JPH0431724A - 測温抵抗体による抵抗値温度変換回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野ｊ 工業計測において、温度測定は最も基本的な技術であり
、一般に広く用いられている。極超低温からはるかな超
高温に至るまで、様々な温度測定が必要であり、その測
定精度に関しても精粗様々である。

特に最近は半導体工業を始めとして精富加工・バイオテ
クノロジー分野において、環境条件の安定度に対する要
求が一段と強まり、その重要要素である温度に対する精
度も強く要請されるようになってきた。

例えば半導体工業における８インチシリコンウェハの現
状の配線間隔は０．５μｍ以下を目脂しており、シリコ
ンの線膨張係数（２，６ｘ　１０−６／℃）からしても
０．０１”Ｃ以下の温度制御の必要性が求められている
。

この発明は上述の如く先端産業からの強いニズにより従
来技術では無視してきた誤差部分の補正を実施するため
の技術的解決策に関するものである。すなわち、測温抵
抗体例えば白金線を用いた温度計測器・制御機器では、
白金線自身がもつ非線形誤差、またブリッジの回路方式
によって生ずる非線形誤差及び温度測定回路上に発生す
る誤差の３つが誤差の主因となるが、従来無視してきた
これらの誤差要因を是正し、−１１定精度の向上を図る
ことを目的とした抵抗−温度変換回路に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来、温度の測定を金属の抵抗値の温度変化で測定しよ
うと考え、実施してきたのは温度対抵抗値の変化がほぼ
直線的であると見たからである。

厳密に言えば、温度に対する抵抗値の変化は必ずしも比
例しない、すなわち直線的でなく非直線的な部分を含ん
でいる。従来はこの非直線的部分による測定誤差を無視
しても大局に影響を与える程の技術的不具合は生じなか
った。

併し、技術的要求が高まるにつれて、電子部品の特性の
変化によって生ずる僅かな誤差、あるいは従来無視でき
ていた測温抵抗体の非直線性による誤差等も無視できな
くなってきたことから、より合理的な回路の設計、補償
回路の付加が必要不可欠なものとなってきた。

その一つの流れがコンピュータを使用して演算計算を行
ない非線形誤差を補償しようとするものである。しかし
、この方法は、測温抵抗体の非線形誤差や電子回路部品
のバラツキ、ＡＤ変換器の量子化誤差等問題が内在する
ために、それぞれのバラツキを測定した上でプログラム
ソフトの変更をする必要があり、高精度を経済的に行な
う方法としては、十分満足なものとは言えない。

第２の方法は従来から種々考案されてきたアナログ的に
非線形誤差を補償する方法である。当初の方法としては
非線形誤差を折れ線近似で補償していく方法もとられて
いたが、技術的進歩につれて様々な補償方法が提案され
今日に至っている。

第５図は従来回路の１例である。

この回路例について若干の説明をする。この温度測定回
路は定電圧電源Ｅと接地電位（０ボルト）間に抵抗器Ｒ
１，Ｒ２，Ｒ３と測温抵抗体Ｒ４によって構成された抵
抗ブリッジであり、そのブリッジ出力電圧（Ｖｌ−Ｖ２
）を差動増幅器Ａ、で増幅し取り出す回路で、最も一般
的に使用されている回路である。測温抵抗体を含む導線
部分の絶縁性の劣化による漏洩電流による誤差、ノイズ
による誤差を軽減するため測温抵抗体の一端を接地電位
に保っており、通常Ｒｔ＝Ｒ２として、Ｒ３＝Ｒｔの時
ブリッジに流れる電流が１ｌ−ｉ３　＝ｉ２−ｉ４にな
るように設計されている。

また、差動増幅器Ａ１の入力抵抗及び帰還抵抗、バイア
ス抵抗はＲ４＝Ｒ５、Ｒ６＝Ｒ７に退択されているのが
通例である。説明を判りやすくするために通常１１＞ｉ
３．１２）ｉ４であることから、ｉ３、ｉ４を無視して
考え、Ｌを測温抵抗体とブリッジ間の導線に含まれる線
路抵抗とすると、今ブリッジ回路の出力電圧（Ｖｌ−Ｖ
２　）の演算式は、 ｖｌ−Ｖ２＝ （ア） で表わすことができる。

このような回路では次のような欠点がある。

（１）ブリッジにかかる電圧が定電圧であるために、測
温抵抗体Ｒｉの抵抗値が変化すると測温抵抗体に流れる
電流値が変化し、ブリッジ回路に非線形の誤差を生じる
。

（２）上記の理由により測温抵抗体に流れる電流値が変
化することにより測温抵抗体自身の自己発熱量が変化し
、正確な測定ができない。

（３）　白金のように温度対電気抵抗の特性が非直線的
である測温抵抗体ではその非線形誤差は無視できない。

（４）ブリッジに流れる電流が演算増幅器側に分流し、
測定電流の変化によって測定誤差を生じる。

（５）演算増幅器が差動増幅器であるために、抵抗Ｒ４
〜Ｒ７は精密抵抗を必要としゼロ点変動を起こしやすい
。

（６）Ｉｉｌ路抵抗抵抗変化によってスパン誤差を生じ
易い。（Ｒ１）Ｌによって軽減できる。）（７）測温抵
抗体への測定電流の流入点ｖ１の電位が高くなり、測温
抵抗体及び線路抵抗の絶縁劣化が生じると漏洩電流が増
加し測定誤差を生じる。

従来の回路では以上のような欠点を持っている。これら
の欠点を補うために回路の改善工夫・発明考案がなされ
、計測・制御対象にあわせて使用されている。

因みにこの方面での技術的解決策を図る技術文献は、我
国の特許庁に対し、特許又は実用新案の形で数多く出願
提案されておるはずで、平成２年（本年）３月２３日現
在の時点で、国際分類ＧＯＩＫ７／２０　（ブリッジ回
路）に属する抵抗−温度変換回路に関する発明は、昭和
４１〜平成元年までに７７件も登録されている。実用新
案の方は省くが、未審査の発明は昭和５５年以降の公開
公報によれば７９件が出願されている。最新の公開公報
以後も出願されていると推定され、１年６か月未満の出
願発明が従来の平均数位あると仮定すれば、ＩＯ件程度
見込めるので公開公報７９件にこれを加え８９件位あり
、この中で公告登録されるのは４０件前後に上ると推定
される。それに前７７件を加えれば１１７件に達するで
あろう。

その中で線形化即ち−リニャライズーを扱った誤差の補
正に関する発明は登録及び公開されたものだけから抜き
出しても２９件の多きに及んでいる。

未公開の中にも恐らく若干は含まれていると思われるの
で、如何にこの課題が真剣に技術的考察の対象とされて
いるかわかるであろう。

即ち再書すれば、非直線性の補償を中心に抵抗−温度変
換部の精度向上が温度測定技術の最重要課題として提起
されている。

［発明が解決しようとする課題１ 上述したように測定精度を高める要求が強まった。例え
ば、クリーンルーム等の環境条件は２０〜２５℃の範囲
で使用されており、その温度の測定誤差は０．１〜１．
０℃であればさして問題にされなかったのであるが、精
密加工分野ではこれを０．０１”Ｃ１０，００１℃以下
を必要とし、センサーから測定器自体の精度について問
い直さなければならないようになってきた。

現在市販されている精密級白金測温抵抗体のＪＩＳ精度
は士（０，１５＋０−００２１　Ｔ　ｌ　）　”Ｃであ
り、温度変換器の精度を含めると０．２℃以上の誤差を
もっている。

それ故に高精度の温度計測・制御を対象とする場合は、
センサーとしての測温抵抗体を含めて抵抗−温度変換器
を温度定点（例えば水の凝固点０℃、ガリウムの融解点
２９．７６４６℃、錫の凝固点２３１．９６８１”Ｃ等
）での温度校正を実施する必要があり、各温度定点間の
温度範囲に対してはその誤差が無視しつる程度まで線形
化されていることが、まず第１の課題と言える。

第２は測温抵抗体自身の自己発熱の影響がその形状、大
きさによって異なるが最大０．３℃あることである。測
温抵抗体自身によって生じる自己発熱の影響を除去する
ために極カ一定の発熱量（電力を供給する手段）とする
工夫が必要である。

第３は測温抵抗体を含め導線上における漏洩電流誤差を
軽減するために、これらに懸かる電圧が接地ラインに対
して低電位にする回路上の工夫である。

以上が従来技術・実施例でなしえていない技術的課題の
主要項目である。

この発明では以上の実状に基づき、抵抗変化による温度
測定回路を、より高精度の計測をなしつるよう改善策を
探究した結果、回路の構成を数式的に解析し合理的な洞
察力を駆使して回路の在り方を工夫し、少ない点数の電
子部品によって、理論的にも最も精度の高い近似値を実
現する回路構成を提案しようとするものである。

以下その思考過程を簡単に説明する。

−測温抵抗体の非線形誤差補正の理論的検討−従来実施
されてきた最も一般的な測温抵抗体の温度測定回路の基
本形に対する演算式（ア）は下記の式に書き改めること
ができる。ただし、Ｖ。

−Ｖ２＝ＶＯとする。

ただしＲ１＝Ｒ２，Ｋｔ、に２は定数 この回路で生ずる誤差を考察してみると、分子側での非
線形誤差は測温抵抗体Ｒｔ自身に由来する抵抗値（Ｒ１
）−温度（Ｔ）間の非線形誤差である。一方分母側の非
線形誤差はブリッジ回路に由来するものであり、その誤
差は上述の誤差と加算されて現われる結果となる。

それゆえ、分母側での誤差を軽減する方法として考案さ
れ、従来実施されてきた方法がブリッジに流れる電流を
定電流とした第６図に示す定電流方式である。

この方法の演算式は、 ただしに１は電流値によって定まる定数で示される。

この方式ではブリッジ抵抗に起因する非線形誤差（分母
側）は回避できるが、測温抵抗体Ｒ４自身に内在してい
る非線形誤差は回避できていない、そこでこれらの問題
点を解決する手段として、以下に述べる非線形誤差の補
正方法が考案された。

（１）ブリッジ電源電圧Ｅで補正する方法測温抵抗体の
温度Ｔに関する基準抵抗値（Ｊ　Ｉ　Ｓ）は Ｒｔ＝Ｒｏ（１＋ａＴ−βＴ’）　　・（３）ａ＝３．
９０８０２ＸｌＯ−’／℃ β＝５．８０２　ｘ　ｌ　Ｏ’／’Ｃ （白金の値を示す） と定められている。したがって、△Ｒ４＝Ｒｔ−Ｒ３と
おいて△Ｒ１を計算すると、 ΔＲｔ＝　（Ｒｔ　　Ｒ３） ＝　（Ｒｏ　　Ｒ３）＋Ｒａ　（ａＴ−ａＴ２）となる
、Ｒｔ＝Ｒｔとすると △Ｒ４＝Ｒ□　（ａＴ−ａＴ２） ＝ＲｏＴ（α−βＴ）　　　　　・・・（４）通常、ブ
リッジ出力を増幅するとその出力ＶＯはこの△Ｒ４かに
倍されて出力となるが、−ａＴ２の非線形要素が内在し
ているため、６００℃の温度点ではその誤差が−８，９
０７８％生じることになる。

そこで、この−ａＴ２の誤差項を削除する方法としてブ
リッジ電源Ｅに△Ｅを帰還する方法が考えられる。

今、ブリッジの増幅器の出力ＶＯに比例する△Ｅ＝Ａ１
△ＲｔＥなる電圧をブリッジ電源Ｅに加算すると（２）
式はＶｏ＝（Ｒ３Ｒｔ）（Ｅ十△Ｅ）／Ｋｌとなる。

Ｒ３：Ｒｏ、ＡＩＲｔ＝Ａとして、（４）式を代入して
計算すると ＫＩＶｏ＝　（Ｒ３Ｒｔ）（Ｅ＋ΔＥ）＝ΔＲｔ（１＋
Ａ１ΔＲｔ）　Ｅ ＝　［ＲＯＴ　（ａ−ａＴ）Ｊ　　［１＋ＡＩ　Ｒ□Ｔ
　（（２−ａＴ）　、ｌ　Ｅ＝ＲｏＴ［（α−βＴ）（
１＋ａＡＴ−βＡＴ２）］　Ｅ＝Ｒ（３Ｔ　［ａ＋ａ２
ＡＴ−ａβＡＴ２−βＴ−ａＢＡＴ２＋β２７！１．　
Ｔ３　］すなわち、出力ＶＯは温度Ｔに関して４次の関
数となり、２次の関数以降が非線形となる誤差項（Ｖε
）となる。その誤差項（Ｖε〕は（ＲｏａＴ［ａ２Ａ−
β）Ｔ−２ａβＡＴ２＋β２　Ａ　Ｔ　３　］■ε＝ α Ｅ） ・・−（６） となり、ある温度′ｒにおいて、その非線形誤差をゼロ
となるＡを求めると β２ＡＴ２−２ａＢＡＴ＋（ａ’Ａ−β）＝ＯＡ（β’
Ｔ２−２ａβＴ＋ａ２）＝β β 恒 −ρ の　　＋Ｊ −）Ｊ 呻 ヰ 物　　　。

；　」 匙　Φ し ＾　　へ ｃＱ　　　← く く　　α 閂　　　　ｑユ ｅｊ″ 一ヒ が成立する。

即ち測定しようとする温度Ｔａにおいてその誤差をゼロ
にした場合、その時温度Ｔａにおける帰還ゲインＡは一
義的に定まり、その誤差をゼロにすることが可能となる
。

温度Ｔ＝Ｏ℃の時は必然的にその誤差はゼロであること
から、０〜Ｔａ間の非線形誤差の温度は（８）式を微分
して求めることができ、その値は３βＡ ・・・・・・　（９） 例　測定範囲をＯ〜２９．７６４６℃とした場合の温度
誤差（帰還量Ａ、＝３．８３２７５％）温度Ｔ（基準値
）　基準値に対する非線形誤差ｏ、　ｏｏｏｏｏ　　℃
　　　　ｏ、　ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　℃１０．００００
０　　℃　　　＋〇、　００００５７５６　　°Ｃ１４
、８７４０６℃　　　＋〇、　０００１４６０６　　°
Ｃ２０、０００００℃　　　＋〇、０００１７３０８　
　°Ｃ２３、０００００℃　　　＋０．０００１５８５
４　　℃２９、７６４６　　℃　　　　ｏ、　ｏｏｏｏ
ｏｏｏｏ　　℃３０、０００００　　℃　　　−０，０
００００９３９℃（２）測温抵抗体に流れる電流値を微
小変化させて補正する方法 演算式（１）において分母側に測温抵抗体Ｒｔが存在し
ているとブリッジ回路の非線形誤差が加算されることか
ら１回路の工夫によって下記演算式（１１）が実現でき
れば、非線形誤差をより軽減できる。

（ただし−１＜Ｋ２Ｒｔ＜１） この考えに基づいて考案された回路は過去にその実施例
をみるが、本発明はこれらの回路とは異なった方法を提
案するものであり、その詳細については実施例第１図か
ら第４図を参昭して戴きたい。

式（１１）をテーラ−展開すると となり、ここでＫ　　２Ｒ２＋Ｋ　　３Ｒｔ３・・−・
・・以下を省略すると、 ・・・・・・　（１３） となり、これは（１）項で論じた補正と同じ結果となる
。

〔課題を解決するための手段］ 前項で検討したりニヤライズの理論的考察の結果、測温
抵抗体のブリッジ回路の構成の仕方によって、第７図に
例示する定電圧方式（従来の特許公報にその実施例あり
）と第８図に例示する定電流方式（従来の特許出願には
未だその例を見ない）とが考えられるが、定電圧方式は
ブリ・νジの非線形誤差も補正する必要があることから
、７１１＋＋温抵抗体に流れる電流を多く変化させる必
要力Ｓある。そのために測温抵抗体の自己発熱の影響、
線路抵抗の影響を受けやすくなるので、定電流の方式が
優れていると考える。したがって定電流方式によって１
式（１１）の特性が得られる回路を＋７）かに実現する
かである。

この方式をとれば「発明で解決する課題」の第１、第２
の問題が同時に解決される。第３の課題は、測温抵抗体
の電位を基準電圧である接地ラインに近付ける手段とし
て、測温抵抗体に定電流を供給する制御回路を接地電位
を基準として動作させれば、容易に解決が図れる。

［実施例］ 次に本発明の実施例について図面をもって詳しく説明す
る。

第１図は本発明の１実施例を示す温度測定１１９９回路
の回路図である。第２図、第３図及び第４図はそれぞれ
第１図の変形であり、特許請求の範囲第３項、第４項、
第５項に対応する実施態様を示す回路図である。

第１図において、Ｅは温度測定に用いるブリッジの定電
圧電源、Ｒ１，Ｒ２は測定電流設定抵抗器、Ｒ３は温度
の測定範囲によって定めるゼロサプレッション抵抗器、
Ｒｔは３＃ｉ式測温抵抗体であり、Ｌｌ、Ｒ２，Ｌ、は
３線式の線路抵抗値を示す。ｉｌ、ｉ２はＲ１、Ｒ２を
流れる電流値で、ｖｌ、Ｖｆ、ｖ２は夫々演算増幅器Ａ
、の反転入力端子電圧、非反転入力電圧およびＲ２とＲ
３の接続点電位を示す、ＶＣはブリッジ回路電流の合流
点の電位を示し、いずれも上述の説明中の符号と同一ま
たは相当のものを示す、Ａ１゜Ａ２は図示の位置に示す
測温抵抗体に流れる電流１１を制御する制御用演算増幅
器とブリッジの出力電圧ｖ２を増幅する演算増幅器で、
それぞれオフセット電圧が少なく且つ入力電流の少ない
演算増幅器が使用され、Ｖ１＝Ｖｆが実現できる。

Ｒ４、Ｒ５は演算増幅器Ａ２のゲインを定める抵抗器で
あり、Ｒ６及びＲｆは測温抵抗体の非線形誤差を補正す
るために設けた帰還抵抗である６１３はその帰還抵抗に
流れる電流である。

第１図において下記の式が成立する。

Ｖ＋＝−Ｒ６ｉ３　　　　　　　−・−（１４）ＶＣ＝
Ｖｔ−ｉｔ　　（Ｌ１＋Ｒｔ）　　−（１５）ｉ　１　
＝ｌＥ−Ｖ　ｌ）　／Ｒｌ　　　　　−・・（１６）Ｖ
ｏ”−ｉ　３　（Ｒ６＋Ｒｆ）　　　　−（１７）ｉ　
２＝　（Ｅ−Ｖｃ）／　（Ｒ２＋Ｒ３＋Ｌ２）・・・（
１８） Ｖ２＝Ｅ−Ｒ２ｉ２　　　　　　　　・・・（１９）Ｖ
２＝　（Ｒｓ　・Ｖｏ）／　（Ｒ４＋Ｒ５）（１４）、
（１７）式より Ｖ　１＝　Ｒ６Ｖ　ｏ　／　（Ｒｓ　＋　Ｒ＋　）（１
６）式に代入 １ｌ＝（Ｅ　　Ｖｔ）／Ｒｔ （Ｒ６＋Ｒｆ）Ｅ−Ｒ６Ｖ。

Ｒ１（Ｒ６＋Ｒ＋） が成立する。

この（２４）式は上述したー発明が解決しようとする課
題−の項の（２）測温抵抗体に流れる電流値を微少変化
させて補正する方法の（１１）式と同じ式であり、Ｏ＜
　Ｋ　Ｉ　Ｋ　２　／　Ｋ　３　＜　１の条件で抵抗値
を選定することもできる。すなわち本実施例において、
測温抵抗体中の非線形誤差及びブリッジに内在する非線
形誤差が回避でき、非線形誤差補正の実現が可能である
。

又、この回路は測温抵抗体に内在する非線形部分を定電
流の値を僅かに増加させて補償するものであるから、測
温抵抗体の自己発熱による誤差も軽微である。

さらに、測温抵抗体の電位は１１・Ｌｌで、数ｍＶ程度
であることから絶縁抵抗の劣化による漏洩電流による誤
差は無視でき、さらに、従来実施例において誤差要因の
課題となった増幅器Ａ２側に流入する電流による誤差も
同時に解決することが可能である。

以上説明は第１図の実施例であり、第２図、第３図、第
４図は別の実施例である６結論として（１１）式と同一
の演算式に整理でき、同一の結論を得ることができるの
で、その詳細説明は省くことにする。

〔発明の効果］ 本発明によれば、温度測定用抵抗体の非線形部分の補償
を国際的に定められた温度定点装置の精度限界まで十分
に満足できる。またその非線形誤差は使用する温度範囲
に亘って計算によって明かにすることも可能であり、プ
ロセスの要求に応じてより高精度の温度計測及び制御も
可能となる。

さらに付言すれば、最近半導体産業の技術的発展に伴い
、演算増幅器等の半導体は、より経済的で高精度のもの
が次々出現している。しかし、抵抗等の従来、比較的経
済性に優れていた受動部品はその要求精度に対してコス
ト高になる傾向にあり、要求精度を必要とする受動部品
の使用数は極力減少させる必要があり、またその方が経
済的に有利といえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す抵抗−温度変換回路、
第２図、第３図、第４図は他の実施例である。第５図は
従来の抵抗−温度変換回路の１実施例を示す回路図、第
６図はブリッジを定電流にした従来の回路を説明する簡
略図である。第７図は従来の特許公報にその実施例のあ
る定電圧方式の回路図であり、第８図は本発明方式を第
７図と対比するための簡略した回路図である。 Ｅ・・・定電圧電源の電圧 ■ｌ・・・Ｒ１とＲｔとの接続点（Ｌｔを介して）の電
位 ｖ２・−・Ｒ２とＲ３との接続点の電位Ｒ１、Ｒ２−・
・測定電流設定抵抗器の抵抗値Ｒ３・−・ゼロサプレッ
ション抵抗器の抵抗値Ｒ４・−・測温抵抗体の抵抗値 Ｌｌ、Ｌ２、Ｌ３・・・３線式の各線の線路抵抗値Ｒｆ
　−−一帰還抵抗値 Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７−・・抵抗値 １１．１２、ｉ３、ｉ４・・−電流値 Ａ、・−制御用演算増幅器 Ａ２−・−第２の演算増幅器 Ａ３・−第３の演算増幅器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　抵抗値が等しく一端が互いに共通接続された二つの
   測定電流設定抵抗器Ｒ＿１、Ｒ＿２と、この測定電流設
   定抵抗器のうちの一方Ｒ＿１の一端に接続された３線式
   測温抵抗体Ｒ＿ｔと、他方の測定電流設定抵抗器Ｒ＿２
   の一端に接続され他端が上記３線式測温抵抗体Ｒ＿ｔの
   他端に接続され測定温度レンジによって適宜その抵抗値
   が選定されるゼロサプレッション抵抗器Ｒ＿３との四つ
   の抵抗器によって構成される抵抗ブリッジと、上記２つ
   の測定電流設定抵抗器Ｒ＿１、Ｒ＿２の接続点と基準電
   位点の間に一定電圧Ｅを与える定電圧源と、温度変化に
   よる測温抵抗体Ｒ＿ｔの抵抗値とは無関係に一定の電流
   ｉ＿１を測温抵抗体に供給する手段として上記測定電流
   設定抵抗器Ｒ＿１と測定抵抗体との接続点に演算増幅器
   Ａ＿１の反転入力端子を接続し、該演算増幅器Ａ＿１の
   非反転入力端子を抵抗を介して基準電位に接続し、上記
   測温抵抗体を負帰還素子として構成させ、 ゼロサプレッション抵抗器Ｒ＿３と測温抵抗体Ｒ＿ｔの
   他端の接続点の電位を制御する手段を具備し、測定電流
   設定抵抗器Ｒ＿２とゼロサプレッション抵抗器Ｒ＿３と
   の接続点電位Ｖ＿２を第２の増幅器Ａ＿２において所定
   の出力信号に増幅することを特徴とする測温抵抗体によ
   る抵抗値温度変換回路。 ２　前記変換回路において、 測定電流設定抵抗器Ｒ＿２とゼロサプレッ ション抵抗器Ｒ＿３との接続点電位Ｖ＿２を第２の演算
   増幅器Ａ＿２の非反転入力端子に接続し、該演算増幅器
   Ａ＿２の出力を分割抵抗器Ｒ＿４、Ｒ＿５を介して基準
   電位に接続し、分割抵抗器Ｒ＿４、Ｒ＿５の接続点を該
   演算増幅器Ａ＿２の反転入力端子に負帰還する非反転型
   回路を具備することによって、該演算増幅器 Ａ＿２の出力を分解抵抗Ｒ＿ｆ、Ｒ＿６を介して、基準
   電位に接続し、その分解抵抗Ｒ＿ｆ、Ｒ＿５の接続電位
   Ｖ＿ｆを第１の演算増幅器Ａ＿１の非反転入力端子に接
   続し、測温抵抗体Ｒ＿ｔに流れる電流値を補正して、測
   温抵抗体Ｒ＿ｔの非線形誤差の改善を図ったことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項に記載した測温抵抗体によ
   る抵抗値温度変換回路。 ３　前記変換回路において、 測定電流設定抵抗器Ｒ＿２とゼロサプレッ ション抵抗器Ｒ＿３との接続点電位Ｖ＿２を第２の演算
   増幅器Ａ＿２の非反転入力端子に接続し、該演算増幅器
   Ａ＿２の出力を分割抵抗器Ｒ＿４、Ｒ＿５を介して基準
   電位に接続し、分割抵抗器Ｒ＿４、Ｒ＿５の接続点を該
   演算増幅器Ａ＿２の反転入力端子に負帰還する非反転型
   増幅回路を具備することによって、該演算増幅器Ａ＿２
   の出力を正帰還抵抗Ｒ＿ｆを介して前記ブリッジ電源電
   圧Ｅを司どる電源電圧制御用演算増幅器Ａ＿３の反転入
   力端子に接続し、測温抵抗体Ｒ＿ｔに流れる電流値を補
   正して、測温抵抗体Ｒ＿４の非線形誤差の改善を図った
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載した測温
   抵抗体による抵抗値温度変換回路。 ４　前記変換回路において、 測定電流設定抵抗器Ｒ＿２とゼロサプレッ ション抵抗器Ｒ＿３との接続点電位Ｖ＿２を第２の演算
   増幅器Ａ＿２の反転入力端子に入力抵抗器Ｒ＿４を介し
   て接続し、該演算増幅器Ａ＿２の非反転入力を基準電位
   に接続するとともに、該演算増幅器Ａ＿２の出力を負帰
   還抵抗器Ｒ＿５を介して該演算増幅器Ａ＿２の反転入力
   端子に負帰還する反転型増幅回路を具備することによっ
   て、該演算増幅器Ａ＿２の出力を正帰還抵抗Ｒ＿ｆを介
   して第１の演算増幅器Ａ＿１の反転入力端子に接続し、
   測温抵抗体Ｒ＿ｔに流れる電流値を補正して、測温抵抗
   体Ｒ＿ｔの非線形誤差の改善を図ったことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項に記載した測温抵抗体による抵抗
   値温度変換回路。 ５　前記変換回路において、 測定電流設定抵抗器Ｒ＿２とゼロサプレッ ション抵抗器Ｒ＿３との接続点電位Ｖ＿２を第２の演算
   増幅器Ａ＿２の反転入力端子に入力抵抗器Ｒ＿４を介し
   て接続し、該演算増幅器Ａ＿２の非反転入力を基準電位
   （ゼロ電位）に接続するとともに、該演算増幅器Ａ＿２
   の出力を負帰還抵抗器Ｒ＿５を介して該演算増幅器Ａ＿
   ２の反転入力端子に負帰還する反転型増幅回路を具備す
   ることによって、前記ブリッジ電源電圧Ｅを司どる電源
   電圧制御用演算増幅器Ａ＿３の非反転入力端子に接続し
   、測温抵抗体Ｒ＿ｔに流れる電流値を補正して、測温抵
   抗体Ｒ＿４の非線形誤差の改善を図ったことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項に記載した測温抵抗体による抵
   抗値温度変換回路。