JPH0442803A - オゾン精製装置 - Google Patents
オゾン精製装置Info
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- JPH0442803A JPH0442803A JP2147868A JP14786890A JPH0442803A JP H0442803 A JPH0442803 A JP H0442803A JP 2147868 A JP2147868 A JP 2147868A JP 14786890 A JP14786890 A JP 14786890A JP H0442803 A JPH0442803 A JP H0442803A
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- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 84
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 30
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/10—Process efficiency
- Y02P20/129—Energy recovery, e.g. by cogeneration, H2recovery or pressure recovery turbines
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はオゾンを大気中に放出しないようにしたオゾ
ン精製装置に関する。
ン精製装置に関する。
（従来の技術）
従来より、例えば酸化物超伝導膜の形成に用いるオゾン
精製装置としで、文献Ｉ ：Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎ５ｔ
ｒｕｍ、６０ （１９８９）ｐ３７６９に開示される
ものがある。第３図にこの従来装置の構成を概略的に示
す。
精製装置としで、文献Ｉ ：Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎ５ｔ
ｒｕｍ、６０ （１９８９）ｐ３７６９に開示される
ものがある。第３図にこの従来装置の構成を概略的に示
す。
同図に示すオゾン精製装置はオゾンを貯留する蒸留器１
０と、蒸留器１０を冷却する冷却部１２と、蒸留器１０
を加熱する加熱ｇＢ１４と、蒸留器］○の排気を行なう
ポンプ１６とを備えて成る。
０と、蒸留器１０を冷却する冷却部１２と、蒸留器１０
を加熱する加熱ｇＢ１４と、蒸留器］○の排気を行なう
ポンプ１６とを備えて成る。
冷却部１２は第一の保持器１２ａと、第一の保持器１２
ａ内に配置した第二の保持器１２ｂと、これら保持器１
２ａ及び１２ｂの間に貯留された冷媒１２ｃ例えば液体
窒素とから成る。加熱部１４は電熱線から成り、蒸留器
１０８第二の保持器１２ｂ内に配冒しこれら蒸留器１０
及び保持器１２ｂの間に加熱部１４を設ける。
ａ内に配置した第二の保持器１２ｂと、これら保持器１
２ａ及び１２ｂの間に貯留された冷媒１２ｃ例えば液体
窒素とから成る。加熱部１４は電熱線から成り、蒸留器
１０８第二の保持器１２ｂ内に配冒しこれら蒸留器１０
及び保持器１２ｂの間に加熱部１４を設ける。
ポンプ１６は酸素やオゾンを吸着する物質（吸着物質）
を備えこの吸着作用により蒸留器１０の排気を行なうン
ーブションボンブと称する装置であり、蒸留器］○をバ
イブ１８、バルブ２０．２２．２４を介しポンプ］６と
接続すると共にバイブ２６、バルブ２８．３０％介し図
示しないオゾン生成装置と接続する。ざらにバイブ］８
のバルブ２０．２２の間ラバイブ３２、バルブ３４を介
し図示しない超伝導膜の成膜室と接続すると共に、バイ
ブ］８のバルブ２２．２４の間に圧力計３６を接続する
。
を備えこの吸着作用により蒸留器１０の排気を行なうン
ーブションボンブと称する装置であり、蒸留器］○をバ
イブ１８、バルブ２０．２２．２４を介しポンプ］６と
接続すると共にバイブ２６、バルブ２８．３０％介し図
示しないオゾン生成装置と接続する。ざらにバイブ］８
のバルブ２０．２２の間ラバイブ３２、バルブ３４を介
し図示しない超伝導膜の成膜室と接続すると共に、バイ
ブ］８のバルブ２２．２４の間に圧力計３６を接続する
。
オゾンガスを図示しないオゾン生成装置により生成し冷
却された蒸留器１０内に供給すると、オゾンガスは冷却
されて液化し液化オゾンが蒸留器１０内に貯留する。こ
の際、オゾンと共に酸素も液化され従って液化オゾン及
び液化酸素の混合液が蒸留器１Ｑ内に貯留する。
却された蒸留器１０内に供給すると、オゾンガスは冷却
されて液化し液化オゾンが蒸留器１０内に貯留する。こ
の際、オゾンと共に酸素も液化され従って液化オゾン及
び液化酸素の混合液が蒸留器１Ｑ内に貯留する。
所定量の液化オゾンを得ると、蒸留器１ｏを加熱部１４
により加熱する。この加熱を、酸素は気化させるがオゾ
ンは気化させないような温度で行ないながら、ポンプ１
６を作用させ蒸留器１０から気化した酸素を排気する。
により加熱する。この加熱を、酸素は気化させるがオゾ
ンは気化させないような温度で行ないながら、ポンプ１
６を作用させ蒸留器１０から気化した酸素を排気する。
これによって蒸留器１０内に貯留する液化オゾンの純度
を高める（オゾンを精製する）。
を高める（オゾンを精製する）。
オゾンの精製では酸素と共に多少のオゾンも蒸留器１０
から排気され、従ってオゾンがポンプ１０内に貯留され
ることとなる。また超伝導膜の成膜終了後には不要とな
った蒸留器１ｏ内のオゾンを全て気化させて排気するが
、この場合にもオゾンがポンプ１０内に貯留することと
なる。
から排気され、従ってオゾンがポンプ１０内に貯留され
ることとなる。また超伝導膜の成膜終了後には不要とな
った蒸留器１ｏ内のオゾンを全て気化させて排気するが
、この場合にもオゾンがポンプ１０内に貯留することと
なる。
（発明が解決しようとする課題）
このように上述した従来装置ては、オゾンをポンプ内に
貯留させでしまうので、特にポンプの排気口を開放し吸
着物質に吸着させた物質を大気中へ放出させる場合に、
有害なオゾンを大気中へ放出してしまうという問題点か
あった。
貯留させでしまうので、特にポンプの排気口を開放し吸
着物質に吸着させた物質を大気中へ放出させる場合に、
有害なオゾンを大気中へ放出してしまうという問題点か
あった。
この発明の目的は上述した従来の問題点を解決するため
、オゾンの分解器を設けたオゾン精製袋Ｍ％提供するこ
とにある。
、オゾンの分解器を設けたオゾン精製袋Ｍ％提供するこ
とにある。
（課題を解決するための手段）
この目的の達成を図るため、この発明のオゾン精製装置
は、オゾンを貯留する蒸留器と、蒸留器を冷却する冷却
部と、蒸留器を加熱する加熱部と、蒸留器の排気を行な
うポンプとを備えて成るオゾン精製装置において、オゾ
ンを分解する分解器を設けて成ることを特徴とする。
は、オゾンを貯留する蒸留器と、蒸留器を冷却する冷却
部と、蒸留器を加熱する加熱部と、蒸留器の排気を行な
うポンプとを備えて成るオゾン精製装置において、オゾ
ンを分解する分解器を設けて成ることを特徴とする。
この発明の実施に当っては、分解器を、ポンプの吸気口
と蒸留器との間或はポンプの排気口に設けるのがよい。
と蒸留器との間或はポンプの排気口に設けるのがよい。
（作用）
このような構成のオゾン精製装置によれば、分解器を蒸
留器及びポンプの吸気口の間に設けた場合、分解器は蒸
留器からの排気が含むオゾンを分解する。また分解器を
ポンプの排気口に設けた場合、分解器はポンプからの排
気が含むオゾンを分解する。
留器及びポンプの吸気口の間に設けた場合、分解器は蒸
留器からの排気が含むオゾンを分解する。また分解器を
ポンプの排気口に設けた場合、分解器はポンプからの排
気が含むオゾンを分解する。
（実施例）
以下、図面を参照しこの発明の只施例につき説明する。
尚、図面はこの発明が理解できる程度に概略的に示しで
あるにすぎない。
あるにすぎない。
第１図はこの発明の実施例の要部構成を概略的に示す図
であり、この実施例のオゾン精製装置の、主としてポン
プ及び分解器につきそれらの構成と配設状態とを示した
図である。
であり、この実施例のオゾン精製装置の、主としてポン
プ及び分解器につきそれらの構成と配設状態とを示した
図である。
この実施例装置は第３図に示すオゾン精製装置に分解器
３６を設けた例であり、分解器３６をポンプ１６の吸気
口１６ａと蒸留器１０との闇に設けた構成としているＩ
Ｊかは従来と同様の構成を有する（第１図及び第３図参
照）。
３６を設けた例であり、分解器３６をポンプ１６の吸気
口１６ａと蒸留器１０との闇に設けた構成としているＩ
Ｊかは従来と同様の構成を有する（第１図及び第３図参
照）。
そしてこの実施例では、分解器３６を、オゾンを加熱分
解して酸素にする熱分解器とし、この分解器３６を例え
ば電熱線３８とバイブ１８の一部分１８ｂとから構成す
る。このバイブ部分１８ｂを加熱しオゾンをこの部分１
８ｂｔ通過させることによってオゾンの熱分解を行なう
。
解して酸素にする熱分解器とし、この分解器３６を例え
ば電熱線３８とバイブ１８の一部分１８ｂとから構成す
る。このバイブ部分１８ｂを加熱しオゾンをこの部分１
８ｂｔ通過させることによってオゾンの熱分解を行なう
。
また図示例では、分解器３６の配設スペースを小ざくす
るため、パイプ部分１８ｂを螺線状となしこの部分１８
ｂに電熱線３８を巻き付けて設ける。そして電熱線３８
によるオゾンの加熱効率を高めるため、電熱線３８とパ
イプ部分１８ｂとを保温材（或は断熱材）４０中に保持
する。尚、パイプ部分１８ｂの加熱温度はこの部分１８
ｔ）に設けた熱電対４２を用いて監視する。
るため、パイプ部分１８ｂを螺線状となしこの部分１８
ｂに電熱線３８を巻き付けて設ける。そして電熱線３８
によるオゾンの加熱効率を高めるため、電熱線３８とパ
イプ部分１８ｂとを保温材（或は断熱材）４０中に保持
する。尚、パイプ部分１８ｂの加熱温度はこの部分１８
ｔ）に設けた熱電対４２を用いて監視する。
オゾンの分解に適した、バイブ部分１８ｂの加熱温度及
び長さは、オゾンの流量とバイブ１８の内径そのほかの
要因に応して異なるが、例えば、オゾンがパイプ部分１
８ｂの始端から終端までを約２〜３秒程度の時間を掛け
て通過するようにパイプ部分１８ｂの長さを設定しこれ
と共にパイプ部分１８ｂの加熱温度を約３８０〜４２０
’ Ｃ程度とすればよい。
び長さは、オゾンの流量とバイブ１８の内径そのほかの
要因に応して異なるが、例えば、オゾンがパイプ部分１
８ｂの始端から終端までを約２〜３秒程度の時間を掛け
て通過するようにパイプ部分１８ｂの長さを設定しこれ
と共にパイプ部分１８ｂの加熱温度を約３８０〜４２０
’ Ｃ程度とすればよい。
第２図にオゾン濃度とパイプ部分１８ｂの加熱温度との
関係を示す、第２図においては、電熱線３８で加熱した
パイプ部分１８ｂにオゾンガスを導入しこの部分１８ｂ
から導出したガス（分解後のガス）中のオゾン濃度を測
定し、縦軸に分解後のガス中のオゾン濃度（ｐｐｍ）を
及び横軸に分解器３６を構成するパイプ部分１８ｂの加
熱温度（°Ｃ）を取って示した。そして第２図に示す測
定結果は、バイブ１８を直径３／８インチのステンレス
バイブとし、直線状の状態で長さが１ｍのパイプ部分１
８ｂを螺線状となし、１００％オゾン（蒸留器１ｏにお
いで精製されたオゾン）のガスを約０．６β／ｍｉｎ、
の流量でパイプ部分１８ｂに導入し、パイプ部分１８ｂ
の加熱温度を４２０’Ｃまで段階的に変化させながら各
加熱温度毎に、分解後のガス中のオゾン濃度を測定して
得たものである。
関係を示す、第２図においては、電熱線３８で加熱した
パイプ部分１８ｂにオゾンガスを導入しこの部分１８ｂ
から導出したガス（分解後のガス）中のオゾン濃度を測
定し、縦軸に分解後のガス中のオゾン濃度（ｐｐｍ）を
及び横軸に分解器３６を構成するパイプ部分１８ｂの加
熱温度（°Ｃ）を取って示した。そして第２図に示す測
定結果は、バイブ１８を直径３／８インチのステンレス
バイブとし、直線状の状態で長さが１ｍのパイプ部分１
８ｂを螺線状となし、１００％オゾン（蒸留器１ｏにお
いで精製されたオゾン）のガスを約０．６β／ｍｉｎ、
の流量でパイプ部分１８ｂに導入し、パイプ部分１８ｂ
の加熱温度を４２０’Ｃまで段階的に変化させながら各
加熱温度毎に、分解後のガス中のオゾン濃度を測定して
得たものである。
第２図からも理解できるように、パイプ部分１８ｂの加
熱温度をほぼ３８０’ Ｃ以上とすることによって、分
解後のガス中でのオゾン濃度をほぼ０．Ｏ５ｐｐｍ以下
とすることができた。
熱温度をほぼ３８０’ Ｃ以上とすることによって、分
解後のガス中でのオゾン濃度をほぼ０．Ｏ５ｐｐｍ以下
とすることができた。
また超伝導膜の成膜終了後蒸留器１０の１００％オゾン
のガスを全てパイプ部分１８ｂで分解して分解後のガス
をポンプ１６に導入し、その後、ポンプ１６の排気口１
６ｂ！開放しポンプ１６の吸着物質に吸着させた物質を
放出させたところ、放出させたガス中のオゾン濃度もま
た０、Ｏ５ｐｐｍ以下であった。
のガスを全てパイプ部分１８ｂで分解して分解後のガス
をポンプ１６に導入し、その後、ポンプ１６の排気口１
６ｂ！開放しポンプ１６の吸着物質に吸着させた物質を
放出させたところ、放出させたガス中のオゾン濃度もま
た０、Ｏ５ｐｐｍ以下であった。
この発明は上述した実施例にのみ限定されるものではな
く、従って各構成成分の構成、形状、配設位冨、形状、
寸法、数値的条件そのほかを任意好適に変更することが
できる。特にオゾン精製製雪の各部の構成を任意好適に
変更できる。
く、従って各構成成分の構成、形状、配設位冨、形状、
寸法、数値的条件そのほかを任意好適に変更することが
できる。特にオゾン精製製雪の各部の構成を任意好適に
変更できる。
例えば分解器をポンプの排気口に設けるようにしポンプ
からの排気が含むオゾンを分解器で分解しこのオゾン分
解後の排気を大気中に放出するようにしてもよい、また
分解器を、オゾンを分解する触媒を利用した分解器とす
るようにしてもよいが、触媒を利用したものでは触媒の
寿命が短くまた純度の高いオゾンを分解する際に激しい
反応を伴なう可能性があるので熱分解器を用いるほうが
よい。
からの排気が含むオゾンを分解器で分解しこのオゾン分
解後の排気を大気中に放出するようにしてもよい、また
分解器を、オゾンを分解する触媒を利用した分解器とす
るようにしてもよいが、触媒を利用したものでは触媒の
寿命が短くまた純度の高いオゾンを分解する際に激しい
反応を伴なう可能性があるので熱分解器を用いるほうが
よい。
（発明の効果）
上述した説明からも明らかなように、この発明のオゾン
精製装置によれば、オゾンの分解器を蒸留器及びポンプ
の吸気口の間に設けるかポンプの排気口に設ける。
精製装置によれば、オゾンの分解器を蒸留器及びポンプ
の吸気口の間に設けるかポンプの排気口に設ける。
分解器を蒸留器及びポンプの吸気口の間に設けた場合、
分解器は蒸留器からの排気が含むオゾンを分解し、従っ
て実質的にオゾンを含まない排気を、ポンプに導入しポ
ンプから大気中へ放出することができる。
分解器は蒸留器からの排気が含むオゾンを分解し、従っ
て実質的にオゾンを含まない排気を、ポンプに導入しポ
ンプから大気中へ放出することができる。
また分解器をポンプの排気口に設けた場合、分解器はポ
ンプからの排気が含むオゾンを分解し、従って実質的に
オゾンを含まない排気をポンプから分解器を介し大気中
へ放出することができる。
ンプからの排気が含むオゾンを分解し、従って実質的に
オゾンを含まない排気をポンプから分解器を介し大気中
へ放出することができる。
第１図はこの発明の実施例の要部構成を概略的に示す図
、 第２図は分解器によるオゾン分解後のガス中のオゾン濃
度と分解器の加熱温度との関係を示す図、 第３図は従来製雪の構成を概略的に示す図である。 １０・・・蒸留器、 １２・・・冷却部１４・・
・加熱部、 １６・・・ポンプ１６ ａ −・・
吸気口、 １６ ｂ −・・排気口３６・・・分解
器。 寅施例の要部構成 第１ 図 オゾン濃度及び加熱温度の間係 第２ 図
、 第２図は分解器によるオゾン分解後のガス中のオゾン濃
度と分解器の加熱温度との関係を示す図、 第３図は従来製雪の構成を概略的に示す図である。 １０・・・蒸留器、 １２・・・冷却部１４・・
・加熱部、 １６・・・ポンプ１６ ａ −・・
吸気口、 １６ ｂ −・・排気口３６・・・分解
器。 寅施例の要部構成 第１ 図 オゾン濃度及び加熱温度の間係 第２ 図
Claims (3)
- （１）オゾンを貯留する蒸留器と、蒸留器を冷却する冷
却部と、蒸留器を加熱する加熱部と、蒸留器の排気を行
なうポンプとを備えて成るオゾン精製装置において、 オゾンを分解する分解器を設けて成ることを特徴とする
オゾン精製装置。 - （２）前記ポンプの吸気口と蒸留器との間に分解器を設
けて成ることを特徴とする請求項１に記載のオゾン精製
装置。 - （３）前記分解器を、オゾンを加熱分解して酸素にする
熱分解器としたことを特徴とする請求項１に記載のオゾ
ン精製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147868A JPH0442803A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | オゾン精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147868A JPH0442803A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | オゾン精製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442803A true JPH0442803A (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=15440058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2147868A Pending JPH0442803A (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | オゾン精製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442803A (ja) |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP2147868A patent/JPH0442803A/ja active Pending
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