JPH04180614A - 液体吐出装置 - Google Patents
液体吐出装置Info
- Publication number
- JPH04180614A JPH04180614A JP30968990A JP30968990A JPH04180614A JP H04180614 A JPH04180614 A JP H04180614A JP 30968990 A JP30968990 A JP 30968990A JP 30968990 A JP30968990 A JP 30968990A JP H04180614 A JPH04180614 A JP H04180614A
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- JP
- Japan
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- liquid
- discharge
- signal line
- discharged
- discharge device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液体吐出装置に関し、特に計量器を設けた液
体吐出装置に関する。
体吐出装置に関する。
従来、この種の液体吐出装置は、第２図に示すように、
マニュアルで設定する吐出圧力と吐出タイムでコントロ
ールされていた。
マニュアルで設定する吐出圧力と吐出タイムでコントロ
ールされていた。
上述した従来の液体吐出装置は、マニュアルで設定する
吐出圧力と吐出タイムで吐出量をコントロールしている
ので、吐出される材料の粘度が経時変化する場合、時間
の経過とともに吐出量が変化するため、常に吐出圧力、
吐出タイムを調整する必要がある。
吐出圧力と吐出タイムで吐出量をコントロールしている
ので、吐出される材料の粘度が経時変化する場合、時間
の経過とともに吐出量が変化するため、常に吐出圧力、
吐出タイムを調整する必要がある。
本発明の目的は、吐出される液体が多くなったり、少な
くなったりしても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐
出時間の設定を変更する必要のな ゛い液体吐出装置
を提供することにある。
くなったりしても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐
出時間の設定を変更する必要のな ゛い液体吐出装置
を提供することにある。
本発明の液体吐出装置は、液体のはいった容器に圧力を
与えて半導体装置上に一定量の液体を吐出させる液体吐
出装置において、吐出された液体を計量する計量器と、
計量結果をレギュレータに送る信号線とを設けたことを
特徴として構成される。
与えて半導体装置上に一定量の液体を吐出させる液体吐
出装置において、吐出された液体を計量する計量器と、
計量結果をレギュレータに送る信号線とを設けたことを
特徴として構成される。
すなわち、本発明によれば、吐出された液体は計量器で
測定され、液体が指定した量まで達すると、そのデータ
は信号線によりレギュレータに送られ吐出タイマが作動
し、吐出する液体量を一定にすることができる。
測定され、液体が指定した量まで達すると、そのデータ
は信号線によりレギュレータに送られ吐出タイマが作動
し、吐出する液体量を一定にすることができる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の概略図である。
は本発明の一実施例の概略図である。
搬送レール７上の半導体装置１に計量器８で計量しなが
ら液体２を吐出する。吐出された液体が設定量になった
ら、計量器８から信号線９を伝って吐出装置本体へ信号
が送られ、液体の吐出を停止する。
ら液体２を吐出する。吐出された液体が設定量になった
ら、計量器８から信号線９を伝って吐出装置本体へ信号
が送られ、液体の吐出を停止する。
以上説明したように本発明は、吐出された液体を計量す
る計量器と、そのデータを伝える信号線を設けることに
より、吐出された液体が多くなったり少なくなったりし
ても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐出時間の設定
を変更する必要がなくなる。
る計量器と、そのデータを伝える信号線を設けることに
より、吐出された液体が多くなったり少なくなったりし
ても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐出時間の設定
を変更する必要がなくなる。
第１図は本発明の一実施例の液体吐出装置の概略図、第
２図は従来の液体吐出装置の一例の概略図である。 １・・・半導体装置、２・−・液体、３・・・容器、４
・１．電磁弁、５・・・レギュレータ、６・・・吐出タ
イマ、７６．。 搬送レール、８・・・計量器、９・・・信号線。
２図は従来の液体吐出装置の一例の概略図である。 １・・・半導体装置、２・−・液体、３・・・容器、４
・１．電磁弁、５・・・レギュレータ、６・・・吐出タ
イマ、７６．。 搬送レール、８・・・計量器、９・・・信号線。
Claims (1)
- 液体のはいった容器に圧力を与えて、半導体装置上に
一定量の液体を吐出させる液体吐出装置において、吐出
された液体を計量する計量器と、計量結果をレギュレー
タに送る信号線とを設けたことを特徴とする液体吐出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30968990A JPH04180614A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30968990A JPH04180614A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 液体吐出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04180614A true JPH04180614A (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=17996100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30968990A Pending JPH04180614A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 液体吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04180614A (ja) |
-
1990
- 1990-11-15 JP JP30968990A patent/JPH04180614A/ja active Pending
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