JPH0417872U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0417872U JPH0417872U JP5704190U JP5704190U JPH0417872U JP H0417872 U JPH0417872 U JP H0417872U JP 5704190 U JP5704190 U JP 5704190U JP 5704190 U JP5704190 U JP 5704190U JP H0417872 U JPH0417872 U JP H0417872U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- rotary coating
- coating jig
- jig
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は、本考案による実施例であり、回転塗
布治具の押え板と羽根を取り付けた基台を示す概
略図である。第２図は、本考案による回転塗布治
具を組み立てた状態を示す概略図である。第３図
は、本考案による回転塗布治具を回転させた状態
を示す概略図である。第４図は、本考案による回
転塗布治具にワークを載せ塗布液を滴下し回転さ
せた状態を示す概略図である。第５図は、従来技
術を用いた回転塗布治具を示す概略図である。第
６図は、第５図に示す回転塗布治具にワークを載
せ塗布液を滴下し回転させた状態を示す概略図で
ある。 １……基台、２……支持ピン、３……固定ピン
、４……ワーク、５……塗布液、６……羽根、７
……気流、８……押え板、９……（本考案による
）基台。
布治具の押え板と羽根を取り付けた基台を示す概
略図である。第２図は、本考案による回転塗布治
具を組み立てた状態を示す概略図である。第３図
は、本考案による回転塗布治具を回転させた状態
を示す概略図である。第４図は、本考案による回
転塗布治具にワークを載せ塗布液を滴下し回転さ
せた状態を示す概略図である。第５図は、従来技
術を用いた回転塗布治具を示す概略図である。第
６図は、第５図に示す回転塗布治具にワークを載
せ塗布液を滴下し回転させた状態を示す概略図で
ある。 １……基台、２……支持ピン、３……固定ピン
、４……ワーク、５……塗布液、６……羽根、７
……気流、８……押え板、９……（本考案による
）基台。
Claims (1)
- 板状のワークを支持し、ワーク面に塗布液を塗
布後、あるいは塗布中にワークを回転させ塗布膜
を形成する為に用いる回転塗布治具において、回
転軸と接続する基台部分とワークを支持固定する
部分の間に内芯方向に気流を巻き込む羽根の部分
を備えることを特徴とする回転塗布治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5704190U JPH0417872U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5704190U JPH0417872U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0417872U true JPH0417872U (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=31581398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5704190U Pending JPH0417872U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0417872U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007273541A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Topcon Corp | ウェハ保持装置 |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP5704190U patent/JPH0417872U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007273541A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Topcon Corp | ウェハ保持装置 |
| JP4694400B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-06-08 | 株式会社トプコン | ウェハ保持装置 |