JPH04324982A - Piezoelectric element displacement magnifying mechanism - Google Patents

Piezoelectric element displacement magnifying mechanism

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JPH04324982A
JPH04324982A JP9460891A JP9460891A JPH04324982A JP H04324982 A JPH04324982 A JP H04324982A JP 9460891 A JP9460891 A JP 9460891A JP 9460891 A JP9460891 A JP 9460891A JP H04324982 A JPH04324982 A JP H04324982A
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JP
Japan
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piezoelectric element
displacement
fixed
pair
lever arm
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JP9460891A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsunori Sano
光範 佐野
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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    • H01L41/09

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a set of piezoelectric element displacement magnifying mechanism to output two outputs and to be reduced to half in size by a method wherein the intermediate part of a thin-plate beam linked to lever arms like a bridge is joined to a mounting board. CONSTITUTION:A pair of lever arms 3 disposed confronting each other is provided, and a thin plate beam 13 whose one end is fixed to the end of the lever arm 3 and other end is fixed to the end of the other lever arm 3 is provided to link the pair of lever arms 3 together like a bridge. A mounting base 4 links the pair of lever arms 3 together through the intermediary of pairs of hinges 2 and 5 which are provided protruding in opposite directions to the opposed side faces of it. The intermediate part of the beam 13 is fixed to the mounting base 4. By this setup, a set of magnifying mechanism is able to output two outputs and to be reduced to half in size.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、駆動源としての圧電素
子の変位を拡大する圧電素子変位拡大機構に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric element displacement amplifying mechanism for amplifying the displacement of a piezoelectric element as a driving source.

【0002】0002

【従来の技術】従来の圧電素子変位拡大機構(以下拡大
機構と記す)について、図4を用いて説明する。
2. Description of the Related Art A conventional piezoelectric element displacement magnifying mechanism (hereinafter referred to as the magnifying mechanism) will be explained with reference to FIG.

【0003】図4は、圧電素子の縦効果歪を利用した積
層形圧電素子を駆動源に使用した拡大機構であり、圧電
素子1の変位を第1のヒンジ2を介して伝達し拡大する
2本のレバーアーム3と、このレバーアーム3と取付基
板部4とを接続する第2のヒンジ5と、レバーアーム3
の先端にリベット締結によってブリッジ状に連結された
変位拡大手段としての梁6とから構成されている。ここ
で、梁6の中央部から取付基板部4までの距離を梁高さ
7と称する。
FIG. 4 shows an enlargement mechanism using a laminated piezoelectric element as a drive source that utilizes the longitudinal effect strain of the piezoelectric element, and the displacement of the piezoelectric element 1 is transmitted through a first hinge 2 to enlarge the 2-layer piezoelectric element. A book lever arm 3, a second hinge 5 connecting this lever arm 3 and the mounting board part 4, and a lever arm 3.
It consists of a beam 6, which serves as a displacement amplifying means, and is connected in a bridge shape by fastening rivets to the tip of the beam. Here, the distance from the center of the beam 6 to the mounting board portion 4 is referred to as beam height 7.

【0004】このような構造の拡大機構を組立てるには
、先ず取付基板部4、2本のレバーアーム3、第1のヒ
ンジ2および第2のヒンジ5が一体構造となっている変
位拡大金具8と圧電素子1とを準備する。変位拡大金具
8は金属板をワイヤカット放電加工法などによって製造
したものである。そして、熱硬化性樹脂からなる接着剤
で第1のヒンジ2に圧電素子1の両端を接着する。次に
梁6とリベット9を準備し、梁6のコの字状の締結部1
0をレバーアーム3の先端に組み合せた後、レバーアー
ム3の先端に設けられたリベット孔11と梁6のリベッ
ト孔とが重なった状態でリベット9を貫通させ、油圧プ
レス機などによりリベット9を所定寸法に成型して拡大
機構を完成する。
[0004] In order to assemble the enlargement mechanism having such a structure, first, the displacement enlargement fitting 8 is assembled, in which the mounting base plate 4, the two lever arms 3, the first hinge 2, and the second hinge 5 are integrated. and piezoelectric element 1 are prepared. The displacement magnifying fitting 8 is manufactured from a metal plate by wire cut electrical discharge machining or the like. Then, both ends of the piezoelectric element 1 are bonded to the first hinge 2 with an adhesive made of thermosetting resin. Next, prepare the beam 6 and the rivet 9, and
0 to the tip of the lever arm 3, the rivet 9 is passed through with the rivet hole 11 provided at the tip of the lever arm 3 and the rivet hole of the beam 6 overlapping, and the rivet 9 is pressed using a hydraulic press or the like. The enlarging mechanism is completed by molding to a predetermined size.

【0005】このように組み立てられた拡大機構におい
て、圧電素子1に電圧を印加すると、圧電素子1の変位
は第1のヒンジ2を介して各々のレバーアーム3に伝え
られる。レバーアーム3は、第2のヒンジ5を支点とし
て、てこの原理でレバーアーム3の先端で変位を拡大す
る。そして、レバーアーム3の先端にブリッジ状に連結
された梁6の両端には梁6の長手方向の変位が伝えられ
、梁6が周知の座屈運動を行なって中央に最大変位12
が発生する。印加電圧を零ボルトにすると圧電素子1の
変位は復帰し、梁6の変位も同時に復帰する。
In the enlargement mechanism assembled in this manner, when a voltage is applied to the piezoelectric element 1, the displacement of the piezoelectric element 1 is transmitted to each lever arm 3 via the first hinge 2. The lever arm 3 uses the second hinge 5 as a fulcrum and expands the displacement at the tip of the lever arm 3 using the lever principle. Displacement in the longitudinal direction of the beam 6 is transmitted to both ends of the beam 6 connected in a bridge shape to the tip of the lever arm 3, and the beam 6 performs a well-known buckling motion, resulting in a maximum displacement of 12
occurs. When the applied voltage is reduced to zero volts, the displacement of the piezoelectric element 1 is restored, and the displacement of the beam 6 is also restored at the same time.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】この従来の拡大機構の
構造によれば、1セットの拡大機構から一つの出力しか
得られず、出力を二つ必要とする時には拡大機構を二つ
並列に組み合せることになる。またそれぞれ違った最大
変位量を出力として得たい時には、それぞれ最大変位量
別に拡大機構を設計して組み合せることになる。すなわ
ち従来の拡大機構には、出力を二つ得たいような時には
、拡大機構として形状が大きくなるばかりでなく、コス
トも高くなってしまうという欠点があった。
[Problem to be Solved by the Invention] According to the structure of this conventional enlarging mechanism, only one output can be obtained from one set of enlarging mechanisms, and when two outputs are required, two enlarging mechanisms are combined in parallel. That will happen. Furthermore, when it is desired to obtain different maximum displacement amounts as outputs, enlargement mechanisms must be designed and combined for each maximum displacement amount. In other words, the conventional enlarging mechanism has the drawback that when two outputs are desired, not only is the enlarging mechanism large in size, but the cost is also high.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の圧電素子変位拡
大機構は一対の対置されたレバーアームと、一端が一方
のレバーアームの一端に固定され他端が他方のレバーア
ームの一端に固定されてそれぞれのレバーアームをブリ
ッジ状に連結する薄板状の梁と、相対する一対の側面に
互いに反対方向に突設された一対のヒンジを介して前記
一対のレバーアームを連結する取付基板部と、圧電効果
により変位を発生する圧電素子とを含み、前記圧電素子
が発生する変位を二つのレバーアームに伝達し、前記ヒ
ンジを支点とするてこの原理により拡大し、前記梁に伝
達して前記梁を座屈運動させる型の圧電素子変位拡大機
構において、前記梁の中間部分を前記取付基板部に固定
したことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The piezoelectric element displacement magnifying mechanism of the present invention includes a pair of lever arms placed opposite each other, one end of which is fixed to one end of one lever arm, and the other end of which is fixed to one end of the other lever arm. a thin plate-shaped beam that connects the respective lever arms in a bridge shape; and a mounting board that connects the pair of lever arms via a pair of hinges that protrude in opposite directions from a pair of opposing side surfaces; and a piezoelectric element that generates displacement due to piezoelectric effect, and the displacement generated by the piezoelectric element is transmitted to two lever arms, expanded by the lever principle using the hinge as a fulcrum, and transmitted to the beam, and the displacement generated by the piezoelectric element is transmitted to the beam. In the piezoelectric element displacement magnifying mechanism of the type that performs buckling motion, the intermediate portion of the beam is fixed to the mounting substrate portion.

【0008】[0008]

【実施例】次に、本発明の最適な実施例について、図面
を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施例を
示す斜視図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the invention.

【0009】本実施例における梁13は、図4に示す従
来の拡大機構の梁6では、締結部10が梁6の両端に二
カ所だけ設けられていたのに対して、梁13の中間部に
も締結部10を有している。また、取付基板部4にもリ
ベット孔11を1カ所有している。
In contrast to the beam 6 of the conventional expansion mechanism shown in FIG. 4, in which the fastening portions 10 are provided at only two locations at both ends of the beam 13 in this embodiment, the fastening portions 10 are provided at the intermediate portion of the beam 13. It also has a fastening part 10. Further, the mounting board portion 4 also has one rivet hole 11.

【0010】上述のような構造の梁13を組み立てて拡
大機構を製作する場合の組み立て方法は、前述した従来
の拡大機構の組み立て方法に対して梁13の両端のリベ
ット締結までは同一である。その後梁13中間部の締結
部10の中央に設けられているリベット孔と取付基板部
4のリベット孔11とを重ねてリベット9を貫通させ、
油圧プレス機などによりリベット9を所定寸法に成型し
て本実施例による拡大機構を完成する。
The method of assembling the beam 13 having the above-described structure to fabricate the expanding mechanism is the same as the method of assembling the conventional expanding mechanism described above, up to the point where both ends of the beam 13 are fastened with rivets. After that, the rivet hole provided at the center of the fastening part 10 in the middle part of the beam 13 and the rivet hole 11 of the mounting board part 4 are overlapped, and the rivet 9 is passed through.
The rivet 9 is molded to a predetermined size using a hydraulic press or the like to complete the expansion mechanism according to this embodiment.

【0011】このような構造の拡大機構の圧電素子1に
電圧を印加すると、従来の拡大機構と同様にレバーアー
ム3の先端で変位が拡大されて、このレバーアーム3に
より挟持された梁13の両端に軸方向の変位が伝えられ
る。そして、梁13は中間部の締結部10が固定されて
いるので、この締結部10の両側に梁の座屈運動により
最大変位14が二つ発生する。
When a voltage is applied to the piezoelectric element 1 of the enlarging mechanism having such a structure, the displacement is amplified at the tip of the lever arm 3, as in the conventional enlarging mechanism, and the beam 13 held between the lever arms 3 is expanded. Axial displacement is transmitted to both ends. Since the fastening portion 10 at the intermediate portion of the beam 13 is fixed, two maximum displacements 14 occur on both sides of the fastening portion 10 due to the buckling movement of the beam.

【0012】次に、上述のことを確認するために、本実
施例による拡大機構を製作し、最大変位を測定した結果
について述べる。先ず、縦弾性係数14.8×103 
kg/mm2 の42Ni −Fe 材の4mmの厚さ
のものをワイヤカット放電加工法で、外径35mm×3
0mmの変位拡大金具を製作した。これに、従来知られ
ているチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを積層した
圧電素子を、熱硬化性樹脂(アミコンA−401)から
なる接着剤で接着した。次いで、接着剤が硬化した後、
この変位拡大金具に取り付けられた圧電素子を、従来と
同一の分極条件で分極処理した。これに、締結部を三カ
所有する梁を、アルミリベッドで締結した。
Next, in order to confirm the above, an enlarging mechanism according to this embodiment was manufactured, and the results of measuring the maximum displacement will be described. First, the longitudinal elastic modulus is 14.8×103
kg/mm2 of 42Ni-Fe material with a thickness of 4mm was machined using the wire-cut electric discharge machining method to form an outer diameter of 35mm x 3.
We manufactured a 0mm displacement magnification fitting. A piezoelectric element laminated with conventionally known lead zirconate titanate ceramics was adhered to this with an adhesive made of thermosetting resin (Amicon A-401). Then, after the adhesive has hardened,
The piezoelectric element attached to this displacement magnification fitting was polarized under the same polarization conditions as before. In addition, the beam, which has three fastening sections, was fastened with aluminum ribbed.

【0013】このようにして組み立てた拡大機構の、梁
の中間部の締結部と両端の締結部の間の二つの梁の梁高
さ15は二カ所共6.05mmであった。又、この拡大
機構にDC150Vを印加した時の梁の二つの最大変位
はそれぞれ0.15mmであった。
[0013] In the enlargement mechanism thus assembled, the beam heights 15 of the two beams between the intermediate fastening part and the both end fastening parts of the beams were both 6.05 mm. Further, when DC 150V was applied to this enlarging mechanism, the two maximum displacements of the beam were each 0.15 mm.

【0014】一方、従来の出力を一つしか持たない拡大
機構で同一の効果を得ようとすると、拡大機構を2セッ
ト並列に組み合わせることになり、形状は厚さ8mm外
径35mm×30mmであった。すなわち、本実施例で
は梁13の中央部を取付基板部4にリベット締結したこ
とにより、出力を二つ得ることができ、従来に比べると
1/2の大きさとコストで製作することができた。
On the other hand, in order to obtain the same effect with a conventional magnifying mechanism that has only one output, two sets of magnifying mechanisms would be combined in parallel, and the shape would be 8 mm thick and 35 mm in outer diameter x 30 mm. Ta. That is, in this embodiment, by riveting the center part of the beam 13 to the mounting board part 4, two outputs can be obtained, and the product can be manufactured at 1/2 the size and cost compared to the conventional method. .

【0015】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図2(a)は、本発明の第2の実施例を示す斜視
図、図2(b)は、図2(a)のA−A断面を示す拡大
断面図である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2(a) is a perspective view showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 2(b) is an enlarged sectional view taken along the line AA in FIG. 2(a).

【0016】本実施例は、変位拡大金具8が、従来及び
第1の実施例におけるものとは異なって、積層構造のも
のである。変位拡大金具8は、剛性の高い金属材料の薄
い金属板(厚さ0.15〜0.4mm)をプレス打抜き
して製作するが、この際取付基板部4及びレバーアーム
3の要所要所に、任意の形状の一部を半抜き又は全周を
半抜きして角型のかしめ部16を形成し、一枚づつ重ね
て挟みつけ、かしめ部16の突起の切口面の摩擦力で密
着積層する。
In this embodiment, the displacement magnification fitting 8 has a laminated structure, unlike those in the conventional and first embodiments. The displacement magnifying fitting 8 is manufactured by press punching a thin metal plate (thickness 0.15 to 0.4 mm) made of a highly rigid metal material. , form a rectangular caulking part 16 by partially punching out a part of an arbitrary shape or half punching out the entire circumference, and stack the sheets one by one and sandwich them, and the frictional force of the cut surface of the protrusion of the caulking part 16 makes them adhere to each other. do.

【0017】本実施例による拡大機構のレバーアーム3
の先端には、図1に示す第1の実施例と同一の梁13が
、リベット9で締結されている。本実施例におけるリベ
ット締結の方法及び動作は、第1の実施例と同じである
Lever arm 3 of the enlargement mechanism according to this embodiment
A beam 13, which is the same as that in the first embodiment shown in FIG. 1, is fastened to the tip with a rivet 9. The rivet fastening method and operation in this embodiment are the same as in the first embodiment.

【0018】本実施例による拡大機構においては、縦弾
性係数14.8×103 kg/mm2 の42Ni 
−Fe 材0.4mm厚さのものをプレス打抜き加工す
る際、角型の全周を半抜き加工したかしめ部16を、取
付基板部4に1箇所、それぞれのレバーアーム3に各2
箇所形成し、10枚重ねて積層厚4mm、外径35mm
×30mmの変位拡大金具8を製作した。次に、この変
位拡大金具8に、第1の実施例における梁と同一の形状
・構造の梁13をアルミリベット9で締結した。この積
層構造の拡大機構における二つの梁高さ15はそれぞれ
6.05mmで、最大変位14はそれぞれ0.15mm
であった。
In the expansion mechanism according to this embodiment, 42Ni with a longitudinal elastic modulus of 14.8×103 kg/mm2 is used.
- When press punching a 0.4 mm thick Fe material, create a caulking part 16 by half punching the entire circumference of the square shape, one on the mounting board part 4, and two on each lever arm 3.
Form a spot and stack 10 sheets to a laminated thickness of 4 mm and an outer diameter of 35 mm.
A displacement magnification fitting 8 with a size of 30 mm was manufactured. Next, a beam 13 having the same shape and structure as the beam in the first embodiment was fastened to this displacement magnification fitting 8 with aluminum rivets 9. The heights of the two beams 15 in this layered structure expansion mechanism are each 6.05 mm, and the maximum displacements 14 are each 0.15 mm.
Met.

【0019】以上の結果から、本実施例においても、第
1の実施例と同様の効果が得られることが確認された。
From the above results, it was confirmed that the same effects as in the first embodiment can be obtained in this embodiment as well.

【0020】次に本発明の第3の実施例について説明す
る。図3は、本発明の第3の実施例を示す斜視図である
Next, a third embodiment of the present invention will be explained. FIG. 3 is a perspective view showing a third embodiment of the invention.

【0021】本実施例は、梁の中間部の締結部10をは
さんで、梁高さが左右非対称な梁13aおよび13bを
持つ拡大機構である。上述のような構造の拡大機構を製
作する場合の組み立て方法及び動作は、第1の実施例及
び従来の拡大機構と同じである。
The present embodiment is an enlargement mechanism having beams 13a and 13b having asymmetrical beam heights across a fastening portion 10 at the intermediate portion of the beams. The assembly method and operation when manufacturing the enlarging mechanism having the structure as described above are the same as those of the first embodiment and the conventional enlarging mechanism.

【0022】第3の実施例の拡大機構においても、第1
の実施例と同様に42Ni −Fe を用いた積層厚4
mm,外径35mm×30mmの変位拡大金具8を製作
し、これに圧電素子1を接着して左右非対称形状の梁を
リベットで締結した。
[0022] Also in the enlarging mechanism of the third embodiment, the first
Similarly to the example of 42Ni-Fe, the layer thickness was 4.
A displacement magnification fitting 8 with an outer diameter of 35 mm x 30 mm was manufactured, the piezoelectric element 1 was adhered to it, and a beam having an asymmetrical shape was fastened with rivets.

【0023】梁高さ15aおよび15b並びに最大変位
14aおよび14bはそれぞれ下記の通りである。
The beam heights 15a and 15b and the maximum displacements 14a and 14b are as follows.

【0024】 出力1  ;  梁高さ5.8mm  最大変位  0
.16mm 出力2  ;  梁高さ6.2mm  最大変位  0
.12mm 以上の結果から、本実施例によれば、梁の中間部の締結
部と両端の締結部の間の二つの梁高さをそれぞれ変える
ことによって、違った大きさの二つの最大変位を出力さ
せることができることがわかる。
Output 1; Beam height 5.8mm Maximum displacement 0
.. 16mm Output 2; Beam height 6.2mm Maximum displacement 0
.. 12 mm From the above results, according to this example, two maximum displacements of different sizes can be output by changing the heights of the two beams between the fastening part at the middle part of the beam and the fastening parts at both ends. It turns out that you can do it.

【0025】また、形状の大きさおよびコストについて
も第1の実施例および第2の実施例と同一の効果が得ら
れる。
Furthermore, the same effects as in the first and second embodiments can be obtained in terms of size and cost.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、梁
の中間部を取付基板部に接続することにより、1セット
の圧電素子拡大機構から二つの出力を得ることができる
。また、それぞれの梁の梁高さを異なるものにすること
によって、違った大きさの最大変位を得ることも可能で
ある。
As described above, according to the present invention, two outputs can be obtained from one set of piezoelectric element enlarging mechanisms by connecting the intermediate portion of the beam to the mounting substrate portion. Furthermore, by making the beam heights of the respective beams different, it is also possible to obtain different maximum displacements.

【0027】従って、従来の圧電素子変位拡大機構では
、二つの出力を得る為に二つの圧電素子変位拡大機構を
並列に組み合わせなくてはならないため、形状が大きく
なり、コストも高くなってしまうのに対して、本発明の
圧電素子変位拡大機構では形状もコストも半分にするこ
とができる。
Therefore, in the conventional piezoelectric element displacement amplifying mechanism, two piezoelectric element displacement amplifying mechanisms must be combined in parallel in order to obtain two outputs, resulting in a large size and high cost. On the other hand, with the piezoelectric element displacement magnifying mechanism of the present invention, the shape and cost can be halved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の第1の実施例による圧電素子変位拡大
機構の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric element displacement magnification mechanism according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例による圧電素子変位拡大
機構の斜視図および断面図である。
FIG. 2 is a perspective view and a sectional view of a piezoelectric element displacement magnification mechanism according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例による圧電素子変位拡大
機構の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a piezoelectric element displacement magnification mechanism according to a third embodiment of the present invention.

【図4】従来の圧電素子変位拡大機構の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a conventional piezoelectric element displacement magnification mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    圧電素子 2    第1のヒンジ 3    レバーアーム 4    取付基板部 5    第2のヒンジ 6,13,13a,13b    梁 7,15,15a,15b    梁高さ8    変
位拡大金具 9    リベット 10    締結部 11    リベット孔 12,14,14a,14b    最大変位16  
  かしめ部
1 Piezoelectric element 2 First hinge 3 Lever arm 4 Mounting board part 5 Second hinge 6, 13, 13a, 13b Beam 7, 15, 15a, 15b Beam height 8 Displacement magnifying fitting 9 Rivet 10 Fastening part 11 Rivet hole 12, 14, 14a, 14b Maximum displacement 16
Caulking part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  一対の対置されたレバーアームと、一
端が一方のレバーアームの一端に固定され他端が他方の
レバーアームの一端に固定されてそれぞれのレバーアー
ムをブリッジ状に連結する薄板状の梁と、相対する一対
の側面に互いに反対方向に突設された一対のヒンジを介
して前記一対のレバーアームを連結する取付基板部と、
圧電効果により変位を発生する圧電素子とを含み、前記
圧電素子が発生する変位を二つのレバーアームに伝達し
、前記ヒンジを支点とするてこの原理により拡大し、前
記梁に伝達して前記梁を座屈運動させる型の圧電素子変
位拡大機構において、前記梁の中間部分を前記取付基板
部に固定したことを特徴とする圧電素子変位拡大機構。
Claim 1: A thin plate-like structure comprising a pair of lever arms placed opposite each other, one end of which is fixed to one end of one lever arm, and the other end of which is fixed to one end of the other lever arm, connecting each lever arm in a bridge shape. a beam, and a mounting board portion that connects the pair of lever arms via a pair of hinges protruding in opposite directions from a pair of opposing side surfaces;
and a piezoelectric element that generates displacement due to piezoelectric effect, and the displacement generated by the piezoelectric element is transmitted to two lever arms, expanded by the lever principle using the hinge as a fulcrum, and transmitted to the beam, and the displacement generated by the piezoelectric element is transmitted to the beam. What is claimed is: 1. A piezoelectric element displacement magnifying mechanism of a type in which a piezoelectric element undergoes buckling motion, characterized in that an intermediate portion of the beam is fixed to the mounting substrate part.
【請求項2】  請求項1記載の圧電素子変位拡大機構
において、前記取付基板部に固定された梁の一方の部分
の梁高さと他方の部分の梁高さとが等しいことを特徴と
する圧電素子変位拡大機構。
2. The piezoelectric element displacement magnification mechanism according to claim 1, wherein the beam height of one portion of the beam fixed to the mounting substrate portion is equal to the beam height of the other portion. Displacement magnification mechanism.
【請求項3】  請求項1記載の圧電素子変位拡大機構
において、前記取付基板部に固定された梁の一方の部分
の梁高さと他方の部分の梁高さとが異なることを特徴と
する圧電素子変位拡大機構。
3. The piezoelectric element displacement magnification mechanism according to claim 1, wherein the beam height of one portion of the beam fixed to the mounting substrate portion is different from the beam height of the other portion. Displacement magnification mechanism.
JP9460891A 1991-04-25 1991-04-25 Piezoelectric element displacement magnifying mechanism Pending JPH04324982A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9460891A JPH04324982A (en) 1991-04-25 1991-04-25 Piezoelectric element displacement magnifying mechanism
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