JPH0432781A - 静電界測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 近年における半導体技術の飛躍的な進歩と、電子機器の
大幅な高性能化に伴って、人工電気雑音および静電気放
電による障害が増大する傾向にある。

未知空間の静電気による電界分布の正確な測定が可能で
あれば、上記のような障害に対する有効な対策を施し得
ることとなる。

本発明は、静電気による電界分布の測定装置に関するも
のである。

従来の技術 第１１図は、従来の回転セクタ形静電気測定器の構成原
理を示す図で、Ｑは帯電物体、ＳＥは回転セクタで、第
１２図に正面図を示すように、扇形の金属製羽根を複数
枚回転軸に取り付けて形成しである。Ｍは回転駆動モー
タ、Ｐは検出電極、Ｔｏは増幅器への接続端子である。

静電界の任意個所に物体Ｑを置（と、静電誘導によって
物体Ｑが帯電し、回転駆動モータＭにより回転セクタＳ
Ｅを定速回転せしめると、帯電物体Ｑと検出電極１間の
電気力線が断続され、検出電極Ｐに交流信号を生ずる。

検出電極Ｐに生じた交流信号は、端子Ｔ。から測定器の
交流増幅器に加えられ、その増幅出力が整流されて直流
指示計器に導入される。（静電気学会編、昭和５６年５
月３０日発行、静電気ハンドブック、第１版、第１２章
静電気測定、第３６１頁参照）発明が解決しようとする
課題 上記従来の回転セクタ形静電気測定器においては、回転
セクタＳＥの回転軸が接地されるとともに、検出電極Ｐ
が測定器を介して接地されるため、回転セクタＳＥおよ
び検出電極Ｐを被測定静電界に置いた場合に、回転セク
タＳＨの回転軸および検出電極Ｐが接地電位となって被
測定静電界の電位分布が大きく変化し、正確な測定を行
うことができない。

課題を解決するための手段 本発明装置は、絶縁回転駆動軸の一端に支持された一対
の電極と、 前記一対の電極の任意の一方の電極に設けた誘導起電圧
の検出送信回路と、 前記誘導起電圧の検出送信回路の送信信号の受信回路と
、 前記一対の電極の回転角検出信号発生装置とを備えると
ともに、 前記誘導起電圧の検出送信回路が、前記電極に生じた誘
導起電圧の加えられる増幅回路と、この増幅回路出力の
加えられる電圧周波数変換回路と、この電圧周波数変換
回路出力により断続せしめられる搬送波の発振回路と、
この発振回路出力が加えられて発光する発光グイオーに
と、前記各回路素子の作動電源とを備えて成り、 前記誘導起電圧の検出送信回路の送信信号の受信回路が
、前記発光ダイオードの発する光の受光素子と、この受
光素子の出力に対応するパルス信号か被計数入力信号と
して加えられるとともに、前記一対の電極の回転角検出
信号発生装置の出力かりセット信号として加えられるパ
ルスカウンタと、このパルスカウンタの計数値の指示装
置とを備えることによって従来の欠点を除こうとするも
のである。

作用 絶縁回転駆動軸によって回転せしめられる一対の電極の
各表面に、静電誘導により生じた起電圧による両電極間
の電位差は、両電極間の漏洩によって消滅する前に、画
電極の位置の逆転に応じて新たに生じた誘導起電圧によ
る電位差を生ずるから、各電極には常に被測定静電界の
電位に対応する誘導起電圧が保持されることとなる。

一方の電極に生じた起電圧は、この電極に設けた起電圧
の検出送信回路において増幅され、この増幅出力に対応
する周波数のパルス信号に変換され、このパルス信号の
周波数に応じて断続せしめられる搬送波が加えられる発
光ダイオードからパルス状の光が放射される。

この放射光は受信回路における受光素子に入射し、その
出力電気信号に対応するパルス信号がパルスカウンタに
よって計数される。

このパルスカウンタは、一対の電極の回転角検出信号発
生装置の出力パルス信号によってリセットされるから、
電極に生じた誘導起電圧に対応するパルス信号を繰返し
計数することとなり、その計数値が指示装置に導入され
て被測定静電界の電位を指示することとなる。

実施例 第１図は、本発明の一実施例における要部、すなわち、
測定センサ部分の構成の一例を示す斜視図で、Ｅｌおよ
びＲ２は回転電極で、それぞれ周壁を導体で形成した薄
形の立方体より成る。

図には電極Ｅ１およびＲ２を直方体に形成した場合を例
示しであるが、横断面の形状が円形または楕円形等の有
底筒体に形成してもよく、あるいは球形に形成しても本
発明を実施することができる。

電極Ｅ１およびＲ２の形状寸法は、必ずしも互いに同一
ならしめる必要はなく、回転振れを生じて回転が阻害さ
れるおそれのない限り、互いの形状寸法を異ならしめて
もよい。

ＣＯＭは結合用絶縁板で、電極Ｅ＋およびＲ２を互いに
適宜間隔を隔てて一体に結合する。ＡＸは回転駆動軸で
、絶縁体より成り、その一端を結合用絶縁板ＣＯＭの中
心部に取付けである。

なお、回転電極Ｅ１およびＲ２が回転駆動軸ＡＸに対し
て対称的に支持されるように形成する代りに、回転振れ
を生じて回転が阻害されるおそれのない範囲で非対称的
に支持せしめてもよい。

ＭＯＴは回転駆動軸ＡＸの他端に取付けた回転駆動モー
タ、ＤｒＳは不透明体より成る円板で、その周辺のうち
、中心に対称な任意の２個所に切込みを設けである。Ｃ
ＡＳは円板ＤＩＳの周辺を介して対向する光源および光
電変換素子を内装した筐体で、この筐体ＣＡＳに内装さ
れた光源、光電変換素子および円板ＤＴＳによって光電
変換形パルス発生装置が形成され、円板ＤＩＳの周辺に
設けた２個の切込みを連ねる線と、回転電極Ｅ、および
Ｒ２の各中心を連ねる線との間に適宜の角度（回転電極
Ｅ、およびＲ２の回転速度等に応じて適宜選択される角
度）をもたせて、回転電極Ｅ□およびＲ２の逆転と同期
したパルス信号を出力せしめるように形成しである。

なお、回転駆動軸ＡＸは、その軸長を可能な限り長く形
成し、回転駆動モータＭＯＴに近い個所に円板ＤＩＳを
取付けである。

円板ＤＩＳならびに筺体ＣＡＳに内装された光源および
光電変換素子より成る光電変換形パルス発生装置の代り
に、回転駆動軸ＡＸに磁性体より成る円板を取付け、そ
の周辺のうち、中心に対称な任意の２個所に凸部または
凹部を設けるとともに、磁芯に捲回されたコイルより成
る電磁センサを磁性体より成る円板の周縁に対向せしめ
て形成した電磁形パルス発生装置を用いてもよい。

電極Ｅ１またはＲ２のいずれか一方、例えば電極Ｅ２の
中空内部に、電極Ｅ２の表面に生じた誘導起電圧の検出
および送信回路を形成する増幅回路、電圧周波数変換回
路、搬送波発振および変調回路、赤外線発光ダイオード
および直流電源等を内装しである。

第２図は、この誘導起電圧の検出および送信回路の構成
の一例を示す図で、ＳＤＣは直流電源、Ｒ１およびＲ２
は分圧抵抗、Ｒ３は入力抵抗、Ｅ、およびＲ２は第１図
に示した回転電極、Ａ１は差動増幅回路、Ａ２は緩衝増
幅回路、ＶＦ、は電圧周波数変換回路、ＭＯＤは搬送波
発振および変調回路、ＬＥＤは赤外線発光ダイオード、
Ｒ４は電流制限抵抗である。

なお、赤外線発光ダイオードＬＥＤの取付は個所に対応
する電極Ｅ２の周壁に適宜の大きさの孔隙を穿ち、この
孔隙を介して赤外線発光グイ才−ドＬＥＤの発する赤外
線が外部へ放射し得るように形成する。

この場合、赤外線発光ダイオードＬＥＤの発する赤外線
の放射範囲が極端に狭くなるおそれがある場合には、電
極Ｅ２の周壁に設けた孔隙から赤外線発光ダイオードＬ
ＥＤの光放射窓を突出させて、赤外線発光ダイオードＬ
ＥＤの発する光が広範囲に放射されるように形成する。

第３図は、本発明の一実施例における要部、すなわち受
信回路の構成の一例を示す図で、■、は第１図に示した
円板ＤＩＳおよび筺体ＣＡＳに内装された光源ならびに
光電変換素子より成る光電変換形パルス発生装置の出力
パルスの入力端子、ＰＨＯは例えばフォトトランジスタ
より成る受光素子および前置増幅回路を内装した筐体で
、光の入射窓に赤外線透過フィルタを装着しである。Ｌ
Ｆは例えば低域通過ろ波回路より成る復調回路、ＶＦＲ
は電圧周波数変換回路、ＣＯＵはパルスカウンタ、ＤＳ
Ｐは指示装置である。

なお、この受信回路は、構成素子全体を共通の筐体に収
納して一体に形成してもよく、筐体ＰＨＯを除（他の構
成素子を一体に形成し、筐体ＰＨＯと他の構成素子を内
装した筐体を互いに離れた個所に設置するように構成し
てもよく、または指示装置ＤｓＰのみを比較的離れた個
所に設けるか、筐体ＰＨＯと指示装置ＤＳＰとを除く他
の構成素子を共通の筐体に収納して３個の筐体に分割収
納するように形成してもよい。

不要の光による外乱のおそれのない場合には、誘導起電
圧の検出および送信回路における赤外線発光ダイオード
の代りに通常の発光ダイオードを用い、受信回路におけ
る筐体ＰＨＯの光の入射窓に設けた赤外線フィルタを省
いて本発明を実施することができる。

電極Ｅ＋およびＲ２を被測定静電界の任意個所に位置せ
しめると、静電誘導によって電極Ｅ、およびＲ２の各表
面に電荷を生じ、電極Ｅ、およびＲ２における静電誘導
の相違によって電極Ｅ１とＲ２間に電位差を生ずるが、
電極Ｅ１およびＲ２を回転させることなく静止状態に保
つと、電極Ｅ１およびＲ２間の漏洩によって電極Ｅ１お
よびＲ２は比較的短時間で同電位となる。

しかしながら、回転駆動モータＭＯＴによって電極Ｅ１
およびＲ２間の漏洩時定数より速い速度で電極Ｅ＋およ
びＲ２を回転させると、電極Ｅ１およびＲ２間の電位差
が漏洩によって消滅する前に電極Ｅ１とＲ２の位置が逆
転して画電極Ｅ１およびＲ２間に前記と逆向きの電位差
を生じ、画電極Ｅ１およびＲ２の回転に応じてこの電位
差の逆転状態が繰り返されることとなる。

いま、回転電極Ｅ１およびＲ２が置かれた静電界が平等
電界であるとし、電極Ｅ１およびＲ２の各表面積をＳ、
電界強度なＥ、電界方向に対する電極Ｅ１およびＲ２の
回転角をθとすると、回転電極Ｅ１またはＲ２の表面に
誘導によって生ずる電荷量ｑは次式で表わされる。

ｑ＝Ａ−Ｅ−８・　ｃｏｓθ Ａ：電極Ｅ１およびＲ２の形状等によって定まる定数 上式から明らかなように、回転電極Ｅ１およびＲ２の各
表面に誘導によって生ずる電荷量は、正弦波状に変化す
ることとなる。

第１図に示した結合用絶縁板ＣＯＭを高絶縁抵抗を有す
る材質で形成し、電極Ｅ１およびＲ２の間隔を適当に選
ぶことにより電極Ｅ１およびＲ２間の漏洩時定数を数秒
とすることが可能であるがら、電極Ｅ１およびＲ２を毎
秒数回の割合で回転させることにより、電極Ｅ、および
Ｒ２の誘導起電圧の電位差が漏洩によって消滅する前に
電極Ｅ＋およびＲ２の位置を逆転させて逆向きの電位差
を生せしめることができる。

回転電極Ｅ２の誘導起電圧は、第２図に示した差動増幅
回路Ａ１に加えられ、入力抵抗Ｒ３を介して加えられる
基準電圧（抵抗Ｒ９およびＲ２より成る分圧回路の分電
圧）との差電圧に対応する増幅出力が緩衝増幅回路Ａ２
を介して電圧周波数変換回路ＶＦＴに加えられ、緩衝増
幅回路Ａ２の出力電圧に対応する周波数のパルス信号電
圧が出力される。

このパルス信号電圧は、搬送波発振および変調回路ＭＯ
Ｄに加えられ、回路ＭＯＤにおいて発振される例えば５
０ｋＨｚの搬送波を断続せしめ、この断続出力により赤
外線発光ダイオードＬＥＤが断続的に発光し、パルス状
に変化する赤外線が放射される。

したがって、赤外線発光ダイオードＬＥＤから放射され
るパルス状赤外線の断続周波数は、回転電極Ｅ２の表面
における誘導起電圧に対応したものとなる。

第４図は、第２図に示した差動増幅回路Ａ＋の出力電圧
（ｍＶ）　［横軸］と搬送波発振および変調回路ＭＯＤ
の出力信号の周波数（ｋＨｚ）　　［縦軸］との関係の
一例を示す曲線図で、図から明らかなように、差動増幅
回路Ａｔの出力電圧、すなわち、回転電極Ｅ２の表面に
おける誘導起電圧に対応した電圧と搬送波発振および変
調回路ＭＯＤの出力信号の周波数との関係はほぼ直線的
である。

次に、第３図に示した受信回路を被測定静電界に歪を与
えるおそれのない個所に位置せしめ、筐体ＰＩ（０の光
の入射窓に回転電極Ｅ２に設けた赤外線発光ダイオード
ＬＥＤの発する断続赤外線が入射し得るように配置する
と、筺体ＰＩ（０の光の入射窓から入射した断続赤外線
は、筐体ＰＨＯに内装されたフォトトランジスタにより
パルス電圧に変換されて低域通過ろ波器ＬＦに加えられ
、入力パルス電圧の周波数に対応する大きさの直流電圧
となり、電圧周波数変換回路ＶＦＲにおいて入力直流電
圧に対応する周波数のパルス信号に変換される。

この変換パルス信号はパルスカウンタＣＯＨに加えられ
て計数されるが、パルスカウンタＣＯＵには第１図に示
した円板ＤＩＳ　、筐体ＣＡＳに内装された光源および
光電変換素子より成る光電変換形パルス発生装置または
電磁形パルス発生装置をもって構成した回転電極Ｅ１お
よびＥ２の回転角検出信号発生装置の出力するパルス信
号がリセット信号として加えられ、このリセット信号は
回転電極Ｅ１およびＥ２の逆転と同期しているからパル
スカウンタＣＯＵは回転電極Ｅ１およびＥ２の逆転と同
期してリセットされることとなり、したがって、パルス
カウンタＣＯＵの計数値は回転電極Ｅ２の誘導起電圧に
対応したものとなり、この計数出力の加えられる指示装
置ＤＳＰの指示は、回転電極Ｅ１およびＥ２の置かれた
被測定静電界の電位に対応したものとなる。

第５図ないし第７図は、本発明装置の較正に供するため
の模擬静電界形成装置を示す図で、第５図においてＰｌ
およびＰ２はそれぞれ１ｍ２の面積を有するアルミニウ
ム板より成る電極で、５０ｃｍの間隔を隔てて平行に設
けである。ＳＨＶは電極Ｐ、ＪよびＰ２に高圧直流電圧
を印加するための電源で、出力電圧を例えばＯｖから１
７ｋＶの範囲に亙って変化せしめることができる。Ｅｌ
およびＥ２ならびにＡＸは第１図に示した回転電極およ
び絶縁回転駆動軸で、回転電極Ｅ、およびＥ２を平行平
板電極ＰｌおよびＰ２の中間に挿入しである。ＣＡＳＭ
Ｐは第１図に示した回転駆動モータＭＯＴおよび回転電
極Ｅ＋およびＥ２の回転角検出信号発生装置を内装した
筐体、ＲＥＣは第３図に示した受信回路である。

この模擬装置は、回転電極Ｅ１およびＥ２の挿入位置を
変えることなく、平行平板電極Ｐｒ８よび２２間に加え
る直流電圧を変えて測定を行うように構成したものであ
る。

第６図は、第５図に示したものと同様の平板電極Ｐ１の
みを設け、平板電極Ｐ１と回転電極Ｅ１およびＥ２の中
心との距離を一定に保ち、平板電極Ｐ１に加える直流電
圧を変えて測定を行うが、平板電極Ｐｌに加える直流電
圧を一定に保ち、平板電極Ｐ、と回転電極Ｅ１およびＥ
２の中心との距離を変えて測定を行うように構成したも
のである。

第７図は、平板電極の代りに球状の電極ＳＰＨによって
静電界を形成し、球状電極ＳＰＨと回転電極Ｅ１および
Ｅ２の中心との距離を一定に保ち、球状電極ＳＰＨに加
える直流電圧を変えて測定を行うが、球状電極ＳＰＨに
加える直流電圧を一定に保ち、球状電極ＳＰＨと回転電
極Ｅ１およびＥ２の中心との距離を変えて測定を行うよ
うに構成したものである。

なお、第６図および第７図における他の符号は、第５図
と同様である。

第８図は、第５図に示した模擬静電界形成装置によって
測定を行った結果の一例を示す曲線図で、横軸は平行平
板電極Ｐ１および２２間に加える直流電圧（ｋＶ）、縦
軸は受信回路ＲＥＣにおけるパルスカウンタＣＯＵ　　
（第３図）のパルス計数値である。

図から明らかなように、平行平板電極Ｐ１および２２間
に加えられる直流電圧の変化、すなわち、平行平板電極
Ｐ、および２２間の平等静電界における電界強度の変化
と本発明装置における検出パルス数とがよく対応してい
る。

第９図は、第６図に示した模擬静電界形成装置によって
測定を行った結果の一例を示す曲線図で、横軸は平板電
極Ｐｌからの距離（ｃｍ）、縦軸は電界強度（ｋＶ）、
曲線ａは平板電極Ｐｌに１５ｋＶの直流電圧を印加し、
平板電極Ｐｌと回転電極Ｅ＋およびＥ２の中心との距離
を変えて本発明装置における受信回路のパルスカウンタ
ＣＯＵの計数値から電界強度を測定した結果を示し、曲
線すは平板電極Ｐ、に１０ｋＶの直流電圧を印加し、曲
線Ｃは平板電極Ｐ１に５ｋＶの直流電圧を印加してそれ
ぞれ測定を行った結果で、ａないしＣ曲線のいずれの場
合も、平板電極Ｐ、と回転電極Ｅ＋およびＥ２の中心と
の距離がほぼ５ｃｍから５０ｃｍまでの範囲に亙って測
定を行ったものである。

第１Ｏ図は、第７図に示した模擬静電界形成装置によっ
て測定を行った結果の一例を示す曲線図で、横軸および
縦軸は第９図と同様で、破線で示した曲線ａは球状電極
ＳＰＨに１５ｋＶの直流電圧を印加し、第９図の場合と
同様にして求めた実測値を示し、実線で示した曲線すは
球状電極ＳＰＨに１５ｋＶの直流電圧を印加した場合の
理論値を示し、破線で示した曲線Ｃは球状電極ＳＰＨに
１０ｋＶの直流電圧を印加した場合の実測値、実線で示
した曲線ｄは球状電極ＳＰＨに１０ｋＶの直流電圧を印
加した場合の理論値で、図から明らかなように、実測値
と理論値が極めてよく一致している。

第５図ないし第７図には図示するのを省略しであるが、
回転駆動モータ等を内装した筐体ＣＡＳＭＰは、これを
前後左右方向に微細に移動せしめ得る適当な支持体によ
って支持せしめて測定を行ったものである。

本発明装置の測定範囲は、回転電極Ｅ１およびＥ２の回
転速度と送信側および受信側の電子回路におけるダイナ
ミックレンジによって限界を生ずる。

すなわち、回転電極Ｅ１およびＥ２の回転速度が速い場
合には感度が高くなるため、電界強度の強い領域におい
て測定が不能となり、受信回路における増幅回路の増幅
率が高い場合にも電界強度の強い領域において測定が不
能となる。

このことは、本発明装置の測定感度が比較的高いことを
示すもので、電界強度に応じて回転電極Ｅ１およびＥ２
の回転速度ならびに受信回路における増幅回路の増幅率
を適宜調整することによって広範囲に亙る電界強度の測
定を可能ならしめることができる。

発明の効果 本発明装置においては、一対の回転電極の各表面に生ず
る誘導起電圧間の電位差が漏洩によって消滅する前に、
電極位置の逆転によって生ずる新たな誘導起電圧間の電
位差を生ずるから、各電極には常に被測定静電界の強さ
に対応する誘導起電圧が保持され、任意の一方の電極に
内装された検出送信回路において誘導起電圧の検出送信
が繰返し行われることとなる。

誘導起電圧の検出送信回路は、任意の一方の電極に内装
されて接地から浮いた状態に保たれるから、回転電極の
挿入によって被測定静電界に歪を与えるおそれが少なく
、回転駆動モータ等は、軸長の長い絶縁回転駆動軸の外
端に取付けられ、受信回路も被測定静電界から十分能れ
た個所に配置可能なるとともに、一般に静電界は帯電体
から遠ざかるにしたがって急激に電位が低下するから、
回転駆動モータおよび受信回路等によって被測定静電界
に歪を与えるおそれはほとんどない。

また、本発明装置においては、回転電極における誘導起
電圧の検出電圧を、これに対応する周波数のパルス信号
に変換して発光ダイオードからパルス状の光を放射せし
め、受信側においても入射光に対応するパルス信号を一
旦アナログ電圧に変換した後、再びパルス信号に変換し
てパルスカウンタに加えるように構成しであるため、電
磁的外乱を防ぐことができ、また光学的外乱を受ける右
それのある場合には送信信号として赤外線を利用するこ
とによって光学的外乱を防ぐことができるから、本発明
装置によって被測定静電界に歪を与えるおそれの少ない
こととあいまって正確な測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は、それぞれ本発明の一実施例にお
ける要部の構成を示す図、第４図は、本発明装置におけ
る要部の作動特性の一例を示す曲線図、第５図ないし第
７図は、それぞれ本発明装置の較正装置の一例を示す図
、第８図ないし第１Ｏ図は、それぞれ較正装置による本
発明装置の測定結果の一例を示す曲線図、第１１図およ
び第１２図は、従来の測定器の一例を示す図で、Ｅ、お
よびＲ２：回転電極、ＣＯＭ　：結合用絶縁板、Ａｘ二
回転駆動軸、ＭＯＴ　：回転駆動モータ、ＤＩＳ　：円
板、ＣＡＳ　：筺体、ＳＤＣ：直流電源、Ｒ，およびＲ
２：分圧抵抗、Ｒ３：入力抵抗、Ａ１：差動増幅回路、
Ａ２：緩衝増幅回路、ｖＦＴおよびＶＦＲ：電圧周波数
変換回路、ＭＯＤ　：搬送波発振および変調回路、ＬＥ
Ｄ　：赤外線発光ダイオード、Ｒ４：電流制限抵抗、■
、二人力端子、ＰＨＯ：筐体、ＬＦ：復調回路、ＣＯＵ
　：パルスカウンタ、ＤＳＰ　：指示装置、Ｐ、および
Ｒ２：平板電極、ＳＨｖ　：直流電源、ＣＡＳＭＰ　：
筐体、ＲＥＣ：受信回路、５Ｐ）（：球状電極、Ｑ：帯
電物体、ＳＥ二回転セクタ、Ｍ：回転駆動モータ、Ｐ：
検出電極、Ｔ。 ：接続端子である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、絶縁回転駆動軸の一端に支持された一対の電極と、 前記一対の電極の任意の一方の電極に設けた誘導起電圧
   の検出送信回路と、 前記誘導起電圧の検出送信回路の送信信号の受信回路と
   、 前記一対の電極の回転角検出信号発生装置とを備えると
   ともに、 前記誘導起電圧の検出送信回路が、前記電極に生じた誘
   導起電圧の加えられる増幅回路と、この増幅回路出力の
   加えられる電圧周波数変換回路と、この電圧周波数変換
   回路出力により断続せしめられる搬送波の発振回路と、
   この発振回路出力が加えられて発光する発光ダイオード
   と、前記各回路素子の作動電源とを備えて成り、 前記誘導起電圧の検出送信回路の送信信号の受信回路が
   、前記発光ダイオードの発する光の受光素子と、この受
   光素子の出力に対応するパルス信号が被計数入力信号と
   して加えられるとともに、前記一対の電極の回転角検出
   信号発生装置の出力がリセット信号として加えられるパ
   ルスカウンタと、このパルスカウンタの計数値の指示装
   置とを備えて成ることを特徴とする静電界測定装置。 ２、誘導起電圧検出送信回路における発光ダイオードが
   赤外線発光ダイオードより成り、 誘導起電圧の検出送信回路の送信信号の受信回路におけ
   る受光素子が赤外線透過フィルタを前置したフォトトラ
   ンジスタより成る請求項１に記載の静電界測定装置。 ３、一対の電極の回転角検出信号発生装置が、絶縁回転
   駆動軸に取付けられ、周辺に切込みを設けた不透明体よ
   り成る円板と、 この円板の周辺を介して対向する光源および光電変換素
   子とより成る請求項１に記載の静電界測定装置。 ４、一対の電極の回転角検出信号発生装置が、絶縁回転
   駆動軸に取付けられ、周縁に凸部または凹部を設けた磁
   性体より成る円板と、 この円板の周縁に対向せしめた電磁センサとより成る請
   求項１に記載の静電界測定装置。