JPH0425074B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0425074B2 JPH0425074B2 JP61181599A JP18159986A JPH0425074B2 JP H0425074 B2 JPH0425074 B2 JP H0425074B2 JP 61181599 A JP61181599 A JP 61181599A JP 18159986 A JP18159986 A JP 18159986A JP H0425074 B2 JPH0425074 B2 JP H0425074B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- piston
- discharge
- ball screw
- screw shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 235000011837 pasties Nutrition 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F11/00—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it
- G01F11/02—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it with measuring chambers which expand or contract during measurement
- G01F11/021—Apparatus requiring external operation adapted at each repeated and identical operation to measure and separate a predetermined volume of fluid or fluent solid material from a supply or container, without regard to weight, and to deliver it with measuring chambers which expand or contract during measurement of the piston type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ペースト状粘性流体吐出装置、特に
微量の粘性流体を吐出するペースト吐出ノズルを
有するこの種の液体微量吐出装置に関するもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a paste-like viscous fluid discharging device, and particularly to this type of liquid micro-volume discharging device having a paste discharging nozzle for discharging a minute amount of viscous fluid.
［従来技術］
例えば接着剤や各特殊用途ペースト剤等のこの
種の粘性流体は、広範囲の産業分野に使用されて
おり、その吐出装置も、従来、種々の形式のもの
利用されている。[Prior Art] Viscous fluids of this type, such as adhesives and pastes for special purposes, are used in a wide range of industrial fields, and various types of dispensing devices have been used in the past.
一例として、半導体産業において、アルミナ基
板等の耐熱性セラミツク基板上に、厚膜回路パタ
ーンを形成する場合には、高温焼成用導体ペース
トをスクリーン印刷し、これを高温で焼成するこ
とにより導体回路とし、各導体路間にグレース抵
抗ペーストをスクリーン印刷し、同様に、これを
高温焼成して低抗体を形成するという方法が採用
されている。 As an example, in the semiconductor industry, when forming a thick film circuit pattern on a heat-resistant ceramic substrate such as an alumina substrate, a conductive paste for high temperature firing is screen printed and the paste is fired at a high temperature to form a conductive circuit. , a method has been adopted in which a Grace resistance paste is screen printed between each conductor track and similarly baked at a high temperature to form a low resistance.
しかしながら、以上のような方法は、同一パタ
ーンの導体回路を、大量に生産するのには適して
いるが、回路パターンが変るたびにスクリーン版
を制作する必要がある。さらに、パターンの変更
が、基板サイズの変更を伴うことも多く、電子回
路の多種少量生産に迅速に対応することができな
いとか、試作検討、あるいは、納期遅れ等の問題
を包蔵していた。 However, although the above method is suitable for mass production of conductor circuits with the same pattern, it is necessary to produce a screen version each time the circuit pattern changes. Furthermore, changing the pattern often involves changing the board size, which poses problems such as the inability to quickly respond to low-volume production of a wide variety of electronic circuits, prototyping, and delivery delays.
そこで、描画ヘツドを、プログラミングされた
コンピユータ制御により、所定の回路パターンを
回路の設計情報に基づいて、直接的に自由に描画
し得るようにした装置が使用されるようになり、
多種少量生産や試作検討あるいは納期の大幅短縮
等に貢献している。 Therefore, devices have come into use in which the drawing head can be directly and freely drawn on a predetermined circuit pattern based on circuit design information under programmed computer control.
It contributes to high-mix, low-volume production, prototyping, and significantly shortened delivery times.
第４図に、従来のこの種の装置の一実施例の要
部縦断面図を示す。１は、描画ヘツドとして垂直
上／下方向（Ｚ方向）に移動可能にノズルホルダ
６に搭載されたペースト吐出ノズル、１０はプロ
グラム制御によるＸ−Ｙ駆動装置のテーブルＴ上
に載置された前記基板（ワーク）である。ノズル
１の円筒状の本体は、頂部を、カバー３により閉
鎖され、内部には、例えば回路要素形成粉体と樹
脂成分ならびに溶剤等とより成るペースト状粘成
流体９が充填され、上部にはノズル１の円筒状本
体の内壁とＯリングによりシールされているフロ
ート２が配設されている。フロート２の上部室１
１には、カバー３上の継手４を介してフレキシブ
ルホース５により外部源Ａから圧縮空気が導入さ
れ、フロート２を押すことにより、流体（ペース
ト）９を、ノズル１の先端のオリフイスから基板
１０上へ吐出させるよう構成されている。この種
の描画すべきパターンの線幅は、少くとも0.5mm
以下、0.2〜0.3mm程度が望ましいため、吐出量は
極めて微量である。また、ノズル１のＺ方向上下
運動は、ノズルホルダ６部のボールねじ軸７を回
転駆動してボールナツト８の直線運動に転換する
ことによつて行われる。 FIG. 4 shows a longitudinal cross-sectional view of a main part of an embodiment of a conventional device of this type. 1 is a paste discharging nozzle mounted on a nozzle holder 6 as a drawing head so as to be movable vertically up/down (Z direction); 10 is the paste discharging nozzle mounted on a table T of an X-Y drive device under program control; It is a substrate (work). The top of the cylindrical body of the nozzle 1 is closed by a cover 3, and the inside is filled with a paste-like viscous fluid 9 made of, for example, circuit element forming powder, a resin component, a solvent, etc. A float 2 is provided which is sealed with the inner wall of the cylindrical body of the nozzle 1 by an O-ring. Upper chamber 1 of float 2
1, compressed air is introduced from an external source A through a flexible hose 5 through a joint 4 on a cover 3, and by pushing a float 2, a fluid (paste) 9 is transferred from an orifice at the tip of the nozzle 1 to a substrate 10. It is configured to discharge upward. The line width of this kind of pattern to be drawn should be at least 0.5mm
Hereinafter, the discharge amount is extremely small since it is preferably about 0.2 to 0.3 mm. Further, the vertical movement of the nozzle 1 in the Z direction is performed by rotating the ball screw shaft 7 of the nozzle holder 6 and converting it into linear movement of the ball nut 8.
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、以上のような従来例にあつて
は、吐出すべき流体は温度に対して指数関数的に
粘度が変化するため、図例のようなエヤーによる
方式の場合、同一の空気送給量においても、周囲
温度やノズルの径や長さ、もしくはオリフイス形
状等によつて吐出量が大きく影響を受けるため、
微少量の安定吐出を行うためにはエヤーの圧力／
流量制御が極めて微妙となり制御が困難である。
また、吐出量を変化させたいとき、エヤーの信号
と吐出量とは一時遅れ系（エヤー信号に対して吐
出量が時間的に遅れて立上がること）となるため
時間制御が困難であるという問題点があつた。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional example described above, the viscosity of the fluid to be discharged changes exponentially with temperature, so the method using air as shown in the example is In this case, even if the air supply rate is the same, the discharge rate is greatly affected by the ambient temperature, nozzle diameter and length, or orifice shape, etc.
Air pressure/
Flow rate control is extremely delicate and difficult to control.
Another problem is that when you want to change the discharge amount, the air signal and the discharge amount are in a temporary lag system (the discharge amount rises with a time delay with respect to the air signal), making it difficult to control the time. The point was hot.
本発明は、以上のような従来例の問題点にかん
がみてなされたもので、エヤー方式による不安定
要素を取除くため、ピストン（あるいはプランジ
ヤ）ストロークによる容積制御方式によつて、吐
出ピストン（プランジヤ）をペースト状粘性流体
方向に微少移動させれば周囲温度と無関係にスト
ローク量に比例する実質的に遅れのない安定吐出
が可能である。 The present invention has been made in view of the problems of the conventional examples as described above, and in order to eliminate the unstable elements caused by the air system, the discharge piston (or plunger) is controlled by a volume control system using the piston (or plunger) stroke. ) is slightly moved in the direction of the pasty viscous fluid, stable discharge is possible with virtually no delay in proportion to the stroke amount, regardless of the ambient temperature.
更に、ノズルホルダ６上に吐出ピストン駆動機
構（モータ、ピストン連結部材等）を搭載して、
ノズル１を保持するノズルホルダ６をノズル上下
駆動機構（モータ、ボールねじ軸７、ボールナツ
ト８等）により垂直上下運動させると、ノズル上
下駆動機構が吐出ピストン駆動機構ごと垂直に上
下させるから、ノズル上下駆動機構の負荷が増大
し、慣性抵抗が大となり、生産性向上に必要な高
速の上下駆動が困難となる。従つて、本発明にお
いては、ノズル上下動時にも実質的に余分の負荷
増加を招来することのないような手段を備えた液
体微量吐出装置の提供を目的としている。 Furthermore, a discharge piston drive mechanism (motor, piston connecting member, etc.) is mounted on the nozzle holder 6,
When the nozzle holder 6 that holds the nozzle 1 is vertically moved up and down by a nozzle up and down drive mechanism (motor, ball screw shaft 7, ball nut 8, etc.), the nozzle up and down drive mechanism moves the discharge piston drive mechanism vertically up and down, so the nozzle moves up and down. The load on the drive mechanism increases, the inertial resistance becomes large, and the high-speed vertical drive required to improve productivity becomes difficult. Therefore, it is an object of the present invention to provide a small amount of liquid ejection device that is equipped with a means that does not substantially increase the load even when the nozzle moves up and down.
［問題点を解決するための手段］
テーブル上に載置された被描画体にペーストを
吐出させるノズルと、該ノズルに内蔵するペース
トを押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持する
ノズル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動す
るようにノズル保持部材に連結しフレームに支持
された移動手段と、フレームに固定され前記移動
手段を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズ
ル保持部材またはフレームに回転可能に支持され
吐出ピストンに連結したボールねじ軸を有しその
回転により吐出ピストンを上下動させてノズルか
らペーストを吐出させる吐出手段と、フレームに
固定され前記ボールねじ軸を回転するためのピス
トン駆動手段と、ノズル上下動手段によるノズル
保持部材の上下動に上記吐出手段が追従するよう
に上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを
設けたことにより、前記目的を達成するものであ
る。[Means for solving the problem] A nozzle that discharges paste onto an object to be drawn placed on a table, a discharge piston that presses the paste built into the nozzle, and a nozzle holding member that holds the nozzle. a moving means connected to a nozzle holding member and supported by a frame so as to vertically move the nozzle; a nozzle vertical driving means fixed to the frame and driving the moving means; and a nozzle vertical driving means rotatable by the nozzle holding member or the frame. a discharge means having a ball screw shaft supported by the frame and connected to the discharge piston, the rotation of which causes the discharge piston to move up and down to discharge the paste from the nozzle; and a piston drive means fixed to the frame for rotating the ball screw shaft. The above object is achieved by providing an absorbing means for allowing the vertical movement of the discharge means so that the discharge means follows the vertical movement of the nozzle holding member by the nozzle vertical movement means.
［作用］
ノズル保持部材をノズル上下駆動モータにより
上下動させたときに、吸収手段により吐出手段も
上下するようにしたので、フレームに固定したピ
ストン駆動手段により吐出を制御でき、ノズル上
下駆動手段によるノズルの上下動を高速にでき
る。[Function] When the nozzle holding member is moved up and down by the nozzle up and down drive motor, the discharge means is also moved up and down by the absorption means, so the discharge can be controlled by the piston drive means fixed to the frame, and the nozzle up and down drive means can control the discharge. The nozzle can move up and down at high speed.
［実施例］
以下に、本発明を実施例に基づいて説明する。
第１図ａは、本発明に係る液体微量吐出装置のピ
ストン１５およびノズル（本体）１の全体組立体
の鉛直上下方向（ＢおよびＺ方向）駆動機構を示
す要部側面図である。前出従来例第４図における
と同一（または相当）構成要素は同一符号で表わ
す。[Examples] The present invention will be described below based on Examples.
FIG. 1a is a side view of essential parts showing a vertical up-down direction (B and Z direction) drive mechanism of the entire assembly of the piston 15 and nozzle (main body) 1 of the liquid minute discharge device according to the present invention. Components that are the same (or equivalent) as in FIG. 4 of the prior art example described above are indicated by the same reference numerals.
（構成）
本実施例においては、吐出ピストン（プランジ
ヤ）１５の駆動モータM2および減速機Ｒ（特に、
極く少量の吐出を必要とする場合には減速機等を
必要とする）とをノズルホルダ６部材上に代え
て、装置本体フレーム２０上に載置し、その出力
軸Ｓを、たわみ継手Ｃを介して、スプライン軸２
８をフレーム２０上に軸支し、一方、ノズルホル
ダ６上に軸支したピストン駆動用のボールねじ軸
２３の先端部を、前記スプライン軸２８と摺動的
に係合するめすスプライン穴を有する部材２７を
キーで固設した円筒部材２６の下端に固定する。
従つて両部材２８，２７により、円筒部材２６は
回転運動をボールねじ軸２３に伝達し、ボールね
じ軸２３の鉛直方向の上下動は円筒部材２６を介
してめすスプライン２７がスプライン軸２８に沿
つて摺動するように吸収手段を構成してある。(Structure) In this embodiment, the drive motor M2 of the discharge piston (plunger) 15 and the reducer R (in particular,
(If a very small amount of discharge is required, a reducer etc. is required) is placed on the device body frame 20 instead of on the nozzle holder 6 member, and the output shaft S is connected to the flexible joint C. through spline shaft 2
8 is pivotally supported on the frame 20, and has a female spline hole through which the tip of a ball screw shaft 23 for driving a piston, which is pivotally supported on the nozzle holder 6, is slidably engaged with the spline shaft 28. The member 27 is fixed to the lower end of the cylindrical member 26 with a key.
Therefore, the cylindrical member 26 transmits rotational motion to the ball screw shaft 23 by the two members 28 and 27, and the vertical movement of the ball screw shaft 23 is transmitted by the female spline 27 along the spline shaft 28 via the cylindrical member 26. The absorbing means is configured to slide along the absorbing means.
また、１６はノズル（本体）１をノズルホルダ
６に固定するためのレバーである。ノズルホルダ
６は、装置本体フレーム２０上の鉛直移動ガイド
１９と、フレーム２０に鉛直に回転可能に立設さ
れたボールねじ軸１７と、このボールねじ軸１７
と係合するノズルホルダ６上のボールナツト１８
とを介してフレーム２０に支持され、ボールねじ
軸１７の上部軸受の頂部は、たわみ継手を介して
フレーム２０上に載置したノズル上下動モータ
M1に結合されている。 Further, 16 is a lever for fixing the nozzle (main body) 1 to the nozzle holder 6. The nozzle holder 6 includes a vertical movement guide 19 on the device body frame 20, a ball screw shaft 17 vertically rotatably installed on the frame 20, and this ball screw shaft 17.
a ball nut 18 on the nozzle holder 6 that engages with the
The top of the upper bearing of the ball screw shaft 17 is connected to the nozzle vertical movement motor mounted on the frame 20 via a flexible joint.
Combined with M 1 .
一方、吐出ピストン１５は、たわみ継手２１を
介して、ピストン駆動部材２２に連結される。ピ
ストン駆動部材２２は、ノズルホルダ６上の鉛直
リニアガイド２５およびピストン駆動部材２２に
配設した相手ボールナツト２４とを介してボール
ねじ軸２３に支持される。尚、第１図ｂは、この
種の方式のノズル部要部縦断面図を示す。１はノ
ズル（本体）、１ａはノズルの円筒状バレル部、
１ｂはノズル取付け金具、３ａは頂部カバー、１
５は吐出ピストン（プランジヤ）、９は流体（ペ
ースト）、１５ａおよび９ａはシール用Ｏリング
である。また、９ｂはノズルの円筒状バレル部内
壁と吐出ピストン１５とにより形成される流体バ
イパスである。尚、ノズル上下モータM1、出力
軸、たわみ継手等でノズル上下駆動手段を、ピス
トン駆動モータM2、減速機Ｒ、出力軸Ｓ、たわ
み継手Ｃ等でピストン駆動手段を、ボールねじ軸
１７、ボールナツト１８、鉛直移動ガイド１９等
で移動手段をそれぞれ形成する。 On the other hand, the discharge piston 15 is connected to a piston drive member 22 via a flexible joint 21. The piston drive member 22 is supported by the ball screw shaft 23 via a vertical linear guide 25 on the nozzle holder 6 and a mating ball nut 24 provided on the piston drive member 22 . Incidentally, FIG. 1b shows a vertical sectional view of the main part of the nozzle part of this type of system. 1 is the nozzle (main body), 1a is the cylindrical barrel part of the nozzle,
1b is the nozzle mounting bracket, 3a is the top cover, 1
5 is a discharge piston (plunger), 9 is a fluid (paste), and 15a and 9a are O-rings for sealing. Further, 9b is a fluid bypass formed by the inner wall of the cylindrical barrel portion of the nozzle and the discharge piston 15. The nozzle vertical drive means is composed of the nozzle vertical motor M 1 , output shaft, flexible joint, etc., the piston drive means is composed of the piston drive motor M 2 , reducer R, output shaft S, flexible joint C, etc., and the ball screw shaft 17, The ball nut 18, the vertical movement guide 19, etc. form moving means.
（動作）
以上のような構成からなるこの実施例の動作を
説明する。(Operation) The operation of this embodiment having the above configuration will be explained.
Ｘ−Ｙ駆動装置のテーブルＴ上に載置した基板
１０の描画すべき表面は一般に凹凸（うねり）が
あるため、ノズル１はこの凹凸に追従しながら鉛
直に上下運動する必要がある。従つて、ノズル上
下駆動モータM1が正方向および逆方向に回転す
ると、ボールねじ軸１７／ボールナツト１８を介
してノズルホルダ６が矢符Ｚに示される鉛直上下
方向（鉛直方向）に上下動するとともにノズル１
（ボールねじ軸２３）も鉛直上下動するから、ボ
ールねじ軸２３は円筒部材２６を介して吸収手段
としてのめすスプライン２７がスプライン軸２８
に沿つて摺動する。そして、ピストン摺動モータ
M2が逆方向に回転すると、ピストン駆動モータ
M2の回転は、スプライン部２８／２７を介して、
ボールねじ軸２３／ナツト２４、ピストン駆動部
材２２により吐出ピストン１５を駆動でき、かく
してノズル１からペースト９の微量を吐出させ
る。従つて、ボールねじ軸２３の軸方向位置は、
ノズル１に対して常に一定の相対位置を保ち、ノ
ズル上下駆動モータM1、ボールねじ軸１７、ボ
ールナツト１８によりノズルホルダ６を鉛直運動
させ、このときスプライン部２７，２８はノズル
ホルダ６と共に上下動するボールねじ軸２３、ピ
ストン駆動部材２２のその上下動を許容するよう
に、即ちピストン駆動モータM2に影響させない
ように吸収する。従つて、前記発明の目的が達成
される。 Since the surface of the substrate 10 placed on the table T of the X-Y drive device to be drawn generally has irregularities (undulations), the nozzle 1 needs to move up and down vertically while following the irregularities. Therefore, when the nozzle vertical drive motor M1 rotates in the forward and reverse directions, the nozzle holder 6 moves up and down in the vertical up-down direction (vertical direction) shown by the arrow Z via the ball screw shaft 17/ball nut 18. with nozzle 1
(Ball screw shaft 23) also moves up and down vertically, so the female spline 27 as an absorption means is connected to the spline shaft 28 through the cylindrical member 26.
slide along. And piston sliding motor
When M2 rotates in the opposite direction, the piston drive motor
The rotation of M2 is carried out through the spline parts 28/27.
The discharge piston 15 can be driven by the ball screw shaft 23/nut 24 and the piston drive member 22, and thus a small amount of the paste 9 can be discharged from the nozzle 1. Therefore, the axial position of the ball screw shaft 23 is
While always maintaining a constant relative position to the nozzle 1, the nozzle holder 6 is moved vertically by the nozzle vertical drive motor M1 , the ball screw shaft 17, and the ball nut 18. At this time, the spline parts 27 and 28 are moved vertically together with the nozzle holder 6. The vertical movement of the ball screw shaft 23 and the piston drive member 22 is absorbed so as not to affect the piston drive motor M2 . Therefore, the object of the invention is achieved.
（第２実施例）
第２図に、他の実施例の第１図ａ相当図を示
す。この実施例は、第１図ａにおけるピストン駆
動部材２２と、リニヤガイド２５との構成に代え
て、ボールねじ軸２３ａ、直接、ノズルホルダ６
に固定された上／下のボールねじ軸ガイド２５
ａ／２５ｂによつてリニヤガイド機能を持たせた
ものであり、第１実施例（第１図ａ）と同様の動
作／効果を有する。(Second Embodiment) FIG. 2 shows a diagram corresponding to FIG. 1a of another embodiment. In this embodiment, instead of the configuration of the piston drive member 22 and the linear guide 25 in FIG.
Upper/lower ball screw shaft guide 25 fixed to
A/25b provides a linear guide function, and has the same operation/effect as the first embodiment (FIG. 1a).
（さらに他の実施例）
前記、第１／第２実施例（第１図ａ／第２図）
においては、ピストン駆動モータM2軸と、ボー
ルねじ軸２３／２３a′との回転運動を伝達し、吸
収手段としてスプライン機構を用いたが、この目
的を達する機構は、スプライン機構のみに限定さ
れることがなく、例えば、フエザーキー等を用い
るものであつてもよいことはもちろんであり、ま
た、図示は省略するが、一方の歯幅を広くした一
対のすぐ歯歯車の噛み合わせ機構、もしくは遊星
歯車機構等を使用すれば、上記機能を達成し得る
と同時に、ピストン駆動モータM2の減速装置Ｒ
を兼ねさせることも可能である。(Further other embodiments) The above-mentioned first/second embodiments (Fig. 1a/Fig. 2)
In , a spline mechanism was used as a means for transmitting and absorbing the rotational motion between the two shafts of the piston drive motor M and the ball screw shafts 23/23a', but the mechanism that achieves this purpose is limited to the spline mechanism. For example, it is possible to use a mechanism such as a feather key, etc.Also, although not shown, a meshing mechanism of a pair of straight gears with one tooth width widened, or a planetary gear By using a mechanism, etc., the above function can be achieved, and at the same time, the reduction gear R of the piston drive motor M2 can be
It is also possible to have it also serve as.
さらにまた、これらの吸収手段としては、上記
のような機械的手段に代つて、例えば第３図に示
すように、前記第１例（第１図ａ）におけるスプ
ライン機構２６，２７，２８を省略して、ピスト
ン駆動モータM2の出力軸Ｓを、たわみ継手Ｃを
介して、フレームに支持されるボールねじ軸２３
と直結し、ノズル上下駆動用モータM1とピスト
ン駆動モータM2とを電気回路的に制御して、ノ
ズル上下駆動手段によりノズル１を鉛直方向に上
下動させるとき、同期してノズル１を有するノズ
ル本体に内蔵するペーストを押圧する吐出ピスト
ン１５に一端を連結し他端をボールねじ軸２３に
連結するピストン駆動部材２２を鉛直方向に上下
動させるようにピストン駆動手段を作用させても
同様の効果が得られる。この方法により、機械式
による吸収手段を簡素化することができる。 Furthermore, as these absorption means, instead of the above-mentioned mechanical means, for example, as shown in FIG. 3, the spline mechanisms 26, 27, and 28 in the first example (FIG. 1 a) are omitted The output shaft S of the piston drive motor M2 is connected to a ball screw shaft 23 supported by the frame via a flexible joint C.
When the nozzle vertical drive means moves the nozzle 1 up and down in the vertical direction by controlling the nozzle vertical drive motor M 1 and the piston drive motor M 2 in an electric circuit, the nozzle 1 is synchronously moved up and down in the vertical direction. The same result can be obtained even if the piston driving means acts to vertically move the piston driving member 22, which has one end connected to the discharge piston 15 that presses the paste built into the nozzle body and the other end connected to the ball screw shaft 23. Effects can be obtained. This method allows the mechanical absorption means to be simplified.
［発明の効果］
以上、説明してきたように、本発明によれば、
テーブル上に載置された被描画体にペーストを吐
出させるノズルと、ノズルに内蔵するペーストを
押圧する吐出ピストンと、ノズルを保持するノズ
ル保持部材と、ノズルを鉛直方向に上下動するよ
うにノズル保持部材に連結しフレームに支持され
た移動手段と、フレームに固定され前記移動手段
を駆動するノズル上下駆動手段と、前記ノズル保
持部材またはフレームに回転可能に支持され吐出
ピストンに連結したボールねじ軸を有しその回転
により吐出ピストンを上下動させてノズルからペ
ーストを吐出させる吐出手段と、フレームに固定
され前記ボールねじ軸を回転するためのピストン
駆動手段と、ノズル上下駆動手段によるノズル保
持部材の上下動に上記吐出手段が追従するように
上記吐出手段の上下動を許容する吸収手段とを設
けたことにより、ノズル上下運動手段の負荷が軽
減され慣性抵抗が小さくなるので、ノズルの上下
駆動を高速化して生産性を向上させることができ
るようになつた。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
A nozzle that discharges paste onto an object placed on a table, a discharge piston that presses the paste built into the nozzle, a nozzle holding member that holds the nozzle, and a nozzle that moves the nozzle up and down in the vertical direction. a moving means connected to a holding member and supported by a frame; a nozzle vertical driving means fixed to the frame and driving the moving means; and a ball screw shaft rotatably supported by the nozzle holding member or frame and connected to a discharge piston. a discharge means which moves a discharge piston up and down by its rotation to discharge paste from a nozzle; a piston drive means which is fixed to a frame and rotates the ball screw shaft; and a nozzle holding member by means of a nozzle up and down drive means. By providing an absorption means that allows the vertical movement of the discharge means so that the discharge means follows the vertical movement, the load on the nozzle vertical movement means is reduced and the inertial resistance is reduced, so that the nozzle can be driven vertically. It has become possible to increase speed and improve productivity.
第１図ａ，ｂは、本発明に係る液体微量吐出装
置の第１実施例の要部側面図とノズル部要部縦断
面図、第２図及び第３図は、それぞれ同第２およ
び他の実施例図、第４図は、従来のノズル部の要
部縦断面図である。
１……ノズル（本体）、６……ノズルホルダ
（ノズル保持部材）、１５……吐出ピストン、１
７，２３，２３ａ……ボールねじ軸、１８，２４
……ボールナツト、｛２７……めすスプライン部
材、２８……スプライン軸｝吸収手段、M1……
ノズル上下駆動モータ、M2……ピストン駆動モ
ータ（吐出モータ）、Ｓ……出力軸。
1a and 1b are a side view of a main part and a vertical cross-sectional view of a main part of a nozzle part of a first embodiment of a liquid discharge device according to the present invention, and FIGS. FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of a main part of a conventional nozzle section. 1... Nozzle (main body), 6... Nozzle holder (nozzle holding member), 15... Discharge piston, 1
7, 23, 23a...Ball screw shaft, 18, 24
... Ball nut, {27 ... female spline member, 28 ... spline shaft} absorption means, M 1 ...
Nozzle vertical drive motor, M2 ...Piston drive motor (discharge motor), S...Output shaft.
Claims (1)
を吐出させるノズル１と、 該ノズルに内蔵するペーストを押圧する吐出ピ
ストン１５と、 ノズルを保持するノズル保持部材６と、ノズル
を鉛直方向に上下動するようにノズル保持部材に
連結しフレーム２０に支持された移動手段１７，
１８，１９と、 フレームに固定され前記移動手段を駆動するノ
ズル上下駆動手段Ｍ１と、 前記ノズル保持部材またはフレームに回転可能
に支持され吐出ピストンに連結したボールねじ軸
を有しその回転により吐出ピストンを上下動させ
てノズルからペーストを吐出させる吐出手段２
２，２３，２３ａと、 フレームに固定され前記ボールねじ軸を回転す
るためのピストン駆動手段Ｍ２と、 ノズル上下駆動手段によるノズル保持部材の上
下動に上記吐出手段が追従するように上記吐出手
段の上下動を許容する吸収手段２６，２７，２
８，Ｍ２、 とを備えたことを特徴とする液体微量吐出装置。 ２ 前記吸収手段は、前記ピストン駆動手段に連
結されたスプライン軸２８と、前記ボールねじ軸
に連結され前記スプライン軸に沿つて鉛直方向に
摺動するめすスプライン２７であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の液体微量吐出
装置。 ３ 前記吸収手段は、前記ノズル上下駆動手段に
同期して駆動制御されるピストン駆動手段である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
液体微量吐出装置。[Claims] 1: a nozzle 1 for discharging paste onto an object to be drawn placed on a table; a discharging piston 15 for pressing paste contained in the nozzle; a nozzle holding member 6 for holding the nozzle; a moving means 17 connected to the nozzle holding member and supported by the frame 20 so as to move the nozzle up and down in the vertical direction;
18, 19, a nozzle vertical drive means M1 fixed to the frame and driving the moving means, a ball screw shaft rotatably supported by the nozzle holding member or the frame and connected to the discharge piston, and its rotation causes the discharge piston to move. Discharge means 2 for discharging paste from a nozzle by vertically moving the
2, 23, 23a, a piston drive means M2 fixed to the frame and for rotating the ball screw shaft, and a piston drive means M2 of the discharge means so that the discharge means follows the vertical movement of the nozzle holding member by the nozzle vertical drive means. Absorption means 26, 27, 2 that allow vertical movement
8, M2, A liquid minute discharge device characterized by comprising: 2. The absorption means is a spline shaft 28 connected to the piston driving means, and a female spline 27 connected to the ball screw shaft and sliding vertically along the spline shaft. The liquid micro-volume ejection device according to item 1. 3. The liquid minute discharge device according to claim 1, wherein the absorption means is a piston drive means whose drive is controlled in synchronization with the nozzle vertical drive means.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18159986A JPS6336870A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Micro-discharge device for liquid |
| US07/076,707 US4848606A (en) | 1986-07-31 | 1987-07-23 | Apparatus for dispensing a predetermined volume of paste-like fluid |
| DE19873725143 DE3725143A1 (en) | 1986-07-31 | 1987-07-29 | Device for delivering a predetermined volume of a pasty fluid |
| FR878710836A FR2602330B1 (en) | 1986-07-31 | 1987-07-30 | APPARATUS FOR DELIVERING A PREDETERMINED VOLUME OF A PASTE-LIKE FLUID |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18159986A JPS6336870A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Micro-discharge device for liquid |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336870A JPS6336870A (en) | 1988-02-17 |
| JPH0425074B2 true JPH0425074B2 (en) | 1992-04-28 |
Family
ID=16103625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18159986A Granted JPS6336870A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Micro-discharge device for liquid |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336870A (en) |
| DE (1) | DE3725143A1 (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2671361B2 (en) * | 1988-03-24 | 1997-10-29 | 松下電器産業株式会社 | Non-contact drawing device |
| JPH02130993A (en) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Juki Corp | Dispenser for use in paste discharge |
| DE9115872U1 (en) * | 1991-12-20 | 1992-03-05 | Kaiser, Heino, 4030 Ratingen, De | |
| DE4220048A1 (en) * | 1992-06-19 | 1993-12-23 | Fft Flexible Fertigungstechnik | Regulatable and controllable application system for viscous media - has nozzle system having nozzle piston and nozzle piece with longitudinal bore for piston and dosing nozzle |
| US20040247775A1 (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-09 | Boulais Dennis R. | Positive displacement coating deposition apparatus and method |
| JP5235430B2 (en) * | 2008-01-30 | 2013-07-10 | 三菱電機株式会社 | Molten metal discharge device |
| JP4927920B2 (en) * | 2009-09-25 | 2012-05-09 | ノードソン株式会社 | Liquid material discharge device |
| CN102794248B (en) * | 2012-08-21 | 2014-09-10 | 深圳市科信通信技术股份有限公司 | Automatic clamping and dispensing system for optical fiber core |
| CN112221844B (en) * | 2020-09-23 | 2022-12-27 | 唐山卫源电子科技有限公司 | Dispensing equipment with high safety |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811063A (en) * | 1981-07-14 | 1983-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | Potting device |
| JPS6121715A (en) * | 1984-07-09 | 1986-01-30 | Hitachi Zosen Corp | Particle flocculator |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH447637A (en) * | 1964-09-18 | 1967-11-30 | Ceskoslovenska Akademie Ved | Device for precise dosing of liquids |
| GB1317708A (en) * | 1969-05-21 | 1973-05-23 | Beckman Instruments Ltd | Apparatus for injecting or withdrawing liquids from containers |
| DD158310A3 (en) * | 1980-10-13 | 1983-01-12 | Ralf Guenther | DEVICE FOR MEASURING SMALL FLUID QUANTITIES |
| IT1174815B (en) * | 1983-09-08 | 1987-07-01 | Mg 2 Spa | MACHINE FOR DOSING A PREFIXED QUANTITY OF POWDER INSIDE A CONTAINER |
| DE3411204C2 (en) * | 1984-03-27 | 1986-06-05 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Dosing device for dispensing a precisely specified amount of liquid |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP18159986A patent/JPS6336870A/en active Granted
-
1987
- 1987-07-29 DE DE19873725143 patent/DE3725143A1/en not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811063A (en) * | 1981-07-14 | 1983-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | Potting device |
| JPS6121715A (en) * | 1984-07-09 | 1986-01-30 | Hitachi Zosen Corp | Particle flocculator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3725143A1 (en) | 1988-02-04 |
| JPS6336870A (en) | 1988-02-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5558504A (en) | Magnetostrictive pump for applying pastes and adhesives | |
| US6957747B2 (en) | Hydraulically and volumetrically dispensing fluid | |
| JPH0425074B2 (en) | ||
| US4848606A (en) | Apparatus for dispensing a predetermined volume of paste-like fluid | |
| US6736900B2 (en) | Highly-viscous-fluid applying apparatus capable of controlling delivery amount of fluid | |
| US4967940A (en) | Method and apparatus for precision squeeze tube valving, pumping and dispensing of work fluid(s) | |
| KR101311197B1 (en) | Pneumatic Dispensing System with Linear Actuation and Method | |
| JP6708383B2 (en) | Device and method for dispensing small beads of viscous material | |
| US8702405B2 (en) | Twisting translational displacement pump cartridge | |
| US5044900A (en) | Positive displacement shuttle pump | |
| CN107599393B (en) | Double-nozzle switching device for 3D printer | |
| CN104641733A (en) | Solder paste supply device | |
| KR100592500B1 (en) | Device for delivering fixed quantity of liquid | |
| JP5465936B2 (en) | Liquid material discharging method, apparatus and program | |
| JP3637131B2 (en) | High viscosity fluid application equipment | |
| JP6484765B2 (en) | Single tube double chamber injection pump, injection pump mechanism and operation method thereof | |
| JPS61227868A (en) | Machine for filling filler such as joint mortar | |
| CN219769115U (en) | Double-nozzle additive manufacturing device based on FDM and DIW | |
| JPH105657A (en) | Coating apparatus | |
| WO2003078935A1 (en) | Hydraulically and volumetrically dispensing and filling fluid | |
| JPH0350432B2 (en) | ||
| NL1011667C1 (en) | Dispensing paste or slurry consistency material, e.g. balls of soldering paste for making semiconductors or circuit boards | |
| JP3637132B2 (en) | High viscosity fluid application equipment | |
| SU1692866A1 (en) | Continuous ink feed system for stenciling | |
| SU753729A1 (en) | Apparatus for linear stepwise actuation |