JPH04372703A - Magnetic disk device - Google Patents

Magnetic disk device

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Publication number
JPH04372703A
JPH04372703A JP15001791A JP15001791A JPH04372703A JP H04372703 A JPH04372703 A JP H04372703A JP 15001791 A JP15001791 A JP 15001791A JP 15001791 A JP15001791 A JP 15001791A JP H04372703 A JPH04372703 A JP H04372703A
Authority
JP
Japan
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head
magnetic
magnetic disk
carbon
disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP15001791A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kataoka
浩 片岡
Yoshihiko Miyake
三宅 芳彦
Toshinori Kazama
風間 利紀
Kazuhisa Murakami
和久 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH04372703A publication Critical patent/JPH04372703A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve the reliability of the operation of the magnetic disk device by suppressing the generation of worn powder, etc., in a head disk assembly. CONSTITUTION:Carbon protective films 15 consisting of an amorphous carbon, etc., are deposited and formed on floating rails 12 (floating surfaces) which are projectingly provided on a slider 11 constituting a magnetic head and faces a magnetic disk. Since the worn powder generated at the time of the contact between the head and the disk is the carbon, the powder is instantaneously burned by the friction heat in the contact section and is annihilated in the form of carbon dioxide.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体と磁気ヘ
ッドとからなる磁気ディスク装置に適用して有効な技術
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique that is effective when applied to a magnetic disk drive comprising a magnetic recording medium and a magnetic head.

【0002】0002

【従来の技術】磁気ディスク装置の信頼性を確保する上
での重要な課題は、ヘッド・クラッシュなどに起因する
磁気記録媒体(磁気ディスク)の劣化を防止し、情報の
記録および再生機能を長期にわたって円滑に維持するこ
とにある。ヘッド・クラッシュは、磁気ディスクと磁気
ヘッドとの間で、長期にわたって接触が繰り返されるこ
とにより発生する。
[Background Art] An important issue in ensuring the reliability of magnetic disk devices is to prevent deterioration of the magnetic recording medium (magnetic disk) caused by head crashes, etc., and to maintain information recording and reproducing functions over a long period of time. The objective is to maintain the system smoothly throughout the period. Head crashes occur due to repeated contact between a magnetic disk and a magnetic head over a long period of time.

【0003】磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触誘発要
因は、ヘッド・ディスク・アセンブリ(HDA)内に浮
遊する硬質および軟質塵埃が支配的である。この2種類
の塵埃がヘッド浮上中にヘッド/ディスク間隙に侵入し
てヘッド浮上安定性を損ない、ヘッドとディスクとの間
で直接接触が発生する。この時、ヘッド浮上面およびデ
ィスク表面が摩耗し、前述の2種類の摩耗粉が浮上面に
移着し、正常な空気の流れを乱すことによりヘッド浮上
量が低下し、ヘッドとディスクとの直接接触の頻度が高
まり、ヘッド浮上面における摩耗粉の付着量増大ととも
に媒体の劣化(ヘッド・クラッシュ)へと進行する。従
って、ヘッド・クラッシュを未然に防止するためには、
ヘッド浮上面およびディスク表面に付着する摩耗粉を発
生させないことが重要である。また、ディスク側の摩耗
を抑止して、当該ディスクに格納されている情報の信頼
性を確保するためには、ヘッドを構成する材料の硬度を
ディスク表面の硬度よりも低くすることが必要である。
The main cause of contact between the magnetic disk and the magnetic head is hard and soft dust floating in the head disk assembly (HDA). These two types of dust enter the head/disk gap while the head is flying, impairing the stability of the head flying, and causing direct contact between the head and the disk. At this time, the head flying surface and the disk surface wear out, and the two types of wear particles mentioned above are transferred to the flying surface, which disturbs the normal air flow and reduces the head flying height, causing direct contact between the head and the disk. The frequency of contact increases, and the amount of abrasion powder adhering to the head air bearing surface increases, leading to media deterioration (head crash). Therefore, in order to prevent head crashes,
It is important not to generate wear particles that adhere to the head flying surface and the disk surface. Additionally, in order to prevent wear on the disk side and ensure the reliability of the information stored on the disk, it is necessary to make the hardness of the material that makes up the head lower than the hardness of the disk surface. .

【0004】磁気ヘッド材料は磁性フェライト(MnZ
n材)およびアルミナ(Al2 O3 )と炭化チタン
(TiC)粒子を含む複合材セラミックス(ZrO2 
材)が通常使用される。一方、磁気ヘッドと組み合わさ
れる磁気ディスクには、大別して2種類ある。その一つ
は、従来の磁性粉とバインダーおよび補強材(フィラー
)を混練した磁性材料を基板に塗布した塗布型媒体であ
り、他の一つは、磁性薄膜を用いた薄膜磁気記録媒体で
ある。
The magnetic head material is magnetic ferrite (MnZ
n material) and composite ceramics (ZrO2) containing alumina (Al2O3) and titanium carbide (TiC) particles
materials) are usually used. On the other hand, there are roughly two types of magnetic disks that are combined with magnetic heads. One is a coating-type medium in which a magnetic material made by mixing conventional magnetic powder, binder, and reinforcing material (filler) is coated on a substrate, and the other is a thin-film magnetic recording medium in which a magnetic thin film is used. .

【0005】薄膜磁気記録媒体は、高記録密度用媒体と
して近年注目されているものであり、その構成はたとえ
ば以下のようなものである。基板は、アルミニウム合金
円板と、その上に形成された硬質な下地層とからなる。 基板の上には密着性の向上や磁性層の特性向上を目的と
して中間層が形成される。中間層の上には、磁性層が形
成される。磁性層の上には、保護層(一般にはカーボン
層)および潤滑層が形成されて、実際の使用に供される
Thin film magnetic recording media have recently attracted attention as high recording density media, and their configurations are as follows, for example. The substrate consists of an aluminum alloy disk and a hard base layer formed thereon. An intermediate layer is formed on the substrate for the purpose of improving adhesion and improving the characteristics of the magnetic layer. A magnetic layer is formed on the intermediate layer. A protective layer (generally a carbon layer) and a lubricating layer are formed on the magnetic layer before actual use.

【0006】磁気ヘッドと磁気ディスクの界面での接触
を考えると、塗布型媒体では、主としてヘッド材とフィ
ラーとが接触することとなる。この時、ヘッド材および
フィラーの双方が摩耗するが、摩耗の度合はヘッド材と
フィラーの相対硬度に依存する。そして、このヘッド材
およびフィラーの摩耗粉がヘッド浮上中に浮上面に付着
することとなる。
[0006] Considering the contact at the interface between the magnetic head and the magnetic disk, in coated media, the head material and filler mainly come into contact. At this time, both the head material and the filler are worn, and the degree of wear depends on the relative hardness of the head material and the filler. Then, the abrasion powder of the head material and filler adheres to the air bearing surface while the head is flying.

【0007】一方、薄膜磁気記録媒体では、ヘッド材と
媒体保護膜の双方が摩耗し、摩耗の度合はヘッド材と保
護膜材の相対硬度に依存することが知られている。
On the other hand, it is known that in thin film magnetic recording media, both the head material and the medium protective film are worn out, and the degree of wear depends on the relative hardness of the head material and the protective film material.

【0008】なお、磁気ヘッドの浮上面の摩耗を防止す
る技術としては、たとえば、特開平1−285015公
報に開示される技術が知られている。この技術では、ヘ
ッドにおける浮上レールの浮上力発生面に露出する炭化
チタン粒子部分を二酸化珪素(SiO2 )で覆い、さ
らに水酸基を有するフッ素系の潤滑剤をその浮上面に強
固に付着させることにより、磁気ディスクに対する摺動
および浮上状態を安定に維持可能にしようとするもので
ある。
[0008] As a technique for preventing wear of the air bearing surface of a magnetic head, for example, a technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-285015 is known. In this technology, the part of the titanium carbide particles exposed on the levitation force generating surface of the levitation rail in the head is covered with silicon dioxide (SiO2), and a fluorine-based lubricant containing hydroxyl groups is firmly attached to the levitation surface. The purpose is to make it possible to stably maintain the sliding and floating state with respect to the magnetic disk.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術は、ヘ
ッドとディスク間での接触による発熱およびヘッド浮上
力を発生させる空気流により潤滑剤が飛散した後の、二
酸化珪素保護層の摩耗に関しては考慮されておらず、こ
の二酸化珪素保護層の摩耗によって発生する異物が浮上
面に再付着する懸念があり、前述のようなヘッド・クラ
ッシュの要因となりうるという問題がある。一方、媒体
の摩耗を抑止して、記録される情報の信頼性を確保する
ためには、ヘッド材の硬度を媒体表面の硬度よりも相対
的に低く設定することが必要であるが、このことはヘッ
ド側の摩耗の促進による摩耗粉の増大の要因となり、発
生した摩耗粉のヘッドやディスクへの再付着防止の対策
が必要である。
[Problems to be Solved by the Invention] The above-mentioned prior art has problems with wear of the silicon dioxide protective layer after the lubricant is scattered by the air flow that generates heat generated by contact between the head and the disk and the head flying force. This is not taken into consideration, and there is a concern that foreign matter generated by the wear of the silicon dioxide protective layer may re-adhere to the air bearing surface, which may cause the aforementioned head crash. On the other hand, in order to suppress media wear and ensure the reliability of recorded information, it is necessary to set the hardness of the head material to be relatively lower than the hardness of the media surface. This causes an increase in abrasion powder due to accelerated wear on the head side, and it is necessary to take measures to prevent the generated abrasion powder from re-adhering to the head or disk.

【0010】したがって、本発明の目的は、ヘッド・デ
ィスク・アセンブリにおける摩耗粉などの発生を抑止し
て、動作の信頼性を向上させた磁気ディスク装置を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic disk drive in which the occurrence of abrasion particles and the like in a head disk assembly is suppressed and the reliability of operation is improved.

【0011】本発明の上記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0012】0012

【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
[Means for Solving the Problems] Among the inventions disclosed in this application, a brief overview of typical inventions will be as follows:
It is as follows.

【0013】すなわち、本発明の磁気ディスク装置は、
密閉構造型のヘッド・ディスク・アセンブリを有する磁
気ディスク装置において、ヘッド・ディスク・アセンブ
リを構成する磁気ヘッドの磁気ディスクに対向する浮上
面に、たとえば、アモルファスカーボンなどからなるカ
ーボン保護膜を形成したものである。
That is, the magnetic disk device of the present invention has the following features:
In a magnetic disk device having a head disk assembly of a closed structure type, a carbon protective film made of, for example, amorphous carbon is formed on the air bearing surface of the magnetic head that constitutes the head disk assembly, which faces the magnetic disk. It is.

【0014】[0014]

【作用】上記した本発明の磁気ディスク装置によれば、
磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触時に磁気ヘッドから
発生する摩耗粉は、カーボン保護膜の一部が剥離したカ
ーボンからなるため、接触部位において発生する摩擦熱
によって当該摩耗粉が瞬時に燃焼し、炭酸ガスとなって
消失するので、摩耗粉のヘッド浮上面や磁気ディスク表
面に対する再付着に起因するヘッド・クラッシュなどの
障害の発生が確実に防止され、磁気ディスク装置の動作
の信頼性が向上する。
[Operation] According to the magnetic disk device of the present invention described above,
The wear particles generated from the magnetic head when the magnetic head contacts the magnetic disk are composed of carbon with part of the carbon protective film peeled off, so the wear particles are instantly burned by the frictional heat generated at the contact area, and carbon dioxide is generated. Since it disappears as a gas, troubles such as head crashes caused by re-adhesion of worn particles to the head flying surface or the magnetic disk surface are reliably prevented, and the reliability of the operation of the magnetic disk device is improved.

【0015】また、磁気ディスクの硬度を磁気ヘッドよ
りも相対的に大きく設定して、磁気ディスク側の摩耗を
防止する場合、磁気ヘッド側のカーボン保護膜の摩耗は
相対的に大きくなるが、当該カーボン保護膜から発生す
る摩耗粉は、燃焼して消失するので、当該設定における
摩耗粉の低減がより効果的となる。
In addition, when the hardness of the magnetic disk is set relatively larger than that of the magnetic head to prevent wear on the magnetic disk side, the wear of the carbon protective film on the magnetic head side becomes relatively large. Since the wear powder generated from the carbon protective film burns and disappears, the reduction of the wear powder in this setting becomes more effective.

【0016】さらに、たとえば磁気ディスクが表面にカ
ーボン層からなる保護膜を有する薄膜磁気記録媒体の場
合には、磁気ヘッドおよび磁気ディスクの双方から発生
する摩耗粉がともにカーボンとなり、摩耗粉の低減に好
都合となる。
Furthermore, for example, in the case of a thin film magnetic recording medium in which the magnetic disk has a protective film made of a carbon layer on its surface, the abrasion particles generated from both the magnetic head and the magnetic disk turn into carbon, and it is possible to reduce the abrasion particles. It becomes convenient.

【0017】本発明者らは、ZrO2 系のセラミック
スを用い、浮上面にアモルファスカーボンからなるカー
ボン保護膜を形成した磁気ヘッドと、表面にカーボン保
護膜を有する薄膜磁気記録媒体からなる磁気ディスクと
の組み合わせによる、本発明の原理確認実験を以下の通
り実施した。
The present inventors have developed a magnetic head that uses ZrO2-based ceramics and has a carbon protective film made of amorphous carbon formed on its air bearing surface, and a magnetic disk that is made of a thin-film magnetic recording medium that has a carbon protective film on its surface. Experiments to confirm the principle of the present invention were conducted using combinations as follows.

【0018】ヘッド浮上量0.03μmで、ディスク面
の同一半径位置、ディスク周速度30m/s、の条件下
でヘッド/ディスク浮上接触実験を行ったところ、ディ
スク総回転数15000回において磁気ディスク表面が
10〜20μm摩耗した。しかし、磁気ディスク表面に
は摩耗粉が付着せず、かつヘッド浮上面の付着物からは
カーボンは検出されなかった。
A head/disk floating contact experiment was conducted under the conditions of a head flying height of 0.03 μm, the same radial position on the disk surface, and a disk circumferential speed of 30 m/s. was worn down by 10 to 20 μm. However, no abrasion powder adhered to the surface of the magnetic disk, and no carbon was detected from the deposits on the air bearing surface of the head.

【0019】これに対して、酸素を遮断した窒素ガス雰
囲気下で同様の浮上接触実験を行った場合には、磁気デ
ィスク表面および磁気ヘッド浮上面の双方に摩耗粉の付
着が認められた。
On the other hand, when a similar floating contact experiment was conducted in a nitrogen gas atmosphere with oxygen cut off, abrasion powder was observed to adhere to both the magnetic disk surface and the magnetic head air bearing surface.

【0020】すなわち、浮上面にカーボン保護膜が形成
された磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によって発生す
るカーボン粉はヘッドとディスクの接触時の摩擦熱によ
って燃焼し、炭酸ガスとなって消失することが確認され
た。
In other words, carbon powder generated by contact between a magnetic head and a magnetic disk, on which a carbon protective film is formed on the air bearing surface, is burned by the frictional heat generated during contact between the head and the disk, and disappears as carbon dioxide gas. confirmed.

【0021】窒素ガス雰囲気下でのヘッド/ディスク浮
上接触実験後のカーボン保護膜表面のラマン分析では、
ヘッド側のZrO2 系のセラミックスと、ディスク側
のカーボン保護膜との接触温度は400℃であり、また
、同ヘッドと塗布型媒体のフィラーとの接触温度は、T
iC粒子のTiO2 への変色を分析することにより、
推定500〜600℃であることが判明した。いずれの
場合でもカーボンが燃焼するのに充分な温度である。
[0021] Raman analysis of the carbon protective film surface after a head/disk floating contact experiment in a nitrogen gas atmosphere revealed that
The contact temperature between the ZrO2 ceramics on the head side and the carbon protective film on the disk side is 400°C, and the contact temperature between the head and the filler of the coating type medium is T.
By analyzing the color change of iC particles to TiO2,
The estimated temperature was found to be 500-600°C. In either case, the temperature is sufficient to burn the carbon.

【0022】[0022]

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の一実施例
である磁気ディスク装置について詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic disk drive which is an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0023】図1は、本発明の一実施例である磁気ディ
スク装置を構成するヘッド・ディスク・アセンブリに含
まれる磁気ヘッドを取り出して示す拡大斜視図である。
FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a magnetic head included in a head disk assembly constituting a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【0024】本実施例の磁気ヘッド10は、図示しない
磁気ディスクに対する対向面に複数の浮上レール12(
浮上面)が突設され、たとえばZrO2 系フェライト
材からなるスライダ11と、このスライダ11の一部に
固定される記録/再生(R/W)素子13とで構成され
ている。
The magnetic head 10 of this embodiment has a plurality of floating rails 12 (
The slider 11 is made of, for example, a ZrO2-based ferrite material, and a recording/reproducing (R/W) element 13 is fixed to a part of the slider 11.

【0025】個々の浮上レール12は、図示しない磁気
ディスクの回転によって生じる空気流が到来する側の端
部に設けられた流入端テーパ部12aと、フラット部1
2bの2面で構成され、記録/再生素子13は、流入端
テーパ部12aの反対側のフラット部12bの後端部に
配置されている。また、記録/再生素子13は、たとえ
ばアルミナ(AlO3 )などからなる保護膜14によ
って覆われている。
Each floating rail 12 has an inflow end tapered part 12a provided at the end on the side where an airflow generated by the rotation of a magnetic disk (not shown) arrives, and a flat part 1.
The recording/reproducing element 13 is arranged at the rear end of the flat part 12b on the opposite side of the inflow end tapered part 12a. Further, the recording/reproducing element 13 is covered with a protective film 14 made of, for example, alumina (AlO3).

【0026】この場合、スライダ11の、浮上レール1
2が突設された領域には、前述の各構成部材の形成後に
、たとえば、スパッタリングにより形成されるアモルフ
ァスカーボンからなるカーボン保護膜15が被着形成さ
れている。このカーボン保護膜15は、膜厚が、たとえ
ば5〜50nmの範囲に設定されている。
In this case, the floating rail 1 of the slider 11
A carbon protective film 15 made of amorphous carbon formed by sputtering, for example, is formed on the area where the carbon protective film 2 protrudes after the formation of each of the above-mentioned constituent members. The thickness of this carbon protective film 15 is set, for example, in a range of 5 to 50 nm.

【0027】なお、磁気ヘッドとしては、前述のような
形状の他に図2および図3に例示した形状のものでもよ
い。
The magnetic head may have the shape shown in FIGS. 2 and 3 in addition to the shape described above.

【0028】すなわち、図2は、他の磁気ヘッド10A
を示す斜視図であり、図3はその側面図である。
That is, FIG. 2 shows another magnetic head 10A.
FIG. 3 is a perspective view showing the same, and FIG. 3 is a side view thereof.

【0029】この図2の磁気ヘッド10Aの場合には、
スライダ11aが、たとえばMnZnなどの磁性フェラ
イト材からなり、浮上レール12の間には、センターレ
ール(浮上面)16を配した構造となっている。またセ
ンターレール16の後端部には、スライダ11aに一端
がギャップ17cをなして固定されたコア17aと、こ
のコア17aに巻回された巻線17bからなる記録/再
生素子17が配置されている。
In the case of the magnetic head 10A of FIG. 2,
The slider 11a is made of a magnetic ferrite material such as MnZn, and has a structure in which a center rail (air bearing surface) 16 is arranged between the floating rails 12. Further, at the rear end of the center rail 16, a recording/reproducing element 17 is arranged, which consists of a core 17a fixed to the slider 11a with one end forming a gap 17c, and a winding 17b wound around the core 17a. There is.

【0030】また、浮上レール12およびセンターレー
ル16の表面には、カーボン保護膜15が形成されてい
る。
Furthermore, a carbon protective film 15 is formed on the surfaces of the floating rail 12 and the center rail 16.

【0031】一方、上述のような磁気ヘッド10または
10Aと組み合わせて使用される磁気ディスク20の構
成の一例を図4に例示する。
On the other hand, FIG. 4 shows an example of the configuration of a magnetic disk 20 used in combination with the magnetic head 10 or 10A as described above.

【0032】基板21は、アルミニウム合金よりなり、
その上に下地層22としてNi−P下地膜が形成されて
いる。下地層22の上には中間層23として、Cr膜が
形成されている。さらに中間層23の上には、磁性層2
4としてCo−Ni−Zrあるいは、Co−Cr−Ta
磁性膜が形成されている。磁性層24の上には、保護層
25として、たとえばi−カーボンの保護膜が形成され
、その上に、潤滑層26が形成される。
[0032] The substrate 21 is made of an aluminum alloy,
A Ni--P base film is formed thereon as a base layer 22. A Cr film is formed as an intermediate layer 23 on the base layer 22 . Further, on the intermediate layer 23, a magnetic layer 2
4 as Co-Ni-Zr or Co-Cr-Ta
A magnetic film is formed. A protective layer 25 of, for example, i-carbon is formed on the magnetic layer 24, and a lubricating layer 26 is formed thereon.

【0033】このi−カーボンは、たとえばスパッタリ
ングなどにおいて、形成条件を適当に制御することによ
って得られるダイヤモンド状炭素薄膜であり、磁気ヘッ
ド10や10Aのカーボン保護膜15を構成するアモル
ファスカーボンよりも硬度がはるかに大きいものである
This i-carbon is a diamond-like carbon thin film obtained by appropriately controlling the formation conditions, for example, by sputtering, and has a harder hardness than the amorphous carbon that constitutes the carbon protective film 15 of the magnetic head 10 and 10A. is much larger.

【0034】図5は、磁気ヘッド10および10Aに形
成されたカーボン保護膜15を構成するアモルファスカ
ーボンと、磁気ディスク20の保護層25を構成するi
−カーボンの、熱処理温度における蛍光X線強度比を示
した線図である。
FIG. 5 shows amorphous carbon forming the carbon protective film 15 formed on the magnetic heads 10 and 10A, and i
- It is a diagram showing the fluorescent X-ray intensity ratio of carbon at heat treatment temperature.

【0035】磁気ヘッド10,10A側のカーボン保護
膜15を構成するアモルファスカーボンは、200℃以
上で蛍光X線強度比が低下し、当該温度以上において燃
焼することを示しているのに対して、磁気ディスク20
側の保護層25を構成するi−カーボンは、300℃以
上で燃焼することが知られる。すなわち、i−カーボン
は、アモルファスカーボンに比較して燃焼しにくく、ま
た、前述のように硬度も大きい。従って、磁気ヘッド1
0,10Aと、磁気ディスク20が接触する場合、磁気
ディスク20側の摩耗や損傷は軽微なものとなる。
The amorphous carbon constituting the carbon protective film 15 on the side of the magnetic heads 10 and 10A shows that the fluorescent X-ray intensity ratio decreases at temperatures above 200° C., indicating that it burns at temperatures above that temperature. magnetic disk 20
It is known that i-carbon forming the side protective layer 25 burns at 300°C or higher. That is, i-carbon is less combustible than amorphous carbon, and also has greater hardness as described above. Therefore, magnetic head 1
When the magnetic disk 20 comes into contact with the magnetic disk 20, the wear and damage on the magnetic disk 20 side will be slight.

【0036】以下、本実施例における磁気ディスク装置
の作用の一例を説明する。
An example of the operation of the magnetic disk device in this embodiment will be explained below.

【0037】図6は、本実施例の磁気ディスク装置にお
けるヘッド浮上状態の一例を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of a head flying state in the magnetic disk device of this embodiment.

【0038】まず、磁気ディスク20を回転方向30に
高速定常回転させて発生する空気流31により、磁気ヘ
ッド10(10A)は、浮上レール12に浮上力を受け
、磁気ディスク20の表面との間に一定の間隙を保持し
ながら浮上を続ける。ところが、磁気ヘッド10と磁気
ディスク20との間に、ヘッド・ディスク・アセンブリ
内の浮遊塵埃32が侵入すると、両者間に接触が起こる
First, the magnetic head 10 (10A) receives a levitation force from the levitation rail 12 due to the air flow 31 generated by rotating the magnetic disk 20 at high speed in the rotational direction 30, and the magnetic head 10 (10A) receives a levitation force from the surface of the magnetic disk 20. Continue levitation while maintaining a certain gap. However, if floating dust 32 in the head disk assembly enters between the magnetic head 10 and the magnetic disk 20, contact occurs between the two.

【0039】この時、従来では、この接触によって浮上
レール12が摩耗し、発生した摩耗粉が当該浮上レール
12の表面に再付着してヘッド浮上量の低下を引き起こ
す恐れがあった。
At this time, conventionally, this contact causes the floating rail 12 to wear out, and the generated abrasion powder may re-adhere to the surface of the floating rail 12, causing a decrease in the flying height of the head.

【0040】これに対して、本実施例の場合には、磁気
ヘッド10(10A)の浮上レール12などの表面が、
カーボン保護膜15によって覆われているので、ヘッド
/ディスク接触時に、当該カーボン保護膜15から発生
する摩耗粉は、接触部位において発生する摩擦熱によっ
て瞬時に燃焼し、炭酸ガスとなって消失する。このため
、摩耗粉が浮上レール12に再付着してヘッド浮上量の
低下を引き起こす懸念がなく、磁気ヘッド10と磁気デ
ィスク20との接触が繰り返されることなどによって発
生するヘッド・クラッシュが回避でき、磁気ディスク装
置の動作の信頼性が確実に向上する。
On the other hand, in the case of this embodiment, the surface of the floating rail 12 of the magnetic head 10 (10A) is
Since it is covered with the carbon protective film 15, when the head/disk contacts, the abrasion powder generated from the carbon protective film 15 is instantaneously burned by the frictional heat generated at the contact area, and disappears as carbon dioxide gas. Therefore, there is no concern that wear particles will re-adhere to the flying rail 12 and cause a reduction in the flying height of the head, and head crashes that occur due to repeated contact between the magnetic head 10 and the magnetic disk 20 can be avoided. The operational reliability of the magnetic disk device is certainly improved.

【0041】また、磁気ディスク20の側の保護層25
を構成するi−カーボンは、磁気ヘッド10(10A)
の側のカーボン保護膜15を構成するアモルファスカー
ボンよりも硬度および燃焼温度が高いので、両者の接触
に際して、磁気ディスク20の側の損傷は軽微となり、
当該磁気ディスク20に記録される情報の信頼性を確保
することができる。
In addition, the protective layer 25 on the side of the magnetic disk 20
The i-carbon constituting the magnetic head 10 (10A)
Since the hardness and combustion temperature are higher than that of the amorphous carbon that constitutes the carbon protective film 15 on the side, the damage on the side of the magnetic disk 20 is slight when the two come into contact.
The reliability of information recorded on the magnetic disk 20 can be ensured.

【0042】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例を基に具体的に説明したが、本発明は、前記実施例
に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
[0042] The invention made by the present inventor has been specifically explained based on examples, but the present invention is not limited to the above-mentioned examples, and can be modified in various ways without departing from the spirit thereof. Needless to say, it is.

【0043】たとえば、磁気ヘッドや磁気ディスクの構
成は、前述の実施例に例示したものに限定されない。
For example, the configurations of the magnetic head and magnetic disk are not limited to those exemplified in the above-described embodiments.

【0044】[0044]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
[Effects of the Invention] Among the inventions disclosed in this application, the effects obtained by the typical inventions are briefly explained as follows.
It is as follows.

【0045】すなわち、本発明の磁気ディスク装置によ
れば、ヘッド・ディスク・アセンブリにおける摩耗粉な
どの発生を抑止して、動作の信頼性を向上させることが
できるという効果が得られる。
That is, according to the magnetic disk device of the present invention, it is possible to suppress the generation of abrasion particles in the head disk assembly, thereby improving operational reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の一実施例である磁気ディスク装置を構
成するヘッド・ディスク・アセンブリの磁気ヘッドを取
り出して示す拡大斜視図である。
FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a magnetic head of a head disk assembly constituting a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図2】磁気ヘッドの変形例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a modification of the magnetic head.

【図3】その側面図である。FIG. 3 is a side view thereof.

【図4】本発明の一実施例である磁気ディスク装置にお
ける磁気ディスクの構成を示す略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a magnetic disk in a magnetic disk device that is an embodiment of the present invention.

【図5】磁気ヘッドに形成されたカーボン保護膜を構成
するアモルファスカーボンと、磁気ディスクの保護層を
構成するi−カーボンの、熱処理温度における蛍光X線
強度比を示した線図である。
FIG. 5 is a diagram showing the fluorescent X-ray intensity ratio of amorphous carbon forming a carbon protective film formed on a magnetic head and i-carbon forming a protective layer of a magnetic disk at a heat treatment temperature.

【図6】本発明の一実施例である磁気ディスク装置にお
けるヘッド浮上状態の一例を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of a head floating state in a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  磁気ヘッド 10A  磁気ヘッド 11  スライダ 11a  スライダ 12  浮上レール(浮上面) 12a  流入端テーパ部 12b  フラット部 13  記録/再生素子 14  保護膜 15  カーボン保護膜 16  センターレール(浮上面) 17  記録/再生素子 17a  コア 17b  巻線 17c  ギャップ 20  磁気ディスク 21  基板 22  下地層 23  中間層 24  磁性層 25  保護層 26  潤滑層 30  回転方向 31  空気流 32  浮遊塵埃 10 Magnetic head 10A magnetic head 11 Slider 11a Slider 12 Floating rail (levitating surface) 12a Inflow end taper part 12b Flat part 13 Recording/reproducing element 14 Protective film 15 Carbon protective film 16 Center rail (floating surface) 17 Recording/reproducing element 17a Core 17b Winding wire 17c Gap 20 Magnetic disk 21 Substrate 22 Base layer 23 Middle class 24 Magnetic layer 25 Protective layer 26 Lubricant layer 30 Rotation direction 31 Air flow 32 Floating dust

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  密閉構造型のヘッド・ディスク・アセ
ンブリを有する磁気ディスク装置であって、前記ヘッド
・ディスク・アセンブリを構成する磁気ヘッドの磁気デ
ィスクに対向する浮上面に、カーボン保護膜を形成した
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
1. A magnetic disk drive having a head disk assembly of a closed structure type, wherein a carbon protective film is formed on the air bearing surface of the magnetic head constituting the head disk assembly, which faces the magnetic disk. A magnetic disk device characterized by:
JP15001791A 1991-06-21 1991-06-21 Magnetic disk device Pending JPH04372703A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017126394A (en) * 2016-01-07 2017-07-20 ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド Slider with extended three-dimensional air-bearing surface, and method for fabricating the same

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