JPH04196100A - ビーム集束装置 - Google Patents

ビーム集束装置

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JPH04196100A
JPH04196100A JP2322857A JP32285790A JPH04196100A JP H04196100 A JPH04196100 A JP H04196100A JP 2322857 A JP2322857 A JP 2322857A JP 32285790 A JP32285790 A JP 32285790A JP H04196100 A JPH04196100 A JP H04196100A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
beam duct
duct
wire
around
focusing device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2322857A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoji Kamata
蒲田 省司
Masaharu Sakagami
坂上 正治
Naoto Shigenaka
尚登 茂中
Tsutomu Baba
務 馬場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明はビーム集束装置に係り、特に荷電粒子の集束に
好適なビーム集束装置に関する。
[従来の技術] 従来のビーム集束装置は、実験物理学講座28゜加速器
、熊谷寛夫編、共立出版社(昭和50年)。
P214に記載のようにビームダクト周囲に4個の磁石
(4重極磁石)を配置し、磁石より生じる磁界でビーム
ダクト内を流れる荷電粒子を集束させる構造となってい
た。各磁石は第3図に示すように電線をソレノイド状に
巻いた構造の電磁石とし、ビームダクト周囲に各電磁石
を90度づつずらした位置に配置し、対向する電磁石の
極は同極に、隣りあう電磁石の極が他極によるように電
磁石に電流を流す。ビームダクト内で磁界は第3図に示
すように、隣りあう電磁石間で発生する。ビームダクト
内に荷電粒子を流す場合、−例としてビームダクト内を
第3図で図面手前から図面向こう側へ紙面を突きぬける
方向へ電子が流れる場合を考えると、ビームダクト内を
流れる電子の向きと逆向きに第3図で図面向こう側から
図面手前側へ電流が流れると考え、フレミングの左手の
法則より電子にはX軸方向に向かいY軸と平向に■?の
力が発生し、ビームダクト内の電子はX軸」二に集めら
れる。このように、4重極磁石で荷電粒子をある軸方向
に薄い板状に集めることができる。この4重極磁石2組
を直列に配置し、ただしその2組の4重極磁石は互いに
90度回転した状態で接続し、荷電粒子を一方の4重極
磁石でX軸上に集め、もう一方の4重極磁石でY軸に集
めることで、最後的に荷電粒子をビームダクト中央に集
束させていた。なお、4重極磁石を3組以上筒列に配置
し、各4重極磁石を互いに90度回転した状態で接続し
、荷電粒子のビーム径をより小さくしてい〔発明が解決
しようとする課題〕 上記従来技術は、ビームダクト周囲にソレノイド状のコ
イルを8個以上配置する必要があり、コイルを配置する
ためのスペースが必要となるという点について配慮がさ
れてなかった。またビーム径を極めて小さくする場合に
は4重極磁石を数組直列に配置する必要があり、装置の
構造が複雑化するという点について配慮がなされておら
ず、装置か大型化するという問題があった。また4重極
磁石を数組直列に配置してもビームの集束に限界かある
という問題があった。
本発明の目的は、簡単な構造の装置で、極めて径の小さ
いビームを得られるビーム集束装置を提供することにあ
る。
[課題を解決するための手段] 」ユ記目的は、超電導材等の極めて抵抗値が小さい材質
でできた電線を、ビームダクト周囲にビームダクトと平
行でかつビームダクトを間にはさんで2本の電線が対向
するように配置したものを]組とし、数組の電線を少し
づつ回転させた位置で配置することにより、達成される
〔作用] 第1図に示すように中を荷電粒子が流れるビームダクト
において、ビームダクト周囲に電線をビームダクトと平
行にビームタクトを間にはさんで対向させるようにして
2本以上設ける。電線に電流を流すとアンペールの右ネ
ジの法則により電線の周囲に電流の流れる方向に対して
右まわりの磁界が発生する。第2図に示すようにビーム
ダクトを間にはさんで2本の電線を設は電線に電流を流
す場合を考える。電線に流す電流の向きを第2図の図面
手前から図面向こう側とすると、電線の周囲には右まわ
りの磁界が発生ずる。ビームダクト内を荷電粒子の一種
である陰電子が流れるとき、陰電子の流れる向きをビー
ムダクト周囲の電線内を流れる電流の向きと同じ第2図
で図面手前から向こう側とすると、ビームダクト中を流
れる電流の向きとしては陰電子の流れる向きと逆向きの
第2図で図面向こう側から手前側となり、フレミングの
左手の法則によりビームダクト中の電子にはビームダク
I・周囲の電線から遠ざかる方向に力か発生する。した
がってビームダクト中の電子にはビームダクト周囲の2
本の電線から等距離の線」−の位置に電子が集まる。し
たがって第1図に示すようにビームダクトを間にはさん
で対向させるようにして電線を多数設け、電子をビーム
ダクト中心に集めることができる。
〔実施例] 以下、本発明の一実施例を第4図により説明する。第4
図は加速器より放射される陰電子の集束に本発明を用い
る実施例である。第4図で中空パイプ形状のビームダク
ト1の周囲に電線2を設ける。電線2はビームダクト1
の周囲にビームダクl−1と平行で、電線2どうしが互
いに接触することなくまたビームダクト]を間にはさん
で2本の電線が互いに対向するように配置する。電線2
は絶縁性の固定器具3でビームダクト1に固定する。
そして電線2は、ビームダクト1をはさんで対向して配
置した2本を1組としてビームダクト1の周囲に複数組
設ける。各電線2は電源4に接続する。ビームダクト1
の一方の端には電子線加速器5を接続し、加速器5より
ビームダクト1の内部へ陰電子を放射する。電線2に電
源4よりビームダグ1〜内の電子の流れと同一方向へ電
流を流すと、電線の周囲には右ネジの法則により電流の
流れる向きに対して右まわりの磁界が発生する。ビーム
ダクト内は電子の流れる向きと逆向きに電流が流れると
考え、フレミングの左手の法則より電子に働く力は電線
より遠ざかる方向になる。電線2は対向した2本を1組
とするため、電子は1組の電線である2本から等距離の
直線上に集まる。電線2はビームダクト1の周囲に互い
にある角度をもってずらして数組設けているので、ビー
ムダクト中を流れる電子はビームダクト中央部に集束さ
れる。
別の実施例を第5図により説明する。ビームダクl−1
の周囲に超電導線6をビームダクト1と平行で、ビーム
ダクト]を間にはさんで2本の超電導線6が互いに対向
するように設けたものを1組として、ビームダクト1の
周囲に各組を角度をずらして複数組配線する。各超電導
線6はおのおのループを形成しており、各超電導線6に
は電源4を接続する。各超電導線6はパイプ7内に入れ
、パイプ7は液体ヘリウム又は液体窒素等の冷却材タン
ク8に接続され、パイプ7の内部に冷却材を送り出し、
超電導線6を冷却し超電導状態にする。
超電導線6中には超電導スイッチ9が接続され、はじめ
超電導線6のループは切れた状態になっている。そこへ
電源4より超電導線6へ電流を流し超電導スイッチ9を
人の状態にすると、超電導線6はループになり、中を永
久に電流が流れ続ける。
ビームダクト1中を超電導線6に流れる電流の向きと同
一方向に陰電子を流すと、陰電子は超電導線6に流れる
電流より発生する磁界の影響を受け、ビームダクト1内
の中央に集まる。超電導線6内には極めて大きな電流を
流すことが可能なため、ビームダクトlの中央に集束さ
せる陰電子ビームのビーム径は極めて小さくすることが
できる。
別の実施例を第6図により説明する。先の2つの実施例
で示したように、ビームダクトの周囲に電線を設けただ
けでは、電線とビームダクト中心を結ぶビームダクト1
半径方向の線上では荷電粒子は集束するが、電線と電線
の間の位置とビームダクト中心を結ぶビームダクト半径
方向の線」二では荷電粒子は集束せず、集束後の荷電粒
子ビームの断面形状は真円にならず、真円の円周上に突
起が出るような構造となる。そこで第6図に示すように
ビーム集束装置を2個以上直列にならべ、ただし互いの
ビーム集束装置は少し回転させ、電線が直列にならぶこ
とがないようにし、真円の荷電粒子ビームを得る。また
は第7図に示すように、電線6をビームダクl−1と平
行に設けず、ビームダクト1に平行な状態から少し角度
をつけてビームダクト1の周囲に設ける。
本実施例によれば、ビームダクト内の荷電粒子ビームを
ビームダクト中央部に集束させる効果がある。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ビームダクト内にビームダクトと同心
円に近い形状の磁界を得ることができるため、ビームダ
クト内の荷電粒子をビームダクI・中心へ効率よく集束
できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のビーム集束装置の構成を表わす正面図
、第2図は本発明のビーム集束装置の原理を表わす側面
図、第3図は従来例を表わす側面図、第4図は本発明の
実施例の正面図、第5図。 第6図、第7図は本発明の別の実施例の正面図である。 ■・・・ビームダクト、2・・・電線、3・・・固定機
器、4・・・電源、5・・・加速器、6・・超電導線、
7・・・パイプ、8・・・冷却材タンク、9・・・超伝
導スイッチ、10・・電子、11・・・ソレノイドコイ
ル、12・・・電子ビーム。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、中空パイプ中を荷電粒子が流れるビームダクトにお
    いて、ビームダクト周囲にビームダクトと平行でかつビ
    ームダクトを間にはさんで対向する位置に設けた2本の
    電線を1組とし、ビームダクト周囲に2組以上の電線を
    ビームダクトを中心に回転させた位置に設けたことを特
    徴とする荷電粒子のビーム集束装置。 2、請求項1記載のビーム集束装置において、ビームダ
    クト周囲上に設ける電線をビームダクトに平行な状態か
    らビームダクト円周上でビームダクトの方向から傾けた
    状態に設けたことを特徴とする荷電粒子のビーム集束装
    置。 3、請求項1記載のビーム集束装置において、電線の材
    質を超電導材としたことを特徴とする荷電粒子のビーム
    集束装置。 4、請求項1記載のビーム集束装置において、2個以上
    のビーム集束装置を直列にし、各ビーム集束装置は互い
    のビームダクト周囲の電線が直列にならばないように、
    少しづつ回転つせて接続したことを特徴とする、荷電粒
    子のビーム集束装置。
JP2322857A 1990-11-28 1990-11-28 ビーム集束装置 Pending JPH04196100A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015045468A1 (ja) * 2013-09-30 2017-03-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015045468A1 (ja) * 2013-09-30 2017-03-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム装置
US10319558B2 (en) 2013-09-30 2019-06-11 Hitachi High-Technologies Corporation Charged particle beam device

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