JPH0442296U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0442296U JPH0442296U JP8357490U JP8357490U JPH0442296U JP H0442296 U JPH0442296 U JP H0442296U JP 8357490 U JP8357490 U JP 8357490U JP 8357490 U JP8357490 U JP 8357490U JP H0442296 U JPH0442296 U JP H0442296U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential surface
- rotating body
- vacuum pump
- gas bearing
- pressure gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8357490U JPH0442296U (sl) | 1990-08-07 | 1990-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8357490U JPH0442296U (sl) | 1990-08-07 | 1990-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442296U true JPH0442296U (sl) | 1992-04-09 |
Family
ID=31631358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8357490U Pending JPH0442296U (sl) | 1990-08-07 | 1990-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442296U (sl) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5958508A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Toshiba Corp | プロセス制御系の異常検出方法 |
| JPS61104192A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | 分子ポンプ |
| JPS62159794A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | フアン |
| JPS6337680A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-18 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS63208695A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-30 | アルカテル・ホッホバクームテヒニーク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 高真空ポンプ |
-
1990
- 1990-08-07 JP JP8357490U patent/JPH0442296U/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5958508A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Toshiba Corp | プロセス制御系の異常検出方法 |
| JPS61104192A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | 分子ポンプ |
| JPS62159794A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | フアン |
| JPS6337680A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-18 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS63208695A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-30 | アルカテル・ホッホバクームテヒニーク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 高真空ポンプ |