JPH04339247A - Automatic inspecting device for flaw of solar battery - Google Patents

Automatic inspecting device for flaw of solar battery

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JPH04339247A
JPH04339247A JP1547691A JP1547691A JPH04339247A JP H04339247 A JPH04339247 A JP H04339247A JP 1547691 A JP1547691 A JP 1547691A JP 1547691 A JP1547691 A JP 1547691A JP H04339247 A JPH04339247 A JP H04339247A
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JP
Japan
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image
signal
area
light
value
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Application number
JP1547691A
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Japanese (ja)
Inventor
▲吉▼川 玉容
Tamayasu Yoshikawa
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To inspect the flaw of a solar battery within a short time on the basis of a definite inspection standard. CONSTITUTION:The light emitted from a light source 2 is condensed in an emitting part 3 to irradiate the surface of a solar battery 1 and a light detecting part 4 detects the scattering reflected light from the surface of the solar battery to output the image signal proportional to the quantity of light. A quaternarizing circuit 5 allows the position signals S from a surface scanning means 10 scanning the surface of the solar battery 1 to correspond to an image signal to convert the signal to a quaternarized multivalved image signal. The image formed by the multivalent image signal is set to the image of a predetermined region in a region determining part 6 and this image is converted to an image component showing flaws and dust in an unnecessary part erasing part 7 and further set only to an image showing flaws in a single point erasing part 8 and it is judged whether the surface of the solar battery has flaws larger than ones of a area preset by an area judging part 9 and the judgment result is outputted from the area judging part 9.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は太陽電池傷自動検出装置
に関し、特に太陽電池の表面部の傷の有無について自動
的に検出する太陽電池傷自動検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic solar cell flaw detection apparatus, and more particularly to an automatic solar cell flaw detection apparatus for automatically detecting the presence or absence of flaws on the surface of a solar cell.

【0002】0002

【従来の技術】図8は太陽電池の一例を示した平面図で
ある。
2. Description of the Related Art FIG. 8 is a plan view showing an example of a solar cell.

【0003】太陽電池1は電池面16と、電池面16と
は異る明るさを持つエッジ13と、電池面で生成した電
力を収集する電極線11と、電極線11で収集した電力
を外部に取り出す電極12より構成されている。
The solar cell 1 has a battery surface 16, an edge 13 having a brightness different from that of the battery surface 16, an electrode wire 11 that collects the power generated on the battery surface, and an electrode wire 11 that transmits the power collected by the electrode wire 11 to the outside. It consists of an electrode 12 taken out.

【0004】従来、太陽電池の傷の検出は、全て作業者
による目視検査により行なわれていた。隣接する電極線
11の間隔は2mm程度であり、電極線11の幅は0.
1mm程度であり、通常電池面16に生ずる傷14の幅
は0.01mm程度であって電極線11の幅にくらべて
細い。
[0004] Conventionally, all flaws in solar cells have been detected by visual inspection by an operator. The interval between adjacent electrode lines 11 is about 2 mm, and the width of the electrode lines 11 is 0.2 mm.
The width of the scratch 14 that normally occurs on the battery surface 16 is about 0.01 mm, which is narrower than the width of the electrode wire 11.

【0005】作業者は、被検査物である太陽電池1の表
面を、たとえば、蛍光灯などの光源によって照明した状
態で電池面16からの反射状態を目視し、電池面16の
傷の検出を行っていた。
[0005] The operator visually observes the state of reflection from the battery surface 16 while illuminating the surface of the solar cell 1, which is the object to be inspected, with a light source such as a fluorescent lamp, and detects any flaws on the battery surface 16. I was going.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の太陽電
池の電池面の傷の検出は、作業者による目視検査によっ
ているために、検査基準が作業者により異なるために検
査結果が異なるという欠点があった。また、太陽電池に
は多くの電極線が存在し、その幅が検出しようとする傷
の10倍程度で傷の検出の際に傷とまぎらわしいため、
傷を見落す場合が多く、また、検査に多くの時間を要す
ると共に検査時間の経過につれて作業者の疲労のために
傷を見逃す場合を生じるという欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] The conventional method for detecting flaws on the cell surface of a solar cell as described above is based on visual inspection by an operator, which has the disadvantage that the inspection results vary because the inspection standards differ depending on the operator. there were. In addition, solar cells have many electrode wires, and the width of the wires is about 10 times that of the flaw to be detected, so when detecting a flaw, it can be confused with a flaw.
There are disadvantages in that flaws are often overlooked, and inspection requires a lot of time, and as the inspection time progresses, flaws may be overlooked due to worker fatigue.

【0007】本発明の目的は、上述した太陽電池の電池
面の傷の検出を自動化し、作業者にかわって装置が傷を
検出し、検査結果が作業者に依存せず一定で、従来より
短時間の内に検査を行うことができる太陽電池傷自動検
査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to automate the detection of scratches on the cell surface of a solar cell as described above, so that the device detects the scratches instead of the operator, the inspection results are constant regardless of the operator, and the inspection result is more stable than before. It is an object of the present invention to provide an automatic solar cell flaw inspection device that can perform inspection within a short time.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の太陽電池傷自動
検出装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源より放射さ
れたレーザ光をほぼ一点に近い集光点に集光する出射部
と、前記集光点に位置する被検査物である太陽電池の表
面から反射される前記レーザ光の散乱光の内の少なくと
も一部を集光し前記集光した散乱光の光量に比例したレ
ベルを持つ電気信号に変換して出力する受光部と、前記
出射部と前記受光部との相対的位置関係を一定に保ちか
つ前記表面に前記集光点を位置させながら予め定めた範
囲に亘って前記集光点を走査しかつ前記表面上の前記集
光点の位置を検出し前記位置を示す位置信号を出力する
面走査手段と、前記受光部からの出力を予め定めたレベ
ル範囲別に区分しこれら各レベルを示す多値化された信
号に変換し多値化された信号と前記位置信号によりこの
信号を測定した前記表面上の位置とを対応付けた多値化
画像信号を出力する多値化回路と、前記多値化画像信号
が生成する画像より前記被検査物の所定の領域を抽出し
検査領域信号として出力する領域決定部と、前記検査領
域信号の生成する画像内より前記表面上の傷および塵埃
部を表示する画像部分以外の画像領域に対応する画像信
号成分のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記傷および塵埃を表示
する画像部以外の画像領域を消去した不要部消去信号を
出力する不要部消去部と、前記不要部消去信号の生成す
る画像内で前記表面に付着した塵埃に対応する画像領域
の信号のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記塵埃に対応する画像
を消去した塵埃消去信号を出力する単点消去部と、前記
塵埃消去信号の生成する画像内で多値化レベルの内の前
記光量が最小であるレベルに相当する領域以外の各領域
の画像の面積を領域別に算出し内部に記憶した判定値と
前記領域別の各面積をそれぞれ比較し前記各面積の内で
前記判定値を超過する面積を持った領域が存在するとき
は傷ありと判定し検査結果が不合格であることを示す信
号を出力し前記各面積が何れも前記判定値以下であると
きは検査結果が合格であることを示す信号を出力する面
積判定部とを備えている。
[Means for Solving the Problems] The automatic solar cell flaw detection device of the present invention includes: a laser light source; a light emitting section that focuses the laser light emitted from the laser light source onto a convergence point close to one point; Electricity that collects at least a portion of the scattered light of the laser beam reflected from the surface of the solar cell, which is the object to be inspected, located at the condensing point, and has a level proportional to the amount of the collected scattered light. The light is focused over a predetermined range while maintaining a constant relative positional relationship between the light receiving section that converts it into a signal and outputting it, the light emitting section, and the light receiving section and positioning the light focusing point on the surface. surface scanning means for scanning a point, detecting the position of the focal point on the surface, and outputting a position signal indicating the position; and dividing the output from the light receiving section into predetermined level ranges; a multi-value image signal in which the multi-value signal is associated with a position on the surface where the signal is measured based on the position signal; , an area determination unit that extracts a predetermined area of the object to be inspected from an image generated by the multilevel image signal and outputs it as an inspection area signal; an image portion that displays the scratches and dust by converting a level value of an image signal component corresponding to an image region other than the image portion that displays the dust portion into a level value that minimizes the light amount among the multi-value levels; an unnecessary part erasing unit that outputs an unnecessary part erasing signal that erases image areas other than the above; a single-point erasing unit that outputs a dust erasing signal in which the image corresponding to the dust is erased by converting the light amount to a level value that minimizes the amount of light among the digitalization levels; The area of the image of each area other than the area corresponding to the level where the light amount is the minimum among the value conversion levels is calculated for each area, and the area of each area for each area is compared with the internally stored judgment value. If there is an area with an area exceeding the judgment value, it is determined that there is a flaw, and a signal indicating that the inspection result is rejected is output, and each area is less than or equal to the judgment value. and an area determination unit that outputs a signal indicating that the inspection result is acceptable.

【0009】[0009]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の太陽電池傷自動検出装置の
一実施例を示すブロック図である。光源2としては、た
とえば、レーザ光源が使用される。光源2から放射され
た光は出射部3によって集光され点P付近に、たとえば
、直径が0.1mm程度のほぼ点状に集光される。被検
査物である太陽電池1の電池面が面走査手段10によっ
て点P付近に位置される。面走査手段10は太陽電池1
の電池面の内の何れかを点Pに位置させつつ電池面と平
行なX−Y面に沿って予め決められた方向に移動して予
め設定された領域内の全面に亘って走査する。また、走
査と同時に或る基準点からの点Pまでの現在位置を位置
信号Sとして出力する。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an automatic solar cell flaw detection apparatus according to the present invention. As the light source 2, for example, a laser light source is used. The light emitted from the light source 2 is condensed by the emission part 3 and condensed near a point P, for example, in a substantially dot shape with a diameter of about 0.1 mm. The cell surface of the solar cell 1, which is the object to be inspected, is positioned near a point P by the surface scanning means 10. The surface scanning means 10 is a solar cell 1
While positioning one of the battery surfaces at point P, the device moves in a predetermined direction along the X-Y plane parallel to the battery surface and scans the entire surface within a preset area. Further, at the same time as scanning, the current position from a certain reference point to point P is output as a position signal S.

【0011】受光部4は出射部3および光源2に対して
相対的に固定された位置にあり、電池面で点Pにある電
池面部分からの反射光の内で正反射光すなわちスネルの
法則に従った反射光を除いた散乱反射光を受光し、受光
した光量に比例したレベルの信号に変換した画像信号を
出力する。4値化回路は入力された上述した画像信号の
レベルを予め定めてある4種のレベル内の何れかのレベ
ル値を持つ信号に変換し、かつこの信号を受光部4が検
出したときの電池面上の位置を示す位置信号Sと対応付
けした多値化画像信号を出力する。上述した入力信号の
レベルの変換においては、入力される画像信号が持つす
べてのレベル範囲を4つの予め定めた領域に区分してお
き、入力された画像信号の持つレベルが上述したどの領
域に含まれるかを検出し、入力された画像信号のレベル
が含まれる領域を代表する予め決められたレベルを持つ
信号に変換するものである。
The light receiving section 4 is located at a fixed position relative to the emitting section 3 and the light source 2, and specularly reflected light, that is, Snell's law, out of the light reflected from the battery surface portion located at a point P on the battery surface. It receives the scattered reflected light excluding the reflected light according to the above, and outputs an image signal converted into a signal with a level proportional to the amount of received light. The quaternary circuit converts the level of the above-mentioned input image signal into a signal having a level value of one of four predetermined levels, and when the light receiving unit 4 detects this signal, the battery A multivalued image signal associated with a position signal S indicating a position on the surface is output. In the above-described level conversion of the input signal, the entire level range of the input image signal is divided into four predetermined areas, and it is determined in which of the above areas the level of the input image signal is included. The system detects whether the level of the input image signal is present and converts it into a signal having a predetermined level representative of the area containing the level of the input image signal.

【0012】図2(A)は太陽電池上の各部分からの散
乱反射光の光量とその反射部分との関係の一例を示す説
明図である。たとえば、正常な電池面からの散乱反射光
の光量は0.2μWであり、傷部分からの散乱反射光は
0.4μWから2μWである。
FIG. 2A is an explanatory diagram showing an example of the relationship between the amount of scattered reflected light from each part on the solar cell and the reflected part. For example, the amount of scattered reflected light from a normal battery surface is 0.2 μW, and the amount of scattered reflected light from a scratched portion is 0.4 μW to 2 μW.

【0013】図2(B)は上述した多値化の一例を示す
説明図である。図2(B)においては4値化した場合の
一例が示されている。すなわち、受光部4で散乱反射光
量Pが0.2μW未満の散乱反射光を受光し、この光量
に比例したレベルの画像信号が受光部より出力された場
合には、4値化回路5で変換出力される多値化画像信号
のレベルはレベル1を表わす信号に変換される。散乱反
射光量Pが2μW以上であって、かつ、20μW未満の
散乱反射光を受光部4が受光しこの入射光量に比例した
画像信号を4値化回路5に出力した場合には4値化回路
はこの信号をレベル3を表わす信号に変換する。
FIG. 2(B) is an explanatory diagram showing an example of the above-mentioned multivalue conversion. In FIG. 2(B), an example of the case of 4-value conversion is shown. That is, when the light receiving section 4 receives scattered reflected light with a scattered reflected light amount P of less than 0.2 μW, and an image signal with a level proportional to this light amount is output from the light receiving section, the image signal is converted by the quaternization circuit 5. The level of the output multivalued image signal is converted into a signal representing level 1. If the amount of scattered reflected light P is 2 μW or more and the amount of scattered reflected light is less than 20 μW, and the light receiving section 4 receives the scattered reflected light and outputs an image signal proportional to this amount of incident light to the 4-value conversion circuit 5, the 4-value conversion circuit converts this signal into a signal representing level 3.

【0014】図3は4値化回路5より出力される多値化
画像信号によって生成される画像の一例を示した説明図
である。以下の実施例においては散乱反射光の光量と多
値化画像信号のレベルとは図2(B)の関係に従うもの
とし、また太陽電池上の各部の散乱反射光の光量は図2
(A)の関係に従っているものと仮定している。すなわ
ち、正常な電池面に対応する画像は前述したレベル1を
表わす信号によって生成されるレベル1正常電池面画像
26に変換され、電池面の傷に対応する画像はレベル2
を表わす信号によって生成されるレベル2傷画像24に
変換され、電極線に対応する画像はレベル2を表わす信
号によって生成されるレベル2電極線画像21aが2本
と、レベル3を現す信号によって生成されるレベル3電
極線画像21bに変換される。さらに、太陽電池のエッ
ジに相当する画像はレベル4を表わす信号によって生成
されるレベル4エッジ画像23に変換され、電極部に対
応する画像はレベル4を表わす信号によって生成される
レベル4電極部画像22に変換され、電池面に付着した
塵埃に対応する画像はレベル2を表わす信号によって生
成されるレベル2塵埃画像25に変換されることになる
。図4は図3の部分拡大図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by a multivalued image signal outputted from the quaternary circuit 5. As shown in FIG. In the following examples, the amount of scattered reflected light and the level of the multivalued image signal follow the relationship shown in FIG.
It is assumed that the relationship (A) is followed. That is, an image corresponding to a normal battery surface is converted to a level 1 normal battery surface image 26 generated by the signal representing level 1 described above, and an image corresponding to a scratch on the battery surface is converted to a level 2 normal battery surface image 26.
The image corresponding to the electrode line is generated by two level 2 electrode line images 21a generated by the signal representing level 2 and the signal representing level 3. It is converted into a level 3 electrode line image 21b. Furthermore, the image corresponding to the edge of the solar cell is converted into a level 4 edge image 23 generated by the signal representing level 4, and the image corresponding to the electrode portion is converted to a level 4 electrode portion image 23 generated by the signal representing level 4. 22, and the image corresponding to dust attached to the battery surface is converted into a level 2 dust image 25 generated by a signal representing level 2. FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3.

【0015】図3より明らかなように、レベル4で表わ
される画像部分は図8中に示されたエッジ13に対応す
る部分と電極部12に相当する部分のみであるので4値
化回路部で生成された多値化画像信号中よりレベル4エ
ッジ画像23とレベル4電極部画像22の外部の領域の
画像に相当する部分の画像信号を領域決定部6により消
去処理する。領域決定部6はこの処理した信号を検査領
域信号として電極線消去部7に出力する。図5は領域決
定部6から出力される検査領域信号が生成する画像の一
例を示した説明図である。
As is clear from FIG. 3, the image portion represented at level 4 is only the portion corresponding to the edge 13 and the electrode portion 12 shown in FIG. The area determining unit 6 erases the image signal of the portion corresponding to the image of the area outside the level 4 edge image 23 and the level 4 electrode part image 22 from among the generated multivalued image signals. The region determining section 6 outputs this processed signal to the electrode line erasing section 7 as an inspection region signal. FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by the inspection area signal output from the area determination unit 6.

【0016】検査領域信号が生成する画像中で、図8に
示されている電極線11に対応する画像はレベル2で表
わされる信号によって生成されるレベル2電極線画像2
1aが2箇所と、レベル3で表わされる信号によって生
成されるレベル3電極線画像21bがこれらレベル2電
極線画像21aにはさまれた領域の画像部分である。一
方、検査領域信号が生成する画像中で、図8中の傷14
に対応する画像は、レベル2で表わされる信号によって
生成されるレベル2傷画像24でありレベル2の信号の
みによって形成される画像部分である、同様に塵埃によ
って形成される画像もレベル2で表わされる信号のみに
よる画像である。従って、レベル2で表わされる信号に
よる画像部分が平行しその中間にレベル3で表わされる
信号による画像部分が存在する部分は電極線11に対応
する画像部分のみである。また、検査領域信号によって
生成される画像の内でエッジ13と電極部12に対応し
て生成される画像部分はレベル4で表わされる信号によ
って形成される画像であるから、レベル2塵埃画像25
およびレベル2傷画像24とは異るレベルの信号によっ
て形成されているので、不要画像消去部7に検査領域信
号を入力し、検査領域信号が生成する画像中よりレベル
2で表わされる画像部分のみを残して他の画像領域を生
成する信号成分はすべてレベル1の信号に変換する、す
なわち、傷を表わす画像に対応する信号と塵埃を表わす
画像に対応する信号成分はそのままとし、他の信号成分
はすべてレベル1の信号に変換して傷と塵埃に対応する
画像部分のみを残して他の画像部分を消去する。不要画
像消去部7はこのような変換を行なった信号を不要部消
去信号として出力する。図6は不要部消去信号の生成す
る画像の一例を示す説明図である。図6においては傷に
対応するレベル2傷画像24と、塵埃に対応するレベル
2塵埃画像25のみが画像として存在することになる。
Among the images generated by the inspection area signals, the image corresponding to the electrode line 11 shown in FIG. 8 is the level 2 electrode line image 2 generated by the signal represented by level 2.
The level 3 electrode line image 21b generated by the two locations 1a and the signal represented by level 3 is the image portion of the area sandwiched between the level 2 electrode line images 21a. On the other hand, in the image generated by the inspection area signal, the flaw 14 in FIG.
The image corresponding to is the level 2 flaw image 24 generated by the signal represented by level 2, and is the image portion formed only by the level 2 signal.Similarly, the image formed by dust is also represented by level 2. This is an image based only on the signals that are transmitted. Therefore, the image portion corresponding to the electrode line 11 is the only portion in which the image portions represented by the signal represented by level 2 are parallel and the image portion represented by the signal represented by level 3 is present in between. In addition, since the image portion corresponding to the edge 13 and the electrode portion 12 in the image generated by the inspection area signal is an image formed by the signal represented by level 4, the level 2 dust image 25
Since the level 2 flaw image 24 is formed by a signal of a different level, the inspection area signal is input to the unnecessary image erasing unit 7, and only the image portion represented by level 2 is selected from the image generated by the inspection area signal. All signal components that generate other image regions are converted to level 1 signals, i.e., the signals corresponding to images representing scratches and the signal components corresponding to images representing dust are left as is, and the other signal components are converted to level 1 signals. are converted to level 1 signals, leaving only the image parts corresponding to scratches and dust and erasing the other image parts. The unnecessary image erasing section 7 outputs the signal subjected to such conversion as an unnecessary part erasing signal. FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by the unnecessary portion erasure signal. In FIG. 6, only a level 2 flaw image 24 corresponding to a flaw and a level 2 dust image 25 corresponding to dust exist as images.

【0017】塵埃の大きさは通常0.1mmの直径を有
する円形の領域に包含されるが、太陽電池の動作上支障
を来たし不良と判定すべき傷の大きさは幅が0.1mm
程度で長さが2mm以上のものである。
The size of the dust is usually included in a circular area with a diameter of 0.1 mm, but the size of a scratch that interferes with the operation of the solar cell and should be judged as defective is 0.1 mm in width.
The length is approximately 2 mm or more.

【0018】単点消去部8は前述した不要部消去信号を
入力し、電池部6上にある直径が0.1mm以下の物体
に対応する画像部分に該当する信号のレベルをレベル1
の信号に変換する、すなわち、塵埃に対応する画像部分
を消去した塵埃消去信号を面積判定部9に出力する。図
7は塵埃消去信号が生成する画像の一例を示す説明図で
ある。
The single point erasing unit 8 inputs the above-mentioned unnecessary part erasing signal, and sets the level of the signal corresponding to the image portion corresponding to the object having a diameter of 0.1 mm or less on the battery unit 6 to level 1.
That is, a dust erasure signal in which the image portion corresponding to the dust is erased is output to the area determining section 9. FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by the dust erase signal.

【0019】面積判定部9は予め決められた判定値を記
憶しており、塵埃消去信号が生成する画像上のレベル2
傷画像24の面積を算出し面積値とし、前述した判定値
に対して面積値が等しいかあるいは小であれば、問題と
なる傷がなしと判定し、検査結果が合格であることを現
す判定信号、たとえば、論理値“1”を出力し、もし、
前述の面積値が判定値以上であれば、検査結果が不合格
である判定信号、たとえば、“0”を出力する。
The area determination unit 9 stores a predetermined determination value, and the area determination unit 9 stores a predetermined determination value, and determines the level 2 on the image generated by the dust erasure signal.
The area of the flaw image 24 is calculated and set as an area value, and if the area value is equal to or smaller than the above-mentioned judgment value, it is judged that there is no problematic flaw and the inspection result is passed. Output a signal, for example, a logical value “1”, and if
If the above-mentioned area value is equal to or greater than the determination value, a determination signal indicating that the inspection result is rejected, for example, "0" is output.

【0020】前述した判定値は、たとえば、電池面16
上の幅が0.1mmで長さが2mmの矩形状の部分が持
つ面積である0.2平方mmに対応する塵埃消去信号が
生成する画像の面積に相当する値とすればよい。
[0020] The above-mentioned judgment value is, for example,
The value may be set to a value corresponding to the area of the image generated by the dust erasing signal, which corresponds to 0.2 square mm, which is the area of a rectangular portion having a top width of 0.1 mm and a length of 2 mm.

【0021】以上の実施例においては入力された画像信
号を4値化回路5によって4値化画像信号に変換したが
、対象とする太陽電池の表面の状態に応じて4値以外の
多値レベルを持つ多値信号に変換する多値化回路を4値
化回路5の代りに用いてもよいことは明らかである。
In the above embodiments, the input image signal is converted into a 4-valued image signal by the 4-valued image signal conversion circuit 5; It is clear that a multi-value conversion circuit that converts into a multi-value signal having the following values may be used in place of the quaternary conversion circuit 5.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の太陽電池
傷自動検出装置は、太陽電池の電池面の傷の検出を自動
化し、作業者にかわって装置が傷を検出し、検査結果が
作業者に依存せず一定で、従来より短時間の内に検査を
行うことができる効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, the automatic solar cell flaw detection device of the present invention automates the detection of flaws on the cell surface of solar cells, the device detects flaws in place of the operator, and the inspection results are It has the effect of being able to perform inspections in a shorter time than before, without depending on the operator.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の太陽電池傷自動検出装置の一実施例を
示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an automatic solar cell flaw detection device of the present invention.

【図2】図2(A)は太陽電池上の各部分からの散乱反
射光の光量と反射部分との関係の一例を示す説明図であ
り、図2(B)は多値化の一例を示す説明図である。
[Fig. 2] Fig. 2(A) is an explanatory diagram showing an example of the relationship between the amount of scattered reflected light from each part on the solar cell and the reflected part, and Fig. 2(B) is an explanatory diagram showing an example of multi-leveling. FIG.

【図3】図1の4値化回路5より出力される多値化画像
信号によって生成される画像の一例を示した説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by a multivalued image signal output from the quaternary circuit 5 of FIG. 1;

【図4】図3の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3;

【図5】図1の領域決定部6から出力される検査領域信
号が生成する画像の一例を示した説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by an inspection area signal output from the area determination unit 6 of FIG. 1;

【図6】図1の不要部消去部7が出力する不要部消去信
号の生成する画像の一例を示す説明図である。
6 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by an unnecessary portion erasing signal outputted by the unnecessary portion erasing unit 7 of FIG. 1. FIG.

【図7】図1の単点消去部7が出力する塵埃消去信号が
生成する画像の一例を示す説明図である。
7 is an explanatory diagram showing an example of an image generated by a dust erasing signal outputted by the single point erasing section 7 of FIG. 1. FIG.

【図8】太陽電池の一例を示した平面図である。FIG. 8 is a plan view showing an example of a solar cell.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    太陽電池 2    光源 3    出射部 4    受光部 5    4値化回路 6    領域決定部 7    不要部消去部 8    単点消去部 9    面積判定部 10  面走査手段 1. Solar cells 2 Light source 3 Emission part 4 Light receiving section 5 Quaternary conversion circuit 6 Area determination section 7    Unnecessary part deletion section 8 Single point erasure section 9 Area determination section 10 Surface scanning means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  レーザ光源と、前記レーザ光源より放
射されたレーザ光をほぼ一点に近い集光点に集光する出
射部と、前記集光点に位置する被検査物である太陽電池
の表面から反射される前記レーザ光の散乱光の内の少な
くとも一部を集光し前記集光した散乱光の光量に比例し
たレベルを持つ電気信号に変換して出力する受光部と、
前記出射部と前記受光部との相対的位置関係を一定に保
ちかつ前記表面に前記集光点を位置させながら予め定め
た範囲に亘って前記集光点を走査しかつ前記表面上の前
記集光点の位置を検出し前記位置を示す位置信号を出力
する面走査手段と、前記受光部からの出力を予め定めた
レベル範囲別に区分しこれら各レベルを示す多値化され
た信号に変換し多値化された信号と前記位置信号により
この信号を測定した前記表面上の位置とを対応付けた多
値化画像信号を出力する多値化回路と、前記多値化画像
信号が生成する画像より前記被検査物の所定の領域を抽
出し検査領域信号として出力する領域決定部と、前記検
査領域信号の生成する画像内より前記表面上の傷および
塵埃部を表示する画像部分以外の画像領域に対応する画
像信号成分のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光
量が最小であるレベル値に変換して前記傷および塵埃を
表示する画像部以外の画像領域を消去した不要部消去信
号を出力する不要部消去部と、前記不要部消去信号の生
成する画像内で前記表面に付着した塵埃に対応する画像
領域の信号のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光
量が最小であるレベル値に変換して前記塵埃に対応する
画像を消去した塵埃消去信号を出力する単点消去部と、
前記塵埃消去信号の生成する画像内で多値化レベルの内
の前記光量が最小であるレベルに相当する領域以外の各
領域の画像の面積を領域別に算出し内部に記憶した判定
値と前記領域別の各面積をそれぞれ比較し前記各面積の
内で前記判定値を超過する面積を持った領域が存在する
ときは傷ありと判定し検査結果が不合格であることを示
す信号を出力し前記各面積が何れも前記判定値以下であ
るときは検査結果が合格であることを示す信号を出力す
る面積判定部とを備えたことを特徴とする太陽電池傷自
動検出装置。
1. A laser light source, a light emitting unit that focuses the laser light emitted from the laser light source onto a convergence point close to one point, and a surface of a solar cell that is an object to be inspected located at the convergence point. a light receiving unit that collects at least a portion of the scattered light of the laser light reflected from the laser beam, converts it into an electrical signal having a level proportional to the amount of the collected scattered light, and outputs the electrical signal;
The light focusing point is scanned over a predetermined range while keeping the relative positional relationship between the light emitting section and the light receiving section constant and the light focusing point is positioned on the surface, and the light focusing point on the surface is scanned. A surface scanning means detects the position of the light spot and outputs a position signal indicating the position, and the output from the light receiving section is divided into predetermined level ranges and converted into a multivalued signal indicating each of these levels. a multi-value conversion circuit that outputs a multi-value image signal in which a multi-value signal is associated with a position on the surface where the signal is measured based on the position signal; and an image generated by the multi-value image signal. an area determination unit that extracts a predetermined area of the object to be inspected and outputs it as an inspection area signal; and an image area other than the image part that displays scratches and dust on the surface from within the image generated by the inspection area signal. an unnecessary portion erasing signal that erases an image area other than the image area where the scratches and dust are displayed by converting the level value of the image signal component corresponding to the image signal component into a level value at which the light amount is the minimum among the multi-value levels; and a signal level value of an image area corresponding to the dust attached to the surface in the image generated by the unnecessary part erasing signal to a level value of the signal in the image area corresponding to the dust attached to the surface when the light intensity is the minimum among the multi-value levels. a single point erasing unit that outputs a dust erasing signal that is converted to a certain level value and erases an image corresponding to the dust;
The area of the image of each area other than the area corresponding to the minimum level of the light intensity among the multi-value levels in the image generated by the dust erasing signal is calculated for each area, and the judgment value and the area are stored internally. Compare each of the other areas, and if there is an area with an area exceeding the judgment value, it is determined that there is a flaw, and a signal indicating that the inspection result is rejected is output. An automatic solar cell flaw detection device comprising: an area determination section that outputs a signal indicating that the inspection result is acceptable when each area is less than or equal to the determination value.
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