JPH04334544A - Laser trapping method - Google Patents

Laser trapping method

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JPH04334544A
JPH04334544A JP10451791A JP10451791A JPH04334544A JP H04334544 A JPH04334544 A JP H04334544A JP 10451791 A JP10451791 A JP 10451791A JP 10451791 A JP10451791 A JP 10451791A JP H04334544 A JPH04334544 A JP H04334544A
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fine particles
laser beam
trapping
laser
particles
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Takashi Sasaki
敬司 笹木
Hiroaki Misawa
弘明 三澤
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Abstract

PURPOSE:To certainly trap even fine particles with a low refractive index or light reflective fine particles such as metal fine particles by subjecting condensed laser beam to rotary operation at a high speed to catch fine particles or a fine particle group. CONSTITUTION:When condensed laser beam is repeatedly subjected to rotary operation in the shape matched with the shape or gathering of an object to be caught such as a circle, a dark part wherein the bottom surfaces of two cones are bonded is formed inside the operated beam. When fine particles enter said part, they receive repulsive force and are caught at the position where the resultant force of repulsive forces received in all of directions is well- balanced with external force such as gravity. In order to confirm this laser trapping phenomenon, the experimental system shown by drawing is used and trapping laser beam is emitted from a laser beam source 1 to be matched with the number of apertures and focal position of a microscopic optical system. Laser beam is condensed to a sample within a microscope by an oil-immersion lens 5 and the state of trapping is formed into an image on a CCD camera 7 to be observed on a monitor 8.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、レーザートラッピン
グ方法に関するものである。さらに詳しくは、この発明
は、低屈折率微粒子または金属微粒子等の光反射性微粒
子の場合にもこれを光トラップし、これら微粒子の加工
、修飾等を行うことのできる新しいレーザートップのた
めの方法と、これを利用した微粒子の加工・修飾に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention This invention relates to a laser trapping method. More specifically, the present invention provides a new method for a laser top that can optically trap light-reflecting particles such as low refractive index particles or metal particles, and process and modify these particles. This is related to the processing and modification of fine particles using this technology.

【0002】0002

【従来の技術とその課題】レーザートラッピングは光の
放射圧を用いてマイクロメートル・オーダの微粒子を捕
捉するもので、1970年、Ashkinによって提案
された手法である。このレーザートラッピングでは、レ
ーザー光を波長オーダまで絞り込むことにより、微粒子
を重力に逆らって持ち上げて3次元的に捕捉することが
可能であり、ビームの走査や試料ステージの移動により
、目的の微粒子だけの非接触なマニピュレーションが可
能であるという特徴を有している。そのため、生物学や
化学の分野で盛んにその応用のための検討が行われてお
り、生物細胞の操作やセルソータ、マイクロサージャリ
ー等が報告されている。また、この発明の発明者もポリ
マーラテックスのレーザアブレーションなどの極微化学
への応用を試みている。
[Prior Art and its Problems] Laser trapping is a technique proposed by Ashkin in 1970 that traps microparticles on the order of micrometers using the radiation pressure of light. In this laser trapping, by narrowing down the laser beam to the wavelength order, it is possible to lift particles against gravity and capture them three-dimensionally. By scanning the beam and moving the sample stage, it is possible to capture only the target particles. It has the feature that non-contact manipulation is possible. Therefore, studies are actively being conducted on its applications in the fields of biology and chemistry, and applications such as manipulation of biological cells, cell sorters, and microsurgery have been reported. The inventor of the present invention is also attempting to apply the invention to microchemistry such as laser ablation of polymer latex.

【0003】しかしながら、このような従来のレーザー
トラッピングでは、周囲の媒質よりも屈折率が高く、か
つレーザー光に対して全く吸収のない微粒子しか捕捉す
ることができないという制約があった。たとえば、溶媒
としてよく使われる水は屈折率が低いため、水滴をトラ
ップすることは困難であった。また、金属微粒子や、ポ
リマーラテックスに金属をコーティングした微粒子はレ
ーザー光を反射するためにトラッピングはできず、逆に
はね除けられてしまう。その理由は、これらの微粒子の
場合、放射力がレーザービームから遠ざかる方向に働く
ためである。
However, such conventional laser trapping has the limitation that it can only trap fine particles that have a higher refractive index than the surrounding medium and that do not absorb laser light at all. For example, water, which is often used as a solvent, has a low refractive index, making it difficult to trap water droplets. Furthermore, fine metal particles and fine particles made of polymer latex coated with metal cannot be trapped because they reflect laser light, but are instead repelled by the laser beam. The reason is that for these particles, the radiation force acts in a direction away from the laser beam.

【0004】すなわち、レーザービームは、微粒子によ
り散乱されて波数ベクトルの方向が変わり、それに比例
して光子の運動量が変化する。その際、運動量保存則に
より微粒子に力(放射圧)が働く。その力は、微粒子の
屈折率が周囲の媒質より高い場合、レーザの集光位置の
方向を向くため、微粒子は集光スポット付近に引き寄せ
られる様に捕捉される。しかしながら、たとえば図1に
示したように、屈折率が周囲より低い微粒子の場合、向
きが逆になり、レーザービームから押し除けられる方向
に力が働く。そのため、この光学系では単一ビームによ
る微粒子の捕捉はできない。
[0004] That is, the laser beam is scattered by fine particles, the direction of the wave number vector changes, and the momentum of the photons changes in proportion to the direction. At this time, force (radiation pressure) acts on the particle due to the law of conservation of momentum. When the refractive index of the particles is higher than that of the surrounding medium, the force is directed toward the laser focal point, so the particles are attracted and captured near the focal spot. However, as shown in FIG. 1, for example, in the case of a fine particle whose refractive index is lower than that of its surroundings, the direction is reversed and a force acts in a direction that pushes it away from the laser beam. Therefore, this optical system cannot capture particles with a single beam.

【0005】同様に、図2は、レーザー光を完全に反射
する微粒子についての放射力を示したものである。1つ
の光子による放射力は反射面に垂直方向、すなわち、こ
の場合微粒子の中心方向を向き、レーザー光全体として
、光強度の高い方から低い方向に押す力が働く。従って
、この場合も、微粒子は捕捉できず、ビームからはね除
けられる現象が起こる。
Similarly, FIG. 2 shows the radiation force for a particle that completely reflects laser light. The radiation force of one photon is directed perpendicularly to the reflecting surface, that is, in this case, toward the center of the fine particle, and a force acts on the laser beam as a whole from the direction of high light intensity to the direction of low light intensity. Therefore, in this case as well, a phenomenon occurs in which fine particles cannot be captured and are repelled from the beam.

【0006】レーザートラッピング方法は、微粒子の光
捕捉という特徴のある手段であって、有機物ポリマー粒
子ばかりでなく、生物細胞、無機物質等のトラップと、
この状態を利用しての微細加工や化学修飾を可能とする
方法として極めて有用なものである。しかしながら、上
記した通り、これまでの方法によっては、低屈折率微粒
子や金属等の光反射性微粒子をトラップすることができ
ないため、その応用の拡がりにはおのずと限界があった
The laser trapping method is a unique method of light trapping of fine particles, and it can trap not only organic polymer particles but also biological cells, inorganic substances, etc.
This state is extremely useful as a method that enables microfabrication and chemical modification. However, as described above, the conventional methods cannot trap low-refractive-index particles or light-reflecting particles such as metals, so there is a natural limit to the expansion of their applications.

【0007】このため、より広範囲な分野において各種
の微粒子に対してレーザートラッピング方法を適用し、
これら微粒子の微細加工、修飾等を可能とする新しい手
段の実現が望まれていた。この発明は、以上の通りの事
情に鑑みてなされたものであり、従来の方法の欠点を改
善し、低屈折率微粒子または金属等の光反射性微粒子で
あっても光トラップすることのできる新しいレーザート
ラッピング方法を提供することを目的としている。
[0007] For this reason, the laser trapping method is applied to various types of fine particles in a wider range of fields.
It has been desired to realize new means that enable fine processing, modification, etc. of these fine particles. This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and is a new method that improves the shortcomings of conventional methods and is capable of optically trapping even low-refractive-index particles or light-reflecting particles such as metals. The purpose is to provide a laser trapping method.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、集光レーザービームを高速で周
回走査して微粒子もしくはそれらの微粒子群を捕捉する
ことを特徴とするレーザートラッピング方法を提供する
。また、この発明は、この捕捉された微粒子の加工・修
飾、さらにはパターン形成や輸送等を行う方法をも提供
する。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a laser trapping method characterized in that fine particles or groups of fine particles are captured by scanning a condensed laser beam in a circular motion at high speed. I will provide a. The present invention also provides methods for processing and modifying the captured fine particles, as well as for forming patterns, transporting them, and the like.

【0009】すなわち、この発明は、集光レーザービー
ムを高速で円形等に周回走査することにより、いわゆる
光のカプセルを作り、その中に微粒子を閉じ込めて3次
元的にトラッピングする手法を提案する。この手法を用
いれば、レーザートラッピングの応用範囲が広がるだけ
でなく、従来のレーザートラッピングの様に、捕捉した
い微粒子以外の微粒子までが放射圧で引き寄せられるこ
とがない(近づいてきても光の壁ではね除けられる)た
め、単一微粒子のスペクトロスコピーを行う上でも有利
である。
That is, the present invention proposes a method of creating a so-called optical capsule by scanning a condensed laser beam circularly or the like at high speed, and trapping fine particles three-dimensionally within the capsule. Using this method not only expands the range of applications of laser trapping, but also eliminates the possibility that particles other than the ones you want to trap will be attracted by the radiation pressure, unlike conventional laser trapping. It is also advantageous for spectroscopy of single particles.

【0010】この発明の方法、その原理としては、図3
に示したように、集光レーザービームで円形等の捕捉対
象の形状や集合に合わせた形に高速で繰り返し周回走査
する。このとき、時間平均した空間強度分布は、各時刻
における強度分布のインコヒーレントな足し合わせとな
る。従って、幾何学的に考えると、走査ビームの内側に
2つの円錐の底面をくっ付けた形の暗所(光の当たらな
い部分)ができる。この部分に微粒子や微粒子群が入る
と、上下左右どの方向に動いても斥力を受け、いわゆる
光の壁ができる。実際には、波動光学的に、暗所の部分
でも光強度は零とならず、すべての方向から斥力を受け
る状態となり、その合力が重力等の外力とつり会った位
置で微粒子は捕捉される。
The method of this invention and its principle are shown in FIG.
As shown in , a focused laser beam is repeatedly scanned at high speed in a circular shape or other shape that matches the shape or group of objects to be captured. At this time, the time-averaged spatial intensity distribution is an incoherent summation of intensity distributions at each time. Therefore, when considered geometrically, a dark area (a part not illuminated by light) is created inside the scanning beam in the shape of two conical bottoms joined together. When particles or groups of particles enter this area, they receive a repulsive force no matter which direction they move, creating what is called a wall of light. In reality, according to wave optics, the light intensity does not reach zero even in dark areas, and the particle receives repulsive forces from all directions, and particles are captured at the position where the resultant force balances the external force such as gravity. .

【0011】図4(a)は、レーザービームの焦点面(
集光スポットが走査する面)上の中心を通る軸上におけ
る力学的ポテンシャルを模式的に表わしたものである。 2つの山がレーザービームの走査位置に対応し、その間
のディップの平衡位置に存在する。2つの山の頂点より
外側では、ポテンシャルが減少して外向きの力が働く。 従って、光の壁の外の微粒子が平衡位置に入ることはで
きない。そのため、トラッピングを行なう場合は、まず
、レーザービームを照射しない状態で、ブラウン運動あ
るいはステージ走査により微粒子を捕捉位置付近まで移
動させた後、ビームを照射してトラップするという操作
が必要となる。この点が、図4(b)の様なすり鉢状の
力学的ポテンシャルを持つ従来のレーザートラッピング
と異なる。しかし、逆に、従来のレーザートラッピング
では、目的とする微粒子以外の粒子までが時間と共にポ
テンシャルの底に集まってしまい、スペクトロスコピー
等を行なう上で問題となっていたが、この発明の方法で
は、完全に単一微粒子の捕捉が可能である。
FIG. 4(a) shows the focal plane (
This is a schematic representation of the mechanical potential on the axis passing through the center of the surface scanned by the focused spot. The two peaks correspond to the scanning position of the laser beam and exist at the equilibrium position of the dip between them. Outside the tops of the two mountains, the potential decreases and an outward force acts. Therefore, particles outside the light wall cannot enter the equilibrium position. Therefore, when performing trapping, it is necessary to first move the particles near the trapping position by Brownian motion or stage scanning without irradiating the laser beam, and then irradiate the particle with the beam to trap it. This point differs from conventional laser trapping which has a cone-shaped mechanical potential as shown in FIG. 4(b). However, in conventional laser trapping, particles other than the target particles gather at the bottom of the potential over time, which poses a problem when performing spectroscopy, etc. However, with the method of this invention, Complete capture of single particles is possible.

【0012】以上の通りの原理的特徴を有するこの発明
の方法においては、対象とする微粒子が、これまでその
光トラップが困難であった低屈折率の各種の微粒子や、
金属、合金等の光反射の微粒子にまで拡大適用すること
ができる。これらの微粒子の種類には制限はなく、その
種類を考慮して各種のレーザー光を使用することができ
る。
[0012] In the method of the present invention having the above-mentioned principle characteristics, the target fine particles include various types of fine particles with a low refractive index, which have been difficult to optically trap.
It can also be applied to light-reflecting fine particles such as metals and alloys. There is no restriction on the type of these fine particles, and various laser beams can be used in consideration of the type.

【0013】また、この発明の方法によってトラップし
た微粒子(その集合状態を含めて)に対しては、パルス
レーザー、その他のエネルギー線の照射、あるいは化学
的変性材を使用することにより、その加工、修飾を行う
ことができる。微粒子の組成、特性そのものの変化から
、表面性状の変質まで、多様な加工、修飾が可能となる
。また、レーザー光の移動、反射回折等の利用によって
、パターニングや、輸送も可能となる。
[0013] Furthermore, the fine particles (including their aggregated state) trapped by the method of the present invention can be processed, processed, or Qualifications can be made. A variety of processing and modifications are possible, from changing the composition and properties of fine particles to altering their surface properties. In addition, patterning and transportation are also possible by using movement of laser light, reflection and diffraction, etc.

【0014】分散媒体についてもその種類に特に制限は
ない。水、アルコール、エーテル等の有機溶媒、その他
の各種の媒体が使用できる。
[0014] There are no particular restrictions on the type of dispersion medium. Water, alcohol, organic solvents such as ether, and various other media can be used.

【0015】[0015]

【実施例】以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発明
のレーザートラッピング方法について説明する。この発
明の構成とその作用効果を確認するための実験システム
の構成を例示したものが図5である。この例において使
用しているトラッピング用レーザー光はCWNd:YA
Gレーザー(SpectronSL902T、波長10
64nm)である。レーザー光源(1)からのこのレー
ザー光を2枚のガルバノミラー(GSI  G325D
T)(2)で2軸方向に偏向させ、2枚のレンズ系(3
)て顕微鏡光学系の開口数と焦点位置に合わせる。顕微
鏡(Nikon OptiphotXF)内ではダイク
ロイックミラー(4)で反射し、油浸対物レンズ(x1
00、NA=1.30)(5)で試料上に集光する。集
光スポットの大きさは約1μmである。 2枚のガルバノミラー(2)は共に顕微鏡の開口瞳と結
像位置にあり、ガルバノミラー(2)による偏向により
、焦点位置は試料上を2次元的に走査する。ガルバノミ
ラー(2)はコントローラ(Marubun)(6)で
制御され、たとえば、後述する円形のパターンの場合、
毎秒33回の繰り返し描画が可能である。描画パターン
の形状・大きさはコンピュータ(NEC  PC980
1RA)からコントローラに指示を与える。微粒子トラ
ッピングの様子は、試料の下方からの照明により、CC
Dカメラ(NEC  NC−15M)(7)上に結像し
てモニター(8)によって観測する。レーザー光のパワ
ーは、試料上で145mWであった。
EXAMPLES Hereinafter, the laser trapping method of the present invention will be explained in more detail by way of examples. FIG. 5 shows an example of the configuration of the present invention and the configuration of an experimental system for confirming its effects. The trapping laser beam used in this example is CWNd:YA
G laser (SpectronSL902T, wavelength 10
64 nm). This laser light from the laser light source (1) is transmitted through two galvanometer mirrors (GSI G325D).
T) (2) deflects in two axial directions, and the two lens system (3
) to match the numerical aperture and focus position of the microscope optical system. Inside the microscope (Nikon Optiphoto
00, NA=1.30) (5) to focus the light onto the sample. The size of the focused spot is approximately 1 μm. The two galvano mirrors (2) are both located at the aperture pupil and imaging position of the microscope, and the focal position scans the sample two-dimensionally by deflection by the galvano mirrors (2). The galvanometer mirror (2) is controlled by a controller (Marubun) (6), and for example, in the case of a circular pattern described below,
It is possible to repeat drawing 33 times per second. The shape and size of the drawing pattern is determined by a computer (NEC PC980
1RA) gives instructions to the controller. The state of particle trapping can be observed with CC by illuminating from below the sample.
The image is formed on a D camera (NEC NC-15M) (7) and observed on a monitor (8). The power of the laser light was 145 mW on the sample.

【0016】図6(a)(b)は、流動パラフィン(屈
折率1.46−1.47、粘度25cP)中に分散させ
た粒径約4μmの水滴(屈折率1.33)をレーザー捕
捉している様子である。レーザービームは、水滴(図中
の実線矢印)の回りを約6μmの直径で回転走査してい
る。この水滴は、顕微鏡のステージをx、y方向に動か
しても静止しているが、その近傍の水滴(図中の破線矢
印)は移動しているのがわかる。また、ステージを上下
させてもボケないことから、3次元的に捕捉されている
ことが確認された。さらに、コンピュータのプログラム
により、円形走査の中心をx、y平面内で移動させると
、それにしたがって、微粒子が輸送される様子も観測で
きた。レーザー走査を停止して一点だけを照明すると、
この水滴は、その点から逃げる方向に動くことから、図
1で示したように、放射圧は斥力として微粒子に働いて
いることも確認できた。
FIGS. 6(a) and 6(b) show water droplets (refractive index 1.33) with a particle size of approximately 4 μm dispersed in liquid paraffin (refractive index 1.46-1.47, viscosity 25 cP) that are captured by laser. It appears that they are doing so. The laser beam rotates and scans around the water droplet (solid arrow in the figure) with a diameter of about 6 μm. Although this water droplet remains stationary even when the stage of the microscope is moved in the x and y directions, it can be seen that the water droplets in the vicinity (dashed line arrows in the figure) are moving. Furthermore, since the image did not blur even when the stage was moved up and down, it was confirmed that the image was captured three-dimensionally. Furthermore, by using a computer program to move the center of the circular scan within the x and y planes, it was possible to observe how the particles were transported accordingly. If you stop laser scanning and illuminate only one point,
Since the water droplets moved in the direction of escaping from that point, it was confirmed that the radiation pressure acts on the particles as a repulsive force, as shown in Figure 1.

【0017】図7(a)(b)は、水中で鉄の粉末(粒
径約2μm)を捕捉している(図中の実線矢印)様子で
ある。捕捉されていない粒子は図の右から左に移動して
いる(図中の破線矢印)が、光の壁により捕捉微粒子を
巻くように流れている。この場合、z軸方向にトラップ
することはできなかったが、x、y方向には自由に移動
させることが可能であった。この試料に集光ビームを直
接照射すると、一瞬にして視野外に弾き飛ばされた。
FIGS. 7(a) and 7(b) show how iron powder (particle size of approximately 2 μm) is trapped in water (solid arrows in the figures). Particles that are not captured are moving from right to left in the figure (dashed arrows in the figure), but the wall of light causes the particles to flow around the captured particles. In this case, it was not possible to trap in the z-axis direction, but it was possible to move freely in the x and y directions. When this sample was directly irradiated with a focused beam, it was instantly bounced out of the field of view.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上、詳しく説明した通り、この発明に
より、レーザービームを走査することにより、屈折率が
媒質よりも低い微粒子や金属等の光反射性微粒子を捕捉
・操作することが可能となる。そして、この方法により
、従来より発明者が行なってきたトラッピングによる修
飾・加工等の自由度を増すと共に、その応用範囲も拡が
る。また、シリコン等も操作できることからマイクロマ
シーンの組立てや駆動装置としての応用も考えられる。 さらに、この発明の方法は、発明者が提案している微粒
子パターン形成や輸送等のマニピュレーションにも拡張
できる。
[Effects of the Invention] As explained in detail above, according to the present invention, by scanning a laser beam, it becomes possible to capture and manipulate light-reflecting particles such as particles with a refractive index lower than that of the medium and metals. . This method not only increases the degree of freedom of modification and processing by trapping, which the inventor has conventionally performed, but also expands the scope of its application. Furthermore, since it can manipulate silicon, etc., it can also be used in the assembly of micromachines and as a driving device. Furthermore, the method of the present invention can be extended to manipulations such as particle pattern formation and transportation proposed by the inventors.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】従来方法による微粒子の放射作用を示した模式
図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the radiation effect of fine particles according to a conventional method.

【図2】従来方法による微粒子の放射作用を示した模式
図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the radiation effect of fine particles according to a conventional method.

【図3】この発明のレーザートラッピング方法を原理的
に示した模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing the principle of the laser trapping method of the present invention.

【図4】(a)(b)は、焦点面における力学的ポテン
シャル状態を示した模式状態図である。
FIGS. 4(a) and 4(b) are schematic phase diagrams showing the mechanical potential state at the focal plane.

【図5】この発明の実施例としての装置構成図である。FIG. 5 is a diagram showing the configuration of an apparatus as an embodiment of the present invention.

【図6】(a)(b)は、この発明の実施例として、流
動パラフィン中に分散させた水粒子のレーザートラッピ
ングを示した平面図である。
FIGS. 6(a) and 6(b) are plan views showing laser trapping of water particles dispersed in liquid paraffin as an example of the present invention.

【図7】(a)(b)は、この発明の実施例として、水
中に分散させた鉄粉末のレーザートラッピングを示した
平面図である。
FIGS. 7(a) and 7(b) are plan views showing laser trapping of iron powder dispersed in water as an example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  レーザー光源 2  ガルバノミラー 3  レンズ系 4  ダイクロイックミラー 5  対物レンズ 6  コントローラ 7  CCDカメラ 8  モニター 1 Laser light source 2 Galvano mirror 3 Lens system 4 Dichroic mirror 5 Objective lens 6 Controller 7 CCD camera 8. Monitor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  集光レーザービームを高速で周回走査
して微粒子もしくはそれらの微粒子群を捕捉することを
特徴とするレーザートラッピング方法。
1. A laser trapping method comprising trapping fine particles or groups of fine particles by scanning a condensed laser beam in a circular motion at high speed.
【請求項2】  請求項1の方法によって捕捉した微粒
子もしくはその微粒子群に加工、修飾することを特徴と
するレーザートラッピング加工・修飾方法。
2. A laser trapping processing/modification method, which comprises processing and modifying the fine particles or a group of fine particles captured by the method according to claim 1.
【請求項3】  請求項1の方法によって捕捉した微粒
子もしくはその微粒子群をパターン形成もしくは輸送す
ることを特徴とするレーザートラッピング動態形成方法
3. A laser trapping dynamic formation method, which comprises patterning or transporting the fine particles or a group of fine particles captured by the method according to claim 1.
JP10451791A 1990-12-13 1991-05-09 Laser trapping method Expired - Lifetime JPH07110340B2 (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10451791A JPH07110340B2 (en) 1991-05-09 1991-05-09 Laser trapping method
CA002057506A CA2057506C (en) 1990-12-13 1991-12-12 Laser trapping and method for applications thereof
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EP91311607A EP0490697B1 (en) 1990-12-13 1991-12-13 Laser trapping and method for applications thereof

Applications Claiming Priority (1)

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JP10451791A JPH07110340B2 (en) 1991-05-09 1991-05-09 Laser trapping method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04334544A true JPH04334544A (en) 1992-11-20
JPH07110340B2 JPH07110340B2 (en) 1995-11-29

Family

ID=14382690

Family Applications (1)

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