JPH0438731A - Production of optical recording medium - Google Patents

Production of optical recording medium

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JPH0438731A
JPH0438731A JP14354590A JP14354590A JPH0438731A JP H0438731 A JPH0438731 A JP H0438731A JP 14354590 A JP14354590 A JP 14354590A JP 14354590 A JP14354590 A JP 14354590A JP H0438731 A JPH0438731 A JP H0438731A
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JP
Japan
Prior art keywords
disk
substrates
substrate
optical recording
disk substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP14354590A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryoichi Yamamoto
亮一 山本
Hideo Yamanaka
英生 山中
Mitsunobu Usui
光信 薄井
Manabu Higuchi
学 樋口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To increase the rotating speed of the optical recording medium and to speed up a transfer rate by joining two sheets of disk substrates while supporting the inner peripheral part of the one disk substrate and sticking the substrates in the state of not generating unequal contact and strains by a substrate supporting member in the outer peripheral part at the time of sticking the disks substrates to each other. CONSTITUTION:The disk substrate 1 is mounted and fixed onto a fixing supporting base 3 for substrates. A central hole 6 is formed in the central part of the disk substrate 2 and the central part 8 at the front end of an air cylinder 4 sucks the substrate 2 and inserts the same into the central 6, thereby positioning the substrate 2. After the substrates 1, 2 are set, the air cylinder 4 is lowered at >=50mm/sec speed to put the substrates 1, 2 into the tentatively stuck state in which the respective adhesive layers come into contact. The substrates are, thereupon, set to a press machine and are subjected to adhesion under pressurization. The uniformity at the time of sticking the outermost peripheral part is improved. The rotating speed of the disk is greatly increased in this way and the transfer rate is greatly improved.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は情報転送の高速化に対応し得る光記録媒体を製
造する方法に関し、詳しくは、2枚のディスク基板を接
着剤で貼り合わせてなる光記録媒体の製造方法に関する
ものである。
[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium that can handle high-speed information transfer. The present invention relates to a method of manufacturing an optical recording medium.

(従来の技術) 光記録媒体はその記録容量が大きく、信号の記録再生が
非接触タイプであること等、多くの利点を有しており、
レーザディスク、コンパクトディスク、大容量データフ
ァイルディスクや光メモリカード等として実用化されて
いる。このように、現在実用化されているものの多くは
ディスク状のものであって、通常、ガラス、プラスチッ
ク等からなる透明なディスク基板上に薄膜記録層を形成
してなるものであり、このような光ディスクは再生専用
型、追記型、書換型等に分類される。近年注目されてい
る光磁気ディスクはこの書換型に属し、その記録層とし
て酸化しやすい希土類遷移金属等を使用していることか
ら、記録層を内側として2枚のディスク基板を接着剤に
より貼り合わせて記録層を外気から保護するのが望まし
いとされている。なお、貼り合わせる2枚のディスク基
板に各々記録層を形成しておき両面記録型とすれば記録
容量を倍増できるので望ましい。
(Prior Art) Optical recording media have many advantages, such as their large recording capacity and the ability to record and reproduce signals in a non-contact manner.
It has been put into practical use as laser discs, compact discs, large-capacity data file discs, optical memory cards, etc. As described above, most of the devices currently in practical use are disk-shaped, and are usually made of a transparent disk substrate made of glass, plastic, etc., with a thin film recording layer formed on it. Optical discs are classified into read-only types, write-once types, rewritable types, etc. Magneto-optical disks, which have been attracting attention in recent years, belong to this type of rewritable disk, and because their recording layer uses materials such as rare earth transition metals that are easily oxidized, two disk substrates are bonded together with an adhesive, with the recording layer inside. It is considered desirable to protect the recording layer from the outside air. Note that it is preferable to form a recording layer on each of two disk substrates that are bonded together to form a double-sided recording type, since this can double the recording capacity.

ところで、」二連したような光ディスクはスピンドル上
に載設され、角速度一定(CAV)の場合例えば1.8
0Orpm程度で定回転され、この状態で光ヘッドによ
り信号の記録再生が行なわれる。しかし、光ディスクが
大容量であることから特に信号の一括転送を行なう場合
等においては転送レートの高速化が必要とされており、
このためディスクの回転速度をより高速とすることが検
討されている。
By the way, a double optical disc is mounted on a spindle, and in the case of constant angular velocity (CAV), for example, 1.8
It is rotated at a constant speed of about 0 rpm, and in this state, recording and reproduction of signals is performed by the optical head. However, due to the large capacity of optical discs, it is necessary to increase the transfer rate, especially when transferring signals in bulk.
For this reason, it is being considered to increase the rotational speed of the disk.

しかし、ディスクの回転速度がより高速となると、この
回転に伴なうディスク面の垂直方向の加速度、いわゆる
面振れ加速度が大きくなり(面振れ加速度は回転速度の
2乗に比例する)フォーカスサーボが外れやすくなって
しまう。すなわち、例えば転送レートを2倍にするため
にディスク回転速度を2倍にすると、面振れ加速度は従
来の4倍となってしまうこととなり、このため転送レー
トの高速化を図るためにはディスク基板の反り量を小さ
く押さえる必要がある。このようなディスク基板の反り
はディスク基板成形の際、あるいはディスク基板貼合せ
の際に生じるものであり、ディスク基板成形の際の反り
量を小さくするために、成形された基板を高温雰囲気中
でアニールすることによって成形歪みを取り除く技術が
知られている(例えば特開昭62−252548号公報
、特開昭62264483号公報)。
However, as the rotational speed of the disk becomes faster, the vertical acceleration of the disk surface due to this rotation, so-called surface runout acceleration, increases (the surface runout acceleration is proportional to the square of the rotational speed), and the focus servo increases. It becomes easy to come off. In other words, for example, if the disk rotation speed is doubled in order to double the transfer rate, the surface runout acceleration will be four times that of the conventional one. Therefore, in order to increase the transfer rate, it is necessary to It is necessary to keep the amount of warpage small. This kind of warpage of the disk substrate occurs during disk substrate molding or disk substrate bonding.In order to reduce the amount of warpage during disk substrate molding, the molded substrate is heated in a high temperature atmosphere. A technique for removing molding distortion by annealing is known (for example, JP-A-62-252548 and JP-A-62264483).

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、前述した従来技術はディスク基板が一枚
の、いわゆる単板状態における反り量を減少させるのに
は有効であったが、ディスク基板の貼合せの際に生じる
ディスク基板の反りを除去することができず、その結果
、ディスク基板貼合せ後において基板反り量の大幅な減
少を図ることは難しかった。したがって上述した従来技
術によってはディスク回転速度の大幅な増加、さらには
転送レートの大幅な向上を図ることは困難であった。
(Problem to be Solved by the Invention) However, although the above-mentioned conventional technology was effective in reducing the amount of warpage in a so-called single-plate state of a single disk substrate, it It is not possible to remove the warpage of the disk substrate that occurs, and as a result, it is difficult to significantly reduce the amount of substrate warpage after the disk substrates are bonded together. Therefore, it has been difficult to significantly increase the disk rotational speed and furthermore to significantly improve the transfer rate using the above-mentioned conventional techniques.

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ディ
スク基板を2枚貼り合わせて光ディスクを製造する方法
において基板の反り量が小さく、記録再生中における面
振れ加速度を小さくし得る光記録媒体の製造方法を提供
することを目的とするものである。
The present invention was made in view of the above circumstances, and provides an optical recording medium in which the amount of warpage of the substrate is small in a method of manufacturing an optical disk by bonding two disk substrates together, and the surface runout acceleration during recording and playback can be reduced. The purpose of this invention is to provide a method for manufacturing.

(課題を解決するための手段) 本願発明のうち第1の光記録媒体の製造方法は、片側に
記録層を形成された透明な第1のディスク基板と、この
第1のディスク基板と略同一形状の第2のディスク基板
とを上記記録層を内側にして対向させるとともに、これ
ら2つのディスク基板のうち少なくとも一方の、他方と
対向する側に接着剤を塗布し、この後、上記2つのディ
スク基板のうち一方をその内周部分のみを支持しつつ他
方に接近させるよう移動せしめ、これにより上記2つの
ディスク基板を互いに接触させて仮止めした後に加圧し
てこれら2つのディスク基板を貼り合わせることを特徴
とするものである。
(Means for Solving the Problems) A method for manufacturing a first optical recording medium of the present invention includes a first transparent disk substrate having a recording layer formed on one side, and a first disk substrate substantially identical to the first disk substrate. A second disc substrate of the same shape is placed facing the recording layer with the recording layer inside, and an adhesive is applied to the side of at least one of these two disc substrates that faces the other, and then the two discs are Moving one of the substrates so as to approach the other while supporting only its inner peripheral portion, thereby bringing the two disk substrates into contact with each other and temporarily fixing them, and then applying pressure to bond these two disk substrates together. It is characterized by:

また、本願発明のうち第2の光記録媒体の製造方法は、
上述した第1の光記録媒体の製造方法において、上記移
動するディスク基板の移動の速度を50s/秒以上とす
ることを特徴とするものである。
Furthermore, the second method for manufacturing an optical recording medium of the present invention includes:
The first method for manufacturing an optical recording medium described above is characterized in that the moving speed of the moving disk substrate is 50 s/sec or more.

なお、上述した「記録層」は2つのディスク基板の両方
に形成されていてもよいし、いずれか−方にのみ形成さ
れていてもよい。
Note that the above-mentioned "recording layer" may be formed on both of the two disk substrates, or may be formed only on one of them.

(作  用) 従来、ディスク基板の貼合せ工程では一方のディスク基
板を固定し、他方のディスク基板を基板支持部材により
支持しつつ移動させて2つのディスク基板を接着剤を介
して接触させ(仮止め状態)、この仮止め状態から2つ
のディスク基板を圧接せしめて貼合せを行なうようにし
ているが、上記基板支持部材によりディスク基板の内周
のみならず外周をも支持するようにしており、また、こ
の基板支持部材によって支持された基板部分は両基板接
触時において、片あたりや歪を生じやすいと考えられる
(Function) Conventionally, in the process of laminating disk substrates, one disk substrate is fixed, the other disk substrate is moved while being supported by a substrate support member, and the two disk substrates are brought into contact (temporarily) through an adhesive. The two disk substrates are pressed together from this temporary bonded state to perform bonding, and the substrate support member supports not only the inner periphery but also the outer periphery of the disk substrate, Further, it is considered that the substrate portion supported by this substrate support member is likely to cause uneven contact or distortion when the two substrates are in contact with each other.

一方、特に2枚のディスク基板を貼り合わせて製造した
光記録媒体においては、一般に最外周付近の面振れ加速
度が大きく、これが回転速度を大きくする上で神則とな
っている。
On the other hand, especially in optical recording media manufactured by bonding two disk substrates together, surface runout acceleration is generally large near the outermost periphery, and this is the divine rule for increasing rotational speed.

そこで、上述した構成においては基板支持部材はディス
ク基板の内周部分のみを支持し、基板支持部材の支持に
よって面振れ加速度に大きな影響を及ぼしやすいディス
ク基板の外周部分は非支持としている。すなわち、少な
くとも外周部分においては基板支持部材の支持による片
あたりや歪が生じないようにした状態で貼合せを行なう
ことによって、貼合せ後における外周部分のディスク反
り量を小さくし、光記録媒体の最大面振れ加速度を減少
させることができ、これにより回転速度の増大、転送レ
ートの高速化を図ることができる。
Therefore, in the above-described configuration, the substrate support member supports only the inner peripheral portion of the disk substrate, and does not support the outer peripheral portion of the disk substrate, which tends to have a large influence on the surface runout acceleration due to the support of the substrate support member. In other words, by performing lamination in a state where uneven contact or distortion due to the support of the substrate support member does not occur at least in the outer peripheral portion, the amount of disk warpage in the outer peripheral portion after lamination is reduced, and the optical recording medium is The maximum surface runout acceleration can be reduced, thereby increasing the rotational speed and the transfer rate.

また、上記2つのディスク基板を接触させる際には、移
動しているディスク基板の外周部がその移動方向と反対
方向にわずかではあるが反り、これによって仮止めの際
において2つのディスク基板の外周部分同士の接触均一
性が増すと考えられる。また、ディスク基板の移動速度
が大きい程上記反り量は大きくなり、移動速度が50m
/see以上であれば上記接触均一性を増加できる程度
の反り量が得られるので、」1記構成によって光記録媒
体の面振れ加速度をさらに減少させることが可能となる
Furthermore, when the two disk substrates are brought into contact with each other, the outer periphery of the moving disk substrate warps slightly in the opposite direction to the direction of movement, and this causes the outer periphery of the two disk substrates to bend when temporarily fastened. It is thought that the uniformity of contact between parts increases. In addition, the higher the moving speed of the disk substrate, the larger the above-mentioned warping amount becomes.
/see or more, the amount of warpage that can increase the above-mentioned contact uniformity can be obtained, so the configuration described in item 1 can further reduce the surface runout acceleration of the optical recording medium.

(実 施 例) 以下、本発明の実施例に係る光記録媒体の製造方法につ
いて図面を用いて説明する。
(Example) Hereinafter, a method for manufacturing an optical recording medium according to an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図および第2図は、本実施例方法を説明するための
概略図である。本実施例方法においては、まず第1図に
示すように、第1のディスク基板1と第2のディスク基
板2を所定距離Aだけ離して対向せしめている。すなわ
ち、上記第1のディスク基板1は基板用固定支持台3上
に載設することによって、また、上記第2のディスク基
板2は、この第1のディスク基板1の上方においてエア
シリンダ4により真空吸着することによって各々所定位
置に保持している。なお、上記Aは例えば35酎とする
。上記2つのディスク基板1,2は案内溝を形成された
直径1.30 mm、厚さ1.2#のポリカーボネート
基板上に光磁気記録層および有機樹脂保護層をこの順に
積層してなるものである。また、この有機樹脂保護層上
にはホットメルト接着剤がロールコータにより塗布され
ている。さらに、第1図に示すように、両ディスク基板
1.2は各々の光磁気記録層が互いに対向するような向
きに配されている。なお、上記両ディスク基板1,2の
中央部には中央孔5.6が形成されている。また、上記
エアシリンダ4は先端外周部に複数のエア吸引孔7を有
する、先端直径20mm程度のシリンダ状部材であって
、このエア吸引孔7が上記ディスク基板2の内周部分を
吸引するようになっている。
FIG. 1 and FIG. 2 are schematic diagrams for explaining the method of this embodiment. In the method of this embodiment, first, as shown in FIG. 1, a first disk substrate 1 and a second disk substrate 2 are opposed to each other with a predetermined distance A apart. That is, the first disk substrate 1 is placed on the substrate fixing support 3, and the second disk substrate 2 is placed above the first disk substrate 1 under vacuum by the air cylinder 4. Each is held in place by adsorption. Note that the above A is, for example, 35 chu. The two disk substrates 1 and 2 mentioned above are made by laminating a magneto-optical recording layer and an organic resin protective layer in this order on a polycarbonate substrate with a diameter of 1.30 mm and a thickness of 1.2#, on which a guide groove is formed. be. Further, a hot melt adhesive is applied onto the organic resin protective layer using a roll coater. Furthermore, as shown in FIG. 1, both disk substrates 1.2 are oriented such that their respective magneto-optical recording layers face each other. Note that a central hole 5.6 is formed in the center of both the disk substrates 1 and 2. The air cylinder 4 is a cylindrical member with a diameter of about 20 mm at the tip and has a plurality of air suction holes 7 on the outer periphery of the tip. It has become.

なお、このエアシリンダ4の先端中央部8は凸形状をな
しており、上記ディスク基板2をエア吸引する際にこの
基板2の中央孔6に嵌挿され、これによりこの基板2が
位置決めされる。
The center portion 8 of the tip of the air cylinder 4 has a convex shape, and is inserted into the center hole 6 of the substrate 2 when air is sucked into the disk substrate 2, thereby positioning the substrate 2. .

上述したようにして上記2つのディスク基板1゜2をセ
ットした後エアシリンダ4をシリンダ駆動部(図示せず
)によって矢印B方向に100s/秒程度の速度で下降
せしめて上記2つのディスク基板1.2を徐々に接近さ
せ、第2図に示すように上記2つのディスク基板1,2
を接触させた状態で上記エアシリンダ4の下降を停止さ
せる。このとき上記2つのディスク基板1,2は各々の
接着剤層が接触する仮止め状態となっており、この状態
でプレス機(図示せず)にセラt・L 5 Kg/ c
rAのプレス圧力で加圧接着を行なう。
After setting the two disk substrates 1 2 as described above, the air cylinder 4 is lowered in the direction of arrow B at a speed of about 100 s/sec by a cylinder drive unit (not shown) to set the two disk substrates 1 . .2 gradually approach the two disk substrates 1 and 2 as shown in FIG.
The lowering of the air cylinder 4 is stopped while the two are in contact with each other. At this time, the two disk substrates 1 and 2 are in a temporary state where their respective adhesive layers are in contact with each other, and in this state, a press machine (not shown) is loaded with Cera t・L 5 Kg/c.
Pressure bonding is performed at a press pressure of rA.

ところで、本実施例方法においては第1図に示すように
上記可動側ディスク基板2をその内周側のみで吸着支持
しており、その外周側はフリー状態となっており、上記
両ディスク基板1,2が接合された際、寸度の不均一性
や歪を発生する原因となる支持器具により外周部分を一
切支持しないようにしている。
By the way, in the method of this embodiment, as shown in FIG. 1, the movable disk substrate 2 is suction-supported only on its inner circumferential side, and its outer circumferential side is in a free state. , 2 are joined together, the outer periphery is not supported at all by a support device, which can cause dimensional non-uniformity or distortion.

また、可動側ディスク基板2の移動速度を100s/秒
としており、この移動中にこのディスク基板2が空気の
抵抗をうけ微かではあるが外周部が上方へ反ってお椀型
に湾曲するような状態とすることによって上記2つのデ
ィスク基板1,2の接合時において内周部分から外周部
に向かって貼合せが進行するようにしている。これによ
り最外周部分の貼合せ時における均一性が向上する。
In addition, the moving speed of the movable disk substrate 2 is set to 100 s/sec, and during this movement, the disk substrate 2 is subjected to air resistance and, although slightly, the outer periphery of the disk substrate 2 is bent upward into a bowl shape. By doing so, when the two disk substrates 1 and 2 are bonded together, the bonding progresses from the inner circumferential portion toward the outer circumferential portion. This improves the uniformity when bonding the outermost portion.

なお、本発明の光記録媒体の製造方法としては、上述し
た実施例のものに限られるものではなく、その他種々の
変更が可能である。もちろん、基板を支持する部材も図
面に示すものに限られるものではない。また例えば、上
述した実施例においては一方のディスク基板2のみを移
動せしめているが、両方のディスク基板を移動させて近
づけるようにすることも可能である。また、上記外周部
を反らせて貼合せの均一性という効果を得るためには上
記移動速度は50#/秒以上とする必要があり、基板や
装置の強度等を考え合わせると100〜200mm/秒
程度とするのが望ましい。
Note that the method for manufacturing the optical recording medium of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various other modifications are possible. Of course, the members that support the substrate are not limited to those shown in the drawings. Further, for example, in the embodiment described above, only one disk substrate 2 is moved, but it is also possible to move both disk substrates so that they are brought closer to each other. In addition, in order to obtain the effect of uniformity of bonding by warping the outer periphery, the above-mentioned moving speed needs to be 50 mm/sec or more, and considering the strength of the substrate and device, etc., it should be 100 to 200 mm/sec. It is desirable that the

また、前述した光記録媒体の接着剤層の厚さは、接着強
度の観点から160μm以下、好ましくは100μm以
下とする。また、この接着剤層に使用する接着剤として
は、従来より知られている種々の接着剤が使用でき、中
でもホットメルト接着剤。
Further, the thickness of the adhesive layer of the optical recording medium mentioned above is 160 μm or less, preferably 100 μm or less from the viewpoint of adhesive strength. Furthermore, as the adhesive used for this adhesive layer, various conventionally known adhesives can be used, including hot melt adhesives.

紫外線硬化型接着剤、エポキシ系接着剤が望ましく、特
にホットメルト接着剤は量産適性、また人体への毒性と
いう点で問題が少なく望ましい。また、この接着剤の具
体例としては、例えば、東亜合成化学(株)製合成ゴム
系接着剤#XW−13゜LOCTITE社製の紫外線硬
化型接着剤L I −978。
Ultraviolet curing adhesives and epoxy adhesives are preferable, and hot melt adhesives are particularly preferable because they are suitable for mass production and have fewer problems in terms of toxicity to the human body. Further, specific examples of this adhesive include, for example, synthetic rubber adhesive #XW-13 manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd.; and ultraviolet curable adhesive L I-978 manufactured by LOCTITE.

Nagase−CIBA社製紫外線硬化型接着剤X N
 R5490が使用できる。
Nagase-CIBA ultraviolet curing adhesive XN
R5490 can be used.

また、上記光記録媒体のディスク基板1,2の形状およ
び寸法としては、種々の規格によって定められている形
状とすることが可能で、例えば、5.25インチの光磁
気記録媒体の基板としては、厚さり、2mm、外径13
0mm、内径15mに形成される。
Further, the shape and dimensions of the disk substrates 1 and 2 of the optical recording medium can be determined by various standards. For example, as a substrate of a 5.25-inch magneto-optical recording medium, , thickness, 2mm, outer diameter 13
0 mm and an inner diameter of 15 m.

このディスク基板1,2の材質としては、前述したポリ
カーボネートの他、ポリメチルメタクリレート、エポキ
シ樹脂、ガラス等が使用され、中でも、ポリカーボネー
トポリメチルメタクリレート、エポキシ樹脂等のプラス
チックからなる基板が好ましく、特に、ポリカーボネー
トは、吸水率が小さく、ガラス転移点が高いなどの利点
を有しているのでより好ましい。
In addition to the above-mentioned polycarbonate, materials such as polymethyl methacrylate, epoxy resin, and glass are used as materials for the disk substrates 1 and 2. Among these, substrates made of plastics such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, and epoxy resin are preferred, and in particular, Polycarbonate is more preferred since it has advantages such as low water absorption and high glass transition point.

なお、上述した実施例においては両方のディスク基板に
各々記録層を設けているが、どちらか−方のディスク基
板に記録層を設けた場合にももちろん適応可能である。
In the embodiment described above, recording layers are provided on both disk substrates, but it is of course applicable to a case where a recording layer is provided on either one of the disk substrates.

なお、前述したプレス機により加圧接着する際のプレス
圧としては、0,5乃至LOKg/crjとすることが
可能で、望ましくは4乃至7 Kg/ crlである。
Note that the press pressure when bonding under pressure using the above-mentioned press machine can be 0.5 to LOKg/crj, preferably 4 to 7 Kg/crl.

なお、前述した光磁気記録層としては、各種の酸化物お
よび金属の磁性体が使用できる。例えば、Mn Aj!
Ge、Mn Cu Bi等の結晶材料、 GdIG、 
 Bi 5IDEr Ga IG、  Bi Sm Y
b C。
Note that various oxides and metal magnetic materials can be used as the above-mentioned magneto-optical recording layer. For example, Mn Aj!
Crystal materials such as Ge, Mn Cu Bi, GdIG,
Bi 5IDEr Ga IG, Bi Sm Y
bC.

Ge1G等の単結晶材料、さらに遷移金属および希土類
金属を主体とした非晶質の層であり、その形態は単一の
層であっても、また、異なる磁性体の薄膜を交互に2層
以上積層した層であってもよい。中でも遷移金属および
希土類金属を主体とする記録層が特性の上で特に好まし
く、遷移金属としては例えばFe、Co、Ni等を、希
土類金属としてはTb、Gd、Nd、Dy、Sn+等を
使用することができる。上記光磁気記録層の組成の具体
例としては、Gd Co、Gd Fe、Tb Fe。
It is an amorphous layer mainly composed of a single crystal material such as Ge1G, as well as transition metals and rare earth metals, and its form may be a single layer or two or more layers of alternating thin films of different magnetic materials. It may be a laminated layer. Among them, a recording layer mainly composed of transition metals and rare earth metals is particularly preferable from the viewpoint of characteristics; for example, Fe, Co, Ni, etc. are used as the transition metals, and Tb, Gd, Nd, Dy, Sn+, etc. are used as the rare earth metals. be able to. Specific examples of the composition of the magneto-optical recording layer include Gd Co, Gd Fe, and Tb Fe.

Dy Fe、Gd FeTb、Tb Fe Co、Dy
 Fe Co、Tb Fe Ni 、Gd Fe Co
、Nd DyFe Co等が挙げられる。中でも、Tb
 Fe C。
Dy Fe, Gd FeTb, Tb Fe Co, Dy
FeCo, TbFeNi, GdFeCo
, NdDyFeCo, and the like. Among them, Tb
FeC.

が最も好ましく、さらに上記記録層の耐腐食性を向上さ
せるために、Cr、Ta、AJ、PLおよびV等を含有
させることが好ましく、中でもCrが最も効果的であり
、その含有量は、2乃至20at%であり、望ましくは
3乃至t5at%である。なお光磁気記録層はスパッタ
リング法などの真空成膜法によって成膜され、その膜厚
は、200乃至3000人である。また通常、上記光磁
気記録層と基板とノ間ニは、記録層のエンハンス層とし
て誘電体の薄膜が成膜される。そして、光磁気記録層の
上には、この記録層を保護するための無機保護層が成膜
される。上記エンハンス層、および無機保護層の材料と
しては、例えば、St Ox、St Nx。
is most preferable, and in order to further improve the corrosion resistance of the recording layer, it is preferable to contain Cr, Ta, AJ, PL, V, etc. Among them, Cr is the most effective, and its content is 2. The content ranges from 3 to 20 at%, preferably from 3 to 5 at%. Note that the magneto-optical recording layer is formed by a vacuum film-forming method such as a sputtering method, and has a film thickness of 200 to 3,000 layers. Further, usually, a dielectric thin film is formed between the magneto-optical recording layer and the substrate as an enhancement layer of the recording layer. Then, an inorganic protective layer for protecting this recording layer is formed on the magneto-optical recording layer. Examples of the materials for the enhancement layer and the inorganic protective layer include St Ox and St Nx.

AJ!NxおよびZn’S等の酸化物、窒化物および硫
化物などの誘電体が使用される。中でも、光学的特性、
保護機能の面から、Slの窒化物、A」の窒化物もしく
はそれらの混合物が好ましい。また、無機保護層の上に
金属反射層を設けて、さらに、C/Nを改良することも
できる。その金属反射層の材料としては、八1やNi等
を主体とする300乃至600人の厚さの金属の薄膜で
、他の層と同様スパッタリング法で成膜される。上記エ
ンハンス層および保護層の成膜条件には特に制限はない
が、通常それらの膜厚は、エンハンス層は、800乃至
1300人であり、無機物の保護層は、200乃至15
00人である。さらに、光磁気記録層の特性を改良する
ために、前記無機物の保護層上に、金属反射層を300
乃至600人の厚さで成膜することもできる。
AJ! Dielectrics such as oxides, nitrides and sulfides such as Nx and Zn'S are used. Among them, optical properties,
From the viewpoint of protective function, nitride of Sl, nitride of A'' or a mixture thereof is preferable. Furthermore, C/N can be further improved by providing a metal reflective layer on the inorganic protective layer. The material of the metal reflective layer is a thin metal film with a thickness of 300 to 600 mm, mainly made of 81, Ni, etc., and is deposited by the sputtering method like the other layers. Although there are no particular limitations on the film-forming conditions for the enhancement layer and the protective layer, the film thickness is usually 800 to 1,300 for the enhancement layer, and 200 to 1,500 for the inorganic protective layer.
There are 00 people. Furthermore, in order to improve the characteristics of the magneto-optical recording layer, a metal reflective layer of 300% was added on the inorganic protective layer.
It is also possible to form a film with a thickness of 600 to 600.

以上の記録層、エンハンス層、無機保護層、金属反射層
などの薄膜より成る光磁気記録層を形成後、その上面お
よび側面を紫外線硬化樹脂等の有機樹脂保護層で被覆す
ることにより、光磁気記録媒体の保存安定性をさらに高
めることもできる。
After forming a magneto-optical recording layer consisting of thin films such as the above-mentioned recording layer, enhancement layer, inorganic protective layer, and metal reflective layer, the top and side surfaces of the layer are coated with an organic resin protective layer such as an ultraviolet curing resin. It is also possible to further improve the storage stability of the recording medium.

光記録媒体が、追記型(WO型)である場合、その記録
層としては、Te、Te C,Te Se。
When the optical recording medium is a write-once type (WO type), the recording layer thereof is Te, Te C, Te Se.

TeC3z、Te5ePb、Te−TeO2,Sb S
e、Te Se As 、Te Ge等の金属薄膜やシ
アニン、メロシアニン、フタロシアニン、メチン系色素
またはその誘導体さらにベンゼンチオールニッケル錯体
、テトラヒドロコリン錯体などの色素薄膜も使用し得る
。そして記録性能の向上のため金属薄膜、誘電体、有機
物などの下引き層や耐腐食性向上のため5i02等の誘
電体膜を用いてオーバーコート層を形成したり、記録層
を挾んでサンドウィッチ構造とすることができる。記録
層の厚さは、通常500乃至1200人とする。
TeC3z, Te5ePb, Te-TeO2, SbS
Metal thin films such as e, Te Se As , Te Ge, etc., cyanine, merocyanine, phthalocyanine, methine dyes or their derivatives, and dye thin films such as benzenethiol nickel complexes and tetrahydrocholine complexes may also be used. Then, to improve recording performance, an overcoat layer is formed using a subbing layer such as a thin metal film, a dielectric material, or an organic material, and a dielectric film such as 5i02 to improve corrosion resistance, or a sandwich structure is formed by sandwiching the recording layer. It can be done. The thickness of the recording layer is usually 500 to 1200.

光記録媒体が再生専用型(ROM型ンである場合、その
記録層は、通常反射率の大きい金属薄膜であり、Au2
.Au、Pt、Ta、Cr、Ni。
When the optical recording medium is a read-only type (ROM type), its recording layer is usually a thin metal film with a high reflectance, and is made of Au2.
.. Au, Pt, Ta, Cr, Ni.

T1等の単体または合金が使用され、中でも特にコスト
が低く反射率が比較的良好であるA1もしくはAf!合
金が望ましい。記録層の膜厚は500乃至1500人と
する。
A single substance or alloy such as T1 is used, and among them, A1 or Af!, which is particularly low in cost and has a relatively good reflectance, is used. Alloys are preferred. The thickness of the recording layer is 500 to 1500 layers.

] 6 次に、本発明方法をより具体的に説明するため、下記に
示す条件で実施例a、b、cおよび比較例を実施し、各
々光磁気ディスクのサンプルを作成し、その後各サンプ
ルについて面振れ加速度を測定した。下表にその測定結
果を示す。
] 6 Next, in order to explain the method of the present invention more specifically, Examples a, b, c and a comparative example were carried out under the conditions shown below, samples of magneto-optical disks were prepared for each, and then, for each sample, The surface runout acceleration was measured. The measurement results are shown in the table below.

実施例−a 射出成形により案内溝を形成されたφL30mmのポリ
カーボネート基板を用い、このポリカーボネート基板を
マグネトロンスパッタ装置のスパッタ室内に配設された
回転基板ホルダー上にセットした。
Example-a A polycarbonate substrate having a diameter of 30 mm and having a guide groove formed therein by injection molding was used, and this polycarbonate substrate was set on a rotating substrate holder disposed in a sputtering chamber of a magnetron sputtering device.

ついで、スパッタ室にアルゴンガスを導入して、ガス圧
を1 mTorrとした。
Then, argon gas was introduced into the sputtering chamber, and the gas pressure was set to 1 mTorr.

そして、マグネトロンスパッタ法によりまずエンハンス
層として、1.100人の厚さのSiNxの薄膜を成膜
した。
Then, a thin film of SiNx with a thickness of 1.100 nm was first formed as an enhancement layer by magnetron sputtering.

ついで、Fe Co Cr合金のターゲットおよびTb
のターゲットに電力を供給して、二元同時スパッタによ
り、前記エンハンス層上にTb、5F(468CO8C
r sからなる記録層を240人の厚さに成膜した。
Next, a Fe Co Cr alloy target and Tb
Tb, 5F (468CO8C
A recording layer consisting of rs was deposited to a thickness of 240 mm.

しかる後、前記記録層の上に無機保護層として、SiN
xの薄膜を250人の厚さで成膜した。
After that, an inorganic protective layer of SiN is formed on the recording layer.
A thin film of x was formed to a thickness of 250.

さらにその上に金属反射層として、A、R−Ta(Ta
5at%)の薄膜を600人の膜厚で成膜して、前記基
板上にエンハンス層、記録層、無機保護層および金属反
射層よりなる4層構成の光磁気記録層を形成した。
Furthermore, A, R-Ta (Ta
A magneto-optical recording layer having a four-layer structure consisting of an enhancement layer, a recording layer, an inorganic protective layer and a metal reflective layer was formed on the substrate by forming a thin film of 5 at %) to a thickness of 600 layers.

しかる後、上記光磁気記録層の上に大日本インキ(株)
製紫外線硬化樹脂#5D−17をスピンコード法で30
00rpn+の条件で5μmの厚さに塗布し、高圧水銀
灯を用いて基板上100 mW/c#ix 1分間の条
件で紫外線を照射して硬化せしめ、有機樹脂保護層を設
けた。
After that, Dainippon Ink Co., Ltd. was applied on the magneto-optical recording layer.
UV curing resin #5D-17 was coated with 30% by spin code method.
It was coated to a thickness of 5 μm under the conditions of 00 rpm+, and cured by irradiating ultraviolet rays on the substrate using a high-pressure mercury lamp under the conditions of 100 mW/c#ix for 1 minute to form an organic resin protective layer.

同様の条件で、同一の形状の基板の片面に前記光磁気記
録層を設けた媒体をもう1枚作成して、前記基板各々を
光磁気記録層のない面を外側に向け、前記有機樹脂保護
層上に東亜合成化学(株)製ホットメルト接着剤#XW
−13を150℃で溶融しロールコータを用いて50μ
mの厚さに塗布した。
Under similar conditions, another medium was prepared in which the magneto-optical recording layer was provided on one side of a substrate of the same shape, and each of the substrates was placed with the side without the magneto-optical recording layer facing outward, and the organic resin was protected. Hot melt adhesive #XW manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd. on the layer
Melt -13 at 150℃ and use a roll coater to coat 50μ
It was applied to a thickness of m.

これらを加圧接着する前に仮止め接合する接合ジグとし
て第1図に示すジグを用いた。すなわちまず、接着剤を
塗布された1枚のディスク基板1をディスク基板載設台
3上に置き、もう1枚の接着剤を塗布されたディスク基
板2はエアシリンダ4の先端に真空吸着せしめる。この
エアシリンダ4を50mm/secの速度で下降させデ
ィスク基板1と接合し仮止めした。
A jig shown in FIG. 1 was used as a bonding jig for temporarily bonding these pieces together before pressure bonding them. That is, first, one disk substrate 1 coated with adhesive is placed on the disk substrate mounting table 3, and the other disk substrate 2 coated with adhesive is vacuum-adsorbed to the tip of the air cylinder 4. This air cylinder 4 was lowered at a speed of 50 mm/sec and joined to the disk substrate 1 for temporary fixing.

その後、プレス機に於いて5 Kg / cr/rのプ
レス圧で加圧接着する。この様にして得られた光磁気デ
ィスクサンプルの面振れ加速度を、小野側根製LM−1
00により測定した。ディスク回転数を180゜rpm
に設定し、ディスク中心からBOmmの位置において測
定した。
Thereafter, they are bonded under pressure using a press machine with a press pressure of 5 kg/cr/r. The surface runout acceleration of the magneto-optical disk sample obtained in this way was measured using a LM-1 manufactured by Ono Gane.
Measured by 00. Disc rotation speed to 180°rpm
The measurement was performed at a position BOmm from the center of the disc.

実施例−す 仮止め接合の際の可動側の移動速度を100m/sec
とした他は、実施例−aと全く同一の条件で両面記録型
の光磁気ディスクを作成した。この後このサンプルにつ
いて実施例−aのものと同様の測定を行なった。
Example - The moving speed of the movable side during temporary bonding is 100 m/sec
A double-sided recording type magneto-optical disk was prepared under the same conditions as in Example-a except for the following conditions. Thereafter, the same measurements as in Example-a were performed on this sample.

実施例−〇 仮止め接合の際の可動側の移動速度を40m/seCと
した他は、実施例−aと全く同一の条件で両面記録型の
光磁気ディスクを作成した。この後このサンプルについ
て実施例−aのものと同様の測定を行なった。
Example-0 A double-sided recording type magneto-optical disk was prepared under the same conditions as Example-a, except that the moving speed on the movable side during temporary bonding was 40 m/sec. Thereafter, the same measurements as in Example-a were performed on this sample.

比較例 仮止め接合時に用いるジグとして、内周部のみならず外
周部も真空吸着できるエアシリンダを用い、その他は実
施例−aと全く同一の条件で両面記録型の光磁気ディス
クを作成した。この後このサンプルについて実施例−a
のものと同様の測定を行なった。
Comparative Example A double-sided recording type magneto-optical disk was prepared under the same conditions as in Example-a except that an air cylinder capable of vacuum suction not only on the inner circumference but also on the outer circumference was used as the jig used for temporary bonding. After this, Example-a for this sample
Measurements similar to those were performed.

(表) (発明の効果) 上述したように、本願発明の第1の光記録媒体の製造方
法によれば、2枚のディスク基板を貼り合わせる際に少
なくとも一方のディスク基板をその内周部のみ支持して
両ディスク基板を接合するようにしており、外周部分に
おいては基板支持部材による片あたりや歪が生じないよ
うにした状態で貼合せを行なうようにしているから、貼
合せ後における外周部分のディスク反り量を小さくして
、光記録媒体の最大面振れ加速度を減少させることがで
き、これにより回転速度の増大、転送レートの高速化を
図ることができる。
(Table) (Effects of the Invention) As described above, according to the first method of manufacturing an optical recording medium of the present invention, when bonding two disk substrates together, at least one disk substrate is bonded only to its inner peripheral portion. Both disk substrates are bonded together by supporting them, and the bonding is performed in such a way that there is no uneven contact or distortion caused by the substrate support member at the outer periphery, so the outer periphery after bonding is By reducing the amount of disk warpage, it is possible to reduce the maximum surface runout acceleration of the optical recording medium, thereby increasing the rotation speed and transfer rate.

また、本願発明の第2の光記録媒体の製造方法によれば
、移動するディスク基板の移動速度を50#/秒以上と
し、ディスク基板の外周部を反らせて両ディスク基板の
接合時にその接合が内周側から外周側に向かって進行す
るようにしているから、両ディスク基板の外周部分同士
の接合均一性は増加し、これにより光記録媒体の最大面
振れ加速度をさらに減少させることができ、回転速度を
大幅に増大させ、転送レートの高速化の大幅向上を図る
ことが可能となる。
Further, according to the second method of manufacturing an optical recording medium of the present invention, the moving speed of the moving disk substrate is set to 50 #/sec or more, and the outer peripheral portion of the disk substrate is warped to prevent the bonding when bonding the two disk substrates. Since the bonding progresses from the inner circumferential side to the outer circumferential side, the bonding uniformity between the outer circumferential portions of both disk substrates increases, thereby further reducing the maximum surface runout acceleration of the optical recording medium. It becomes possible to significantly increase the rotation speed and significantly increase the transfer rate.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は本発明の実施例に係る光記録媒体
の製造方法を説明するための概略断面図であり、そのう
ち第1図は初期設定時を、第2図はディスク基板接合時
を示す図である。
1 and 2 are schematic cross-sectional views for explaining the method of manufacturing an optical recording medium according to an embodiment of the present invention, of which FIG. 1 shows the initial setting, and FIG. 2 shows the process of bonding the disk substrates. FIG.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)片側に記録層を形成された透明な第1のディスク
基板と、この第1のディスク基板と略同一形状の第2の
ディスク基板とを前記記録層を内側にして対向させると
ともに、これら2つのディスク基板のうち少なくとも一
方の、他方と対向する側に接着剤を塗布し、この後、前
記2つのディスク基板のうち一方をその内周部分のみを
支持しつつ他方に接近させるよう移動せしめ、 これにより前記2つのディスク基板を互いに接触させて
仮止めした後に加圧してこれら2つのディスク基板を貼
り合わせることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
(1) A transparent first disk substrate having a recording layer formed on one side and a second disk substrate having substantially the same shape as the first disk substrate are placed facing each other with the recording layer inside, and Adhesive is applied to the side of at least one of the two disk substrates facing the other, and then one of the two disk substrates is moved to approach the other while supporting only its inner peripheral portion. . A method of manufacturing an optical recording medium, characterized in that the two disk substrates are brought into contact with each other and temporarily fixed, and then the two disk substrates are bonded together by applying pressure.
(2)前記移動するディスク基板の移動の速度を50m
m/秒以上とすることを特徴とする請求項1記載の光記
録媒体の製造方法。
(2) The speed of movement of the moving disk substrate is 50 m.
2. The method for manufacturing an optical recording medium according to claim 1, wherein the speed is at least m/sec.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0793224A1 (en) * 1996-02-27 1997-09-03 Origin Electric Co. Ltd. Disk bonding system
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EP1561576A3 (en) * 2004-02-03 2005-10-26 Ricoh Company Correcting ridge, apparatus and method for laminating and laminated recording medium

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