JPH04249899A - Acceleration of small synchrotron - Google Patents

Acceleration of small synchrotron

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JPH04249899A
JPH04249899A JP41535190A JP41535190A JPH04249899A JP H04249899 A JPH04249899 A JP H04249899A JP 41535190 A JP41535190 A JP 41535190A JP 41535190 A JP41535190 A JP 41535190A JP H04249899 A JPH04249899 A JP H04249899A
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JP
Japan
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electromagnet
acceleration
storage ring
synchrotron
electron beam
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JP41535190A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsusachi Takahashi
光幸 高橋
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Original Assignee
IHI Corp
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Abstract

PURPOSE:To increase accumulated electric current by preventing electron beams injected into an accumulation ring from disappearing after coming into collision with an inwall of the accumulation ring in the case of starting up the operation of a small synchrotron. CONSTITUTION:In the case of starting up operation of a small synchrotron, a standard signal generator 36 reads out exciting current patterns in the case of operating in respective operating modes memorized in a standard signal memory device 35 according to a mode changeover command from a mode changeover command device 37. Respective power sources 46, 47, 48, 49 and 50 for a deflecting electromagnet, a converging electromagnet and an orbit adjusting electromagnet control exciting current according to these exciting current patterns so that excitation volume of these respective electromagnets can be changed in an approximately analogous pattern.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は小型シンクロトロンに
関し、蓄積電流値の増大を図ったものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a small synchrotron and is intended to increase the accumulated current value.

【0002】0002

【従来の技術】近年、小型シンクロトロンは、シンクロ
トロン放射光(SOR)装置として、超々LSI回路の
作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様
々な分野への適用が期待されている。
[Prior Art] In recent years, small synchrotrons are expected to be used as synchrotron radiation (SOR) devices in various fields such as the creation of ultra-super LSI circuits, diagnosis in the medical field, molecular analysis, and structural analysis. .

【0003】小型シンクロトロン放射光装置の概要を図
2に示す。荷電粒子発生装置(電子銃等)10で発生し
た電子ビームは線型加速装置(ライナック)12で光速
近くに加速され、ビーム輸送部14の偏向電磁石16で
偏向されて、インフレクタ18を介して蓄積リング22
内に入射される。蓄積リング22に入射された電子ビー
ムは高周波加速空洞21でエネルギを与えられながら収
束電磁石23(垂直方向用)、25(水平方向用)で収
束され、偏向電磁石24で偏向されて蓄積リング22中
を回り続ける。偏向電磁石24で偏向される時に発生す
るシンクロトロン放射光はビームチャンネル26を通し
て例えば露光装置28に送られて超々LSI回路作成用
の光源等として利用される。
FIG. 2 shows an outline of a compact synchrotron radiation device. An electron beam generated by a charged particle generator (electron gun, etc.) 10 is accelerated to near the speed of light by a linear accelerator (linac) 12, deflected by a deflection electromagnet 16 of a beam transport section 14, and accumulated via an inflector 18. ring 22
Injected into the inside. The electron beam incident on the storage ring 22 is given energy by the high-frequency acceleration cavity 21, focused by the focusing electromagnets 23 (for vertical direction) and 25 (for the horizontal direction), and deflected by the deflection electromagnet 24 into the storage ring 22. Continue to rotate. Synchrotron radiation generated when deflected by the deflection electromagnet 24 is sent through a beam channel 26 to, for example, an exposure device 28, where it is used as a light source for producing ultra-super LSI circuits.

【0004】小型シンクロトロン装置においては、入射
器としてのライナック12の加速エネルギが低いことか
ら、蓄積リング22に入射された荷電粒子はビーム径が
拡がって蓄積リング22の内壁に衝突して消滅しやすく
、蓄積リング22内の蓄積電流値を増加させることが難
しい。
In a small synchrotron device, since the acceleration energy of the linac 12 as an injector is low, the beam diameter of charged particles incident on the storage ring 22 expands, collides with the inner wall of the storage ring 22, and disappears. However, it is difficult to increase the accumulated current value in the storage ring 22.

【0005】そこで、起動時の運転方法として、例えば
図3に示すように、蓄積リング22に電子ビームが入射
される毎に蓄積リング22内のビームエネルギを急激に
上げ下げして放射減衰を起こし、所定の電子ビームを蓄
積したのち(入射運転A)、ビームエネルギを最終エネ
ルギまで高め(加速運転B)、以降エネルギを一定に維
持(蓄積運転C)するように運転して、大電流化を図っ
ている。このような運転を行うために、偏向電磁石24
や収束電磁石23,25によって生起される磁場を、そ
れぞれ予め定められた磁場パターンに従って制御してい
る。
Therefore, as an operating method at startup, for example, as shown in FIG. 3, each time an electron beam is incident on the storage ring 22, the beam energy within the storage ring 22 is rapidly increased or decreased to cause radiation attenuation. After accumulating a predetermined amount of electron beam (injection operation A), the beam energy is increased to the final energy (acceleration operation B), and the energy is maintained constant thereafter (accumulation operation C) in order to increase the current. ing. In order to perform such operation, the bending electromagnet 24
The magnetic fields generated by the magnets and converging electromagnets 23 and 25 are controlled according to predetermined magnetic field patterns, respectively.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】偏向電磁石24および
収束電磁石23,25の励磁量を前述のように予め定め
られたパターンで同期制御して立ち上げていくことによ
り、電子ビームの蓄積リング内壁への衝突が抑制されて
電流密度の増大が図れるが、それでもなおある程度以上
に電流密度を上げると電子ビームは蓄積リング22の内
壁に衝突して消滅してしまい、最終目標値まで電流密度
を上げるのが難しかった。
[Problem to be Solved by the Invention] By synchronously controlling and starting up the excitation amounts of the deflecting electromagnet 24 and the focusing electromagnets 23 and 25 in a predetermined pattern as described above, it is possible to prevent the electron beam from reaching the inner wall of the storage ring. However, if the current density is increased beyond a certain level, the electron beam will collide with the inner wall of the storage ring 22 and disappear, making it impossible to increase the current density to the final target value. was difficult.

【0007】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、電子ビームの蓄積リング内壁への衝突を
より抑制して、電流密度のさらに増大化を図ったシンク
ロトロンの加速方法を提供しようとするものである。
The present invention solves the problems in the conventional techniques and provides a synchrotron acceleration method that further increases the current density by further suppressing the collision of the electron beam with the inner wall of the storage ring. This is what I am trying to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明は、小型シンク
ロトロンの入射、加速、蓄積の過程において、偏向電磁
石、収束電磁石および軌道調整用電磁石の励磁量を略々
相似なパターンで変化させることを特徴とするものであ
る。
[Means for Solving the Problem] The present invention involves changing the amount of excitation of a deflection electromagnet, a focusing electromagnet, and an orbit adjustment electromagnet in a substantially similar pattern during the injection, acceleration, and accumulation processes of a small synchrotron. This is a characteristic feature.

【0009】[0009]

【作用】軌道調整用電磁石の運転は、従来においては、
電子ビーム入射に最適な一定の励磁量を与えていた。こ
のような運転方法ではエネルギが上昇中の時には励磁量
が小さすぎて電子ビームが蓄積リング内壁に衝突しやす
くなることがわかった。
[Operation] Conventionally, the operation of the orbit adjustment electromagnet is as follows:
A constant amount of excitation was given that was optimal for electron beam injection. It has been found that in this operating method, when the energy is increasing, the amount of excitation is too small and the electron beam tends to collide with the inner wall of the storage ring.

【0010】そこで、この発明では小型シンクロトロン
の入射、加速、蓄積の過程において、偏向電磁石、収束
電磁石のみならず軌道調整用電磁石の励磁量についても
これらと略々相似なパターンで変化させることにより、
軌道調整用電磁石の励磁量の不適切による電子ビームの
蓄積リング内壁への衝突を防止して、電流密度をより増
大させることを可能にしている。
Therefore, in the present invention, in the process of injection, acceleration, and accumulation of a small synchrotron, the amount of excitation of not only the deflecting electromagnet and the focusing electromagnet but also the orbit adjustment electromagnet is changed in a pattern that is almost similar to these. ,
This prevents the electron beam from colliding with the inner wall of the storage ring due to an inappropriate amount of excitation of the orbit adjustment electromagnet, making it possible to further increase the current density.

【0011】[0011]

【実施例】この発明の一実施例を以下説明する。図1に
おいて、電子ビームが周回する蓄積リング22の四隅に
は、電子ビームを偏向させる偏向電磁石24が設けられ
、これら偏向電磁石24に挟まれた蓄積リング22の各
直線部分には電子ビームのビームサイズを絞る収束用の
四極電磁石23(水平用)、25(垂直用)が設けられ
ている。また、蓄積リング22の直線部分の一つには、
電子ビームにエネルギを供給する高周波加速空洞21が
設けらている。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below. In FIG. 1, deflection electromagnets 24 for deflecting the electron beam are provided at the four corners of the storage ring 22 around which the electron beam circulates, and each straight portion of the storage ring 22 sandwiched between these deflection electromagnets 24 is provided with a beam of the electron beam. Quadrupole electromagnets 23 (horizontal) and 25 (vertical) are provided for convergence to narrow down the size. In addition, one of the straight parts of the storage ring 22 has a
A high frequency acceleration cavity 21 is provided which supplies energy to the electron beam.

【0012】線型加速装置12(図2)により加速され
た電子ビームはインフレクタ18から蓄積リング22内
に入射すると、偏向電磁石24によってその軌道が曲げ
られ、収束電磁石23,25によってビームサイズが絞
られ、且つ高周波加速空洞21によりエネルギが供給さ
れつつ蓄積リング22内を周回する。
When the electron beam accelerated by the linear accelerator 12 (FIG. 2) enters the storage ring 22 from the inflector 18, its trajectory is bent by the bending electromagnet 24, and the beam size is narrowed by the focusing electromagnets 23 and 25. and circulates within the storage ring 22 while being supplied with energy by the high frequency acceleration cavity 21.

【0013】また、蓄積リング22の各直線部には、電
子ビームの水平方向軌道を調整するための水平軌道調整
用電磁石31および垂直方向軌道を調整するための垂直
軌道調整用電磁石33が配されている。これらはそれぞ
れ蓄積リング22を挟んで磁極を対向させた(水平用は
垂直方向に、垂直用は水平方向に対向)2極電磁石で構
成され、電子ビームが蓄積リング22内の中心軌道を通
るようにそれぞれ個別に励磁量が制御される。
Further, each linear portion of the storage ring 22 is provided with a horizontal trajectory adjustment electromagnet 31 for adjusting the horizontal trajectory of the electron beam and a vertical trajectory adjustment electromagnet 33 for adjusting the vertical trajectory. ing. Each of these is composed of two-pole electromagnets with magnetic poles facing each other with the storage ring 22 in between (horizontal type facing vertically, vertical type facing horizontally), so that the electron beam passes through the center orbit inside the storage ring 22. The amount of excitation is individually controlled for each.

【0014】制御装置を構成するディジタル計算機45
は、入射運転、加速運転、蓄積運転の夫々の運転時に、
偏向電磁石24、収束電磁石23,25および軌道調整
用電磁石31,33へ供給される夫々の励磁電流波形の
単位パターンが記憶された基準信号記憶装置35を備え
ている。入射運転の単位パターンは例えば図4(b)に
示すような台形状のパターンである。加速および蓄積運
転の単位パターンは例えば図4(b)に示すように入射
運転のパターンに続いて一定勾配で上昇(加速)して、
所定時間後に上昇を停止してフラット(蓄積)に移行す
るパターンである。これらの単位パターンは各電磁石2
4,23,25,31,33相互に略々相似波形であり
、その勾配等はシンクロトロンを実際に運転してみて都
合のよい立ち上げが行なえる値に各電磁石ごとに設定す
ることができる。
Digital computer 45 constituting the control device
During each operation of injection operation, acceleration operation, and accumulation operation,
A reference signal storage device 35 is provided in which unit patterns of excitation current waveforms supplied to the deflection electromagnet 24, convergence electromagnets 23, 25, and orbit adjustment electromagnets 31, 33 are stored. The unit pattern of the injection operation is, for example, a trapezoidal pattern as shown in FIG. 4(b). For example, the unit pattern of acceleration and accumulation operation is as shown in FIG.
This is a pattern in which the rise stops after a predetermined period of time and shifts to a flat state (accumulation). These unit patterns are for each electromagnet 2
4, 23, 25, 31, and 33 have substantially similar waveforms, and their gradients can be set for each electromagnet to a value that allows convenient startup by actually operating the synchrotron. .

【0015】基準信号記憶装置35は、基準信号発生装
置36とオンライン接続され、基準信号発生装置36は
、入射、加速、蓄積の各運転モードを選択するモード切
換指令装置37とオンライン接続されている。そして、
基準信号発生装置36は、入射運転では前記図4(a)
の波形パターンをクロックに従って基準信号記憶装置3
5から繰り返し読み出し、加速および蓄積運転では前記
図4(b)の波形パターンをクロックに従って基準信号
記憶装置35から読み出して、各電磁石24,23,2
5,31,33ごとに一連の励磁電流波形パターン(各
電磁石で略々相似のパターン)を作成する。
The reference signal storage device 35 is connected online to a reference signal generator 36, and the reference signal generator 36 is connected online to a mode switching command device 37 that selects each operation mode of injection, acceleration, and accumulation. . and,
The reference signal generator 36 is used in the input operation as shown in FIG. 4(a).
The waveform pattern of is stored in the reference signal storage device 3 according to the clock.
In acceleration and accumulation operations, the waveform pattern shown in FIG. 4(b) is read out from the reference signal storage device 35 according to the clock, and
A series of excitation current waveform patterns (approximately similar patterns for each electromagnet) are created every 5, 31, and 33.

【0016】なお、基準信号発生装置36は、線型加速
装置12(図2)で加速されて蓄積リング22内に入射
される電子ビームの入射タイミングを夫々のモードの運
転と同期させる入射タイミング発生装置38にもオンラ
イン接続され、さらにディジタル計算機45内の同期を
とるためのクロックを発生させるクロック発生器39と
もオンライン接続されている。
The reference signal generator 36 is an incident timing generator that synchronizes the incident timing of the electron beam that is accelerated by the linear accelerator 12 (FIG. 2) and enters the storage ring 22 with the operation of each mode. 38, and furthermore, a clock generator 39 that generates a clock for synchronizing the digital computer 45.

【0017】上記基準信号発生装置36から出力される
各電磁石の励磁電流波形パターンは、データ伝送装置4
0に送信され、このデータ伝送装置40から夫々D/A
変換器41〜45を介して、偏向電磁石46、水平方向
収束電磁石電源47、垂直方向収束電磁石48、垂直軌
道調整用電磁石電源49、水平軌道調整用電磁石電源5
0に供給されるようになっている。
The excitation current waveform pattern of each electromagnet outputted from the reference signal generator 36 is transmitted to the data transmission device 4.
0, and from this data transmission device 40 respectively D/A
Via the converters 41 to 45, a bending electromagnet 46, a horizontal focusing electromagnet power supply 47, a vertical focusing electromagnet 48, a vertical orbit adjustment electromagnet power supply 49, and a horizontal orbit adjustment electromagnet power supply 5 are provided.
0.

【0018】以上の構成からなる本実施例の作用につい
て述べる。図1に示す基準信号発生装置36内で行われ
る励磁電流波形パターンの出力フローチャートを図5に
示す。運転を開始すると、はじめに入射運転が指令され
、そのモードに応じた図4(a)に示す単位パターンが
基準信号記憶装置35から繰り返し読み出され、電子ビ
ームの蓄積リング22への入射タイミングと同期して出
力される。この入射運転パターンを設定回数繰り返し、
または蓄積リング22内の電流密度が所定値まで達した
ことが検出されたらモード切換指令装置37により加速
および蓄積運転に切換えると、再び電子ビームの入射タ
イミングと同期させて図4(b)に示す加速および蓄積
運転単位パターンが出力され、入射運転から加速および
蓄積運転への切換が行なわれる。この一連の運転におけ
る各電磁石の励磁電流の変化は図6に示すように略々相
似パターンとなる。なお、各軌道調整用電磁石電源49
,50からの励磁電流の変化パターンは、軌道調整に必
要な励磁量が最終的に得られるように変化勾配を個別に
設定することができる。
The operation of this embodiment having the above configuration will be described. FIG. 5 shows a flowchart for outputting the excitation current waveform pattern performed within the reference signal generator 36 shown in FIG. 1. When the operation is started, the injection operation is first commanded, and the unit pattern shown in FIG. is output. Repeat this injection operation pattern a set number of times,
Alternatively, when it is detected that the current density in the storage ring 22 has reached a predetermined value, the mode switching command device 37 switches to acceleration and storage operation, which is synchronized again with the incident timing of the electron beam, as shown in FIG. 4(b). The acceleration and accumulation operation unit pattern is output, and the switching from the incidence operation to the acceleration and accumulation operation is performed. Changes in the excitation current of each electromagnet during this series of operations have approximately similar patterns as shown in FIG. In addition, each orbit adjustment electromagnet power supply 49
, 50, the gradient of change can be individually set so that the amount of excitation necessary for orbit adjustment is finally obtained.

【0019】このように入射運転から加速および蓄積運
転へと切換運転を行うことによって、その入射運転時に
蓄積リング22内に多数の電子ビームが入射されて蓄積
電流が大きくなり、蓄積リング22内に所定量の電子ビ
ームが周回することになる。よって、この後、蓄積リン
グ22内の電子ビームを所定エネルギにまで高める加速
および蓄積運転に切換えると所定量且つ所定エネルギの
実用可能なSOR光を得ることができる。特に、偏向電
磁石24および収束電磁石23,25のみならず、軌道
調整用電磁石31,33までもこれらと略々相似なパタ
ーンで変化させて立ち上げるようにしたので、これら各
電磁石が立ち上げの過程において各時点の蓄積電流値に
対応した励磁量となるので、蓄積リング内壁に衝突して
消滅する電子の数を減らすことができ、所望の蓄積電流
値まで立ち上げることができる。
By performing the switching operation from the injection operation to the acceleration and accumulation operation in this way, a large number of electron beams are incident into the storage ring 22 during the injection operation, the storage current becomes large, and the storage ring 22 receives a large number of electron beams. A predetermined amount of electron beams will circulate. Therefore, after this, if the electron beam in the storage ring 22 is switched to acceleration and storage operation in which the electron beam is increased to a predetermined energy, it is possible to obtain a practically usable SOR light of a predetermined amount and a predetermined energy. In particular, not only the deflecting electromagnet 24 and the converging electromagnets 23, 25, but also the orbit adjustment electromagnets 31, 33 are changed in a pattern that is almost similar to these, so that each of these electromagnets is Since the excitation amount corresponds to the accumulated current value at each point in time, it is possible to reduce the number of electrons that collide with the inner wall of the storage ring and disappear, and it is possible to increase the accumulated current value to a desired value.

【0020】[0020]

【変更例】前記実施例では、軌道調整用電磁石を垂直用
および水平用ともこの発明による励磁量制御を行なった
が、一方のみでもある程度の効果は得られる。
[Modification] In the above embodiment, the excitation amount of both the vertical and horizontal orbit adjustment electromagnets was controlled according to the present invention, but a certain degree of effect can be obtained even if only one of them is used.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、小型シンクロトロンの入射、加速、蓄積の過程におい
て、偏向電磁石、収束電磁石のみならず軌道調整用電磁
石の励磁量についてもこれらと略々相似なパターンで変
化させるようにしたので、軌道調整用電磁石の励磁量の
不適切による電子ビームの蓄積リング内壁への衝突が防
止され、電流密度をより増大させることが可能となる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, in the process of injection, acceleration, and accumulation of a small synchrotron, the amount of excitation of not only the deflection electromagnet and the focusing electromagnet but also the orbit adjustment electromagnet can be changed. Since the changes are made in a similar pattern, it is possible to prevent the electron beam from colliding with the inner wall of the storage ring due to an inappropriate excitation amount of the orbit adjustment electromagnet, and it is possible to further increase the current density.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】この発明の一実施例を示す制御ブロック図であ
る。
FIG. 1 is a control block diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】小型シンクロトロン概要を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an outline of a small synchrotron.

【図3】小型シンクロトロンのビームエネルギの立ち上
げパターンの一例を示す線図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a beam energy start-up pattern of a small synchrotron.

【図4】図1の基準信号記憶装置35に記憶されている
各運転モードにおける励磁電流の単位パターンを示す線
図である。
4 is a diagram showing unit patterns of excitation current in each operation mode stored in the reference signal storage device 35 of FIG. 1; FIG.

【図5】図1の基準信号発生装置36による励磁電流パ
ターンの出力制御の一例を示すフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing an example of output control of an excitation current pattern by the reference signal generator 36 of FIG. 1;

【図6】図1の基準信号発生装置36から出力される励
磁電流パターンの一例を示す線図である。
6 is a diagram showing an example of an excitation current pattern output from the reference signal generator 36 of FIG. 1. FIG.

【符号の説明】 22  蓄積リング 23  収束電磁石(水平用) 24  偏向電磁石 25  収束電磁石(垂直用) 31  軌道調整用電磁石(水平用) 33  軌道調整用電磁石(垂直用)[Explanation of symbols] 22 Storage ring 23 Convergence electromagnet (horizontal) 24 Bending electromagnet 25 Convergence electromagnet (for vertical) 31 Electromagnet for orbit adjustment (horizontal) 33 Orbit adjustment electromagnet (for vertical)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】小型シンクロトロンの入射、加速、蓄積の
過程において、偏向電磁石、収束電磁石および軌道調整
用電磁石の励磁量を略々相似なパターンで変化させるこ
とを特徴とする小型シンクロトロンの加速方法。
1. Acceleration of a small synchrotron characterized by changing the excitation amount of a bending electromagnet, a focusing electromagnet, and an orbit adjustment electromagnet in a substantially similar pattern during the injection, acceleration, and accumulation processes of the small synchrotron. Method.
JP41535190A 1990-12-28 1990-12-28 Acceleration of small synchrotron Pending JPH04249899A (en)

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