JPH0438049U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す断面図、第
２図は本考案の別の実施例を示す部分断面平面図
、第３図は第２図の要部の拡大斜視図である。 図中、１，２１……真空チヤンバー、２，３…
…駆動装置の取付け用開口部、４，５……真空フ
ランジ、６，７……軸受部材、８……ボールネジ
、９……カツプリング、１０……モータ、１１…
…ナツト部材、１２……糸巻き型の枠体、１３…
…ヨーク部材、１４……駆動側円筒状磁石、１５
……密封円筒状覆体、１６……従動側円筒状磁石
、１７……枠体、１８……ヨーク部材、１９，２
０……ガイド部材、２２……駆動装置本体、２３
……従動側円筒状磁石組立体、２４……スライド
ブロツク、２５……スライドガイド、２６……ワ
ーク支持台、２７……ワーク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空チヤンバーの外に設けた駆動源から真空チ
   ヤンバー内へのびるネジ部材を介して真空チヤン
   バー内部へ駆動力を導入する真空内駆動装置にお
   いて、ネジ部材に装着されたナツト部材に駆動側
   筒状磁石を取付け、真空チヤンバー内にのびるネ
   ジ部材の部分、ナツト部材及び駆動側筒状磁石を
   密封筒状覆体で覆い、この密封筒状覆体の外側に
   駆動側筒状磁石と共動する従動側筒状磁石を設け
   、そしてこの従動筒状磁石に被駆動体を取り付け
   るようにしたことを特徴とする真空内駆動装置。