JPH04364205A - Apparatus and method for producing fe soft magnetic alloy strip - Google Patents

Apparatus and method for producing fe soft magnetic alloy strip

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JPH04364205A
JPH04364205A JP3022795A JP2279591A JPH04364205A JP H04364205 A JPH04364205 A JP H04364205A JP 3022795 A JP3022795 A JP 3022795A JP 2279591 A JP2279591 A JP 2279591A JP H04364205 A JPH04364205 A JP H04364205A
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JP
Japan
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soft magnetic
cooling roll
magnetic alloy
based soft
nozzle
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3022795A
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Japanese (ja)
Inventor
Teruhiro Makino
彰宏 牧野
Kiyosaku Suzuki
清策 鈴木
Takeshi Masumoto
健 増本
Akihisa Inoue
明久 井上
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Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04364205A publication Critical patent/JPH04364205A/en
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F1/15341Preparation processes therefor

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Abstract

PURPOSE:To decrease the fluctuations in surface roughness and to provide a high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability in combination and to improve mechanical strength and thermal stability by diagonally disposing the tip of a nozzle so as to face the rear side of a rotating direction with respect to the surface of a cooling roll consisting of an Fe alloy. CONSTITUTION:The cooling roll 10 is constituted of the alloys of the Fe systems, such as stainless steels and tool steels. The nozzle 20 is disposed in proximity to the peak of the roll 10 and is so provided that its tip inclines to the perpendicular so as to face the rear side of the rotating direction of the roll 10. Accumulation 40 of the melt 30 of the Fe soft magnetic alloy formed between the roll 10 and the nozzle 20 is increased in this way and the strip 50 can be stably drawn out of the accumulation fluctuating less in size. Then, the surface roughness on both surfaces of the strip 50 is diminished and uniformized and the strip adequate for magnetic heads, etc., is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、例えば磁気ヘッドや
トランスの素材として用いられるFe系軟磁性合金薄帯
を連続的に製造するための装置と方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for continuously producing Fe-based soft magnetic alloy ribbons used as materials for magnetic heads and transformers, for example.

【0002】0002

【従来の技術】非晶質合金の薄帯(リボン)を連続的に
製造するための装置として、図5に示すいわゆる単ロー
ル法によるものが知られている。これは、Cu製の冷却
ロール1を高速で回転させつつ、その頂部に近接配置し
たノズル2から溶融金属3を吹き付けることによって、
溶融金属3を冷却ロール1の表面で急速冷却して固化さ
せつつ、帯状となして冷却ロール1の回転方向に引き出
すようにしたものである。
2. Description of the Related Art As an apparatus for continuously producing thin strips (ribbons) of amorphous alloys, a so-called single roll method shown in FIG. 5 is known. This is done by spraying molten metal 3 from a nozzle 2 placed close to the top of a cooling roll 1 made of Cu while rotating it at high speed.
The molten metal 3 is rapidly cooled and solidified on the surface of the cooling roll 1, and is drawn out in a band shape in the rotational direction of the cooling roll 1.

【0003】図5に示す装置の場合、ノズル2は冷却ロ
ール1の頂部においてほぼ鉛直となるように設けられ、
その先端と冷却ロール1の表面との間の間隔は1mm程
度以下に設定されるようになっている。
In the case of the apparatus shown in FIG. 5, the nozzle 2 is provided almost vertically at the top of the cooling roll 1;
The distance between the tip and the surface of the cooling roll 1 is set to about 1 mm or less.

【0004】そして、ノズル2より突出された溶融金属
3は、ノズル2の先端と冷却ロール1の表面との間にお
いて実質的に静止している溜まり(パドル)4を形成し
、冷却ロール1の回転に伴ってその溜まり4から溶融金
属3が引き出されていって冷却ロール1の表面上で冷却
されて帯状となって固化し、これによって薄帯5が連続
的に形成されるようになっている。
The molten metal 3 projected from the nozzle 2 forms a substantially stationary puddle 4 between the tip of the nozzle 2 and the surface of the cooling roll 1. As it rotates, the molten metal 3 is drawn out from the pool 4, cooled on the surface of the cooling roll 1, and solidified into a strip, thereby forming a continuous ribbon 5. There is.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
の素材として用いられる軟磁性合金は、特にその表面が
十分に平坦であること、即ち、表面粗さが十分に小さい
ことが要求されるが、前記従来の装置により製造される
薄帯の表面粗さは必ずしも音声用磁気ヘッドに用いる程
度に小さいものではなく、このため、表面をより平坦に
なしえる合金薄帯の製造装置の開発が要望されている。
By the way, the soft magnetic alloy used as the material for the magnetic head is particularly required to have a sufficiently flat surface, that is, a sufficiently small surface roughness. The surface roughness of the ribbon produced by the conventional apparatus is not necessarily small enough to be used in audio magnetic heads, and therefore there is a demand for the development of an apparatus for manufacturing alloy ribbon that can make the surface smoother. ing.

【0006】ところで、磁気ヘッド、トランス 、チョ
ークコイル等に用いられる軟磁性合金において一般的に
要求される諸特性は以下の通りである ■飽和磁束密度が高いこと。 ■透磁率が高いこと。 ■低保磁力であること。 ■薄い形状が得やすいこと。
By the way, the following characteristics are generally required for soft magnetic alloys used in magnetic heads, transformers, choke coils, etc. (1) High saturation magnetic flux density. ■High magnetic permeability. ■Have low coercive force. ■It is easy to obtain a thin shape.

【0007】また、磁気ヘッドに対しては、前記■〜■
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。 ■硬度が高いこと。
[0007] Also, for magnetic heads, the above
In addition to the properties described above, the following properties are required from the viewpoint of wear resistance. ■High hardness.

【0008】従って軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを製
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。
[0008] Therefore, when manufacturing soft magnetic alloys or magnetic heads, material research is being conducted on various alloy systems from these viewpoints.

【0009】このような背景から本発明者らは、先に、
前記要求を満たした高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金を
特願平2ー108308号明細書において平成2年4月
24日付けで特許出願している。
[0009] Against this background, the present inventors first
A patent application was filed on April 24, 1990 for a high saturation magnetic flux density Fe-based soft magnetic alloy that satisfies the above requirements in Japanese Patent Application No. 108308/1990.

【0010】この特許出願に係る合金の他の1つは、次
式で示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束
密度合金であった。 (Fe1−a Co a)b Bx Ty T’z但し
TはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wから
なる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり、且
つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’はC
u,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、a≦0.05、b
≦92原子%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10
原子%、z=0.2〜4.5原子%である。
Another alloy related to this patent application was a high saturation magnetic flux density alloy characterized by having a composition represented by the following formula. (Fe1-a Co a) b Bx Ty T'z where T is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and , Zr, Hf, or both, and T' is C
One or more elements selected from the group consisting of u, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, a≦0.05, b
≦92 atom%, x=0.5-16 atom%, y=4-10
atomic %, z=0.2 to 4.5 atomic %.

【0011】また、前記特許出願に係る合金の他の1つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Fe b Bx Ty T’z 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’
はCu,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から
選ばれた1種又は2種以上の元素であり、b≦92原子
%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10原子%、z
=0.2〜4.5原子%である。
[0011] Another alloy according to the above patent application is a high saturation magnetic flux density alloy characterized by having a composition represented by the following formula. Fe b Bx Ty T'z However, T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
T' is one or more elements selected from the group consisting of Zr, Hf, or both;
is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, b≦92 at%, x=0.5 to 16 at%, y=4 to 10 atomic%, z
=0.2 to 4.5 at%.

【0012】更に本発明者らは、前記合金の発展型の合
金として、先に、以下に示す組成の合金について特許出
願を行っている。
Furthermore, the present inventors have previously filed a patent application for an alloy having the composition shown below as an advanced alloy of the above-mentioned alloy.

【0013】この特許出願に係る合金の1つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
合金であった。 (Fe1−a Q a)b Bx Ty但しQはCo,
Niのいずれか、または、両方であり、TはTi,Zr
,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、且つ、Zr,Hf
のいずれか、又は両方を含み、a≦0.05、b≦93
原子%、x=0.5〜8原子%、 y=4〜9原子%で
ある。
One of the alloys related to this patent application was a high saturation magnetic flux density alloy characterized by having a composition represented by the following formula. (Fe1-a Q a)b Bx Tywhere Q is Co,
Either or both of Ni, T is Ti, Zr
, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and one or more elements selected from the group consisting of W, and Zr, Hf
Contains either or both, a≦0.05, b≦93
x=0.5 to 8 atom%, y=4 to 9 atom%.

【0014】また、前記特許出願に係る合金の他の1つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Fe b Bx Ty 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、b≦
93原子%、x=0.5〜8原子%、y=4〜9原子%
である。
[0014] Another alloy according to the patent application is a high saturation magnetic flux density alloy characterized by having a composition represented by the following formula. Fe b Bx Ty where T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
is one or more elements selected from the group consisting of, and contains either or both of Zr and Hf, and b≦
93 atom%, x=0.5-8 atom%, y=4-9 atom%
It is.

【0015】以上のように本発明者らは、前記各組成の
種々のFe系軟磁性合金を開発したわけであるが、これ
らの合金を用い、図5に示す製造装置を更に改良して好
適な薄帯を製造できることが判明したので本願発明に到
達した。
As described above, the present inventors have developed various Fe-based soft magnetic alloys having the above-mentioned compositions. Using these alloys, the manufacturing apparatus shown in FIG. It was found that a thin ribbon of the same type can be manufactured, and the present invention was achieved.

【0016】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
、薄帯の両面での表面粗さのばらつきを低減し、高い飽
和磁束密度と高透磁率を兼備し、かつ、高い機械強度と
高い熱安定性を有するFe系軟磁性合金薄帯を提供でき
る製造装置と製造方法を提供することを目的とする。
The present invention was made in view of the above circumstances, and it reduces the variation in surface roughness on both sides of the ribbon, has both high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability, and has high mechanical strength and high magnetic permeability. It is an object of the present invention to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method that can provide a Fe-based soft magnetic alloy ribbon having thermal stability.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載した発明
は、前記課題を解決するために、回転駆動される冷却ロ
ールと、この冷却ロールの表面に先端を臨ませて近接配
置され、Fe系軟磁性合金の溶湯を冷却ロールの表面に
吹き付けて前記溶湯を冷却ロールの表面において冷却し
つつ帯状となして冷却ロールの回転方向に引き出すよう
にするためのノズルとを具備してなるFe系軟磁性合金
薄帯の製造装置において、冷却ロールの少なくとも外周
面がFe系合金からなり、前記ノズルが、その先端を冷
却ロールの回転方向後方側に向くように鉛直に対して傾
斜させた状態で前記冷却ロールの頂部に近接配置されて
なるものである。
[Means for Solving the Problem] In order to solve the above problem, the invention as set forth in claim 1 includes a cooling roll that is driven to rotate, a cooling roll that is arranged close to the cooling roll with its tip facing the surface of the cooling roll, and a and a nozzle for spraying a molten metal of a Fe-based soft magnetic alloy onto the surface of a cooling roll so that the molten metal is cooled on the surface of the cooling roll and drawn out in a band shape in the rotational direction of the cooling roll. In the soft magnetic alloy ribbon manufacturing apparatus, at least the outer circumferential surface of the cooling roll is made of an Fe-based alloy, and the nozzle is inclined with respect to the vertical so that its tip faces toward the rear in the rotational direction of the cooling roll. It is arranged close to the top of the cooling roll.

【0018】請求項2に記載した発明は、前記課題を解
決するために、回転駆動される冷却ロールの表面に、先
端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノズ
ルからFe系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによっ
てその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状と
なして冷却ロールの回転方向に引き出すFe系軟磁性合
金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をFe系
合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前記
冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に近
接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの表
面に吹き付けるものである。
[0018] In order to solve the above problem, the invention as set forth in claim 2 injects Fe-based soft magnetic material onto the surface of a rotationally driven cooling roll from a nozzle arranged such that its tip faces the surface of the cooling roll. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon by spraying a molten alloy onto the surface of a cooling roll to form a strip and drawing the molten metal in the rotational direction of the cooling roll, wherein at least the outer peripheral surface is made of an Fe-based alloy. The nozzle is arranged close to the top of the cooling roll toward the rear side in the direction of rotation, and the molten metal is sprayed onto the surface of the cooling roll from the front end of the nozzle.

【0019】請求項3に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするものである。 (Fe1−a Co a)b Bx Ty T’z但し
TはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wから
なる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり、且
つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’はC
u,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、a≦0.05、b
≦92原子%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10
原子%、z=4.5原子%以下である。
In order to solve the above problem, the invention described in claim 3 provides a method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, in which a Fe-based soft magnetic alloy is sprayed from a nozzle onto a cooling roll. The present invention is characterized in that a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula is used as the molten metal. (Fe1-a Co a) b Bx Ty T'z where T is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and , Zr, Hf, or both, and T' is C
One or more elements selected from the group consisting of u, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, a≦0.05, b
≦92 atom%, x=0.5-16 atom%, y=4-10
%, z = 4.5 atomic % or less.

【0020】請求項4に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするものである。 Fe b Bx Ty T’z 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’
はCu,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から
選ばれた1種又は2種以上の元素であり、b≦92原子
%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10原子%、z
=4.5原子%以下である。
[0020] In order to solve the above problem, the invention described in claim 4 provides a method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, in which the Fe-based soft magnetic alloy is sprayed from a nozzle onto a cooling roll. The present invention is characterized in that a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula is used as the molten metal. Fe b Bx Ty T'z However, T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
T' is one or more elements selected from the group consisting of Zr, Hf, or both;
is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, b≦92 at%, x=0.5 to 16 at%, y=4 to 10 atomic%, z
=4.5 atomic % or less.

【0021】請求項5に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いるものである
。 (Fe1−a Q a)b Bx Ty但しQはCo,
Niのいずれか、または、両方であり、TはTi,Zr
,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、且つ、Zr,Hf
のいずれか、又は両方を含み、a≦0.05、b≦93
原子%、x=0.5〜8原子%、 y=4〜9原子%で
ある。
[0021] In order to solve the above problem, the invention described in claim 5 provides a method for manufacturing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, in which a Fe-based soft magnetic alloy is sprayed from a nozzle onto a cooling roll. As the molten metal, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula is used. (Fe1-a Q a)b Bx Tywhere Q is Co,
Either or both of Ni, T is Ti, Zr
, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and one or more elements selected from the group consisting of W, and Zr, Hf
Contains either or both, a≦0.05, b≦93
x=0.5 to 8 atom%, y=4 to 9 atom%.

【0022】請求項6に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いるものである
。 Fe b Bx Ty 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、b≦
93原子%、x=0.5〜8原子%、y=4〜9原子%
である。
[0022] In order to solve the above problem, the invention described in claim 6 provides a method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, in which the Fe-based soft magnetic alloy is sprayed from a nozzle onto a cooling roll. As the molten metal, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula is used. Fe b Bx Ty where T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
is one or more elements selected from the group consisting of, and contains either or both of Zr and Hf, and b≦
93 atom%, x=0.5-8 atom%, y=4-9 atom%
It is.

【0023】[0023]

【作用】本発明の装置ではノズルの先端を冷却ロールの
表面に対してその回転方向後方側に向くように斜めに臨
ませることになるので、ノズルを冷却ロールに真っ直ぐ
に臨ませる構成の従来装置に比較すると、ノズルの先端
と冷却ロールとの間に形成される溜まり(パドル)が大
きくなる。そして、冷却ロールの回転により溜まりから
溶融金属が引き出されて薄帯が形成され、その際、溜ま
りの体積が大きいほど実質的な体積変動が小さくなり、
従って、溜まりが小さい場合に比して溶融金属が安定的
に引き出されてゆき、これによって形成される薄帯の表
面粗さが改善される。その結果、磁気ヘッド用として好
適なFe系軟磁性薄帯が得られる。
[Operation] In the device of the present invention, the tip of the nozzle is faced obliquely to the surface of the cooling roll so that it faces backward in the direction of rotation, so the conventional device has a configuration in which the nozzle faces straight to the cooling roll. Compared to this, the puddle formed between the nozzle tip and the cooling roll is larger. Then, the molten metal is drawn out from the pool by the rotation of the cooling roll to form a ribbon, and at this time, the larger the volume of the pool, the smaller the actual volume change,
Therefore, the molten metal is drawn out more stably than in the case where the pool is small, thereby improving the surface roughness of the formed ribbon. As a result, a Fe-based soft magnetic ribbon suitable for use in magnetic heads is obtained.

【0024】また、特定の組成の軟磁性合金の溶湯を用
いるので、高い飽和磁束密度と高い透磁率を示し、硬度
が高く、耐熱性に優れた磁気ヘッド用などとして好適な
Fe系軟磁性合金の薄帯が得られる。
Furthermore, since a molten metal of a soft magnetic alloy with a specific composition is used, the Fe-based soft magnetic alloy exhibits high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability, has high hardness, and is suitable for use in magnetic heads with excellent heat resistance. A thin strip is obtained.

【0025】[0025]

【実施例】以下に本発明を図面を参照しながら説明する
。図1と図2は本発明装置の一実施例を示すもので、本
実施例の装置は、図5に示した従来の装置と略同等の構
成であり、冷却ロール10を高速で回転させつつ、その
頂部に近接配置したノズル20から溶融金属30を吹き
付けることによって、溶融金属30を冷却ロール10の
表面で急速冷却して固化させつつ冷却ロール10の回転
方向に帯状となして引き出す装置である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be explained below with reference to the drawings. FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the apparatus of the present invention. The apparatus of this embodiment has approximately the same configuration as the conventional apparatus shown in FIG. , is a device that sprays molten metal 30 from a nozzle 20 disposed close to the top of the molten metal 30, rapidly cooling and solidifying the molten metal 30 on the surface of the cooling roll 10, and pulling it out in a band shape in the rotational direction of the cooling roll 10. .

【0026】本実施例の装置で従来例の装置と異なって
いるのは、まず、冷却ロール10の全体がFe系の合金
からなることである。即ち、冷却ロール10はステンレ
ス、工具鋼などのFe系の合金から構成されている。冷
却ロール10をFe系の合金から構成したのは、溶融金
属30として後述するようにFe系の軟磁性合金を用い
るので、この合金とのぬれ性を良くするためである。な
お、この実施例では冷却ロール10の全体をFe系合金
で形成したが、冷却ロール10の外周部分のみを前記の
Fe系合金で構成しても良いのは勿論である。
The apparatus of this embodiment is different from the conventional apparatus in that the entire cooling roll 10 is made of an Fe-based alloy. That is, the cooling roll 10 is made of an Fe-based alloy such as stainless steel or tool steel. The reason why the cooling roll 10 is made of an Fe-based alloy is to improve the wettability with the Fe-based soft magnetic alloy, which is used as the molten metal 30 as will be described later. In this embodiment, the entire cooling roll 10 is made of an Fe-based alloy, but it goes without saying that only the outer peripheral portion of the cooling roll 10 may be made of the Fe-based alloy.

【0027】本実施例の装置では、図1に示すように、
冷却ロール10の回転方向が図5の場合と逆になってい
て、製造された薄帯50は、図1において左方向に引き
出されるようになっている。
In the apparatus of this embodiment, as shown in FIG.
The rotation direction of the cooling roll 10 is reversed from that in FIG. 5, so that the manufactured ribbon 50 is pulled out to the left in FIG.

【0028】また、ノズル20は、冷却ロール10の頂
部に近接配置されているが、そのノズル20は、先端が
回転方向後方側(図1において右側)を向くように鉛直
に対して傾斜する状態で設けられている。ノズル20の
鉛直に対する傾斜核度θ(図2参照)は、後述する理由
により40°を越えない範囲に設定されている。
Further, the nozzle 20 is disposed close to the top of the cooling roll 10, and the nozzle 20 is inclined with respect to the vertical so that the tip thereof faces toward the rear side in the direction of rotation (to the right in FIG. 1). It is set in. The degree of inclination θ (see FIG. 2) of the nozzle 20 with respect to the vertical is set within a range not exceeding 40° for reasons described later.

【0029】前記ノズル20の各部の寸法や冷却ロール
1との間の間隔は適宜設定して良いが、好ましくは、図
2に示すノズル20のスリットの寸法t1を0.5mm
、肉厚寸法t2を1.0mm、冷却ロール1の最頂部を
通る接線とノズル20の最下端との間の距離l1を0.
5mm程度とすることが好ましい。
The dimensions of each part of the nozzle 20 and the distance between it and the cooling roll 1 may be set as appropriate, but preferably, the dimension t1 of the slit of the nozzle 20 shown in FIG. 2 is 0.5 mm.
, the wall thickness t2 is 1.0 mm, and the distance l1 between the tangent passing through the top of the cooling roll 1 and the bottom of the nozzle 20 is 0.
It is preferable to set it to about 5 mm.

【0030】また、スリットの下部と前記接線との間の
間隔l2は、l2=l1+t2sinθとなり、またス
リットの上部と前記接線との間の間隔l3は、l3=l
1+(t1+t2)sinθとなるので、前記のように
t1=0.5mm、t2=1.0mm、l1=0.5m
mとし、θ=40°とした場合には、l2≒1.14m
m、l3≒1.46mmとなる。
Further, the distance l2 between the bottom of the slit and the tangent line is l2=l1+t2sinθ, and the distance l3 between the top of the slit and the tangent line is l3=l1+t2sinθ.
1+(t1+t2) sin θ, so as mentioned above, t1=0.5mm, t2=1.0mm, l1=0.5m
m, and when θ=40°, l2≒1.14m
m, l3≈1.46 mm.

【0031】次に、冷却ロール10に吹き付ける溶湯3
0として、次式に示す組成のFe系軟磁性合金の溶湯を
用いることができる。 (Fe1−a Co a)b Bx Ty T’z但し
TはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wから
なる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり、且
つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’はC
u,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、a≦0.05、b
≦92原子%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10
原子%、  z=4.5原子%以下である。
Next, the molten metal 3 is sprayed onto the cooling roll 10.
As 0, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition shown in the following formula can be used. (Fe1-a Co a) b Bx Ty T'z where T is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and , Zr, Hf, or both, and T' is C
One or more elements selected from the group consisting of u, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, a≦0.05, b
≦92 atom%, x=0.5-16 atom%, y=4-10
atomic %, z = 4.5 atomic % or less.

【0032】また、溶湯30として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Fe b Bx Ty T’z 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’
はCu,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から
選ばれた1種又は2種以上の元素であり、b≦92原子
%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10原子%、z
=4.5原子%以下である。
Further, as the molten metal 30, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula can be used. Fe b Bx Ty T'z However, T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
T' is one or more elements selected from the group consisting of Zr, Hf, or both;
is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, b≦92 at%, x=0.5 to 16 at%, y=4 to 10 atomic%, z
=4.5 atomic % or less.

【0033】更に、溶湯30として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 (Fe1−a Q a)b Bx Ty但しQはCo,
Niのいずれか、または、両方であり、TはTi,Zr
,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、且つ、Zr,Hf
のいずれか、又は両方を含み、a≦0.05、b≦93
原子%、x=0.5〜8原子%、 y=4〜9原子%で
ある。
Further, as the molten metal 30, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula can be used. (Fe1-a Q a)b Bx Tywhere Q is Co,
Either or both of Ni, T is Ti, Zr
, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and one or more elements selected from the group consisting of W, and Zr, Hf
Contains either or both, a≦0.05, b≦93
% by atom, x=0.5 to 8 atom%, and y=4 to 9 atom%.

【0034】更に、溶湯30として、次式で示される組
成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Fe b Bx Ty 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、b≦
93原子%、x=0.5〜8原子%、y=4〜9原子%
である。
Further, as the molten metal 30, a molten Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula can be used. Fe b Bx Ty where T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
is one or more elements selected from the group consisting of, and contains either or both of Zr and Hf, and b≦
93 atom%, x=0.5-8 atom%, y=4-9 atom%
It is.

【0035】本発明により製造されるFe系合金は、前
記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金
を溶湯から急冷することにより得る工程と、これを加熱
し、微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通常得
ることができる。合金溶湯30において、冷却ロール1
0で急冷後に非晶質相を得やすくするためには、非晶質
形成能の高いZr、Hfのいずれかを含む必要がある。 またZr、Hfはその一部を他の4A〜6A族元素のう
ち、Ti,V,Nb,Ta,Mo,Wと置換することが
出来る。ここでCrを含めなかったのは、Crが他の元
素に比べ非晶質形成能が劣っているからである。
The Fe-based alloy produced according to the present invention can be obtained by rapidly cooling an amorphous alloy having the above composition or a crystalline alloy containing an amorphous phase from a molten metal, and heating it to form fine crystals. It can usually be obtained by a heat treatment process that forms grains. In the molten alloy 30, the cooling roll 1
In order to easily obtain an amorphous phase after quenching at zero, it is necessary to contain either Zr or Hf, which has a high ability to form an amorphous phase. Further, a part of Zr and Hf can be replaced with Ti, V, Nb, Ta, Mo, and W among other group 4A to 6A elements. The reason why Cr was not included here is that Cr has an inferior ability to form an amorphous state compared to other elements.

【0036】Bには本発明で用いる合金の非晶質形成能
を高める効果、および前記熱処理工程において磁気特性
に悪影響を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果がある
と考えられ、このためB添加は必須である。Bと同様に
A1,Si,C,P等も非晶質形成元素として一般に用
いられており、これらの元素を添加した場合も本発明と
同一とみなすことができる。
B is thought to have the effect of increasing the amorphous formation ability of the alloy used in the present invention, and the effect of suppressing the formation of compound phases that adversely affect magnetic properties in the heat treatment process, and for this reason, the addition of B is required. Similar to B, A1, Si, C, P, etc. are also commonly used as amorphous forming elements, and the addition of these elements can be considered to be the same as the present invention.

【0037】以上、本発明で使用する高飽和磁束密度F
e系軟磁性合金に含まれる合金元素の限定理由を説明し
たが、これらの元素以外でも耐食性を改善するために、
Cr,Ruその他の白金族元素を添加することも可能で
あり、また、必要に応じて、Y,希土類元素,Zn,C
d,Ga,In,Ge,Sn,Pb,As,Sb,Bi
,Se,Te,Li,Be,Mg,Ca,Sr,Ba等
の元素を添加することで磁歪を調整することもできる。 その他、H,N,O,S等の不可避的不純物については
所望の特性が劣化しない程度に含有していても本発明で
用いる高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金の組成と同一と
みなすことができるのは勿論である。
As described above, the high saturation magnetic flux density F used in the present invention
We have explained the reasons for limiting the alloying elements contained in the e-based soft magnetic alloy, but in order to improve corrosion resistance with elements other than these,
It is also possible to add Cr, Ru and other platinum group elements, and if necessary, Y, rare earth elements, Zn, C
d, Ga, In, Ge, Sn, Pb, As, Sb, Bi
Magnetostriction can also be adjusted by adding elements such as , Se, Te, Li, Be, Mg, Ca, Sr, and Ba. In addition, unavoidable impurities such as H, N, O, and S may be considered to have the same composition as the high saturation magnetic flux density Fe-based soft magnetic alloy used in the present invention even if they are contained to the extent that the desired characteristics are not deteriorated. Of course you can.

【0038】本発明で使用するFe系軟磁性合金溶湯に
おけるFe,Co量のbは、92原子%以下である。こ
れは、bが92原子%を越えると高い透磁率が得られな
いためであるが、飽和磁束密度10kG以上を得るため
には、bが75原子%以上であることがより好ましい。 また、元素T’zを含まない合金溶湯においては、Fe
,Ni,Co量を93原子%以下とする。
[0038] The amount b of Fe and Co in the molten Fe-based soft magnetic alloy used in the present invention is 92 atomic % or less. This is because high magnetic permeability cannot be obtained if b exceeds 92 atom %, but in order to obtain a saturation magnetic flux density of 10 kG or more, b is more preferably 75 atom % or more. In addition, in a molten alloy that does not contain the element T'z, Fe
, Ni, and Co are 93 atomic % or less.

【0039】更に本発明者等は高飽和磁束密度Fe系軟
磁性合金の熱処理方法の研究を行ない、図6に示すよう
な結果を得た。図6はFe88Cu1B3Zr8なる組
成の軟磁性合金の試料について、650℃に1時間加熱
した後、種々の冷却速度で冷却した後の透磁率を測定し
た結果を示すものである。
Furthermore, the present inventors conducted research on a heat treatment method for a high saturation magnetic flux density Fe-based soft magnetic alloy, and obtained the results shown in FIG. FIG. 6 shows the results of measuring the magnetic permeability of a soft magnetic alloy sample having a composition of Fe88Cu1B3Zr8 after being heated to 650° C. for 1 hour and then cooled at various cooling rates.

【0040】この研究結果から、100℃/分以上の冷
却速度であれば、透磁率を著しく高められることが明ら
かになった。従って、T’zを4.5原子%以下とする
ことができた。
[0040] The results of this study revealed that magnetic permeability can be significantly increased at a cooling rate of 100°C/min or more. Therefore, T'z could be reduced to 4.5 atomic % or less.

【0041】次に、図1に示す装置を用いてFe系軟磁
性合金薄帯を製造する場合について説明する。
Next, a case will be described in which a Fe-based soft magnetic alloy ribbon is manufactured using the apparatus shown in FIG.

【0042】図1に示す矢印A方向に冷却ロール10を
高速回転させて前記組成の合金の溶湯をノズル20から
噴出させると、合金溶湯は冷却ロール10の頂部に溜ま
り40を形成しながら冷却ロール10の表面に沿って押
し出され、薄帯50が得られる。この薄帯50において
は大部分が不均一な非晶質相からなるものである。
When the cooling roll 10 is rotated at high speed in the direction of arrow A shown in FIG. 1 and the molten metal of the alloy having the above composition is spouted from the nozzle 20, the molten alloy flows through the cooling roll while forming a pool 40 at the top of the cooling roll 10. 10 to obtain a ribbon 50. The ribbon 50 is mostly composed of a non-uniform amorphous phase.

【0043】ここで、冷却ロール10の外周面は、Fe
系の合金からなり、Fe系軟磁性合金とのぬれ性が良好
であるので、冷却ロール10から薄帯50が円滑に送り
出されるものである。これに対し、Cu製などのFe系
合金以外の冷却ロールを用いると、噴出の際に溶湯が飛
散し、形状が良好なリボンの作製が困難となるので好ま
しくない。
[0043] Here, the outer peripheral surface of the cooling roll 10 is made of Fe.
The thin strip 50 is smoothly fed out from the cooling roll 10 because it has good wettability with the Fe-based soft magnetic alloy. On the other hand, if a cooling roll made of a material other than Fe-based alloy such as Cu is used, the molten metal will scatter during ejection, making it difficult to produce a ribbon with a good shape, which is not preferable.

【0044】ここで冷却ロール10の上に形成される溜
まり40は、十分な大きさに形成されるので、この大き
な溜まり40から薄帯50が引き出されてゆく。このよ
うに溜まり40が十分に大きければ、溜まり40の大き
さの変動が少ないので、厚さの均一な薄帯50が得られ
る。
[0044] Here, the pool 40 formed on the cooling roll 10 is formed to a sufficient size, so that the ribbon 50 is drawn out from this large pool 40. If the pool 40 is sufficiently large as described above, there will be little variation in the size of the pool 40, so that a ribbon 50 with a uniform thickness can be obtained.

【0045】このように得られた薄帯50に対し、50
0〜620℃に加熱後徐冷する焼鈍処理を行えば、薄帯
50の不均一な非晶質相が結晶化する結果、部分的に結
晶化しやすい領域が多数でき、不均一核生成するために
、得られる組織が微細となり、結果的に100〜200
オングストローム程度の微細結晶組織となる。この結果
、高い飽和磁束密度と透磁率を有する優れた軟磁気特性
を示し、硬度も高く、耐熱性にも優れたFe系軟磁性合
金薄帯を得ることができる。
For the ribbon 50 thus obtained, 50
If an annealing treatment is performed in which the ribbon is heated to 0 to 620°C and then slowly cooled, the non-uniform amorphous phase of the ribbon 50 will crystallize, resulting in the creation of many regions where it is easy to partially crystallize, resulting in non-uniform nucleation. In this case, the resulting structure becomes finer, resulting in a diameter of 100 to 200
It becomes a fine crystal structure of about angstroms. As a result, it is possible to obtain a Fe-based soft magnetic alloy ribbon that exhibits excellent soft magnetic properties with high saturation magnetic flux density and magnetic permeability, and also has high hardness and excellent heat resistance.

【0046】ここで、図3はノズル20の傾斜角度θと
表面粗さRzの関係を示す実測データであって、横軸は
ノズル20の傾斜角度θ、縦軸は傾斜角度が0°である
場合の表面粗さRz0に対するノズル20を傾斜させた
場合の表面粗さRzの比 Rz/Rz0を表すものであ
る。図3から傾斜角度θが大きくなるほど表面粗さRz
が小さくなる、即ち、表面がより平坦となる傾向を示す
ことが分かる。なお、表面粗さRz0およびRzの計算
値は、JISB0601に規定されている十点平均粗さ
を触針式の表面粗さ計によって計測したものである。
Here, FIG. 3 shows actual measurement data showing the relationship between the inclination angle θ of the nozzle 20 and the surface roughness Rz, where the horizontal axis is the inclination angle θ of the nozzle 20, and the vertical axis is the inclination angle 0°. It represents the ratio Rz/Rz0 of the surface roughness Rz when the nozzle 20 is tilted to the surface roughness Rz0 when the nozzle 20 is tilted. From Fig. 3, the larger the inclination angle θ, the greater the surface roughness Rz.
It can be seen that the surface tends to become smaller, that is, the surface becomes flatter. Note that the calculated values of the surface roughness Rz0 and Rz are obtained by measuring the ten-point average roughness specified in JISB0601 using a stylus type surface roughness meter.

【0047】このように、ノズル20を傾斜させること
によって表面粗さRzが小さくなる理由は、ノズル20
先端と冷却ロール1の間に形成される溜まり(パドル)
40がノズル20を傾斜させない場合に比較して大きな
ものとなり、従ってこの溜まり40より溶融金属30が
引き出されていくことに伴う溜まり40の微少な体積変
動が実質的に低減し、溶融金属30が安定に引き出され
ていくためと考えられる。
The reason why the surface roughness Rz is reduced by tilting the nozzle 20 in this way is that the nozzle 20
Pool (paddle) formed between the tip and cooling roll 1
40 is larger than that in the case where the nozzle 20 is not tilted. Therefore, minute volume fluctuations in the pool 40 caused by the molten metal 30 being drawn out from the pool 40 are substantially reduced, and the molten metal 30 is This is thought to be due to stable withdrawal.

【0048】なお、ノズル20の最下端と冷却ロール1
との間の間隔寸法l1を一定にしている場合においては
、傾斜角度θが大きくなるほど溜まり40が大きくなっ
てゆくが、傾斜角度θが40°を越えてしまうと、溶融
金属30はその自重により冷却ロール10の移転方向後
方側に流下してしまって溜まり40が形成されなくなり
、従って、傾斜角度θは40°を越えない範囲で設定す
る必要がある。
Note that the lowermost end of the nozzle 20 and the cooling roll 1
When the distance l1 between the two and The inclination angle θ must be set within a range of not exceeding 40° because it flows down to the rear side in the transfer direction of the cooling roll 10 and no pool 40 is formed.

【0049】また、ノズル20をその先端が冷却ロール
10の回転方向先方側に向くように傾斜させた場合には
大きな溜まり40が形成されることがなく、従って、そ
の場合は表面粗さが改善される効果を奏するものではな
い。
Furthermore, when the nozzle 20 is inclined so that its tip faces forward in the rotational direction of the cooling roll 10, a large pool 40 is not formed, and therefore, in that case, the surface roughness is improved. It does not have the same effect.

【0050】一方、図4は、ノズル20の傾斜角度θを
一定とした場合における、ノズル20の先端と冷却ロー
ル10の表面との間隔が表面粗さに対して及ぼす影響を
調べたものである。図4において横軸はノズル20の先
端と冷却ロール10の表面との間隔(前記のl1寸法)
であり、縦軸は形成された薄帯5の表面粗さRz,Rm
axである。Rmaxは触針式の表面粗さ計により計測
した最大表面粗さである。この図から、l1寸法を0.
3〜0.5mmの範囲内に設定した場合に表面粗さRz
,Rmaxが最も小さくなることがわかるので、前記l
1の値をその範囲内に設定することが好ましい。その場
合、前記のノズル20を用いてθ=40°とした場合に
あっては、l2=0.94〜1.14mm、l3≒1.
26〜1.46mmとなるので、ノズル20のスリット
と冷却ロール10との間の間隔は、通常1mm以下とさ
れている従来の場合に比して実質的に大きなものとなる
On the other hand, FIG. 4 shows the effect of the distance between the tip of the nozzle 20 and the surface of the cooling roll 10 on the surface roughness when the inclination angle θ of the nozzle 20 is constant. . In FIG. 4, the horizontal axis represents the distance between the tip of the nozzle 20 and the surface of the cooling roll 10 (the above l1 dimension)
, and the vertical axis represents the surface roughness Rz, Rm of the formed ribbon 5.
It is ax. Rmax is the maximum surface roughness measured by a stylus type surface roughness meter. From this figure, the l1 dimension is set to 0.
Surface roughness Rz when set within the range of 3 to 0.5 mm
, Rmax is the smallest, so the l
It is preferable to set a value of 1 within that range. In that case, when using the above nozzle 20 and setting θ=40°, l2=0.94 to 1.14 mm, l3≈1.
Since the distance is 26 to 1.46 mm, the distance between the slit of the nozzle 20 and the cooling roll 10 is substantially larger than in the conventional case, which is usually 1 mm or less.

【0051】ところで、前記のように製造されたFe9
1Hf7B2合金薄帯を550℃に1時間保持した後に
、徐冷して焼鈍した結果、Fe系軟磁性合金薄帯を得る
ことができた。
By the way, Fe9 produced as described above
After holding the 1Hf7B2 alloy ribbon at 550° C. for 1 hour, it was slowly cooled and annealed, and as a result, a Fe-based soft magnetic alloy ribbon could be obtained.

【0052】得られたFe系軟磁性合金薄帯は、飽和磁
束密度1.6kG、1kHzの透磁率18000を示し
、軟磁気特性に優れていることが判明した。また、この
Fe系軟磁性合金薄帯は、ビッカース硬さで1300D
PNを示し磁気ヘッド用として十分な硬度を有すること
が明らかになった。
The obtained Fe-based soft magnetic alloy ribbon exhibited a saturation magnetic flux density of 1.6 kG and a magnetic permeability of 18,000 at 1 kHz, and was found to have excellent soft magnetic properties. In addition, this Fe-based soft magnetic alloy ribbon has a Vickers hardness of 1300D.
It was revealed that the material exhibited PN and had sufficient hardness for use in magnetic heads.

【0053】以上で説明したように、薄帯50の両側の
表面粗さを十分に小さくできるものであり、従って、本
実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材としての軟
磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である。
As explained above, the surface roughness on both sides of the thin ribbon 50 can be made sufficiently small, and therefore, the device of this embodiment is particularly applicable to thin sheets of soft magnetic alloy as a material for audio magnetic heads. It is suitable as an apparatus for manufacturing belts.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上説明したように本発明の製造装置は
、ノズルを冷却ロールの回転方向の後方側に向けて傾斜
させたので、冷却ロールとノズルとの間に形成される溜
まりを大きくすることができ、この大きな溜まりから薄
帯を引き出せるので、大きさの変動の少ない溜まりから
安定的に薄帯を引き出せる。その結果、製造される薄帯
の両面の表面粗さを十分に小さく、かつ、均等になし得
る効果を奏する。
[Effects of the Invention] As explained above, in the manufacturing apparatus of the present invention, since the nozzle is inclined toward the rear side in the rotational direction of the cooling roll, the pool formed between the cooling roll and the nozzle is enlarged. Since the ribbon can be pulled out from this large pool, the ribbon can be stably pulled out from the pool whose size does not fluctuate much. As a result, the surface roughness on both sides of the manufactured ribbon can be made sufficiently small and uniform.

【0055】また、用いる溶湯が、特定の組成のFe系
軟磁性合金の溶湯であるので、得られた薄帯は、飽和磁
束密度が高く、透磁率に優れるとともに、硬度が高いの
で、磁気ヘッド用などとして好適なFe系軟磁性合金の
薄帯が得られる。
Furthermore, since the molten metal used is a molten metal of a Fe-based soft magnetic alloy with a specific composition, the obtained ribbon has a high saturation magnetic flux density, excellent magnetic permeability, and high hardness, so it is suitable for magnetic heads. A ribbon of Fe-based soft magnetic alloy suitable for various purposes is obtained.

【0056】また、本発明方法によれば、前記構成の製
造装置を用いるので、表面粗さが小さく、軟磁気特性に
優れ、磁気ヘッド用などとして好適なFe系軟磁性合金
薄帯を製造することができる。
Furthermore, according to the method of the present invention, since the manufacturing apparatus having the above-mentioned configuration is used, a Fe-based soft magnetic alloy ribbon having low surface roughness, excellent soft magnetic properties, and suitable for use in magnetic heads can be manufactured. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明装置の一実施例を示す冷却ロールとノズ
ルを示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a cooling roll and a nozzle showing an embodiment of the apparatus of the present invention.

【図2】本発明装置の一実施例を示すノズルの傾斜角度
を示すための説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an inclination angle of a nozzle showing an embodiment of the device of the present invention.

【図3】ノズル傾斜角度と表面粗さの関係を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between nozzle inclination angle and surface roughness.

【図4】ノズルと冷却ロールの間隔と表面粗さの関係を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the distance between the nozzle and the cooling roll and the surface roughness.

【図5】従来の冷却ロールとノズルを示す断面図である
FIG. 5 is a sectional view showing a conventional cooling roll and nozzle.

【図6】冷却速度と透磁率の関係を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the relationship between cooling rate and magnetic permeability.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  冷却ロール 20  ノズル 30  溶湯 40  溜まり 50  薄帯 10 Cooling roll 20 Nozzle 30 Molten metal 40 Accumulation 50 thin strip

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  回転駆動される冷却ロールと、この冷
却ロールの表面に先端を臨ませて近接配置され、Fe系
軟磁性合金の溶湯を冷却ロールの表面に吹き付けて前記
溶湯を冷却ロールの表面において冷却しつつ帯状となし
て冷却ロールの回転方向に引き出すようにするためのノ
ズルとを具備してなるFe系軟磁性合金薄帯の製造装置
において、冷却ロールの少なくとも外周面がFe系合金
からなり、前記ノズルが、その先端を冷却ロールの回転
方向後方側に向くように鉛直に対して傾斜させた状態で
前記冷却ロールの頂部に近接配置されてなることを特徴
とするFe系軟磁性合金薄帯の製造装置。
Claims: 1. A cooling roll that is rotationally driven; and a cooling roll that is disposed close to the surface of the cooling roll with its tip facing the surface of the cooling roll; In this apparatus, at least the outer circumferential surface of the cooling roll is made of Fe-based alloy. The Fe-based soft magnetic alloy is characterized in that the nozzle is arranged close to the top of the cooling roll in a state where the tip thereof is inclined with respect to the vertical so that the tip thereof faces toward the rear side in the rotational direction of the cooling roll. Thin strip manufacturing equipment.
【請求項2】  回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからFe系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すFe系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をFe
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付けることを特徴とするFe系軟磁性合金薄
帯の製造方法。
[Claim 2] On the surface of the rotationally driven cooling roll,
Fe-based soft magnetic alloy molten metal is sprayed from a nozzle whose tip is arranged so as to face the surface of the cooling roll, and the molten metal is cooled on the surface of the cooling roll, formed into a band shape, and drawn out in the rotational direction of the cooling roll. In the method for producing a soft magnetic alloy ribbon, at least the outer peripheral surface is made of Fe.
The method is characterized in that a cooling roll made of a base alloy is used, the nozzle is arranged close to the top of the cooling roll toward the rear side in the direction of rotation, and the molten metal is sprayed from the front end of the nozzle onto the surface of the cooling roll. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon.
【請求項3】  請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるFe系軟磁性合金の溶湯として、次式で示され
る組成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを
特徴とするFe系軟磁性合金薄帯の製造方法。 (Fe1−a Co a)b Bx Ty T’z但し
TはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wから
なる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり、且
つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’はC
u,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、a≦0.05、b
≦92原子%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10
原子%、z=4.5原子%以下である。
3. In the method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, the molten Fe-based soft magnetic alloy that is sprayed from the nozzle onto the cooling roll is an Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon, characterized by using a molten magnetic alloy. (Fe1-a Co a) b Bx Ty T'z where T is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and , Zr, Hf, or both, and T' is C
One or more elements selected from the group consisting of u, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, a≦0.05, b
≦92 atom%, x=0.5-16 atom%, y=4-10
%, z = 4.5 atomic % or less.
【請求項4】  請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするFe系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Fe b Bx Ty T’z 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、T’
はCu,Ag,Au,Ni,Pd,Ptからなる群から
選ばれた1種又は2種以上の元素であり、b≦92原子
%、x=0.5〜16原子%、y=4〜10原子%、z
=4.5原子%以下である。
4. In the method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, the Fe-based soft magnetic alloy molten metal sprayed from the nozzle onto the cooling roll is an Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon, characterized by using a molten metal of the alloy. Fe b Bx Ty T'z However, T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
T' is one or more elements selected from the group consisting of Zr, Hf, or both;
is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Ni, Pd, and Pt, b≦92 at%, x=0.5 to 16 at%, y=4 to 10 atomic%, z
=4.5 atomic % or less.
【請求項5】  請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするFe系軟磁性合金薄帯の製造方法。 (Fe1−a Q a)b Bx Ty但しQはCo,
Niのいずれか、または、両方であり、TはTi,Zr
,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wからなる群から選ば
れた1種又は2種以上の元素であり、且つ、Zr,Hf
のいずれか、又は両方を含み、a≦0.05、b≦93
原子%、x=0.5〜8原子%、 y=4〜9原子%で
ある。
5. In the method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, the molten Fe-based soft magnetic alloy that is sprayed from the nozzle onto the cooling roll is an Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon, characterized by using a molten metal of the alloy. (Fe1-a Q a)b Bx Tywhere Q is Co,
Either or both of Ni, T is Ti, Zr
, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and one or more elements selected from the group consisting of W, and Zr, Hf
Contains either or both, a≦0.05, b≦93
x=0.5 to 8 atom%, y=4 to 9 atom%.
【請求項6】  請求項2に記載のFe系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるFe系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるFe系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするFe系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Fe b Bx Ty 但しTはTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,W
からなる群から選ばれた1種又は2種以上の元素であり
、且つ、Zr,Hfのいずれか、又は両方を含み、b≦
93原子%、x=0.5〜8原子%、y=4〜9原子%
である。
6. In the method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon according to claim 2, the Fe-based soft magnetic alloy molten metal sprayed from the nozzle onto the cooling roll is an Fe-based soft magnetic alloy having a composition represented by the following formula. A method for producing a Fe-based soft magnetic alloy ribbon, characterized by using a molten metal of the alloy. Fe b Bx Ty where T is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
is one or more elements selected from the group consisting of, and contains either or both of Zr and Hf, and b≦
93 atom%, x=0.5-8 atom%, y=4-9 atom%
It is.
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