JPH0442974A - Solar cell with bypass diode - Google Patents

Solar cell with bypass diode

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JPH0442974A
JPH0442974A JP2149483A JP14948390A JPH0442974A JP H0442974 A JPH0442974 A JP H0442974A JP 2149483 A JP2149483 A JP 2149483A JP 14948390 A JP14948390 A JP 14948390A JP H0442974 A JPH0442974 A JP H0442974A
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bypass diode
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    • H01L27/142Energy conversion devices
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

PURPOSE:To inhibit to reduce an effective light receiving area and to form a solar cell with a bypass diode having a high efficiency by forming the diode at the lower part having a wide width of a root of a pectinated surface electrode. CONSTITUTION:A P-N junction between a P-type diffused layer 64 and an N-type diffused region 63 is connected in an antiparallel with a bypass diode BD, and a parasitic diode DSC of a PN junction between a P-type silicon substrate 61 and the region 63 is short-circuited by a junction short-circuiting part 80. In this case, since the diode BD is shielded by a part having a wide root width of a surface electrode 67, photovoltaic power is not generated, a satisfactory reverse direction is held, and it does not affect an influence to the electromotive force of a photoelectric converting PN junction. The diode BD is reversely biased by a solar cell SC, and a normal photovoltaic power can be produced from the cell SC.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、太陽電池セルに逆バイアス電圧が印加さjま
たとき、太陽電池セルの破II奮防止する手段に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to means for preventing damage to a solar cell when a reverse bias voltage is applied to the solar cell.

(従来の技術) 一般に太陽光を利用した発電装置は、第6図に示される
Jうに、個々の太陽電池セル10.11゜12.13等
全並列に接続してサブモジュール30tS成し、これと
直列に、太陽電池セル10−1゜11−1.12−1.
13−1等からなるサブモジュール31、太陽電池セル
10−2.11−2゜12−2.13−2等からなるサ
ブモジュール32等全接続1−で5太陽電池アレイ(以
下アl/イという)を構成し、これに負荷りを接続する
ようになっている。このアレイに光が入射しているとき
、アレイの周辺の構造物の影がアレイ奮構成する太陽電
池セル(以下セルという)群の一部に投影され、セルが
遮光されると、連光され次セA・が逆方向にバイアスさ
れ、この逆バイアスが大きい場合は、逆バイアスされた
セルが破jI!さ力5、アレイの発電性能が低下する。
(Prior art) In general, a power generation device using sunlight is constructed by connecting individual solar cells 10.11° and 12.13 in parallel to form a submodule of 30tS, as shown in Fig. 6. In series with solar cell 10-1°11-1.12-1.
A sub-module 31 consisting of solar cells 13-1, etc., a sub-module 32 consisting of solar cells 10-2, 11-2, 12-2, 13-2, etc., all connected 1- to 5 solar cell arrays (hereinafter referred to as Al/I). ), and the load is connected to this. When light is incident on this array, the shadows of structures around the array are projected onto some of the solar cells (hereinafter referred to as cells) that make up the array, and when the cells are blocked from light, they are continuously illuminated. If the next cell A is reverse biased and this reverse bias is large, the reverse biased cell will fail jI! 5, the power generation performance of the array decreases.

この、?バイアスを防止するため、サブモジ、−ルある
いはセルの起電力の方向と逆方向i#c、!イオードを
接続し、セルの逆バイアスをバイパスする手段が用いら
れている。l!7図(&)はセル10,11゜12.1
341よシなるサブモジエールに対シテバイパスダイオ
ードDf1@逆方向に並列に接続1−た−例であり、l
lr図(b)は、各セル10,11゜12.13のそれ
ぞれに、バイパスダイオードDi、D2.D3.D4を
逆方向に並列に接続した一例である。これらは何れ本セ
ル及びダイオードが個別部品として供給されてお夛、個
々のセルあるいはサブモジュールにダイオードを接続し
ていた。
this,? In order to prevent bias, the direction i#c, ! is opposite to the direction of the electromotive force of the sub module or cell. Means are used to connect the diodes and bypass the reverse bias of the cell. l! Figure 7 (&) indicates cells 10, 11゜12.1
This is an example in which a bypass diode Df1 is connected in parallel in the reverse direction to a submodule similar to 341.
lr diagram (b) shows bypass diodes Di, D2 . D3. This is an example in which D4 are connected in parallel in opposite directions. In both of these, the cells and diodes were supplied as individual components, and the diodes were connected to individual cells or submodules.

他の技術としては、セルの受光面の反対側に、セルの基
板を共有する形でダイオードを形成し、バイパスダイオ
ードとして機能させるものがある。
Another technique is to form a diode on the opposite side of the cell's light-receiving surface so as to share the cell's substrate, and to function as a bypass diode.

纂8図はその一例の略断面図である。P型のシリコン基
板20の一方の面にNllの拡散層21t−形成しその
一部に電極24が設けられている。拡散層21の側から
受光し、PN接合にニジ発電される。他方の面にメサを
形成しその表面にN型拡散層22全形成しその表面に電
極23を設ける。図示されていないがP型シリコン基板
200表面の一部に、隣接する他のセルに接続するため
の電極が設けられている。この等価回路は第9図に示さ
れる。セルSCのプラス側はバイパスダイオードBDの
マイナス側に接続され、セルSCの!イナス側トバイパ
スダイオードBDのグラス側とは開放されてい−る。こ
のよりな三端子のセルは第10因(&) 、 (b)の
ように接続される。第10図(a)はセル3個t−直列
(接続した場合の斜視図である。第1の太陽電池lのマ
イナス側と、第2の太陽電池2のプラス側とはリード線
25に工す接続され、第2の太陽電池2のマイナス側と
第3の太陽電池3のグラス側も同様にリード線25に工
9接続されている。jfimのリード線27.28は負
荷に接続される。N1の太陽電池1の表面のプラス側と
、第2の太陽電池2の表面のN型拡散層22とは、リー
ド線26によシ接続され、纂2の太陽電池2の表面のプ
ラス側と、第3の太陽電池3の表面のNll!拡散層2
2とも、同様にリード線26により接続されてhる0こ
の等価回路は第xofg(b)K示されるようになる。
Figure 8 is a schematic cross-sectional view of one example. A diffusion layer 21t of NII is formed on one surface of a P-type silicon substrate 20, and an electrode 24 is provided on a part of the diffusion layer 21t. Light is received from the diffusion layer 21 side, and electricity is generated at the PN junction. A mesa is formed on the other surface, an N-type diffusion layer 22 is entirely formed on the surface, and an electrode 23 is provided on the surface. Although not shown, an electrode for connecting to another adjacent cell is provided on a part of the surface of the P-type silicon substrate 200. This equivalent circuit is shown in FIG. The positive side of cell SC is connected to the negative side of bypass diode BD, and the! of cell SC is connected to the negative side of bypass diode BD. The glass side of the inverse bypass diode BD is open. This twisted three-terminal cell is connected as in the 10th factor (&), (b). FIG. 10(a) is a perspective view when three cells are connected in series.The negative side of the first solar cell 1 and the positive side of the second solar cell 2 are connected to the lead wire 25. The negative side of the second solar cell 2 and the glass side of the third solar cell 3 are similarly connected to the lead wire 25. The lead wires 27 and 28 of the jfim are connected to the load. The positive side of the surface of solar cell 1 in N1 and the N-type diffusion layer 22 on the surface of second solar cell 2 are connected by a lead wire 26, and the positive side of the surface of solar cell 2 in series 2 and Nll! diffusion layer 2 on the surface of the third solar cell 3
2 are similarly connected by a lead wire 26, and this equivalent circuit is shown as xofg(b)K.

第2の太陽電池20表面く形成されたN!SII拡散層
22とP型のシリコン基板20とよりなるバイパスダイ
オード人は、第1の太陽電池1のバイパスとなシ、第3
の太陽電池30表面に形成されたバイパスダイオードB
は、第2の太陽電池2のバイパスとなる。従って、直列
に接続された最終の第3の太陽電池3には、これに逆方
向に個別のダイオードCを並列に接続しなければならな
い。
N! formed on the surface of the second solar cell 20! A bypass diode consisting of an SII diffusion layer 22 and a P-type silicon substrate 20 serves as a bypass for the first solar cell 1 and a third diode.
Bypass diode B formed on the surface of the solar cell 30 of
serves as a bypass for the second solar cell 2. Therefore, the third and final solar cell 3 connected in series must be connected in parallel with an individual diode C in the opposite direction.

つまシ、l!7図−)(b)に示される工うに、個別の
ダイオードを接続する方法は、セルとダイオードを接続
する配線が必要であシ、配線のための工数も必要でコス
トが上昇する。また、個別のダイオードや配線用のワイ
ヤーがセル面より突出することがある。このような突出
物は、宇宙用の太陽電池アレイのように折りたたむ必要
のある場合圧は、都合が悪い。
Tsumashi, l! The method of connecting individual diodes, as shown in Figure 7-)(b), requires wiring to connect the cells and diodes, and also requires man-hours for wiring, which increases costs. In addition, individual diodes and wiring wires may protrude from the cell surface. Such protrusions are inconvenient when pressure is required to fold them, such as in space solar arrays.

1次、第8図及び第10図(a)(b)に示されるよう
な、三端子接続となるバイパスダイオード付太陽電池は
、接続が複雑となり、直列接続の最終亀となるセルには
、個別ダイオードを使用しなければならない。第7図(
a)(b)の場合と同様に、突出物により不都合も生ず
る。
For solar cells with bypass diodes that are connected to three terminals, such as those shown in Figures 8 and 10 (a) and (b), the connection is complicated, and the last cell in the series connection requires the following: Individual diodes must be used. Figure 7 (
As in cases a) and (b), protrusions also cause inconveniences.

さらに前述の欠点を除去する友め、バイパスダイオード
を太陽電池と一体化した二端子接続のバイパスダイオー
ド付太陽電池が考案されている。
Furthermore, in order to eliminate the above-mentioned drawbacks, a two-terminal connected solar cell with a bypass diode has been devised in which the bypass diode is integrated with the solar cell.

第4図はその一例の略断面図である。P型のシリコン基
板40の裏面にP+層41を形成し、さらにその上に裏
面電極46を形成する。P型のシリコン基板41の表面
の一方に受光面となる8層42を形成し、その表面に反
射防止膜45が施されている。P型のシリコン基板41
の表面の他方にはN型のウェル48を形成し、その表面
には2層49が形成されており、これらの表面t!5i
02膜44で覆われている。5i02膜44の適当な個
所に穴を設は所要の電極を形成する。8層42の表面に
設けた櫛状の表面電極44の一端は、2層49に接続さ
れている。N型のウェル48とPliのシリコン基板4
0とは接合短絡用電極47によって短絡されている。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of one example. A P+ layer 41 is formed on the back surface of a P-type silicon substrate 40, and a back electrode 46 is further formed thereon. Eight layers 42 serving as a light-receiving surface are formed on one surface of a P-type silicon substrate 41, and an antireflection film 45 is applied to the surface. P-type silicon substrate 41
An N-type well 48 is formed on the other surface of the t!, and two layers 49 are formed on the other surface of the well 48. 5i
02 film 44. Holes are formed at appropriate locations in the 5i02 film 44 to form required electrodes. One end of a comb-shaped surface electrode 44 provided on the surface of the eight layers 42 is connected to the second layer 49 . N-type well 48 and Pli silicon substrate 4
0 and is short-circuited by a junction short-circuiting electrode 47.

この等価回路は第5図に示される。電子67と端子68
との間に太陽電池SCが接続されている。
This equivalent circuit is shown in FIG. electron 67 and terminal 68
A solar cell SC is connected between the two.

これは第4図のpHのシリコン基板40と8層42との
PN接合によって形成される。これと並列に逆方向のバ
イパスダイオードBDと順方向の短絡さハ、た育生ダイ
オ−・ドD S Cが接続さn−でいる。
This is formed by a PN junction between the pH silicon substrate 40 and the 8 layer 42 of FIG. In parallel with this, a bypass diode BD in the reverse direction and a short-circuited growth diode DSC in the forward direction are connected n-.

バイパスダイオードBDは、第4図の1層49とN型の
ウェル48とのPN接合によって形成さね1、短絡され
ガー寮生ダイオードDSCは、第4図のN型のウェル4
8とN型のシリコン基板40とのPN接合と接合短絡用
電極47に訳って形成さ9、る。
The bypass diode BD is formed by a PN junction between the first layer 49 and the N-type well 48 in FIG.
A PN junction between 8 and an N-type silicon substrate 40 and a junction shorting electrode 47 are formed.

従って光驚質換用のPN接合に逆バイアスが印加された
とき、バイパス用のPN接合か順方向になる。
Therefore, when a reverse bias is applied to the PN junction for phototransformation, the PN junction for bypass becomes forward-oriented.

(発明が解〃六(−〕二つとする陛跳〕第4図の工うl
構造に”!゛ると、それ以前の久点奮かなり線〈ことが
できるが、なお次のような問題がある。
(Invention solved〃6(-)Two majesty jumps〕The construction of Figure 4
If you change the structure, you will be able to overcome a lot of the previous efforts, but there are still problems such as the following.

バイパスダイオードが太陽電池の端部に位置している場
合、太陽電池の端部が破損し六二とき、バイパスダイオ
ードとしての椴能會果さな(7ffi!。
If the bypass diode is located at the end of the solar cell, when the end of the solar cell is damaged, it will not function as a bypass diode (7ffi!).

また、バイパスダイオー・−ドを電流が流れることにI
り発生する熱1、効率工く発散することができない。
Also, the current flows through the bypass diode.
The heat generated by this process cannot be dissipated efficiently.

バイパスダイオ・−ドN型のウェル48と、光電貢換用
のNi42との間の、PUのシリコン基板40の表面の
矢印で示す一部aがN型に反転し、電気特性が劣化する
A portion a of the surface of the PU silicon substrate 40 between the bypass diode N-type well 48 and the photoelectric conversion Ni 42 is inverted to the N-type, and the electrical characteristics are deteriorated.

受光面となるN層42とP型のシリコン基板40とが、
表面電極43にエリ短絡され電気特性が劣化することが
ある。短絡される部分を矢印すで示)゛。こわ−i防止
するため、この付近にCVDH化勝、熱酸化膜等全形成
し、絶縁処理することも可能であるが、その場合はコス
トが高くなる。
The N layer 42 and the P-type silicon substrate 40, which serve as the light-receiving surface,
There may be a short circuit to the surface electrode 43 and the electrical characteristics may deteriorate. The part to be shorted is indicated by an arrow). In order to prevent stiffness, it is possible to completely form a CVDH film, a thermal oxide film, etc. in this vicinity and perform insulation treatment, but in that case, the cost will be high.

接合短絡用電極47の面積が小さいと、直列抵抗が大き
くなシ、バイパスダイオードBDO順方向特性が悪ぐA
る。その結果、ダイメーードに電流が流れ六二際、発熱
量が大きくなり、電力損失となるはかりで乃:<、場合
に工っでは、その熱によって太#電池が破損することが
ある。
If the area of the junction shorting electrode 47 is small, the series resistance will be large and the forward characteristics of the bypass diode BDO will be poor.A
Ru. As a result, when current flows through the dimer, the amount of heat generated increases, resulting in power loss.If the scale is operated, the heat may damage the thick battery.

cmat解決するための手R) 本発明においては、以下の手段金講じて前述の腺li″
f:解決した。
R) In the present invention, the following measures are taken to solve the above-mentioned gland li''
f: Resolved.

バイパスダイオードを、櫛状の表面lK極の根元の幅の
広い部分の下方1c設けた。
A bypass diode was provided 1c below the wide part of the root of the comb-shaped surface 1K pole.

受光面側のN層とバイパスダイオードのN型のウェルと
の同に、チャネルストッパーとしてP+型拡散層業形成
する。
A P+ type diffusion layer is formed as a channel stopper on the N layer on the light receiving surface side and the N type well of the bypass diode.

−iの照射さ、l’L7Jい個所[は、N層金極力形成
しlい工うにする。
-i irradiation, the N-layer gold is formed as much as possible at the location where it is irradiated.

受光面側のN層の端部とP型のシリコン基板の表面との
境界部で表面電極の下方に、前記のN層Jり深いN型の
拡散層金例えばN型のウェル層と同じ厚さに形成する。
At the boundary between the end of the N layer on the light-receiving surface side and the surface of the P-type silicon substrate, under the surface electrode, a deep N-type diffusion layer with the same thickness as the N-type well layer is placed. to form.

接合短絡用電極の個数金子くしたりその他により面積音
大きくする。
Increase the area sound by increasing the number of bonding short-circuit electrodes or by other means.

(作用) バイパスダイオード1r:櫛状の表面電極の根元の幅の
広い部分の下方に形成することに、にり次のような作用
が得られる。
(Function) Bypass diode 1r: The following effect can be obtained by forming the bypass diode 1r below the wide part at the base of the comb-shaped surface electrode.

1 表面電極の根元の幅の広い部分は、集電とインター
コネクタ接続のためで、本来光が当らない個所であるか
ら、有効受光面積が減少せず、高効率のバイパスダイオ
・−ド付太陽亀池が得られる。
1. The wide part at the base of the surface electrode is for current collection and interconnector connection, and is a place that is not normally exposed to light, so the effective light-receiving area does not decrease, making it possible to create a solar panel with a high-efficiency bypass diode. Kameike is obtained.

2 太陽電池に逆バイアスがかかった際に、ノくイバス
ダイオードに1!流が流れ発熱するが、この熱紮、イン
ターコネクタ?バイパスダイオードの付近に接続するこ
とにより放熱できる。
2 When reverse bias is applied to the solar cell, 1 is applied to the nokuivas diode! Current flows and generates heat, but is this heat ligature an interconnector? Heat can be dissipated by connecting it near the bypass diode.

3、 ダイオードがインターコネクタの下方にあると、
バイパスダイオードのPN接合は十分透光されると共に
、放射線によるダイオードの劣化を抑えることができる
3. If the diode is below the interconnector,
The PN junction of the bypass diode is sufficiently transparent to light, and deterioration of the diode due to radiation can be suppressed.

チャネルストッパーは、バイパスダイオードのr層iウ
ェルに拡WI!、にIp影形成際、同時に形成できるか
らコストを上昇することな(、P型のシリコン基板の表
面の反転による、受光面のN層とバイパスダイオードの
Nfiのウェルとの短絡全防ぎ、太陽電池の変換効率全
改善することができる。
The channel stopper is expanded to the r-layer i-well of the bypass diode. , when forming the Ip shadow, it can be formed at the same time without increasing the cost (by inverting the surface of the P-type silicon substrate, short circuits between the N layer on the light receiving surface and the Nfi well of the bypass diode can be completely prevented, and the solar cell The conversion efficiency can be totally improved.

光の照射されない表面電極の下方圧は、光を又換用のP
N接合【形成しないため、PN接合の巣位面積当りの少
数キャリア収集効率が改善さメコ5、開放電圧、電気出
力が増加する。
The downward pressure of the surface electrode which is not irradiated with light is P
Since no N junction is formed, the minority carrier collection efficiency per nest area of the PN junction is improved, and the open circuit voltage and electrical output are increased.

受光面@拡散層であるN層の端部とP型のシリコン基板
の表面との境界部の櫛状電極の下方に、バイパスダイオ
ードのN型のウェルを拡散形成するのと同時に、短絡防
止用の深いN層を形成できるから、コストヲ上昇せずに
光電変換効率が改善される。
At the same time, an N-type well of a bypass diode is formed under the comb-shaped electrode at the boundary between the edge of the N layer (light-receiving surface) and the surface of the P-type silicon substrate. Since a deep N layer can be formed, photoelectric conversion efficiency is improved without increasing cost.

接合短絡用電極の個数を多くして、面積を大きくするこ
とによシ、抵抗値が小さくなり、電力損失が減少し、従
って発熱量も小さくなシ、信頼性が向上する。
By increasing the number of junction short-circuiting electrodes and increasing the area, the resistance value is reduced, the power loss is reduced, the amount of heat generated is also reduced, and the reliability is improved.

(!I!施例) 第1図(&)は本発明の一笑施例の略平面図である。(!I!Example) FIG. 1(&) is a schematic plan view of an embodiment of the present invention.

Pffiシリコン基板61の表面は、光電変換を行う部
分は、図示されていないがIN1図伽1に示されるよう
な透明な反射防止膜66で覆われ、その下面には根元を
幅広くシ九櫛状の電極67が設けられ、その他必要な部
分は、図示されていないが第1図(b)に示されるよう
な酸化膜66で覆われている。
The surface of the Pffi silicon substrate 61 is covered with a transparent anti-reflection film 66 (not shown) as shown in Fig. 1 of IN1 in the part where photoelectric conversion is performed, and a comb-shaped base with a wide base is formed on the lower surface of the film. An electrode 67 is provided, and other necessary parts are covered with an oxide film 66 as shown in FIG. 1(b), although not shown.

電極67の右趨中央@@7−1は他の部分よシ広くされ
、この部分にはインターコネクタが接続される。電極6
フ、反射防止膜66、酸化膜65等の下方のPffiシ
リコン基板61の表面には、N”型拡散層62(二点鎖
線で示される)及びNll拡散領域63(点線で示され
る)が形成され、Nll拡散領域63の一部にはP型拡
散層64(点線で示される〕が形成されている。そして
N+型型数散層62pH拡散層64とは、表面電極67
にニジ接続されている。また必要な部分には、酸化膜6
5を貫いて、N型拡散領域63とpHシリコン基板61
0表面とを短絡する接合短絡部80が適当な個数設けら
れている。従って、P型シリコン基板1とN+型型数散
層621夛なる光電変換用のPN接合と、PIE拡散層
64(!:Nll拡散領域63とよりなるバイパスダイ
オード用のPN接合とが逆方向に並列に一体に形成され
たことになる。後述の略断面図に示されるように、PI
Iiシリ;ン基板1の裏面には裏面電極6畠が設けられ
ている。
The right center @@7-1 of the electrode 67 is made wider than other parts, and an interconnector is connected to this part. Electrode 6
On the surface of the Pffi silicon substrate 61 below the antireflection film 66, oxide film 65, etc., an N'' type diffusion layer 62 (indicated by a two-dot chain line) and an Nll diffusion region 63 (indicated by a dotted line) are formed. A P type diffusion layer 64 (indicated by a dotted line) is formed in a part of the Nll diffusion region 63.The N+ type diffusion layer 62 and pH diffusion layer 64 are formed in a part of the Nll diffusion region 63.
is connected to. In addition, there is an oxide film 6 in the necessary areas.
5, an N-type diffusion region 63 and a pH silicon substrate 61
An appropriate number of junction short-circuit parts 80 are provided to short-circuit the 0 surface. Therefore, the PN junction for photoelectric conversion consisting of the P-type silicon substrate 1 and the N+ type scattered layer 621 and the PN junction for the bypass diode consisting of the PIE diffusion layer 64 (!:Nll diffusion region 63) are in opposite directions. As shown in the schematic cross-sectional view below, the PI
A back electrode 6 is provided on the back surface of the silicon substrate 1.

従って、その等価回路は従来例について述べた第5図と
同一である。図中91はNIL拡散層であって、N+浚
拡散層62とPfJシリコン基板61との表面電極67
による短絡を防止する。
Therefore, its equivalent circuit is the same as that shown in FIG. 5, which describes the conventional example. In the figure, 91 is a NIL diffusion layer, and the surface electrode 67 between the N+ diffusion layer 62 and the PfJ silicon substrate 61
to prevent short circuits caused by

111図(b)、・(o)= (d)、は、それぞれ同
図(a)OA −A’。
111 (b) and (o) = (d) are respectively OA-A' in (a) of the same figure.

B−B’、C−C’断面図である。これらの図面に示さ
れるように、P型シリコン基板1の表面の一方に受光面
となるN+型型数散層621ft形成る。表面の他の部
分KN型拡散領域63を形成し、その表面の一部にP型
拡散層64t−形成する。N+型型数散層62表面は反
射防止膜66によって覆われている。N”型拡散層62
0表面の一部とP型拡散層64とは、表面電極67によ
って接続されている。P型シリコン基板61の裏面には
P+型拡散層90を設け、BSF効果による効率の向上
を計っている。さらにその裏面には、全面にわたシ裏面
電極68が設けられている、酸化膜65は、受光面及び
表面電極671に除<P!lシリコン基板61の表面を
保護している。表面のNff1拡散領域63の周IIK
もP+型拡散層90が形成されているが、これはN+型
型数散層62Nll拡散領域63とが、反転によるチャ
ネルのために短絡することt防止する。これらのP”f
fi拡散層90は、Pal鉱散層64の形成と同時に形
成することができる。
It is a BB', CC' cross-sectional view. As shown in these drawings, 621 ft of an N+ type scattering layer is formed on one surface of the P type silicon substrate 1 to serve as a light receiving surface. A KN type diffusion region 63 is formed in the other part of the surface, and a P type diffusion layer 64t is formed in a part of the surface. The surface of the N+ type scattering layer 62 is covered with an antireflection film 66. N” type diffusion layer 62
A part of the 0 surface and the P-type diffusion layer 64 are connected by a surface electrode 67. A P+ type diffusion layer 90 is provided on the back surface of the P type silicon substrate 61 to improve efficiency by the BSF effect. Further, a back electrode 68 is provided on the entire surface of the back surface, and the oxide film 65 is removed from the light receiving surface and the front electrode 671. l The surface of the silicon substrate 61 is protected. Circumference IIK of Nff1 diffusion region 63 on the surface
Also, a P+ type diffusion layer 90 is formed, which prevents short circuit between the N+ type scattering layer 62 and the Nll diffusion region 63 due to the channel caused by inversion. These P”f
The fi diffusion layer 90 can be formed simultaneously with the formation of the Pal mineralized layer 64.

NIl拡散層91はN+盟拡散層・2の周縁に、N型拡
散領域63の形成と同時に表面電極67の下方に形成さ
れ、N+型型数散層62P型シリコン基板61とが、表
面電極67に工って短絡されないようにする。NW拡散
領域63とP型拡散層64との接合面は表面電極67の
巾の広い中央部67−1によって透光されている。この
中央s6フー1には、後でインターコネクタが接続され
る。
The NIl diffusion layer 91 is formed at the periphery of the N+ diffusion layer 2 and below the surface electrode 67 at the same time as the N-type diffusion region 63 is formed. to prevent short-circuiting. The junction surface between the NW diffusion region 63 and the P-type diffusion layer 64 is transparent through the wide central portion 67-1 of the surface electrode 67. An interconnector will later be connected to this central s6 fu 1.

第5図の等価回路を参照して、第1図(a)〜(d)に
示された構造の太陽電池の動作は以下のようKなる。
Referring to the equivalent circuit of FIG. 5, the operation of the solar cell having the structure shown in FIGS. 1(a) to (d) is as follows.

正常な動作状態では、PfJシリコン基板61とN+型
型数散層62の間のFN接合よりなる太陽電池SCは、
順方向バイアスとなシ、P型シリコン基板61?プラス
、N+型型数散層62マイナスとする起電力を発生する
。従って、N層 MIl拡散層・2と接続されているP
ffi拡散層64はマイナス、裏面電極68に工CPI
!シリコン基板61に接続されるNff1拡散領域63
はプラスとなる。このPIl拡散層64とNff1拡散
領域63との間のPN接合は、バイパスダイオードBD
が逆方向に並列接続されたことになる。なお、P型シリ
コン基板61とN型拡散領域63との間のPN接合によ
る寄生ダイオードDSCは、接合短絡部80にJ:、ジ
短絡さ力5ている。このときバイパスダイオードBDは
、表面電極67の根元幅の広い部分によって遮光されで
いるから、バイパスダイオードBDは、光起電力を発生
せず良好な逆方向を保持しており、光電置換用のrN接
合の起電力KXは影響1与えない。−Ttわち、第5図
のバイパスダイオードBDは、太陽電池5C4C,41
:り逆バイアスとなり、太陽電池SCからは正常な光起
電力を取り出すことができる。このような−伴星の太陽
電池SCを、萬6図のプレイとして組立てて使用すると
き、一部の太陽1!池が何等かの原因で発電全停止した
場合は、発電を停止していない太11!電池や負荷のバ
ッテリー等にIシ、発電を停止した太陽電池には逆バイ
アスが印加される。その結果バイパスダイオードBDに
は、部方向のバイアスが印加されるから、太陽1!池S
C[は、バイパスダイオードBDO順方向以上の電圧が
印加されることはない。
Under normal operating conditions, the solar cell SC consisting of the FN junction between the PfJ silicon substrate 61 and the N+ type scattering layer 62 is as follows:
Forward bias and P type silicon substrate 61? The N+ type scattering layer 62 generates a negative electromotive force. Therefore, P connected to N layer MIl diffusion layer 2
ffi diffusion layer 64 is negative, back electrode 68 is CPI
! Nff1 diffusion region 63 connected to silicon substrate 61
is positive. The PN junction between the PIl diffusion layer 64 and the Nff1 diffusion region 63 is a bypass diode BD.
are connected in parallel in opposite directions. Note that the parasitic diode DSC due to the PN junction between the P-type silicon substrate 61 and the N-type diffusion region 63 exerts a di-shorting force 5 at the junction short-circuit portion 80 . At this time, the bypass diode BD is shielded from light by the wide base portion of the surface electrode 67, so the bypass diode BD does not generate photovoltaic force and maintains a good reverse direction. The electromotive force KX of the junction has no influence. -Tt That is, the bypass diode BD in FIG. 5 is the solar cell 5C4C, 41
: A reverse bias is applied, and a normal photovoltaic force can be extracted from the solar cell SC. When assembling and using such a solar cell SC of a companion star as a 6-figure play, some of the sun 1! If the pond completely stops generating power for some reason, it is important to note that power generation has not stopped yet! A reverse bias is applied to the battery, load battery, etc., and a reverse bias is applied to the solar cell that has stopped generating power. As a result, a bias in the partial direction is applied to the bypass diode BD, so that the sun 1! Pond S
A voltage higher than the forward voltage of the bypass diode BDO is not applied to C[.

以上のようなバイパスダイオード付太陽亀池は、以下の
ようKして製造される。第2図(a)〜(9)はその・
−例であって、通常の一枚のシリコン基板に多数の太陽
電池のセルを形成し、ダイシングに、C9個々のセルを
取り出す。以下の図面は、その個々のセルについてのも
のである。
The above-mentioned bypass diode-equipped sun turtle pond is manufactured as follows. Figures 2 (a) to (9) show the
- As an example, a large number of solar cells are formed on a single regular silicon substrate, and individual C9 cells are taken out for dicing. The drawings below are for the individual cells.

1ず第2図体)に示さカーる工うに、P型シリコン基板
61の表裏両面に酸化膜65,65を形成する。
First, as shown in Figure 2), oxide films 65, 65 are formed on both the front and back surfaces of a P-type silicon substrate 61.

次に第2図(b)に示される工うに、バイパスダイオー
ド形成予定領域及び短絡防止用のN型拡散層形成予定領
斌に、フォトエツチングに4−リ穴7171・・・を設
ける。左端の穴71け、隣のセルのバイパスダイオード
形成予定領域である。
Next, as shown in FIG. 2(b), four-hole holes 7171 are formed by photo-etching in the region where the bypass diode is to be formed and the region where the N-type diffusion layer for short circuit prevention is to be formed. The hole 71 at the left end is the area where the bypass diode of the adjacent cell is to be formed.

QK$2図(e)K示すh ルJ:つIC5i?1.7
1・・・の部分にN型不純物ケ拡散しN厖拡散層91及
びN型拡散領域63【形成し、表面1lII化して穴7
1.71・・・を再び酸化All@N7CJ:って覆う
QK$2 figure (e) K shows h Le J: IC5i? 1.7
1... to form an N-type diffusion layer 91 and an N-type diffusion region 63.
1.71... is covered again with oxidized All@N7CJ:.

次に、1!2図(d、) !/I:示さノする工うに、
N型拡散領域63の表面の酸化gssに、フォトエツチ
ングにより穴72.72・・・全形成する。また、裏面
の酸化@65i除去する。N型拡散領域630表面の穴
72はバイパスダイオード用のr型拡散層64のためで
あり、筐たN型拡散領域63の周縁の穴72゜72は、
チャネルストッパとなるP+型拡散層のためである。
Next, Figure 1!2 (d,)! /I: The work that shows you,
Holes 72, 72... are entirely formed in the oxidized GSS on the surface of the N-type diffusion region 63 by photo-etching. Also, oxidation @65i on the back surface is removed. The hole 72 on the surface of the N-type diffusion region 630 is for the r-type diffusion layer 64 for the bypass diode, and the hole 72 at the periphery of the N-type diffusion region 63 in the casing is
This is because the P+ type diffusion layer serves as a channel stopper.

次1c第2図(e)に示されるエラK、表面の穴72゜
72・・・から及び裏面にr型の不純物を拡散し、その
後酸化する。そうすると1表面にはP型拡散層64及び
P 型拡散MGO,90が形成され、穴72.72i1
:再び酸化$I6 B N: J: りで覆われる。
Next, r-type impurities are diffused through the holes 72, 72, . Then, a P-type diffusion layer 64 and a P-type diffusion MGO, 90 are formed on the first surface, and the holes 72.72i1
: Oxidized again $I6 B N: J: Covered with ri.

また、裏面にはP+型拡散層90が形成される。Furthermore, a P+ type diffusion layer 90 is formed on the back surface.

こnij:BSF構造のためである。Konij: This is because of the BSF structure.

次に、第2図(f)に示されるよ5に、光電置換の予定
領域の表面の酸化膜65に、フォトエツチングにより穴
73−i形成する。
Next, as shown in FIG. 2(f), a hole 73-i is formed by photoetching in the oxide film 65 on the surface of the area scheduled for photoelectric replacement.

次に第2図(2))K、示されるように、穴73からN
型不純物紮拡散し千N+型拡散屑62全形成する。
Next, as shown in FIG. 2 (2)) K, from hole 73 to N
The type impurity is diffused to completely form 1,000N+ type diffusion debris 62.

次に露2図缶)に示されるように、r裂損散層640表
面の酸化膜o5に、フォトエツチングに、!:す、穴7
5を形成する。このとき裏面の酸化膜65も除去する。
Next, as shown in Figure 2), the oxide film o5 on the surface of the r-dissipation layer 640 is photo-etched! : Su, hole 7
form 5. At this time, the oxide film 65 on the back surface is also removed.

次に第2図(i)に示されるように、N+型型数散層6
2表面の一部とP′型拡散層64と紮接続する櫛状の表
面電極67と、F型シリコン基板6]の裏面を覆う裏面
電極68と1、例えば真空蒸tKより形成する。この際
、バイパスダイオードのN型拡散領域63とP+型拡散
層90とを短絡するための接合短絡部804同時に形成
する。なお、N型拡散領域63の表面は表面電極87の
端部の巾の広い部分によってa党される工うに丁′る。
Next, as shown in FIG. 2(i), the N+ type scattering layer 6
A comb-shaped front electrode 67 is connected to a part of the surface of the F-type silicon substrate 6, and a back electrode 68 covers the back surface of the F-type silicon substrate 6. At this time, a junction short-circuit portion 804 for short-circuiting the N type diffusion region 63 and the P+ type diffusion layer 90 of the bypass diode is simultaneously formed. Note that the surface of the N-type diffusion region 63 is exactly the same as that formed by the wide end portion of the surface electrode 87.

次に第2図(j)に示さtl−るLう(、表面電極67
の特にインターコネクタの接続部會マスキングして、N
+製拡散層62の表面に反射防止膜68【形成する。T
スキングは、電極の表面に反射防止膜66の形成1訪げ
、インターコネクターの接続を容J!lならしめる几め
に行う。
Next, as shown in FIG. 2(j), the surface electrode 67
Particularly, masking the connection part of the interconnector, N
An antireflection film 68 is formed on the surface of the diffusion layer 62 made of +. T
The skinning process involves forming an anti-reflection film 66 on the surface of the electrode and connecting the interconnector. Do it in a method that makes it perfect.

次に第2図(ト)に示されるように表面電極67の右前
及びN″′盤拡散拡散層62前の一点a線7Gに沿って
切断すると、篤1図−ン〜((支)に示さ力、る工うな
バイパスダイオード付太陽電池が得られる。
Next, as shown in FIG. 2(G), when cutting along the point a line 7G in front of the front right of the surface electrode 67 and in front of the N'''' disk diffusion layer 62, it is shown in FIG. As a result, a solar cell with a bypass diode can be obtained.

このバイパスダイオード付太陽電池には次のようにして
インターコネクタが接続される。例えば![3図(a)
(b)に示されるように、太陽電池50の表面の櫛状の
電極540幅の広くなった電極パッドの表面には一方の
インターコネクタ51が接続され、電極パッドの裏面に
はバイパスダイオード53が形成されている。他方のイ
ンターコネクタ52は、太陽電池50の裏面電極に沿っ
て、一方のインターコネクタ51の裏面に達している。
An interconnector is connected to this solar cell with a bypass diode in the following manner. for example! [Figure 3 (a)
As shown in (b), one interconnector 51 is connected to the surface of the wide electrode pad of the comb-shaped electrode 540 on the surface of the solar cell 50, and a bypass diode 53 is connected to the back surface of the electrode pad. It is formed. The other interconnector 52 reaches the back surface of one interconnector 51 along the back electrode of the solar cell 50 .

従来は、バイパスダイオードかインターコネクタの裏面
でなく、他の部分に設けられており、インターコネクタ
も太陽電池の入出力端部に接続されてい次。
Conventionally, the bypass diode is not placed on the back side of the interconnector, but in another part, and the interconnector is also connected to the input/output end of the solar cell.

従って、同図のようにクラック55が発生し太陽電池が
割rした場合、バイパスダイオードの機能が消滅するお
それがあった。纂3図(JL)(b)のようにインター
コネクタを接続するとクラック55が発生しても、バイ
パスダイオードの機能は残っておや、このクラック55
の生じたセルに直列に接続されている太陽電池群の出力
の低下全防止できる。
Therefore, if a crack 55 occurs and the solar cell breaks down as shown in the figure, there is a risk that the function of the bypass diode will disappear. Even if a crack 55 occurs when the interconnector is connected as shown in Figure 3 (JL) (b), the function of the bypass diode remains.
It is possible to completely prevent a decrease in the output of a group of solar cells connected in series to a cell in which this occurs.

(発明の効果) 以上に詳述した工うに、本発明によれば太陽電池に逆バ
イアスが印加され九ときに、バイパスを構成するダイオ
ードをシリコン基板中に一体に内蔵しており、二端子で
他のセルと結合できるから、モジュールの組立が簡単に
なる。
(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the present invention, when a reverse bias is applied to the solar cell, the diode constituting the bypass is integrally built into the silicon substrate, and the diode is connected to two terminals. The ability to combine with other cells simplifies module assembly.

1几、このような太陽電池は、変換効率が高く、逆バイ
アスが印加された時にも、電力損失が小さい、しかも高
信頼性の太陽電池となる。特に宇宙空間で使用される太
陽電池に対しては極めて有用である。
1. Such a solar cell has high conversion efficiency, low power loss even when reverse bias is applied, and is highly reliable. It is particularly useful for solar cells used in outer space.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)は本発明の一笑施例の平面図、第1図伽ン
; (a)、 (d)はそれぞれ第1図−)のA−^1
 、 B ++ BL。 c−c’略略画面図第2図体)〜(ト)は本発明の一冥
施例の製造の各1鵬の略断面図、第3図(a)はインタ
ーコネクタ接続の一例の平面図、第39山)はその側面
図、84図は従来の一例の略断面図、第5図はバイパス
ダイオード付太陽電池の等価回路図、第6図は一般の太
陽光発電装置のブロック図、第7図(a)(b)uそれ
ぞ九バイパスダイオードの増付けの従来例のブロック図
、第8図は従来の三端子型バイパスダイオード付太陽電
池の一例の略断面図、第9図はその等価回路図、第10
図(&)は第8図の太陽電池の接続を示す斜視図、第1
0図(b)はその等価回路図である。 61・・・P型シリコン基板、62・・・N+型型数散
層63・・・N型拡散領域、64・・・Pffi拡散層
、65・・・蒙化膜、66・・・反射防止膜、67・・
・表面電極、68・・・裏面電極、80・・・接合短絡
部、9o・・・P型拡散層、91・・・N型拡散層 第1図(Q) 〜 第 図 畢 図 事 2図 6&自ttり 第 図 第 図 第 図
Fig. 1(a) is a plan view of a simple embodiment of the present invention; Fig. 1(a) and (d) are respectively A-^1 of Fig. 1-).
, B++ BL. c-c' Simplified screen diagram Figures 2) to (G) are schematic cross-sectional views of each of the manufacturing processes of one embodiment of the present invention, and Figure 3 (a) is a plan view of an example of interconnector connection. 39) is its side view, Fig. 84 is a schematic sectional view of a conventional example, Fig. 5 is an equivalent circuit diagram of a solar cell with a bypass diode, Fig. 6 is a block diagram of a general solar power generation device, and Fig. 7 Figures (a), (b) and u are block diagrams of conventional examples of adding nine bypass diodes, Figure 8 is a schematic cross-sectional view of an example of a conventional solar cell with three-terminal bypass diodes, and Figure 9 is its equivalent. Circuit diagram, 10th
Figure (&) is a perspective view showing the connection of the solar cells in Figure 8;
FIG. 0(b) is its equivalent circuit diagram. 61... P-type silicon substrate, 62... N+ type scattering layer 63... N-type diffusion region, 64... Pffi diffusion layer, 65... Menguri film, 66... Antireflection Membrane, 67...
・Surface electrode, 68... Back electrode, 80... Junction short-circuit part, 9o... P-type diffusion layer, 91... N-type diffusion layer Figure 1 (Q) ~ Figure 2 Figure 2 6 & self-ttt figure figure figure figure figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、半導体基板の表面に形成された光電変換用のPN接
合と、これと逆方向に並列に形成されたバイパス用のP
N接合と、これらの表面に形成された櫛状の電極とを有
し、前記のバイパス用のPN接合は櫛状の電極の根元の
幅の広い部分の下方に形成されていることを特徴とする
バイパスダイオード付太陽電池。
1. A PN junction for photoelectric conversion formed on the surface of the semiconductor substrate and a PN junction for bypass formed in parallel in the opposite direction.
It has an N junction and a comb-shaped electrode formed on the surfaces thereof, and the bypass PN junction is formed below the wide part of the base of the comb-shaped electrode. A solar cell with a bypass diode.
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