算器95bと、この加算器95bの出力値を積分補
償器94bの出力値より減じてθモードの電磁力制御電
圧eθyを出力する減算器96bとで構成されている。
The roll / lateral motion mode control voltage calculation circuit 87 is configured as shown in FIG. The magnetic levitation system in the θ y mode is related to the y direction of the levitation body 15, but for simplicity of the circuit, the movement in the y direction is ignored here, and like the vertical motion mode control voltage calculation circuit 86, It is configured. That is, from Δθ y and Δi θy And estimated disturbance torque in θ y mode Roll / lateral motion mode state observer 99 that calculates
y , A gain compensator 91b for multiplying Δi θy by an appropriate feedback gain, a subtractor 93b for subtracting Δi θy from a target value set by a current deviation target value generator 92b, and a subtractor 93b
An integration compensator 94b that integrates the output value of the above and multiplies it by an appropriate feedback gain, an adder 95b that calculates the sum of the output values of the gain compensator 91b, and an output value of the adder 95b that is output from the integration compensator 94b. And a subtractor 96b that outputs the electromagnetic force control voltage e θy in the θ y mode by subtracting from the value.

また、ロール・ヨーモード制御電圧演算回路88は第8
図に示すように構成されている。この図から判るように
ロール・ヨーモード制御電圧演算回路88は第7図に示し
たロール・左右動モード制御電圧演算回路87と同様に構
成されている。θΨモードでもθモードと同様にΨ方
向の運動を無視して構成されている。すなわち、Δ
θΨ,ΔiθΨから およびθΨモードの外乱トルク推定値 を演算するロール・ヨーモード状態観測器100と、Δθ
ΨΔiθΨに適当なフィードバックゲインを乗ずるゲイン
補償器91cと、ΔiθΨを電流偏差目標値発生器92cで設
定された目標値より減じる減算器93cと、この減算器93c
の出力値を積分して適当なフィードバックゲインを乗ず
る積分補償器94cと、ゲイン補償器91cの出力値の総和を
演算する加算器95cと、この加算器95cの出力値を積分補
償器94cの出力値より減じてθΨモード電磁石制御電圧
eΨを出力する減算器96cとで構成されている。
The roll / yaw mode control voltage calculation circuit 88
It is configured as shown in the figure. As can be seen from this figure, the roll / yaw mode control voltage calculation circuit 88 is configured similarly to the roll / left / right movement mode control voltage calculation circuit 87 shown in FIG. Similarly to the θ y mode, the θ Ψ mode is configured to ignore the movement in the Ψ direction. That is, Δ
θ Ψ, from Δi θΨ And θ Ψ mode estimated disturbance torque And the roll / yaw mode state observer 100 that calculates
Ψ , A gain compensator 91c for multiplying Δi θΨ by an appropriate feedback gain, a subtractor 93c for subtracting Δi θΨ from a target value set by a current deviation target value generator 92c, and a subtractor 93c
An integral compensator 94c that integrates the output value of the gain and multiplies it by an appropriate feedback gain, an adder 95c that calculates the sum of the output values of the gain compensator 91c, and an output value of the adder 95c is output from the integration compensator 94c. It is composed of a subtractor 96c which is subtracted from the value and outputs the theta [psi mode electromagnet control voltage e eΨ.

ここで、各モードの状態観測器の構成について説明す
る。前述の如く、zモード、ξモードについては、浮上
体15のy方向およびΨ方向の運動とは無関係となる。ま
た、θモード、θΨモードについてもy方向およびΨ
方向の運動が無視される。したがって、各モードはすべ
て同じタイプの状態方程式(7)式で表わすこどができ
る。このため、これの状態観測器は、たとえば特願昭60
−146033号中のものと同一の構成となる。
Here, the configuration of the state observer in each mode will be described. As described above, the z mode and the ξ mode are independent of the movement of the levitating body 15 in the y and Ψ directions. In the θ y mode and θ Ψ mode, the y direction and Ψ
Directional movement is ignored. Therefore, each mode can be expressed by the same type of state equation (7). For this reason, this state observer is, for example,
The structure is the same as that in the -146033.

さらに、ゲイン補償器91,91a、積分補償器94,94aの各
ゲインは、浮上体15のzモード、ξモードの運動が速や
かに安定化されるように設定されている。また、ゲイン
補償器91b,91c、積分補償器94b,94cの各ゲインは、浮上
体15の案内方向の揺動、ヨーイングの4分の1周期より
もθモード、θΨモードにおける制御時定数のほうが
長くなるように設定されている。
Further, the respective gains of the gain compensators 91 and 91a and the integral compensators 94 and 94a are set such that the movement of the floating body 15 in the z-mode and the ξ-mode is quickly stabilized. The gains of the gain compensators 91b and 91c and the integral compensators 94b and 94c are controlled by the control time constants in the θ y mode and θ Ψ mode more than a quarter of the swinging and yawing of the floating body 15 in the guiding direction. Is set to be longer.

また、この例では連結部材35a,35b,35c,35dに支持さ
れた荷台37,38が比較的重い電源43とともに、基台25よ
り下方にあるため、浮上体15の重心が第1図〜第3図中
で示す位置、すなわち、磁気支持ユニット31a〜31dより
下方に設定されている。
Further, in this example, since the loading platforms 37, 38 supported by the connecting members 35a, 35b, 35c, 35d are below the base 25 together with the relatively heavy power supply 43, the center of gravity of the floating body 15 is shown in FIGS. In Figure 3 , That is, below the magnetic support units 31a to 31d.

次に、上記のように構成された吸引式磁気浮上装置の
動作を説明する。
Next, the operation of the suction type magnetic levitation device configured as described above will be described.

装置が停止状態にあるときには、非常用ガイド13a,13
bの上下壁のいずれか一方の内面に浮上体15の縦車輪45
が接触している。この状態で装置を起動させると、制御
装置41aは各磁気支持ユニット31a〜31dに設けられた永
久磁石が発生する磁束と同じ向きまたは逆向きの磁束を
各磁気支持ユニット31a〜31dの電磁石で発生されるとと
もに、磁気支持ユニット31a〜31dとガイドレール12a,12
bとの間に所定のギャップ長を維持させるべく各磁気コ
イル56に流す電流を制御する。これによって、第4図に
示したように、各磁気支持ユニットの近傍には、永久磁
石53〜継鉄55〜ギャップP〜ガイドレール12a(12b)〜
キャップP〜継鉄55〜永久磁石53の経路からなる磁気回
路が形成される。この場合、前記電流設計値iao〜ido
よびz〜ξモードの各電流偏差目標発生器92,92a,92b,9
2cの出力を零にセットしておくと、ギャップ長は浮上体
15など被支持体の重量と、各永久磁石53の起磁力による
各磁気支持ユニット31a〜31dと各ガイドレール12a,12b
との間の磁気的吸引力とが丁度釣合う値に落着く。この
とき、連着機構27の存在によって各磁気支持ユニット31
a〜31dとガイドレール12a,12bとの間のギャップ長は、
互いに干渉しない独立した値に保持される。制御装置41
aは、この磁気ギャップ長を維持すべく各磁気支持ユニ
ット31a〜31dの電磁石の励磁電流制御を行う。これによ
って、いわゆるゼロパワー制御がなされる。
When the device is at a standstill, the emergency guides 13a, 13
Vertical wheels 45 of the levitation body 15 on either one of the inner surfaces of the upper and lower walls of b
Are in contact. When the device is started in this state, the control device 41a generates a magnetic flux in the same or opposite direction as the magnetic flux generated by the permanent magnet provided in each of the magnetic support units 31a to 31d by the electromagnets of the magnetic support units 31a to 31d. And the magnetic support units 31a to 31d and the guide rails 12a and 12d.
The current flowing through each magnetic coil 56 is controlled to maintain a predetermined gap length between the magnetic coils 56 and b. Thereby, as shown in FIG. 4, in the vicinity of each magnetic support unit, the permanent magnet 53, the yoke 55, the gap P, the guide rail 12a (12b),
A magnetic circuit consisting of a path from the cap P to the yoke 55 to the permanent magnet 53 is formed. In this case, the current design values i ao to i do and the current deviation target generators 92, 92a, 92b, 9 for the z to ξ mode
If the output of 2c is set to zero, the gap length will be
15, the magnetic support units 31a to 31d and the guide rails 12a, 12b by the weight of the supported body and the magnetomotive force of each permanent magnet 53.
And the magnetic attraction between the two settles down to a value that just balances. At this time, each magnetic support unit 31
The gap length between a-31d and guide rails 12a, 12b is
They are kept at independent values that do not interfere with each other. Control device 41
“a” controls the exciting current of the electromagnets of the magnetic support units 31a to 31d to maintain the magnetic gap length. Thus, so-called zero power control is performed.

なお、浮上体15がリニア誘導電動機の固定子の真下に
あるときに固定子を付勢すると、基台25が固定子から推
進力を受ける。この結果、浮上体15は磁気浮上状態のま
まガイドレール12a,12bに沿って走行を開始する。浮上
体15が空気抵抗等の影響で完全に静止するまでの間に再
び固定子が配置されていれば、浮上体15は再度推進力を
受ける。このため、ガイドレール12a,12bに沿った移動
を持続する。したがって、浮上体15を非接触状態で目的
とする地点まで移動させることができる。
When the stator is energized while the levitating body 15 is directly below the stator of the linear induction motor, the base 25 receives propulsive force from the stator. As a result, the levitation body 15 starts running along the guide rails 12a and 12b in a magnetic levitation state. If the stator is disposed again before the floating body 15 completely stops due to the influence of air resistance or the like, the floating body 15 receives the propulsive force again. For this reason, the movement along the guide rails 12a and 12b is maintained. Therefore, the floating body 15 can be moved to a target point in a non-contact state.

ところで、浮上体15がガイドレール12a,12bの曲線部
分を通過するときなどのように、浮上体15に走行方向と
直交する方向の力、つまり案内方向の外力が加わると、
たとえば浮上体15がy方向に揺れようとする。
By the way, when a force in a direction perpendicular to the traveling direction is applied to the floating body 15, that is, when an external force in the guide direction is applied, such as when the floating body 15 passes through a curved portion of the guide rails 12a and 12b,
For example, the floating body 15 tends to swing in the y direction.

この実施例では、上記揺れに伴うΔθy,Δiθy,Δ
θΨおよびΔiθΨの変化からロール・左右動モード状
態状態測定器99およびロール・ヨーモード状態測定器10
0により推定値 が演算される。これら推定値はゲイン補償器91b,91cを
介してθモードの電磁石制御電圧θおよびθΨモー
ドの電磁石制御電圧eθΨにフィードバックされる。す
なわち、eθyおよびeeΨは、制限電圧座標逆変換回
路85によって磁気支持ユニット31a〜31dのそれぞれの電
磁石励磁電圧ea〜edに変換される。
In this embodiment, Δθ y , Δi θy , Δ
theta [psi and .DELTA.i Shitapusai Roll lateral movement mode state state measuring device from the change in the 99 and roll yaw mode state measuring device 10
Estimated by 0 Is calculated. These estimates are fed back to the gain compensator 91b, the electromagnet control voltage theta y and theta [psi Mode theta y mode via 91c electromagnet control voltage e θΨ. That, e [theta] y and e Ipusai is converted by limited voltage coordinate inverse transformation circuit 85 to each of the electromagnets exciting voltage e a to e d of the magnetic support units 31 a to 31 d.

ここで、説明の便宜を図るため、浮上体15の横変位を
Δy、磁気支持ユニット31a〜31dの案内力をFyとする。
Here, for convenience of description, the lateral displacement of the levitating body 15 is assumed to be Δy, and the guiding force of the magnetic support units 31a to 31d is assumed to be Fy.

この実施例では、先に述べたように、θyΨモード
の各ゲインは、これらのモードの制御時定数の方が浮上
体15の案内方向の動の4分の1周期より長くなように設
定されている。したがって、浮上体重心に案内によるト
ルクが作用しなければ、横方向の揺動速度が零になる横
変位のピーク時でも制御装置41aによる浮上制御は整定
せず、この結果、浮上体15はθ方向に傾こうとする。つ
まり、第2図を参照しながら説明すると、磁気支持ユニ
ット31a〜31dのうちのガイドレール12a,12b中心から遠
ざかる磁気支持ユニット31a(31d)については浮上体15
の揺動による磁気支持ユニット・ガイドレール間の磁気
抵抗の増加で吸引力が減少し、またガイドレール12a,12
b中心に近づく磁気支持ユニット31b(31c)については
磁気抵抗の減少で吸引力が増加する。このとき、この吸
引力変動に対するθyΨモードの浮上制御は間に合わ
ない。したがって、浮上体15の重心回りにθ方向のトル
クが作用し、浮上体15はθ方向にロール角Δθだけ傾こ
うとする。一旦、θ方向のトルクが作用すると、磁気支
持ユニット31a(31d)の浮上ギャップがさらに増加し、
また磁気支持ユニット31b(31c)の浮上ギャップがさら
に減少する。すなわち、ロール角Δθのフイードバック
による浮上制御で浮上体15に作用する第1のトルクは、
y方向横変位のピーク時でも浮上体15のロール角を増加
させる方向に作用する。
In this embodiment, as described above, the gain of each of the θ y and θ Ψ modes is such that the control time constants of these modes are longer than a quarter period of the movement of the floating body 15 in the guide direction. It is set as follows. Therefore, if the torque by the guide does not act on the center of gravity of the levitation, the levitation control by the controller 41a is not settled even at the peak of the lateral displacement at which the lateral swing speed becomes zero, and as a result, the levitation body 15 becomes θ Try to lean in the direction. In other words, referring to FIG. 2, the magnetic support units 31a (31d) of the magnetic support units 31a to 31d that are away from the center of the guide rails 12a and 12b will have a floating body 15a.
The attraction force decreases due to an increase in magnetic resistance between the magnetic support unit and the guide rail due to the swing of the guide rail, and the guide rails 12a, 12
With respect to the magnetic support unit 31b (31c) approaching the center b, the attraction force increases due to the decrease in magnetic resistance. At this time, the floating control in the θ y , θ Ψ mode with respect to the change in the suction force cannot be made in time. Therefore, the torque in the θ direction acts on the center of gravity of the floating body 15, and the floating body 15 tends to tilt by the roll angle Δθ in the θ direction. Once the torque in the θ direction acts, the floating gap of the magnetic support unit 31a (31d) further increases,
Further, the floating gap of the magnetic support unit 31b (31c) is further reduced. That is, the first torque acting on the levitation body 15 in the levitation control by the feedback of the roll angle Δθ is:
Even at the peak of the lateral displacement in the y direction, it acts in the direction of increasing the roll angle of the floating body 15.

この期間、浮上体15の横変位も増加していくが、この
横変位により、磁気支持ユニット31a(31d)ではガイド
レール12aとの対向面積が減少するので支持力が減少す
る。また、磁気支持ユニット31b(31c)では、ガイドレ
ール12bとの対向面積が増加するので、支持力が増加す
る。この結果、横変位による支持力の変動 に起因するトルクは、第1のトルクと同様に、浮上体15
のロール角を増加させるように作用する。
During this period, the lateral displacement of the levitation body 15 also increases, but the lateral displacement reduces the area of the magnetic support unit 31a (31d) facing the guide rail 12a, so that the supporting force decreases. Further, in the magnetic support unit 31b (31c), since the area facing the guide rail 12b increases, the supporting force increases. As a result, fluctuations in bearing force due to lateral displacement Is caused by the floating body 15 as in the case of the first torque.
Acts to increase the roll angle of the roller.

一方、磁気支持ユニット31a(31d)では、ガイドレー
ル12aから遠ざかるため、ガイドレール12aに対するなら
い力が増加する。また、磁気支持ユニット31b(31c)で
は、ガイドレール12bに近づくため、ガイドレール12bに
対するならい力が減少する。この結果、浮上体15には横
変位を減少させる案内力が作用し、浮上体重心が磁気支
持ユニットより下方に位置していれば、横変位による案
内力の変動 に起因する浮上体重心回りのトルクはロール角を減少さ
せるように作用する。
On the other hand, in the magnetic support unit 31a (31d), since the distance from the guide rail 12a increases, the copying force on the guide rail 12a increases. Further, in the magnetic support unit 31b (31c), since it approaches the guide rail 12b, the copying force on the guide rail 12b decreases. As a result, a guide force for reducing the lateral displacement acts on the levitation body 15, and if the center of gravity of the levitation is located below the magnetic support unit, the guide force varies due to the lateral displacement. The torque around the center of gravity of the levitation acts to reduce the roll angle.

この実施例では、連結部材35a,35b,35c,35dにより荷
台37,38が基台25より下方にあり、浮上体重心が横変位
による支持力の変動に起因するトルクと横変位による案
内力の変動に起因するトルクとの合成であり第2のトル
クが浮上体15の外側方向に移動する磁気支持ユニット31
a(31d)の浮上ギャップを減少させ、浮上体15の内側方
向に移動する磁気支持ユニット31b(31c)の浮上ギャッ
プを増加させる作用を持つ位置に設定されている。この
ため、第2のトルクは、浮上体15のロール角を減少させ
るように作用する。すなわち、第2のトルクは、横変位
のピーク時に第1のトルクを抑制し(ブランコをこぐと
きの逆の原理で)浮上体15のローリングを減少させる。
浮上体15のローリングが減衰すれば、ローリングに伴う
磁気支持ユニットの案内力の変動も減衰し、結果とし
て、浮上体15に生じた揺動が減衰し、再び安定な磁気浮
上状態が回復される。
In this embodiment, the loading platforms 37, 38 are below the base 25 by the connecting members 35a, 35b, 35c, 35d, and the gravitational center of gravity is the torque generated by the fluctuation of the supporting force due to the lateral displacement and the guide force due to the lateral displacement. The magnetic support unit 31 is a combination with the torque caused by the fluctuation, and the second torque moves outward of the levitating body 15.
The position is set to have a function of reducing the floating gap of a (31d) and increasing the floating gap of the magnetic support unit 31b (31c) moving inward of the floating body 15. Therefore, the second torque acts to reduce the roll angle of the floating body 15. That is, the second torque suppresses the first torque at the peak of the lateral displacement, and reduces the rolling of the levitating body 15 (in the reverse principle of swinging).
If the rolling of the levitation body 15 is attenuated, the fluctuation of the guide force of the magnetic support unit due to the rolling is also attenuated, and as a result, the swing generated in the levitation body 15 is attenuated, and the stable magnetic levitation state is restored again .

浮上体15がその重心を中心にしてΨ方向にヨーイング
を生じた場合にも連結機構27を回転軸として分割板26a,
26bの互いに逆方向のローリングについて上述の説明と
同様な現象が起こり、浮上体15は再び安定な磁気浮上状
態を回復することになる。
Even when the floating body 15 yaws in the Ψ direction around its center of gravity, the dividing plate 26a,
The same phenomenon as described above occurs in the rolling of the roller 26b in the opposite direction, and the levitation body 15 recovers the stable magnetic levitation state again.

第1図乃至第14図には本発明の別の実施例に係る吸引
式磁気浮上装置10bが示されている。この吸引式磁気浮
上装置10bは、支持力と案内力とを独立に制御するよう
にしたもので、特に案内方向の変位を検出するギャップ
センサが故障したときに本発明を適用して安定した磁気
浮上を実現している。
1 to 14 show a magnetic levitation apparatus 10b according to another embodiment of the present invention. The suction-type magnetic levitation device 10b controls the supporting force and the guiding force independently, and particularly when the gap sensor for detecting the displacement in the guiding direction fails, the present invention is applied to achieve a stable magnetic force. Ascent is realized.

そして、これらの図では、第1図乃至第9図に示され
る要素と同一部分が同一符号で示されており、また対応
する要素には等しい番号と一緒に大文字のアルファベッ
トを付して示してある。
In these figures, the same parts as those shown in FIGS. 1 to 9 are denoted by the same reference numerals, and the corresponding elements are denoted by the same numerals and capital letters. is there.

浮上体15Aは、基台25Aと、この基台25Aの上面四隅に
サスペンション100を介して取り付けられた台車125A〜1
25Dと、基台25Aの下面に連付部材35A,36Aを介して取り
付けられた荷台37Aとで構成されている。
The levitation body 15A includes a base 25A, and carts 125A to 1A attached to the four corners of the upper surface of the base 25A via suspensions 100.
25D and a loading platform 37A attached to the lower surface of the base 25A via connecting members 35A and 36A.

そして、この例においても、浮上体15Aが軌道枠11に
設けられた強磁性ガイドレール12a,12bに対して磁気浮
上し、軌道枠11の上面の要所要所に取り付けられたリニ
アモータ固定子16と基台25Aの上面に支柱301を介して所
定の高さに取り付けられた2次導体板190との間で発生
する電磁力でガイドレール12a,12bに沿って走行するよ
うになっている。
Also in this example, the floating body 15A magnetically floats on the ferromagnetic guide rails 12a and 12b provided on the track frame 11, and the linear motor stator 16 An electromagnetic force generated between the base plate 25A and the secondary conductor plate 190 mounted on the upper surface of the base 25A via the column 301 at a predetermined height causes the vehicle to travel along the guide rails 12a and 12b.

台車125A〜125Dには、第11図〜第13図に示すように、
ガイドレール12a,12bに対してそれぞれが支持力と案内
力とを発生するように磁気支持ユニット31A〜31D,31A′
〜31D′が互い違いに外側内側にづれた状態に固定され
ている。
As shown in FIGS. 11 to 13, the carts 125A to 125D
Magnetic support units 31A to 31D, 31A 'so that they generate a supporting force and a guiding force for the guide rails 12a, 12b, respectively.
31D ′ are alternately fixed to the outside and inside.

磁気支持ユニット31A〜31D,31A′〜31D′は、前記実
施例における磁気支持ユニット31a〜31dの永久磁石53と
継鉄55を連続した継鉄55Aで置き変え、これにコイル56
を巻装してなるU字状の電磁石で構成されている。台車
125A〜125Dには、磁気支持ユニット31Aと31A′,31Bと31
B′,31Cと31C′,31Dと31D′をそれぞれ一組として、各
組が対向するガイドレール12a,12bとの間の浮上ギャッ
プ長を測定するための渦電流タイプのギャップセンサ34
A〜34Dと共に所定位置に固定されている。また、各台車
直下の荷台37Aの上面には、各組のガイドレール12a,12b
に対する横変位を非接触で検問するために、軌道枠11の
左右内側面と各台車間の距離を測定する同じく渦電流タ
イプのギャップセンサ34A′〜34D′が縦車輪45とともに
取り付けられている。
The magnetic support units 31A to 31D and 31A 'to 31D' replace the permanent magnet 53 and the yoke 55 of the magnetic support units 31a to 31d in the above-described embodiment with a continuous yoke 55A, and a coil 56
, And a U-shaped electromagnet formed by winding. Cart
125A to 125D have magnetic support units 31A and 31A ', 31B and 31
B ′, 31C and 31C ′, 31D and 31D ′ are each one set, and each set is an eddy current type gap sensor 34 for measuring the floating gap length between the guide rails 12a and 12b facing each other.
It is fixed at a predetermined position together with A to 34D. In addition, on the upper surface of the loading platform 37A immediately below each truck, each set of guide rails 12a, 12b
In order to check the lateral displacement of the carriage 11 in a non-contact manner, gap sensors 34A 'to 34D' of the eddy current type for measuring the distance between the left and right inner surfaces of the track frame 11 and each bogie are mounted together with the vertical wheels 45.

サスペンション100は、荷台37Aに固定されたリング状
のリニアガイド102と、台車125A〜125Dに固着された軸1
04と、バネ106と、ストッパ108とで構成されており、各
台車に2個ずつ、計8個備えられている。これらサスペ
ンション100の存在によって、各台車125A〜125Dは基台2
5Aに対して独立に上下動可能となっている。そして、こ
の例においても、電源43などの重量物が基台25Aの下方
に位置しているので、浮上体15Aの重心位置は、各磁気
支持ユニットより下方の で示す位置にある。
The suspension 100 includes a ring-shaped linear guide 102 fixed to a carrier 37A and a shaft 1 fixed to carts 125A to 125D.
It consists of 04, a spring 106, and a stopper 108, and each carriage is provided with a total of eight, two each. Due to the presence of these suspensions 100, each of the carts 125A to 125D
It can move up and down independently for 5A. And also in this example, since a heavy object such as the power supply 43 is located below the base 25A, the center of gravity of the floating body 15A is located below each magnetic support unit. In the position indicated by.

ここで、上記のように磁気支持ユニット31A〜31D,31
A′〜31D′を配置している理由を第13図に示されている
磁気支持ユニット31A,31A′、つまり台車125Aを例にと
って説明する。
Here, as described above, the magnetic support units 31A to 31D, 31
The reason for arranging A 'to 31D' will be described with reference to the magnetic supporting units 31A and 31A 'shown in FIG.

今、浮上体15Aが安定に磁気浮上しているとき、横方
向の外力を受けて浮上体15Aとともに台車125Aがy方向
に変位(横変位)したとする。この場合、磁気支持ユニ
ット31A′ではガイドレール12aに対して対向面積が増加
するので支持力が増加し、磁気支持ユニット31Aではガ
イドレール12aに対して対向面積が減少するので、支持
力が減少する。したがって、磁気支持ユニット31A,31
A′のコイル56が同じ大きさの電流で励磁されていると
きは、これらの支持力の変動分が互いに相殺され、横変
位に対する台車125A全体としての支持力は変動しない。
Now, it is assumed that when the levitation body 15A is magnetically levitated stably, the bogie 125A is displaced in the y direction (lateral displacement) together with the levitation body 15A by receiving a lateral external force. In this case, in the magnetic support unit 31A ', the support force increases because the area facing the guide rail 12a increases, and in the magnetic support unit 31A, the support area decreases because the area facing the guide rail 12a decreases. . Therefore, the magnetic support units 31A, 31
When the coil 56 of A 'is excited with the same magnitude of current, these fluctuations in the supporting force cancel each other out, and the supporting force of the carriage 125A as a whole against lateral displacement does not change.

一方、同じ電流で励磁されている磁気支持ユニット31
A,31A′に対して、磁気支持ユニット31A′の励磁電流を
現象させ、同じ分だけ磁気支持ユニット31Aの励磁電流
を増加させると、磁気支持ユニット31A′の支持力、案
内力(y方向)がともに現象し、磁気支持ユニット31A
のこの支持力、案内力(−y方向)がともに増加する。
この結果、台車125A全体の支持力は変動しない。しか
し、案内力については磁気支持ユニット31Aの案内力が
勝るので、結局、台車125A全体への案内力は−y方向に
発生する。
On the other hand, the magnetic support unit 31 excited with the same current
A, 31A 'causes the exciting current of the magnetic supporting unit 31A' to decrease, and the exciting current of the magnetic supporting unit 31A is increased by the same amount. Together, the magnetic support unit 31A
Both the supporting force and the guiding force (−y direction) increase.
As a result, the supporting force of the entire carriage 125A does not change. However, since the guiding force of the magnetic support unit 31A is superior to the guiding force, the guiding force to the entire carriage 125A is eventually generated in the −y direction.

このように、台車125Aの支持力は、その案内方向の運
動とは独立であり、かつ、その案内方向の運動は、磁気
支持ユニット31A,31A′の励磁電流の差によって制御で
きることになる。また、台車125Aの支持力は、磁気支持
ユニット31A,31A′の励磁電流の和により制御できるこ
とになる。このことは、台座125B〜125Dにおいても同様
であり、これらの台座の支持力と案内力を独立に制御し
て浮上体15Aの安定な磁気浮上が達成できることにな
る。
Thus, the support force of the carriage 125A is independent of the movement in the guide direction, and the movement in the guide direction can be controlled by the difference between the exciting currents of the magnetic support units 31A and 31A '. Further, the supporting force of the carriage 125A can be controlled by the sum of the exciting currents of the magnetic supporting units 31A and 31A '. The same applies to the pedestals 125B to 125D, and the supporting force and the guiding force of these pedestals are independently controlled to achieve stable magnetic levitation of the levitation body 15A.

第14図にはこの吸引式磁気浮上装置10bに組み込ま
れ、上述した制御方式を基本とした制御装置41bが示さ
れている。
FIG. 14 shows a control device 41b that is incorporated in the suction type magnetic levitation device 10b and is based on the above-described control method.

この制御装置41bは、ギャップセンサ34A〜34Dで構成
される支持方向センサ200と、ギャップセンサ34A′〜34
D′で構成される案内方向センサ201と、支持方向制御回
路202と、案内方向制御回路204と、座標逆変換回路206
と、磁気支持ユニット31A〜31Dのコイル56の励磁電流を
供給するパワーアンプ63A〜63Dと、磁気支持ユニット31
A′〜31D′のコイル56に励磁電流を供給するパワーアン
プ63A′〜63D′と、基準電圧発生器210と、この基準電
圧発生器210の出力と案内方向センサ201の出力を比較し
てギャップセンサ34A′〜34D′のいずれか1つでも故障
しているときに出力を送出する比較器212と、この比較
器212から出力が送出されているときA端子側からB端
子側へと切替わる6個のリレー214と、座標逆変換回路2
06とパワーアンプ63A′〜63D′との間に設けられた4つ
の加算器216と、一定電圧発生器218とで構成されてい
る。
The control device 41b includes a support direction sensor 200 including gap sensors 34A to 34D, and gap sensors 34A 'to 34A.
D ′, a guide direction sensor 201, a support direction control circuit 202, a guide direction control circuit 204, and a coordinate inverse transformation circuit 206.
Power amplifiers 63A to 63D for supplying an exciting current to the coils 56 of the magnetic support units 31A to 31D, and the magnetic support unit 31
A power amplifiers 63A 'to 63D' for supplying an excitation current to the coils 56 of A 'to 31D', a reference voltage generator 210, and a comparison between the output of the reference voltage generator 210 and the output of the guide direction sensor 201 are performed. A comparator 212 which outputs an output when any one of the sensors 34A 'to 34D' has failed, and switches from the A terminal side to the B terminal side when the output is transmitted from the comparator 212. Six relays 214 and a coordinate reverse conversion circuit 2
It comprises four adders 216 provided between the power amplifier 06 and the power amplifiers 63A 'to 63D', and a constant voltage generator 218.

支持方向制御回路202は、支持方向センサ200の信号に
基づき、各台車の2つの磁気支持ユニットの励磁電流の
和を制御して、第10図に示す座標のうち浮上体15Aのz,
θ,ξ方向の運動の安定化を達成する。案内方向制御回
路204は、案内方向センサ201の信号に基づき各台車の2
つの磁気支持ユニットの励磁電流の差を制御して、第10
図に示す座標のうちy,Ψ方向の運動の安定化を達成す
る。この案内方向制御回路204の出力は、リレー214の内
の2つのリレーのA端子側を通って座標逆変換回路206
へ与えられる。なお、上記2つのリレーのB端子側は接
地されている。座標逆変換回路206は、支持方向制御回
路202および案内方向制御回路204の出力信号に基づき磁
気支持ユニット31A〜31D,31A′〜31D′のそれぞれに印
加すべき励磁電圧の値を計算する。そして、パワーアン
プ63A〜63D,63A′〜63D′は座標逆変換回路206の励磁電
圧出力信号に基づいて同じアルファベット記号が付され
ている磁気支持ユニット31A〜31D,31A′〜31D′のコイ
ル56を励磁する。4つの加算器216の一方の入力端はリ
レー214の残りの4つのリレーのA端子を介して接地さ
れている。なお、上記4つのリレーのB端子は、パワー
アンプ63A′〜63D′への入力信号を所定値だけ小さくす
る電圧を発生する上述した一定電圧発生器218の出力端
に接続されている。
The supporting direction control circuit 202 controls the sum of the exciting currents of the two magnetic supporting units of each bogie based on the signal of the supporting direction sensor 200, and determines the z, of the floating body 15A among the coordinates shown in FIG.
Achieve stabilization of movement in the θ and ξ directions. The guide direction control circuit 204 is configured to control the signals of each truck based on the signal of the guide direction sensor 201.
By controlling the difference between the exciting currents of the two magnetic support units,
Among the coordinates shown in the figure, stabilization of the movement in the y and Ψ directions is achieved. The output of the guide direction control circuit 204 passes through the A terminal side of two of the relays 214 and the coordinate inversion circuit 206
Given to. The B terminal side of the two relays is grounded. The coordinate reverse conversion circuit 206 calculates the value of the excitation voltage to be applied to each of the magnetic support units 31A to 31D and 31A 'to 31D' based on the output signals of the support direction control circuit 202 and the guide direction control circuit 204. The power amplifiers 63A to 63D and 63A 'to 63D' are provided with coils 56 of the magnetic support units 31A to 31D and 31A 'to 31D' to which the same alphabet symbols are assigned based on the excitation voltage output signal of the coordinate inversion circuit 206. To excite. One input terminal of the four adders 216 is grounded via the A terminals of the remaining four relays of the relay 214. The B terminals of the four relays are connected to the output terminal of the above-described constant voltage generator 218 that generates a voltage for reducing the input signals to the power amplifiers 63A 'to 63D' by a predetermined value.

この制御装置41bは次のように動作する。 The control device 41b operates as follows.

すなわち、案内方向センサ201が正常な場合には、リ
レー214においてA端子が選択される。そして、案内方
向の運動に対しては組をなす磁気支持ユニットの励磁電
流の差を制御する動作が行われ、また支持力に対しては
組をなす磁気支持ユニットの励磁電流の和を制御する動
作が行われる。
That is, when the guide direction sensor 201 is normal, the A terminal is selected in the relay 214. Then, for the movement in the guiding direction, an operation of controlling the difference between the exciting currents of the magnetic supporting units forming a pair is performed, and for the supporting force, the sum of the exciting currents of the magnetic supporting units forming a pair is controlled. The operation is performed.

一方、案内方向センサ201が故障し、異常電圧が発生
すると、比較器212が基準電圧発生器210の電圧に基づい
て故障と判断する。この判断信号によりリレー214が付
勢されてB端子が選択される。B端子の選択により、案
内方向制御回路204の出力は座標逆変換回路206には到達
しない。したがって、案内方向センサ201の出力に基づ
く各磁気支持ユニット31A〜31D,31A′〜31D′の案内力
制御は停止する。
On the other hand, when the guidance direction sensor 201 fails and an abnormal voltage is generated, the comparator 212 determines that the failure has occurred based on the voltage of the reference voltage generator 210. The relay 214 is energized by this determination signal, and the B terminal is selected. Due to the selection of the B terminal, the output of the guide direction control circuit 204 does not reach the coordinate reverse conversion circuit 206. Therefore, the guide force control of each of the magnetic support units 31A to 31D and 31A 'to 31D' based on the output of the guide direction sensor 201 stops.

このとき、支持方向制御回路202の出力は座標逆変換
回路202を介してパワーアンプ63A〜63D,63A′〜63D′に
到達するが、加算器216においてパワーアンプ63A′〜63
D′への入力信号には、リレー214のB端子を介して到達
する一定電圧発生器218の負の出力信号が加算される。
その結果、パワーアンプ63A′〜63D′への入力信号は、
パワーアンプ63A〜63Dへのものより小さくなり、これに
よって磁気支持ユニット31A′〜31D′の発生する支持力
および案内力は磁気支持ユニット31A〜31Dのものよりも
小さくなる。このため、各台車125A〜125Dにy方向の横
変位が生じても前述の各台車の組をなす磁気支持ユニッ
ト同士の支持力の相殺が起こらず、浮上体15Aのy方向
もしくはΨ方向の運動に対して各台車の支持力および案
内力は互いに干渉することになる。
At this time, the output of the support direction control circuit 202 reaches the power amplifiers 63A to 63D and 63A 'to 63D' via the coordinate inverse conversion circuit 202, but the power amplifiers 63A 'to 63D are added in the adder 216.
The input signal to D 'is summed with the negative output signal of constant voltage generator 218 arriving via terminal B of relay 214.
As a result, the input signals to the power amplifiers 63A 'to 63D'
It is smaller than that to the power amplifiers 63A to 63D, so that the supporting force and guiding force generated by the magnetic support units 31A 'to 31D' are smaller than those to the magnetic support units 31A to 31D. Therefore, even if a lateral displacement occurs in each of the carts 125A to 125D in the y direction, the support force between the magnetic support units forming the set of the carts does not cancel, and the movement of the floating body 15A in the y direction or the Ψ direction occurs. In contrast, the supporting force and the guiding force of each truck interfere with each other.

支持力と案内力とに上述した干渉が生じる場合、浮上
体15Aの案内方向の運動の安定化のために先の実施例と
同様の作用が起こる。
When the above-described interference occurs between the supporting force and the guiding force, the same operation as in the previous embodiment occurs to stabilize the movement of the floating body 15A in the guiding direction.

すなわち、今、第11図に示すように、y方向に横変位
した場合を例にとると、制御装置41bの働きにより、磁
気支持ユニット31A(31D),31B(31C)の支持力・案内
力が支的となる。このように浮上体15Aにy方向の横変
位が生じると、磁気支持ユニット31A(31D)のガイドレ
ール12aに対する対向面積が減少する。このため、台車1
25A(125D)の支持力が減少し、案内力(−y方向)が
増加する。一方、台車125B(125C)の支持力が増加し、
案内力(y方向)が減少する。
That is, as shown in FIG. 11, when the lateral displacement is performed in the y direction as an example, the support / guiding force of the magnetic support units 31A (31D) and 31B (31C) is operated by the control device 41b. Will be supportive. When the y-direction lateral displacement occurs in the floating body 15A in this manner, the area of the magnetic support unit 31A (31D) facing the guide rail 12a decreases. For this reason, trolley 1
The supporting force of 25A (125D) decreases, and the guiding force (-y direction) increases. On the other hand, the bearing capacity of the bogie 125B (125C) increases,
The guiding force (y direction) decreases.

この実施例では、各磁気支持ユニットが電磁石でのみ
で構成されており、ゼロパワー制御を適用していない。
したがって、横揺れが生じた場合、浮上体重心に案内力
によるトルクが作用しなければ、支持力の変動がギャッ
プ長の変動に反比例し、第11図に示すように、浮上体15
Aはy方向の横変位ピーク時にθ方向に、−y方向の横
変位ピーク時に−θ方向に傾こうとする。一方、この実
施例では浮上体15の重心 におけるx軸回りの浮上制御をフィードバックさせない
y方向横変位による支持力の変動 に起因するトルクはθ方向、重心○印におけるx軸回り
の同y方向横変位による案内力の変動 に起因するトルクは−θ方向に作用するが、重心の設定
位置により、これらの合成トルクは−θ方向に作用す
る。この結果、先の実施例と同様の作用により浮上体15
Aの横揺れおよびローリングが安定化される。
In this embodiment, each magnetic support unit is composed of only an electromagnet, and does not apply zero power control.
Therefore, when the roll occurs, if the torque due to the guide force does not act on the center of gravity of the levitation, the change in the supporting force is inversely proportional to the change in the gap length, and as shown in FIG.
A tends to tilt in the θ direction when the lateral displacement peaks in the y direction and in the −θ direction when the lateral displacement peaks in the −y direction. On the other hand, in this embodiment, the center of gravity of the levitating body 15 is Of support force due to lateral displacement in y direction without feedback of levitation control about x axis Is the fluctuation of the guide force due to the lateral displacement around the x-axis in the same direction in the y-direction at the mark ○ The combined torque acts in the -θ direction depending on the set position of the center of gravity. As a result, the floating body 15 is actuated by the same operation as in the previous embodiment.
Rolling and rolling of A are stabilized.

また、浮上体がその重心を中心にΨ方向に揺れた場合
(ヨーイングを生じた場合)、この実施例では、各台車
125A〜125Dに取り付けられた磁気支持ユニット31A〜31D
の支持力作用点を結ぶ直線の幾何学的回転軸の高さによ
ってヨーイングを収束させる。なお、この高さがサスペ
ンション100のバネ106のバネ定数に依存することは言う
までもない。
In the case where the levitating body swings in the Ψ direction around its center of gravity (when yawing occurs),
Magnetic support units 31A-31D mounted on 125A-125D
The yaw is converged by the height of the geometrical rotation axis of the straight line connecting the supporting force action points. It goes without saying that this height depends on the spring constant of the spring 106 of the suspension 100.

以下、その理由を説明をする。第15図には、Ψ方向に
ヨーク角を生じている浮上体15Aの台車125A,125Bの状態
を実線で、台車125C,125Dの状態を破線で示してある。
台車125A〜125Dにおける磁気支持ユニット上端の支持作
用点をそれぞれAf,Bf,Cf,Dfとすると、Af,Bfを結ぶ線分
の垂直2等分線とCf,,Dfを結ぶ線分の垂直2等分線との
交点Q が浮上体15Aがヨーイングを生じたときの線分Af−Bf(C
f−Df)の回転軸となる。この実施例では、点Qを通る
x軸回りのヨー角による案内力の変動に起因するトルク
がヨー角により支持力の変動に起因するトルクより大き
くなるようにバネ106にバネ定数が設定されている。し
たがって、浮上体15Aにヨー角が発生し、浮上制御によ
り線分Af−Bf(Cf−Df)がθ方向(−θ方向)に回転し
ても、これらの合成トルクは線分Af−Bf(Cf−Df)を−
θ方向(θ方向)に回転させるように作用する。このた
め、先の実施例と同様にして浮上体15Aのヨーイングが
収束する。
Hereinafter, the reason will be described. FIG. 15 shows the states of the carriages 125A and 125B of the floating body 15A having a yoke angle in the Ψ direction by solid lines, and the states of the carriages 125C and 125D by broken lines.
Let Af, Bf, Cf, Df be the supporting action points at the upper ends of the magnetic support units in the carts 125A to 125D, respectively, and let the vertical bisector of the line connecting Af, Bf and the vertical 2 of the line connecting Cf, Df. Intersection Q with the bisector Is the line segment Af-Bf (C
f-Df). In this embodiment, the spring 106 is set to have a spring constant such that the torque caused by the change in the guide force due to the yaw angle around the x-axis passing through the point Q becomes larger than the torque caused by the change in the support force due to the yaw angle. I have. Therefore, even if a yaw angle is generated in the levitation body 15A and the line segment Af-Bf (Cf-Df) rotates in the θ direction (−θ direction) by the levitation control, these combined torques are converted into the line segment Af-Bf ( Cf-Df)-
Acts to rotate in the θ direction (θ direction). Therefore, yawing of the floating body 15A converges in the same manner as in the previous embodiment.

以上述べたように、この実施例においては、案内方向
の制御に不具合が生じても、浮上体15Aの浮上走行を確
保でき、装置の信頼性、安全性の向上を実現できる。
As described above, in this embodiment, even if a problem occurs in the control of the guide direction, the floating traveling of the floating body 15A can be ensured, and the reliability and safety of the device can be improved.

なお、補助案内手段としての磁気支持ユニット31A′
〜31D′が支持力と案内力を発生するように台車125A〜1
25Dに取り付けられているが、第16図に示すように、案
内力のみを発生するような配置であっても何等差し支え
ない。
The magnetic support unit 31A 'as an auxiliary guide means
Bogie 125A ~ 1 so that ~ 31D 'generates supporting force and guiding force
Although it is attached to 25D, as shown in FIG. 16, there is no problem even if it is arranged to generate only a guiding force.

この第16図に示す例では、磁気支持ユニット31A′〜3
1Dが非常用ガイド13a,13bの上面に取り付けられた強磁
性ガイドレール112a,112bに対向して案内力を発生する
ように台車125A〜125Dに固定されている。
In the example shown in FIG. 16, the magnetic support units 31A 'to 3A
1D is fixed to the carts 125A to 125D so as to generate a guide force facing the ferromagnetic guide rails 112a and 112b attached to the upper surfaces of the emergency guides 13a and 13b.

第17図には第16図に示すように磁気支持ユニット31
A′〜31D′を配置したときの制御装置41b′が示されて
いる。なお、この図では、第14図と同一部分が同一符号
で示されている。したがって、重複する部分の詳しい説
明は省略する。
FIG. 17 shows the magnetic support unit 31 as shown in FIG.
The control device 41b 'when A' to 31D 'are arranged is shown. In this figure, the same parts as those in FIG. 14 are denoted by the same reference numerals. Therefore, a detailed description of the overlapping part will be omitted.

制御装置41b′中の座標逆変数回路206は、磁気支持ユ
ニット31A〜31Dと磁気支持ユニット31A′〜31D′とを個
別に制御すべくz,θ,ξモード座標逆変換回路206aと、
y,Ψモード座標逆変換回路206bとに分けられている。す
なわち、案内方向センサ201の故障時には2個のリレー2
14により案内方向制御回路204の出力が解放され、y,Ψ
モード座標逆変換回路206bの入力はリレー214のB端子
を介して接地される。このため、パワーアンプ63A′〜6
3D′の入力信号が零となり、磁気支持ユニット31A′〜3
1D′は励磁されない。しながって、案内力は全く生じな
い。このとき、磁気支持ユニット31A〜31D、ガイドレー
ル12a,12bに対して第13図の場合と同じ配置になるた
め、これらの支持力と案内力は互いに干渉し前述の実施
例と同様の作用を得ることができる。
The coordinate inverse variable circuit 206 in the control device 41b ′ includes a z, θ, ξ mode coordinate inverse conversion circuit 206a for individually controlling the magnetic support units 31A to 31D and the magnetic support units 31A ′ to 31D ′,
y, Ψ mode coordinate conversion circuit 206b. That is, when the guiding direction sensor 201 fails, the two relays 2
14, the output of the guide direction control circuit 204 is released, and y, Ψ
The input of the mode coordinate inverse transform circuit 206b is grounded via the terminal B of the relay 214. For this reason, power amplifiers 63A 'to 6
The input signal of 3D ′ becomes zero, and the magnetic support units 31A ′ to 3A
1D 'is not excited. Therefore, no guiding force is generated. At this time, since the magnetic support units 31A to 31D and the guide rails 12a and 12b are arranged in the same manner as in the case of FIG. 13, their support force and guide force interfere with each other, and the same operation as in the above-described embodiment is performed. Obtainable.

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
ない。第1図乃至第9図に示した実施例では基台25が、
その進行方向に平行な回転軸の回りで回転可能な2つの
分割板26a,26bより構成されているが、回転軸の方向、
個数および位置は何等特定されるものではない。被搬送
体、電源、制御装置、磁気支持ユニットおよびガイドレ
ールなどの形状および配置等により、第18図〜第21図に
示すように種々変更可能である。第18図は連結機構27を
浮上体15の進行方向に対して直交する方向の軸回りで分
割板26a,26bとを回転自在に連結した例であり、第19図
は浮上体15の進行方向に対し僅かに傾いた軸回りに連結
機構27を設けた例である。また、第20図は6つの磁気支
持ユニット31を、また第21図は8つの磁気支持ユニット
31をそれぞれ用いた例であり、共に進行方向に分割され
分割板26a,26bが水平方向面内で回転可能に連結されて
おり、かつ上記各分割板26a,26bがそれぞれ2つないし
3つに分割され、その分割体が鉛直面内で回転可能に連
結されている。
The present invention is not limited to the embodiments described above. In the embodiment shown in FIGS. 1 to 9, the base 25 is
It is composed of two divided plates 26a and 26b rotatable around a rotation axis parallel to the traveling direction.
The number and position are not specified at all. Various changes can be made as shown in FIGS. 18 to 21 depending on the shape and arrangement of the transferred object, the power supply, the control device, the magnetic support unit, the guide rail, and the like. FIG. 18 shows an example in which the connecting mechanism 27 is rotatably connected to the dividing plates 26a and 26b around an axis perpendicular to the traveling direction of the floating body 15, and FIG. 19 shows the traveling direction of the floating body 15. This is an example in which a connecting mechanism 27 is provided around an axis slightly inclined with respect to. FIG. 20 shows six magnetic supporting units 31, and FIG. 21 shows eight magnetic supporting units.
In this example, each of the divided plates 26a, 26b is divided into two or three in the traveling direction, and the divided plates 26a, 26b are rotatably connected in a horizontal plane. It is divided, and the divided body is rotatably connected in a vertical plane.

また、実施例では制御装置およびその動作をアナログ
制御的に表現してあるが、これは制御方式の様式を何ら
限定するものではなく、デジタル制御を用いたものであ
って何等差し支えない。
Further, in the embodiment, the control device and its operation are represented by analog control. However, this does not limit the form of the control method at all, and uses a digital control and does not impose any problem.

さらに、実施例では、浮上体の運動を複数の座標系で
表し、各座標系毎に浮上制御を行うモード別制御方式を
採用しているが、これは磁気支持ユニット毎に制御を行
う個別制御であってもよい。要は、支持方向の浮上制御
を同うことで、浮上体の案内方向への揺動時に揺動速度
が零となる時点で浮上ギャップ長が浮上体の外側方向に
ある磁気支持ユニットについては減少させず、内側方向
にあるものについては増加させなければ、いかなる制御
方式を用いても何等差し支えない。
Further, in the embodiment, the movement of the levitation body is represented by a plurality of coordinate systems, and a mode-specific control method for performing levitation control for each coordinate system is employed. This is an individual control method for controlling each magnetic support unit. It may be. In short, by using the same levitation control in the supporting direction, the magnetic support unit whose levitation gap length is outside the levitation body when the oscillating speed becomes zero when the levitation body oscillates in the guide direction is reduced. Any control method can be used without any increase unless the increase is applied to the inward direction.

また、上記実施例では、磁気支持ユニットが外側にず
れた状態でガイドレールと対向しており、かつガイドレ
ールの幅は同ユニットの継鉄間の外側寸法により狭く構
成されている。これは、磁気支持ユニットのガイドレー
ルに対する配置およびガイドレールの幅を何ら限定する
ものではなく、磁気支持ユニットが安定な浮上状態にあ
るときガイドレールと同ユニットの間に支持力と案内力
とが同時に働く配置であればよく、たとえば第22図に示
すようにガイドレール12a(12b)の幅の方が広い配置で
あって何ら差し支えない。
Further, in the above embodiment, the magnetic support unit is opposed to the guide rail in a state shifted to the outside, and the width of the guide rail is configured to be narrow due to the outside dimension between the yoke of the unit. This does not limit the arrangement of the magnetic support unit with respect to the guide rail and the width of the guide rail at all. When the magnetic support unit is in a stable floating state, the supporting force and the guide force are set between the guide rail and the unit. Any arrangement may be used as long as they work simultaneously. For example, as shown in FIG. 22, the width of the guide rails 12a (12b) is wider, and there is no problem.

また、上記実施例では、磁気支持ユニットの中の磁気
回路が浮上体の進行方向に直交しているが、これは磁気
回路の向きを何ら限定するのではなく、第23図に示すよ
うに同方向であってもよい。
Further, in the above embodiment, the magnetic circuit in the magnetic support unit is perpendicular to the traveling direction of the levitating body, but this does not limit the direction of the magnetic circuit at all, and as shown in FIG. It may be a direction.

さらに、上記実施例では、ガイドレールが2本である
が、ガイドレールの本数は何ら限定されるものでなく、
第24図に示すように12a,12b,12cの3本あるいは、それ
以上の本数であって何ら差し支えない。
Further, in the above embodiment, the number of guide rails is two, but the number of guide rails is not limited at all,
As shown in FIG. 24, there are no problem with three or more of 12a, 12b, and 12c.

また、上記実施例では、浮上体重心およびヨーイング
時の浮上体の回転軸がいずれも磁気支持ユニットより下
方にあるが、たとえば第25図〜第27図に示す吸引式磁気
浮上装置10cのように磁気支持ユニットより上方にあっ
てもよい。
In the above embodiment, the center of gravity of the levitation and the rotation axis of the levitation body during yawing are both below the magnetic support unit. For example, like the suction type magnetic levitation device 10c shown in FIGS. 25 to 27, FIG. It may be above the magnetic support unit.

以下、この実施例の説明をする。なお、第25〜第27図
では、第1図および第10図に示す要素に相当する部分に
同一符号を付すとともに大文字のアルファベットを付し
てある。したがって、重複する部分の説明を省略する。
Hereinafter, this embodiment will be described. In FIGS. 25 to 27, parts corresponding to the elements shown in FIGS. 1 and 10 are given the same reference numerals and are given uppercase alphabets. Therefore, the description of the overlapping part will be omitted.

この実施例に係る吸引式磁気浮上装置10cの浮上体15B
は、断面が工字状の軌道11Aの上部左右にオーバーハン
ド部の下面に取り付けられた強磁性ガイドレール12A,12
Bに対して磁気浮上し、軌道11Aの下部左右張出し上面の
要所要所に取りつけられたリニアモーター固定個16から
力を受けて走行する。
Floating body 15B of the suction type magnetic levitation device 10c according to this embodiment
Are ferromagnetic guide rails 12A, 12A attached to the lower surface of the overhand part on the left and right of the upper and lower sides of the track 11A having a man-shaped cross section.
It magnetically levitates with respect to B, and travels by receiving force from linear motor fixing pieces 16 attached to required locations on the upper surface of the lower right and left overhangs of the track 11A.

浮上体15Bは、トランク302A,302Bを有するとともに荷
物積載のための凹部を持った基台25Bと、基台25Bの四隅
に配置されたバネ306と、軸と軸受からなる連結機構227
A,227Bと、台車225A,225Bとで構成されている。
The floating body 15B has trunks 302A and 302B and a base 25B having a concave portion for loading a load, springs 306 arranged at four corners of the base 25B, and a coupling mechanism 227 including a shaft and a bearing.
A, 227B and carts 225A, 225B.

台車225A,225Bは、連結機構227A,227Bにより基台25B
に回転可能に接続されている。そして、各台車225A,225
Bの両端下部張出し上面には、1個づつ、計4個の磁気
支持ユニット31a〜31dとギャップセンサ34A〜34Dとが取
付けられている。また、上記張出し下面には、固定子16
からの電磁力を受けるリニアモータの2次導体板230が
取り付けられている。磁気支持ユニット31a〜31dは、浮
上体15Bの安定浮上時に、第28図に磁気支持ユニット31b
だけを取出して示すように、浮上体15Bの内側方向にず
れた状態でガイドレール12A(12B)に対向する関係に設
けられている。
The carts 225A and 225B are connected to the base 25B by the coupling mechanisms 227A and 227B.
Is rotatably connected to And each trolley 225A, 225
A total of four magnetic support units 31a to 31d and gap sensors 34A to 34D are attached to the upper surface of the lower end of B at one end. In addition, the stator 16
A secondary conductor plate 230 of a linear motor that receives electromagnetic force from the motor is mounted. The magnetic support units 31a to 31d move when the floating body 15B stably floats, as shown in FIG. 28.
As shown in the drawing, only the guide rail 12A (12B) faces the guide rail 12A while being shifted inward from the floating body 15B.

トランク302A,302Bには、第5図に示されるものと同
様に構成された図示しない制御装置、電源および定電圧
発生装置のそれぞれが2つに分割されて納められてい
る。したがって、ここでは制御装置41cとして説明す
る。そして、バネ306は、これらの重畳や基台25Bに積載
される積荷の重量に対し、有効なストロークを確保でき
るバネ定数を有している。
In the trunks 302A and 302B, a control device, a power supply, and a constant voltage generator (not shown) each having the same configuration as that shown in FIG. Therefore, description will be made here as the control device 41c. Further, the spring 306 has a spring constant that can secure an effective stroke with respect to the weight of the load superimposed on the load or the load loaded on the base 25B.

制御装置41cは第5図〜第9図に示されている制御装
置41aと同じ構成であるが、θモードにおけるゲイン
補償器91b、積分補償器94bの各ゲインは、浮上体15Bの
案内方向の揺動の4分の1周期よりも、このモードにお
ける制御時定数のほうが短くなるように設定されてい
る。また、θΨモードにおけるゲイン補償器91c、積分
補償器94cの各ゲインは、浮上体15Bのヨーイングの4分
の1周期よりも、このモードにおける制御時定数のほう
が長くなるように設定されている。そして、浮上体15B
の重心は、トランク302A,302B内に電源等の重量物を収
納した場合でも磁気支持ユニット31a〜31dより上方の の位置にあるように設定されている。このように構成さ
れた吸引式磁気浮上装置10cにあって、ガイドレール12
A,12Bの曲線部分を通過するときなどのように、浮上体1
5Bに案内方向の外力が加わると、たとえば浮上体15Bが
y方向に揺れようとする。
Although the control unit 41c has the same configuration as the control unit 41a shown in FIG. 5-FIG. 9, the gain compensator 91b in the theta y mode, the gain of the integral compensator 94b, the guide direction of the floating body 15B The control time constant in this mode is set to be shorter than the quarter period of the swing of the control. The gain compensator 91c in theta [psi mode, the gain of the integral compensator 94c, rather than a quarter period of the yawing of the floating body 15B, is set as towards the control time constant in this mode is increased . And the floating body 15B
The center of gravity is higher than the magnetic support units 31a to 31d even when heavy objects such as power supplies are stored in the trunks 302A and 302B. It is set to be in the position of. In the suction type magnetic levitation apparatus 10c configured as described above, the guide rail 12
A levitation body 1 such as when passing the curved part of A, 12B
When an external force in the guide direction is applied to 5B, for example, the floating body 15B tends to swing in the y direction.

この実施例では、先に述べたように、制御装置41cに
おけるθモードの各ゲインは、このモードの制御時定
数が、浮上体15Bの案内方向の揺動の4分の1周期より
短くなるように設定されている。したがって、横御方向
の揺動速度が零になる横変位のピーク時には制御装置41
cによる浮上制御が整定し、浮上体15Bはθ方向に傾くこ
とになる。つまり、第26図を参照しながら説明すると、
磁気支持ユニット31a〜31dのうちガイドレール12A,12B
の中心から遠ざかる磁気支持ユニット31b(31c)ついて
は浮上体15Bの揺動による磁気支持ユニット・ガイドレ
ール間の磁気抵抗の増加で吸引力が減少し、ガイドレー
ル12A,12Bの中心に近づく磁気支持ユニット31a(31d)
については磁気抵抗の減少で吸引力が増加する。する
と、浮上体15Bの重心回りには−θ方向のトルクが作用
し、浮上体15Bは−θ方向に傾いていく。しかし、この
ようは浮上体15Bの挙動は、ギャップセンサ34A〜34Dに
より検出され制御装置41cにフィードバックされる。こ
の場合、θモードにおける浮上制御は整定時間が短
く、ゼロパワー制御を適用している制御装置41cにあっ
ては、この吸引力の変動を打ち消すように各磁気支持ユ
ニットの励磁電流を制御する。このため、吸引力の増加
する磁気支持ユニットの浮上ギャップ長は増加しようと
し、吸引力の減少する磁気支持ユニットの浮上ギャップ
長は減少しようとする。言い換えると、y方向横変位の
ピーク時までに浮上制御が整定し、このピーク時には浮
上体15Bの重心回りに浮上制御によりθ方向のトルクが
作用し、浮上体15Bはθ方向にロール角θだけ傾くこと
になる。
In this embodiment, as mentioned earlier, the gain of the theta y mode in the control unit 41c, the control time constant of the mode is shorter than a quarter period of oscillation of the guiding direction of the floating body 15B It is set as follows. Therefore, at the time of the peak of the lateral displacement at which the rocking speed in the lateral direction becomes zero, the control device 41
The levitation control by c is settled, and the levitation body 15B is inclined in the θ direction. That is, referring to FIG. 26,
Guide rails 12A and 12B among magnetic support units 31a to 31d
The magnetic support unit 31b (31c) moving away from the center of the magnetic support unit 31b (31c) increases the magnetic resistance between the magnetic support unit and the guide rail due to the swing of the levitation body 15B, so that the attraction force decreases and the magnetic support unit approaches the center of the guide rails 12A and 12B. 31a (31d)
For, the attraction force increases due to the decrease in magnetic resistance. Then, a torque in the -θ direction acts around the center of gravity of the levitating body 15B, and the levitating body 15B inclines in the -θ direction. However, the behavior of the flying body 15B is detected by the gap sensors 34A to 34D and fed back to the control device 41c. In this case, theta floating control in y mode short settling time, in the control device 41c which is applied a zero power control, which controls the excitation current of each magnetic support unit so as to cancel the variation of the suction force . For this reason, the flying gap length of the magnetic support unit in which the attraction force increases tends to increase, and the flying gap length of the magnetic support unit in which the attraction force decreases tends to decrease. In other words, the floating control is settled by the peak of the lateral displacement in the y direction, and at this peak, the torque in the θ direction acts on the center of gravity of the floating body 15B by the floating control, so that the floating body 15B has a roll angle θ in the θ direction. You will lean.

この間に、浮上体15Bの横変位も増加していくが、こ
の横変位は制御装置41cにフィードバックされることは
ない。したがって、この横変位により、磁気支持ユニッ
ト31b(31c)ではガイドレール12Bとの対向面積が減少
するので支持力が減少する。また、磁気支持ユニット31
a(31d)では、ガイドレール12Aとの対向面積が増加す
るので支持力が増加する。この結果、横変位による支持
力の変動に起因するトルクは、浮上体15Bのロール角θ
を減少させるように作用する。一方、磁気支持ユニット
31b(31c)では、ガイドレール12Bから遠ざかるため、
ガイドレールに対するならい力が増加する。また、磁気
支持ユニット31a(31d)では、ガイドレール12Aに近づ
くため、ガイドレールに対するならい力が減少する。こ
の結果、浮上体15Bには横変位を減少させる案内力が作
用し、横変位による案内力の変動に起因する浮上体重心
回りのトルクはロール角θを増加させるように作用す
る。
During this time, the lateral displacement of the floating body 15B also increases, but this lateral displacement is not fed back to the control device 41c. Therefore, due to the lateral displacement, the area of the magnetic support unit 31b (31c) facing the guide rail 12B decreases, so that the support force decreases. Also, the magnetic support unit 31
In a (31d), the support area increases because the area facing the guide rail 12A increases. As a result, the torque resulting from the change in the supporting force due to the lateral displacement is equal to the roll angle θ of the floating body 15B.
Acts to reduce Meanwhile, the magnetic support unit
At 31b (31c), it goes away from the guide rail 12B,
The tracing force on the guide rail increases. Further, in the magnetic support unit 31a (31d), since it approaches the guide rail 12A, the copying force on the guide rail decreases. As a result, a guide force for reducing the lateral displacement acts on the levitation body 15B, and the torque around the center of gravity of the levitation caused by the fluctuation of the guide force due to the lateral displacement acts to increase the roll angle θ.

この実施例では、浮上体重心が磁気支持ユニットより
上方に位置しているが、横変位による支持力の変動に起
因するトルクと横変位による案内力の変動に起因するト
ルクとの合成トルクが浮上体15Bの外側方向に移動する
磁気支持ユニット31a(31d)の浮上ギャップを減少さ
せ、浮上体15Bの内側方向に移動する磁気支持ユニット3
1b(31c)の浮上ギャップを増加させる作用を持つ位置
に設定されている。このため、この合成トルクは、浮上
体15Bのロール角を減少させるように作用する。すなわ
に、この合成トルクは、浮上制御によるθ方向のトルク
を抑制し、浮上体15Bをローリングを減衰させる。浮上
体15Bのローリングが減衰すれば、ローリングに伴う磁
気支持ユニットの案内力の変動も減衰し、結果として浮
上体15Bに生じた揺動が減衰し、再び安定な磁気浮上状
態が回復される。
In this embodiment, the levitation center of gravity is located above the magnetic support unit, but the combined torque of the torque caused by the change in the supporting force due to the lateral displacement and the torque caused by the change in the guiding force due to the lateral displacement rises. The magnetic support unit 31a (31d), which moves in the outer direction of the body 15B, reduces the floating gap of the magnetic support unit 31a,
It is set at a position that has the effect of increasing the flying gap of 1b (31c). For this reason, the combined torque acts to reduce the roll angle of the floating body 15B. That is, this combined torque suppresses the torque in the θ direction due to the levitation control, and attenuates the rolling of the levitation body 15B. If the rolling of the floating body 15B is attenuated, the fluctuation of the guide force of the magnetic support unit accompanying the rolling is also attenuated, and as a result, the swing generated in the floating body 15B is attenuated, and the stable magnetic levitation state is restored again.

この場合、二次導体板230に銅板などの重量物を用
い、浮上体の重心位置を磁気支持ユニット上端より下方
に設定すれば、横変位による案内力の変動に起因するト
ルクが−θ方向に作用することになるので、なお一層良
好な揺動減衰を達成することができる。
In this case, if a heavy object such as a copper plate is used for the secondary conductor plate 230 and the position of the center of gravity of the floating body is set below the upper end of the magnetic support unit, the torque due to the fluctuation of the guiding force due to the lateral displacement is reduced in the -θ direction. As a result, even better swing damping can be achieved.

次に、浮上体15Bがその重心を中心にしてΨ方向にヨ
ーイングを生じた場合について説明する。
Next, a description will be given of a case where yawing occurs in the ヨ ー direction around the center of gravity of the floating body 15B.

もし、制御装置41cのθモードの各ゲインが、θ
ードと同様に、このモードの数定時間が浮上体15Bのヨ
ーイングの周期の4分の1より短くなるように設定され
ており、浮上制御にフィードバックされないΨ方向のヨ
ーイングによる支持力の変動に起因するトルクと同Ψ方
向のヨーイングによる案内力の変動に起因するトルクと
の合成トルクが−θ方向(θ方向)のローリングを生じ
るように位置に連結機構227A(227B)の回転軸が位置し
ていれば、連結機構227A,227Bを回転軸として台車225A,
225Bの互いに逆向きのローリングについて前述の作用と
同様な現象が起こり、浮上体15Bが再び安定な磁気浮上
状態を回復することになる。
If the gains of the theta mode of the control unit 41c is, theta like the y mode, several scheduled is set to be shorter than a quarter of the yawing of the period of the floating body 15B in this mode, floating The combined torque of the torque caused by the fluctuation of the supporting force due to yawing in the Ψ direction and the torque caused by the fluctuation of the guiding force caused by yawing in the same direction, which is not fed back to the control, causes rolling in the −θ direction (θ direction). If the rotation axis of the connecting mechanism 227A (227B) is located at the position, the bogies 225A,
A phenomenon similar to the above-described action occurs for the rolling of the 225B in the opposite direction, and the levitation body 15B recovers a stable magnetic levitation state again.

しかし、この実施例におけるθΨの各ゲインは、この
モードの浮上制御時定数が浮上体15Bのヨーイングの周
期4分の1より長くなるように設定されている。ここ
で、説明の便宜を図るため、浮上体15Bのヨー角をΔΨ
とする。この場合、第1図に示す実施例でも述べたよう
に、ガイドレール12A,12Bとの対向面積がヨーイングに
より増加する磁気実施例ユニットについては吸引力が増
加し、対向面積が現象する磁気支持ユニットについては
吸引力が減少する。すなわち、Ψ方向のヨーイングによ
り、台車225Aが−θ方向に、台車225Bがθ方向にロール
する。このとき、この吸引力変動に対するθモードの浮
上制御は間に合わないので、台車225Aの連結機構227A
(台車225Bの連結機構227B)の回転軸まわりには−θ方
向(θ方向)のトルクが作用し、台車225A(225B)は−
θ方向(θ方向)に傾くことになる。一旦、−θ方向
(θ方向)のトルクが作用すると、磁気支持ユニット31
a(31c)の浮上ギャップはさらに減少し、磁気支持ユニ
ット31b(31d)の浮上ギャップはさらに増加する。すな
わち、ロール角−Δθ(Δθ)のフィードバックによる
浮上制御で浮上体15Bに作用する第1の合成トルクは、
ヨー方向ヨー角のピーク時でも台車225A(225B)のロー
ル角を−θ方向(θ方向)に増大させるように作用す
る。
However, each gain of θ Ψ in this embodiment is set so that the levitation control time constant in this mode is longer than a quarter of the yaw cycle of the levitation body 15B. Here, for convenience of explanation, the yaw angle of the floating body 15B is set to Δ を
And In this case, as described in the embodiment shown in FIG. 1, in the magnetic embodiment unit in which the area of opposition to the guide rails 12A and 12B increases due to yawing, the attraction force increases, and the magnetic support unit in which the area of opposition decreases. For, the suction force decreases. That is, the bogie 225A rolls in the -θ direction and the bogie 225B rolls in the θ direction by yawing in the Ψ direction. At this time, the floating control in the θ mode with respect to the suction force fluctuation cannot be made in time, so the connecting mechanism 227A of the bogie 225A
The torque in the -θ direction (θ direction) acts around the rotation axis of the (coupling mechanism 227B of the bogie 225B), and the bogie 225A (225B)
It will tilt in the θ direction (θ direction). Once the torque in the -θ direction (θ direction) acts, the magnetic support unit 31
The flying gap of a (31c) further decreases, and the flying gap of the magnetic support unit 31b (31d) further increases. That is, the first combined torque acting on the levitation body 15B in the levitation control by the feedback of the roll angle −Δθ (Δθ) is:
Even at the peak of the yaw angle in the yaw direction, the roll 225A (225B) acts to increase the roll angle in the -θ direction (θ direction).

この間に、台車225A(225B)のヨー角の大きさも増大
していくか、このヨーイングにより、磁気支持ユニット
31a(31c)ではガイドレール12A(12B)との対向面積が
増加するので支持力が増加する。また、磁気支持ユニッ
ト31b(31d)では、ガイドレール12B(12A)との対向面
積が減少するので支持力が減少する。この結果、ヨーイ
ングによる支持力の変動 に起因するトルクは、第1のトルクと同様に、台車225A
(225B)のロール角を−θ方向(θ方向)に増加させる
ように作用する。一方、磁気支持ユニット31a(31c)で
は、ガイドレール12A(12B)に近づくため、ガイドレー
ルに対するならい力が減少する。また、磁気支持ユニッ
ト31b(31d)では、ガイドレールB(12A)から遠ざか
るため、ガイドレールに対するならい力が増加する。そ
の結果、台車225A(225B)にはヨーイングを減少させる
案内力が作用し、ヨーイングによる案内力の変動 に起因する連結機構227A(227B)の回転軸回りのトルク
は−θ方向(θ方向)のロール角を減少させるように作
用する。この実施例では、連結構成227A,227Bが台車225
a,225bより下方にあり、ヨーイングによる支持力の変動
に起因するトルクとヨーイングによる案内力の変動に起
因するトルクとの合成である第2のトルクが浮上体15B
の外側方向に移動する磁気支持ユニット31a(31c)の浮
上ギャップを増加させ、浮上体15Bの内側方向に移動す
る磁気支持ユニット31b(31d)の浮上ギャップを減少さ
せる作用を持つ位置に連結機構227A,227Bの回転軸が位
置している。このため、第2のトルクは、台車225A(22
5B)の−θ方向(θ方向)のロール角を減少させるよう
に作用する。すなわち、第2のトルクは、ヨー角のピー
ク時に第1のトルクを抑制し、台車225A,225Bのローリ
ングを減衰させる。台車225A,225Bのローリングが減衰
すれば、ローリングに伴う磁気支持ユニットの案内力の
変動も減衰し、結果として、浮上体15Bに生じたヨーイ
ングが減衰し、再び安定な磁気浮上状態が回復されるこ
とになる。
During this time, the size of the yaw angle of the bogie 225A (225B) also increases, or this yawing causes the magnetic support unit
In the case of 31a (31c), the support area increases because the area facing the guide rail 12A (12B) increases. Further, in the magnetic support unit 31b (31d), the supporting area decreases because the area facing the guide rail 12B (12A) decreases. As a result, fluctuations in bearing capacity due to yawing Is the same as the first torque.
(225B) acts to increase the roll angle in the -θ direction (θ direction). On the other hand, in the magnetic support unit 31a (31c), since it approaches the guide rail 12A (12B), the copying force on the guide rail decreases. Further, in the magnetic support unit 31b (31d), since the magnetic support unit 31b (31d) moves away from the guide rail B (12A), the copying force on the guide rail increases. As a result, the bogie 225A (225B) receives a guide force that reduces yaw, and the guide force fluctuates due to yaw. The torque around the rotation axis of the coupling mechanism 227A (227B) due to the above acts to reduce the roll angle in the -θ direction (θ direction). In this embodiment, the connection configurations 227A and 227B are
a, 225b, and a second torque, which is a combination of the torque resulting from the fluctuation in the supporting force due to yawing and the torque resulting from the fluctuation in the guiding force due to yawing, is a floating body 15B.
The coupling mechanism 227A is located at a position having the effect of increasing the levitation gap of the magnetic support unit 31a (31c) moving in the outward direction and decreasing the levitation gap of the magnetic support unit 31b (31d) moving inward of the levitation body 15B. , 227B are located. For this reason, the second torque is generated by the bogie 225A (22
5B) acts to reduce the roll angle in the -θ direction (θ direction). That is, the second torque suppresses the first torque at the peak of the yaw angle and attenuates the rolling of the bogies 225A and 225B. If the rolling of the bogies 225A and 225B is attenuated, the fluctuation of the guide force of the magnetic support unit due to the rolling is also attenuated, and as a result, the yawing generated on the levitation body 15B is attenuated, and the stable magnetic levitation state is restored again. Will be.

つまり、強磁性体で形成されたガイドと、このガイド
の近傍に配置された浮上体と、この浮上体に空隙を介し
て前記ガイドに対向する関係に配置された電磁石を含む
磁気支持ユニットと、前記電磁石、前記ガイドおよび前
記空隙を通る磁気回路の状態を検出するセンサ部と、こ
のセンサ部の出力に基づいて前記電磁石の励磁電流を制
御することにより前記磁気回路を安定化させて前記浮上
体を磁気浮上させる制御手段とを備え、前記浮上体が安
定に磁気浮上している際に前記浮上体を支持するための
支持力とその支持方向に対してほぼ直交する案内方向に
前記浮上を案内するための案内力とを同時に発生するよ
う前記磁気支持ユニットがガイドに対向して配置されて
いる吸引式磁気浮上装置において、前記浮上体が案内方
向に揺動し、前記ガイドに対して浮上体重心の横変位が
生じたとき、揺動の速度が零となる前記横変位のピーク
時点で前記ガイドレールに対して前記浮上体の外側方向
に移動する前記磁気支持ユニットについてはその前記空
隙長を減少させず、前記ガイドレールに対して前記浮上
体の内側方向に移動する前記磁気支持ユニットについて
はその前記空隙長を増加させない第1の制御手段を持
ち、前記横変位による前記支持力の変動に起因する浮上
体重心回りのトルク成分と前記横変位による前記案内力
の変動に起因する浮上体重心回りのトルク成分との合成
トルクが前記外側方向に移動する前記磁気支持ユニット
についてはその前記空隙長を減少させ、前記内側方向に
移動する前記磁気支持ユニットについてはその前記空隙
長を増加させるように作用する位置に前記浮上体の重心
があり、かつ前記浮上体が前記磁気支持ユニットの前記
空隙長を互いに独立に変えることのできる空隙独立可変
機構を備え、また一対の前記磁気支持ユニットの支持力
作用点で規定される直線が前記浮上体の浮上時に浮上体
重心回りに生じたヨーイングのヨー角に起因してほぼ鉛
直面上で回転する際の当該直線の幾何学的回転軸が前記
案内力からトルクを受けない位置にあり、また前記浮上
体に外力が加わった際に発生する浮上体重心まわりのヨ
ーイングの速度が零となるヨー角のピーク時点で前記ガ
イドレールに対して前記浮上体の外側方向に移動する前
記磁気支持ユニットについてはその空隙長を増加させ
ず、前記ガイドレールに対して前記浮上体の内側方向に
移動する前記磁気支持ユニットについてはその空隙長を
減少させない第2の制御手段を備え、かつ前記ヨー角に
よる前記支持力の変動に起因する前記幾何学的回転軸回
りのトルク成分と前記ヨー角による前記案内力の変動に
起因する前記幾何学的回転軸回りのトルク成分との合成
トルクが前記外側方向に移動する前記磁気支持ユニット
についてはその空隙長を増加させ、前記内側方向に移動
する前記磁気支持ユニットについてはその空隙長を減少
させるように作用する位置に前記幾何学的回転軸があれ
ばよい。
In other words, a guide formed of a ferromagnetic material, a floating body arranged near the guide, and a magnetic support unit including an electromagnet arranged in a relationship facing the guide via a gap in the floating body, A sensor unit for detecting a state of a magnetic circuit passing through the electromagnet, the guide, and the air gap; and controlling the exciting current of the electromagnet based on an output of the sensor unit to stabilize the magnetic circuit so that the floating body Control means for magnetically levitating, and when the levitating body is stably magnetically levitated, guides the levitating in a guide force substantially perpendicular to the supporting force for supporting the levitating body and the supporting direction. In the suction type magnetic levitation device in which the magnetic support unit is arranged to face the guide so as to simultaneously generate a guiding force for performing the guide force, the floating body swings in the guiding direction, and When the lateral displacement of the levitation center of gravity occurs with respect to the guide rail, the magnetic support unit moves in the outward direction of the levitation body with respect to the guide rail at a peak time of the lateral displacement at which the swing speed becomes zero. Has a first control means that does not decrease the gap length and does not increase the gap length for the magnetic support unit that moves inward of the levitation body with respect to the guide rail; The magnetic support unit in which a combined torque of a torque component around the center of buoyant weight caused by the change in the supporting force and a torque component around the center of buoyant weight caused by the change in the guide force due to the lateral displacement moves in the outward direction. For the magnetic support unit moving inward, the gap length is reduced to a position that acts to increase the gap length. There is a center of gravity of the levitating body, and the levitating body has an air gap independent variable mechanism capable of changing the air gap length of the magnetic support unit independently of each other, and is defined by a supporting force action point of the pair of magnetic support units. When the straight line rotates substantially on a vertical plane due to the yaw angle of yawing generated around the center of gravity of the levitation when the levitation body floats, the geometric rotation axis of the straight line does not receive torque from the guiding force. At the peak of the yaw angle at which the yawing speed around the center of gravity of the levitation generated when an external force is applied to the levitation body becomes zero with respect to the guide rail. The air gap length of the magnetic support unit is not increased, and the air gap length of the magnetic support unit moving inward of the floating body with respect to the guide rail is reduced. And a torque component around the geometrical rotation axis caused by the variation of the support force due to the yaw angle and the geometric component caused by the variation of the guiding force due to the yaw angle. As for the magnetic support unit moving in the outward direction, the combined torque with the torque component around the rotation axis increases the gap length, and the magnetic support unit moving in the inward direction decreases the gap length. It suffices if the geometric rotation axis is located at the position where it acts.

なお、第27図に示すように、浮上体15Bに荷物500等を
搭載すると、浮上体重心もしくは幾何学的回転軸が図中
二重丸で示すように、搭載後の浮上体に関する位置に移
動することは言うまでもない。
As shown in FIG. 27, when the luggage 500 or the like is mounted on the levitating body 15B, the center of gravity of the levitating body or the geometric rotation axis moves to a position related to the levitating body after mounting as shown by a double circle in the figure. Needless to say.

なお、上述した各例では磁気支持ユニットを水平に取
付け、かつ磁気支持ユニットの継鉄の間の外側寸法より
も狭い平板状のガイドレールの下面に対して外側あるい
は内側にすれた状態でこれらを対向配置させている。し
かし、本発明は、上記配置関係や形状に限定されるもの
ではない。すなわち、浮上体が安定な磁気浮上状態にあ
るとき、ガイドもしくはガイドレールと磁気支持ユニッ
トとの間に支持力と案内力とが同時に発生する配置であ
ればよく、この条件を満たせばガイドもしくはガイドレ
ールがどのような配置および形状であってもよい。たと
えば、第29図,第30図に示されるように種々の変形が可
能である。すわなち、第29図に示されている例では、幅
が磁気支持ユニット31a〜31d(但し、ユニット31c,31d
は図示せず)の継鉄55間の外径寸法と同等の平板状のカ
ードレール203a,203bを軌道枠205に傾けて取付け、さら
に支持方向の浮上ギャップ長が検出できるようにギャッ
プセンサ34a〜34d(但し、センサ34c,34dは図示せず)
を基台25fの上面に配置している。この場合、磁気支持
ユニット31a〜31dとガイドレール203a,203bとの間に発
生する吸引力は、支持力(z方向)と案内力(y方向)
とに分解されるため、強い案内力を得ることができる。
第30図に示される例では、断面が磁気支持ユニット31a
〜31d(但し、ユニット31c,31dは図示せず)の2つの継
鉄55に対向するU字形状のガイドレール207a,207bを軌
道枠209に縦に取付けるとともに、H字状の断面形状を
有する2枚の分割板を連結機構27により連結して構成さ
れた基台25gの側面四隅に磁気支持ユニット31a〜31d
(但し、ユニット31c,31dは図示せず)を配置し、さら
に支持方向の浮上ギャップ長が検出できるようにギャッ
プセンサ34a〜34d(但し、センサ34c,34dは図示せず)
を基台25gの四隅下端に下向きに取付けている。また、
基台25gを構成する2枚の分割板の上方には、それぞれ
2つに分割された制御装置41a,定電圧発生装置42および
荷台211が、下方には、重量が重い電源43が配置され、
これによって浮上体15gが構成されている。この例で
は、継鉄55がz方向にずれたときにガイドレール207a,2
07bに作用する上方向の吸引力で浮上体15gの総重量を支
持しているため、継鉄55とガイドレール207a,207bとの
間の吸引力の大部分を案内力に利用することができる。
In each of the above-described examples, the magnetic support units are mounted horizontally, and these are attached to the lower surface of the flat plate-shaped guide rail that is narrower than the outer dimension between the yoke of the magnetic support units, in an outer or inner side. They are arranged facing each other. However, the present invention is not limited to the above arrangement and shape. That is, when the levitation body is in a stable magnetic levitation state, it is sufficient that the support force and the guide force are simultaneously generated between the guide or the guide rail and the magnetic support unit. The rails can be of any arrangement and shape. For example, various modifications are possible as shown in FIGS. 29 and 30. That is, in the example shown in FIG. 29, the widths of the magnetic support units 31a to 31d (however, the units 31c, 31d
(Not shown) flat card rails 203a, 203b having the same outer diameter as the yoke 55 between the yoke 55 are mounted on the track frame 205 at an angle, and the gap sensors 34a to 34b are provided so as to detect the floating gap length in the supporting direction. 34d (however, sensors 34c and 34d are not shown)
Are arranged on the upper surface of the base 25f. In this case, the attraction force generated between the magnetic support units 31a to 31d and the guide rails 203a and 203b is a support force (z direction) and a guide force (y direction).
And a strong guiding force can be obtained.
In the example shown in FIG. 30, the section is a magnetic support unit 31a.
U-shaped guide rails 207a and 207b opposed to the two yoke 55 of ~ 31d (however, the units 31c and 31d are not shown) are vertically mounted on the track frame 209 and have an H-shaped cross section. Magnetic support units 31a to 31d are provided at four corners of a side surface of a base 25g formed by connecting two split plates by a connecting mechanism 27.
(However, units 31c and 31d are not shown) are arranged, and gap sensors 34a to 34d (however, sensors 34c and 34d are not shown) so that the floating gap length in the supporting direction can be detected.
Is mounted downward at the lower ends of the four corners of the base 25g. Also,
Above the two split plates constituting the base 25g, a control device 41a, a constant voltage generator 42, and a loading platform 211, each of which is divided into two, are disposed below, and a heavy power supply 43 is disposed below.
Thus, a floating body 15g is configured. In this example, when the yoke 55 is displaced in the z direction, the guide rails 207a, 2
Since the total weight of the floating body 15g is supported by the upward suction force acting on 07b, most of the suction force between the yoke 55 and the guide rails 207a and 207b can be used for the guide force. .

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、磁気支持ユニ
ットを、このユニットが対向するガイドレールに対して
支持力および案内力を同時に発生するように浮上体に配
置し、浮上体の案内力の横揺れを浮上体の重心高と磁気
支持ユニット上端の支持力作用点までの距離および2つ
の同支持力作用点で規定される直線の回転軸と同支持力
作用点までの距離を利用して安定化させているので、案
内方向の浮上制御を行うためのセンサや電磁石が不要と
なり、磁気支持ユニットの小形化、軽量化を達成するこ
とができる。このため、ガイドレール等、浮上体を地上
側から支持する構造物の強度を下げることができ、装置
全体を小形化することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a magnetic support unit is arranged on a floating body so that the magnetic support unit simultaneously generates a supporting force and a guiding force with respect to a guide rail facing the magnetic supporting unit. The roll of the guide force of the body is determined by the distance between the height of the center of gravity of the levitation body and the support force action point at the upper end of the magnetic support unit, and the linear rotation axis defined by the two support force action points and the support force action point. Since the stabilization is performed by using the distance, a sensor or an electromagnet for performing levitation control in the guide direction is not required, and the size and weight of the magnetic support unit can be reduced. Therefore, the strength of a structure such as a guide rail that supports the floating body from the ground side can be reduced, and the entire apparatus can be downsized.

また、他の磁気的案内手段を用いる場合には、この手
段が故障しても、浮上体の案内方向の横揺れを安定化す
ることができるので、装置の信頼性、安全性を向上させ
ることができる。
Also, when other magnetic guide means are used, even if this means fails, the roll in the guide direction of the floating body can be stabilized, so that the reliability and safety of the device are improved. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例に係る吸引式磁気浮上装置を
局部的に取立して一部切欠して示す斜視図、第2図は同
装置を第1図におけるI−I線に沿って切断し矢印方向
に見た図、第3図は同装置を一部切欠して示す側面図、
第4図は同装置における磁気支持ユニットの断面図、第
5図は同装置における制御装置のブロック的構成図、第
6図乃至第9図は同制御装置における制御電圧演算回路
の構成を示すブロック図、第10図は本発明の別の実施例
に係る吸引式磁気浮上装置を局部的に取出して一部切欠
して示す斜視図、第11図は同装置を第10図におけるII−
II線に沿って切断し矢印方向に見た図、第12図は同装置
を一部切欠して示す側面図、第13図は同装置におけるガ
イドレールと浮上体との関係を説明するための図、第14
図は同装置における制御装置のブロック構成図、第15図
は同装置の動作を説明するための図、第16図および第17
図は変形例を説明するための図、第18図乃至第24図はそ
れぞれ異なる変形例を説明するための図、第25図は本発
明のさらに異なる実施例に係る吸引式磁気浮上装置を局
部的に取り出して一部切欠して示す斜視図、第26図は同
装置を第25図におけるIII−III線に沿って切断し矢印方
向に見た図、第27図は同装置を第25図におけるC−C線
に沿って切断し一部切欠して示す側面図、第28図は同装
置における磁気支持ユニットの断面図、第29図および第
30図はさらに異なる変形例を説明するための図である。 10a,10b,10c……吸引式浮上式搬送装置、11,11A,205,20
9……軌道枠、12a,12b,12c,12A,12B,203a,203b,207a,20
7b……ガイドレール、15,15A,15B……浮上体、25,25A,2
5B……基台、26a,26b……分割板、27,227A,227B……連
結機構、31a〜31d,31A〜31D,31A′〜31D′……磁気支持
ユニット、34a〜34d,34A〜34D,34A′〜34D′……ギャッ
プセンサ、37,37A,38……容器、41a,41b,41b′,41c……
制御装置、43……電源、51,52……電磁石、56……コイ
ル、61a……センサ部、62a……演算回路、63a〜63d,63A
〜63D,63A′〜63D′……パワーアンプ、65a〜65d……電
流検出器、81……浮上ギャップ長偏差座標変換回路、83
……電流偏差座標変換回路、84……制御電圧演算回路、
85,206……制御電圧座標逆変換回路、86……上下動モー
ド制御電圧演算回路、87……ロール・左右動モード制御
電圧演算回路、88……ロール・ヨーモード制御電圧演算
回路、89……ピッチモード制御電圧演算回路、125A,125
B……台車、302A,302B……トランク。
FIG. 1 is a perspective view showing an attraction type magnetic levitation device according to one embodiment of the present invention, which is partially taken away and partially cut away, and FIG. 2 is a view of the device along a line II in FIG. FIG. 3 is a side view showing the device cut away and partially cut away,
FIG. 4 is a cross-sectional view of a magnetic support unit in the device, FIG. 5 is a block diagram of a control device in the device, and FIGS. 6 to 9 are blocks showing a configuration of a control voltage calculation circuit in the control device. FIG. 10 is a perspective view showing a suction type magnetic levitation device according to another embodiment of the present invention, which is locally removed and partially cut away, and FIG.
FIG. 12 is a view cut along the II line and viewed in the direction of the arrow, FIG. 12 is a side view showing the device with a part cut away, and FIG. 13 is a view for explaining the relationship between a guide rail and a floating body in the device. Fig. 14,
Fig. 15 is a block diagram of a control device in the device, Fig. 15 is a diagram for explaining the operation of the device, Figs.
FIG. 18 is a view for explaining a modified example, FIGS. 18 to 24 are views for explaining different modified examples, and FIG. 25 is a drawing showing a suction type magnetic levitation device according to still another embodiment of the present invention. FIG. 26 is a perspective view showing the device taken along line III-III in FIG. 25 and viewed in the direction of the arrow in FIG. 25, and FIG. 28 is a side view cut along the line C-C and partially cut away, FIG. 28 is a cross-sectional view of a magnetic support unit in the device, FIG. 29 and FIG.
FIG. 30 is a diagram for explaining still another modified example. 10a, 10b, 10c …… Suction-type floating type transfer device, 11,11A, 205,20
9 …… Track frame, 12a, 12b, 12c, 12A, 12B, 203a, 203b, 207a, 20
7b …… Guide rail, 15,15A, 15B …… Floating body, 25,25A, 2
5B: Base, 26a, 26b: Dividing plate, 27, 227A, 227B: Connection mechanism, 31a to 31d, 31A to 31D, 31A 'to 31D': Magnetic support unit, 34a to 34d, 34A to 34D, 34A 'to 34D': gap sensors, 37, 37A, 38 ... containers, 41a, 41b, 41b ', 41c ...
Control device 43 Power supply 51, 52 Electromagnet 56 Coil 61a Sensor unit 62a Operation circuit 63a to 63d 63A
... 63D, 63A '-63D' ... power amplifier, 65a-65d ... current detector, 81 ... floating gap length deviation coordinate conversion circuit, 83
…… Current deviation coordinate conversion circuit 84 …… Control voltage calculation circuit
85,206 ... Control voltage coordinate reverse conversion circuit, 86 ... Vertical movement mode control voltage calculation circuit, 87 ... Roll / left / right movement mode control voltage calculation circuit, 88 ... Roll / yaw mode control voltage calculation circuit, 89 ... Pitch mode Control voltage calculation circuit, 125A, 125
B ... Truck, 302A, 302B ... Trunk.

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】強磁性体で形成されたガイドと、このガイ
ドの近傍に配置された浮上体と、この浮上体に空隙を介
して前記ガイドに対向する関係に配置された電磁石を含
む磁気支持ユニットと、前記電磁石、前記ガイドおよび
前記空隙を通る磁気回路の状態を検出するセンサ部と、
このセンサ部の出力に基いて前記電磁石の励磁電流を制
御することにより前記磁気回路を安定化させて上記浮上
体を磁気浮上させる制御系とを備えるとともに、前記浮
上体が安定に磁気浮上している際に前記浮上体を支持す
るための支持力とその支持方向に対してほぼ直交する案
内方向に前記浮上体を案内するための案内力とを同時に
発生するように前記磁気支持ユニットが前記ガイドに対
向して配置される吸引式磁気浮上装置において、前記制
御系は前記浮上体が案内方向に揺動し、前記ガイドに対
して横変位したとき、揺動の速度が零となる前記横変位
のピーク時点で前記浮上体重心回りの前記支持力の変動
に起因するトルク成分が前記浮上体の外側方向に移動す
る前記磁気支持ユニットについてはその空隙長を減少さ
せず、前記ガイドレールに対して前記浮上体の内側方向
に移動する前記磁気支持ユニットについてはその空隙長
を増加させないように作用する制御手段を備え、前記横
変位による前記支持力の変動に起因する浮上体重心回り
のトルク成分と前記横変位による前記案内力の変動に起
因する浮上体重心回りのトルク成分との合成トルクが前
記外側方向に移動する前記磁気支持ユニットについては
その空隙長を減少させ、前記内側方向に移動する前記磁
気支持ユニットについてはその空隙長を増加させるよう
に作用する位置に前記浮上体の重心があることを特徴と
する吸引式磁気浮上装置。
A magnetic support including a guide formed of a ferromagnetic material, a floating body disposed in the vicinity of the guide, and an electromagnet disposed in the floating body so as to face the guide via an air gap. A unit and a sensor unit that detects a state of a magnetic circuit passing through the electromagnet, the guide, and the gap;
A control system that stabilizes the magnetic circuit by controlling the exciting current of the electromagnet based on the output of the sensor unit to magnetically levitate the floating body, and that the floating body stably magnetically levitates. The magnetic support unit is configured to simultaneously generate a supporting force for supporting the levitating body and a guiding force for guiding the levitating body in a guiding direction substantially orthogonal to the supporting direction when the magnetic head unit is in use. In the suction type magnetic levitation device disposed opposite to the control unit, the control system may be configured such that when the levitation body swings in the guide direction and laterally displaces with respect to the guide, the lateral displacement becomes zero. At the peak point of time, the magnetic support unit in which the torque component caused by the fluctuation of the supporting force around the center of gravity of the levitation moves in the outward direction of the levitation body does not reduce the gap length, and the guide does not decrease. The magnetic support unit, which moves inward of the levitation body with respect to the rail, includes control means for acting so as not to increase the air gap length, and the levitation weight center caused by the fluctuation of the support force due to the lateral displacement. For the magnetic support unit in which the combined torque of the surrounding torque component and the torque component around the center of buoyant weight caused by the fluctuation of the guiding force due to the lateral displacement moves the magnetic support unit in the outward direction, the gap length is reduced, The magnetic levitation apparatus according to claim 1, wherein the magnetic support unit moving in the direction has a center of gravity of the levitation body at a position acting to increase the gap length.
【請求項2】前記案内力が前記浮上体の内側に向かって
作用するように配置された前記磁気支持ユニットを備
え、前記磁気支持ユニット上端よりも下方に前記浮上体
の重心が位置していることを特徴とする請求項1に記載
の吸引式磁気浮上装置。
2. The apparatus according to claim 1, further comprising a magnetic support unit arranged so that the guide force acts on the inside of the floating body, wherein a center of gravity of the floating body is located below an upper end of the magnetic support unit. The suction type magnetic levitation device according to claim 1, wherein:
【請求項3】前記浮上体は前記磁気支持ユニットの前記
空隙長を互いに独立に変えることのできる空隙独立可変
機構を備え、前記制御手段は前記浮上体に外力が加わっ
た際に発生する浮上体重心回りのヨーイングの速度が零
となるヨー角のピーク時点で一対の前記磁気支持ユニッ
トの支持力作用点で規定される直線が前記浮上体の浮上
時に浮上体重心回りに生じたヨーイングのヨー角に起因
してほぼ鉛直面上で回転する際の当該直線の幾何学的回
転軸回りの前記支持力の変動に起因するトルク成分が前
記浮上体の外側方向に移動する前記磁気支持ユニットに
ついてはその空隙長を減少させず、前記ガイドレールに
対して前記浮上体の内側方向に移動する前記磁気支持ユ
ニットについてはその空隙長を増加させないように作用
する制御手段を備え、かつ前記ヨー角による前記支持力
の変動に起因する前記幾何学的回転軸回りのトルク成分
と前記ヨー角による前記案内力の変動に起因する前記幾
何学的回転軸回りのトルク成分との合成トルクが前記外
側方向に移動する前記磁気支持ユニットについてはその
空隙長を減少させ、前記内側方向に移動する前記磁気支
持ユニットについてはその空隙長を増加させるように作
用する位置に前記幾何学的回転軸があることを特徴とす
る請求項1に記載の吸引式磁気浮上装置。
3. The levitation body has a gap independent variable mechanism capable of changing the gap length of the magnetic support unit independently of each other, and the control means controls the levitation weight generated when an external force is applied to the levitation body. At the time of the peak of the yaw angle at which the yawing speed around the center becomes zero, a straight line defined by the supporting force action point of the pair of magnetic support units is generated at the time of floating of the floating body, and the yaw angle of the yawing generated around the center of the weight of the floating body. The magnetic support unit in which the torque component caused by the fluctuation of the support force around the geometrical rotation axis of the straight line when rotating on a substantially vertical plane due to the movement in the outward direction of the levitation body, The magnetic support unit that moves inward of the levitation body with respect to the guide rail without reducing the gap length is provided with control means that acts so as not to increase the gap length. And a combination of a torque component around the geometric rotation axis due to the fluctuation of the support force due to the yaw angle and a torque component around the geometric rotation axis due to the fluctuation of the guide force due to the yaw angle. The geometric rotation is in a position where torque acts to reduce the gap length for the magnetic support unit moving in the outward direction and increase the gap length for the magnetic support unit moving in the inward direction. 2. The magnetic levitation device according to claim 1, further comprising a shaft.
【請求項4】前記案内力が前記浮上体の内側に向かって
作用するよう配置された前記磁気支持ユニットを備え、
前記磁気支持ユニット上端よりも下方に前記幾何学的回
転軸が位置していることを特徴とする請求項3に記載の
吸引式磁気浮上装置。
4. The apparatus according to claim 1, further comprising the magnetic support unit arranged so that the guide force acts on an inside of the floating body.
The suction type magnetic levitation apparatus according to claim 3, wherein the geometric rotation axis is located below an upper end of the magnetic support unit.
【請求項5】前記空隙独立可変機構は、前記磁気支持ユ
ニットが固定される複数の台板と、これら台板を略鉛直
平面内で互いに回転可能に結合する結合手段とを備えて
いることを特徴とする請求項3に記載の吸引式磁気浮上
装置。
5. The air gap independent variable mechanism includes a plurality of base plates to which the magnetic support units are fixed, and coupling means for rotatably connecting these base plates to each other in a substantially vertical plane. The suction type magnetic levitation device according to claim 3, wherein
【請求項6】前記結合手段は、前記磁気支持ユニット上
端より下方に位置していることを特徴とする請求項5に
記載の吸引式磁気浮上装置。
6. A magnetic levitation apparatus according to claim 5, wherein said coupling means is located below an upper end of said magnetic support unit.
【請求項7】前記浮上体は前記磁気支持ユニットの前記
空隙長を互いに独立に変えることのできる空隙独立可変
機構を備えるとともに一対の前記磁気支持ユニットの支
持力作用点で規定される直線が前記浮上体の浮上時に浮
上体重心回りに生じたヨーイングのヨー角に起因してほ
ぼ鉛直面上で回転する際の当該直線の幾何学的回転軸が
前記案内力からトルクを受けない位置にあるように構成
され、前記制御手段は前記浮上体の外力が加わった際に
発生する浮上体重心まわりのヨーイングの速度が零とな
るヨー角のピーク時点で前記ガイドレールに対して前記
浮上体の外側方向に移動する前記磁気支持ユニットにつ
いてはその空隙長を増加させず、前記ガイドレールに対
して前記浮上体の内側方向に移動する前記磁気支持ユニ
ットについてはその空隙長を減少させない制御手段を備
え、かつ前記ヨー角による前記支持力の変動により起因
する前記幾何学的回転軸回りのトルク成分と前記ヨー角
による前記案内力の変動に起因する前記幾何学的回転軸
回りのトルク成分との合成トルクが前記外側方向に移動
する前記磁気支持ユニットについてはその空隙長を増加
させ、前記内側方向に移動する前記磁気支持ユニットに
ついてはその空隙長を減少させるように作用する位置に
前記幾何学的回転軸があることを特徴とする請求項1に
記載の吸引式磁気浮上装置。
7. The floating body has an air gap independent variable mechanism capable of changing the air gap length of the magnetic support unit independently of each other, and a straight line defined by a support force action point of the pair of magnetic support units is provided. The geometric rotation axis of the straight line when rotating on a substantially vertical surface due to the yaw angle of the yaw generated around the center of gravity of the levitation body when the levitation body floats is located at a position where it does not receive torque from the guide force. The control means is arranged so that the yaw speed around the center of gravity of the levitation generated when the external force of the levitation body is applied becomes zero at the peak of the yaw angle with respect to the guide rail at the time of the outward direction of the levitation body. The magnetic support unit moving in the vertical direction does not increase the gap length, and the magnetic support unit moving in the inward direction of the floating body with respect to the guide rail does not increase the gap length. A control unit that does not reduce a gap length, and a torque component around the geometrical rotation axis caused by a change in the support force due to the yaw angle and a geometric component caused by a change in the guide force due to the yaw angle. As for the magnetic support unit moving in the outward direction, the combined torque with the torque component around the rotation axis increases the gap length, and the magnetic support unit moving in the inward direction decreases the gap length. The magnetic attraction device of claim 1, wherein the geometric rotation axis is located at an operating position.
【請求項8】前記案内力が前記浮上体の外側に向かって
作用するよう配置された前記磁気支持ユニットを備え、
前記磁気支持ユニットの上端よりも下方に前記幾何学的
回転軸が位置していることを特徴とする請求項7に記載
の吸引式磁気浮上装置。
8. The magnetic support unit, wherein the magnetic support unit is arranged so that the guide force acts on the outside of the floating body.
The suction type magnetic levitation apparatus according to claim 7, wherein the geometric rotation axis is located below an upper end of the magnetic support unit.
【請求項9】前記空隙独立可変機構は、前記磁気支持ユ
ニットが固定される複数の台板と、これら台板を略鉛直
平面内で互いに回転可能に結合する結合手段とを備えて
いることを特徴とする請求項7に記載の吸引式磁気浮上
装置。
9. The air gap independent variable mechanism includes a plurality of base plates to which the magnetic support units are fixed, and coupling means for rotatably connecting these base plates to each other in a substantially vertical plane. The suction type magnetic levitation device according to claim 7, wherein
【請求項10】前記結合手段は、前記磁気支持ユニット
の上端より上方に位置していることを特徴とする請求項
9に記載の吸引式磁気浮上装置。
10. The suction type magnetic levitation apparatus according to claim 9, wherein said coupling means is located above an upper end of said magnetic support unit.
【請求項11】前記ガイドは複数の地点間を経由する搬
送路に沿って敷設されたガイドレールであり、前記浮上
体を前記ガイドレールに沿って走行させるための推進手
段が前記搬送路または前記浮上体に設けられていること
を特徴とする請求項1に記載の吸引式磁気浮上装置。
11. The guide is a guide rail laid along a transport path passing between a plurality of points, and a propulsion means for moving the floating body along the guide rail is provided on the transport path or the guide path. The magnetic levitation device according to claim 1, wherein the magnetic levitation device is provided on a levitation body.
【請求項12】前記案内力とは別に前記浮上体を電磁気
的に案内する補助案内手段と、この補助案内手段の故障
の際に上記補助案内手段の動作を止める補助案内停止手
段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の吸引
式磁気浮上装置。
12. An auxiliary guide means for electromagnetically guiding the levitation body separately from the guide force, and an auxiliary guide stop means for stopping the operation of the auxiliary guide means when the auxiliary guide means fails. The suction type magnetic levitation device according to claim 1, wherein:
【請求項13】前記補助案内停止手段は、所定の電磁石
を一定電流で励磁する手段を備えていることを特徴とす
る請求項12に記載の吸引式磁気浮上装置。
13. The suction type magnetic levitation apparatus according to claim 12, wherein said auxiliary guide stop means includes means for exciting a predetermined electromagnet with a constant current.
【請求項14】前記浮上体重心または前記幾何学的回転
軸が荷物等の付加物を搭載した浮上体に関するものであ
ることを特徴とするを請求項1,2,3,4,7,8のいずれか1
項に記載の吸引式磁気浮上装置。
14. The floating body according to claim 1, wherein the floating center of gravity or the geometrical rotation axis is related to a floating body on which an accessory such as luggage is mounted. Any one of
Item 6. A suction type magnetic levitation device according to the above item.
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