JPH04320791A - Vacuum heat treatment furnace - Google Patents

Vacuum heat treatment furnace

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Publication number
JPH04320791A
JPH04320791A JP11400891A JP11400891A JPH04320791A JP H04320791 A JPH04320791 A JP H04320791A JP 11400891 A JP11400891 A JP 11400891A JP 11400891 A JP11400891 A JP 11400891A JP H04320791 A JPH04320791 A JP H04320791A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main body
station
heat treatment
heat
treated
Prior art date
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Pending
Application number
JP11400891A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Shiratori
白鳥 博司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eagle Industry Co Ltd
Original Assignee
Eagle Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Eagle Industry Co Ltd filed Critical Eagle Industry Co Ltd
Priority to JP11400891A priority Critical patent/JPH04320791A/en
Publication of JPH04320791A publication Critical patent/JPH04320791A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a vacuum heat treatment furnace capable of performing continuous vacuum heat treatment on a small-sized heat-treated article. CONSTITUTION:There are installed a supply station 10 communicating with the interior of a main body 1, a heating station 11, a cooling station 12 and take out station 14 on the top of the main body 1 which can be held under a vacuum state in such a manner that they may be four-equally spaced. On the other hand, four vertically movable support members 5 for heat-treated articles are laid out ion a rotary index 2 installed inside the above main body 1 in such a fashion that they may be four equally spaced where the support members are located in each of the stations 10, 11, 12 and 13 when they are in a rising position. Furthermore, there are installed to the lower part of the main body 1 four air cylinders 21 which may be engaged with each support member 5 for the heat treated article in such a fashion that they may be equally speed. Each of the heat treated article support members 5 is capable of rising on each air cylinder under the positioned state on the rotary index 2 stated above.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は熱処理炉に関し、特に
、比較的に小型の部品を真空中において連続して処理を
行うことのできる真空熱処理炉に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment furnace, and more particularly to a vacuum heat treatment furnace capable of continuously treating relatively small parts in a vacuum.

【0002】0002

【従来技術およびその問題点】従来、真空熱処理炉にあ
っては、所謂、バッチタイプであり、まず、投入した被
熱処理物を熱処理炉で熱処理し、つぎにこれを取り出し
て冷却炉で冷却して被熱処理物に熱処理を施すようにな
っている。
[Prior art and its problems] Conventionally, vacuum heat treatment furnaces are of the so-called batch type, in which the material to be heat treated is first heat treated in the heat treatment furnace, then taken out and cooled in a cooling furnace. The heat treatment is performed on the object to be heat treated.

【0003】したがって、部品加工を連続生産形の製造
ラインで実施したとしても、真空熱処理の工程で連続性
が途切れてしまい、このために部品完成までの所要工期
が長いという問題点を有していた。
[0003] Therefore, even if parts processing is carried out on a continuous production line, there is a problem that continuity is interrupted during the vacuum heat treatment process, and as a result, it takes a long time to complete the parts. Ta.

【0004】また、バッチ処理タイプの熱処理炉では一
度に多量の部品を熱処理するために、バッチ内の位置に
よって熱処理の結果が若干異なり、したがって、部品ご
とにバラツキが生じてしまうという問題点を有していた
[0004] Furthermore, since batch processing type heat treatment furnaces heat treat a large number of parts at once, the heat treatment results differ slightly depending on the position within the batch, and therefore, there is a problem that variations occur from part to part. Was.

【0005】この発明の目的は、連続処理工程に組み込
むことが可能であるとともに、各被熱処理物の熱処理の
結果をほぼ均一にすることのできる真空熱処理炉を提供
することにある。
[0005] An object of the present invention is to provide a vacuum heat treatment furnace which can be incorporated into a continuous treatment process and which can substantially uniformize the results of heat treatment of each object to be heat treated.

【0006】[0006]

【問題点を解決するための手段】上記の目的を達成する
ためにこの発明は、真空状態に保持可能な本体の上部に
、本体の内部と連通する供給ステーション、加熱ステー
ション、冷却ステーション、および取出しステーション
をそれぞれ配設し、前記本体の内部にロータリーインデ
ックスを配設し、前記供給ステーションで供給された被
熱処理物が、前記加熱ステーションで加熱された後に冷
却ステーションで冷却され、前記取出しステーションで
取り出されるようにしたことを特徴とする真空熱処理炉
を構成したものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a supply station, a heating station, a cooling station, and a take-out station, which are connected to the interior of the main body, on the upper part of the main body that can be maintained in a vacuum state. a rotary index is arranged inside the main body, and the heat-treated material supplied at the supply station is heated at the heating station, cooled at the cooling station, and taken out at the take-out station. This is a vacuum heat treatment furnace characterized in that it is configured such that the

【0007】また、この発明は、真空状態に保持可能な
本体の上部に、本体の内部と連通する供給ステーション
、加熱ステーション、冷却ステーション、および取出し
ステーションを4等配で配設し、一方、前記本体の内部
に設けたロータリーインデックスに、上下動可能である
とともに、上昇位置の時前記各ステーションの内部に位
置する被熱処理物支持部材を等配で4つ配設し、前記本
体の下部に、前記各被熱処理物支持部材と係合可能なエ
アーシリンダを等配で4つ設け、前記各被熱処理物支持
部材は、前記ロータリーインデックスで位置決めされた
状態で各エアーシリンダで上昇可能となっていることを
特徴とする真空熱処理炉を構成したものである。
[0007] Furthermore, in the present invention, a supply station, a heating station, a cooling station, and a take-out station that communicate with the inside of the main body are arranged at four equal intervals on the upper part of the main body that can be maintained in a vacuum state; A rotary index provided inside the main body is provided with four equally spaced supporting members for the object to be heat treated, which are movable up and down and located inside each station when in the raised position, and at the bottom of the main body, Four air cylinders capable of engaging with each of the support members for the heat-treated object are provided at equal intervals, and each of the support members for the heat-treated object can be raised by each air cylinder while being positioned by the rotary index. This is a vacuum heat treatment furnace characterized by the following.

【0008】さらに、この発明は、前記供給ステーショ
ンおよび取出しステーションは、前記本体の上面に設け
られた孔を貫通した状態となっている基台部と、この基
台部の上部に位置する本体部とから構成されるとともに
、前記加熱ステーションおよび冷却ステーションは、本
体の上面に設けられた孔を貫通した状態となっている本
体部を有している構成を有している。
Further, in the present invention, the supply station and the take-out station include a base portion penetrating a hole provided in the upper surface of the main body, and a main body portion located above the base portion. The heating station and the cooling station have a main body portion that extends through a hole provided in the upper surface of the main body.

【0009】そして、前記供給ステーション、および取
出しステーションの本体部は、エアーシリンダによって
、基台から離間可能であり、離間時に、被熱処理物支持
部材の上部が開放可能となっており、前記各ステーショ
ンの本体部の内部は真空に保持されるようになっており
、前記各ステーションの本体部の内部に不活性ガスを導
入可能となっている。
The main bodies of the supply station and the take-out station can be separated from the base by an air cylinder, and when separated, the upper part of the support member for the object to be heat-treated can be opened, and each of the stations The inside of the main body of the station is kept in a vacuum, and an inert gas can be introduced into the main body of each station.

【0010】0010

【作用】この発明は上記の手段を採用したことにより、
供給ステーションで被熱処理物支持部材の被熱処理物台
に載置した被熱処理物は、ロータリーインデックスによ
り、真空中を加熱ステーション、冷却ステーション、お
よび取出しステーションに順次搬送されて加熱処理が施
される。
[Operation] By adopting the above-mentioned means, this invention
The heat-treated object placed on the heat-treated object table of the heat-treated object support member at the supply station is sequentially conveyed in vacuum to a heating station, a cooling station, and a take-out station by a rotary index, and is subjected to heat treatment.

【0011】この搬送時に、まず、エアーシリンダで下
降位置にされて前記ロータリーインデックスによって加
熱ステーションの下方に移動され、エアーシリンダで上
昇されて加熱ステーションに位置される。
[0011] During this conveyance, first, it is brought to a lowered position by an air cylinder, moved to a position below the heating station by the rotary index, and then raised by an air cylinder and placed at the heating station.

【0012】つぎに、エアーシリンダで下降位置にされ
て前記ロータリーインデックスによって冷却ステーショ
ンの下方に移動され、エアーシリンダで上昇されて冷却
ステーションに位置される。
[0012] Next, it is lowered to a lower position by an air cylinder, moved below the cooling station by the rotary index, and raised by an air cylinder to be located at the cooling station.

【0013】そして、最後に、エアーシリンダで下降位
置にされて前記ロータリーインデックスによって取出し
ステーションの下方に移動され、エアーシリンダで上昇
されて取出しステーションに位置させて取り出し可能な
状態となる。
[0013]Finally, it is brought to a lowered position by an air cylinder, moved below the take-out station by the rotary index, and raised by an air cylinder and positioned at the take-out station so that it can be taken out.

【0014】[0014]

【実施例】以下、図面に示すこの発明の実施例について
説明する。図1〜図3にはこの発明による真空熱処理炉
の実施例が示されている。この真空熱処理炉は、真空に
保持可能な本体1の内部にロータリーインデックステー
ブル2が設けられ、このロータリーインデックステーブ
ル2は、その中心部に設けられた軸3が本体1の外部に
延出し、延出した端部に回転部材(図示せず)が設けら
れていることで、本体1の内部において水平方向に回転
可能となっている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the present invention shown in the drawings will be described below. 1 to 3 show an embodiment of a vacuum heat treatment furnace according to the present invention. This vacuum heat treatment furnace has a rotary index table 2 provided inside a main body 1 that can be maintained in a vacuum. A rotating member (not shown) is provided at the protruding end, so that it can be rotated horizontally inside the main body 1.

【0015】前記ロータリーインデックステーブル2に
は円周方向に等配(実施例では4等配)に軸受4を介し
て所定の範囲内で上下動可能に被熱処理物支持部材5が
設けられており、この被熱処理物支持部材5は、上面に
被熱処理物Aを載置可能な被熱処理物台6と、この被熱
処理物台6の下部に一体に設けられて、前記軸受4を貫
通した状態となっている支持部7とを有し、この支持部
7の下端部には係合部7aが設けられている。
The rotary index table 2 is provided with heat-treated object support members 5 arranged equidistantly in the circumferential direction (four equidistantly in this embodiment) via bearings 4 so as to be movable up and down within a predetermined range. , this heat-treated object support member 5 is integrally provided with a heat-treated object table 6 on which the heat-treated object A can be placed, and a lower part of this heat-treated object table 6, and extends through the bearing 4. The support portion 7 has a support portion 7 which has an engaging portion 7a at its lower end.

【0016】前記本体1の上部には、それぞれ内部が前
記本体1と連通している供給ステーション10、加熱ス
テーション11、冷却ステーション12、および取出し
ステーション13が円周方向に等配に配設されている。
At the upper part of the main body 1, a supply station 10, a heating station 11, a cooling station 12, and a take-out station 13, each of which is in communication with the main body 1, are arranged at equal intervals in the circumferential direction. There is.

【0017】前記供給ステーション10、および取出し
ステーション13は、本体1の内部に連通する孔を挿通
した状態に配設されている基台部14を有し、この基台
部14の上部に、上端が閉塞した筒状をなす本体部15
がエアーシリンダ16で上下動可能に設けられている。
The supply station 10 and the take-out station 13 have a base part 14 inserted through a hole communicating with the inside of the main body 1, and an upper end of the base part 14. The main body portion 15 has a closed cylindrical shape.
is provided so as to be movable up and down by an air cylinder 16.

【0018】したがって、前記供給ステーション10と
取出しステーション13との本体部15は共にエアーシ
リンダ16の作動によって上下動し、下降時に基台部1
4の上面に当接した状態となっている本体部15の内部
が前記本体1の内部と連通可能となっている。
Therefore, the main bodies 15 of the supply station 10 and the take-out station 13 both move up and down by the operation of the air cylinder 16, and when descending, the base part 1
The inside of the main body part 15 which is in contact with the upper surface of the main body 1 can communicate with the inside of the main body 1.

【0019】一方、前記加熱ステーション11、および
冷却ステーション12は共に前記本体1の上面に固定さ
れており、前記加熱ステーション11は上端が閉塞した
筒状をなす本体部15を有しており、この本体部15は
、その下端が前記本体1の上部に設けた孔を貫通した状
態で固定されている。したがって、加熱ステーション1
1および冷却ステーション12の本体部15の内部は前
記本体1の内部と連通可能となっている。
On the other hand, the heating station 11 and the cooling station 12 are both fixed to the upper surface of the main body 1, and the heating station 11 has a cylindrical main body 15 with a closed upper end. The main body part 15 is fixed with its lower end passing through a hole provided in the upper part of the main body 1. Therefore, heating station 1
1 and the inside of the main body part 15 of the cooling station 12 can communicate with the inside of the main body 1.

【0020】そして、前記加熱ステーション11の本体
部15の内部には、最内部にヒータ17が、その外側に
熱遮蔽板18がそれぞれ設けられ、また、本体部15の
外側には冷却水パイプ19が巻回されている。
Inside the main body 15 of the heating station 11, a heater 17 is provided in the innermost part, and a heat shield plate 18 is provided on the outside thereof.Furthermore, a cooling water pipe 19 is provided outside the main body 15. is wound.

【0021】一方、前記冷却ステーション12は、上端
が閉塞した筒状をなす本体部15を有し、この本体部1
5は、その下端が前記本体1の上部に設けた孔を貫通し
た状態で固定されている。したがって、冷却ステーショ
ン12の本体部15の内部は前記本体1の内部と連通可
能となっている。
On the other hand, the cooling station 12 has a cylindrical main body 15 with a closed upper end.
5 is fixed with its lower end passing through a hole provided in the upper part of the main body 1. Therefore, the inside of the main body 15 of the cooling station 12 can communicate with the inside of the main body 1.

【0022】そして、前記冷却ステーション12の内部
上部には冷却ファン20が、また、本体部15の外側に
は冷却水パイプ19が巻回されている。
A cooling fan 20 is wound inside the cooling station 12 at the upper part thereof, and a cooling water pipe 19 is wound around the outside of the main body 15.

【0023】前記本体1の下部の前記各ステーション1
0、11、12、13に対応する位置には、それぞれエ
アーシリンダ21が設けられ、このエアーシリンダ21
は、その作動部が本体1の内部に突出可能であるととも
に、先端部には係合部21aが設けられ、この係合部2
1aは前記被熱処理物支持部材5の支持部7の下端に設
けた係合部7aと係合可能であり、この係合状態は、水
平方向の移動には係合不能であるとともに、上下方向の
移動に対しては一体となって移動するようになっている
Each of the stations 1 at the bottom of the main body 1
Air cylinders 21 are provided at positions corresponding to 0, 11, 12, and 13, respectively.
The actuating part thereof can protrude into the interior of the main body 1, and an engaging part 21a is provided at the tip part, and this engaging part 2
1a can be engaged with an engaging part 7a provided at the lower end of the support part 7 of the support member 5 for the object to be heat treated, and in this engaged state, it cannot be engaged in horizontal movement and in the vertical direction. It is designed to move as a unit when it moves.

【0024】なお、前記本体1は真空ポンプと配管され
て真空状態に保持可能であるとともに、前記各ステーシ
ョン10、11、12、13の本体部15の内部も真空
ポンプで真空になるように形成され、また、不活性ガス
が導入可能となっている。
The main body 1 can be maintained in a vacuum state by being connected to a vacuum pump, and the inside of the main body 15 of each station 10, 11, 12, 13 is also formed to be evacuated by a vacuum pump. In addition, inert gas can be introduced.

【0025】つぎに前記のものの作用について説明する
。なお、初期の状態においては、各被熱処理物支持部材
5はエアーシリンダ21によって上方位置とされ、被熱
処理物台6が各ステーション10、11、12、13の
本体部15の内部を本体1の内方から閉塞した図3に示
す状態となっている。
Next, the operation of the above will be explained. Note that in the initial state, each support member 5 for the object to be heat-treated is placed in an upper position by the air cylinder 21, and the object to be heat-treated table 6 covers the inside of the main body 15 of each station 10, 11, 12, 13 of the main body 1. It is in the state shown in FIG. 3, where it is closed from the inside.

【0026】そして、前記供給ステーション10の本体
部15をエアーシリンダ16で上方へ移動して被熱処理
物支持部材5の被熱処理物台6を開放し、この被熱処理
物台6の上部に被熱処理物Aを載置し、こののち、再び
エアーシリンダ21を作動して本体部15を基台部14
に当接した状態、すなわち、本体部15の内部が密閉さ
れた状態とする。
Then, the main body 15 of the supply station 10 is moved upward by the air cylinder 16 to open the heat treatment target table 6 of the heat treatment target support member 5, and the heat treatment target is placed on the upper part of the heat treatment target table 6. Place the object A, and then operate the air cylinder 21 again to move the main body 15 to the base 14.
In other words, the inside of the main body portion 15 is in a sealed state.

【0027】また、前記本体1の内部は予め配管されて
いる真空ポンプによって真空状態に保持され、一方、前
記供給ステーション10の本体部15の内部を真空ポン
プによって真空状態に保持する。
Further, the interior of the main body 1 is maintained in a vacuum state by a vacuum pump installed in advance, while the interior of the main body portion 15 of the supply station 10 is maintained in a vacuum state by a vacuum pump.

【0028】こののち、被熱処理物Aが載置された被熱
処理物支持部材5を、それに対応したエアーシリンダ2
1を作動して下方に位置させて、被熱処理物台6の下面
がロータリーインデックステーブル2に取付けられた軸
受4の上面と当接した状態に保持する。
After that, the heat-treated object support member 5 on which the heat-treated object A is placed is moved to the corresponding air cylinder 2.
1 is operated and positioned downward, and the lower surface of the heat-treated object table 6 is held in contact with the upper surface of the bearing 4 attached to the rotary index table 2.

【0029】なお、このエアーシリンダ21の作動時に
あっては、他のすべてのエアーシリンダ21も同時に作
動して、それに対応する各被熱処理物支持部材5を下方
位置にしている。
It should be noted that when this air cylinder 21 is operated, all the other air cylinders 21 are also operated at the same time to bring the corresponding heat-treated object support members 5 to the lower position.

【0030】そして、この状態で前記ロータリーインデ
ックステーブル2を作動して、所定角度、すなわち、実
施例では90°だけ回動させる。この時、各被熱処理物
支持部材5の支持部7の下端係合部7aとエアーシリン
ダ21の作動部の上端係合部21aとの係合は解除する
ので、ロータリーインデックステーブル2の回動は妨げ
られる恐れはない。
[0030] In this state, the rotary index table 2 is operated and rotated by a predetermined angle, that is, 90° in this embodiment. At this time, the engagement between the lower end engaging part 7a of the support part 7 of each heat-treated object support member 5 and the upper end engaging part 21a of the operating part of the air cylinder 21 is released, so that the rotation of the rotary index table 2 is prevented. There is no danger of being hindered.

【0031】そして、ロータリーインデックステーブル
2の回動が終了した時点で、各被熱処理物支持部材5の
支持部7の下端係合部7aとエアーシリンダ21の作動
部の上端係合部21aとは係合状態となるので、各エア
ーシリンダ21を作動すると、今度は各被熱処理物支持
部材5が上方位置に上昇させられて、被熱処理物台6が
つぎのステーション10、11、12、13の本体部1
5の内部を本体1の内方から閉塞した状態となる。
When the rotation of the rotary index table 2 is completed, the lower end engaging portion 7a of the support portion 7 of each heat-treated object supporting member 5 and the upper end engaging portion 21a of the operating portion of the air cylinder 21 are connected to each other. Since they are in the engaged state, when each air cylinder 21 is actuated, each heat-treated object support member 5 is raised to an upper position, and the heat-treated object table 6 is moved to the next station 10, 11, 12, 13. Main body part 1
5 is closed from the inside of the main body 1.

【0032】したがって、供給ステーション10で被熱
処理物支持部材5の被熱処理物台6の上面に載置された
被熱処理物Aは加熱ステーション11の本体部15の内
部に位置され、加熱ステーション11で所定の加熱処理
が施される。
Therefore, the heat-treated object A placed on the upper surface of the heat-treated object table 6 of the heat-treated object support member 5 at the supply station 10 is located inside the main body 15 of the heating station 11, and A predetermined heat treatment is performed.

【0033】そして、加熱処理が終了した時点で、前記
と同様にロータリーインデックステーブル2、およびエ
アーシリンダ21が作動して被熱処理物支持部材5の被
熱処理物台6をその上面に被熱処理物Aを載置した状態
で冷却ステーション12に位置させて冷却処理を施し、
そして、その後に取出しステーション13に移動する。
When the heat treatment is completed, the rotary index table 2 and the air cylinder 21 are operated in the same manner as described above, and the heat treatment target A is placed on the heat treatment target table 6 of the heat treatment target support member 5 on the upper surface thereof. is placed in the cooling station 12 and subjected to cooling treatment,
Then, it moves to the take-out station 13.

【0034】前記取出しステーション13に到達した熱
処理が終了した被熱処理物Aは、取出しステーション1
3の本体部15をエアーシリンダ16で移動することで
取り出すことができる。
[0034] The heat-treated object A that has reached the take-out station 13 and has been heat-treated is transferred to the take-out station 1.
The main body portion 15 of No. 3 can be taken out by moving with the air cylinder 16.

【0035】したがって、上記のように構成したことに
より、まず、供給ステーション10で被熱処理物Aが載
置された被熱処理物支持部材5が加熱ステーション11
に位置して加熱される以前に、つぎに供給ステーション
10に位置する被熱処理物支持部材5の被熱処理物台6
につぎの被熱処理物Aを載置し、順次、供給ステーショ
ン10に位置する被熱処理物支持部材5の被熱処理物台
6に被熱処理物Aを載置すれば、被熱処理物Aの熱処理
を連続して行うことができ、この発明による真空熱処理
炉を被熱処理物の連続加工ラインに組み込むことができ
る。
Therefore, with the above-described configuration, first, the object to be heat treated support member 5 on which the object to be heated A is placed at the supply station 10 is transferred to the heating station 11.
Before being heated at the supply station 10, the workpiece support member 5 is placed on the workpiece table 6 of the workpiece support member 5 located at the supply station 10.
Next, the next heat-treated object A is placed, and the heat-treated object A is sequentially placed on the heat-treated object table 6 of the heat-treated object supporting member 5 located at the supply station 10, and then the heat-treated object A is heat-treated. It can be carried out continuously, and the vacuum heat treatment furnace according to the present invention can be incorporated into a continuous processing line for objects to be heat treated.

【0036】また、被熱処理物の熱処理を連続して行え
るので、被熱処理物の熱処理結果のバラツキを小さくす
ることができて、品質をほぼ一定にすることができる。
[0036] Furthermore, since the heat treatment of the object to be heat treated can be carried out continuously, variations in the results of heat treatment of the object to be heat treated can be reduced and the quality can be made almost constant.

【0037】なお、前記実施例においては、1つの加熱
ステーションを用いて、全体を4段階にしたものを示し
たが、これに限定することなく、加熱ステーションの数
に応じて複数温度の加熱処理を施すことができる。
[0037] In the above embodiment, one heating station was used and the entire process was performed in four stages. However, the present invention is not limited to this, and heat treatment at multiple temperatures can be performed depending on the number of heating stations. can be applied.

【0038】[0038]

【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、被熱処理物の熱処理を連続して行うことができる
ので、被熱処理物の連続ラインに組み込むことができて
被熱処理物の加工時間を短くすることができ、これによ
って製造ラインの製造効率を高めることができる。また
、連続的に真空熱処理を行うことができるので被熱処理
物の熱処理結果がほぼ均一にできて、品質のバラツキを
少なくすることができる。
[Effects of the Invention] By having the above-described structure, the present invention can continuously heat-treat the objects to be heat-treated, so that it can be incorporated into a continuous line for the objects to be heat-treated, thereby reducing the processing time of the objects to be heat-treated. can be shortened, thereby increasing the production efficiency of the production line. Furthermore, since the vacuum heat treatment can be performed continuously, the heat treatment results of the heat-treated object can be made almost uniform, and variations in quality can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】この発明による真空熱処理炉を示す概略図であ
る。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a vacuum heat treatment furnace according to the present invention.

【図2】この発明による真空熱処理炉の一部を切断した
状態を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a partially cut away state of the vacuum heat treatment furnace according to the present invention.

【図3】この発明による真空熱処理炉の各ステーション
の状態を示す概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing the state of each station of the vacuum heat treatment furnace according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……本体 2……ロータリーインデックステーブル3……軸 4……軸受 5……被熱処理物支持部材 6……被熱処理物台 7……支持部 7a、21a……係合部 10……供給ステーション 11……加熱ステーション 12……冷却ステーション 13……取出しステーション 14……基台部 15……本体部 16、21……エアーシリンダ 17……ヒータ 18……熱遮蔽板 19……冷却水パイプ 20……冷却ファン A……被熱処理物 1...Body 2...Rotary index table 3...Axis 4...Bearing 5...Heat-treated object support member 6...Heat-treated object stand 7...Support part 7a, 21a...engaging portion 10... Supply station 11... Heating station 12...Cooling station 13...Removal station 14...Base part 15...Body part 16, 21...Air cylinder 17... Heater 18...Heat shielding plate 19...Cooling water pipe 20...Cooling fan A...Things to be heat treated

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  真空状態に保持可能な本体の上部に、
本体の内部と連通する供給ステーション、加熱ステーシ
ョン、冷却ステーション、および取出しステーションを
それぞれ配設し、前記本体の内部にロータリーインデッ
クスを配設し、前記供給ステーションで供給された被熱
処理物が、前記加熱ステーションで加熱された後に冷却
ステーションで冷却され、この後前記取出しステーショ
ンで取り出されることを特徴とする真空熱処理炉。
[Claim 1] At the top of the main body that can be maintained in a vacuum state,
A supply station, a heating station, a cooling station, and a take-out station that communicate with the inside of the main body are respectively disposed, and a rotary index is disposed inside the main body, and the heat treatment object supplied at the supply station is A vacuum heat treatment furnace characterized in that the furnace is heated at a station, cooled at a cooling station, and then taken out at the takeout station.
【請求項2】  真空状態に保持可能な本体の上部に、
本体の内部と連通する供給ステーション、加熱ステーシ
ョン、冷却ステーション、および取出しステーションを
4等配で配設し、一方、前記本体の内部に設けたロータ
リーインデックスに、上下動可能であるとともに、上昇
位置の時前記各ステーションの内部に位置する被熱処理
物支持部材を等配で4つ配設し、前記本体の下部に、前
記各被熱処理物支持部材と係合可能なエアーシリンダを
等配で4つ設け、前記各被熱処理物支持部材は、前記ロ
ータリーインデックスで位置決めされた状態で各エアー
シリンダで上昇可能となっていることを特徴とする真空
熱処理炉。
[Claim 2] At the top of the main body that can be maintained in a vacuum state,
A supply station, a heating station, a cooling station, and a take-out station that communicate with the interior of the main body are arranged at four equal intervals, while a rotary index provided inside the main body is movable up and down and has a position in the raised position. At the time, four support members for the object to be heat-treated are arranged at equal intervals located inside each of the stations, and four air cylinders capable of engaging with the support members for the object to be heat-treated are arranged at the lower part of the main body at equal intervals. A vacuum heat treatment furnace, characterized in that each support member for the object to be heat treated is capable of being raised by each air cylinder while being positioned by the rotary index.
【請求項3】  前記供給ステーションおよび取出しス
テーションは、前記本体の上面に設けられた孔を貫通し
た状態となっている基台部と、この基台部の上部に位置
する本体部とから構成されている請求項1、2記載の真
空熱処理炉。
3. The supply station and the take-out station are comprised of a base part that passes through a hole provided on the top surface of the main body, and a main body part located above the base part. The vacuum heat treatment furnace according to claim 1 or 2.
【請求項4】  前記加熱ステーションおよび冷却ステ
ーションは、本体の上面に設けられた孔を貫通した状態
となっている本体部を有している請求項1、2記載の真
空熱処理炉。
4. The vacuum heat treatment furnace according to claim 1, wherein the heating station and the cooling station each have a main body that extends through a hole provided in the upper surface of the main body.
【請求項5】  前記供給ステーション、および取出し
ステーションの本体部は、エアーシリンダによって、基
台から離間可能であり、離間時に、被熱処理物支持部材
の上部が開放可能となっている請求項1、2記載の真空
熱処理炉。
5. The main body parts of the supply station and the take-out station can be separated from the base by an air cylinder, and when separated, the upper part of the support member for the object to be heat-treated can be opened. 2. The vacuum heat treatment furnace according to 2.
【請求項6】  前記各ステーションの本体部の内部は
真空に保持されるようになっている請求項1、2記載の
真空熱処理炉。
6. The vacuum heat treatment furnace according to claim 1, wherein the interior of the main body of each of the stations is maintained in a vacuum.
【請求項7】  前記各ステーションの本体部の内部に
不活性ガスを導入可能となっている請求項1、2記載の
真空熱処理炉。
7. The vacuum heat treatment furnace according to claim 1, wherein an inert gas can be introduced into the main body of each of the stations.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006169604A (en) * 2004-12-17 2006-06-29 Yamauchi Corp Method for producing semi-hard magnetic material
JP2014034715A (en) * 2012-08-09 2014-02-24 Jtekt Corp Heat treatment apparatus

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