JPH04284253A - Piezoelectric head for ink-jet printer - Google Patents

Piezoelectric head for ink-jet printer

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JPH04284253A
JPH04284253A JP3048029A JP4802991A JPH04284253A JP H04284253 A JPH04284253 A JP H04284253A JP 3048029 A JP3048029 A JP 3048029A JP 4802991 A JP4802991 A JP 4802991A JP H04284253 A JPH04284253 A JP H04284253A
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JP
Japan
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ink
piezoelectric
actuator element
divided
piezoelectric ceramic
Prior art date
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JP3048029A
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Japanese (ja)
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Masahiko Suzuki
雅彦 鈴木
Yoshikazu Takahashi
義和 高橋
Yoshiyasu Honma
義康 本間
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Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10Finger type piezoelectric elements

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the injection efficiency of ink by constituting a driving electrode of at least two or more of divided electrodes in the longitudinal direction of the wall of a piezoelectric material in a piezoelectric actuator element. CONSTITUTION:A piezoelectric ceramic board is composed of a large number of piezoelectric ceramic walls 11 arranged in parallel, a large number of ink grooves 12 formed among the adjacent piezoelectric ceramic walls 11 and disposed in parallel, and driving electrodes 14a, 14b, 14c divided into three and formed along the direction of injection 18 of ink on both side faces of the piezoelectric ceramic walls. Leading-out electrodes 15a, 15b are shaped on the bases 13 of the ink grooves 12 in order to input driving signals at every two split electrode in positional relationship oppositely faced while holding the ink grooves 12 in the divided driving electrodes.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータ素
子を用いたインクジェットプリンタ用圧電ヘッドに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric head for an inkjet printer using a piezoelectric actuator element.

【0002】0002

【従来の技術】従来、圧電材料のせん断変形を利用した
インクジェットプリンタ用圧電ヘッドが特開昭63−2
47051号公報に記載されている。該インクジェット
プリンタ用圧電ヘッドは多数のインク噴射孔を有するイ
ンク噴射ノズルプレートと、該ノズルプレートが接続さ
れたインク供給のための多数のインク溝(圧力チャンバ
ー)と両側面に駆動電極が形成された多数の圧電材料の
壁を有する、せん断変形圧電アクチュエータ素子と、イ
ンク補充のための給液機構から構成されている。上記イ
ンクジェットプリンタ用圧電ヘッドは駆動電極に電界を
印加すると圧電材料の壁がせん断変形を起こし、次に電
界を取り去ることによって圧電材料の壁を初期状態に復
元する。この際インク溝の容積変化を引き起こす。その
結果インク溝中のインクの液圧が変化しノズルプレート
の噴射孔からインクの噴射が起こる。
[Prior Art] Conventionally, a piezoelectric head for an inkjet printer using shear deformation of a piezoelectric material was disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-2
It is described in Publication No. 47051. The piezoelectric head for an inkjet printer includes an ink jet nozzle plate having a large number of ink jet holes, a large number of ink grooves (pressure chambers) connected to the nozzle plate for supplying ink, and drive electrodes formed on both sides. It consists of a shear deformation piezoelectric actuator element having multiple walls of piezoelectric material, and a liquid supply mechanism for ink replenishment. In the piezoelectric head for an inkjet printer, when an electric field is applied to the drive electrode, the wall of the piezoelectric material causes shear deformation, and then, by removing the electric field, the wall of the piezoelectric material is restored to its initial state. At this time, the volume of the ink groove changes. As a result, the hydraulic pressure of the ink in the ink groove changes, causing ink to be ejected from the ejection holes of the nozzle plate.

【0003】この様な圧電アクチュエータ素子をインク
ジェットプリンタヘッドに応用する場合、最低限必要な
インク溝容積及びインク溝の容積変化量を確保し、且つ
インク噴射孔の集積度を向上させるためにはインク溝の
幅及び深さ寸法に対しインク噴射方向の長さ寸法を十分
大きくした平行に並んだ多数個のインク溝を形成する必
要があった。また圧電材料のせん断変形を生じさせるた
め駆動電極19はインク溝12を形成する隣合った圧電
材料11の壁の両側面に図4の様に形成する必要があっ
た。
When applying such a piezoelectric actuator element to an inkjet printer head, it is necessary to ensure the minimum required ink groove volume and volume change amount of the ink groove, and to improve the degree of integration of ink ejection holes. It is necessary to form a large number of parallel ink grooves whose length in the ink jetting direction is sufficiently larger than the width and depth of the grooves. Furthermore, in order to cause shear deformation of the piezoelectric material, it was necessary to form the drive electrodes 19 on both sides of the walls of the adjacent piezoelectric materials 11 forming the ink grooves 12, as shown in FIG.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
駆動電極では圧電材料の初期状態への復元に伴い圧電材
料の壁の変形がインク噴射方向の各所で同時に起こるた
め、インクに発生した圧力波のインク噴射孔までの伝播
時間が噴射孔までの距離によって異なり噴射効率が低下
していた。また噴射孔までの距離の長い部分で発生した
圧力波は伝播損失も大きくなると言う問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in conventional drive electrodes, as the piezoelectric material returns to its initial state, the wall of the piezoelectric material simultaneously deforms at various locations in the ink jetting direction. The propagation time to the ink ejection hole varied depending on the distance to the ejection hole, and the ejection efficiency was reduced. Another problem is that pressure waves generated at a long distance to the injection hole have a large propagation loss.

【0005】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、インクの噴射効率を向上させた
インクジェットプリンタ用圧電ヘッドを実現することを
目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to realize a piezoelectric head for an inkjet printer with improved ink jetting efficiency.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインクジェットプリンタ用圧電ヘッドに利用
される圧電アクチュエータ素子は圧電材料の平行に並ん
だ多数個の壁と、隣合った圧電材料の壁により形成され
る平行に並んだ多数個のインク溝と、前記圧電材料の壁
の両側面に長手方向に分割されて形成された駆動電極と
からなる。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, a piezoelectric actuator element utilized in a piezoelectric head for an inkjet printer of the present invention has a plurality of parallel walls made of piezoelectric material, It consists of a large number of ink grooves arranged in parallel formed by the wall of the piezoelectric material, and drive electrodes divided in the longitudinal direction and formed on both sides of the wall of the piezoelectric material.

【0007】[0007]

【作用】上記の構成を有する本発明の圧電アクチュエー
タ素子は、電界印加によって圧電材料の壁にせん断変形
を生じさせる。圧電材料の壁の間に形成されたインク溝
は圧電材料の壁のせん断変形によって、インク溝の容積
変化を生じ一種の圧力チャンバーとして動作すると共に
インクの流路として作用する。
[Operation] The piezoelectric actuator element of the present invention having the above structure causes shear deformation in the wall of the piezoelectric material by applying an electric field. The ink groove formed between the walls of the piezoelectric material changes its volume due to shear deformation of the wall of the piezoelectric material, and acts as a kind of pressure chamber and as an ink flow path.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】本実施例の圧電アクチュエータ素子の概略
図を図1に示し、分割電極部分の詳細な図を図2に示し
た。本実施例の圧電アクチュエータ素子16は圧電材料
として厚み方向に分極方向17を持つ圧電セラミックス
が用いられている。該圧電セラミックス板は平行に並ん
だ多数個の圧電セラミックスの壁11と、隣合う圧電セ
ラミックスの壁11の間に形成された平行に並んだ多数
個のインク溝12と、圧電セラミックスの壁の両側面に
インクの噴射方向18(長手方向)に沿って3分割して
形成された駆動電極14a、14b、14cと、分割さ
れた駆動電極のうちインク溝12をはさんで対向する位
置関係の各2つの分割電極ごとに駆動信号を入力するた
めにインク溝12の底面13に形成された引き出し電極
15a、15bとから構成されている。
A schematic diagram of the piezoelectric actuator element of this embodiment is shown in FIG. 1, and a detailed diagram of the divided electrode portion is shown in FIG. The piezoelectric actuator element 16 of this embodiment uses piezoelectric ceramics having a polarization direction 17 in the thickness direction as a piezoelectric material. The piezoelectric ceramic plate includes a large number of piezoelectric ceramic walls 11 arranged in parallel, a large number of ink grooves 12 arranged in parallel formed between adjacent piezoelectric ceramic walls 11, and both sides of the piezoelectric ceramic walls. Drive electrodes 14a, 14b, and 14c formed on a surface by dividing into three along the ink jetting direction 18 (longitudinal direction), and each of the divided drive electrodes facing each other across the ink groove 12. It consists of extraction electrodes 15a and 15b formed on the bottom surface 13 of the ink groove 12 for inputting drive signals for each of the two divided electrodes.

【0010】本実施例の圧電アクチュエータ素子16を
用いたインクジェットプリンタ用圧電ヘッドの構成例の
概略図を図3に示す。上記の構成の圧電アクチュエータ
素子16a、16bを圧電セラミックスの壁11の上面
で接合し、各々2つのインク溝12でインク流路(圧力
チャンバー)を形成してある。多数個のインク噴射孔4
1を有するインクノズルプレート42は圧電アクチュエ
ータ素子の前面に接合されている。
FIG. 3 shows a schematic diagram of a configuration example of a piezoelectric head for an inkjet printer using the piezoelectric actuator element 16 of this embodiment. The piezoelectric actuator elements 16a and 16b having the above configuration are joined together on the upper surface of the piezoelectric ceramic wall 11, and two ink grooves 12 each form an ink flow path (pressure chamber). Multiple ink jet holes 4
An ink nozzle plate 42 with 1 is joined to the front side of the piezoelectric actuator element.

【0011】以下に圧電アクチュエータ素子の分割駆動
電極に駆動信号が入力された時の動作を図4を参照して
説明する。圧電セラミックスの壁11の両側面に形成さ
れた駆動電極に電界が印加されると、圧電セラミックス
の壁の分極方向と印加電界の方向が直交しているため圧
電セラミックスの壁は高さ方向(厚み方向)の寸法変化
を伴わずにせん断変形(厚みすべり変形とも言う)を発
生する。次に印加された電界を取り去ることで圧電セラ
ミックスの壁を初期状態へ復元する。
The operation when a drive signal is input to the divided drive electrodes of the piezoelectric actuator element will be described below with reference to FIG. When an electric field is applied to the drive electrodes formed on both sides of the piezoelectric ceramic wall 11, the piezoelectric ceramic wall will move in the height direction (thickness Shear deformation (also called thickness shear deformation) occurs without any dimensional change in direction). Next, the applied electric field is removed to restore the piezoelectric ceramic wall to its initial state.

【0012】この際2つのインク溝12で形成されたイ
ンク流路(圧力チャンバー)は容積変化を起こす。これ
に伴って圧力チャンバー内に発生した圧力波はインク流
路内を伝播し、インクノズルプレート42に形成された
インク噴射孔41よりインク液滴の噴射を行う。インク
の噴射に必要な圧力チャンバーの容積変化は噴射効率が
100%ならば噴射されるインク液滴の体積と同じであ
ればよい訳であるが、実際には圧電セラミックスの壁と
圧力チャンバー内のインクのコンプライアンス比や給液
口からのインクの戻り等により噴射効率が低下する。従
って適切なインク噴射を実現するためには噴射されるイ
ンク液滴の体積よりかなり大きな容積変化を圧力チャン
バー内に発生させる必要がある。
At this time, the volume of the ink flow path (pressure chamber) formed by the two ink grooves 12 changes. The pressure waves generated in the pressure chamber along with this propagate within the ink flow path, and ink droplets are ejected from the ink ejection holes 41 formed in the ink nozzle plate 42. If the ejection efficiency is 100%, the change in the volume of the pressure chamber required to eject ink should be the same as the volume of the ejected ink droplets, but in reality, the change in volume of the pressure chamber required for ink ejection is the same as the volume of the ejected ink droplets. Ejection efficiency decreases due to ink compliance ratio, ink return from the ink supply port, etc. Therefore, in order to achieve proper ink ejection, it is necessary to generate a volume change within the pressure chamber that is considerably larger than the volume of the ink droplet to be ejected.

【0013】また圧力チャンバーの容積も容積変化に対
して数百〜数千倍必要となる。他方インクジェットプリ
ンタヘッドとしてはインク噴射孔の高集積化が要求され
るため圧電セラミックスの壁やインク溝の幅寸法小さく
する必要がある。圧電セラミックスの壁の高さ寸法(イ
ンク溝の深さ寸法)も溝形成の技術的な制限や素子の小
型化の要求から小さくせざるを得ない。そのため実用的
な駆動電圧での駆動を考えると圧力チャンバーの容積及
び容積変化を確保するためにはインク溝の長手方向(イ
ンク噴射方向)の寸法を幅及び深さ寸法に対して十分大
きくする必要がある。実際にはインク溝の幅、深さ、長
手方向の各寸法は各々0.02〜0.2mm、0.05
〜0.5mm、10〜40mm程度である。インク溝の
長手寸法が大きくなるとインク噴射孔から離れた位置で
発生した圧力波の伝播時間の遅れや圧力波の伝播損失が
無視できなくなる。
[0013] Furthermore, the volume of the pressure chamber is required to be several hundred to several thousand times larger than the volume change. On the other hand, since an inkjet printer head is required to have highly integrated ink ejection holes, it is necessary to reduce the width of the piezoelectric ceramic wall and the ink groove. The height dimension of the piezoelectric ceramic wall (the depth dimension of the ink groove) must also be reduced due to technical limitations in groove formation and the demand for miniaturization of the element. Therefore, when considering driving at a practical driving voltage, in order to ensure the volume and volume change of the pressure chamber, it is necessary to make the length of the ink groove (ink jetting direction) sufficiently larger than the width and depth. There is. In reality, the width, depth, and longitudinal dimensions of the ink groove are 0.02 to 0.2 mm and 0.05 mm, respectively.
~0.5mm, about 10-40mm. As the longitudinal dimension of the ink groove increases, the delay in the propagation time of pressure waves generated at a position away from the ink ejection holes and the propagation loss of pressure waves cannot be ignored.

【0014】本実施例では駆動電極が3分割されており
、まず印加された電界のうちインク噴射孔から一番離れ
た分割電極14cの電界が取り去られ(圧電セラミック
スに充電された電荷を放電する)、圧電セラミックスの
壁の一部にせん断変形を発生させる。この時発生した圧
力波の伝播のタイミングに合わせ電界を取り去るタイミ
ングを遅らせて分割電極14bの電界を取り去る。同様
にタイミングを更に遅らせて分割電極14aの電界を取
り去る。上記のようにタイミングを遅らせて順次分割電
極の電界を取り去ることで、インク噴射孔41から離れ
た位置で発生した圧力波の伝播時間の遅れを見かけ上低
減し、圧力波の伝播損失を低減させることによってノズ
ルプレート42のインク噴射孔41に瞬時に高い圧力波
を供給することが出来ることになる。従って本実施例の
インクジェットプリンタ用圧電ヘッドはインクの噴射効
率の優れたものとなる。
In this embodiment, the driving electrode is divided into three parts, and first, the electric field of the divided electrode 14c that is farthest from the ink injection hole is removed (the electric charge charged in the piezoelectric ceramic is discharged). ), causing shear deformation in a portion of the piezoelectric ceramic wall. The electric field of the divided electrode 14b is removed by delaying the timing of removing the electric field in accordance with the propagation timing of the pressure wave generated at this time. Similarly, the timing is further delayed to remove the electric field of the divided electrode 14a. By delaying the timing and sequentially removing the electric field of the divided electrodes as described above, the delay in the propagation time of the pressure wave generated at a position away from the ink jetting hole 41 is apparently reduced, and the propagation loss of the pressure wave is reduced. This makes it possible to instantaneously supply high pressure waves to the ink ejection holes 41 of the nozzle plate 42. Therefore, the piezoelectric head for an inkjet printer of this embodiment has excellent ink jetting efficiency.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の圧電アクチュエータ素子は圧電材料のせん断変形
を発生させるために両側面に駆動電極が形成された圧電
材料の壁を複数固有し、隣合う圧電材料の壁の間に形成
された複数のインク溝を有する圧電アクチュエータ素子
であって、前記圧電材料の壁の両側面に形成された駆動
電極が圧電材料の壁の長手方向(インク滴の噴射方向)
に、少なくとも2つ以上に分割された電極によって構成
されているため該分割電極に印加された電界をインク滴
の噴射方向に順次タイミングを遅らせて取り去ることで
、インク滴の噴射効率を向上させることができ、噴射効
率のよいインクジェットプリンタ用圧電ヘッドを提供す
ることができる。
As is clear from the above explanation, the piezoelectric actuator element of the present invention has a plurality of walls of piezoelectric material on which drive electrodes are formed on both sides in order to generate shear deformation of the piezoelectric material. A piezoelectric actuator element having a plurality of ink grooves formed between adjacent walls of piezoelectric material, wherein drive electrodes formed on both sides of the wall of piezoelectric material are arranged in the longitudinal direction of the wall of piezoelectric material (ink droplets). injection direction)
Second, since the ink droplet is composed of at least two divided electrodes, the electric field applied to the divided electrodes is sequentially removed in the ink droplet jetting direction with a delayed timing, thereby improving the ink droplet jetting efficiency. Accordingly, it is possible to provide a piezoelectric head for an inkjet printer with high jetting efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本実施例の分割電極が形成された圧電アクチュ
エータ素子の構成概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of the configuration of a piezoelectric actuator element in which divided electrodes of this embodiment are formed.

【図2】本実施例の分割電極が形成された圧電アクチュ
エータ素子の構成概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of the configuration of a piezoelectric actuator element in which divided electrodes of this embodiment are formed.

【図3】本実施例の圧電アクチュエータ素子を用いたイ
ンクジェットプリンタヘッドの構成を示す概略図である
FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of an inkjet printer head using the piezoelectric actuator element of this embodiment.

【図4】圧電アクチュエータ素子の電界印加時の変形を
示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing the deformation of a piezoelectric actuator element when an electric field is applied.

【図5】圧電アクチュエータ素子の従来例を示す概略図
である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a conventional example of a piezoelectric actuator element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11  圧電材料の壁 12  インク溝 14  分割電極 16  圧電アクチュエータ素子 18  インク滴の噴射方向 11 Piezoelectric material wall 12 Ink groove 14 Split electrode 16 Piezoelectric actuator element 18 Ink droplet jetting direction

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  圧電材料のせん断変形を発生させるた
めに両側面に駆動電極が形成された圧電材料の壁を複数
個有し、隣合う圧電材料の壁の間に形成された複数のイ
ンク溝を有する圧電アクチュエータ素子を利用したイン
クジェットプリンタ用圧電ヘッドに於て、前記圧電アク
チュエータ素子は、前記圧電材料の壁の両側面に形成さ
れた駆動電極が圧電材料の壁の長手方向に、少なくとも
2つ以上に分割された電極によって構成されていること
を特徴としたインクジェットプリンタ用圧電ヘッド。
1. A plurality of walls of piezoelectric material having drive electrodes formed on both sides to generate shear deformation of the piezoelectric material, and a plurality of ink grooves formed between adjacent walls of the piezoelectric material. In the piezoelectric head for an inkjet printer using a piezoelectric actuator element having a piezoelectric actuator element, the piezoelectric actuator element has at least two drive electrodes formed on both sides of the wall of the piezoelectric material in the longitudinal direction of the wall of the piezoelectric material. A piezoelectric head for an inkjet printer characterized by comprising electrodes divided into the above.
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