JPH0429571Y2 - - Google Patents

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JPH0429571Y2 JP14238686U JP14238686U JPH0429571Y2 JP H0429571 Y2 JPH0429571 Y2 JP H0429571Y2 JP 14238686 U JP14238686 U JP 14238686U JP 14238686 U JP14238686 U JP 14238686U JP H0429571 Y2 JPH0429571 Y2 JP H0429571Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、例えばレーザダイオード用気密端
子の金属外環にヒートシンクをロー付けする際に
利用される熱処理治具に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field This invention relates to a heat treatment jig used, for example, when brazing a heat sink to a metal outer ring of a hermetic terminal for a laser diode.

従来の技術 レーザダイオード用気密端子の1例を、第3図
及び第4図を参照して説明すると、1は金属外
環、2a,2bは金属外環1の2箇所の丸穴3,
3に挿通されて、ガラス4,4にて封止された2
本のリード線、2cは金属外環1の下面に端面溶
接されたアース用リード線である。5は金属外環
1上に銀ロー等のロー材6でロー付けされた銅ブ
ロツク等のヒートシンク、7は金属外環1の上面
中央部付近に形成された矩形の傾斜状凹部であ
る。8はレーザ光の発光素子で、傾斜状凹部7を
臨むヒートシンク5の一側面上部に電気的機械的
に固着されている。9は傾斜状凹部7の傾斜底面
に電気的機械的に固着されたモニタ用受光素子で
ある。発光素子8と受光素子9の各々に表面電極
は通電用リード線2a,2bに金属細線〔図示せ
ず〕で電気的に接続され、また、発光素子8の裏
面電極はヒートシンク5と金属外環1を介し、受
光素子9の裏面電極は金属外環1を介して、リー
ド線2cに電気的に接続される。10は金属外環
1の外周部上に気密に固定されたキヤツプで、天
板部分に形成した窓10aに透光部材11が固着
されている。
BACKGROUND ART An example of an airtight terminal for a laser diode will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 1 is a metal outer ring, 2a and 2b are two round holes 3,
2 inserted into 3 and sealed with glass 4, 4
The main lead wire 2c is a grounding lead wire whose end face is welded to the lower surface of the metal outer ring 1. 5 is a heat sink such as a copper block soldered onto the metal outer ring 1 with a brazing material 6 such as silver solder, and 7 is a rectangular inclined recess formed near the center of the upper surface of the metal outer ring 1. Reference numeral 8 denotes a laser light emitting element, which is electrically and mechanically fixed to the upper part of one side of the heat sink 5 facing the inclined recess 7 . Reference numeral 9 denotes a monitoring light-receiving element electrically and mechanically fixed to the inclined bottom surface of the inclined recess 7. The surface electrodes of the light emitting element 8 and the light receiving element 9 are electrically connected to the current-carrying lead wires 2a and 2b by thin metal wires (not shown), and the back electrodes of the light emitting element 8 are connected to the heat sink 5 and the metal outer ring. 1, the back electrode of the light receiving element 9 is electrically connected to the lead wire 2c via the metal outer ring 1. Reference numeral 10 denotes a cap that is airtightly fixed on the outer periphery of the metal outer ring 1, and a transparent member 11 is fixed to a window 10a formed in the top plate portion.

発光素子8に通電して発光させると、その光の
一部はキヤツプ10の透光部材11を透過して、
レーザ光12として外部に放射される。また、発
光素子8からの光の一部は受光素子9に受光され
て、受光素子9の出力信号にて発光素子8の発光
の有無がモニタされる。
When the light emitting element 8 is energized to emit light, a portion of the light passes through the transparent member 11 of the cap 10 and
The laser beam 12 is emitted to the outside. Further, a part of the light from the light emitting element 8 is received by the light receiving element 9, and the presence or absence of light emission from the light emitting element 8 is monitored based on the output signal of the light receiving element 9.

ところで、上記レーザダイオード用気密端子に
於いて、金属外環1上にロー付けされるヒートシ
ンク5のロー付け強度及び位置決め精度が悪い
と、種々の不都合が生じる為、ヒートシンク5は
金属外環1上に高いロー付け強度が位置決め精度
でロー付けされることが要求される。
By the way, in the above airtight terminal for a laser diode, if the soldering strength and positioning accuracy of the heat sink 5 which is brazed onto the metal outer ring 1 is poor, various problems will occur. High brazing strength and positioning accuracy are required.

従来、ヒートシンク5を金属外環1上に精度よ
くロー付けするためには、金属外環1の上面に段
部を設けて、この段部の側面にヒートシンク5の
側面を当接させて位置決めする方法〔特開昭59−
172256号公報〕があるが、段部が必要で、コスト
アツプの要因となる。そこで、例えば概略第5図
に示すようなロー付け治具を用いて、多数個のヒ
ートシンク5を一括してロー付けしたのち、ヒー
トシンク5の発光素子8のマウント面を叩いて位
置出しをする方法〔特開昭59−172257号公報〕が
提案されている。このロー付け治具は、カーボン
製の第1治具13、第2治具14、第3治具15
を組合せたもので、以下順次説明する。
Conventionally, in order to accurately braze the heat sink 5 onto the metal outer ring 1, a step is provided on the upper surface of the metal outer ring 1, and the side surface of the heat sink 5 is positioned by abutting the side surface of this step. Method [Unexamined Japanese Patent Publication No. 1983-
No. 172256], but it requires a stepped portion, which increases costs. Therefore, for example, a method is used in which a large number of heat sinks 5 are brazed at once using a brazing jig as schematically shown in FIG. [Unexamined Japanese Patent Publication No. 172257/1983] has been proposed. This brazing jig includes a first jig 13, a second jig 14, and a third jig 15 made of carbon.
This is a combination of the following, and will be explained in sequence below.

第1治具13は上面に金属外環1が嵌まる複数
の凹部16を形成している。第2治具14は第1
治具13上に位置決め載置されるもので、前記凹
部16と対向する位置にヒートシンク5の挿入孔
17を形成している。第3治具15は第2治具1
4上に位置決め載置されるもので、下面に第2治
具14の挿入孔17に嵌入される突起18を形成
している。
The first jig 13 has a plurality of recesses 16 formed in its upper surface into which the metal outer ring 1 is fitted. The second jig 14 is the first
It is positioned and placed on a jig 13, and an insertion hole 17 for the heat sink 5 is formed at a position facing the recess 16. The third jig 15 is the second jig 1
4, and has a protrusion 18 formed on the lower surface thereof to be fitted into the insertion hole 17 of the second jig 14.

上面ロー付け治具は次のように使用される。先
ず、第1治具13の凹部16に金属外環1を嵌入
する。次に、第1治具13上に第2治具14を位
置決めピン〔図示せず〕で位置決めして載置して
から、第2治具14の挿入孔17にロー材6、ヒ
ートシンク5を順次に落下供給する。すると、ヒ
ートシンク5は金属外環1上にロー材6を介して
載置される。次に、第2治具14上に第3治具1
5を挿入孔17に突起18を挿入して載置する。
すると、ヒートシンク5は突起18が当つて上方
から加圧される。後は、第1〜第3治具13〜1
5を重ねたまま、加熱炉〔図示せず〕に通してロ
ー材6を加熱し、溶融させてヒートシンク5のロ
ー付けを行う。
The top brazing jig is used as follows. First, the metal outer ring 1 is fitted into the recess 16 of the first jig 13. Next, the second jig 14 is positioned and placed on the first jig 13 using positioning pins (not shown), and then the brazing material 6 and the heat sink 5 are inserted into the insertion hole 17 of the second jig 14. Supply falling sequentially. Then, the heat sink 5 is placed on the metal outer ring 1 with the brazing material 6 interposed therebetween. Next, place the third jig 1 on the second jig 14.
5 is placed by inserting the protrusion 18 into the insertion hole 17.
Then, the heat sink 5 is pressed against the protrusion 18 from above. After that, the first to third jigs 13 to 1
While stacking the heat sinks 5, the brazing material 6 is heated and melted by passing it through a heating furnace (not shown) to braze the heat sink 5.

考案が解決しようとする問題点 ところで、上記ロー付け治具では第3治具15
の下面に一体形成された多数個の突起18で、多
数個のヒートシンク5を加圧してロー付けしてい
る。ところが、その際、多数個のヒートシンク5
を同時に第3治具15の突起18で加圧してロー
付けする為、ヒートシンク5の寸法公差や組立時
のズレ等により、ヒートシンク5の上面高さ位置
が1個でも高いと、他のヒートシンク5が第3治
具15の突起18で加圧されなくなる。その結
果、第3治具15の突起18でヒートシンク5が
加圧されないと、ロー付けが不十分となつて、ヒ
ートシンク5と金属外環1との固着部の熱抵抗が
大きくなり、発光素子8の熱放散が不十分になり
易かつた。また、ロー付け強度が弱くて、ロー付
け後の仕上げメツキの時などにヒートシンク5が
金属外環1から外れ落ちることがあつた。また、
第3治具15の突起18でヒートシンク5が加圧
されないと、ヒートシンク5の部品精度、治具の
加工精度及びヒートシンク5と治具の熱膨張係数
の差等を考慮して、ヒートシンク5の外寸法より
も第2治具14の挿入孔17の内寸法が大きく設
定されている為、ヒートシンク5が挿入孔17内
で動いてしまい、位置決め精度が出ずロー付け後
にヒートシンク5の位置を修正をする必要があ
り、工程数が増える問題があつた。
Problems to be solved by the invention By the way, in the above brazing jig, the third jig 15
A large number of protrusions 18 integrally formed on the lower surface of the heat sink 5 pressurize and braze the large number of heat sinks 5. However, at that time, a large number of heat sinks 5
At the same time, the projections 18 of the third jig 15 pressurize and solder the heat sinks 5, so if even one heat sink 5 has a high top surface height due to dimensional tolerances of the heat sinks 5 or misalignment during assembly, other heat sinks 5 is no longer pressurized by the protrusion 18 of the third jig 15. As a result, if the heat sink 5 is not pressurized by the protrusion 18 of the third jig 15, brazing will be insufficient, and the thermal resistance of the bonded portion between the heat sink 5 and the metal outer ring 1 will increase, and the light emitting element 8 heat dissipation was likely to be insufficient. Furthermore, the brazing strength was weak, and the heat sink 5 sometimes came off and fell off the metal outer ring 1 during finish plating after brazing. Also,
If the heat sink 5 is not pressurized by the protrusion 18 of the third jig 15, the heat sink 5 will be removed by taking into consideration the component precision of the heat sink 5, the processing precision of the jig, the difference in thermal expansion coefficient between the heat sink 5 and the jig, etc. Since the inner dimensions of the insertion hole 17 of the second jig 14 are set larger than the dimensions, the heat sink 5 moves within the insertion hole 17, resulting in poor positioning accuracy and the position of the heat sink 5 must be corrected after brazing. There was a problem of increasing the number of steps.

そこで、ヒートシンク5の1個1個に錘をのせ
て加圧すると、上記問題点は解消されるが、組立
工数がかかり過ぎて実用的でなかつた。
Therefore, if a weight is placed on each of the heat sinks 5 to apply pressure, the above-mentioned problem can be solved, but it requires too many assembly steps and is not practical.

問題点を解決するための手段 この考案は、上記問題点に鑑み、これを解決し
たもので、第1熱処理部材を嵌める複数の凹部
と、該凹部に対向する第2熱処理部材の挿入孔
と、前記凹部に嵌入された第1熱処理部材上に載
置される第2熱処理部材を押圧ブロツクを介して
所定方向に弾圧するセラミツクバネとを具備する
熱処理治具を提供する。
Means for Solving the Problems This invention is a solution to the above problems, and includes a plurality of recesses into which the first heat treatment member is fitted, an insertion hole for the second heat treatment member facing the recesses, A heat treatment jig is provided which includes a ceramic spring that presses a second heat treatment member placed on the first heat treatment member fitted into the recess in a predetermined direction via a pressing block.

作 用 1個1個の第2熱処理部材を個々の押圧ブロツ
クを介して夫々セラミツクバネで加圧することに
より、上面高さにバラツキが生じてもそれら全部
を充分に加圧することができ。
Function: By pressurizing each second heat-treated member with a ceramic spring through an individual pressure block, all of them can be sufficiently pressurized even if there are variations in the height of the upper surface.

実施例 以下、第3図及び第4図のレーザダイオード用
気密端子の金属外環1上に、ヒートシンク5をロ
ー付けするのに使用するロー付け治具にこの考案
を適用した実施例を、第1図に基づいて詳細に説
明する。
Embodiment Hereinafter, an embodiment in which this invention is applied to a brazing jig used for brazing a heat sink 5 onto the metal outer ring 1 of the hermetic terminal for a laser diode shown in FIGS. 3 and 4 will be described. This will be explained in detail based on FIG.

第1図のロー付け治具は、3つの平板状のカー
ボン製第1〜第3治具19,20,21で構成さ
れる。
The brazing jig shown in FIG. 1 is composed of three flat carbon first to third jigs 19, 20, and 21.

第1治具19と第2治具20は例えば第5図の
第1治具13、第2治具14と同一構造のもので
ある。即ち、第1治具19は上面に金属外環1が
嵌まる複数の凹部22を形成している。第2治具
20は第1治具19上に位置決め載置されるもの
で、前記凹部22と対向する位置にヒートシンク
5の挿入孔23を形成している。
The first jig 19 and the second jig 20 have the same structure as the first jig 13 and the second jig 14 shown in FIG. 5, for example. That is, the first jig 19 has a plurality of recesses 22 formed on its upper surface into which the metal outer ring 1 is fitted. The second jig 20 is positioned and placed on the first jig 19, and has an insertion hole 23 for the heat sink 5 formed at a position facing the recess 22.

この実施例のロー付け治具の特徴とするのは、
第3治具21である。この第3治具21は第2治
具20上に位置決め載置されるもので、その下面
の第2治具20の挿入孔23と対応する位置に凹
部24を形成し、この凹部24内に前記挿入孔2
3に嵌入する押圧ブロツク25を嵌挿し、この押
圧ブロツク25と第3治具21の間に、セラミツ
クバネ26をその一端をブロツク25に固着さ
せ、かつ、他端を第3治具21に固着させて介在
している。このセラミツクバネ26は、例えば部
分安定化ジルコニア製のものを使用する。
The characteristics of the brazing jig of this example are as follows:
This is the third jig 21. This third jig 21 is positioned and placed on the second jig 20, and has a recess 24 formed on its lower surface at a position corresponding to the insertion hole 23 of the second jig 20. The insertion hole 2
3, a ceramic spring 26 is placed between the press block 25 and the third jig 21 with one end fixed to the block 25 and the other end fixed to the third jig 21. I am intervening. This ceramic spring 26 is made of, for example, partially stabilized zirconia.

次に、第1〜第3治具19〜21によるヒート
シンク5のロー付け要領を説明する。先ず、第5
図の従来例と同様にして、第1治具19の凹部2
2に金属外環1を嵌入し、その後、第1治具19
上に第2治具20を位置決め載置してから、第2
治具20の挿入孔23にロー材6、ヒートシンク
5を順次に落下供給する。次に、第2治具20上
に第3治具21を挿入孔23に押圧ブロツク25
を挿入して載置する。すると、ヒートブロツク5
は押圧ブロツク25が弾圧接触して上方から加圧
される。後は、第1〜第3治具19〜21を重ね
たまま加熱処理すれば、ロー材6が溶融してヒー
トシンク5が金属外環1上にロー付けされる。
Next, a procedure for brazing the heat sink 5 using the first to third jigs 19 to 21 will be explained. First, the fifth
Similarly to the conventional example shown in the figure, the recess 2 of the first jig 19 is
2, and then fit the first jig 19 into the metal outer ring 1.
After positioning and placing the second jig 20 on top,
The brazing material 6 and the heat sink 5 are sequentially dropped and supplied into the insertion hole 23 of the jig 20. Next, the third jig 21 is placed on the second jig 20 and the pressing block 25 is inserted into the insertion hole 23.
Insert and place. Then, heat block 5
The pressure block 25 comes into elastic contact with the pressure block 25 and is pressed from above. After that, heat treatment is performed while the first to third jigs 19 to 21 are piled up, so that the brazing material 6 is melted and the heat sink 5 is brazed onto the metal outer ring 1.

このようなロー付け動作に於いて、ヒートシン
ク5の寸法公差により、ヒートシンク5の上面高
さにバラツキが生じても、ヒートシンク5の1個
1個に個々の押圧ブロツク25が弾圧接触される
ので、全部のヒートシンク5を充分に加圧させる
ことができ、従つて、ヒートシンク5と金属外環
1との固着部の熱抵抗を小さくでき、発光素子8
の熱放散を能率よく行え、また、ロー付け強度を
向上できて、ロー付け後の仕上げメツキの時等に
ヒートシンク5が金属外環1から外れ落ちる心配
は無く、しかも、ヒートシンク5が挿入孔23内
で動かないから、ヒートシンク5を挿入孔23内
に落下供給した後に治具全体を傾斜させる等の手
段により、位置決め精度を出していれば、ヒート
シンク5を位置決め精度よくロー付けすることが
できる。
In such a brazing operation, even if the height of the top surface of the heat sink 5 varies due to the dimensional tolerance of the heat sink 5, the individual pressing blocks 25 are brought into pressure contact with each of the heat sinks 5. All the heat sinks 5 can be sufficiently pressurized, therefore, the thermal resistance of the bonded portion between the heat sink 5 and the metal outer ring 1 can be reduced, and the light emitting element 8 can be
heat dissipation can be carried out efficiently, the brazing strength can be improved, and there is no fear that the heat sink 5 will come off from the metal outer ring 1 during finish plating after brazing, and moreover, the heat sink 5 can be inserted into the insertion hole 23. Since the heat sink 5 does not move within the insertion hole 23, if the heat sink 5 is dropped and supplied into the insertion hole 23 and then the entire jig is tilted to achieve positioning accuracy, the heat sink 5 can be brazed with high positioning accuracy.

次に、この考案の他の実施例を第2図に基づき
説明すると、この場合は、例えば第1図のロー付
け治具の第3治具21を削除し、第2治具20に
挿入孔23に連通するブロツク溝27を形成し、
このブロツク溝27にセラミツクバネ26を介し
て押圧ブロツク25を嵌挿したもので、挿入孔2
3内に落下供給されたヒートシンク5は押圧ブロ
ツク25により挿入孔23の一内側面〔位置決め
面〕に押圧されて常に一定の位置でロー付けが行
われる。これにより、ロー付け後のヒートシンク
5の位置修正を省くことができる。
Next, another embodiment of this invention will be explained based on FIG. 2. In this case, for example, the third jig 21 of the brazing jig shown in FIG. forming a block groove 27 communicating with 23;
A pressing block 25 is fitted into this block groove 27 via a ceramic spring 26, and the insertion hole 2
The heat sink 5 dropped into the heat sink 3 is pressed against the inner surface (positioning surface) of the insertion hole 23 by the pressing block 25, and is always brazed at a constant position. This eliminates the need to correct the position of the heat sink 5 after brazing.

以上この考案につき好適な実施例を挙げて種々
説明したが、この考案はこの実施例に限定される
ものではなく、種々の変更を施し得るのはもちろ
んのことである。例えば、実施例ではレーザダイ
オード用気密端子の金属外環にヒートシンクをロ
ー付けする場合について述べたが、アースリード
線のロー付けや半導体圧力変換器用気密端子にお
ける導圧パイプのロー付けあるいはリード線のガ
ラス封着等にも適用し得る。
Although this invention has been variously explained above with reference to preferred embodiments, this invention is not limited to these embodiments, and it goes without saying that various changes can be made. For example, in the embodiment, the case of brazing a heat sink to the metal outer ring of an airtight terminal for a laser diode was described, but brazing a ground lead wire, brazing a pressure pipe in an airtight terminal for a semiconductor pressure transducer, or brazing a lead wire. It can also be applied to glass sealing, etc.

考案の効果 この考案によれば、全部の熱処理部材〔ヒート
シンク等〕が充分に加圧されるので、固着強度及
び位置決め精度に優れた熱処理治具を提供するこ
とができる。
Effects of the invention According to this invention, all the heat treatment members (heat sinks, etc.) are sufficiently pressurized, so it is possible to provide a heat treatment jig with excellent fixing strength and positioning accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの考案に係る熱処理治具の一実施例
を示し部分断面図、第2図はこの考案の他の実施
例を示す部分断面図、第3図はレーザダイオード
用気密端子の要部縦断面図、第4図はそのキヤツ
プを取外した状態の平面図、第5図は従来のレー
ザダイオード用気密端子のロー付け治具を示す部
分断面図である。 19……第1治具、20……第2治具、21…
…第3治具、22……凹部、23……挿入孔、2
5……押圧ブロツク、26……セラミツクバネ。
Fig. 1 is a partial sectional view showing an embodiment of the heat treatment jig according to this invention, Fig. 2 is a partial sectional view showing another embodiment of this invention, and Fig. 3 is a main part of an airtight terminal for a laser diode. 4 is a plan view with the cap removed, and FIG. 5 is a partial sectional view showing a conventional soldering jig for a hermetic terminal for a laser diode. 19...first jig, 20...second jig, 21...
...Third jig, 22... Recess, 23... Insertion hole, 2
5... Pressing block, 26... Ceramic spring.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 第1熱処理部材を嵌める複数の凹部と、該凹部
に対向する第2熱処理部材の挿入孔と、前記凹部
に嵌入された第1熱処理部材上に載置される第2
熱処理部材を押圧ブロツクを介して所定方向に弾
圧するセラミツクバネとを具備することを特徴と
する熱処理治具。
A plurality of recesses into which the first heat treatment members are fitted, an insertion hole for the second heat treatment member facing the recesses, and a second heat treatment member placed on the first heat treatment member fitted into the recesses.
A heat treatment jig characterized by comprising a ceramic spring that presses a heat treatment member in a predetermined direction via a pressing block.
JP14238686U 1986-09-17 1986-09-17 Expired JPH0429571Y2 (en)

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