JPH04205891A - 光連想メモリ装置及びその入力信号生成方法 - Google Patents

光連想メモリ装置及びその入力信号生成方法

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JPH04205891A
JPH04205891A JP33508990A JP33508990A JPH04205891A JP H04205891 A JPH04205891 A JP H04205891A JP 33508990 A JP33508990 A JP 33508990A JP 33508990 A JP33508990 A JP 33508990A JP H04205891 A JPH04205891 A JP H04205891A
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JP
Japan
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light
substrate
reflective
input
memory device
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Application number
JP33508990A
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English (en)
Inventor
Yasunori Kuratomi
蔵富 靖規
Teruhiro Shiono
照弘 塩野
Kuni Ogawa
小川 久仁
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、人間の大脳神経系と類似な入出力動作を模倣
して構成される、連想機能の優れた光連想メモリ装置及
び入力信号生成方法に関するものである。
従来の技術 近時、人間の大脳神経系における情報処理を模倣したニ
ューラルネットワークのハードウェア化として、光伝搬
路を設けた基板上に、反射型レンズアレイ、反射型空間
光変調素子を一体化した光連想メモリ装置が提案されて
いる。
二の光連想メモリ装置は、第2図に示す階層ヘリの2層
のネットワークモテルに基づいて構成されている。すな
わち、人力層201と出力層203の2Nにより構成さ
れており、人力層の神経′S胞にニューロン)202は
出力12o3の全てのニューロン204と重み付けされ
て接続されており(シナプス結合205)、各ニューロ
ン202からの入力信号は、所定の値(シナプス荷重)
で重み付けをされ、出力層203のニューロン204に
人力される。出力N2O3のニューロン204は、重み
付けされ人力された全ての信号の和をとり、闇値処理後
出力を行うのである。入力信号としては、第3図に示す
ような2次元の文字パターンを、0、lの2値で表現し
たものを使用している。
従来例の光連想メモリ装置の構成図を第11図に示す。
この光連想メモリ装置は、光伝搬路を設けた基板401
、人力媒体402、反射型レンズアレイ403、反射型
空間光変調素子404、光検出センサ405、光源40
6により構成されている。
入力信号は、人力媒体402に表示され、入射光407
により読み出された入力信号は、基板401内で反射を
繰り返しつつ、ニューラルネットワークモテルに於ける
シナプス結合を実現するための反射型レンズアレイ40
3に入射し多重展開され、シナプス荷重に相当する重み
付けを行う反射型空間光変調素子404に入射し、出力
層のニューロンに相当する光検出センサ405に入射す
る。
この光連想メモリ装置においては、基板401に入射し
た光を、人力媒体402に斜め方向から入射し、変調さ
れた反射光を、入力信号としている。例えば、第3図に
示すような文字パターンを入力信号として連想する場合
には、1つのマスを1つの二1−ロンと見なし、白い部
分をニューロンが発火した状態、すなわち入力信号1、
黒い部分を入力信号0とみなして、このパターンを反射
型液晶パネル等の人力媒体に表示して、入射光を人力媒
体に斜めに大引して、変調後の反射光を入力信号として
用いている。
発明が解決しようとする課題 従来例においては、人躬尤の人力媒体に対する入射角と
出It角か同しである。つまり、入射光か人力媒体に入
射したときの反Q・j光を入力信号と1ノでいた。従っ
て、入力信号を表示する人力媒体に依っては、0.1の
2値で表現される入力信号を正確に表現できないという
問題があった。たとえは、人力媒体として、紙に印刷さ
むた第3図のような文字を使用する場合には、その文字
の印刷されていない部分からの反射光を1とみなし、文
字の印刷されている部分からの反射光を0とみなさなけ
れはならない。しかし、光源からの入射光の人力媒体に
対する入射角と出射角が等しい従来例では、反射光の強
度は、紙自身の反射率の影響を強く受け、反射率が高い
紙をもちいる場合には、入力信号10部分からの展開光
強度と、入力信号0の部分からの反射光強度の明暗比(
コントラスト)が悪くなり、連想機能の低下を引き起こ
してし・ようという課題があった。つまり、使用する紙
の反射率が高いと、全体に0であるへき信号強度が強く
なり、1の部分の信号強度と殆と差がなくなってしまう
といら課題があった。これは、実際的な文字認識のため
の光連想メモリ装置を構成する一ヒての大きな課題の−
っである。
本発明は、上記従来の光連想メモリ装置の課題を解決し
、コントラストの良い入力信号を形成する入力信号生成
方法、及び連想機能の高い光連想メモリ装置を提供する
ことを目的とする。
課題を解決するための手段 本発明は、光源と、ジグザグ状に光が伝搬する光伝搬路
を設けた基板と、前記基板上に設置された反射層と、人
力媒体と、反射型回折光学レンズをアレイ化した反射型
レンズアレイと、反射型空間光変調素子と、光検出セン
サを具備し、前記光源からの光が、前記光伝搬路に導か
れた後、前記人力媒体に入射し、前記人力媒体による変
調を受けた入力信号が、前記基板内で反射を繰り返しつ
つ、前記反射型レンズアレイ、前記反射型空間光変調素
子、前記光検出センサに順次入射するよ−)構成される
光連想メモリ装置で、前記人力媒体への入射光が直接反
射した光と異なる方向の光を、前記入力信号とする入力
信号生成方法である。
また、本発明は、光源と、ジグザグ状に光が伝搬する光
伝搬路を有する基板と、前記基板上に設置された反射層
と、人力媒体と、人力媒体設置基板と、反射型回折光学
レンズがアレイ化された反射型レンズアレイと、反射型
空間光変調素子と、光検出センサを備え、前記光源から
の光が前記光伝搬路に導かれた後、前記入力媒体設置基
板上の前記人力媒体に入射し、所定の変調を受け、入射
光の直接の反射光と違う方向の成分の光の入力信号か、
前記基板の対向する面に設置された前記反射層により反
射を繰り返しつつ、前記基板内を伝搬し、前記反射型レ
ンスアレイ、前記反射型空間光変調素子、前記光検出セ
ンサに順次人力するよう構成された光連想メモリ装置で
ある。
作用 本発明によれは、人力媒体から入力信号を読みたすさい
に、光源からの入射光が人力媒体に大引し、変調を受け
た後の光の中で、入射光の直接の反射光と違う方向の成
分の光を入力信号としている。従って、従来例のように
入射光の直接反射光による影響を受けず、人力媒体自身
の表面の反射率が高い場合に於いても、充分高いコント
ラストの入力信号が得られる。
実施例 以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
実施例1 本実施例に使用したネットワークモデルは、第2図と同
様に、入力Iii!201及び出力pM203(7)2
Nにより構成した。即ち、人力層201のニューロン2
02は出力層203の全てのニューロン204とシナプ
ス結合205て接続されている。
人力N201のニューロン202は、このシナプス結合
205により出力Fj203の各ニューロン204に入
力信号を伝達する。その際、入力信号” は各シナプス
結合に特有のシナプス荷重で重み付けされ人力される。
出力層203のニューロン204は、特有のシナプス荷
重で重み付けされ人力される全ての入力信号の総和を計
算し、入力信号の総和が特定の閾値以上の場合に出力す
る。
尚、シナプス荷重を可逆的に変化することにより、学習
機能は実現される。
このようなニューラルネットワークの結合を、光技術を
用いて実現するためには、入力信号を多重展間する必要
がある。この多重展開の手法を第5図に示す。人力層5
01の中の1つのニューロン502が発火している場合
には、この2次元の入力信号を出力層503の全てのニ
ューロン504〜506に入力せねばならない。従って
、光の空間並列性を活かして人力するためには、入力層
による2次元の入力信号を第5図に示すように、多重M
間することにより、出力層の全てのニューロンに人力層
からの入力信号が人力される。
上記モデルに基づき構成した、本発明の実施例を第1図
に示し、その構成及び動作について説明する。
入力信号は、光伝搬路である基板101内に導かれた入
射光107が人力媒体102に入射し、変調を受けるこ
とにより生成される。その際、光源106からの入射光
107は人力媒体102に例えば垂直に入射し、変調後
の散乱光を入力信号として用いる。この入力信号は、基
板101上に設置された反射層108により反射し、基
板内を伝搬してゆく。反射層は、不用な信号を除去する
ため、基板の底面に不連続に設置した。反射型レンズア
レイ103は、第2図に示したニューラルネットワーク
におけるシナプス結合を実現するため、人力像を出力層
のニューロン数と同数個に多重展開する。多重展開され
た人力像は、再び反射N108により反射し、反射型空
間光変調素子104に入射し、変調を受ける。この変調
はニューラルネットワークにおけるシナプス荷重による
重み付けに相当する。次に、変調された信号は、再度反
引N108で反射され、光検出センサ105に入射し光
量を検出され、各ニューロン毎に光量の和を計算され閾
値処理後出力される。
光源106は、反射型回折光学レンズl 03 Mおけ
る色収差を最小限に抑えるため、単帥、′N:源か望ま
しく、本実施例に於いては、例えは1−ie−N+・レ
ーザ(波長632.8nm)を使用した。入り4九10
7は、第1図(b)に示すように基板101の底面から
入射し、人力媒体102に垂直に大引した。
人力媒体102は、入力信号を表示するもので、反射型
の液晶パネルに文字を表示しても良いが、実用的な文字
認識を考えると、例えは紙に印刷された文字を用いる場
合が考えられる。今回は、入力信号として第3図に示す
ように、8X8のマトリックスで文字パターンを作製し
た。
基板101は使用波長に対して透明であれは良く、例え
は石英なとのガラス基板は温度的にも安定であり、また
例えは合成樹脂を用いた場合には軽量になる。本発明に
於いては、基板101の一例として厚さ3mmの石英ガ
ラス(屈折率1.5)を用いた。つぎに、本発明に於け
る反射型レンズアレイの平面図を第6図に、反射型回折
光学レンズの平面図を第7図(a)に、断面図を第7図
(b)にそれぞれ示す。
反射型レンズアレイは第6図に示すように、出力層のニ
ューロン数と同数個の反射型回折光学レンズを2次元状
に配列している。第6図は9ニユーロンの場合である。
個々の反射型回折光学レンズは第7図(a)に示すよう
に、基板703上に形成した複数のグレーティングゾー
ン702と、このグレーティングゾーン702上に設け
た反射層703から構成されている。クレーティックゾ
ーン702の形状は、xy平面に於いて入射光の傾いて
いる方向<−y方向)を長軸とする楕円形に形成され、
グレーティングゾーン702の外周部にいくに従って、
楕円形の中心位置を入射光の傾いている方向(−y方向
)に徐々にずらした配置とした。第7図(b)は、点光
源704から出射した光が点707に集光される様子を
表わしている。
この反射型回折光学レンズ706は、公知の技術である
電子線描画法(T、シオノ他(T、5hiono、et
al、)、  rフ゛ライト1ノ゛i(りZ(Apl+
1.I)1+t、、)、〜’01. 28、No、15
. lip、 3434−3442 (1989))を
用いて形成した。この電子線描画法は、サフミク[、−
7ンの学位で制御可能なため、アライメントを精度良く
実現できるという利点を持1ている。また本実施例にお
いては、電子描画法てクレーティックゾーン7゜2を形
成後に、反射層703として銀を約4000人蒸着した
入力信号のシナプス荷重による重み付けに相当する変調
を行うための反射型空間光変調素子は、例えは反射型液
晶パネルを使用しても良いが、本実施例に於いては、反
射型回折光学レンズを2次元に分布し、各々のレンズの
回折効率を変化することによりシナプス荷重を表現した
。各シナプス結合に於けるシナプス荷重は、第3図に示
す3文字について直交学習法(M、インhつ他(M、 
lsl+ika+ya。
et、  at、、)、?ブライトー4ブT(クス(A
pH1,Opt、、)  Vol、28(+989))
により、予めコンピュータで計算した値を用いた。レン
ズの回折効率は、クレーティックゾーン702の最大膜
厚により決定される。ここ ′て、クレーティングゾー
ン702の最大膜厚とは、第7図に於けるしである。こ
のクレーティングゾーン702の最大膜厚と、回折効率
の関係を第8図に示す。第8図よりクレーティングゾー
ン702の最大膜厚を0.2μm迄は、厚くするほど回
折効率が高くなることが分かる。従って、大きなシナプ
ス荷重を表現するレンズはど、クレーティングゾーン7
02の最大膜厚を厚くずれは良いことか分かる。この反
射型回折光学レンズを2次元状に配置したメモリーパタ
ーンの一例を第9図に示す。各々の反射型回折光学レン
ズの構造は、第7図に於ける反射型回折光学レンズと同
一である。この反射型回折光学レンズも電子線描画法に
より作製するため、アライメントが精度良く実現できた
光検出センサ105は、各ニューロン毎にシナプス荷重
で重み付けされた入力信号の和を求め、同値処理後出力
する機能か必要である。本実施例に於いては、光検出セ
ンサ105としてCCDカメラを用い、A/D変換変換
算計算機り各ニュー[7ン毎の和を求め閾値処理を行い
計算結果をティスプレィ上に表示した。
本実施例に於いては、人力媒体として、:3種類の紙l
(反射率5%)、2(反射率lO%)、3(反射率20
%)に印刷された第3図に示す3文字を用い、従来例と
の認識率の比較を行った。その結果、従来例では紙lの
場合には、3文字の認識が可能であったが、反射率の高
い紙2.3に印刷された文字を人力媒体とした場合には
、との文字を入力しても第1O図に示すような出力とな
り、認識できなかった。これは、紙の反射率が高く、入
力信号のコントラストが悪かったためである。しかし、
本実施例で用いた人力方法の場合には、使用した全ての
紙に於いて3文字共認識が可能であることを確認した。
実施例2 実施例1と同様のニューラルネットワークモテルに基つ
き構成した本発明の第2の実施例の光連想メモリ装置の
構成図を第11図に示す。基本的な構成は第1図に示し
た実施例1と同様で、光源lO1基板11、人力媒体1
2、人力媒体設置基板13、反射型回折光学レンズをア
レイ化した反射型レンズアレイ14、反射型空間光変調
素子15、光検出センサ16、反射層17、光吸収層1
8により構成されている。各構成要素の基本的な動作は
実施か11と同様である。
本実施例において、図に示すように人力媒体12は、人
力媒体設置基板13Fの中心1立置より左側に設置した
。すなわち、入力信号が伝搬して行く方向と逆の方向に
偏って設置した。この人力媒体設置基板13は、基板1
1と光学ボンドて接着してあり、材質としては、使用す
る光の波長に対して透明であれはよく、本実施例におい
ては石英ガラスを使用した。人力媒体設置基板13の側
面には、反射層17及び、光吸収層18を設置した。人
力媒体12を人力媒体設置基板13上に設置したのは、
人力媒体12に光RIOからの光が入射することにより
生しる散乱光の中で、基板ll内を全反則して伝搬して
行く不要な散乱光を、基板ll内に入射させないためで
ある。従って、基板11側面の一方には反射層17を設
け、対向ずろ面には光吸収層18を設置し・た。反QJ
層17としては、銀を4000 A蒸着し、光吸収層1
8は、使用波長に応して有機染料あるいは有機顔料等を
用いれはよく、本実施例においては、640n Ill
ζこ吸収波長のピークを持つアシトラキノンを蒸着し・
た。また本実施例においては、基板11の反射層17を
不連続ζこ設置し、反射層17の間に光吸収N18を設
置した。入力信号は、基板11内で計11回反射後に反
射型レンズアレイ14に入射し、反射型レンズアレイ1
4により多重展開された信号は、基板11内で5回反射
後に光検出センサ16に人力させた。これは、基板ll
内を伝搬ずろ過程において不要な信号を除去しS / 
N比を向上するためである。
本実施例の光速懇メモリ装置に於いても、3種類の紙を
用いて認識率を調べたところ、いずれの紙においても、
3文字とも想起できることを確認し・ た。
尚、本発明は上記実施例に限定されろものてはなく、本
発明の主旨に基づいて種々の変形が=T能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
発明の詳細 な説明したところから明らかなように、本発明は、人力
媒体からの散乱光を入力信号として用いるため、人力媒
体の反射率が高い場合にも、良好なコントラストの入力
信号を得ることができる。従って、光連想メモリ装置の
連想機能を大幅に向上できる。
また、本発明は、人力媒体を、人力媒体設置基板上に設
置しており、反射層を不連続に形成しているため入力信
号のS/Nを向上でき、光連想メモリ装置の連想機能を
大幅に向上できる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)及び(b)は各々、本発明の一実施例に於
ける光連想メモリ装置の平面及び断面図、第2図は本発
明が適用されるニューラルネットワークモデルの平面図
、第3図は本発明の実施例で使用した文字パターン図、
第4図は本発明の一実施例で使用した入力信号の変換手
法の概略構成図、第5図は本発明の一実施例で構成した
展開型しンスアレイの平面図、第6図(a)及び(1)
)は各々、本発明の一実施例において構成した反射型回
折光学レンズの平面及び断面図、第7図は本発明の一実
施例て使用した反射型回折光学レンズの最大膜厚と、回
折効率の関係を表したクラブ、第8図は本発明の一実施
例で構成した反射型レンズアレイの平面図、第9図は各
入力信号に対ずろ出力結果を表した構成図、第10図(
a)、 (b )は各々、本発明の他の実施例で構成し
た光連想メモリ装置の平面及び断面図、第11図(a)
、(b)は各々従来例で構成された光連想メモリ装置の
平面及び断面図である。 101・・・基板、102・・・人力媒体、103・・
・反射型レンズアレイ、104・・・反射型空間光変調
素子、105・・・光検出センサ、106・・・光源、
 107・・・入射光、17、108・・・反射層、1
8・・・光吸収層。 代理人 弁理士 松 1)正 道 第1図 (a) 大引尤、108  反射層 第2図 第3図 第4図 第5図 第7図 0   0.1  0.2 最大膜厚 L(μm) 第8図 第9図 入力文字パターン 出力結果 第10図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源と、ジグザグ状に光が伝搬する光伝搬路を有
    する基板と、前記基板上に設置された反射層と、入力媒
    体と、反射型回折光学レンズがアレイ化された反射型レ
    ンズアレイと、反射型空間光変調素子と、光検出センサ
    を具備し、前記光源からの光が、前記光伝搬路に導かれ
    た後、前記入力媒体に入射し、前記人力媒体による変調
    を受けた人力信号が、前記基板内で反射を繰り返しつつ
    、前記反射型レンズアレイ、前記反射型空間光変調素子
    、前記光検出センサに順次入射するよう構成された光連
    想メモリ装置で、前記人力媒体への入射光が直接反射し
    た光と異なる方向の光を前記入力信号とするものである
    ことを特徴とする人力信号生成方法。
  2. (2)光源と、ジグザグ状に光が伝搬する光伝搬路を有
    する基板と、前記基板上に設置された反射層と、入力媒
    体と、入力媒体設置基板と、反射型回折光学レンズがア
    レイ化された反射型レンズアレイと、反射型空間光変調
    素子と、光検出センサを備え、前記光源からの光が前記
    光伝搬路に導かれた後、前記入力媒体設置基板上の前記
    入力媒体に入射し、所定の変調を受けることにより、入
    射光の直接の反射光と違う方向の成分の光の入力信号が
    、前記基板の対向する面に設置された前記反射層により
    反射を繰り返しつつ、前記基板内を伝搬し、前記反射型
    レンズアレイ、前記反射型空間光変調素子、前記光検出
    センサに順次入力するよう構成されたことを特徴とする
    光連想メモリ装置。
  3. (3)基板上に設置される前記反射層が、前記基板上に
    不連続に設置されたことを特徴とする請求項2記載の光
    連想メモリ装置。
  4. (4)基板上に不連続に設置される前記反射層と反射層
    の間に光吸収層が設置されたことを特徴とする請求項2
    記載の光連想メモリ装置。
  5. (5)基板上に設置される前記入力媒体設置基板の側面
    に反射層が設置されたことを特徴とする請求項2記載の
    光連想メモリ装置。
  6. (6)基板上に設置される前記入力媒体設置基板の側面
    に光吸収層が設置されたことを特徴とする請求項2記載
    の光連想メモリ装置。
  7. (7)入力媒体設置基板上に設置される前記入力媒体の
    位置が、入力光の伝搬方向と逆の方向に偏って設置され
    たことを特徴とする請求項2記載の光連想メモリ装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3686815A1 (en) * 2019-01-24 2020-07-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical neural network apparatus including passive phase modulator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3686815A1 (en) * 2019-01-24 2020-07-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical neural network apparatus including passive phase modulator
US11694071B2 (en) 2019-01-24 2023-07-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical neural network apparatus including passive phase modulator

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