JPH0433564A - 3相駆動方式リニアブラシレス直流モータ - Google Patents

3相駆動方式リニアブラシレス直流モータ

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JPH0433564A
JPH0433564A JP14025290A JP14025290A JPH0433564A JP H0433564 A JPH0433564 A JP H0433564A JP 14025290 A JP14025290 A JP 14025290A JP 14025290 A JP14025290 A JP 14025290A JP H0433564 A JPH0433564 A JP H0433564A
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JP
Japan
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coil
armature
coils
motor
mover
Prior art date
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Pending
Application number
JP14025290A
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English (en)
Inventor
Osamu Shimoe
治 下江
Teruo Umehara
梅原 輝雄
Hiroya Suzuki
鈴木 弘也
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はロボット、X−Yステージ等の位置決めに用い
られる多極形直流リニアモータに関するものである。
多極形直流リニアモータの基本的な構造と、その駆動方
法については、たとえば「電気学会編:リニアモータと
その応用、電気学会(昭和59年)」9頁〜10真に示
されている。このモータは多極着磁された永久磁石と、
複数個のコイルとから構成されて、長ストロークにわた
り一定方向に推力を発生して移動するものであるが、位
置による推力変動を極力小とするため、磁石との相対位
置の変化に従って駆動電流を変化させるなどの工夫が行
われている。
この形式のリニアモータを可動電機子形3相ブラシレス
モータとして構成した具体例を第5図に示す。第5図(
a)は、固定子(界磁永久磁石)。
可動子(電機子コイル)、および磁極検出用ホール素子
の配置を示す斜視図、第5図(b)は相対位置関係をよ
り詳細に示す側面図である。
第5図において、1は絶縁物からなる可動子基板、21
,22.23はその上に配置された電機子コイル、31
,32.33は磁極検出用ホール素子である。また、4
,6は固定子ヨーク、51〜58は固定Pヨーク4の上
に配列された界磁永久磁石、71〜78は固定子ヨーク
6の上に配列された界磁用永久磁石である。固定子ヨー
ク4および6は、可動子基板1を挟み込むように構成さ
れており、1は、図示しないがリニアスライダに取付け
られて矢印方向への往復運動が可能になっている。
界磁用永久磁石の配置は図のようになっているので、た
とえば磁石56と76の間の部分には」−向きの磁界I
」オが、また磁石57と77の間の部分には下向きの磁
界II−が発生しており、他の磁石間も同様にして、上
下方向の交番磁界が発生している。その繰返しピッチは
磁石の幅に等しくTである。
つぎに、電機子コイル31等を励磁するための回路を第
6図によって説明する。第5図に示した構成例では、電
機子コイルおよびホール素子は3組あり、3相駆動が出
来るようになっているが、本回路はそのうちの1相分に
対応するものである。
図において、21は電機子コイル、31はホール−3= 素子、10はオペアンプ、11および12は出力トラン
ジスタである。他の2相分の回路も同様であって、電源
+Vcc、−Vccは共用され、指令電圧Eも共通に印
加される。
いま、必要とするある推力およびその方向に対応した指
令電圧Eが印加されているとする。ホール素子31が磁
界を受けると磁界に比例した出力電圧が現れ、これがオ
ペアンプ10で増幅され、さらにトランジスタ11.1
2により増幅されて、電機子コイル21には駆動電流が
流れる。この電流の大きさ、方向は、ホール素子31の
出力電圧の大きさ、極性に比例したものとなるように構
成されている。したがって、この電流の大きさ、方向は
、指令電圧Eの大きさ、方向と、ホール素子31の受け
る磁界の大きさ、方向に比例したものとなる。
第5図(b)を用いてさらに詳細を述べる。可動子と固
定子との相対位置が図のようであるとき、電機子コイル
21は、磁石51.71と、磁石52.72の双方にま
たがった状態にある。コイル21の中で、可動子の移動
可能な方向と直交する部分2]Aは、磁石51.71に
よって生ずる下向きの磁界■1−の中におかれており、
また電機子コイルのfal1分21Bは、磁石52.7
2によって生ずる上向きの磁界Hヤの中におかれている
。また、ホール素子31も電機子コイルの部分21Bと
同じく上向きの磁界H+の中におかれている。
この状態のときにホール素子31の出力によって生ずる
(第6図の回路により増幅されて生ずる)電機子コイル
の電流方向が第5図(b)で◎。
×で示したものとなるように、指令電圧Eが設定されて
いるとすれば、電機子コイルの部分21Aおよび21B
はともに右方向に力を受ける。この力により可動子が右
に移動するが、T/2だけ動くと電機子コイルの部分2
1A、21Bおよびホール素子31はいずれも交番磁界
の磁界−〇の領域に来るためにホール素子出力はゼロ、
従って電機子コイルに流れる駆動電流もゼロとなり、こ
の点では推力は発生しない。慣性によって可動子がさら
に右に移動すると、交番磁界の隣の領域に入るため、電
機子コイルの部分21A、21Bの受ける磁界は逆転す
るが、ホール素子31の受ける磁界も逆転し、したがっ
て電機子コイルの駆動電流も逆転するために、電機子コ
イル21の受ける力は依然として右向きであり、可動子
は右への移動を継続する。
電機子コイル21のみについて見れば、その右向きの力
は最大値とゼロの間を繰返し変動する。
変動の周期は、磁石幅Tと同じである。しかし可動子に
は電機子コイル22.23も取りつけられており、これ
らの磁石に対する相対位置は位相的にT/3ずつずれて
いるために、合計した右向きの推力は変動が平均化され
る。とくに、もし交番磁界がH+→O−+)I−の間で
正弦波的に変化するよう構成したときは、合計した推力
には変動はほとんど現れない。
指令電圧の極性を逆転すれば推力の方向は左向きとなる
。また推力の大きさは指令電圧に比例して変化する。
〔発明が解決しようとする問題点3 以上に3相駆動方式リニアプレシレスモータの具体的構
成例を示した。この方式は、界磁永久磁石による交番磁
界の分布を正弦波に近づけられれば、きわめて推力変動
の小さいすぐれた特性を得ることができる。
しかし分布を正弦波に近づけることはマイナスの面もあ
る。界磁永久磁石の形状寸法、配置等を適切にすること
により近づけることが可能であるが、磁気回路の加工コ
ストの増加、磁石の利用効率の低下などが現れて来る。
本発明の目的は、単純な磁気回路構成で、推力変動の小
さい、リニアモータを提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
発明者らは、界磁永久磁石および電機子コイルの相対的
位置を、簡単なルールにより微小量ずらすことにより解
決することをはかった。推力変動が大きくなるのは磁界
分布が台形波的のときであるが、この台形波の形状との
関係も含めて検討を行った。その結果、界磁永久磁石お
よび電機子コアー イルの相対位置を、ある標準値とした部分と、これより
最大値T/6までの範囲ですらせた部分とを設けるのが
きわめて有効であることを発見した。
〔実施例〕
(実施例1) 第1図に、本発明の第一の実施例である可動電機子形リ
ニアモータの斜視図および側面図を示す。
基本的には、第5図(a)に示したものと同じ構成であ
るが、可動子基板1の上には6個の電機子コイル21〜
26と、6個のホール素子31〜36が搭載されている
。電機子コイル21〜23と、24〜26とは、図示し
たようにT/6はなれて設置されている。
リニアモータとしての動作は、第5図について詳細説明
したのて省略するがその推力変動の状況を第2図(a)
に示した。また、第2図(b)には、電機子コイル21
〜23と、24〜26とを離さず、密着させて設置した
ときの推力変動の状況を示した。本発明の効果が顕著に
現れている。
このような効果が得られる理由はっぎのとおリである。
すなわち、第1図の構成の場合には、電機子コイル21
のみに生ずる推力は、可動子1の移動に伴っである最大
値とゼロとの間で変動するがその周期は磁石の幅゛rに
等しい。電機子コイル22のみによる推力は電機子コイ
ル21の推力とr/3の位相差をもって変動し、また電
機子コイル23のみによる推力は、電機f・コイル21
の推力と2T/3の位相差をもって変動することは各コ
イルの配設位置より明かである。この3個のコイルの推
力を合計した推力は、的に記したように交番磁界の分布
形状が正弦波であるときは、個々の変動が互いに打ち消
されてほとんど変動のないものとなるが実際には磁界分
布は台形波に近いものであり、また電機子コイルも、た
とえば21Aの部分はある巻幅をもっているために、こ
れらの影響で完全にフラットにはならない。
いま、電機子コイル2]〜23と、24〜26とを離さ
ず、密着させて配置した場合は、21と24.22と2
5.23と26とはそれぞれ同相で推力を発生するため
に、通常の3相駆動方式となり合11シた推力は変動分
が残り、第2図(b)のごとくになったと考えられる。
電機子コイルが3相に配置されていることから、合計し
た推力の周期は1゛/3になっている。
しかるに本発明のように、電機子コイル21〜23と、
24〜26とをT/8離して配置すると、それぞれの群
のコイルは第2図(b)と同様な推力変動をもつが、こ
れらを合計した推力は各群の推力変動が打ぢ消されて、
第2図(a)のように実用上満足できる程度にフランI
・なものとなるのである。
(実施例2) 第3図に、本発明の第二の実施例である両面駆動方式可
動磁石形リニアモータの斜視図、および可動pの側面図
を示す。図において、10は可動子基板、4および6は
その両面に配置された、軟磁性ヨーク、51〜5Gおよ
び71〜76は永久磁石である。この可動子は、図示し
ないがリニアスライダに取りつけられて矢印方向への移
動が可能になっている。
11および12は軟磁性月利からなる固定子ヨークであ
る。一方、固定子ヨーク11の」二には、電機子コイル
が配置され、このうち21〜26が図示されている。ま
た磁極検出用ホール素子も配置され、31〜36が図示
されている。他方の固定子・ヨークの上にも同様に電機
子コイル1、ホール素子が配置されているが図では示さ
れていない。
11および12は、可動子の移動方向に対しては全く同
相位置に、電機子コイルが配置されている。
3相駆動方式リニアモータとしての動作は第5図につい
て説明したものと全く同様である。可動子10は、電機
子コイルにより両面から駆動され、矢印方向に推力を発
生し移動させることができる。
片面構造のものに比べて2倍の推力を得ることができる
ので、大きさの制約がありかつ大推力の必要な場合に有
利な構造である。
本実施例の場合、上面側の駆動部とF面側の、駆動部と
の相対位置を、はばT/12ずらぜたとき、推力変動は
最小であった。第3図(b)に示すように」二面側の界
磁永久磁石と、上面側の界磁永久磁石とを、可動子の移
動方向に対してT/12ずらせて配置すると、−]二二
面の電機子コイルは同相位置に配置しであるので、上面
側の駆動部と下面側の駆動部の相対位置をT/12ずら
せたことになる。
第4図(a)は、本実施例のものの推力変動状況を示す
。また、比較のために、」−下面の界磁永久磁石間に位
相差を設けず、同相に配置したときの推力変動状況を示
した。本発明による推力変動の低減効果は明かである。
前記実施例(])の場合と異なり、本実施例(2)の場
合は、2つの駆動部と位相差をT/6でなくT/12に
したときに推力変動がより小さくなったことは次のよう
に説明できる。すなわぢ、実施例(1)の場合は第2図
(b)から明かなように、位相差を設けず駆動したとき
の推力変動は周期T / 3が顕著であったが、本実施
例(2)の場合は、第4図(b)から明かなように、位
相差を設けないときの推力変動は周波T/6が顕著であ
った。従って変動低減効果を最大とするには、2つの駆
動部の位相差をr/12とした方がよく、位相差を′]
”/6としたのでは効果がないことが分かる。
〔発明の効果〕
以上にように、本発明によれば推力変動のきわめて小さ
い3相リニアモータを得ることができる。
3相リニアモータの推力変動は磁石幅をTとするときT
 / 3の周期で起きるものが基本はであるため、これ
を打消すには、3相リニアモータの駆動i3[1を複数
個のブロックに分割し、各ブロックの位相差を最大’f
’ / 6とすることが有効となるのである。また推力
変動は、r/3の整数分の1つの周期をもったいわゆる
高調波成分が優勢になることもあるので、推力変動低減
に最適な位相差はr/6とは限らず、その整数分の1と
なることもあり得るのである。
なお、複数個のブロックの機械的な位相差をT/6より
大としても、推力変動の観点から見た実質的な位相差は
T/6より大とはならない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第一の実施例である可動電機子・形リ
ニアモータの斜視図および側面図、第2図は第1図の構
成のものの推力変動状況を示ず図、第3図は本発明の第
二の実施例である両面駆動方式可動磁石形リニアモータ
の斜視図およびi1工動子の側面図、第4図は第33図
の構成のものの推力変動状況を示す図、第す図は従来の
i+J動電機子形十形ブラシレスモータの斜視図および
側面図、第6図は電機子コイルを励磁するための回路を
示す図である。 1および10:可動子・基板、4および6:界磁永久磁
石用ヨーク、11および12:電機子・コイル用ヨーク
、2J−〜26:電機了−コイル、3]〜36:磁極検
出用ホール素子、51〜58および71〜78:界磁永
久磁石。 編 只 ヤ ¥ 只 @ 只

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)N、S極交互に着磁されており、その着磁ピッチ
    がTであるような界磁永久磁石と、これと対向する開角
    がTであるような系統の電機子コイルとから成り、この
    3系統の電機子コイルは界磁永久磁石に対する長手方向
    (動作方向)の相対位置がそれぞれT/3ずつずれ、い
    わゆる3相駆動が可能となるように配置されており、こ
    の界磁永久磁石あるいは電機子コイルのいずれか一方が
    固定子となり、他方が可動子となるように構成されてい
    るリニアブラシレス直流モータにおいて、全対向部につ
    いて上記のごとき関係に保たれておらず、最大T/6ま
    での範囲ずれていることを特徴とする3相駆動方式リニ
    アブラシレス直流モータ。
  2. (2)固定子が界磁永久磁石であり、可動子が3相駆動
    電機子コイルであって、この可動子は2つのブロックか
    らなっており、それぞれのブロックの可動子はいずれも
    コイルの開角がTであり、かつ3相駆動のためにT/3
    ずつずれて配置されたコイルから構成されており、1つ
    のブロックと他のブロックのコイルの相対位置は、最大
    T/6までの範囲でずれていることを特徴とする請求項
    1記載の3相駆動方式リニアブラシレス直流モータ。
  3. (3)固定板の両面に電機子コイルが配置されており、
    それぞれの面の電機子コイルに対向する2群の界磁永久
    磁石が一体となって可動子を形成している両面駆動・可
    動磁石形のリニアモータにおいて、1つの面の永久磁石
    群と、他の面の永久磁石群とが、リニアモータの動作方
    向に対して最大T/6までの範囲でずれて配設されてい
    ることを特徴とする請求項1記載の3相駆動方式リニア
    ブラシレス直流モータ。
JP14025290A 1990-05-30 1990-05-30 3相駆動方式リニアブラシレス直流モータ Pending JPH0433564A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002095333A1 (de) * 2001-05-21 2002-11-28 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur kontaktlosen, linearen positionsmessung
WO2014019438A1 (zh) * 2012-07-31 2014-02-06 上海微电子装备有限公司 直线电机及平台装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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WO2014019438A1 (zh) * 2012-07-31 2014-02-06 上海微电子装备有限公司 直线电机及平台装置
US9755493B2 (en) 2012-07-31 2017-09-05 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Linear motor and stage apparatus

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