JPH04360065A - Measuring device for magnetic disk device - Google Patents

Measuring device for magnetic disk device

Info

Publication number
JPH04360065A
JPH04360065A JP13512391A JP13512391A JPH04360065A JP H04360065 A JPH04360065 A JP H04360065A JP 13512391 A JP13512391 A JP 13512391A JP 13512391 A JP13512391 A JP 13512391A JP H04360065 A JPH04360065 A JP H04360065A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
head
positional
positioning mechanism
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13512391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takehito Yamada
健仁 山田
Katsuki Kitagawa
北川 勝喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP13512391A priority Critical patent/JPH04360065A/en
Publication of JPH04360065A publication Critical patent/JPH04360065A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Rotational Drive Of Disk (AREA)

Abstract

PURPOSE:To accurately measure the asynchronous vibration of a magnetic disk caused by the asynchronous shaft vibration of a spindle motor by controlling a head positioning mechanism so as to follow up a position information prerecorded on a magnetic disk. CONSTITUTION:By controlling the head positioning mechanism 4 so as to follow up the position information prerecorded on the magnetic disk 1, the asynchronous shaft vibration of the motor 2 in a state in which the disk 1 is attached to the spindle motor 2 is reproduced as the positional change of the mechanism 4. Then, the positional change of the mechanism 4 is detected, and based on the positional change, the asynchronous vibration of the disk 1 caused by the asynchronous shaft vibration of the motor 2 is measured. In that case, the measuring accuracy is improved by using a laser measuring device 12 for the detection of the positional change of the mechanism 4. And, a processing henceforth is performed by the digital calculation of CPU 13.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置用測
定装置、特に磁気ディスク装置におけるディスクのラジ
アル方向の振れを測定するための測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring device for a magnetic disk drive, and more particularly to a measuring device for measuring radial runout of a disk in a magnetic disk drive.

【0002】0002

【従来の技術】磁気ディスク装置では、目標トラックに
対して正確にヘッドを追従させながらデータの記録再生
が行われる。ディスクのラジアル方向(半径方向)の振
れ、特に回転に非同期の振れがあると、ヘッドのトラッ
ク追従性に影響を与えるため、この振れがどの様に発生
しているかを正確に把握することが重要となる。
2. Description of the Related Art In a magnetic disk drive, data is recorded and reproduced while a head accurately follows a target track. Radial vibration of the disk, especially vibration that is asynchronous to its rotation, will affect the head's tracking ability, so it is important to accurately understand how this vibration is occurring. becomes.

【0003】ディスクのラジアル方向の振れは、主にデ
ィスクを回転させるためのスピンドルモータの軸振れに
起因している。そこで、例えば文献:AN INVES
TIGATION OFNON−REPEATABLE
 SPINDLE RUNOUT: IEEE TRA
NSACTION ON MAGNETICS,VOL
.MAG−23,NO.5,1987 では、スピンド
ルモータの軸振れを静電容量変位計で測定し、その軸振
れの特性を解析して磁気ディスク装置のヘッド位置決め
系を設計する際の指針を示している。一般に静電容量変
位計の測定限界は0.02μm程度であるのに対し、高
精度なスピンドルモータのラジアル方向の非同期振れは
0.3μmp−p程度であり、静電容量変位計の測定精
度は十分なものとは言えない。
The radial runout of the disk is mainly caused by the axial runout of a spindle motor for rotating the disk. So, for example, literature: AN INVES
TIGATION OFNON-REPEATABLE
SPINDLE RUNOUT: IEEE TRA
NSACTION ON MAGNETICS, VOL
.. MAG-23, NO. 5, 1987, the axial runout of a spindle motor is measured with a capacitance displacement meter, and the characteristics of the axial runout are analyzed to provide guidelines for designing a head positioning system for a magnetic disk drive. In general, the measurement limit of a capacitive displacement meter is about 0.02 μm, whereas the asynchronous runout in the radial direction of a high-precision spindle motor is about 0.3 μmp-p, and the measurement accuracy of a capacitive displacement meter is I can't say it's good enough.

【0004】また、上記文献に記載されたような方式で
は、軸振れ測定に際してスピンドルモータ軸の表面状態
の変化が観測雑音となるため、慎重な取扱いが必要とな
る。さらに、モータ軸は真円ではないため、当然、回転
に同期した軸振れも同時に観測されることになる。この
軸振れの同期成分の大きさは通常、数10μmにも達す
る。このことは、ダイナミックレンジと分解能を同時に
要求されることを意味しており、測定装置としては厳し
い条件となる。このようなことから、実際の磁気ディス
ク装置におけるスピンドルモータの軸振れを簡単に測定
することは、かなり困難である。
Furthermore, in the method described in the above-mentioned literature, changes in the surface condition of the spindle motor shaft become observation noise when measuring shaft runout, so careful handling is required. Furthermore, since the motor shaft is not a perfect circle, shaft runout that is synchronized with rotation will naturally be observed at the same time. The magnitude of the synchronous component of this shaft runout usually reaches several tens of micrometers. This means that dynamic range and resolution are required at the same time, which is a strict requirement for a measuring device. For this reason, it is quite difficult to simply measure the axial runout of a spindle motor in an actual magnetic disk device.

【0005】一方、他の軸振れ測定法としてスピンドル
モータの軸を鏡面仕上げし、レーザ測長器を用いて軸振
れを測定する方法がある。しかし、この方法ではモータ
軸の加工が必要であることや、レーザ光の光軸を精度よ
く合わせなければならない等の煩雑さがある。また、モ
ータ軸の倒れなどを考慮すると、レーザ測長器としては
シングルビームインタフェロメータしか使用できないた
め、その測定分解能は0.016μm程度に制限されて
しまう。従って、上記の静電容量変位計を用いる方法と
同様、磁気ディスク装置におけるスピンドルモータの軸
振れを測定する方法としては十分でない。
On the other hand, as another method for measuring shaft runout, there is a method in which the shaft of a spindle motor is mirror-finished and the shaft runout is measured using a laser length measuring device. However, this method is complicated, such as requiring machining of the motor shaft and aligning the optical axis of the laser beam with high precision. Furthermore, considering the inclination of the motor shaft, only a single beam interferometer can be used as a laser length measuring device, and its measurement resolution is limited to about 0.016 μm. Therefore, like the method using the capacitance displacement meter described above, this method is not sufficient as a method for measuring the shaft runout of a spindle motor in a magnetic disk drive.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、静電
容量変位計やレーザ測長器を用いる従来の軸振れ測定技
術では、磁気ディスクのラジアル方向の非同期振れを十
分な精度で測定することが困難であるという問題があっ
た。本発明は、磁気ディスク装置におけるラジアル方向
の非同期振れを高精度に測定できる磁気ディスク装置用
測定装置を提供することを目的とする。
[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, with the conventional shaft runout measurement technology using a capacitance displacement meter or a laser length measuring device, it is difficult to measure the asynchronous runout in the radial direction of a magnetic disk with sufficient accuracy. The problem was that it was difficult. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a measuring device for a magnetic disk device that can measure asynchronous runout in the radial direction in a magnetic disk device with high precision.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明の磁気ディスク装置用測定装置は、磁気ディ
スク上に記録された情報を読み取るための磁気ヘッドと
、この磁気ヘッドを磁気ディスク上の所定位置に位置決
めするためのヘッド位置決め機構と、磁気ディスク上に
予め記録された位置情報を磁気ヘッドを介して再生する
手段と、この手段により再生された位置情報に従って磁
気ヘッドが磁気ディスク上の位置情報に追従するように
ヘッド位置決め機構を制御する手段と、ヘッド位置決め
機構の位置変動から磁気ディスクの半径方向の振れを測
定する測定手段とを有する。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, a measuring device for a magnetic disk device of the present invention includes a magnetic head for reading information recorded on a magnetic disk, and a magnetic head that reads information recorded on a magnetic disk. a head positioning mechanism for positioning the head at a predetermined position on the magnetic disk; a means for reproducing positional information previously recorded on the magnetic disk via the magnetic head; The head positioning mechanism has a means for controlling the head positioning mechanism so as to follow the positional information of the head positioning mechanism, and a measuring means for measuring the deflection of the magnetic disk in the radial direction from the positional fluctuation of the head positioning mechanism.

【0008】測定手段は、例えばヘッド位置決め機構の
位置変動を磁気ディスクの各回転位置毎に検出する検出
手段と、この手段により検出された位置変動を記憶する
手段と、この手段により記憶された位置変動を回転位置
毎に平均化する手段と、この手段により平均化された位
置変動を記憶する手段と、この手段により記憶された平
均化された各回転位置毎の位置変動を前記検出手段によ
り新たに検出された現在の各回転位置毎の位置変動から
差し引くことにより、磁気ディスクの半径方向の振れを
求める手段とによって構成される。ヘッド位置決め機構
の位置変動そのものは、レーザ測長器などによって検出
され、それ以降の処理は例えばCPUなどによるディジ
タル演算によって行われる。
The measuring means includes, for example, a detecting means for detecting the positional fluctuation of the head positioning mechanism for each rotational position of the magnetic disk, a means for storing the positional fluctuation detected by this means, and a means for storing the positional fluctuation detected by this means. means for averaging the fluctuations for each rotational position; means for storing the positional fluctuations averaged by this means; and means for updating the positional fluctuations for each rotational position averaged by the means, and means for determining the radial deflection of the magnetic disk by subtracting it from the positional fluctuation detected at each current rotational position. The positional fluctuation of the head positioning mechanism itself is detected by a laser length measuring device or the like, and subsequent processing is performed by digital calculation by, for example, a CPU.

【0009】[0009]

【作用】このように本発明の測定装置では、磁気ディス
ク上に予め記録された位置情報に追従するようにヘッド
位置決め機構が制御されることにより、磁気ディスクを
スピンドルモータに取り付けた状態でのスピンドルモー
タの非同期軸振れがヘッド位置決め機構の位置変動とし
て再現される。そして、このヘッド位置決め機構の位置
変動が検出され、その位置変動に基づいてスピンドルモ
ータの非同期軸振れに起因する磁気ディスクの非同期振
れが測定される。
[Operation] In this way, in the measuring device of the present invention, the head positioning mechanism is controlled so as to follow the positional information recorded in advance on the magnetic disk, so that the spindle can be adjusted with the magnetic disk attached to the spindle motor. The asynchronous shaft runout of the motor is reproduced as a positional fluctuation of the head positioning mechanism. Then, the positional fluctuation of this head positioning mechanism is detected, and the asynchronous runout of the magnetic disk caused by the asynchronous shaft runout of the spindle motor is measured based on the positional fluctuation.

【0010】この場合、スピンドルの軸振れを直接測定
する方法と異なり、ヘッド位置決め機構の位置変動を検
出する手段として、高精度で雑音特性に優れた位置検出
器、例えばリニアインタフェロメータを使用したレーザ
測長器が利用できるため、磁気ディスクの非同期振れを
十分な精度で測定することが可能となる。
In this case, unlike the method of directly measuring the axial runout of the spindle, a position detector with high accuracy and excellent noise characteristics, such as a linear interferometer, is used as a means for detecting the position fluctuation of the head positioning mechanism. Since a laser length measuring device can be used, it becomes possible to measure asynchronous runout of a magnetic disk with sufficient accuracy.

【0011】[0011]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図1は、本発明の一実施例に係る磁気ディスク装
置用測定装置の構成図である。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a measuring device for a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【0012】図1において、磁気ディスク1は例えばハ
ードディスクまたはフロッピーディスクであり、スピン
ドルモータ2によって回転される。磁気ヘッド3は測定
用として設けられたもので、ヘッド位置決め機構4に取
り付けられている。ヘッド位置決め機構4は、圧電アク
チュエータ5と、この圧電アクチュエータ5をラジアル
方向、すなわちディスク1の半径方向に移動させる粗動
ステージ6により構成される。圧電アクチュエータ5は
例えば厚み方向に変位する複数の圧電素子を積層した積
層型圧電素子からなり、ヘッド3の精密な位置決めを行
うための微動機構として用いられている。粗動ステージ
6は、例えばリニアモータからなり、ヘッド3をディス
ク1上の適当な位置に移動させるのに使用される。
In FIG. 1, a magnetic disk 1 is, for example, a hard disk or a floppy disk, and is rotated by a spindle motor 2. As shown in FIG. The magnetic head 3 is provided for measurement and is attached to a head positioning mechanism 4. The head positioning mechanism 4 includes a piezoelectric actuator 5 and a coarse movement stage 6 that moves the piezoelectric actuator 5 in the radial direction, that is, in the radial direction of the disk 1. The piezoelectric actuator 5 is made of, for example, a laminated piezoelectric element in which a plurality of piezoelectric elements are laminated to be displaced in the thickness direction, and is used as a fine movement mechanism for precisely positioning the head 3. The coarse movement stage 6 is composed of, for example, a linear motor, and is used to move the head 3 to an appropriate position on the disk 1.

【0013】ディスク1上の特定位置、例えば最外周ま
たは最内周には、予め後述する位置情報が記録されてい
る。この位置情報はヘッド3により読み取られ、アンプ
7を介して位置信号再生回路8に入力される。
[0013] Position information, which will be described later, is recorded in advance at a specific position on the disc 1, for example, at the outermost circumference or the innermost circumference. This position information is read by the head 3 and input to the position signal reproducing circuit 8 via the amplifier 7.

【0014】位置信号再生回路8は例えば図2に示され
るように、位置情報の周波数成分を分離抽出する周波数
分離回路21と、この周波数分離回路21の出力を直流
化するための全波整流回路22および該全波整流回路2
2の出力をスピンドルモータ2の軸振れの周波数帯域よ
り十分高いサンプリング周波数でサンプルホールドする
サンプルホールド回路23からなり、位置情報に応じた
位置信号を出力する。例えば、スピンドルモータ2の回
転数を3,600rpmとすると、スピンドルモータ2
の軸振れは600Hz以下程度であるから、サンプルホ
ールド回路23におけるサンプリング周波数は10kH
z程度に選ばれる。
The position signal reproducing circuit 8 includes, for example, as shown in FIG. 2, a frequency separation circuit 21 for separating and extracting frequency components of position information, and a full-wave rectification circuit for converting the output of the frequency separation circuit 21 into direct current. 22 and the full wave rectifier circuit 2
The sample and hold circuit 23 samples and holds the output of the spindle motor 2 at a sampling frequency sufficiently higher than the frequency band of shaft runout of the spindle motor 2, and outputs a position signal according to position information. For example, if the rotation speed of the spindle motor 2 is 3,600 rpm, the spindle motor 2
Since the axial runout of is about 600Hz or less, the sampling frequency in the sample hold circuit 23 is 10kHz.
Selected around z.

【0015】位置信号再生回路8から出力される位置信
号は、制御回路9に入力される。制御回路9は、入力さ
れた位置信号から演算により制御信号を生成する。この
制御信号がアクチュエータ駆動回路10を介して圧電ア
クチュエータ5に供給されることにより圧電アクチュエ
ータ5が駆動され、ヘッド3がディスク1上の位置情報
に追従するように、つまりスピンドルモータ2の軸振れ
に追従して動くように位置決めされる。このときの追従
帯域は、1kHz程度に設定される。
The position signal output from the position signal reproducing circuit 8 is input to the control circuit 9. The control circuit 9 generates a control signal by calculation from the input position signal. When this control signal is supplied to the piezoelectric actuator 5 via the actuator drive circuit 10, the piezoelectric actuator 5 is driven so that the head 3 follows the position information on the disk 1, that is, the axial runout of the spindle motor 2. It is positioned so that it follows and moves. The tracking band at this time is set to about 1 kHz.

【0016】一方、圧電アクチュエータ5の背面部には
反射鏡11が取り付けられており、この反射鏡11の位
置がこれに対向して配置されたレーザ測長器12により
測定される。レーザ測長器12は例えば図3に示される
ように、レーザヘッド31、干渉計32、レシーバ33
および位置検出回路34からなり、反射鏡11の移動距
離が測定されることにより、位置検出回路34からヘッ
ド位置決め機構4の位置情報を表わす測定データが出力
される。
On the other hand, a reflecting mirror 11 is attached to the back side of the piezoelectric actuator 5, and the position of this reflecting mirror 11 is measured by a laser length measuring device 12 placed opposite to the reflecting mirror 11. For example, as shown in FIG. 3, the laser length measuring device 12 includes a laser head 31, an interferometer 32, and a receiver 33.
and a position detection circuit 34. By measuring the moving distance of the reflecting mirror 11, the position detection circuit 34 outputs measurement data representing position information of the head positioning mechanism 4.

【0017】このレーザ測長器12は二つのレーザビー
ムによるリニアインタフェロメータを用いたものであり
、その測定分解能は2.5nm程度である。これは従来
技術で軸振れ測定に使用されていた静電容量変位計や、
シングルビームインタフェロメータを用いたレーザ測長
器に比較して遥かに高い分解能である。従来技術のよう
にスピンドルモータの軸振れを直接測定する場合には、
このような2ビームを用いるレーザ測長器の使用は実質
的に不可能であるが、本発明ではヘッド位置決め機構4
の位置測定に用いるため、このようなレーザ測長器12
を使用できるのである。また、この場合にはスピンドル
モータ2の軸を鏡面加工したり、レーザビームの光軸を
スピンドルモータ2の軸に対して高精度に合わせるなど
の必要がないため、実施が容易である。
This laser length measuring device 12 uses a linear interferometer using two laser beams, and its measurement resolution is about 2.5 nm. This is a capacitance displacement meter used in conventional technology to measure shaft runout,
It has much higher resolution than a laser length measuring device using a single beam interferometer. When directly measuring the shaft runout of a spindle motor as in the conventional technology,
Although it is virtually impossible to use such a laser length measuring device using two beams, in the present invention, the head positioning mechanism 4
Such a laser length measuring device 12 is used to measure the position of
can be used. Further, in this case, it is not necessary to mirror-finish the axis of the spindle motor 2 or to align the optical axis of the laser beam with the axis of the spindle motor 2 with high precision, so it is easy to implement.

【0018】圧電アクチュエータ5の動きは、ディスク
1上に記録された位置情報のラジアル方向の動きであり
、これはスピンドルモータ2のラジアル方向の軸振れ(
非同期成分)を反映している。この軸振れは一般に0.
3μmp−p 程度であるため、レーザ測長器12の測
定分解能(2.5nm程度)によって十分精度よく測定
することが可能である。
The movement of the piezoelectric actuator 5 is the movement in the radial direction of the position information recorded on the disk 1, and this is caused by the radial axial runout of the spindle motor 2 (
(asynchronous component). This shaft runout is generally 0.
Since it is about 3 μmp-p, it is possible to measure it with sufficient accuracy using the measurement resolution (about 2.5 nm) of the laser length measuring device 12.

【0019】レーザ測長器12の測定データは、CPU
(マイクロコンピュータ)13に取り込まれる。レーザ
測長器12で測定されたヘッド位置決め機構4の位置情
報のラジアル方向の動きは、位置情報を記録したときの
スピンドルモータ2の軸振れと現時点での軸振れとが重
なり合ったものとなる。そこで、CPU13はレーザ測
長器12からの測定データを、スピンドルモータ2から
ロータリエンコーダ等により一回転毎に一回発生される
インデックス信号に同期してサンプリングし記憶した後
、それらの平均値を求めて記憶する。同様の操作をイン
デックス信号の発生位相を少しずつ変えて繰り返し行う
。すなわち、ディスク1の所定の角度間隔の回転位置毎
に、測定データをサンプリングし、平均値を求めて記憶
する。こうして記憶された平均値は、ランダム性の非同
期成分が平均化によって除去されるため、位置情報をデ
ィスク1に書き込んだときのスピンドルモータ2の軸振
れ自体(同期成分)を表している。
The measurement data of the laser length measuring device 12 is sent to the CPU
(microcomputer) 13. The movement in the radial direction of the position information of the head positioning mechanism 4 measured by the laser length measuring device 12 is a combination of the shaft runout of the spindle motor 2 at the time the position information was recorded and the current shaft runout. Therefore, the CPU 13 samples and stores the measurement data from the laser length measuring device 12 in synchronization with an index signal generated from the spindle motor 2 once per rotation by a rotary encoder, etc., and then calculates the average value of the data. memorize it. The same operation is repeated by changing the generation phase of the index signal little by little. That is, measurement data is sampled at each rotational position of the disk 1 at predetermined angular intervals, and the average value is determined and stored. The average value stored in this way represents the shaft runout itself (synchronous component) of the spindle motor 2 when the position information is written on the disk 1, since the random asynchronous component is removed by averaging.

【0020】そして、次にCPU13は現時点でのヘッ
ド位置決め機構4の位置変動を表わすレーザ測長器12
の測定データを各回転位置毎にサンプリングして記憶し
、これらの位置変動から上記の平均値、すなわち位置情
報の同期成分を差し引く。これにより各サンプリング時
点でのスピンドルモータ2のラジアル方向の軸振れのう
ち、同期成分が除去されて、非同期成分のみが測定され
ることになる。
Next, the CPU 13 outputs a laser length measuring device 12 that indicates the current positional fluctuation of the head positioning mechanism 4.
Measured data is sampled and stored for each rotational position, and the above average value, that is, the synchronous component of the position information, is subtracted from these positional fluctuations. As a result, the synchronous component of the radial shaft runout of the spindle motor 2 at each sampling time point is removed, and only the asynchronous component is measured.

【0021】なお、ディスク1上に予め記録される位置
情報は、次の手順によりディスク1上の適当なトラック
に書き込まれる。図4に示されるように、まず磁気ヘッ
ド3を実線41の位置に設定し、あるトラックに周波数
f1の連続信号をヘッドにより書き込む。次に、ヘッド
3をトラック幅の3/4程度トラック幅方向に移動させ
て破線42の位置に設定し、周波数f2の連続信号を書
き込む。その後、ヘッド3をf1,f2の信号が重なり
合った位置の中心に移動させる。これにより、ヘッド3
で再生される信号はf1とf2の成分をほぼ半分ずつ含
み、その割合はスピンドルモータ2の軸振れによって変
化することになる。
[0021] The position information previously recorded on the disc 1 is written to an appropriate track on the disc 1 by the following procedure. As shown in FIG. 4, the magnetic head 3 is first set at the position indicated by the solid line 41, and a continuous signal of frequency f1 is written on a certain track by the head. Next, the head 3 is moved in the track width direction by about 3/4 of the track width and set at the position indicated by the broken line 42, and a continuous signal of frequency f2 is written. Thereafter, the head 3 is moved to the center of the position where the signals of f1 and f2 overlap. As a result, head 3
The signal reproduced at 1 includes approximately half of the f1 and f2 components, and the ratio changes depending on the shaft runout of the spindle motor 2.

【0022】なお、上記の実施例では微動機構に圧電ア
クチュエータ5を用いたが、磁歪アクチュエータや電磁
アクチュエータ等を用いてもよい。また、ヘッド位置決
め機構は必ずしも微動機構と粗動機構を組み合わたもの
でなくともよい。さらに、ヘッド位置決め機構4の位置
測定にレーザ測長器12を用いたが、高分解能の光学式
スケールセンサその他のスケールセンサ等を用いても構
わない。その他、本発明は要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することが可能である。
In the above embodiment, the piezoelectric actuator 5 is used as the fine movement mechanism, but a magnetostrictive actuator, an electromagnetic actuator, etc. may also be used. Further, the head positioning mechanism does not necessarily have to be a combination of a fine movement mechanism and a coarse movement mechanism. Further, although the laser length measuring device 12 is used to measure the position of the head positioning mechanism 4, a high-resolution optical scale sensor or other scale sensor may also be used. In addition, the present invention can be implemented with various modifications without departing from the scope.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、磁気ディスク上に予め
記録された位置情報に追従するようにヘッド位置決め機
構を制御することによって、磁気ディスクをスピンドル
モータに取り付けた状態でのスピンドルモータの非同期
の軸振れをヘッド位置決め機構の位置変動として再現さ
せ、この位置変動を高精度のレーザ測長器等により検出
してスピンドルモータの非同期軸振れに起因する磁気デ
ィスクの非同期振れを正確に測定することができる。
According to the present invention, by controlling the head positioning mechanism to follow the position information recorded in advance on the magnetic disk, the spindle motor can be de-synchronized when the magnetic disk is attached to the spindle motor. To accurately measure the asynchronous runout of a magnetic disk caused by the asynchronous shaft runout of a spindle motor by reproducing the axial runout of the head positioning mechanism as a positional variation of the head positioning mechanism, and detecting this positional variation with a high-precision laser length measuring device, etc. Can be done.

【0024】また、磁気ヘッドとヘッド位置決め機構お
よび位置決め機構を制御する制御系を含む測定系は、実
機(磁気ディスク装置)として組み上がった状態に近く
、実器に近い状態で測定ができ、従来の技術と比較して
測定のための設定も簡単であるため、容易に高精度で軸
振れを求めることが可能である。従って、スピンドルモ
ータの品質管理などの測定装置としても容易に適用でき
る。
In addition, the measurement system including the magnetic head, head positioning mechanism, and control system for controlling the positioning mechanism is close to the state assembled as an actual device (magnetic disk device), and can be measured in a state close to the actual device. Since the measurement settings are simpler than the previous technology, it is possible to easily determine shaft runout with high accuracy. Therefore, it can be easily applied as a measuring device for quality control of spindle motors, etc.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の一実施例に係る磁気ディスク装置用測
定装置の構成図
FIG. 1 is a configuration diagram of a measuring device for a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1における位置信号再生回路の構成を示すブ
ロック図
[Fig. 2] Block diagram showing the configuration of the position signal reproducing circuit in Fig. 1

【図3】図1におけるレーザ測長器の構成を示すブロッ
ク図
[Figure 3] Block diagram showing the configuration of the laser length measuring device in Figure 1

【図4】同実施例においてディスク上に予め書き込む位
置情報を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing position information written in advance on a disc in the same embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク                 
     2…スピンドルモータ 3…磁気ヘッド                  
      4…ヘッド位置決め機構 5…圧電アクチュエータ              
  6…粗動ステージ
1...Magnetic disk
2...Spindle motor 3...Magnetic head
4...Head positioning mechanism 5...Piezoelectric actuator
6...Coarse movement stage

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁気ディスクをスピンドルモータにより回
転させながらデータの記録再生を行う磁気ディスク装置
に使用される磁気ディスク装置用測定装置において、前
記磁気ディスク上に記録された情報を読み取るための磁
気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気ディスク上の所
定位置に位置決めするためのヘッド位置決め機構と、前
記磁気ディスク上に予め記録された位置情報を前記磁気
ヘッドを介して再生する手段と、この手段により再生さ
れた位置情報に従って前記磁気ヘッドが前記磁気ディス
ク上の位置情報に追従するように前記ヘッド位置決め機
構を制御する手段と、前記ヘッド位置決め機構の位置変
動から前記磁気ディスクの半径方向の振れを測定する測
定手段とを具備することを特徴とする磁気ディスク装置
用測定装置。
1. A magnetic head for reading information recorded on a magnetic disk in a measuring device for a magnetic disk device used in a magnetic disk device that records and reproduces data while rotating the magnetic disk by a spindle motor. a head positioning mechanism for positioning the magnetic head at a predetermined position on the magnetic disk; means for reproducing positional information previously recorded on the magnetic disk via the magnetic head; means for controlling the head positioning mechanism so that the magnetic head follows positional information on the magnetic disk according to positional information provided by the magnetic head; and measuring radial deflection of the magnetic disk from positional fluctuations of the head positioning mechanism. 1. A measuring device for a magnetic disk device, comprising: measuring means.
【請求項2】前記測定手段は、前記ヘッド位置決め機構
の位置変動を前記磁気ディスクの各回転位置毎に検出す
る検出手段と、この手段により検出された位置変動を記
憶する手段と、この手段により記憶された位置変動を前
記回転位置毎に平均化する手段と、この手段により平均
化された位置変動を記憶する手段と、この手段により記
憶された平均化された各回転位置毎の位置変動を前記検
出手段により新たに検出された現在の各回転位置毎の位
置変動から差し引くことにより、前記磁気ディスクの半
径方向の振れを求める手段とを有することを特徴とする
請求項1記載の磁気ディスク装置用測定装置。
2. The measuring means includes: a detecting means for detecting a positional variation of the head positioning mechanism for each rotational position of the magnetic disk; a means for storing the positional variation detected by the means; means for averaging the stored positional fluctuations for each rotational position; means for storing the positional fluctuations averaged by the means; and means for averaging the positional fluctuations for each rotational position stored by the means. 2. The magnetic disk device according to claim 1, further comprising means for determining the radial deflection of the magnetic disk by subtracting it from the positional fluctuation for each current rotational position newly detected by the detecting means. Measuring device for
JP13512391A 1991-06-06 1991-06-06 Measuring device for magnetic disk device Pending JPH04360065A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13512391A JPH04360065A (en) 1991-06-06 1991-06-06 Measuring device for magnetic disk device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13512391A JPH04360065A (en) 1991-06-06 1991-06-06 Measuring device for magnetic disk device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04360065A true JPH04360065A (en) 1992-12-14

Family

ID=15144364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13512391A Pending JPH04360065A (en) 1991-06-06 1991-06-06 Measuring device for magnetic disk device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04360065A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2391302A (en) * 2002-06-13 2004-02-04 Graham Cyril Rumsey A system for the measurement of torque,vibration, balance and/or speed

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2391302A (en) * 2002-06-13 2004-02-04 Graham Cyril Rumsey A system for the measurement of torque,vibration, balance and/or speed

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5339204A (en) System and method for servowriting a magnetic disk drive
US4087842A (en) Recording track eccentricity compensation method and means
JPS62289977A (en) Magnetic disk device
JPH0823974B2 (en) Method for measuring dynamic track position deviation of recording / reproducing apparatus
JPS6369027A (en) Coarse actuator tracking signal generator
US7256586B2 (en) Method and device for measuring the repeatable and non-repeatable runout of rotating components of a spindle motor
JPH04360065A (en) Measuring device for magnetic disk device
JP3023206B2 (en) Servo writer head positioning device
JP2811816B2 (en) Image rotator servo circuit
JP3374433B2 (en) Clock signal correction circuit
JP2616570B2 (en) Servo track writing device
JPH0536097A (en) Speed detection system for recording and reproducing head
JPH0543371Y2 (en)
JP3049909B2 (en) Optical recording device
JPH08233565A (en) Method and device for measuring shake of rotating body in radial direction
JPS60134786A (en) Speed controller for motor
JPS63161538A (en) Tracking controller for information recording and reproducing device
JPH06223523A (en) Measurement of variation in floating amount of magnetic head
JPH08273182A (en) Rotary recording device
JPH01184638A (en) Optical disk device
JPH0793786A (en) Information processing device
JPH0570085B2 (en)
JPS63175263A (en) Control device for revolution of disk player
JPH04134767A (en) Optical disk device
JPH05135488A (en) Method for incorporating magnetic disk in spindle hub