JP2001310464A - Method and device for driving electrostatic ink jet head and ink jet printer - Google Patents
Method and device for driving electrostatic ink jet head and ink jet printerInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクノズルに連
通しているインク圧力室の一部を規定している振動板を
静電力により弾性変位させてインク液滴の吐出を行う静
電式インクジェットヘッドの駆動方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic ink jet that ejects ink droplets by elastically displacing a diaphragm defining a part of an ink pressure chamber communicating with an ink nozzle by electrostatic force. The present invention relates to a head driving method.
【0002】さらに詳しくは、インク圧力室が高密度配
置されている場合でも、隣接インク圧力室間でのインク
圧力のクロストークを防止可能な静電式インクジェット
ヘッドの駆動方法に関するものである。More specifically, the present invention relates to a method for driving an electrostatic ink jet head capable of preventing cross talk of ink pressure between adjacent ink pressure chambers even when ink pressure chambers are arranged at high density.
【0003】[0003]
【従来の技術】静電式インクジェットヘッドは、例え
ば、特開平2−219351号公報に開示されているよ
うに、インク流路を構成しているインク圧力室の底面に
形成された共通電極としての振動板と、この振動板に対
して僅な隙間を隔てて対峙している個別電極としての電
極板とを有している。これらの対向電極間に駆動電圧を
印加し静電力を作用させて振動板を撓ませることにより
インク圧力室内の容積を変化させ、これにより生ずるイ
ンク圧力変動を利用して、インク圧力室に連通している
インクノズルからインク液滴を吐出させて記録を行うも
のである。2. Description of the Related Art As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-219351, for example, an electrostatic type ink jet head is provided with a common electrode formed on the bottom surface of an ink pressure chamber constituting an ink flow path. It has a diaphragm and an electrode plate as an individual electrode facing the diaphragm with a small gap therebetween. A drive voltage is applied between these opposing electrodes to apply an electrostatic force to bend the vibrating plate to change the volume in the ink pressure chamber. The recording is performed by discharging ink droplets from the ink nozzles.
【0004】このような静電式インクジェットヘッドに
おいて、出力画像の高品質化を図るためには多数のイン
クノズルを高密度配置する必要がある。このためには、
各インクノズルが連通しているインク流路、すなわち、
各インク圧力室も高密度配置する必要があり、この結
果、インク圧力室間を仕切っている隔離壁も薄くする必
要がある。In such an electrostatic ink jet head, it is necessary to arrange a large number of ink nozzles at high density in order to improve the quality of an output image. To do this,
Ink flow path with which each ink nozzle communicates, that is,
Each of the ink pressure chambers also needs to be arranged at a high density, and as a result, it is necessary to reduce the thickness of the partition wall separating the ink pressure chambers.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ここで、インク圧力室
間を仕切っている隔離壁が薄くなると、インク圧力室の
内圧変動によって当該隔離壁も撓む可能性がある。すな
わち、図11(a)に示すように、インク液滴の吐出を
行う駆動インクノズル21(3)が連通しているインク
圧力室22(3)の振動板23(3)を個別電極25
(3)に吸引した場合、当該インク圧力室22(3)の
内圧変動によって隔離壁24(2)、24(3)が撓む
おそれがある。Here, if the partition wall separating the ink pressure chambers becomes thinner, the partition walls may bend due to fluctuations in the internal pressure of the ink pressure chambers. That is, as shown in FIG. 11A, the vibration plate 23 (3) of the ink pressure chamber 22 (3) to which the driving ink nozzle 21 (3) for discharging ink droplets communicates is connected to the individual electrode 25.
When suction is performed in (3), there is a possibility that the isolation walls 24 (2) and 24 (3) may be bent due to the change in the internal pressure of the ink pressure chamber 22 (3).
【0006】同様に、図11(b)に示すように、イン
ク吐出時においても、振動板23(3)を個別電極25
(3)から離脱させた場合に、当該インク圧力室22
(3)の内圧変動によって隔離壁24(2)、24
(3)が撓むおそれがある。Similarly, as shown in FIG. 11 (b), the diaphragm 23 (3) is connected to the individual electrodes 25 during ink ejection.
When the ink pressure chamber 22 is released from (3),
The isolation wall 24 (2), 24 due to the internal pressure fluctuation of (3)
(3) may be bent.
【0007】インク吐出時に隔離壁が撓んでしまうと、
インク圧力室22(3)に圧力損失が発生し、駆動イン
クノズル21(3)から適切な量あるいは粒径のインク
液滴が吐出されないおそれがある。[0007] If the isolation wall is bent during ink ejection,
Pressure loss may occur in the ink pressure chamber 22 (3), and ink droplets of an appropriate amount or particle diameter may not be ejected from the driving ink nozzle 21 (3).
【0008】また、駆動インクノズル21(3)に隣接
している非駆動インクノズル21(2)、21(4)の
側においては、隔離壁24(2)、24(3)が撓むこ
とにより、当該非駆動インクノズル側のインク圧力室2
2(2)、22(4)に内圧変動が起き、場合によって
は、僅かの量のインク液滴が不必要に吐出してしまうお
それもある。On the side of the non-drive ink nozzles 21 (2) and 21 (4) adjacent to the drive ink nozzle 21 (3), the separating walls 24 (2) and 24 (3) are bent. As a result, the ink pressure chamber 2 on the non-driven ink nozzle side
Internal pressure fluctuations occur in 2 (2) and 22 (4), and in some cases, a small amount of ink droplets may be unnecessarily ejected.
【0009】さらには、このように隔離壁24(2)、
24(3)を介して圧力変動が隣接インク圧力室に漏れ
るために、換言すると、圧力のクロストークが発生する
ために、一つのインクノズルにおいて、隣接インクノズ
ルが同時に駆動される場合と、駆動されない場合とで
は、インク圧力室内に発生する圧力変動状態が異なって
しまう。この結果、一つのインクノズルのインク吐出特
性(インク吐出速度、インク吐出量)が、隣接インクノ
ズルの駆動状態に応じて変動して、印刷品位の低下を招
くおそれもある。Further, as described above, the partition wall 24 (2),
Since the pressure fluctuation leaks to the adjacent ink pressure chamber via 24 (3), in other words, crosstalk of pressure occurs, one ink nozzle drives adjacent ink nozzles at the same time. If not, the pressure fluctuation state generated in the ink pressure chamber will be different. As a result, the ink ejection characteristics (ink ejection speed and ink ejection amount) of one ink nozzle may fluctuate in accordance with the driving state of the adjacent ink nozzle, which may cause a decrease in print quality.
【0010】これに対して、特開平5−69544号公
報や同7−17039号公報では偶数ノズルと奇数ノズ
ルの相互に隣接するノズルからのインク液滴の吐出時間
を遅延回路により遅延させて吐出させることにより対応
していた。しかしながら、これら従来の技術では、更に
駆動装置が複雑化してしまうという課題や、印刷に要す
る時間が長くなってしまうという更なる課題を有してい
た。On the other hand, in JP-A-5-69544 and JP-A-7-17039, the ejection time of the ink droplets from the nozzles adjacent to each other even and odd nozzles is delayed by a delay circuit. Was made to respond. However, these conventional techniques have a problem that the driving device is further complicated and a problem that the time required for printing is long.
【0011】本発明の課題は、このような問題点に鑑み
て、インク圧力室間の隔離壁を撓ませることなくインク
吐出動作を行い得るようにし、以て、高密度化してもイ
ンク圧力室間での圧力のクロストークを防止し、インク
ジェットヘッドの駆動装置の複雑化を招かずに、高精細
で緻密な印字品位を印刷速度の低下を招かず容易に確保
できる静電式インクジェットヘッドの駆動方法およびそ
の装置を提案することにある。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the foregoing problems, an object of the present invention is to enable an ink ejection operation to be performed without bending an isolation wall between ink pressure chambers. Driving of an electrostatic ink jet head that can prevent high pressure crosstalk between the ink jet heads and ensure high-definition and precise print quality without lowering the printing speed without complicating the driving device of the ink jet head It is to propose a method and a device thereof.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、隔離壁により仕切られている少なくと
も第1および第2のインク圧力室と、各インク圧力室に
それぞれ連通している第1および第2のインクノズル
と、各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾
性変位可能な第1および第2の振動板と、各振動板に対
峙している第1および第2の個別電極とを有し、前記第
1の振動板と前記第1の個別電極の間、および前記第2
の振動板と前記第2の個別電極の間に、駆動電圧を印加
して各振動板を弾性変位させることにより前記第1およ
び第2のインクノズルからインク液滴を吐出させる静電
式インクジェットヘッドの駆動方法において、前記第1
および第2の振動板をそれぞれ前記第1および第2の個
別電極の側に吸引して当該個別電極に吸着させる吸着工
程と、前記第1および第2の振動板を前記第1および第
2の個別電極に吸着させた状態で、保持する第1の保持
工程と、前記第1の振動板を弾性変位させて前記第1の
インクノズルからインク液滴の吐出を行わせる吐出工程
と、前記吐出工程の後に、再度、前記第1の振動板を前
記第1の個別電極に吸着させて保持する第2の保持工程
とを含むことを特徴としている。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides at least first and second ink pressure chambers separated by a partition wall, and communicates with each of the ink pressure chambers. First and second ink nozzles, first and second diaphragms elastically displaceable in an out-of-plane direction that define a part of each ink pressure chamber, and a first diaphragm facing each diaphragm. A first and a second individual electrode, between the first diaphragm and the first individual electrode, and between the first diaphragm and the second individual electrode.
Electrostatic ink jet head for ejecting ink droplets from the first and second ink nozzles by applying a drive voltage between the vibration plate and the second individual electrode to elastically displace each vibration plate In the driving method, the first
And a suction step of sucking the second diaphragm and the second diaphragm toward the first and second individual electrodes, respectively, and adsorbing the first and second diaphragms to the first and second individual electrodes. A first holding step of holding the liquid crystal in a state of being attracted to the individual electrode, a discharging step of elastically displacing the first vibration plate to discharge ink droplets from the first ink nozzle, and After the step, a second holding step of again holding the first diaphragm by attracting the first diaphragm to the first individual electrode is included.
【0013】ここで、本発明の駆動方法では、前記第2
の保持工程の後に、前記第1及び第2の振動板を前記第
1及び第2の個別電極から離脱させる離脱工程を含み、
当該離脱工程では、前記第1及び第2のインクノズルか
らインク液滴が吐出することのない速度で前記第2の振
動板を離脱させるようにしている。Here, according to the driving method of the present invention, the second
After the holding step, a detaching step of detaching the first and second diaphragms from the first and second individual electrodes,
In the detaching step, the second diaphragm is detached at a speed at which ink droplets are not ejected from the first and second ink nozzles.
【0014】また、前述の静電式インクジェットヘッド
の駆動方法を適用した静電式インクジェットヘッドの駆
動装置であって、前記第1及び第2の振動板の電位と前
記第1及び第2の個別電極の電位を切り替える切り替え
手段と、駆動パルスを発生する駆動パルス発生手段とか
らなり、該駆動パルス発生手段で生成された駆動パルス
を前記切り替え手段により切り替えて、前記静電式イン
クジェットヘッドを駆動することを特徴とする。[0014] Further, the present invention provides a driving apparatus for an electrostatic ink jet head to which the above-mentioned method for driving an electrostatic ink jet head is applied, wherein the electric potential of the first and second diaphragms and the electric potential of the first and second individual sheets are adjusted. The electrostatic inkjet head is driven by switching means for switching the potential of the electrode and driving pulse generating means for generating a driving pulse. The driving pulse generated by the driving pulse generating means is switched by the switching means. It is characterized by the following.
【0015】本発明による静電式インクジェットヘッド
の駆動方法および装置においては、駆動側である第1の
インクノズルからインク液滴が吐出されるときには、非
駆動側である第2のインクノズルが連通している第2の
インク圧力室の第2の振動板が第2の個別電極の側に吸
引された状態とされる。従って、当該第2の振動板の弾
性変位が拘束されてその剛性が高い状態に保持され、当
該第2のインク圧力室のコンプライアンスが小さくなる
ように設定される。この結果、当該第2のインク圧力室
と駆動側の第1のインク圧力室を仕切っている隔離壁の
撓みが阻止され、当該隔離壁を介しての圧力のクロスト
ークが防止あるいは抑制される。In the method and apparatus for driving an electrostatic ink jet head according to the present invention, when ink droplets are ejected from the first ink nozzle on the driving side, the second ink nozzle on the non-driving side communicates. The second diaphragm of the second ink pressure chamber is sucked toward the second individual electrode. Therefore, the elastic displacement of the second diaphragm is restrained, the rigidity thereof is kept high, and the compliance of the second ink pressure chamber is set to be small. As a result, the bending of the partition wall that separates the second ink pressure chamber and the first ink pressure chamber on the driving side is prevented, and crosstalk of pressure through the partition wall is prevented or suppressed.
【0016】また、本発明の静電式インクジェットヘッ
ドは、隔離壁により仕切られている少なくとも第1およ
び第2のインク圧力室と、各インク圧力室にそれぞれ連
通している第1および第2のインクノズルと、各インク
圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な
第1および第2の振動板と、各振動板に対峙している第
1および第2の個別電極と、を有し、前記第1の振動板
と前記第1の個別電極の間、および前記第2の振動板と
前記第2の個別電極の間に、駆動電圧を印加して各振動
板を弾性変位させることにより前記第1および第2のイ
ンクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジ
ェットヘッドにおいて、前記第1および第2の振動板を
それぞれ前記第1および第2の個別電極の側に吸引して
当該個別電極に吸着させ、前記第1および第2の振動板
を前記第1および第2の個別電極に吸着させた状態で保
持させ、前記第1の振動板を弾性変位させて前記第1の
インクノズルからインク液滴の吐出を行わせ、該吐出後
に再度前記第1の振動板を前記第1の個別電極に吸着さ
せて保持するよう制御する制御手段を含むことを特徴と
する。Further, the electrostatic ink jet head of the present invention has at least a first and a second ink pressure chamber partitioned by a partition wall and a first and a second ink pressure chamber communicating with each of the ink pressure chambers. Ink nozzles, first and second diaphragms elastically displaced in an out-of-plane direction defining a part of each ink pressure chamber, and first and second individual electrodes facing each diaphragm And applying a drive voltage between the first diaphragm and the first individual electrode, and between the second diaphragm and the second individual electrode to cause each diaphragm to In the electrostatic ink jet head which ejects ink droplets from the first and second ink nozzles by elastically displacing, the first and second diaphragms are respectively placed on the side of the first and second individual electrodes. To the individual electrode. Then, the first and second diaphragms are held in a state of being attracted to the first and second individual electrodes, and the first diaphragm is elastically displaced so that the ink liquid flows from the first ink nozzle. It is characterized by including control means for causing the droplet to be ejected and controlling the first diaphragm to be attracted and held by the first individual electrode again after the ejection.
【0017】さらに、本発明のインクジェットプリンタ
は、インクを外部に吐出する複数のノズルと、前記複数
のノズルにそれぞれ連通して設けられ、静電力が印加さ
れることによって前記複数のノズルからインクが吐出し
ない方向に変位される複数の振動板と、を備え、前記複
数の振動板は、前記印加された静電力を急激に解除され
ることにより、それぞれ連通する前記複数のノズルから
インクを吐出する方向に変位されて当該ノズルからイン
クを吐出して記録媒体に印字を行う静電式インクジェッ
トプリンタにおいて、前記複数のノズルが、インクを吐
出させる駆動ノズルと、インクを吐出させない非駆動ノ
ズルとを含むとき、前記駆動ノズルに連通する第1の振
動板と前記非駆動ノズルに連通する第2の振動板とに前
記静電力を所定期間印加し、その後前記第2の振動板へ
の前記静電力を印加したまま前記第1の振動板への静電
力の印加を解除し、その後前記第1の振動板へ静電力を
再印加するよう制御する制御手段を備えたことを特徴と
する。Further, the ink jet printer of the present invention is provided with a plurality of nozzles for ejecting ink to the outside, and provided in communication with the plurality of nozzles, respectively. When an electrostatic force is applied, the ink is discharged from the plurality of nozzles. A plurality of diaphragms that are displaced in a non-discharging direction, wherein the plurality of diaphragms discharge ink from the plurality of nozzles that communicate with each other by rapidly releasing the applied electrostatic force. In an electrostatic ink jet printer that discharges ink from the nozzles to perform printing on a recording medium, the plurality of nozzles include a driving nozzle that discharges ink and a non-driving nozzle that does not discharge ink. The electrostatic force is applied to the first diaphragm communicating with the driving nozzle and the second diaphragm communicating with the non-driving nozzle for a predetermined period. Then, the application of the electrostatic force to the first diaphragm is released while the electrostatic force is being applied to the second diaphragm, and then the electrostatic force is re-applied to the first diaphragm. It is characterized by comprising control means for controlling.
【0018】ここで、非駆動ノズルは、駆動ノズルの相
隣接する非吐出ノズルに限らず、全非吐出ノズルにする
ことが望ましい。こうすることによって、非駆動ノズル
がすべて低いコンプライアンスとして作用できる。Here, the non-drive nozzles are not limited to the non-discharge nozzles adjacent to the drive nozzles, but are preferably all non-discharge nozzles. This allows all non-driven nozzles to act as low compliance.
【0019】これらの構成によれば、簡単な制御で高精
細で高速に行うことができる。According to these configurations, high-definition and high-speed operation can be performed with simple control.
【0020】[0020]
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を適用した静電式インクジェットヘッドの駆動方法を説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for driving an electrostatic ink jet head according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0021】(全体構成)まず、図1〜3を参照して、
本発明の駆動方法を適用可能な静電式インクジェットヘ
ッドの構成を説明する。ここで、図1は本例の静電式イ
ンクジェットヘッドの横断面図であり、図2はその平面
図であり、図3は縦断面図である。(Overall Configuration) First, referring to FIGS.
The configuration of an electrostatic inkjet head to which the driving method of the present invention can be applied will be described. Here, FIG. 1 is a transverse sectional view of the electrostatic ink jet head of the present embodiment, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view.
【0022】これらの図に示すように、本例の静電式イ
ンクジェットヘッド1は、シリコン基板2を挟み、上側
に同じくシリコン製のノズルプレート3、下側にシリコ
ンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板4がそれぞれ積
層された3層構造となっている。As shown in these figures, the electrostatic ink jet head 1 of this embodiment sandwiches a silicon substrate 2, has a nozzle plate 3 also made of silicon on the upper side, and borosilicate whose thermal expansion coefficient is close to that of silicon on the lower side. It has a three-layer structure in which the glass substrates 4 are laminated.
【0023】中央のシリコン基板2には、(110)面
方位のその表面からKOH(水溶液による異方性のウエ
ットエッチングを施すことにより、独立した5つの細長
いインク圧力室5(1)〜5(5)と、1つの共通イン
ク室6と、この共通インク室6を各インク圧力室5
(1)〜5(5)に連通しているインク供給口7として
それぞれ機能する溝が加工されている。これらの溝がノ
ズルプレート3によって塞がれ、各部分5、6、7が区
画形成されている。各インク圧力室5(1)〜5(5)
は、それぞれ隔離壁8(1)〜8(4)によって仕切ら
れている。The central silicon substrate 2 is subjected to anisotropic wet etching using KOH (aqueous solution) from its surface having the (110) plane orientation, thereby forming five independent elongated ink pressure chambers 5 (1) to 5 ( 5), one common ink chamber 6 and each ink pressure chamber 5
Grooves functioning as ink supply ports 7 communicating with (1) to (5) are formed. These grooves are closed by the nozzle plate 3, and the portions 5, 6, and 7 are defined. Each ink pressure chamber 5 (1) to 5 (5)
Are separated by separating walls 8 (1) to 8 (4), respectively.
【0024】また、インク供給口7に連通するように、
共通インク室6の下面を規定する部分に、インク取入れ
口12が形成されている。したがって、インクは、外部
のインクタンク(不図示)から、インク取入れ口12を
通って共通インク室6に供給され、さらにここから各イ
ンク供給口7を通って、独立した各インク圧力室5
(1)〜5(5)に供給される。In order to communicate with the ink supply port 7,
An ink inlet 12 is formed in a portion that defines the lower surface of the common ink chamber 6. Accordingly, ink is supplied from an external ink tank (not shown) to the common ink chamber 6 through the ink intake port 12, and further from this, passes through each ink supply port 7, and becomes independent of each ink pressure chamber 5.
(1) to (5).
【0025】ノズルプレート3には、各インク圧力室5
(1)〜5(5)の先端側の部分に対応する位置、すな
わち、インク供給口7とは反対側となる位置に、インク
ノズル11(1)〜11(5)が形成されており、これ
らがそれぞれ対応する各圧力室5(1)〜5(5)に連
通している。Each of the ink pressure chambers 5 is provided in the nozzle plate 3.
The ink nozzles 11 (1) to 11 (5) are formed at positions corresponding to the tip side portions of (1) to 5 (5), that is, at positions opposite to the ink supply port 7. These communicate with the corresponding pressure chambers 5 (1) to 5 (5).
【0026】独立した各インク圧力室5(1)〜5
(5)の底面は、薄肉で、面外方向、すなわち、図1に
おいて上下方向に弾性変位可能な振動板51(1)〜5
1(5)として機能するように設定されている(図にお
いては振動板51(1)のみを示してある。)。Independent ink pressure chambers 5 (1) to 5 (5)
The bottom surface of (5) is thin, and the diaphragms 51 (1) to 51 (1) to 5 (5) are elastically displaceable in an out-of-plane direction, that is, vertically in FIG.
It is set to function as 1 (5) (only the diaphragm 51 (1) is shown in the figure).
【0027】次に、シリコン基板2の下側に位置してい
るガラス基板4において、シリコン基板2に接合される
その上面には、シリコン基板2の各圧力室5(1)〜5
(5)の底面を規定している各振動板51(1)〜51
(5)に対峙する位置に、浅くエッチングされた凹部9
(1)〜9(5)がそれぞれ形成されている。各凹部9
(1)〜9(5)の底面には振動板51(1)〜51
(5)にそれぞれ対応する個別電極10(1)〜10
(5)が形成されている。各個別電極10(1)〜10
(5)は、それぞれ、ITOからなるセグメント電極1
0aと端子部10bを有している。Next, in the glass substrate 4 located below the silicon substrate 2, the pressure chambers 5 (1) to 5 (5) to 5
Each of the diaphragms 51 (1) to 51 defining the bottom surface of (5)
In the position facing (5), a shallowly etched recess 9
(1) to 9 (5) are formed respectively. Each recess 9
Diaphragms 51 (1) to 51 (51) are provided on the bottom surfaces of (1) to 9 (5).
Individual electrodes 10 (1) to 10 respectively corresponding to (5)
(5) is formed. Each individual electrode 10 (1) to 10
(5) is a segment electrode 1 made of ITO, respectively.
0a and a terminal portion 10b.
【0028】ガラス基板4をシリコン基板2に接合する
ことにより、各インク圧力室5の底面を規定している振
動板51(1)〜51(5)と、対応する個別電極にお
けるセグメント電極10aとは、非常に狭い隙間Gを隔
てて対向している。この隙間Gは、シリコン基板2とガ
ラス基板4の間に配置された封止剤60によって封止さ
れ、密閉状態とされている。By bonding the glass substrate 4 to the silicon substrate 2, the vibration plates 51 (1) to 51 (5) defining the bottom surface of each ink pressure chamber 5 and the segment electrode 10 a of the corresponding individual electrode are formed. Are opposed to each other with a very narrow gap G therebetween. This gap G is sealed by a sealant 60 disposed between the silicon substrate 2 and the glass substrate 4, and is in a sealed state.
【0029】シリコン基板2には、ノズルプレート3側
のその表面に白金等の貴金属薄膜を付着させて共通電極
端子22が形成されており、ここと各個別電極10
(1)〜10(5)との間に、電圧印加手段21によっ
て、駆動電圧パルスが印加される。シリコン基板2は導
電性があるので、各振動板51(1)〜51(5)は共
通電極として機能する。A common electrode terminal 22 is formed on the surface of the silicon substrate 2 on the nozzle plate 3 side by depositing a noble metal thin film such as platinum on the surface thereof.
A drive voltage pulse is applied by the voltage applying means 21 between (1) and (5). Since the silicon substrate 2 is conductive, each of the vibration plates 51 (1) to 51 (5) functions as a common electrode.
【0030】振動板51(1)〜51(5)と個別電極
10(1)〜10(5)の間に駆動電圧を印加すること
により発生する静電力により、各振動板51(1)〜5
1(5)を個別電極側に吸引すると、振動板51(1)
〜51(5)が弾性変位してセグメント電極10aの側
に撓み、当該セグメント電極10aの表面に吸着する。
この結果、インク圧力室5(1)〜5(5)の容積が拡
大して、インク供給口7からインク圧力室5(1)〜5
(5)にインクが供給される。Each of the vibration plates 51 (1) to 51 (5) is driven by an electrostatic force generated by applying a drive voltage between the individual electrodes 10 (1) to 10 (5). 5
When 1 (5) is sucked toward the individual electrode, the diaphragm 51 (1)
51 to (5) are elastically displaced and bent toward the segment electrode 10a, and are attracted to the surface of the segment electrode 10a.
As a result, the volumes of the ink pressure chambers 5 (1) to 5 (5) are increased, and the ink pressure chambers 5 (1) to 5 (5)
The ink is supplied to (5).
【0031】静電吸引力が解除されると、振動板51
(1)〜51(5)はその弾性力によってセグメント電
極10aの表面から離れて初期状態に復帰し、インク圧
力室5(1)〜5(5)の容積が急激に減少する。この
ときインク圧力室内に発生するインク圧力振動により、
インク圧力室内のインクの一部が、このインク圧力室5
(1)〜5(5)に連通しているインクノズル11から
インク液滴として吐出される。When the electrostatic attraction force is released, the diaphragm 51
(1) to 51 (5) are separated from the surface of the segment electrode 10a by the elastic force and return to the initial state, and the volumes of the ink pressure chambers 5 (1) to 5 (5) are rapidly reduced. At this time, due to the ink pressure vibration generated in the ink pressure chamber,
A part of the ink in the ink pressure chamber is
The ink droplets are ejected from the ink nozzles 11 communicating with (1) to (5).
【0032】本例では、基板3上面に設けたノズル孔か
らインク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプで
あるが、インク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から
吐出させるエッジイジェクトタイプでもよい。In this embodiment, a face eject type in which ink droplets are ejected from nozzle holes provided on the upper surface of the substrate 3, but an edge eject type in which ink droplets are ejected from nozzle holes provided at an end of the substrate may be used. .
【0033】(駆動方法)図4を参照して、本例のイン
クジェットヘッド1の駆動方法の概要を説明する。い
ま、インク液滴が吐出されるインクノズル(「駆動ノズ
ル」と呼ぶ)がインクノズル11(3)であるとする。
また、この駆動ノズル11(3)の両側に隣接している
インクノズル11(2)、11(4)はインク液滴の吐
出が行われないインクノズル(「非駆動ノズル」と呼
ぶ)であるとする。(Driving Method) With reference to FIG. 4, an outline of a driving method of the ink jet head 1 of this embodiment will be described. Now, it is assumed that the ink nozzle from which the ink droplets are ejected (referred to as “drive nozzle”) is the ink nozzle 11 (3).
The ink nozzles 11 (2) and 11 (4) adjacent to both sides of the driving nozzle 11 (3) are ink nozzles that do not discharge ink droplets (referred to as “non-driving nozzles”). And
【0034】本例の駆動方法では、まず、各インクノズ
ル11(2)〜11(4)における振動板51(2)〜
51(4)と個別電極10(2)〜10(4)の間に電
圧を印加して電位差を生じさせ、各振動板51(2)〜
51(4)を同時に個別電極10(2)〜10(4)に
吸引する。これにより、図4(a)に示すような各振動
板51(2)〜51(4)の吸着状態が形成される。吸
着状態のまま電位差を保ちつづけて、各振動板51
(2)〜51(4)を吸着状態のまま保持して、待機す
る。(待機状態)この時、吸着状態を保持するために振
動板51(2)〜51(4)と個別電極10(2)〜1
0(4)の間に印加される電圧は、吸着状態を形成する
ときに印加される電圧よりも低くしてもよい。一旦吸着
状態が確保されれば、吸着を保持するに要する電圧は、
低くても、静電圧力は大きいからである。In the driving method of this embodiment, first, the vibration plates 51 (2) to 51 (2) to the ink nozzles 11 (2) to 11 (4) are used.
A voltage is applied between the individual electrodes 51 (4) and the individual electrodes 10 (2) to 10 (4) to generate a potential difference.
51 (4) is simultaneously sucked into the individual electrodes 10 (2) to 10 (4). As a result, the suction state of each of the vibration plates 51 (2) to 51 (4) as shown in FIG. 4A is formed. While maintaining the potential difference in the suction state, each diaphragm 51
(2) to 51 (4) are held in a suction state, and the apparatus stands by. (Standby state) At this time, the diaphragms 51 (2) to 51 (4) and the individual electrodes 10 (2) to 1 (1)
The voltage applied during 0 (4) may be lower than the voltage applied when forming the adsorption state. Once the adsorption state is secured, the voltage required to hold the adsorption is
This is because the electrostatic pressure is large even if it is low.
【0035】次に、非駆動ノズル11(2)、11
(4)の振動板51(2)、51(4)を個別電極10
(2)、10(4)に吸着したままの状態で、駆動ノズ
ル11(3)の振動板51(3)を個別電極11(3)
から素早く離脱させる。振動板51(3)を個別電極1
1(3)から素早く離脱させるには、個別電極10
(3)駆動電圧を印加して、振動板51(3)と同電位
とし、これら対向電極間の電荷を素早く放電させる。こ
の結果、図4(b)に示すように、当該振動板51
(3)が弾性復帰して、インク圧力室5(3)の容積が
急激に減少して、駆動ノズル11(3)からインク液滴
が吐出する。Next, the non-drive nozzles 11 (2), 11
The diaphragms 51 (2) and 51 (4) of (4) are
(2) The diaphragm 51 (3) of the driving nozzle 11 (3) is separated from the individual electrodes 11 (3) while being adsorbed on the 10 (4).
Quickly get out of The diaphragm 51 (3) is connected to the individual electrode 1
1 (3), the individual electrodes 10
(3) A drive voltage is applied to make the potential the same as that of the diaphragm 51 (3), and the electric charge between these counter electrodes is quickly discharged. As a result, as shown in FIG.
(3) is elastically restored, the volume of the ink pressure chamber 5 (3) is rapidly reduced, and ink droplets are ejected from the driving nozzle 11 (3).
【0036】駆動ノズル11(3)からのインク液滴吐
出後、再び振動板51(3)を個別電極10(3)に吸
引させて吸着状態とし、振動板51(3)を個別電極1
0(3)に吸着・保持して、再び図4(a)に示す待機
状態とする。After the ink droplets are ejected from the driving nozzle 11 (3), the vibration plate 51 (3) is again sucked into the individual electrode 10 (3) to be in the suction state, and the vibration plate 51 (3) is moved to the individual electrode 1 (3).
Attach and hold at 0 (3), and return to the standby state shown in FIG.
【0037】以上の工程を経て、インク液滴の1回の吐
出動作が終了する。インク液滴を繰り返し吐出する際に
は以上の工程を繰り返し行う。Through the above steps, one ejection operation of the ink droplet is completed. When the ink droplets are repeatedly ejected, the above steps are repeated.
【0038】一連の吐出動作が終了し、待機状態を解除
する際には、待機状態にあるノズル11(2)〜11
(4)の振動板51(2)〜51(4)を個別電極10
(2)〜10(4)から離脱させる。この離脱速度は、
ノズル11(2)〜11(4)からインク液滴が吐出す
ることのない遅い速度で行われる。When a series of ejection operations is completed and the standby state is released, the nozzles 11 (2) to 11 (11) in the standby state
The diaphragms 51 (2) to 51 (4) of (4) are
(2) to release from (4) to (4). This departure speed is
The operation is performed at a low speed at which ink droplets are not ejected from the nozzles 11 (2) to 11 (4).
【0039】(フローチャート)図5に図4を参照して
説明した本例のインクジェットヘッド1の駆動方法を説
明するフローチャートを示す。SS0で印刷データが送
信されると、印刷を開始する。振動板の吸着工程SS1
では、全インクノズル11に対応する全ての振動板51
と個別電極10の間に電圧を印加して電位差を生じさせ
て、振動板51を個別電極10に吸引し、吸着状態とす
る。振動板保持工程SS2ではこれらの振動板51と個
別電極10の間に電位差を保ち続けて、吸着状態を保持
し、待機する。SS5において、駆動ノズル11(3)
である場合には、吐出工程SS6の工程にて駆動ノズル
11(3)の振動板51(3)を個別電極11(3)か
ら素早く離脱させて、インク液滴を吐出させる。SS5
において、非駆動ノズル11(2)、11(4)である
場合は、振動板51(2)、51(4)を個別電極10
(2)、10(4)へ吸着したままの状態を保持する。
すなわち、振動板保持工程SS2の待機状態を維持す
る。(Flowchart) FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for driving the ink jet head 1 of the present embodiment described with reference to FIG. When the print data is transmitted in SS0, printing is started. Diaphragm adsorption process SS1
Now, all the vibration plates 51 corresponding to all the ink nozzles 11 will be described.
By applying a voltage between the and the individual electrode 10 to generate a potential difference, the diaphragm 51 is attracted to the individual electrode 10 and brought into a suction state. In the diaphragm holding step SS2, a potential difference is maintained between the diaphragm 51 and the individual electrode 10, the suction state is maintained, and the apparatus stands by. In SS5, the driving nozzle 11 (3)
In the case of, the diaphragm 51 (3) of the driving nozzle 11 (3) is quickly separated from the individual electrode 11 (3) in the step of the discharging step SS6 to discharge ink droplets. SS5
In the case of the non-drive nozzles 11 (2) and 11 (4), the vibration plates 51 (2) and 51 (4) are
(2) Maintain the state of being adsorbed to 10 (4).
That is, the standby state of the diaphragm holding step SS2 is maintained.
【0040】吐出工程SS6にてインク液滴を吐出させ
た後は、振動板の吸着工程SS7にて駆動ノズル11
(3)の振動板51(3)を個別電極11(3)へ再度
吸引して吸着する。その後、振動板保持工程SS2に復
帰して再度、振動板51(3)が個別電極11(3)に
吸着して保持された待機状態となる。After the ink droplets are ejected in the ejection step SS6, the driving nozzles 11 are ejected in the diaphragm suction step SS7.
The diaphragm 51 (3) of (3) is again sucked and adsorbed to the individual electrode 11 (3). Thereafter, the process returns to the diaphragm holding step SS2, and again enters a standby state in which the diaphragm 51 (3) is attracted and held by the individual electrode 11 (3).
【0041】SS4にて印刷データが終了または、印刷
の待機状態を解除して他の動作を行なう等の理由により
待機状態を終了する場合は、振動板離脱工程SS8に
て、待機状態にある全てのノズルの振動板を個別電極か
ら離脱させて、保持した状態から解除する。この時の振
動板の離脱はインク液滴がノズルより吐出することのな
いように遅い速度で行われる。If the print data is terminated in SS4, or if the standby state is terminated for the reason of canceling the standby state for printing and performing another operation, all of the standby states are determined in the diaphragm detaching step SS8. Is released from the individual electrode and released from the held state. The detachment of the diaphragm at this time is performed at a low speed so that the ink droplets are not ejected from the nozzles.
【0042】(タイミングチャート)図6には、上記の
動作を実現するために、共通電極である振動板と個別電
極の間に印加される駆動電圧のパルス波形の一例を示し
てある。このような駆動電圧パルスは、駆動制御装置1
00によって生成されるものである。(Timing Chart) FIG. 6 shows an example of a pulse waveform of a drive voltage applied between the diaphragm serving as a common electrode and the individual electrodes in order to realize the above operation. Such a drive voltage pulse is applied to the drive control device 1
00.
【0043】図6では図4を参照して説明した一連のイ
ンク液滴の吐出を伴う、振動板と個別電極の間に印加さ
れる駆動電圧のパルス波形の一例が時点t1からt7ま
での期間に示されている。この期間において、例では、
2回のインク液滴の吐出を行なう。また、時点t8から
t10にはインク液滴の吐出を伴わない電位反転制御を
行なうための駆動パターンが示されている。電位反転制
御については後述する。In FIG. 6, an example of the pulse waveform of the drive voltage applied between the diaphragm and the individual electrode, which involves the ejection of a series of ink droplets described with reference to FIG. 4, is a period from time t1 to time t7. Is shown in In this period, in the example,
The ink droplets are ejected twice. Further, a drive pattern for performing potential inversion control without discharging ink droplets is shown from time t8 to time t10. The potential inversion control will be described later.
【0044】まず、図6(b)には駆動電圧の基本電圧
パルス波形Vpを示してある。この基本電圧パルス波形
Vpの1パルス毎に1回のインク液滴の吐出動作が行わ
れる。例えば、時点t2〜t4の間、時点t4〜t6の
間がそれぞれ1回分の吐出サイクルである。基本電圧パ
ルス波形Vpのそれぞれ時点t3と時点t5における電
圧波形の急激な変化によりインク液滴がインクノズルか
ら吐出される。これらの第1および第2の吐出サイクル
が繰り返し実行される。この基本電圧波形パルスVpで
は、その立ち上がり(時点t3およびt5から始まる電
圧Vhまでの電圧の変化)が急峻であり、その立ち下が
り(時点t4とt6で始まる接地電位GNDまでの変
化)は立ち上がりに比べて緩やかな勾配とされている。First, FIG. 6B shows a basic voltage pulse waveform Vp of the drive voltage. An ink droplet ejection operation is performed once for each pulse of the basic voltage pulse waveform Vp. For example, a period between time points t2 and t4 and a period between time points t4 and t6 are each one ejection cycle. An ink droplet is ejected from an ink nozzle due to a sudden change in the voltage waveform of the basic voltage pulse waveform Vp at times t3 and t5. These first and second ejection cycles are repeatedly executed. In the basic voltage waveform pulse Vp, the rising (change in voltage from time t3 and t5 to voltage Vh) starting from time t5 is steep, and its falling (change from time t4 to ground potential GND starting from time t6) changes to rising. The slope is gentler than that.
【0045】また、図6(a)に示すVhは高耐圧系の
電源電位である。Vhは時点t1からの立ち上がりと時
点t7からの立ち下がりの傾きは同じ変化量となってい
て、この変化量はVhとGND電位とによる電位差の変
化が振動板と個別電極の間作用してもインク液滴が吐出
しないよう緩やかな勾配となっている。Vh shown in FIG. 6A is the power supply potential of the high breakdown voltage system. Vh has the same amount of change in the slope of the rise from time t1 and the slope of the fall from time t7. This change is effective even if the change in the potential difference between Vh and the GND potential acts between the diaphragm and the individual electrodes. The gradient is gentle so that ink droplets are not ejected.
【0046】図4に示す3個のインクノズル11(2)
〜11(4)を例にあげて説明すると、共通電極として
機能する各振動板51(2)〜51(4)の印加電圧
は、図6(c)に示すように、時点t1から時点t7で
は高耐圧系の電源電位Vhと同一形状の電圧とされてい
る。時点t2以降、振動板51(2)〜51(4)は、
個別電極10(2)〜10(4)に吸着されて保持さ
れ、待機状態となる。また、電位反転制御を行なう時点
t8から時点t10では接地電位GNDに保持される。The three ink nozzles 11 (2) shown in FIG.
To describe this by taking as an example 11 to (4), the voltage applied to each of the diaphragms 51 (2) to 51 (4) functioning as a common electrode is, as shown in FIG. In this case, the voltage has the same shape as the power supply potential Vh of the high breakdown voltage system. After time t2, diaphragms 51 (2) to 51 (4)
The individual electrodes 10 (2) to 10 (4) are attracted and held by the individual electrodes, and enter a standby state. Further, from time t8 to time t10 when the potential inversion control is performed, the potential is maintained at the ground potential GND.
【0047】駆動ノズル11(3)の個別電極電位、す
なわち振動板51(3)の電位は、図6(d)に示すよ
うに、吐出サイクルにおいては、時点t1から時点t7
までの間は基本電圧パルス波形Vpと同一形状の電圧と
されている。第1の吐出サイクルでは時点t3において
急峻に共通電極電位であるVhまで立ち上げられ、この
後は、時点t4まで共通電極電位と同一電位に保持され
る。時点t4の後、再び、接地電位のGNDに保持され
る。また、第2の吐出サイクルにおいては、時点t5に
おいて急峻に電位が立ち上げあれ、時点t6まで高電位
に保持され、時点t6の後、再び、接地電位GNDに保
持される。As shown in FIG. 6D, the individual electrode potential of the driving nozzle 11 (3), that is, the potential of the diaphragm 51 (3), is changed from the time point t1 to the time point t7 in the discharge cycle.
Until then, the voltage has the same shape as the basic voltage pulse waveform Vp. In the first discharge cycle, the potential is sharply raised to Vh which is the common electrode potential at time t3, and thereafter, is kept at the same potential as the common electrode potential until time t4. After the time point t4, it is again held at the ground potential GND. Further, in the second ejection cycle, the potential rises sharply at time t5, is kept at a high potential until time t6, and is again kept at the ground potential GND after time t6.
【0048】この結果、駆動ノズル11(3)における
振動板51(3)と個別電極10(3)の電位差は、図
6(e)に示すように、待機状態における時点t2〜t
3の間は正電位差状態に保持され、第1の吐出サイクル
である時点t3〜t4の間と、第2の吐出サイクルにお
ける時点t5〜t6の間は電位差無しの状態に保持され
る。換言すると、振動板を個別電極に吸引する静電力が
発生しない。これら以外の時点では正電位差状態に保持
され、振動板と個別電極を吸引する静電力が作用し、振
動板を個別電極に吸着保持する。As a result, the potential difference between the vibration plate 51 (3) and the individual electrode 10 (3) in the driving nozzle 11 (3) is, as shown in FIG.
During the period 3, the positive potential difference state is maintained, and between the time points t3 and t4 in the first ejection cycle and the time points t5 and t6 in the second ejection cycle, no potential difference is maintained. In other words, no electrostatic force for attracting the diaphragm to the individual electrodes is generated. At times other than these, the positive potential difference state is maintained, and an electrostatic force for attracting the diaphragm and the individual electrode acts to attract and hold the diaphragm to the individual electrode.
【0049】よって、第1の吐出サイクルでは、時点t
3から振動板51(3)が急激に個別電極10(3)か
ら離脱して弾性復帰し、この振動板の動作によって、駆
動ノズル11(3)からは、時点t3から所定時間後の
時点でインク液滴が吐出される。その後、時刻t4にて
振動板51(3)は個別電極10(3)に吸着された状
態になり、待機状態に復帰する。同様に、第2の吐出サ
イクルでは、時点t5から振動板51(3)が急激に個
別電極10(3)から離脱して弾性復帰し、この振動板
の動作によって、駆動ノズル11(3)からは、時点t
5から所定時間後の時点でインク液滴が吐出される。そ
の後、時刻t6にて振動板51(3)は個別電極10
(3)に吸着された状態になり、待機状態に復帰する。Therefore, in the first discharge cycle, the time t
The diaphragm 51 (3) suddenly detaches from the individual electrode 10 (3) from 3 and elastically returns, and the operation of the diaphragm causes the drive nozzle 11 (3) to return from the drive nozzle 11 (3) at a time after a predetermined time from the time t3. Ink droplets are ejected. Thereafter, at time t4, the diaphragm 51 (3) is in a state of being attracted to the individual electrode 10 (3), and returns to the standby state. Similarly, in the second ejection cycle, the diaphragm 51 (3) suddenly separates from the individual electrode 10 (3) and elastically returns from the time point t5, and the operation of the diaphragm causes the driving nozzle 11 (3) to move from the driving nozzle 11 (3). At time t
The ink droplets are ejected at a point in time after 5 from a predetermined time. Thereafter, at time t6, diaphragm 51 (3)
The state is attracted to (3) and returns to the standby state.
【0050】これに対して、駆動ノズル11(3)に隣
接している非駆動ノズル11(2)においては、第1お
よび第2の吐出サイクルを通じて、個別電極電位が図6
(f)に示すように、接地電位に保持される。On the other hand, in the non-driving nozzle 11 (2) adjacent to the driving nozzle 11 (3), the individual electrode potentials in FIG.
As shown in (f), it is kept at the ground potential.
【0051】この結果、非駆動ノズル11(2)におけ
る振動板51(2)と個別電極10(2)の電位差状態
は、図6(g)に示すように、第1の吐出サイクルおよ
び第2の吐出サイクルにおいて、高耐圧系の電源電位の
Vhと相似の状態となる。As a result, the potential difference between the diaphragm 51 (2) and the individual electrode 10 (2) in the non-drive nozzle 11 (2) is, as shown in FIG. 6 (g), the first discharge cycle and the second discharge cycle. In the discharge cycle, the state becomes similar to the power supply potential Vh of the high breakdown voltage system.
【0052】従って、第1の吐出サイクルにおける時点
t1から振動板51(2)が個別電極10(2)に吸引
されて、時点t7まで吸着状態に保持されている。Therefore, the diaphragm 51 (2) is sucked by the individual electrode 10 (2) from the time point t1 in the first discharge cycle and is held in the suction state until the time point t7.
【0053】待機状態の終了に際し、時点t7の後は、
電位差が徐々に減少する。すなわち、両電極間の放電が
徐々に行われる。このために、時点t7以降の電位差が
消失するまでの間の位置で、振動板51(2)〜51
(4)の離脱が始まり、吸引時に比べて遅い速度で弾性
復帰する。At the end of the standby state, after the time point t7,
The potential difference gradually decreases. That is, discharge between both electrodes is gradually performed. For this reason, the diaphragms 51 (2) to 51 (2) to 51
The separation of (4) starts, and the elastic recovery is performed at a slower speed than at the time of suction.
【0054】図6(h)には前述の図6(e)に示し
た、駆動ノズル11(3)における振動板51(3)と
個別電極10(3)の電極間電位差によって駆動される
振動板51(3)の各時点における変位の様子を示す。
また、図6(i)には前述の(g)に示した、非駆動ノ
ズル11(2)、11(4)における振動板51
(2)、51(4)と個別電極10(2)、10(4)
の電極間電位差によって動作する振動板51(2)、5
1(4)の各時点における変位の様子を示す。FIG. 6 (h) shows the vibration driven by the potential difference between the diaphragm 51 (3) and the individual electrode 10 (3) in the driving nozzle 11 (3) shown in FIG. 6 (e). The state of displacement of the plate 51 (3) at each time is shown.
FIG. 6 (i) shows the diaphragm 51 in the non-drive nozzles 11 (2) and 11 (4) shown in FIG. 6 (g).
(2), 51 (4) and individual electrodes 10 (2), 10 (4)
Diaphragms 51 (2), 5 operated by the potential difference between the electrodes
The state of displacement at each point in time 1 (4) is shown.
【0055】図6(h)および(i)に示すチャートの
縦方向は、振動板の変位量を、横方向は時刻の経過を示
す。また、Gは振動板51と個別電極10の電極間に電
界を作用させない時の隙間を示す。振動板51と個別電
極10の間隔が小さくなる方向を(−)、大きくなる方
向を(+)としている。The vertical direction of the charts shown in FIGS. 6H and 6I indicates the displacement of the diaphragm, and the horizontal direction indicates the passage of time. G indicates a gap between the diaphragm 51 and the individual electrodes 10 when no electric field is applied. The direction in which the distance between the diaphragm 51 and the individual electrode 10 is reduced is (-), and the direction in which the distance is increased is (+).
【0056】ここで、図6(h)と図5を対比して説明
する。Here, FIG. 6H and FIG. 5 will be described in comparison.
【0057】t1〜t2:駆動ノズル11(3)の振動
板51(3)は時点t1から時点t2の間で個別電極1
0(3)に吸着される。(第1の振動板吸着工程SS
1) t2〜t3:振動板51(3)は吸着後、時点t3まで
の間個別電極10(3)に吸着された状態で、保持され
る。(第1の振動板保持工程SS2) t3〜t4:時点t3において、振動板51(3)は急
激に離脱して復帰し、圧力室5(3)内のインクを加圧
して、矢印h1の時点で駆動ノズル11(3)からイン
ク液滴を吐出する。(吐出工程SS6) その後、振動板51(3)は振動して、振動板の変位量
が(−)に向かう時点の振動板51(3)の振動周期に
ほぼ一致する時点において、再度電極間電位差が生ずる
ようにに個別電極10(3)に電位を与えられ、時点t
4では再度個別電極10(3)に吸着する。(第2の振
動板吸着工程SS7) t4〜t5:その後、時点t5までは、次の吐出に備え
て、振動板51(3)は時点t5までの間、個別電極1
0(3)に吸着された状態で、保持される。(第2の振
動板保持工程SS2)。T1 to t2: The vibration plate 51 (3) of the driving nozzle 11 (3) is set to the individual electrode 1 between the time t1 and the time t2.
It is adsorbed to 0 (3). (1st diaphragm adsorption process SS
1) t2 to t3: After the suction, the diaphragm 51 (3) is held in a state of being sucked by the individual electrode 10 (3) until time t3. (First diaphragm holding step SS2) t3 to t4: At time t3, the diaphragm 51 (3) suddenly separates and returns, pressurizes ink in the pressure chamber 5 (3), and presses the arrow h1. At this point, ink droplets are ejected from the driving nozzle 11 (3). (Discharge Step SS6) Thereafter, the vibration plate 51 (3) vibrates, and at the time when the amount of displacement of the vibration plate substantially coincides with the vibration cycle of the vibration plate 51 (3) at the time of going to (-), the distance between the electrodes is again increased. A potential is applied to the individual electrode 10 (3) so that a potential difference is generated, and the time t
At 4, it is adsorbed again to the individual electrode 10 (3). (Second diaphragm adsorbing step SS7) t4 to t5: Until time t5, diaphragm 51 (3) keeps individual electrode 1 until time t5 in preparation for the next ejection.
It is held in a state of being adsorbed to 0 (3). (Second diaphragm holding step SS2).
【0058】t5〜t7:駆動ノズル11(3)では、
更に、時点t5からt7までの間に同様なサイクル(吐
出工程SS6から振動板吸着工程SS7を経て振動板保
持工程SS2に至るサイクル)により、振動板51
(3)が駆動され、矢印h2に示す時点でインク液滴を
吐出する(2回以上吐出する場合、t5〜t7を繰り返
す)。T5 to t7: In the driving nozzle 11 (3),
Further, the diaphragm 51 is subjected to a similar cycle from the time point t5 to the time point t7 (a cycle from the discharge step SS6 to the diaphragm holding step SS2 via the diaphragm suction step SS7).
(3) is driven, and ink droplets are ejected at the time point indicated by the arrow h2 (when ejecting two or more times, t5 to t7 are repeated).
【0059】t7〜t8:駆動ノズル11(3)では、
時点t7で徐々に振動板51(3)が個別電極10
(3)から離脱して、一連の印刷制御工程(待機状態)
を終了する。この時、ノズル11(3)からインク液滴
は吐出しない。(振動板離脱工程SS8) 図6(i)において、非駆動ノズル11(2)、11
(4)の振動板51(2)、51(4)は時点t1から
時点t2の間で個別電極10(2)、10(4)にそれ
ぞれ吸着される。(振動板の吸着工程SS1)振動板5
1(2)、51(4)は吸着後、時点t7までの間、個
別電極10(2)、10(4)にそれぞれ吸着された状
態で、保持される。(振動板保持工程SS2)これらの
非駆動ノズル11(2)、11(4)では、インク液滴
を吐出しないので、駆動ノズル11(3)が吐出工程に
あるときも、振動板51(2)、51(4)は個別電極
10(2)、10(4)に吸着されて保持されており、
これらのインク室5(2)、5(4)の流路のコンプラ
イアンスは小さい状態となっている。保持工程において
は、これら流路のコンプライアンスが小さいので、駆動
ノズル11(3)の吐出工程においても隔壁8(1)〜
8(4)が変形して、駆動ノズル11(3)の圧力室5
(3)の圧力損失を生じないので、駆動ノズル11
(3)からはばらつきがなく、安定したインク液滴の吐
出が可能となる。T7 to t8: In the driving nozzle 11 (3),
At time t7, the vibration plate 51 (3) gradually
(3), a series of print control steps (standby state)
To end. At this time, no ink droplet is ejected from the nozzle 11 (3). (Diaphragm detachment step SS8) In FIG. 6 (i), the non-drive nozzles 11 (2), 11
The diaphragms 51 (2) and 51 (4) of (4) are attracted to the individual electrodes 10 (2) and 10 (4), respectively, from time t1 to time t2. (Vibration plate adsorption step SS1) Vibration plate 5
After the suction, 1 (2) and 51 (4) are held by the individual electrodes 10 (2) and 10 (4), respectively, until time t7. (Vibration plate holding step SS2) Since the non-driving nozzles 11 (2) and 11 (4) do not discharge ink droplets, the vibration plate 51 (2) can be used even when the driving nozzle 11 (3) is in the discharging step. ), 51 (4) are adsorbed and held by the individual electrodes 10 (2), 10 (4),
The compliance of the flow paths of these ink chambers 5 (2) and 5 (4) is small. In the holding step, since the compliance of these flow paths is small, the partition walls 8 (1) to 8 (1) are also used in the discharge step of the driving nozzle 11 (3).
8 (4) is deformed, and the pressure chamber 5 of the drive nozzle 11 (3) is deformed.
Since the pressure loss of (3) does not occur, the driving nozzle 11
There is no variation from (3), and stable ejection of ink droplets is possible.
【0060】駆動ノズル11(2)、11(4)では、
時点t7で徐々に振動板51(2)、51(4)が個別
電極10(2)、10(4)からそれぞれ離脱して、一
連の印刷制御工程における待機状態を終了する。この
時、ノズル11(2)、11(4)からインク液滴は吐
出しない。(振動板離脱工程SS8) このように、非駆動ノズル11(2)の側では、駆動ノ
ズル11(3)の側の振動板51(3)の離脱と吸引動
作の期間中は振動板51(2)が吸引保持されていて、
図4(a)に示す待機状態においては、全てのノズルが
個別電極に吸着された状態になる。次に、この吸着保持
状態において、駆動ノズル11(3)からインク液滴が
吐出される。待機状態の終了に際しては、非駆動ノズル
11(2)の側の振動板51(2)は個別電極10
(2)から離脱して緩やかに弾性復帰する。この振動板
の弾性復帰速度を調整することにより、当該振動板51
(2)の弾性復帰時に、非駆動ノズル11(2)からイ
ンク液滴が吐出することを完全に阻止できる。In the driving nozzles 11 (2) and 11 (4),
At time t7, the diaphragms 51 (2) and 51 (4) gradually separate from the individual electrodes 10 (2) and 10 (4), respectively, and the standby state in the series of printing control steps ends. At this time, no ink droplets are ejected from the nozzles 11 (2) and 11 (4). (Vibrating plate detachment step SS8) As described above, on the non-driving nozzle 11 (2) side, the diaphragm 51 (3) on the driving nozzle 11 (3) side detaches and vibrates during the suction operation. 2) is held by suction,
In the standby state shown in FIG. 4A, all the nozzles are in a state of being attracted to the individual electrodes. Next, in this suction holding state, ink droplets are ejected from the driving nozzle 11 (3). At the end of the standby state, the diaphragm 51 (2) on the side of the non-drive nozzle 11 (2) is
It detaches from (2) and gently elastically returns. By adjusting the elastic return speed of the diaphragm, the diaphragm 51 is adjusted.
At the time of the elastic recovery in (2), the ejection of the ink droplets from the non-drive nozzle 11 (2) can be completely prevented.
【0061】なお、非駆動ノズル11(4)も非駆動ノ
ズル11(2)と同様に動作する。The non-drive nozzle 11 (4) operates similarly to the non-drive nozzle 11 (2).
【0062】以上のように、本例の静電式インクジェッ
トヘッドの駆動方法においては、駆動ノズル11(3)
に隣接している非駆動ノズル11(2)、11(4)に
おいても振動板51(2)、51(4)を個別電極10
(2)、10(4)に吸着保持することにより、その剛
性を高い状態に保持している。この結果、非駆動ノズル
のインク圧力室5(2)、5(4)のコンプライアンス
を小さくできる。As described above, in the method of driving the electrostatic ink jet head of the present embodiment, the driving nozzle 11 (3)
The diaphragms 51 (2) and 51 (4) are also connected to the individual electrodes 10 in the non-drive nozzles 11 (2) and 11 (4) adjacent to the
(2) By holding by suction at 10 (4), its rigidity is maintained in a high state. As a result, the compliance of the ink pressure chambers 5 (2) and 5 (4) of the non-driven nozzles can be reduced.
【0063】よって、コンプライアンスが小さい駆動ノ
ズル側のインク圧力室5(3)と、同じくコンプライン
スが小さい非駆動ノズル側のインク圧力室5(2)、5
(4)とを仕切っている隔離壁8(2)、8(4)が、
駆動ノズル側のインク圧力室の圧力変動によって撓んで
しまうとを阻止あるいは抑制できる。Therefore, the ink pressure chambers 5 (3) on the driving nozzle side with small compliance and the ink pressure chambers 5 (2), 5 on the non-driving nozzle side with small compliance are also used.
Separation walls 8 (2) and 8 (4) separating (4)
It is possible to prevent or suppress the deflection due to the pressure fluctuation of the ink pressure chamber on the driving nozzle side.
【0064】従って、隣接したインクノズルの駆動の有
無にかかわらず、インク圧力室の圧力のクロストークを
防止あるいは抑制できるので、インクジェットヘッドを
高密度化して隔離壁が薄くなったとしても、その撓みに
起因した各インクノズルのインク吐出特性の劣化を防止
あるいは抑制できる。このために、本例の駆動方法を採
用すれば、高精細で緻密な印刷品位を容易に確保でき
る。Accordingly, regardless of whether the adjacent ink nozzles are driven or not, the crosstalk of the pressure in the ink pressure chamber can be prevented or suppressed. Therefore, it is possible to prevent or suppress the deterioration of the ink ejection characteristics of each ink nozzle due to the above. For this reason, if the driving method of this example is adopted, high-definition and precise printing quality can be easily secured.
【0065】なお、時点8以降において個別電極と共通
電極の間の電位差の極性を反転させているのは、電位差
の極性が常に同一であると、これらの電極間に電荷が蓄
積して、所望の静電吸引力が得られなくなるおそれがあ
るからである。これらの制御を行なうことにより、電極
間に蓄積した電荷を一掃して、常に安定した振動板の動
作が得られるようにしている。これらの制御のことを電
位反転制御と称している。Note that the polarity of the potential difference between the individual electrode and the common electrode is inverted after the time point 8 because if the polarity of the potential difference is always the same, charges accumulate between these electrodes and This is because there is a possibility that the electrostatic attraction force of the above cannot be obtained. By performing these controls, the electric charge accumulated between the electrodes is wiped out, and a stable operation of the diaphragm is always obtained. These controls are called potential inversion control.
【0066】電位反転制御とは、静電気力を用いて振動
板を変形させることによりインク液滴の吐出を行なう形
式のインクジェットヘッドの駆動方法であって、振動板
に残留する残留電荷の影響を排除して常に良好なインク
液滴の吐出動作を行なうことを目的として行われるイン
クジェットヘッドの駆動制御方法であり、本出願人によ
る別の発明である。The potential inversion control is a method of driving an ink jet head in which ink droplets are ejected by deforming a vibration plate by using an electrostatic force, and eliminates the influence of residual charges remaining on the vibration plate. This is a method for controlling the driving of an ink jet head which is performed for the purpose of always performing a good ink droplet discharging operation, and is another invention by the present applicant.
【0067】前記振動板と前記電極の間に第1の極性の
電圧を印加する第1の駆動形態で前記振動板を変形させ
て前記ノズルからインク液滴の吐出を行なわせると共
に、前記第1の駆動形態によるインク液滴の吐出動作を
行なう一定の期間毎に、前記ノズルからインク液滴の吐
出を行なわせない様に前記振動板と前記電極の間に前記
第1の極性とは逆の第2の極性の電圧を印加する第2の
駆動形態で前記振動板を変形させる静電式インクジェッ
トヘッドの駆動方法であって、第2の駆動形態では、第
1の駆動形態にて蓄積した残留電荷を除去することを特
徴とするインクジェットヘッドの駆動方法である。In a first driving mode in which a voltage of a first polarity is applied between the diaphragm and the electrode, the diaphragm is deformed to discharge ink droplets from the nozzles, and Every predetermined period during which the ink droplets are ejected by the above-described driving mode, the first polarity is opposite to the first polarity between the vibration plate and the electrode so that the ink droplets are not ejected from the nozzles. A method of driving an electrostatic ink jet head that deforms the diaphragm in a second driving mode in which a voltage of a second polarity is applied. In the second driving mode, the residual ink accumulated in the first driving mode is used. This is a method for driving an ink-jet head, which comprises removing charges.
【0068】第1の駆動形態と第2の駆動形態の頻度が
異なることにより、電荷の蓄積が懸念されるので、例え
ば、印刷媒体上をインクジェットヘッドが副走査して印
刷媒体の走査により印刷を行なう形態の記録装置では、
駆動パス毎に第2の形態の電位反転制御を行なう。また
更に、印刷媒体の主走査のみにより印刷を行なうライン
タイプのインクジェットヘッドでは、1トランザクショ
ン印刷毎に第2の形態の電位反転制御を行なう。これに
より、第1の駆動形態と第2の駆動形態の頻度が異なる
ことにより振動板に残留する残留電荷の蓄積は抑制さ
れ、その影響は実用上無視できるレベルとなる。Since the frequency of the first driving mode and the second driving mode are different in frequency, there is a concern that electric charges may be accumulated. For example, the ink jet head performs sub-scan on the print medium and prints by scanning the print medium. In the recording device of the form to perform,
The second form of potential inversion control is performed for each drive path. Furthermore, in a line type ink jet head that performs printing only by main scanning of a print medium, the second form of potential inversion control is performed for each transaction printing. Thus, the accumulation of the residual charge remaining on the diaphragm due to the difference in frequency between the first driving mode and the second driving mode is suppressed, and the effect becomes a level that can be practically ignored.
【0069】さて、時点t8以降における電位反転制御
においては、図6(c)に示す共通電極電位は、接地電
位のGNDレベルとされる。また、図6(d)と(f)
に示される各個別電極電位は何れも高耐圧系の電源電位
のVhと同じ電位とされる。これにより、図6(e)と
(g)に示される電極間の電位差は何れも高耐圧系の電
源電位のVhとは逆の相似形の電位差波形となる。In the potential inversion control after time t8, the common electrode potential shown in FIG. 6C is set to the ground level GND level. 6D and 6F.
Are set to the same potential as the power supply potential Vh of the high withstand voltage system. As a result, the potential difference between the electrodes shown in FIGS. 6E and 6G has a similar potential difference waveform opposite to the power supply potential Vh of the high breakdown voltage system.
【0070】時点t1〜t7までの駆動形態を第1の駆
動形態とし、時点t8〜t10の駆動形態を第2の駆動
形態として、前述の電位反転制御を行い、本発明の静電
式インクジェットヘッドの制御方法に電位反転制御を適
用し、振動板の動作を安定させ、インク液滴の吐出性能
を確保することが可能である。The above-described potential inversion control is performed by setting the driving mode from time t1 to t7 to the first driving mode and the driving mode from time t8 to t10 to the second driving mode. By applying the potential inversion control to the control method described above, it is possible to stabilize the operation of the diaphragm and secure the ejection performance of the ink droplets.
【0071】なお、図6にて説明した駆動方法において
は、残留電荷を除去し、振動板の動作を安定させるため
に電位反転制御を適用したが、本発明の静電式インクジ
ェットヘッドの駆動方法において、残留電荷を除去する
ために、前述のインク液滴吐出動作を行なう駆動形態の
前又は後に、静電式インクジェットヘッドの予備動作と
して、その駆動電界極性とは逆極性で駆動する増粘イン
クをインクノズルの外部に除去又はインク室内に拡散す
るための駆動を行なってもよい。この場合も前述の電位
反転制御と同じく、全てのノズルを一斉に動作させて駆
動させる。In the driving method described with reference to FIG. 6, the potential inversion control is applied to remove the residual charges and stabilize the operation of the diaphragm. In order to remove the residual charge, before or after the driving mode in which the above-described ink droplet discharging operation is performed, as a preliminary operation of the electrostatic ink jet head, the thickened ink which is driven with the polarity opposite to the driving electric field polarity is used. May be removed to the outside of the ink nozzle or driven to diffuse into the ink chamber. Also in this case, all the nozzles are operated and driven at the same time as in the above-described potential inversion control.
【0072】また、図6に示す駆動電圧波形は、本発明
の駆動方法を実現するための一例であり、これとは異な
る駆動形態を採用することも可能である。The driving voltage waveform shown in FIG. 6 is an example for realizing the driving method of the present invention, and a driving mode different from this can be adopted.
【0073】(駆動装置)以下に図面を参照して上述の
駆動方法を適用した本発明の静電式インクジェットヘッ
ドの駆動装置を説明する。(Driving Apparatus) A driving apparatus for an electrostatic ink jet head according to the present invention to which the above-described driving method is applied will be described below with reference to the drawings.
【0074】図7は、本発明を適用したインクジェット
ヘッドの駆動制御装置の概略ブロック図である。この図
に示す駆動制御装置100により駆動制御されるインク
ジェットヘッドは図1に示すものと同一であるので、同
一の符号を付してその説明は省略するものとする。FIG. 7 is a schematic block diagram of a drive control device for an ink jet head to which the present invention is applied. The ink jet heads whose driving is controlled by the driving control device 100 shown in this figure are the same as those shown in FIG. 1, and therefore, the same reference numerals are given and their explanation is omitted.
【0075】インクジェットヘッドの駆動制御装置10
0はインクジェットヘッド制御部102を有し、このイ
ンクジェットヘッド制御部102は、CPUを中心に構
成されている。すなわち、CPUには外部装置103か
らバスを介して印刷情報が供給される。CPUには、内
部バスを介してROM、RAMおよびキャラクタジェネ
レータ104が接続されており、RAM内の記憶領域を
作業領域として用いて、ROM内に格納されている制御
プログラムを実行し、キャラクタージェネレータ104
から発生するキャラクター情報に基づき、インクジェッ
トヘッド駆動用の制御信号を生成する。ゲートアレイ1
05はCPUから制御信号によりヘッドドライバIC1
09へ印刷情報に対応した駆動制御信号を供給するとと
もに、駆動電圧パルス発生回路106へ、駆動電圧パル
スを生成するための制御信号を供給する。Drive control device 10 for ink jet head
0 has an inkjet head control unit 102, and the inkjet head control unit 102 is mainly configured by a CPU. That is, print information is supplied to the CPU from the external device 103 via the bus. The CPU is connected to a ROM, a RAM, and a character generator 104 via an internal bus. The CPU executes a control program stored in the ROM using a storage area in the RAM as a work area.
A control signal for driving the inkjet head is generated based on the character information generated from. Gate array 1
05 is a head driver IC 1 according to a control signal from the CPU.
09, a drive control signal corresponding to the print information is supplied, and a control signal for generating a drive voltage pulse is supplied to the drive voltage pulse generation circuit 106.
【0076】駆動電圧パルス発生回路106はゲートア
レイから制御信号を供給されて、駆動電圧パルスを発生
し、ヘッドドライバIC109へ駆動パルスVpを供給
する。駆動電圧パルス発生回路106ではデジタル情報
としての制御信号をD/A(デジタル−アナログ)変換
器によりアナログの駆動電圧パルス波形へと変換する。
すなわち、駆動電圧パルス発生回路106では駆動電圧
パルスのパルス長、電圧、パルスの立ち上がり時間、立
ち下がり時間等パルス信号波形生成条件に関する制御信
号より、駆動パルス波形を生成する。駆動パルス発生回
路106をD/A変換器により構成することにより、駆
動電圧パルス波形を精度良く生成するには、波形の分解
能を上げるために使用するD/A変換器のビット数を増
やすのみでよいので、駆動電圧パルス波形の精度を容易
に向上することが可能である。駆動パルス発生回路10
6をCR回路により構成してもよい。駆動パルス発生回
路106をCR回路により構成すれば、D/A変換器に
より構成する場合より安価な回路構成とすることが可能
である。The drive voltage pulse generation circuit 106 is supplied with a control signal from the gate array, generates a drive voltage pulse, and supplies a drive pulse Vp to the head driver IC 109. In the drive voltage pulse generation circuit 106, a control signal as digital information is converted into an analog drive voltage pulse waveform by a D / A (digital-analog) converter.
That is, the drive voltage pulse generation circuit 106 generates a drive pulse waveform from a control signal relating to pulse signal waveform generation conditions such as the pulse length, voltage, pulse rise time, and fall time of the drive voltage pulse. By forming the drive pulse generating circuit 106 with a D / A converter, a drive voltage pulse waveform can be generated with high accuracy only by increasing the number of bits of the D / A converter used to increase the resolution of the waveform. Therefore, the accuracy of the drive voltage pulse waveform can be easily improved. Drive pulse generation circuit 10
6 may be constituted by a CR circuit. If the drive pulse generation circuit 106 is configured by a CR circuit, a circuit configuration that is less expensive than when the drive pulse generation circuit 106 is configured by a D / A converter can be achieved.
【0077】駆動制御信号および駆動電圧パルスはコネ
クタ107を経由して、ヘッド基板108に形成された
ヘッドドライバIC109に供給される。ヘッドドライ
バIC109は電源回路110から高電圧系の駆動電圧
Vhおよび論理回路系の駆動電圧Vccを供給されて動
作し、供給された駆動制御信号により、駆動電圧パルス
とGND電位を切り換えて、インクジェットヘッド1の
各インクノズルに対応する対向電極間に印加する。この
結果、対向電極間に駆動パルスにより、電位差が生じた
振動板51は対向電極へ吸引され、電位差が保持されて
いる対向電極間では、振動板51は対向電極10に吸引
された状態で保持され、電位差が急激に解除され変化が
生じたインクノズルでは振動板51が振動してインク液
滴が吐出される。The drive control signal and the drive voltage pulse are supplied to the head driver IC 109 formed on the head substrate 108 via the connector 107. The head driver IC 109 operates by being supplied with a driving voltage Vh of a high voltage system and a driving voltage Vcc of a logic circuit system from a power supply circuit 110, and switches between a driving voltage pulse and a GND potential according to the supplied driving control signal, and The voltage is applied between the opposing electrodes corresponding to each ink nozzle. As a result, the diaphragm 51 having a potential difference caused by the driving pulse between the opposed electrodes is attracted to the opposed electrode, and the diaphragm 51 is retained in a state attracted by the opposed electrode 10 between the opposed electrodes where the potential difference is maintained. Then, the vibration plate 51 vibrates at the ink nozzle where the potential difference is suddenly released and a change occurs, and an ink droplet is ejected.
【0078】図8は、図7のブロック図に示された、本
発明を適用したヘッドドライバIC109の内部の概略
ブロック図である。ヘッドドライバIC109は電源回
路110から高電圧系の駆動電圧Vhおよび論理回路系
の駆動電圧Vccを供給されて動作する。また、ヘッド
ドライバIC109は、供給された駆動制御信号によ
り、駆動電圧パルスVpとGND電位を切り換えて、イ
ンクジェットヘッド1の各インクノズルに対応する対向
電極間に印加する。FIG. 8 is a schematic block diagram showing the inside of the head driver IC 109 to which the present invention is applied, which is shown in the block diagram of FIG. The head driver IC 109 operates by being supplied with a driving voltage Vh of a high voltage system and a driving voltage Vcc of a logic circuit system from the power supply circuit 110. Further, the head driver IC 109 switches between the driving voltage pulse Vp and the GND potential according to the supplied driving control signal, and applies the switching between the opposing electrodes corresponding to the respective ink nozzles of the inkjet head 1.
【0079】ここでヘッドドライバIC109は、CM
OSの64ビット出力の高耐圧ドライバとして説明す
る。ヘッドドライバIC109は図2においては、電圧
印加手段21に相当し、ヘッドドライバIC109の各
ビット構成を5ビットとすることにより、電圧印加手段
21の構成となる。Here, the head driver IC 109 is a CM
A description will be given as a 64-bit output high withstand voltage driver of the OS. The head driver IC 109 corresponds to the voltage application unit 21 in FIG. 2, and the configuration of the voltage application unit 21 is achieved by setting each bit configuration of the head driver IC 109 to 5 bits.
【0080】図8において、91は64ビットのシフト
レジスタであり、シリアルデータとして論理ゲートアレ
イ5より送信された64ビット長のDI信号入力を、D
I信号に同期する基本クロックパルスであるところのX
SCLパルス信号入力によりデータをシフトアップし、
シフトレジスタ91内のレジスタに格納するスタティク
シフトレジスタとなっている。DI信号は、64のノズ
ルの各ノズルの選択情報をON/OFFによる制御信号
がシリアルデータとして送信される。In FIG. 8, reference numeral 91 denotes a 64-bit shift register, which converts a 64-bit DI signal input transmitted from the logic gate array 5 as serial data into a D signal.
X which is a basic clock pulse synchronized with the I signal
Data is shifted up by SCL pulse signal input,
This is a static shift register stored in a register in the shift register 91. As the DI signal, a control signal for ON / OFF of the selection information of each of the 64 nozzles is transmitted as serial data.
【0081】92は64ビットのラッチ回路であり、シ
フトレジスタ61内に格納された64ビットデータをラ
ッチパルスLPによりラッチしてデータを格納し、格納
されたデータを、64ビット反転回路93に信号出力す
るスタティクラッチである。ラッチ回路92では、シリ
アルデータのDI信号が各ノズルの駆動を行なうための
64のセグメント出力を行なうための64ビットのパラ
レルの信号へと変換される。Reference numeral 92 denotes a 64-bit latch circuit which latches 64-bit data stored in the shift register 61 by a latch pulse LP and stores the data, and transmits the stored data to a 64-bit inversion circuit 93 as a signal. This is the output clutch. In the latch circuit 92, the DI signal of the serial data is converted into a 64-bit parallel signal for outputting 64 segments for driving each nozzle.
【0082】反転回路93では、ラッチ回路92から入
力される信号と、REV信号との排他的論理和をレベル
シフタ94へ出力する。レベルシフタ94は、反転回路
93からの信号の電圧レベルをロジック系の電圧レベル
(5Vレベル又は3.3Vレベル)からヘッド駆動系の
電圧レベル(0V〜45Vレベル)に変換するレベルイ
ンターフェイス回路である。The inverting circuit 93 outputs an exclusive OR of the signal input from the latch circuit 92 and the REV signal to the level shifter 94. The level shifter 94 is a level interface circuit that converts the voltage level of the signal from the inverting circuit 93 from a logic system voltage level (5 V level or 3.3 V level) to a head drive system voltage level (0 V to 45 V level).
【0083】SEGドライバ95は64チャンネルのド
ランスミッションゲート出力となっていて、レベルシフ
タ94の入力により、SEG1〜SEG64のセグメン
ト出力に対して、駆動電圧パルスVp(=Vp1)入力
か又はGND入力かの何れかを出力する。The SEG driver 95 has a transmission gate output of 64 channels. Depending on the input of the level shifter 94, the segment output of SEG1 to SEG64 is applied to the drive voltage pulse Vp (= Vp1) input or the GND input. Is output.
【0084】COMドライバ96は、Vsel入力がH
(論理)の時、REV入力に対して、駆動電圧パルスV
p(=Vp1)入力か又はGND入力かの何れかをCO
M出力へ出力する。また、Vsel入力がL(論理)の
時、COMドライバ96はREV入力に対してVp2入
力かVh入力の何れかをCOM出力へ出力する。図6に
示された駆動方法を実現するためには、Vp1入力に駆
動電圧パルスVpを接続する。また、Vp2にはGND
を接続する。このように構成し、Vsel入力をLに設
定することにより容易に前述の電位反転制御を可能とす
る。また、Vsel入力をHに設定することにより、前
述の予備動作としての駆動である、駆動パターンにおけ
る逆極性での駆動も、交互に駆動電界極性を入れ替えた
駆動も容易に実現可能となる。The COM driver 96 has a Vsel input of H
(Logic), the drive voltage pulse V
p (= Vp1) input or GND input to CO
Output to M output. When the Vsel input is L (logic), the COM driver 96 outputs either the Vp2 input or the Vh input to the COM output with respect to the REV input. In order to realize the driving method shown in FIG. 6, a driving voltage pulse Vp is connected to the Vp1 input. Vp2 has GND
Connect. With this configuration, the potential inversion control described above can be easily performed by setting the Vsel input to L. In addition, by setting the Vsel input to H, it is possible to easily realize the driving as the preliminary operation described above, the driving with the reverse polarity in the driving pattern and the driving in which the driving electric field polarity is alternately changed.
【0085】SEG1〜SEG64のセグメント出力
は、インクジェットヘッド1の対応するインクノズル1
1の対向電極10の端子10bにそれぞれ電気的に接続
される。また、COM出力は、共通電極22を介して振
動板51へ電気的に接続される。The segment outputs of SEG 1 to SEG 64 are output from the corresponding ink nozzles 1 of the ink jet head 1.
Each of them is electrically connected to a terminal 10b of one counter electrode 10. The COM output is electrically connected to the diaphragm 51 via the common electrode 22.
【0086】XSCL、DI、LPとREVの各信号
は、ロジック系の電圧レベルの信号であり、論理ゲート
アレイ105よりヘッドドライバーIC109に送信さ
れる信号である。The XSCL, DI, LP, and REV signals are logic-system voltage level signals and are signals transmitted from the logic gate array 105 to the head driver IC 109.
【0087】このように、ヘッドドライバIC109を
構成することにより、駆動するセグメント数(ノズル
数)が増加した場合においても容易にヘッドの各ノズル
の駆動する駆動電圧パルスVpとGNDとを切り換え、
かつ前述の電位反転制御を容易に実現することが可能と
なる。By configuring the head driver IC 109 in this manner, even when the number of segments to be driven (the number of nozzles) increases, the driving voltage pulse Vp for driving each nozzle of the head and GND are easily switched.
In addition, the above-described potential inversion control can be easily realized.
【0088】図9は上述のヘッドドライバIC109の
主要部分の内部の概略回路構成を示している。図9
(a)にはSEGドライバ95の1ビット分のドライバ
のCMOS回路構成を示し、(b)にはCOMドライバ
96のCMOS回路構成を示す。FIG. 9 shows a schematic circuit configuration inside the main part of the above-described head driver IC 109. FIG.
(A) shows a CMOS circuit configuration of a 1-bit driver of the SEG driver 95, and (b) shows a CMOS circuit configuration of the COM driver 96.
【0089】SEGドライバ95はSEGn(n=1,
2,・・,64)出力に対して、Vp1またはGNDを
切り替えて出力する。COMドライバ96はCOM出力
に対して、Vh、Vp1、Vp2またはGNDのいずれ
かを切り替えて出力するように構成されている。ここで
COMドライバ96は双方向のトランスミッションゲー
トとして回路構成されている。The SEG driver 95 has SEGn (n = 1,
2,..., 64), Vp1 or GND is switched and output. The COM driver 96 is configured to switch and output one of Vh, Vp1, Vp2, and GND with respect to the COM output. Here, the COM driver 96 is configured as a bidirectional transmission gate.
【0090】このようにSEGドライバ95とCOMド
ライバ96を構成することにより、前述の図6のタイミ
ングチャートで説明した、共通電極側の振動板51と個
別電極10の電位の反転を行い、静電アクチュエータ内
に蓄積した電荷を消去するための電位反転制御等の多様
な静電式アクチュエータの駆動制御を容易に実現してい
る。By configuring the SEG driver 95 and the COM driver 96 in this way, the potentials of the diaphragm 51 and the individual electrode 10 on the common electrode side are inverted as described in the timing chart of FIG. Various types of electrostatic actuator drive control, such as potential inversion control for erasing electric charges accumulated in the actuator, are easily realized.
【0091】(インクジェットプリンタ)次に、図10
に本発明による印刷装置の実施例の外観斜視図を示す。
印刷装置200には静電式インクジェットヘッド201
が搭載されている。インクジェットヘッド201はライ
ンインクジェットヘッドとして印刷装置200に搭載さ
れている。インクジェットヘッド201には70μmピ
ッチ(360dpi=ドットパーインチ)にて1440
のインクノズルが記録紙210に対向する面に、長手方
向に一列に配列されている。(Inkjet Printer) Next, FIG.
FIG. 1 shows an external perspective view of an embodiment of a printing apparatus according to the present invention.
The printing apparatus 200 includes an electrostatic inkjet head 201.
Is installed. The inkjet head 201 is mounted on the printing apparatus 200 as a line inkjet head. The inkjet head 201 has a 1440 pitch at a pitch of 70 μm (360 dpi = dot per inch).
Are arranged in a line in the longitudinal direction on the surface facing the recording paper 210.
【0092】図10において、印刷装置200は、記録
紙の搬送機構202により、記録紙210を矢印A方向
に搬送し、記録紙210の搬送速度に同期してインクジ
ェットヘッド201からインク液滴を吐出し、これによ
り印刷を行う。203はインク供給機構の収納部であ
る。インク供給機構は更に、不図示のインクを収容する
インクタンクと、インクをラインインクジェットヘッド
201に送ると同時に回収するインク循環ポンプ機構
(不図示)と、インクタンクとインク循環ポンプ機構お
よびラインインクジェットヘッド201の間に配管され
たインクパイプとからなり、これらがインク供給機構の
収納部203に収納されている。In FIG. 10, the printing apparatus 200 transports the recording paper 210 in the direction of arrow A by the recording paper transport mechanism 202, and ejects ink droplets from the ink jet head 201 in synchronization with the transport speed of the recording paper 210. Then, printing is performed. 203 is a storage unit of the ink supply mechanism. The ink supply mechanism further includes an ink tank that stores ink (not shown), an ink circulation pump mechanism (not shown) that sends the ink to the line inkjet head 201 and simultaneously collects the ink, an ink tank, an ink circulation pump mechanism, and a line inkjet head. An ink pipe is provided between the ink supply mechanisms 201 and 201, and these are stored in a storage section 203 of the ink supply mechanism.
【0093】印刷装置200は、このほかに図7にて示
した駆動制御装置100が含まれた構成となっている。
駆動制御装置100は、ラインインクジェットヘッド2
01、搬送機構202、インク供給機構203を駆動制
御すると共に、バーコードスキャナーや、ネットワーク
等の上位装置とのデータの受送信を行ない、データの印
刷処理を行なう。The printing apparatus 200 has a configuration including the drive control apparatus 100 shown in FIG. 7 in addition to the above.
The drive control device 100 includes the line inkjet head 2
01, drive control of the transport mechanism 202 and the ink supply mechanism 203, data transmission / reception to / from a higher-level device such as a barcode scanner or a network, and data printing processing.
【0094】上述の例では、インクジェットヘッド20
1は印刷装置に固定して記録紙210を搬送して印刷を
行なうラインタイプのインクジェットプリンタについて
説明したが、本発明の印刷装置としては、インクジェッ
トヘッドを記録紙上を副走査させてインク液滴を吐出
し、記録紙を主走査方向に搬送しながら印刷を行なうシ
リアルタイプのインクジェットプリンタでもよい。In the above example, the ink jet head 20
1 describes a line type ink jet printer which performs printing by transporting the recording paper 210 while being fixed to the printing apparatus. However, as a printing apparatus of the present invention, an ink jet head is sub-scanned on the recording paper to discharge ink droplets. A serial type ink jet printer that performs printing while discharging and transporting the recording paper in the main scanning direction may be used.
【0095】本発明の印刷装置によれば、高密度のイン
クジェットヘッド201を印刷装置に取り付けて、前述
の駆動装置により静電式インクジェットヘッドの駆動を
行なって、印刷を行なうので、高精細な印刷を高速に行
なうことが可能である。また、インクジェットヘッドの
複雑な制御を必要としないので、記録紙上をインクジェ
ットヘッドの走査回数も少なく、簡単な制御で前述の高
精細で高速な印刷装置を実現できる。According to the printing apparatus of the present invention, since the high-density inkjet head 201 is attached to the printing apparatus, and the electrostatic inkjet head is driven by the above-described driving apparatus to perform printing, high-definition printing is performed. Can be performed at high speed. Further, since complicated control of the ink jet head is not required, the number of times the ink jet head scans on the recording paper is small, and the above-described high-definition and high-speed printing apparatus can be realized by simple control.
【0096】[0096]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の静電式イ
ンクジェットヘッドの駆動方法およびその装置において
は、駆動ノズルである第1のインクノズルの振動板だけ
でなく、隣接している非駆動ノズルである第2のインク
ノズルの振動板も個別電極に吸引して吸着状態とし、こ
の吸着状態を保持しながら駆動ノズルからインク液滴を
吐出するようにしている。As described above, in the method and apparatus for driving the electrostatic ink jet head according to the present invention, not only the diaphragm of the first ink nozzle which is the driving nozzle but also the adjacent non-driving nozzle is used. The vibrating plate of the second ink nozzle, which is a nozzle, is also attracted to the individual electrode to be in a suction state, and ink droplets are ejected from the driving nozzle while maintaining this suction state.
【0097】従って、駆動ノズルを駆動する際、非駆動
ノズル側のインク圧力室のコンプライアンスを小さくで
きるので、駆動ノズルのインク圧力室と非駆動ノズルの
インク圧力室を仕切っている隔離壁の変形を防止あるい
は抑制できる。よって、隔離壁を介しての圧力のクロス
トークを防止あるいは抑制できるので、当該クロストー
クに起因したインク吐出特性の劣化を防止あるいは抑制
できる。Therefore, when the driving nozzle is driven, the compliance of the ink pressure chamber on the non-driving nozzle side can be reduced, so that the deformation of the partition wall separating the ink pressure chamber of the driving nozzle and the ink pressure chamber of the non-driving nozzle can be reduced. It can be prevented or suppressed. Therefore, pressure crosstalk through the isolation wall can be prevented or suppressed, so that deterioration of the ink ejection characteristics due to the crosstalk can be prevented or suppressed.
【0098】この結果、本発明の駆動方法および装置に
よれば、インクジェットヘッドの高密度化を、インク吐
出特性の劣化を招くことなく実現できるので、高精細で
緻密な印刷品位での印刷を達成できる。As a result, according to the driving method and apparatus of the present invention, it is possible to realize a high-density ink-jet head without deteriorating the ink ejection characteristics, thereby achieving high-definition and high-density printing. it can.
【0099】加えて、インクジェットヘッドの高密度化
を、駆動装置の複雑化と印刷速度の低下を招くことなく
実現できるので、印刷速度を確保しつつ、容易に実現可
能である。In addition, the density of the ink-jet head can be increased without complicating the driving device and lowering the printing speed. Therefore, it is possible to easily realize the printing speed while securing the printing speed.
【図1】本発明を適用した静電式インクジェットヘッド
の一例を示す概略縦断面図である。FIG. 1 is a schematic vertical sectional view showing an example of an electrostatic inkjet head to which the present invention is applied.
【図2】図1に示す静電式インクジェットヘッドの概略
平面構成図である。FIG. 2 is a schematic plan view of the electrostatic inkjet head shown in FIG.
【図3】図1に示す静電式インクジェットヘッドを直交
する方向で切断した場合の概略横断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view when the electrostatic inkjet head shown in FIG. 1 is cut in a direction perpendicular to the direction.
【図4】図1の静電式インクジェットヘッドの動作を示
すための説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an operation of the electrostatic inkjet head of FIG. 1;
【図5】本発明のインクジェットヘッドの駆動方法を説
明するフローチャート。FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for driving an inkjet head according to the present invention.
【図6】図4の動作を実現するための駆動電圧波形の一
例を示すタイミングチャートである。FIG. 6 is a timing chart showing an example of a drive voltage waveform for realizing the operation of FIG.
【図7】図6の動作を実現するための駆動装置の一例を
示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram illustrating an example of a driving device for realizing the operation of FIG. 6;
【図8】図7におけるヘッドドライバIC内部のブロッ
ク図である。FIG. 8 is a block diagram showing the inside of the head driver IC in FIG. 7;
【図9】図8におけるヘッドドライバICのSEGドラ
イバ部(a)とCOMドライバ部(b)の概略回路構成
図である。9 is a schematic circuit configuration diagram of an SEG driver section (a) and a COM driver section (b) of the head driver IC in FIG.
【図10】本発明のインクジェットプリンタを表す図。FIG. 10 is a view showing an ink jet printer of the present invention.
【図11】従来のインクジェットヘッドの駆動方法にお
ける不具合を説明するための説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram for describing a problem in a conventional method of driving an inkjet head.
1 静電式インクジェットヘッド 2 シリコン基板 3 ノズルプレート 4 ガラス基板 5(1)〜5(5) 圧力室 6 共通インク室 7 インク供給口 8(1)〜8(5) 隔離壁 9(1)〜9(5) 凹部 10(1)〜19(5) 個別電極 10a セグメント電極 10b 端子部 11(1)〜11(5) インクノズル 12 インク取出し口 21 電圧印加手段 22 共通電極端子 51(1)〜51(5) 振動板 60 封止剤 100 インクジェットヘッド制御装置 102 インクジェット制御部 109 ヘッドドライバIC DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electrostatic inkjet head 2 Silicon substrate 3 Nozzle plate 4 Glass substrate 5 (1) -5 (5) Pressure chamber 6 Common ink chamber 7 Ink supply port 8 (1) -8 (5) Separation wall 9 (1)- 9 (5) Recess 10 (1) to 19 (5) Individual electrode 10a Segment electrode 10b Terminal 11 (1) to 11 (5) Ink nozzle 12 Ink outlet 21 Voltage applying means 22 Common electrode terminal 51 (1) to 51 (5) Vibration plate 60 Sealant 100 Inkjet head control device 102 Inkjet control unit 109 Head driver IC
フロントページの続き (72)発明者 松野 靖史 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF09 AF21 AG12 AG54 AR08 BA04 BA15 Continuation of front page (72) Inventor Yasushi Matsuno 3-3-5 Yamato, Suwa-shi, Nagano Seiko Epson Corporation F-term (reference) 2C057 AF09 AF21 AG12 AG54 AR08 BA04 BA15
Claims (4)
第1および第2のインク圧力室と、各インク圧力室にそ
れぞれ連通している第1および第2のインクノズルと、
各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変
位可能な第1および第2の振動板と、各振動板に対峙し
ている第1および第2の個別電極とを有し、前記第1の
振動板と前記第1の個別電極の間、および前記第2の振
動板と前記第2の個別電極の間に、駆動電圧を印加して
各振動板を弾性変位させることにより前記第1および第
2のインクノズルからインク液滴を吐出させる静電式イ
ンクジェットヘッドの駆動方法において、 前記第1および第2の振動板をそれぞれ前記第1および
第2の個別電極の側に吸引して当該個別電極に吸着させ
る吸着工程と、 前記第1および第2の振動板を前記第1および第2の個
別電極に吸着させた状態で、保持する第1の保持工程
と、 前記第1の振動板を弾性変位させて前記第1のインクノ
ズルからインク液滴の吐出を行わせる吐出工程と、 前記吐出工程の後に、再度、前記第1の振動板を前記第
1の個別電極に吸着させて保持する第2の保持工程とを
含むことを特徴とする静電式インクジェットヘッドの駆
動方法。At least first and second ink pressure chambers separated by a partition wall, first and second ink nozzles respectively communicating with the respective ink pressure chambers,
It has first and second diaphragms elastically displaceable in an out-of-plane direction that define a part of each ink pressure chamber, and first and second individual electrodes facing each diaphragm. By applying a drive voltage between the first diaphragm and the first individual electrode and between the second diaphragm and the second individual electrode to elastically displace each diaphragm. In the method of driving an electrostatic ink jet head for discharging ink droplets from the first and second ink nozzles, the first and second diaphragms are attracted to the first and second individual electrodes, respectively. A first holding step of holding the first and second diaphragms in a state of being sucked by the first and second individual electrodes; and a first holding step of holding the first and second diaphragms in a state of being sucked by the first and second individual electrodes. Elastically displaces the vibrating plate from the first ink nozzle to And a second holding step of again adsorbing and holding the first diaphragm on the first individual electrode after the discharging step. A method for driving an electrostatic inkjet head.
を前記第1及び第2の個別電極から離脱させる離脱工程
を含み、 当該離脱工程では、前記第1及び第2のインクノズルか
らインク液滴が吐出することのない速度で前記第2の振
動板を離脱させることを特徴とする静電式インクジェッ
トヘッドの駆動方法。2. The method according to claim 1, further comprising, after the second holding step, a separating step of separating the first and second diaphragms from the first and second individual electrodes. A method for driving the electrostatic inkjet head, wherein the second diaphragm is detached at a speed at which ink droplets are not ejected from the first and second ink nozzles.
トヘッドの駆動方法を適用した静電式インクジェットヘ
ッドの駆動装置であって、 前記第1及び第2の振動板の電位と前記第1及び第2の
個別電極の電位を切り替える切り替え手段と、駆動パル
スを発生する駆動パルス発生手段とからなり、該駆動パ
ルス発生手段で生成された駆動パルスを前記切り替え手
段により切り替えて、前記静電式インクジェットヘッド
を駆動することを特徴とする静電式インクジェットヘッ
ドの駆動装置。3. A driving apparatus for an electrostatic ink jet head to which the method for driving an electrostatic ink jet head according to claim 1 or 2 is applied, wherein a potential of the first and second diaphragms and a potential of the first and second diaphragms are adjusted. A switching unit for switching the potential of the second individual electrode; and a driving pulse generating unit for generating a driving pulse. The driving pulse generated by the driving pulse generating unit is switched by the switching unit, and the electrostatic inkjet A driving device for an electrostatic inkjet head, which drives the head.
と、 前記複数のノズルにそれぞれ連通して設けられ、静電力
が印加されることによって前記複数のノズルからインク
が吐出しない方向に変位される複数の振動板と、を備
え、 前記複数の振動板は、前記印加された静電力を急激に解
除されることにより、それぞれ連通する前記複数のノズ
ルからインクを吐出する方向に変位されて当該ノズルか
らインクを吐出して記録媒体に印字を行う静電式インク
ジェットプリンタにおいて、 前記複数のノズルが、インクを吐出させる駆動ノズル
と、インクを吐出させない非駆動ノズルとを含むとき、
前記駆動ノズルに連通する第1の振動板と前記非駆動ノ
ズルに連通する第2の振動板とに前記静電力を所定期間
印加し、その後前記第2の振動板への前記静電力を印加
したまま前記第1の振動板への静電力の印加を解除し、
その後前記第1の振動板へ静電力を再印加するよう制御
する制御手段を備えたことを特徴とする静電式インクジ
ェットプリンタ。4. A plurality of nozzles for discharging ink to the outside, provided in communication with the plurality of nozzles, and displaced in a direction in which ink is not discharged from the plurality of nozzles when an electrostatic force is applied. A plurality of diaphragms, wherein the plurality of diaphragms are displaced in a direction in which ink is ejected from the plurality of nozzles communicating with each other by suddenly releasing the applied electrostatic force. In an electrostatic inkjet printer that prints on a recording medium by discharging ink from the plurality of nozzles, when including a driving nozzle that discharges ink and a non-drive nozzle that does not discharge ink,
The electrostatic force was applied for a predetermined period to a first diaphragm communicating with the driving nozzle and a second diaphragm communicating with the non-driving nozzle, and then the electrostatic force was applied to the second diaphragm. The application of the electrostatic force to the first diaphragm is released as it is,
An electrostatic ink jet printer, further comprising control means for controlling so as to reapply electrostatic force to the first diaphragm.
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- 2000-04-28 JP JP2000129934A patent/JP4038958B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010036458A (en) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Seiko Epson Corp | Electrostatic actuator, liquid droplet discharging head, apparatus for discharging liquid droplet and method for producing liquid droplet discharging head |
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