JPH04184264A - Method for high density wiring and probe for display panel - Google Patents

Method for high density wiring and probe for display panel

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JPH04184264A
JPH04184264A JP31513190A JP31513190A JPH04184264A JP H04184264 A JPH04184264 A JP H04184264A JP 31513190 A JP31513190 A JP 31513190A JP 31513190 A JP31513190 A JP 31513190A JP H04184264 A JPH04184264 A JP H04184264A
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electrode
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Abstract

PURPOSE:To obtain high-density wiring in a simple structure by arranging a plurality of film substrates in a layered structure, and connecting a flexible wiring substrate with an electrode at one end of the layered structure or integrally forming the film substrates with the flexible substrate. CONSTITUTION:A probe made of a plurality of thin wires is fixed onto a supporting base. An end of the probe is positioned corresponding to the pitch of the electrodes of an LCD panel to be measured. The supporting base is bonded to a probe mounting plate, and a film substrate is provided at the lower face of the probe mounting plate. The film substrate has a wiring and a connecting electrode formed at one face (lower face) thereof in a layered structure with a step difference to expose a connecting electrode part. A connecting end of the probe is connected by soldering or the like to an end of the film substrate. The electrode at the other end of the film substrate is connected with a flexible wiring substrate. When the other end of the flexible wiring substrate is extended and inserted into a connector, electric contact is achieved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高密度配線方法と表示パネル用プローブに
関し、例えば大型の液晶(以下、単にLCDという場合
がある)表示パネルに用いられるプローブ等に利用して
有効な技術に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a high-density wiring method and a probe for a display panel, such as a probe used for a large liquid crystal (hereinafter sometimes simply referred to as LCD) display panel. It is related to effective technology that can be used for.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

液晶表示パネル用プローバとして、例えば特開昭61−
70579号公報がある。このブローバは、表示パネル
の載置台に対してX軸ステージにより表示パネルのX軸
に沿って平行移動するXプローブヘッドと、Y軸ステー
ジにより表示パネルのY軸に沿って平行移動するYプロ
ーブヘッドとともに、表示パネルのX軸及びY軸に沿っ
て平行移動するXYステージにより表示パネルの任意の
位置に接触する第3のプローブヘッドを設けるものであ
る。
For example, as a prober for liquid crystal display panels,
There is a publication No. 70579. This blower consists of an X-probe head that moves parallel to the display panel mounting table along the X-axis of the display panel using an X-axis stage, and a Y-probe head that moves parallel to the Y-axis of the display panel using a Y-axis stage. In addition, a third probe head is provided that contacts any position on the display panel by means of an XY stage that moves in parallel along the X-axis and Y-axis of the display panel.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記の表示パネル用プローバでは、アクティブマトリッ
クス方式の液晶表示パネルの場合、各画素毎に対して逐
一チエツクを行うものである。このため、液晶表示パネ
ルの大画面、言い換えるならば、多画素化に伴い試験時
間が膨大になるという問題がある。そこで、本願発明者
等は、先に表示パネルの全電極に同時接触させる表示パ
ネル用プローブを考えた。この場合、多数からなる表示
パネル用電極に対応して設けられる多数のプローブに一
対一に対応させて電気的に接続するための高密度配線方
法が新たに必要になった。
In the case of an active matrix liquid crystal display panel, the display panel prober described above checks each pixel one by one. For this reason, there is a problem that the test time becomes enormous as the screen of the liquid crystal display panel becomes larger, or in other words, the number of pixels increases. Therefore, the inventors of the present application first devised a probe for a display panel that simultaneously contacts all electrodes of the display panel. In this case, a new high-density wiring method for electrically connecting a large number of probes provided in correspondence with a large number of display panel electrodes in a one-to-one correspondence has become necessary.

この発明の目的は、簡単な構成による高密度配線方法と
試験時間の大幅短縮化を実現した表示パネル用プローブ
とを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a high-density wiring method with a simple configuration and a display panel probe that achieves a significant reduction in test time.

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、両端の接続電極が片面側に設けられるととも
に上記接続電極形成部が露出するように段差を持って複
数からなるフィルム基板を用いて積層構造にし、上記一
端の電極に対してフレキシブル配線基板を接続する0表
示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数のプロー
ブを持つプローブアンセンブリと、両端の接続電極が片
面側に設けられるとともに上記接続電極形成部が露出す
るように段差を持って複数からなる積層構造にされた一
方の電極側に上記プローブの接続端を接続し、上記フィ
ルム基板の露出された他端の電極に対してそれぞれ一端
が接続されたフレキシブル配線基板を設け、他端側をコ
ネクタに挿入してプローブの電気的経路を構成する。
That is, the connection electrodes at both ends are provided on one side, and a laminated structure is formed using a plurality of film substrates with steps so that the connection electrode forming portion is exposed, and a flexible wiring board is attached to the electrode at one end. A probe assembly having a plurality of probes arranged at the same pitch as the electrodes of the 0 display panel to be connected, and a plurality of probes having connection electrodes at both ends on one side and having a step so that the connection electrode forming part is exposed. The connecting end of the probe is connected to one electrode side which has a laminated structure, and a flexible wiring board is provided with one end connected to the electrode at the exposed other end of the film substrate, and the other end side is connected to the connecting end of the probe. into the connector to configure the electrical path for the probe.

〔作 用〕[For production]

上記した手段によれば、上記積層フィルム基板を介在さ
せることにより、フレキシブル配線基板を用いた高密度
配線が実現できる。表示パネルの大画面化に伴う電極の
増大に対して、上記高密度配線方法を用いることにより
、簡単な方法により多数のプローブとの電気的経路を構
成することができ試験時間の短縮化が図られる。
According to the above-described means, by interposing the laminated film substrate, high-density wiring using a flexible wiring board can be realized. As the number of electrodes increases due to larger display panels, by using the high-density wiring method described above, it is possible to construct electrical paths with a large number of probes in a simple manner, reducing test time. It will be done.

〔実施例〕〔Example〕

第4図には、この発明に係る表示パネル用プローブの一
実施例の平面図が示されている。
FIG. 4 shows a plan view of an embodiment of the display panel probe according to the present invention.

この実施例では、試験時間の短縮化等のために液晶表示
(以下、単にLCDという)パネルの全電極に対して同
時接触を行うようにする。このようにLCDパネルの全
電極に対して同時接触を行うようにする場合、LCDパ
ネルの多数からなる全電極に一対一に対応して設けらる
プローブの数も膨大となり、そのプローブ自身の取り付
は作業が難しく、かつ、電気的な信号経路を構成するた
めの配線作業も煩わしいものとなる。
In this embodiment, all electrodes of a liquid crystal display (hereinafter simply referred to as LCD) panel are contacted simultaneously in order to shorten test time. In this way, when simultaneously contacting all the electrodes on the LCD panel, the number of probes that are provided in one-to-one correspondence with all the electrodes on the LCD panel becomes enormous, and the probes themselves have to be The wiring work for configuring the electrical signal path is also difficult.

この実施例では、LCDパネルの持つ電極に対して比較
的少ない数からなる複数のプローブが固定的に設けられ
るプローブアッセンブリユニットを用いる。すなわち、
上記LCDパネルの持つ多数の電極に対して分担させて
上記各プローブアッセンブリユニットを割り当てるよう
にする。特に制限されないが、この実施例では、LCD
パネルを横方向に走るように配置される走査線に対応し
た電極を3分割して、3つからなるプローブアッセンブ
リユニットを設ける。また、LCDパネルを縦方向に走
るように配置される信号線に対応した電極を4分割して
、4つからなるプローブアッセンブリユニットを設ける
。この場合、LCDパネルの長手方向に配置される4つ
のプローブアッセンブリユニットは、同一の信号線の両
端に対して電気的接触を行うようにするものである。こ
のようにプローブを配置したときには、両端での導通チ
エツクにより、信号線電極の途中断線を簡単に検出する
ことが可能となる。
In this embodiment, a probe assembly unit is used in which a plurality of relatively small number of probes are fixedly provided to electrodes of an LCD panel. That is,
Each probe assembly unit is assigned to a large number of electrodes of the LCD panel. Although not particularly limited, in this embodiment, the LCD
The electrodes corresponding to the scanning lines arranged to run horizontally across the panel are divided into three parts to provide a three-piece probe assembly unit. Further, the electrodes corresponding to the signal lines arranged to run in the vertical direction of the LCD panel are divided into four parts, and a probe assembly unit consisting of four parts is provided. In this case, the four probe assembly units arranged in the longitudinal direction of the LCD panel are intended to make electrical contact with both ends of the same signal line. When the probes are arranged in this manner, it is possible to easily detect a break in the signal line electrode by checking continuity at both ends.

上記のように同一の信号線の両端にプローブを割り当て
るものの他、LCDパネルの信号線電極を奇数番目と偶
数番目のものに分割し、例えば上側のプローブアッセン
ブリユニットは1つおきに奇数番目の信号線電極に接続
し、下側のプローブアッセンブリユニットは、1つのお
きに偶数番目の信号線電極に接続するようにしてもよい
。この場合は、プローブの数を半分にでき、かつそのピ
ッチを信号線電極のピッチの2倍に大きくすることがで
きる。その反面、上記信号線に画素信号を供給し、画素
の明点検査や暗点検査により間接的に信号線の断線等を
検出する方式を採るものとなる。
In addition to assigning probes to both ends of the same signal line as described above, the signal line electrodes of the LCD panel can be divided into odd-numbered and even-numbered ones, and for example, the upper probe assembly unit is assigned every other odd-numbered signal line. The lower probe assembly unit may be connected to every other even-numbered signal line electrode. In this case, the number of probes can be halved and the pitch can be made twice as large as the pitch of the signal line electrodes. On the other hand, a method is adopted in which a pixel signal is supplied to the signal line and a disconnection of the signal line is indirectly detected through bright spot inspection or dark spot inspection of the pixel.

このことは、LCDパネルの横方向に延長されるよう配
置される走査線電極に対応して、左右に3個ずつ設けら
れるプローブアッセンブリユニットにおいても同様であ
る。
This also applies to the probe assembly units, which are provided three on each side, corresponding to the scanning line electrodes arranged to extend in the lateral direction of the LCD panel.

LCDパネルの4つの各辺に対応して設けられる各プロ
ーブアッセンブリユニットは、後述するようにプローブ
の固定端側か接続されるプローブ基板とこの発明に係る
高密度配線方法が採用される。
Each probe assembly unit provided corresponding to each of the four sides of the LCD panel employs the high-density wiring method according to the present invention with a probe substrate to which the fixed end side of the probe is connected, as will be described later.

後述するような高密度配線方法に用いられるフレキシブ
ル配線基板の他端側は、特に制限されないが、コネクタ
取付基板に設けられたコネクタに挿入されるようにされ
る。同図においては、取付板の下側に位置する各部品を
点線で示すものである。ただし、コネクタは、この実施
例の理解を容易にするため実線で示すものである。また
、取付板の上面側に設けられるマニピュレータやLCD
パネルの表面に設けられる偏光板等は省略されている。
The other end of the flexible wiring board used in a high-density wiring method as described below is inserted into a connector provided on a connector mounting board, although this is not particularly limited. In the figure, each component located below the mounting plate is indicated by a dotted line. However, the connectors are shown as solid lines to facilitate understanding of this embodiment. In addition, the manipulator and LCD installed on the top side of the mounting plate
Polarizing plates and the like provided on the surface of the panel are omitted.

第1図には、プローブアッセンブリユニットとそのプロ
ーブに対する配線経路の一実施例の側面図が示されてい
る。
FIG. 1 shows a side view of one embodiment of a probe assembly unit and its wiring path for the probe.

複数の細い線条からなるプローブは、その先端が測定す
べきLCDパネルの電極のピッチに対応して位置合わせ
され、その状態を維持するよう支持台上に固定される。
The tip of the probe, which is made up of a plurality of thin filaments, is aligned in accordance with the pitch of the electrodes of the LCD panel to be measured, and is fixed on a support stand so as to maintain this position.

このようなプローブの固定方法は、例えば加熱処理等に
より熱硬化する接着剤等を用いて支持台表面にプローブ
を固着させる。
In this method of fixing the probe, the probe is fixed to the surface of the support using an adhesive or the like that is thermoset by heat treatment or the like.

特に制限されないが、半導体ウェハ用の固定プローブボ
ードと同様な位置合わせ技術を用いて上記プローブの先
端を揃えておき、その状態で支持台と接着剤を用いて複
数のプローブを固定する。このように組み立てられる複
数のプローブは、その先端が正しく位置合わせされた関
係で支持台により固定される。
Although not particularly limited, the tips of the probes are aligned using a positioning technique similar to that used for fixed probe boards for semiconductor wafers, and in this state, the plurality of probes are fixed using a support stand and an adhesive. The plurality of probes assembled in this manner are secured by the support with their tips in properly aligned relationship.

このように複数のプローブを固定する支持台は、プロー
ブ取付板に接着される。プローブ取付板は、特に制限さ
れないが、表面が酸化処理されることにより、電気絶縁
性を持つようにされたアルミユニラムから構成される。
The support base for fixing the plurality of probes in this manner is adhered to the probe mounting plate. Although not particularly limited, the probe mounting plate is made of aluminum uniram whose surface is oxidized to have electrical insulation properties.

このプローブ取付板は、その下面側にフィルム基板が設
けられる。特に制限されないが、このフィルム基板は、
片面(下面)側に配線と接続電極が形成されてるととと
もに、上記接続電極部が露出するように段差を持った積
層構造にされる。
This probe mounting plate is provided with a film substrate on its lower surface side. Although not particularly limited, this film substrate is
Wiring and connection electrodes are formed on one side (lower surface), and the layered structure has a step difference so that the connection electrode portion is exposed.

上記フィルム基板の一端にはプローブの接続端が半田等
により接続される。この積層構造からなるフィルム基板
では、各層毎に支持台との距離が異なるようにされる。
A connection end of a probe is connected to one end of the film substrate by solder or the like. In the film substrate having this laminated structure, the distance from the support base is made different for each layer.

それ故、上記のように先端が位置合わせされたプローブ
の他端側は、上記フィルム基板の接続電極の位置に対応
して適宜切断又は折り曲げられる。上記プローブは、支
持台により固定されているから、接続端側を折り曲げて
も先端側それに無関係に前記位置合わせされた状態に維
持される。
Therefore, the other end of the probe whose tip is aligned as described above is cut or bent as appropriate in accordance with the position of the connection electrode of the film substrate. Since the probe is fixed by the support base, even if the connecting end side is bent, the probe is maintained in the aligned state regardless of the distal end side.

上記フィルム基板の他端側電極にはフレキシブル配線基
板が接続される。このフィルム基板とフレキシブル配線
基板との接続部ハンダ付けにより行われる。そして、フ
レシキブル配線基板は、その他端側か延びて前記第4図
に示したようなコネクタに挿入されることによって電気
的な接続が行われる。
A flexible wiring board is connected to the other end side electrode of the film substrate. This is done by soldering the connection portion between the film substrate and the flexible wiring board. Then, the other end of the flexible wiring board is extended and inserted into a connector as shown in FIG. 4, thereby establishing an electrical connection.

上記プローブ取付板は、その上面側に設けられるマニピ
ュレータによりX、Y及びZ並びにθ方向の移動が可能
にされる。これにより、上記複数からなるプローブアッ
センブリがベースプレート(取付板)に組み立てられた
とき、電気的な接続を得るべきLCDパネルの電極に対
して各プローブアッセンブリの単位でのプローブ先端の
微調整が行われる。
The probe mounting plate can be moved in the X, Y, Z, and θ directions by a manipulator provided on its upper surface. As a result, when the plurality of probe assemblies described above are assembled on the base plate (mounting plate), the probe tip of each probe assembly is finely adjusted to the electrode of the LCD panel to which electrical connection is to be made. .

第2図には、上記プローブアッセンブリユニットがプロ
ーブ取付板に取り付けられた状態の一実施例の拡大側面
図が示され、第3図にはそれに対応したフィルム基板の
一実施例の平面図が示されている。
FIG. 2 shows an enlarged side view of one embodiment of the probe assembly unit attached to the probe mounting plate, and FIG. 3 shows a corresponding plan view of one embodiment of the film substrate. has been done.

この実施例では、第1層ないし第3層からなる片面フィ
ルム基板を重ね合わせで用いる。この場合、上層側はそ
の長さを短くして下層の接続電極が露出するように段差
を持って積層構造にされる。
In this embodiment, single-sided film substrates consisting of first to third layers are used in a stacked manner. In this case, the length of the upper layer is shortened to form a layered structure with a step difference so that the connection electrode of the lower layer is exposed.

すなわち、第2層目のフィルム基板は、第1層目のフィ
ルム基板に対して長さが短くされ、重ね合わせたときに
IN目の黒丸で示したプローブ接続電極と、実線で示し
たフレキシブル配線基板接続部が露出するようにされる
。そして、第3層目のフィルム基板は、第2層目のフィ
ルム基板に対して更に長さが短くされ、重ね合わせたと
きに2層目の黒丸で示したプローブ接続電極と、実線で
示したフレキシブル配線基板接続部が露出するようにさ
れる。なお、最上位である第3層目のフィルム基板は、
全表面が露出しており、同図のようなパターンの配線及
び電極が形成されている。このことは、他の第1層目と
第2層目のフィルム配線も同様であり、フィルムの長さ
に応じて配線長さがそれぞれ長くされるだけである。
In other words, the length of the second layer film substrate is shorter than that of the first layer film substrate, and when stacked, the probe connection electrode shown by the black circle at the IN eye and the flexible wiring shown by the solid line are separated. The board connection portion is exposed. The length of the third layer film substrate is made even shorter than that of the second layer film substrate, and when stacked, the probe connection electrode of the second layer is shown as a black circle, and the probe connection electrode is shown as a solid line. The flexible wiring board connection portion is exposed. In addition, the third layer film substrate, which is the top layer, is
The entire surface is exposed, and wiring and electrodes are formed in the pattern shown in the figure. This is the same for the other first layer and second layer film wiring, and the length of each wiring is only increased according to the length of the film.

特に制限されないが、上記フィルム基板上に形成された
配線及び電極の全表面が露出していてもよいし、接続部
だけ露出させて他は薄い絶縁性の樹脂等を塗布するもの
であってもよい。
Although not particularly limited, the entire surface of the wiring and electrodes formed on the film substrate may be exposed, or only the connecting portions may be exposed and the rest may be coated with a thin insulating resin, etc. good.

上記のように簡単な片面フィルム基板を用いてそれを単
に積層構造にするだけで、同図の示すように小さなエリ
アに多数のプローブを接続させることが可能な接続電極
を形成することができる。
By simply forming a laminated structure using a simple single-sided film substrate as described above, it is possible to form connection electrodes that can connect a large number of probes in a small area, as shown in the figure.

この実施例のように3層構造にすることにより、同じ実
装スペースに実質的に3倍の配線を構成することができ
る。なお、このような高密度配線方法においては、プロ
ーブやフレキシブル配線基板との接続は、1層目のフィ
ルム基板がら順に行うことはいうまでもない。
By forming a three-layer structure as in this embodiment, it is possible to configure substantially three times as many wiring lines in the same mounting space. In addition, in such a high-density wiring method, it goes without saying that the connections with the probes and the flexible wiring board are performed in order starting from the first layer of the film board.

上記表示用プローブを用いた液晶パネルの試験の概略は
、次の通りである。
The outline of the test of the liquid crystal panel using the above-mentioned display probe is as follows.

液晶パネルが単純マトリックス構成である場合、表示パ
ネルの横方向と縦方向に走査線と信号線が配置される。
When a liquid crystal panel has a simple matrix configuration, scanning lines and signal lines are arranged in the horizontal and vertical directions of the display panel.

この場合、上記信号線と走査線の両端に上記プローブを
押し当てて、その断線チエツクを行う。この後、必要に
応じて駆動信号を供給して全点灯試験と全非点灯試験等
のような液晶の表示試験を行う。
In this case, the probe is pressed against both ends of the signal line and the scanning line to check for disconnection. Thereafter, a drive signal is supplied as necessary to perform liquid crystal display tests such as an all-on test and an all-off test.

液晶表示パネルがアクティブマトリックス構成である場
合、上記のような信号線と走査線の断線チエツクの他に
、各画素毎に設けられるTFTトランジスタのオン、オ
フ試験を行うことが必要である。このため、最低でも全
点灯状態や全非点灯状態の確認を通して上記TPT)ラ
ンジスタのオン状態/オフ状態のチエツクを行うことが
必要とされる。この場合、この実施例のように、表示パ
ネルの全電極に対して同時接触を行うものであるため、
実際の可動状態と同じ条件での試験が可能になる。
When the liquid crystal display panel has an active matrix configuration, in addition to checking for disconnections in the signal lines and scanning lines as described above, it is necessary to perform an on/off test on the TFT transistor provided for each pixel. For this reason, it is necessary to check the on/off states of the above-mentioned TPT transistors by at least checking whether all the transistors are lit or not. In this case, as in this embodiment, all electrodes of the display panel are contacted at the same time;
Tests can be performed under the same conditions as actual operating conditions.

第5図には、プローブアンセンブリユニットとそのプロ
ーブに対する配線経路の他の一実施例の側面図が示され
ている。
FIG. 5 shows a side view of another embodiment of the probe assembly unit and its wiring path for the probe.

前記実施例と同様に、複数の細い線条からなるプローブ
は、その先端が測定すべきLCDパネルの電極のピッチ
に対応して位置合わせされ、その状態を維持するよう支
持台上に固定される。このようなプローブの固定方法は
、例えば加熱処理等により熱硬化する接着剤等を用いて
支持台表面にプローブを固着させる。特に制限されない
が、半導体ウェハ用の固定プローブボードと同様な位置
合わせ技術を用いて上記プローブの先端を揃えておき、
その状態で支持台と接着剤を用いて複数のプローブを固
定する。このように組み立てられる複数のプローブは、
その先端が正しく位置合わせされた関係で支持台により
固定される。
As in the previous embodiment, the tip of the probe consisting of a plurality of thin filaments is aligned in accordance with the pitch of the electrodes of the LCD panel to be measured, and is fixed on the support stand to maintain this state. . In this method of fixing the probe, the probe is fixed to the surface of the support using an adhesive or the like that is thermoset by heat treatment or the like. Although not particularly limited, the tips of the probes are aligned using an alignment technique similar to that used for fixed probe boards for semiconductor wafers,
In this state, multiple probes are fixed using a support stand and adhesive. Multiple probes assembled in this way are
The tips are secured in properly aligned relationship by the support.

このように複数のプローブに対する電気的信号経路とし
て、この実施例ではフレキシブル基板を積層構造にして
その一端側をプローブの接続電極として他端側はそのま
ま延びて前記コネクタに接続するものである。すなわち
、この実施例では、プローブの電気的信号経路として前
記実施例のようにフィルム基板とフレキシブル基板の2
つのフラットケーブルを組み合わせるのではなく、フレ
キシブル基板として、FPC(フレキシブル・プリント
・サーキット)を用い、そのプローブ接続端側を前記同
様に積層構造にして高密度の接続端を構成するものであ
る。このため、FPCは前記同様に段差を持って接着剤
により積層構造に組み合わられるとともにプローブ取付
板に接着される。
In this embodiment, as an electrical signal path for a plurality of probes, a flexible substrate is formed into a laminated structure, one end of which serves as a connection electrode for the probes, and the other end extending as is and connected to the connector. That is, in this embodiment, as the electrical signal path of the probe, two of the film substrate and the flexible substrate are used as in the previous embodiment.
Instead of combining two flat cables, an FPC (flexible printed circuit) is used as a flexible substrate, and the probe connection end side thereof has a laminated structure in the same manner as described above to construct a high-density connection end. For this reason, the FPCs are combined into a laminated structure with an adhesive with steps as described above, and are bonded to the probe mounting plate.

他端側はそれぞれがフリーにされて対応するコネクタ(
図示せず)に挿入される。他の構成は、前記実施例と同
様であるので、その詳細な説明を省略する。
The other end is left free with its corresponding connector (
(not shown). Since the other configurations are the same as those of the previous embodiment, detailed explanation thereof will be omitted.

この構成では、前記第1図の実施例のようにフィルム基
板とフレキシブル配線基板との接続が省略できるから、
組み立て工数の削減と良好な信号伝達特性を得ることが
できる。
With this configuration, the connection between the film board and the flexible wiring board can be omitted as in the embodiment shown in FIG.
It is possible to reduce assembly man-hours and obtain good signal transmission characteristics.

第6図には、フィルム基板とフレキシブル基板との接続
方法を説明するための他の一実施例の平面図が示されて
いる。
FIG. 6 shows a plan view of another embodiment for explaining a method of connecting a film substrate and a flexible substrate.

この実施例では、積層構造にされたフィルム基板として
FPC(フレキシブル・プリント・サーキット)を用い
、それに対してFFC(フレキシブル・フラット・ケー
ブル)を用いて接続を行う。
In this embodiment, an FPC (flexible printed circuit) is used as a film substrate having a laminated structure, and connection is made to it using an FFC (flexible flat cable).

このFFCは、FPCと異なり個々の細いリード線を薄
い板状に接着して1つのフレキシブル配線構造にするも
のである。それ故、先端を個々のリード線に独立に分離
することができる。それ故、フィルム基板の最下列の配
線において、1層目をプローブ番号を1とし、2層目を
プローブ番号2.3層目をプローブ番号3とし、FFC
との接続においてその下側のケーブルから順に1.2.
3とコネクタのピン番号に対応させるように接続を行う
、このように3層にまたがって区々に配分されるプロー
ブ番号を1つのフレキシブル配線FFCの各リード線に
対して順序よく割り振りすることができる。このような
3層構造のフィルム基板に対して1つのFFCを接続す
ることにより、コネクタとの接続において接続ミスを未
然に防ぐことができる。すなわち、前記第1図又は第5
図の実施例では、3つのフレキシブル基板を3つのコネ
クタに接続するとき、接続ミスの戊があるが、上記のよ
うなFFCを用いることによりそのような接続ミスを防
止することができる。
This FFC differs from FPC in that individual thin lead wires are glued together in a thin plate shape to form one flexible wiring structure. Therefore, the tips can be independently separated into individual leads. Therefore, in the wiring on the bottom row of the film board, the first layer has probe number 1, the second layer has probe number 2, the third layer has probe number 3, and the FFC
In connection with 1.2. from the lower cable.
3 and connector pin numbers. In this way, the probe numbers distributed separately across three layers can be assigned in order to each lead wire of one flexible wiring FFC. . By connecting one FFC to a film substrate having such a three-layer structure, it is possible to prevent connection errors in connection with a connector. That is, the above-mentioned Fig. 1 or Fig. 5
In the illustrated embodiment, there is a possibility of connection errors when connecting three flexible substrates to three connectors, but such connection errors can be prevented by using the above-mentioned FFC.

上記実施例から得られる作用効果は、下記の通りである
。すなわち、 (11両端の接続電極が片面側に設けられるとともに上
記接続電極形成部が露出するように段差を持って複数か
らなるフィルム基板を用いて積層構造にし、上記一端の
電極に対してフレキシブル配線基板を接続することより
、簡単な構造で高密度の配線経路を得ることができると
いう効果が得られる。
The effects obtained from the above examples are as follows. That is, (11) A laminated structure is formed using a plurality of film substrates with steps such that the connection electrodes at both ends are provided on one side and the connection electrode formation portion is exposed, and flexible wiring is connected to the electrode at one end. By connecting the substrates, it is possible to obtain a high-density wiring route with a simple structure.

(2)上記フレキシブル基板としてフレキシブル・フラ
ット・ケーブルを用い、その接続端側を個々のリード線
に分離して上記フィルム基板にまたがって一定の順序の
端子番号に対応させることよりり外部との接続が容易に
なるという効果が得られる。
(2) Connecting to the outside by using a flexible flat cable as the flexible board, separating the connection end into individual lead wires, and connecting them to terminal numbers in a fixed order across the film board. This has the effect of making it easier.

(3)上記積層構造のフィルム基板及びフレキシブル基
板としてFPCを用いた一体構成とすることにより、上
記高密度の配線経路を得ることができるとともに相互接
続を省略できるとうい効果が得られる。
(3) By using an integrated structure using FPC as the film substrate and the flexible substrate of the laminated structure, it is possible to obtain the above-mentioned high-density wiring route and to omit interconnections.

(4)表示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数
のプローブを持つプローブアッセンブリと、両端の接続
電極が片面側に設けられるとともに上記接続電極形成部
が露出するように段差を持って複数からなる積層構造に
された一方の電極側に上記プローブの接続端を接続し、
上記フィルム基板の露出された他端の電極に対してそれ
ぞれ一端が接続されたフレキシブル配線基板を設け、他
端側をコネクタに挿入すること、又はFPCを用いて上
記フィルム基板とフレキシブル配線基板を一体的に構造
してプローブの電気的経路を構成することにより、表示
パネルの大画面化に伴う電極の増大に対して簡単な方法
により多数のプローブとの電気的経路を構成することが
でき試験時間の短縮化が図られるという効果が得られる
(4) A probe assembly having a plurality of probes arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel, and the connection electrodes at both ends are provided on one side, and the plurality of probes are arranged with a step so that the connection electrode forming part is exposed. Connect the connection end of the probe to one electrode side that has a laminated structure,
A flexible wiring board is provided, one end of which is connected to the exposed electrode at the other end of the film board, and the other end is inserted into a connector, or the film board and flexible wiring board are integrated using FPC. By configuring the electrical path of the probe by configuring the electrical path of the probe, it is possible to configure the electrical path with a large number of probes in a simple manner, even though the number of electrodes increases due to the larger screen of the display panel, and the test time can be reduced. The effect is that the time period can be shortened.

以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、プローブアッセ
ンブリユニットの数は、検査を行うべきLCDパネルの
大きさに対応して区々となるものである。例えば、ラッ
プトツブ型マイクロコンピュータ用のLCDパネルでは
、縦横の比がカラーテレビジョンのように3対4にされ
るものではなく、10対4のように任意に設定される。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-mentioned Examples, and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor. For example, the number of probe assembly units varies depending on the size of the LCD panel to be tested. For example, in an LCD panel for a laptop microcomputer, the aspect ratio is not set to 3:4 as in a color television, but is arbitrarily set to 10:4.

それ故、プローブアッセンブリユニットの数も信号線に
対応して10個設け、走査線に対応して4個設ける等の
ように種々の実施形態を採ることができる。LCDパネ
ルの全電極に対応して上記プローブアッセンブリユニッ
トを複数個一体的に取り付けるための各部材の構成は、
種々の実施形態を採ることができる。例えば、コネクタ
取付基板とアッセンブリ取付板とを一体的に構成するも
のであってもよい。
Therefore, various embodiments can be adopted, such as providing ten probe assembly units corresponding to the signal lines and four probe assembly units corresponding to the scanning lines. The structure of each member for integrally attaching a plurality of the probe assembly units corresponding to all electrodes of the LCD panel is as follows:
Various embodiments are possible. For example, the connector mounting board and the assembly mounting plate may be integrally constructed.

また、フィルム基板は、両端の接続部のみを片面に設け
、途中の配線は両面又は多層配線構造にするものであっ
てもよい。同様にフレキシブル配線基板も接続部を片面
に設け、途中では両面や多層構造にしてもよい。上記フ
ィルム基板の一端側にはプローブの他、半導体集積回路
装置や表示パネル等の小型で高密度の電極を持つ電子機
器の電極が接続されるものであってもよい。この場合の
接続は、リード線等を用いて個々の電極毎に接続したり
、あるいは適当な高密度配線基板を用いるものであって
もよい。そして、積層構造にするフィルム基板又はFP
CO数は、3Nの他2層や4層等の複数層であればよい
Further, the film substrate may be provided with only the connection portions at both ends on one side, and the wiring in the middle may be on both sides or have a multilayer wiring structure. Similarly, a flexible wiring board may also have a connecting portion on one side, and may have a double-sided structure or a multilayer structure in the middle. In addition to the probe, an electrode of an electronic device having small and high-density electrodes such as a semiconductor integrated circuit device or a display panel may be connected to one end side of the film substrate. In this case, the connection may be made by connecting each electrode using a lead wire or the like, or by using an appropriate high-density wiring board. Then, a film substrate or FP to have a laminated structure
The number of COs may be 3N or a plurality of layers such as 2 layers or 4 layers.

この発明に係る表示パネル用プローブは、前記液晶パネ
ル等のガラス基板の他、各種表示パネルに広く利用する
ことができる。
The display panel probe according to the present invention can be widely used in various display panels in addition to glass substrates such as the liquid crystal panel described above.

C発明の効果〕 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、両端の接続電極が片面側に設けられるとと
もに上記接続電極形成部が露出するように段差を持って
複数からなるフィルム基板を用いて積層構造にし、上記
一端の電極に対してフレキシブル配線基板を接続するこ
と又はFPCを用いて上記フィルム基板とフレキシブル
基板を一体構造にすることにより、簡単な構造で高密度
の配線経路を得ることができる。また、表示パネルの電
極と同一ピッチに配列された複数のプローブを持つプロ
ーブアッセンブリと、両端の接続電極が片面側に設けら
れるとともに上記接続電極形成部が露出するように段差
を持って複数からなる積層構造にされた一方の電極側に
上記プローブの接続端を接続し、上記フィルム基板の露
出、された他端の電極に対してそれぞれ一端が接続され
たフレキシブル配線基板を設は又はFPCを用いて上記
フィルム基板とフレキシブル基板を一体構造にし、他端
側をコネクタに挿入してプローブの電気的経路を構成す
ることにより、表示パネルの大画面化に伴う電極の増大
に対して簡単な方法により多数のプローブとの電気的経
路を構成することができ、試験時間の短縮化が可能にな
る。
C Effects of the Invention] The effects obtained by typical inventions disclosed in this application are briefly explained below. That is, the connection electrodes at both ends are provided on one side, and a laminated structure is formed using a plurality of film substrates with steps so that the connection electrode forming portion is exposed, and a flexible wiring board is attached to the electrode at one end. By connecting the film substrate and the flexible substrate into an integral structure using FPC, a high-density wiring route can be obtained with a simple structure. In addition, the probe assembly has a plurality of probes arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel, and the connection electrodes at both ends are provided on one side, and the plurality of probes are provided with a step so that the connection electrode forming part is exposed. Connect the connection end of the probe to one electrode side of the laminated structure, and use a flexible wiring board or FPC with one end connected to the electrode at the other exposed end of the film substrate. By making the above film substrate and flexible substrate into an integrated structure, and inserting the other end into a connector to form an electrical path for the probe, it is possible to easily cope with the increase in the number of electrodes due to the enlargement of display panels. Electrical paths can be configured with a large number of probes, making it possible to shorten test time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明に係る表示用プローブのプローブア
ッセンブリユニットとそのプローブに対する配線経路の
一実施例を示す側面図、第2図は、上記プローブアッセ
ンブリユニットがプローブ取付板に取り付けられた状態
の一実施例を示す拡大側面図、 第3図は、それに対応したフィルム基板の一実施例を示
す平面図、 第4図は、この発明に係る表示パネル用プローブの一実
施例を示す平面図、 第5図は、プローブアッセンブリユニットとそのプロー
ブに対する配線経路の他の一実施例を示す側面図、 第6図は、フィルム基板とフレキシブル基板との接続方
法を説明するための他の一実施例を示す平面図である。
FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a probe assembly unit of a display probe according to the present invention and a wiring route for the probe, and FIG. 2 is a side view showing an example of the probe assembly unit attached to a probe mounting plate. An enlarged side view showing one embodiment; FIG. 3 is a plan view showing one embodiment of a film substrate corresponding thereto; FIG. 4 is a plan view showing one embodiment of the display panel probe according to the present invention; FIG. 5 is a side view showing another embodiment of the probe assembly unit and its wiring route for the probe. FIG. 6 is a side view showing another embodiment of the wiring route for the probe assembly unit and its probe. FIG.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、両端の接続電極が片面側に設けられるとともに上記
接続電極形成部が露出するように段差を持って複数から
なるフィルム基板を積層構造にし、その露出された一端
の電極に対してそれぞれフレキシブル配線基板の一端側
を接続することを特徴とする高密度配線方法。 2、上記フレキシブル配線基板の他端側は、その配線ピ
ッチに合わせた電極を持つコネクタに挿入されることに
より電気的な接続が行われるものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の高密度配線方法。 3、上記フレキシブル基板はフレキシブル・フラット・
ケーブルからなり、その接続端側を個々のリード線に分
離して複数のフィルム基板にまたがって一定の順序の端
子番号に対応させるように接続するものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の高密度配線方法。 4、少なくとも一端の接続電極が片面側に設けられると
ともにその接続電極形成部が露出するように段差を持っ
て複数からなるフレキシブル配線基板を積層構造にし、
他端をコネクタに挿入することにより電気的な接続を得
ること特徴とする高密度配線方法。 5、表示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数の
プローブと、両端の接続電極が片面側に設けられるとと
もに上記接続電極形成部が露出するように段差を持って
積層構造にされ、一方の電極側に上記プローブの接続端
が接続された複数からなるフィルム基板と、上記複数か
らなるフィルム基板の露出された他端の電極に対してそ
れぞれ一端が接続されたフレキシブル配線基板とを用い
たプローブの電気的信号経路を備えてなることを特徴と
する表示パネル用プローブ。 6、表示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数の
プローブと、少なくとも一端の接続電極が片面側に設け
られるとともにその接続電極形成部が露出するように段
差を持って積層構造にされ、上記接続電極に上記プロー
ブの接続端が接続された複数からなるフレキシブル配線
基板を用いたプローブの電気的信号経路を備えてなるこ
とを特徴とする表示パネル用プローブ。
[Claims] 1. A plurality of film substrates are formed into a laminated structure with a step so that the connection electrodes at both ends are provided on one side and the connection electrode formation portion is exposed, and the electrode at one exposed end is formed. A high-density wiring method characterized by connecting one end side of a flexible wiring board to each. 2. The other end side of the flexible wiring board is electrically connected by being inserted into a connector having electrodes that match the wiring pitch of the flexible wiring board, Claim 1 High-density wiring method described. 3. The above flexible board is flexible, flat,
Claim No. 1, characterized in that the cable is made of a cable, and the connection end side of the cable is separated into individual lead wires and connected across a plurality of film substrates so as to correspond to terminal numbers in a fixed order. The high-density wiring method described in item 1. 4. A plurality of flexible wiring boards are formed into a laminated structure with a connection electrode at least one end provided on one side and steps such that the connection electrode formation portion is exposed;
A high-density wiring method characterized in that an electrical connection is obtained by inserting the other end into a connector. 5. A plurality of probes arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel and connection electrodes at both ends are provided on one side, and a layered structure is formed with a step so that the connection electrode forming part is exposed. A probe using a plurality of film substrates to which connection ends of the probes are connected to the electrode side, and a flexible wiring board each having one end connected to an electrode at the other exposed end of the plurality of film substrates. A probe for a display panel, comprising an electrical signal path. 6. A plurality of probes arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel and a connection electrode at at least one end are provided on one side and have a layered structure with steps so that the connection electrode forming part is exposed, and the above-mentioned A probe for a display panel, comprising an electrical signal path of the probe using a plurality of flexible wiring boards each having a connecting end of the probe connected to a connecting electrode.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100462016B1 (en) * 1997-10-23 2005-04-06 삼성전자주식회사 Detachable Probe Frame
WO2006062152A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 Nhk Spring Co., Ltd. Relay connection member, inspection device, and relay connection member manufacturing method
JP2007248322A (en) * 2006-03-17 2007-09-27 Japan Electronic Materials Corp Probe card
JP2012519867A (en) * 2009-03-10 2012-08-30 プロ−2000・カンパニー・リミテッド Probe unit for panel testing
CN103140921A (en) * 2010-09-07 2013-06-05 韩国机械研究院 Probe card and method for manufacturing same
JP2013214642A (en) * 2012-04-03 2013-10-17 Ulvac-Riko Inc Thermoelectric material measurement device
TWI472770B (en) * 2009-03-12 2015-02-11 Pro 2000 Co Ltd Probe card for testing film package

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6361951B1 (en) 1995-06-27 2002-03-26 The University Of North Carolina At Chapel Hill Electrochemical detection of nucleic acid hybridization
US6127127A (en) 1995-06-27 2000-10-03 The University Of North Carolina At Chapel Hill Monolayer and electrode for detecting a label-bearing target and method of use thereof
US6132971A (en) 1995-06-27 2000-10-17 The University Of North Carolina At Chapel Hill Microelectronic device
US6180346B1 (en) 1995-06-27 2001-01-30 The Universtiy Of North Carolina At Chapel Hill Electropolymerizable film, and method of making and use thereof
US6387625B1 (en) 1995-06-27 2002-05-14 The University Of North Carolina At Chapel Hill Monolayer and electrode for detecting a label-bearing target and method of use thereof

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100462016B1 (en) * 1997-10-23 2005-04-06 삼성전자주식회사 Detachable Probe Frame
WO2006062152A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 Nhk Spring Co., Ltd. Relay connection member, inspection device, and relay connection member manufacturing method
JP2006162478A (en) * 2004-12-08 2006-06-22 Nhk Spring Co Ltd Relay connecting member, inspection apparatus, and method of manufacturing the relay connecting member
JP2007248322A (en) * 2006-03-17 2007-09-27 Japan Electronic Materials Corp Probe card
JP2012519867A (en) * 2009-03-10 2012-08-30 プロ−2000・カンパニー・リミテッド Probe unit for panel testing
TWI482972B (en) * 2009-03-10 2015-05-01 Pro 2000 Co Ltd Probe unit for testing panel
TWI472770B (en) * 2009-03-12 2015-02-11 Pro 2000 Co Ltd Probe card for testing film package
CN103140921A (en) * 2010-09-07 2013-06-05 韩国机械研究院 Probe card and method for manufacturing same
JP2013541705A (en) * 2010-09-07 2013-11-14 コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ Probe card and manufacturing method thereof
US9194889B2 (en) 2010-09-07 2015-11-24 Korea Institute Of Machinery & Materials Probe card and manufacturing method thereof
JP2013214642A (en) * 2012-04-03 2013-10-17 Ulvac-Riko Inc Thermoelectric material measurement device

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