JPH04227472A - 電気加熱真空炉の保護装置 - Google Patents

電気加熱真空炉の保護装置

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Publication number
JPH04227472A
JPH04227472A JP3101411A JP10141191A JPH04227472A JP H04227472 A JPH04227472 A JP H04227472A JP 3101411 A JP3101411 A JP 3101411A JP 10141191 A JP10141191 A JP 10141191A JP H04227472 A JPH04227472 A JP H04227472A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
auxiliary electrode
vacuum furnace
lead
electrically heated
insulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3101411A
Other languages
English (en)
Inventor
Robert Hack
ロベルト・ハック
Wilhelm Polhede
ヴィルヘルム・ポルヘデ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Original Assignee
Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH filed Critical Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Publication of JPH04227472A publication Critical patent/JPH04227472A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
    • F27D11/02—Ohmic resistance heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
    • F27D2021/0057—Security or safety devices, e.g. for protection against heat, noise, pollution or too much duress; Ergonomic aspects
    • F27D2021/0071—Security or safety devices, e.g. for protection against heat, noise, pollution or too much duress; Ergonomic aspects against explosions

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は請求項１の上位概念に記
載の電気加熱真空炉の保護装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空室の内部で加熱が行われるよう構成
された熱処理炉には、真空室内の加熱要素への電流の伝
送を行うための特殊な電気引込線が備えられている。こ
の引込線は、たとえば高電流、高温度、気密性、真空適
性および高圧に対する抵抗性（たとえば加圧焼結の場合
）のような厳しい運転条件により制約される高い要求を
満足しなければならない。
【０００３】たとえば、絶縁セラミックの損傷および保
護隙間内の汚れのような機械的な不均一、または過電圧
により、このような引込線内またはその近くで絶縁ガス
隙間の電気的破壊が生じることがある。このときガス放
電が発生し、該ガス放電は数ミリ秒の期間のみ発生する
高周波火花によって導入され、かつこのときさらにアー
クが発生する。
【０００４】アークの形のガス放電の間に材料の移動が
発生する。これにより、一方では、ガス放電が発生する
構成部分が材料減耗によって弱くなり、したがって破壊
に至り、この破壊が同時に引込線の部分的な破損を招く
ことになる。他方では移動された材料および引込線の一
部の破損部品またはその周囲が、全体装置に対する危険
ならびに実行中の処理に対する障害要因を提供してしま
うことになる。
【０００５】あらゆる対策にもかかわらず、このような
ガス放電は基本的に回避できないので、該ガス放電を少
なくとも検出可能であることが、保護の上できわめて有
利であろう。しかしながら、処理中の密閉炉における検
出はきわめてむずかしい。高周波火花は数ミリ秒以下の
時間内に発生するので、高周波のモニタリングはむずか
しい。ガス放電はその後アークに移行し、このアークは
もはや高周波検知をしようとしてもできない。この過程
の間の絶縁抵抗の検出の実行は、ヒータおよび一部分グ
ラファイトフェルトからなる他の構成部材との間の絶縁
抵抗が低く、かつさらに測定の際に常に加熱電圧が重ね
られているので、きわめてむずかしい。
【０００６】
【発明の概要】本発明は、電気加熱真空炉の内部のガス
放電を検出し、これにより設備を保護するために、たと
えば加熱電力を遮断のような適切な処置を行うことを可
能にする保護装置を開発することを基本的課題とする。
【０００７】この課題は請求項１に記載の特徴により、
電流引込線の絶縁体の周りに補助電極が設けられること
により解決される。該補助電極は電気的に絶縁されてい
なければならず、またたとえばスパイラル、ワイヤメッ
シュまたは薄肉管の形を有していてもよい。したがって
電流引込線と炉壁との間のガス放電は、補助電極と炉壁
との間の簡単に検出可能な短絡に置き換えられ、この短
絡が市販の安全抵抗測定器により検出されかつ遮断信号
に変換可能であり、この結果加熱電力の遮断によってア
ークも遮断される。
【０００８】ガス放電の検出のためのその他の方法は、
電流引込線のセラミック絶縁の周りに熱電対を巻付ける
ことである。熱電対はアークによって断線され、これに
よりこのときに測定回路が開かれるかまたは２本の熱電
対要素の新たな結合が発生し、この発生の瞬間に新たに
形成された溶接ビードにおける高い温度に対応して大き
な起電力を発生する。
【０００９】測定回路の開放または高い温度という両方
の現象は、熱電対用の市販の安全しきい値遮断装置によ
り確実に検出可能であり、したがってこの測定装置によ
るアラーム発生の際に加熱電力はただちに遮断され、こ
れによりアークも消すことが可能である。機械的な理由
から、金属被覆された熱電対の使用が好ましい。
【００１０】
【実施例】真空炉の炉壁１にフランジ２が設けられ、該
フランジ２は以後電極と呼ばれる電気引込線３を設けて
いる。これはたとえば銅またはグラファイトからなる。 これはまたいくつかの材料の組合せからなる構成部品で
もよい。電極は真空室５の内部の加熱要素４へ電流を供
給する。該電極はたとえばセラミックからなる絶縁体６
により包囲されている。この絶縁体の周りに補助電極７
が設けられ、該補助電極７は図示の例ではスパイラルの
形を有している。補助電極７の代わりに熱電対をもちい
て絶縁体６を包囲してもよい。
【００１１】引込部８により補助電極７または熱電対は
炉壁から電気的に絶縁されるように構成され、かつ電子
式遮断装置９と接続されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の詳細図である。
【符号の説明】
１　　炉壁 ３　　引込線 ４　　加熱要素 ５　　真空室 ６　　絶縁体 ７　　補助電極 ９　　電子式遮断装置

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　真空室（５）内の加熱要素（４）に電
    流を伝送するための引込線（３）を設けた電気加熱真空
    炉であって、該引込線（３）がセラミック材料等からな
    る絶縁体（６）で包囲されている電気加熱真空炉の保護
    装置において、絶縁体（６）が電気的に絶縁されている
    組込補助電極（７）で包囲されており、かつ信号で作動
    される加熱電力用電子式遮断装置（９）が設けられてお
    り、該信号は引込線（３）と炉壁（１）との間にアーク
    が発生したときにこれにより低下した補助電極（７）と
    炉壁（１）との間の抵抗によって発生されることを特徴
    とする電気加熱真空炉の保護装置。
  2. 【請求項２】　　補助電極が絶縁体の周りにスパイラル
    形状で巻付けられていることを特徴とする請求項１記載
    の装置。
  3. 【請求項３】　　補助電極がワイヤメッシュの形を備え
    ていることを特徴とする請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】　　補助電極が金属管の形を備えているこ
    とを特徴とする請求項１記載の装置。
  5. 【請求項５】　　真空室（５）内の加熱要素（４）に電
    流を伝送するための引込線（３）を設けた電気加熱真空
    炉であって、該引込線（３）がセラミック材料等からな
    る絶縁体（６）で包囲されている電気加熱真空炉の保護
    装置において絶縁体（６）が熱電対で包囲されており、
    かつ該熱電対が温度超過を指示するかまたは熱電対が断
    線すると作動される電子式遮断装置（９）が設けられて
    いることを特徴とする電気加熱真空炉の保護装置。
JP3101411A 1990-06-29 1991-05-07 電気加熱真空炉の保護装置 Pending JPH04227472A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4020818:4 1990-06-29
DE4020818 1990-06-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04227472A true JPH04227472A (ja) 1992-08-17

Family

ID=6409379

Family Applications (1)

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JP3101411A Pending JPH04227472A (ja) 1990-06-29 1991-05-07 電気加熱真空炉の保護装置

Country Status (4)

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US (1) US5193100A (ja)
EP (1) EP0468203A1 (ja)
JP (1) JPH04227472A (ja)
DE (2) DE9116930U1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
US5193100A (en) 1993-03-09
EP0468203A1 (de) 1992-01-29
DE9116930U1 (de) 1995-02-02
DE4107096A1 (de) 1992-01-02

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