JPH04278298A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPH04278298A
JPH04278298A JP3068979A JP6897991A JPH04278298A JP H04278298 A JPH04278298 A JP H04278298A JP 3068979 A JP3068979 A JP 3068979A JP 6897991 A JP6897991 A JP 6897991A JP H04278298 A JPH04278298 A JP H04278298A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
high voltage
power supply
vpp
power source
voltage power
Prior art date
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Pending
Application number
JP3068979A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Yamamoto
誠 山本
Kazuo Kobayashi
和男 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP3068979A priority Critical patent/JPH04278298A/en
Publication of JPH04278298A publication Critical patent/JPH04278298A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To reduce malfunctions in writing/erasing operations due to a variation in a value of a high voltage power source and a stress to a memory cell in a flash EEPROM which is electromechanically written/erased by using a higher voltage power source than a power source voltage. CONSTITUTION:A high voltage power source 1 is used as a power source of a pulse generator 13 in which an output pulse depends on a power source voltage, and an output pulse width is varied in response to a variation in the high voltage power source.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特に高電圧電源を必要とし、電気的に書き込み或いは消
去可能な半導体不揮発性メモリに関するものである。
[Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor memory device.
In particular, the present invention relates to semiconductor nonvolatile memories that require a high voltage power source and can be electrically written or erased.

【0002】0002

【従来の技術】近年、フローティングゲートを有する半
導体不揮発性メモリとして、フラッシュEEPROM(
Electrically Erasable and
 Programmable Read Only M
emory)が各社から製品化されてきている。そのメ
モリ構造は紫外線消去型のEPROM(Erasabl
e and Electrically Progra
mmable Read Only Memory)と
類似しており、さらに電気的に一括消去ができるため、
EEPROMに比べてビットコストの安い電気的に書込
み/消去可能なフローティング揮発性メモリとして注目
を集めている。
[Prior Art] In recent years, flash EEPROM (
Electrically Erasable and
Programmable Read Only M
emory) are being commercialized by various companies. Its memory structure is an ultraviolet erasable EPROM (Erasable).
e and Electrically Progra
It is similar to mmable Read Only Memory), and can be erased electrically at once, so
It is attracting attention as an electrically writable/erasable floating volatile memory that has a lower bit cost than EEPROM.

【0003】従来のフラッシュEEPROMの書き込み
時の回路構成の一例を図2(a) に示す。図において
、10はそのゲートがXデコーダ7に接続されたフロー
ティングゲート型のメモリトランジスタであり、11は
ゲートがYデコーダ6に接続されたYゲートトランジス
タ、12はゲートが書込み回路5に接続された書込みト
ランジスタを示している。
An example of the circuit configuration of a conventional flash EEPROM during writing is shown in FIG. 2(a). In the figure, 10 is a floating gate type memory transistor whose gate is connected to the X decoder 7, 11 is a Y gate transistor whose gate is connected to the Y decoder 6, and 12 is a gate connected to the write circuit 5. A write transistor is shown.

【0004】また、1は通常VCCと呼ばれる5V電源
であり、2は通常VPPと呼ばれる高電圧電源であり1
2V程度を必要とする。そして3は上記VCC/VPP
を切換えて出力するVCC/VPP切換回路8の出力で
あり、上記書込み回路5,Xデコーダ7,Yデコーダ6
の電源となるものであり、書き込み/消去時にはVPP
レベルに、読み出し時にはVCCレベルになる。4はパ
ルス発生器13の出力であり、パルス発生器13はその
電源としてVCC電源1が用いられ、また絶縁ゲート型
トランジスタを用いて構成されている。そしてこのパル
ス発生器13から出力されるパルスのパルス幅は、電源
電圧依存性を持っており、電源電圧VCCが高いと短く
、反対に電源電圧が低いと長くなる特徴を持っている。
[0004] Also, 1 is a 5V power supply usually called VCC, and 2 is a high voltage power supply usually called VPP.
Requires about 2V. And 3 is the above VCC/VPP
This is the output of the VCC/VPP switching circuit 8 which switches and outputs the VCC/VPP switching circuit 8.
This is the power supply for the VPP during writing/erasing.
level, and becomes VCC level when reading. 4 is the output of the pulse generator 13. The pulse generator 13 uses the VCC power supply 1 as its power supply, and is constructed using an insulated gate transistor. The pulse width of the pulse output from the pulse generator 13 is dependent on the power supply voltage, and has a characteristic that it becomes shorter when the power supply voltage VCC is high, and becomes longer when the power supply voltage is low.

【0005】図2(b) に書き込み時を例としてその
時のタイミングチャートを示す。但しここでは、Yデコ
ーダ6,書込み回路5の出力は省略している。まずメモ
リ10に書き込みを行なう場合、書込み回路5,Xデコ
ーダ7,Yデコーダ6に高電圧電源VPPを加える必要
があるが、そのパルス幅はパルス発生器13がVCC1
を電源とするよう構成されているため、VPPが変化し
ても(例えば、図中のVPPとVPP′)パルス幅は変
化しないという特徴をもっていた。
FIG. 2(b) shows a timing chart for writing as an example. However, the outputs of the Y decoder 6 and write circuit 5 are omitted here. First, when writing to the memory 10, it is necessary to apply a high voltage power supply VPP to the write circuit 5, X decoder 7, and Y decoder 6.
Since it is configured to use the power source as the power source, it has the characteristic that even if VPP changes (for example, VPP and VPP' in the figure), the pulse width does not change.

【0006】一方、書き込み時のメモリ10自体の特性
をみると、高電圧電源VPPに依存性があり図3のよう
になる。図において、横軸はパルス幅(t)であり、縦
軸はメモリトランジスタ10のしきい値(VTH)を示
している。書き込みを行うとしきい値VTHが変化し大
きくなるが、その変化速度は高電圧電源VPPに依存性
があり、高電圧電源VPPが大きいほど速くなる。そし
てVP を書込みが完了したとみなす書込み判定レベル
とすると、高電圧電源がVPPのときtP のパルス幅
を、またVPP′のときtP ′のパルス幅を必要とす
る。ここで、VPP>VPP′であり、その時パルス幅
の関係はtP <tP ′となる。
On the other hand, when looking at the characteristics of the memory 10 itself during writing, there is a dependence on the high voltage power supply VPP, as shown in FIG. In the figure, the horizontal axis represents the pulse width (t), and the vertical axis represents the threshold value (VTH) of the memory transistor 10. When writing is performed, the threshold value VTH changes and becomes larger, but the rate of change is dependent on the high voltage power supply VPP, and becomes faster as the high voltage power supply VPP is larger. If VP is the write determination level at which writing is considered complete, a pulse width of tP is required when the high voltage power supply is VPP, and a pulse width of tP' is required when the high voltage power supply is VPP'. Here, VPP>VPP', and then the relationship between the pulse widths is tP<tP'.

【0007】また消去時には、図4に示されるように、
消去を行うと、まずメモリトランジスタ10のしきい値
VTHが変化し小さくなるが、その変化速度は高電圧電
源VPPが大きいほど速くなる。そして、VE を消去
が完了したとみなす消去判定レベルとすると、高電圧電
源VPPのときtE のパルス幅を、またVPP′のと
きtE ′のパルス幅を必要とする。ここでVPP>V
PP′であり、その時のパルス幅の関係はtE <tE
 ′となる。
Furthermore, when erasing, as shown in FIG.
When erasing is performed, the threshold value VTH of the memory transistor 10 first changes and becomes smaller, but the rate of change becomes faster as the high voltage power supply VPP increases. If VE is the erase determination level at which erasing is considered complete, then a pulse width of tE is required when the high voltage power source is VPP, and a pulse width of tE' is required when the high voltage power source is VPP'. Here VPP>V
PP', and the pulse width relationship at that time is tE < tE
'.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体記憶装置
は以上のように構成されており、高電圧電源VPPに対
して依存性を有するメモリ側の書込み(消去)特性に対
して、パルス発生器から出力されるパルス幅は高電圧電
源VPPが変化しても一定となるため、高電圧電源VP
Pが低くなると書込み(消去)不良を生じやすく、逆に
高電圧電源VPPが高くなるとオーバーストレスによる
メモリ素子の劣化が速くなるという欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] The conventional semiconductor memory device is constructed as described above, and the pulse generator The pulse width output from the high voltage power supply VP remains constant even if the high voltage power supply VPP changes.
When P becomes low, write (erase) failures tend to occur, and conversely, when high voltage power supply VPP becomes high, memory elements deteriorate more quickly due to overstress.

【0009】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、高電圧電源VPPの変動に係わ
らず安定した書込み(消去)を行なうことができる半導
体記憶装置を得ることを目的とする。
The present invention was made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a semiconductor memory device that can perform stable writing (erasing) regardless of fluctuations in the high voltage power supply VPP. shall be.

【0010】0010

【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体記
憶装置は、パルス発生器の電源として高電圧電源を用い
、高電圧電源VPPが高い時に自動的にパルス幅を短く
し、低い時自動的にパルス幅を長くするようにしたもの
である。
[Means for Solving the Problems] A semiconductor memory device according to the present invention uses a high voltage power source as a power source for a pulse generator, automatically shortens the pulse width when the high voltage power source VPP is high, and automatically shortens the pulse width when the high voltage power source VPP is low. The pulse width is made longer.

【0011】[0011]

【作用】この発明においては、パルス発生器の電源とし
て高電圧電源を用いたから、その電圧依存性により電圧
が高い時にはその出力パルス幅は短く、また低い時には
長くなり、高電圧電源VPPの変動に対して安定した書
込み(消去)ができる。
[Operation] In this invention, since a high voltage power source is used as the power source of the pulse generator, the output pulse width is short when the voltage is high and becomes long when the voltage is low due to its voltage dependence. Stable writing (erasing) can be performed on the data.

【0012】0012

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1(a) において、図2(a) と同一符号
は同一または相当部分を示し、図2(a) と異なる点
は、パルス発生器13の電源として高電圧電源VPP2
を用いたことである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1(a), the same symbols as in FIG. 2(a) indicate the same or corresponding parts, and the difference from FIG. 2(a) is that the high voltage power supply VPP2 is used as the power source for the pulse generator 13.
This is because we used

【0013】次に動作について説明する。図1(b) 
は書き込み時のタイミングチャートを示し、この図から
わかるように、パルス発生器13の電圧依存性により印
加される高電圧電源VPPが低くなり、VPP′となる
とパルス発生器のパルス幅は長く(tvPP)なり、そ
れに伴って自動的に後段に接続される書込み回路5,X
デコーダ7,Yデコーダ6の高電圧印加時間が長くなる
。そして逆に高電圧電源VPPが高くなると、自動的に
パルス幅は短く(tvPP′)なる。
Next, the operation will be explained. Figure 1(b)
shows a timing chart during writing, and as can be seen from this figure, the high voltage power supply VPP applied becomes lower due to the voltage dependence of the pulse generator 13, and when it reaches VPP', the pulse width of the pulse generator becomes longer (tvPP). ), and accordingly, the write circuit 5,X is automatically connected to the subsequent stage.
The high voltage application time of the decoder 7 and Y decoder 6 becomes longer. Conversely, when the high voltage power supply VPP increases, the pulse width automatically becomes shorter (tvPP').

【0014】従って、高電圧電源VPPが低くなった場
合には自動的にパルス幅が長くなり、またVPPが高く
なった場合にはパルス幅が短くなり、電源電圧の変動に
よるメモリセルへのストレスが低減される。
Therefore, when the high voltage power supply VPP becomes low, the pulse width is automatically lengthened, and when VPP becomes high, the pulse width is automatically shortened, reducing the stress on the memory cells due to fluctuations in the power supply voltage. is reduced.

【0015】なお、上記実施例では書込み時の動作につ
いて説明したが、消去時についても同様の効果がある。 すなわち、パルス発生器13の電源として高電圧電源V
PPを用いることにより、高電圧電源VPPを高くする
とパルス幅が自動的に短くなり、逆にVPPを低くする
と自動的にパルス幅が長くなるため安定した消去が可能
になる。
In the above embodiment, the operation at the time of writing has been explained, but the same effect can be obtained at the time of erasing. That is, the high voltage power supply V is used as the power supply for the pulse generator 13.
By using PP, when the high voltage power supply VPP is increased, the pulse width is automatically shortened, and when VPP is decreased, the pulse width is automatically lengthened, so that stable erasing is possible.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上のように、この発明に係る半導体記
憶装置によれば、パルス発生回路の電源として高電圧電
源VPPを用いることにより、特に回路を追加すること
なしに簡単な構成で高電圧電源VPPが変動した場合で
も安定した書き込/消去を行なうことができ、またメモ
リセルのオーバーストレスによる劣化を低減することが
できるという効果がある。
As described above, according to the semiconductor memory device of the present invention, by using the high voltage power supply VPP as the power source of the pulse generation circuit, high voltage can be obtained with a simple configuration without adding any particular circuit. Even when the power supply VPP fluctuates, stable writing/erasing can be performed, and deterioration of memory cells due to overstress can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の一実施例による半導体記憶装置の回路
構成図および動作タイミングを示すチャート図である。
FIG. 1 is a circuit configuration diagram and a chart showing operation timing of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来の半導体記憶装置の回路構成図および動作
タイミングを示すチャート図である。
FIG. 2 is a chart showing a circuit configuration diagram and operation timing of a conventional semiconductor memory device.

【図3】従来および本発明による半導体記憶装置の高電
圧電源VPPをパラメータとした書込み時の特性を説明
するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining write characteristics of semiconductor memory devices according to the prior art and the present invention, using a high voltage power supply VPP as a parameter.

【図4】従来および本発明による半導体記憶装置の高電
圧電源VPPをパラメータとした消去時の特性を説明す
るための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining erase characteristics of semiconductor memory devices according to the prior art and the present invention using a high voltage power supply VPP as a parameter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    電源電圧VCC 2    高電源電圧VPP 3    VCC/VPP切換回路出力4    パル
ス発生器出力 5    書込み回路 6    Yデコーダ 7    Xデコーダ 8    VCC/VPP切換回路 9    センスアンプ 10  フローティングゲート型のメモリトランジスタ
11  Yゲートトランジスタ 12  書込みトランジスタ 13  パルス発生器
1 Power supply voltage VCC 2 High power supply voltage VPP 3 VCC/VPP switching circuit output 4 Pulse generator output 5 Write circuit 6 Y decoder 7 X decoder 8 VCC/VPP switching circuit 9 Sense amplifier 10 Floating gate type memory transistor 11 Y gate transistor 12 Write transistor 13 Pulse generator

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  メモリの書き込みあるいは消去のため
に高電圧電源を必要とし、書き込みあるいは消去のため
のパルスを発生するパルス発生回路を備えた不揮発性の
半導体記憶装置において、上記パルス発生回路の電源と
して上記高電圧電源を用いたことを特徴とする半導体記
憶装置。
1. A nonvolatile semiconductor memory device that requires a high voltage power supply for writing or erasing memory and is equipped with a pulse generation circuit that generates pulses for writing or erasing, wherein the power supply for the pulse generation circuit is A semiconductor memory device characterized in that the above-mentioned high voltage power supply is used as a semiconductor memory device.
【請求項2】  上記メモリは、フローティングゲート
を有する絶縁ゲート型トランジスタで構成されているこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the memory is composed of an insulated gate transistor having a floating gate.
JP3068979A 1991-03-06 1991-03-06 Semiconductor memory Pending JPH04278298A (en)

Priority Applications (1)

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JP3068979A JPH04278298A (en) 1991-03-06 1991-03-06 Semiconductor memory

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JP3068979A JPH04278298A (en) 1991-03-06 1991-03-06 Semiconductor memory

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09147585A (en) * 1995-11-24 1997-06-06 Nec Corp Non-volatile semiconductor storage device
US5736891A (en) * 1996-01-11 1998-04-07 International Business Machines Corporation Discharge circuit in a semiconductor memory

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