JPH0442729U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0442729U JPH0442729U JP8468590U JP8468590U JPH0442729U JP H0442729 U JPH0442729 U JP H0442729U JP 8468590 U JP8468590 U JP 8468590U JP 8468590 U JP8468590 U JP 8468590U JP H0442729 U JPH0442729 U JP H0442729U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- etching
- mechanical chuck
- aluminum film
- infrared rays
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 claims 1
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Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案によるメカニカルチヤツクを使
用した時の終点検出出力電圧特性を示す図、第２
図ａ及びｂは従来の一例を示すエツチング装置の
概略図、第３図は従来のメカニカルチヤツクの問
題点を説明するための図である。 １……メカニカルチヤツク、２……半導体基板
、３……アルミ膜、４ａ……終点検出センサ（発
光側）、４ｂ……終点検出センサ（受光側）、５
……アンプ、６……モニタ、７……比較判断部。
用した時の終点検出出力電圧特性を示す図、第２
図ａ及びｂは従来の一例を示すエツチング装置の
概略図、第３図は従来のメカニカルチヤツクの問
題点を説明するための図である。 １……メカニカルチヤツク、２……半導体基板
、３……アルミ膜、４ａ……終点検出センサ（発
光側）、４ｂ……終点検出センサ（受光側）、５
……アンプ、６……モニタ、７……比較判断部。
Claims (1)
- アルミ膜が形成される半導体基板に薬液を吹き
付け、アルミ膜がエツチングされる前記半導体基
板に赤外線を照射し、透過赤外線を検知してエツ
チング度合を検知する機構を有するエツチング装
置の前記半導体基板を保持するメカニカルチヤツ
クにおいて、このメカニカルチヤツクが透明な耐
熱性樹脂で製作されていることを特徴とするエツ
チング装置のメカニカルチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8468590U JPH0442729U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8468590U JPH0442729U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442729U true JPH0442729U (ja) | 1992-04-10 |
Family
ID=31633322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8468590U Pending JPH0442729U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442729U (ja) |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP8468590U patent/JPH0442729U/ja active Pending