JPH04177638A - Manufacture of optical information recording medium - Google Patents

Manufacture of optical information recording medium

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Publication number
JPH04177638A
JPH04177638A JP2305526A JP30552690A JPH04177638A JP H04177638 A JPH04177638 A JP H04177638A JP 2305526 A JP2305526 A JP 2305526A JP 30552690 A JP30552690 A JP 30552690A JP H04177638 A JPH04177638 A JP H04177638A
Authority
JP
Japan
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recording
recording medium
area
film
optical
Prior art date
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Pending
Application number
JP2305526A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mikiya Kuroda
黒田 幹也
Toshiki Kasai
利記 河西
Eiji Nakagawa
栄治 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Victor Company of Japan Ltd filed Critical Victor Company of Japan Ltd
Priority to JP2305526A priority Critical patent/JPH04177638A/en
Publication of JPH04177638A publication Critical patent/JPH04177638A/en
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  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a recording medium having high productivity and high reliability easily by coating only a recordable region in irregularities formed to the recording film of a glass original sheet with organic matter. CONSTITUTION:A smoothed glass surface is coated with a photo-resist film as a recording film, and a glass original sheet with the recording film is acquired through heat treatment. Laser beams are converged to the glass original sheet by using an optical modulator, and intensity-modulated by an information signal, and the intensity-modulated laser beams are sensitized as irregularities corresponding to a ROM region and a recordable region as feeble light. Irregularities are formed through developing treatment. Only a RAM region in irregularities shaped to the recording film is coated with organic matter, and the pit of the ROM region and the depth of the tracking groove of the RAM region is made to differ. A specified stamper is formed through processes such as surface conductivity-change treatment, electroforming, peeling, etc. Injection molding is conducted on the basis of the stamper. Accordingly, a desired recording medium is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、光学的情報記録媒体、特に、予め情報が記録
された再生専用域であるROM領域と、随時又は追加し
て情報の書き込みを行なうことができる記録可能域であ
るRAM領域とを有し、コンパクト・ディスクとの互換
性を有する追記型の光学的情報記録媒体の製造方法に関
する。
Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to an optical information recording medium, particularly a ROM area which is a read-only area in which information is recorded in advance, and a ROM area in which information can be written at any time or additionally. The present invention relates to a method for manufacturing a write-once optical information recording medium, which has a RAM area which is a recordable area where data can be written, and is compatible with compact discs.

(従来の技術) 近年、各種の情報信号を高い記録密度で記録することに
ついての要望が高まるにつれて、色々な構成原理や動作
原理に基ずいて作られた情報記録媒体を用いて情報信号
の高密度記録再生が行なわれるようになってきており、
例えば、情報記録媒体の信号面に情報信号に応じた凹凸
を形成させて情報信号の記録を行ない、記録された情報
信号を光学的な手段によって再生するようにしたり、或
いは静電容量値の変化の検出によって再生するようにし
た記録再生装置は、映像信号や音声信号の記録再生用と
して既に実用化されている。
(Prior Art) In recent years, as the demand for recording various information signals at high recording densities has increased, it has become necessary to record high-density information signals using information recording media made based on various structural and operating principles. Density recording and playback is becoming more common,
For example, an information signal may be recorded by forming unevenness on the signal surface of an information recording medium according to the information signal, and the recorded information signal may be reproduced by optical means, or a change in capacitance value may be used. Recording and reproducing apparatuses that perform playback based on the detection of signals have already been put into practical use for recording and playing back video signals and audio signals.

また、各種の技術分野における高密度記録再生の要求に
応じるために、情報記録媒体の記録層に情報信号によっ
て強度変調されたビームを照射することにより、情報記
録媒体における記録層に情報信号に応じた物理変化ある
いは化学変化を生じさせて情報信号の記録が行われるよ
うにした情報記録媒体についても研究が行われるように
なったが、近年、安定な動作を行なう半導体レーザが容
易に得られるようになったのに伴い、レーザ光を用いて
高密度記録再生を行なうようにした各種の光学的記録媒
体(以下、光ディスクと記載されることもある)が既に
実用化されたり、あるいは実用化のための研究開発が行
われている現状にあることは周知のとうりである。
In addition, in order to meet the demands for high-density recording and reproduction in various technical fields, by irradiating the recording layer of the information recording medium with a beam whose intensity is modulated by the information signal, the recording layer of the information recording medium can respond to the information signal. Research has also begun on information recording media in which information signals are recorded by causing physical or chemical changes, but in recent years, it has become easier to obtain semiconductor lasers that operate stably. As a result, various optical recording media (hereinafter sometimes referred to as optical disks) that use laser light to perform high-density recording and reproduction have already been put into practical use, or are on the verge of being put into practical use. It is well known that research and development is currently underway.

すなわち、幾何学的な四部あるいは凸部として形成され
ているビットにより情報信号が記録された原盤から大量
に複製された記録済み光ディスク(再生専用の光ディス
ク)が、例えば、ビデオ・ディスクやコンパクト・ディ
スク等として、一般の家庭にも普及し始めている他、1
回だけユーザが追加して記録できる光ディスク(追記型
光ディスク)や消去可能な光ディスク等が、例えばオフ
ィス用ファイルメモリ、その他の用途での実用化のため
に盛んに研究開発が行われて1)る。
In other words, recorded optical discs (read-only optical discs) that are mass-copied from master discs on which information signals are recorded using bits formed as geometrical four parts or convex parts are, for example, video discs or compact discs. etc., and are beginning to become popular in ordinary households.
Optical discs that allow the user to record data only once (write-once optical discs) and erasable optical discs are being actively researched and developed for practical use in office file memories and other applications1). .

ところで、情報記録媒体の信号面に情報信号と対応する
ビットの配列によって、情報信号力く高密度記録されて
いる形態の情報記録媒体の1つとして知られいるコンパ
クト・ディスクは、780nmの光の波長に対して特定
な関係に設定されてu′する深さのビットの配列によっ
て情報信号が信号面Gこ記録されていると共に、それの
信号面の全面がアルミニウム等の薄膜によって被覆され
た構成となされていて、波長が780nmの光に対して
信号面におけるランドの部分の反射率が70%〜90%
となるように設定されており、情報記録媒体の信号面か
らの情報信号の読み出しを、波長が780nmの光のス
ポットによって行なうようにしてb)る。
By the way, compact discs, which are known as an information recording medium in which information signals are recorded in a powerful and high-density manner by an array of bits corresponding to the information signals on the signal surface of the information recording medium, are capable of transmitting light of 780 nm. An information signal is recorded on the signal surface G by an array of bits set in a specific relationship with respect to the wavelength and has a depth of u', and the entire surface of the signal surface is covered with a thin film such as aluminum. The reflectance of the land portion on the signal surface is 70% to 90% for light with a wavelength of 780 nm.
The information signal is read out from the signal surface of the information recording medium using a spot of light having a wavelength of 780 nm b).

そして、前言己したコンパクト・ディスクからの情報信
号の読み出しは、それの信号面におけるビットの部分か
らの反射光の光量が、ピ・ントの部分で生じる光の干渉
の結果としてランドの部分からの反射光の光量よりも減
少した状態になることを利用して行われており、また、
トラ・ンキング誤差情報も記録跡の部分からの反射光の
光量と、ランドの部分からの反射光の光量との差を用い
て得るようにされている。
When reading an information signal from a compact disc as mentioned above, the amount of light reflected from the bit part on the signal surface is different from the land part as a result of light interference occurring at the focus part. This is done by taking advantage of the fact that the amount of light is reduced compared to the amount of reflected light, and
Tracking error information is also obtained using the difference between the amount of light reflected from the recorded trace portion and the amount of reflected light from the land portion.

さて、前記したコンパクト・ディスクの普及に伴い、コ
ンパクト・ディスク用の再生機を使用して再生の可能な
コンパクト・ディスクとの互換性を有する光ディスクと
して、例えば、再生専用の記録済み領域(以下、ROM
領域・・・・・・リード・オンリー・メモリ領域・・・
・・・と記載されることもある)と追記型光ディスクと
して使用できる記録領域(以下、RAM領域・・・・・
・ランダム・アクセス゛メモリ領域・・・・・・と記載
されることもある)を設けた構成態様の追記型光ディス
ク、或いは全面が記録領域になされている光ディスクに
ついての諸提案もなされるようになったが、前記のよう
にRAM領域が設けられいる構成形態の光ディスクでは
記録時にもトラッキング制御が行われるように透明基板
にトラッキング用の案内溝を設けであるような構成とな
されている。
Now, with the spread of the above-mentioned compact disc, an optical disc that is compatible with a compact disc and can be played using a compact disc player, for example, has a recorded area for playback only (hereinafter referred to as ROM
Area: Read-only memory area...
) and a recording area that can be used as a write-once optical disc (hereinafter referred to as RAM area).
・Various proposals have been made regarding write-once optical discs with random access (sometimes referred to as memory areas), or optical discs whose entire surface is a recording area. However, in an optical disk having a configuration in which a RAM area is provided as described above, a guide groove for tracking is provided in a transparent substrate so that tracking control is performed even during recording.

ところで、コンパクト・ディスクとの互換性を備えてい
る光ディスクとしては、当然のことながら、コンパクト
・ディスクについて定められている再生に関する諸規格
、すなわち、反射率、高周波信号の変調度、高周波信号
の対称性、トラッキング信号出力、クロストーク等に関
する規格値を満足するものでなけれはならないが、コン
パクト・ディスクにおける再生に関する諸規格に対して
満足すべき互換性を備えている追記型の光ディスクを得
ようとする場合に、特に問題になるコンパクト・ディス
クにおける再生に関する諸規格としては、反射率、高周
波信号の変調度、トラッキング信号出力、等が挙げられ
る。
By the way, optical discs that are compatible with compact discs must, of course, comply with the various playback standards established for compact discs, such as reflectance, modulation degree of high-frequency signals, and symmetry of high-frequency signals. The optical disc must satisfy standard values regarding performance, tracking signal output, crosstalk, etc., but it is also important to obtain a write-once optical disc that has satisfactory compatibility with various standards regarding playback on compact discs. In this case, various standards related to playback on compact discs that are particularly problematic include reflectance, modulation degree of high frequency signals, tracking signal output, etc.

ここで、コンパクト・ディスクと互換性を有する追記型
の光ディスクを構成しようとする場合に、前記したコン
パクト・ディスクについて規定されている反射率、高周
波信号の変調度、トラッキング信号出力、等に関する諸
規格を満たし得る追記型の光ディスクを構成する際に生
じる問題点について、それの概略を説明すると次のとう
りである。
Here, when attempting to configure a write-once optical disc that is compatible with compact discs, it is necessary to refer to the various standards regarding reflectance, modulation degree of high-frequency signals, tracking signal output, etc. stipulated for the above-mentioned compact discs. The following is an overview of the problems that arise when constructing a write-once optical disc that satisfies the requirements.

まず、コンパクト・ディスクにおける反射率についての
規格値は、光ディスクの読出し側から波長が780nm
のレーザ光を入射させたときに、光ディスクの読出し側
から見て70%以上の反射率を有することが求められて
いるが、光ディスクの表面では約8%の反射損失が生じ
るから、この光ディスクの表面での反射損失だけを考慮
しただけでも光ディクの読出゛し側における反射率を7
0%以上とするためには、金属の反射膜での反射率は少
なくとも80%以上が必要とされることになる。
First, the standard value for reflectance on compact discs is that the wavelength is 780 nm from the readout side of the optical disc.
The optical disc is required to have a reflectance of 70% or more when viewed from the readout side when a laser beam of Considering only the reflection loss on the surface, the reflectance on the read side of the optical disc can be reduced to 7.
In order to achieve 0% or more, the reflectance of the metal reflective film must be at least 80% or more.

そして、コンパクト・ディスクでは80%以上の反射率
を示すアルミニウムの反射膜が使用されていて、前記の
反射率の規格値を満足していることは周知のとうりであ
る。
It is well known that compact discs use an aluminum reflective film that exhibits a reflectance of 80% or more, satisfying the standard value for reflectance.

しかし、追記型の光ディスクにおいては、記録膜に記録
が行われる際、記録膜へ記録のためのエネルギーの吸収
が生じ、また、既述のように追記型の光ディスクでは記
録時におけるトラ・ンキング制御のために、透明基板に
はトラッキング制御用の案内溝を設けであるために、入
射光が前記の案内溝によって回折されることによる光量
損失も加わることにより、光ディスクの読出し側におけ
る反射率をコンパクト・ディスクにおける反射率の規格
値にすることは従来困難とされていた。
However, in write-once optical discs, when recording is performed on the recording film, energy for recording is absorbed into the recording film, and as mentioned above, in write-once optical discs, tracking control during recording is Therefore, since the transparent substrate is provided with a guide groove for tracking control, the incident light is diffracted by the guide groove, resulting in a loss of light quantity, which reduces the reflectance on the reading side of the optical disc.・It has traditionally been difficult to achieve a standard reflectance value for discs.

また、コンパクト・ディスクと互換性を有する追記型の
光ディスクを構成しようとする場合に、前記したコンパ
クト・ディスクについて規定されでいる高周波信号の変
調度についての規格を満たし得る追記型の光ディスクを
構成する際には、次のような問題点がある。
In addition, when constructing a write-once optical disc that is compatible with compact discs, it is necessary to construct a write-once optical disc that can satisfy the standards for the degree of modulation of high-frequency signals stipulated for the above-mentioned compact discs. In this case, there are the following problems.

すなわち、コンパクト・ディスクではビットによる光の
回折を用いて情報信号の読出しを行なうようにしている
ために、高周波信号の変調度についての規格値を満たす
ことは容易であるが、従来から提案されている一般的な
追記型の光ディスクでは、記録膜に対する記録の態様が
、例えば孔開け、または相変化によるものであり、記録
されている情報信号の読出しが反射率の変化によって行
われているものであって、ランドの部分における光の反
射率と孔開け、tたは、相変化による記録部分(ピット
に対応している)の光の反射率との差、すなわち、高周
波信号の変調度が小さいので、コンパクト・ディスクに
ついて規定されている高周波信号の変調度についての規
格を満たし得るものではなかった。
In other words, since compact discs use light diffraction by bits to read information signals, it is easy to meet the standard value for the degree of modulation of high-frequency signals, but this method has not been proposed in the past. In general write-once optical discs, recording is performed on the recording film by, for example, perforation or phase change, and the recorded information signals are read out by changes in reflectance. Therefore, the difference between the light reflectance at the land portion and the light reflectance at the recording portion (corresponding to the pit) due to the hole, t, or phase change, that is, the degree of modulation of the high-frequency signal is small. Therefore, it was not possible to meet the standards for the degree of modulation of high-frequency signals stipulated for compact discs.

高周波信号の変調度についてコンパクト・ディスクの規
格値を満たすようにするためには、追記型の光ディスク
においても、ピットによる光の回折を用いて情報信号の
読出しを行なっているコンパクト・ディスクの場合と同
様に、位相構造によって情報信号の読出しが行われるよ
うにされることが必要と考えられる。
In order to satisfy the compact disc standard value for the degree of modulation of high-frequency signals, even in write-once optical discs, it is necessary to read out information signals using light diffraction by pits. It is likewise considered necessary that the readout of the information signal be effected by means of a phase structure.

次に、コンパクト・ディスクと互換性を有する追記型の
光ディスクを構成しようとする場合に、前記したコンパ
クト・ディスクについて規定されているトラッキング信
号の出力レベルについての規格を満たし得る追記型の光
ディスクを構成する際には、次のような問題点がある。
Next, when attempting to construct a write-once optical disc that is compatible with compact discs, it is necessary to construct a write-once optical disc that can satisfy the standards for the output level of the tracking signal stipulated for the above-mentioned compact discs. When doing so, there are the following problems.

すなわち、光ディスクにおけるトラッキング信号の出力
レベルは、概ね、ビット、或いは透明基板に設けられた
トラッキング用の案内溝の形状によって定まる位相構造
によって決まるが、追記型の光ディスクにおいても、他
の諸特性を満足した上でトラッキング信号の出力レベル
が規格値を満足するようにさせることが必要とされる。
In other words, the output level of the tracking signal on an optical disc is generally determined by the phase structure determined by the bit or the shape of the tracking guide groove provided on the transparent substrate, but even in write-once optical discs, it is necessary to satisfy other characteristics. In addition, it is necessary to ensure that the output level of the tracking signal satisfies the standard value.

しかしながら、従来から提案されている一般的な追記型
の光ディスクで、記録膜に対する記録の態様が、例えば
孔開けによって行われているような場合には、孔によっ
てトラッキング用の案内溝の形状によって定まる位相構
造が乱されてしまうために、所望の出力レベルを有する
トラッキング信号を得ることが困難である。
However, in general write-once optical discs that have been proposed in the past, when recording is performed on the recording film by, for example, drilling holes, the shape of the guide groove for tracking is determined by the holes. Since the phase structure is disturbed, it is difficult to obtain a tracking signal with a desired output level.

これまでの説明からコンパクト・ディスクと互換性を有
する追記型の光ディスクを構成しようとする場合には、
再生時における光の反射率、高周波信号の変調度、トラ
ッキング信号の出力等の諸特性をコンパクト・ディスク
について規定されている規格を満たすようにするために
は多くの問題点があり、従来の追記型の光ディスクによ
ってはコンパクト・ディスクと互換性を有する追記型の
光ディスクを提供することは困難であった。
Based on the explanation so far, if you are trying to configure a write-once optical disc that is compatible with compact discs,
There are many problems in ensuring that various characteristics such as light reflectance, modulation degree of high-frequency signals, and tracking signal output during playback meet the standards stipulated for compact discs, and conventional postscript methods Depending on the type of optical disc, it has been difficult to provide a write-once optical disc that is compatible with compact discs.

第5図は、特開平2−132656号公報にて開示され
た光学的記録媒体円盤の一例構成の縦断面図であり、こ
の光学的記録媒体円盤はトラッキング用の案内溝G、G
・・・・・・を設けた、例えば、ポリカーボネート樹脂
よりなる透明基板10におけるトラッキング用の案内溝
Gが設けである方の盤面上に、再生専用域であるROM
領域においては光反射用の金属膜12と、例えば紫外線
硬化型樹脂による保護膜13を順次に付着させ、また、
記録可能域であるRAM領域においては透明基板10に
おけるトラッキング用の案内溝Gが設けである方の盤面
上に、予め定められた波長を有する記録用のレーザ光が
照射された時に前記のレーザ光の適量を吸収して屈折率
が変化する有機材料膜11(以下、有機材料記録膜11
のように記載されることもある)と、光反射用の金属膜
12と、例えば、紫外線硬化型樹脂による保護膜13を
順次に付着させた構成とされている。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of an example configuration of an optical recording medium disk disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-132656.
. . . On the transparent substrate 10 made of polycarbonate resin, for example, on the side of the board where the guide groove G for tracking is provided, there is a ROM which is a read-only area.
In the area, a metal film 12 for light reflection and a protective film 13 made of, for example, an ultraviolet curable resin are sequentially deposited, and
In the RAM area, which is a recordable area, when a recording laser beam having a predetermined wavelength is irradiated onto the surface of the transparent substrate 10 on which the guide groove G for tracking is provided, the laser beam is Organic material film 11 (hereinafter referred to as organic material recording film 11) whose refractive index changes by absorbing an appropriate amount of
), a metal film 12 for light reflection, and a protective film 13 made of, for example, an ultraviolet curable resin are sequentially attached.

前記した光学的記録媒体円盤におけるROM領域は、通
常のコンパクト・ディスクの構成態様と同一であり、そ
の再生動作は周知のとうりである。
The ROM area in the optical recording medium disc described above has the same configuration as that of a normal compact disc, and its playback operation is well known.

また、前記した光学的記録媒体円盤番こお番するRAM
領域は、トラッキング用の案内溝G、G・・・・が設け
である透明基板10におけるトラ・ンキング用の案内溝
G、G・・・・・・が設けである方の盤面上(こ、予め
定められた波長を有する記録用のレーザ光力(照射され
ると、前記の透明基板10に付着されてしする有機材料
記録膜11が前記のレーザ光の適量を吸収して屈折率が
変化する。
In addition, the optical recording medium disk numbering RAM mentioned above
The area is on the transparent substrate 10 on which the tracking guide grooves G, G,... are provided. Recording laser beam power having a predetermined wavelength (when irradiated, the organic material recording film 11 attached to the transparent substrate 10 absorbs an appropriate amount of the laser beam, and the refractive index changes) do.

そして、前記した透明基板10におけるトラ・ンキング
用の案内溝G、G・・・・・・が設けられてb)なり)
方の盤面側から入射させたレーザ光における前言己した
透明基板10におけるトラ・yキング用の案内溝G。
Then, guide grooves G, G, etc. for tracking in the transparent substrate 10 described above are provided, resulting in b))
The guide groove G for tracking and y-king in the transparent substrate 10 mentioned above in the case of laser light incident from one side of the board.

G・・・・・・部分と、透明基板10におけるトラ・/
キング用の案内溝G、G・・・・・・以外の部分とにお
し)で生じる位相差が、前記した有機材料記録膜11が
存在しない状態で得られる位相差に比べて、前記した有
機材料記録膜11の膜厚の差による光路長の変イヒによ
り減少して、レーザ光の実質的な位相差が透明基板10
における溝形状によって定められる位相差の値よりも小
さくなり、かつ、記録済部分における有機材料記録膜1
1の変化によって生じる位相の進みにより、前記した記
録済部分におけるレーザ光の光学的な位相が実記録部分
に比べて実質的に進むように成されることにより、再生
時における光の反射率、高周波信号の変調度、トラッキ
ング信号の出力等の緒特性がコンパクト・ディスクにつ
いて規定されている規格を満たし得る光学的記録媒体円
盤、すなわちコンパクト・ディスクと互換性を有する追
記型の光ディスクを提供することを可能にしたものであ
る。
G... portion and the tiger// in the transparent substrate 10
The phase difference generated in the king guide grooves G, G... The substantial phase difference of the laser beam decreases due to the change in optical path length due to the difference in film thickness of the organic material recording film 11.
The phase difference value is smaller than the value of the phase difference determined by the groove shape in the organic material recording film 1 in the recorded portion.
1, the optical phase of the laser beam in the recorded portion is substantially advanced compared to the actual recorded portion, so that the reflectance of light during reproduction, To provide an optical recording medium disc whose characteristics such as the degree of modulation of a high frequency signal and the output of a tracking signal can meet the standards prescribed for compact discs, that is, a write-once optical disc compatible with compact discs. This is what made it possible.

(発明が解決しようとする課題) ところで、前記した再生専用域であるROM領域と、記
録可能域であるRAM領域とを備えている既提案のコン
パクト・ディスクと互換性を有する追記型の光ディスク
では、第5図に示されているようにROM領域では透明
基板10におけるトラッキング用の案内溝Gが設けであ
る方の盤面上に、光反射用の金属膜12と、例えば紫外
線硬化型樹脂による保護膜13を順次に付着させである
のに対して、RAM領域においては透明基板10におけ
るけトラッキング用の案内溝Gが設けである方の盤面上
に、有機材料記録膜11と、光反射用の金属膜12と、
例えば、紫外線硬化型樹脂による保護膜13を順次に付
着させた構成となされているから、それの製作に当なっ
てROM領域と対応している透明基板10上だけにスピ
ンコード法の適用によって有機材料記録膜11を構成さ
せる場合に、ROM領域には前記した有機材料記録膜1
1が形成されないようにしなければならないことにより
、境界条件が非常に厳しいものとなり、従って、例えば
トラックピッチの500倍〜1500倍というような非
常に大きな寸法を有する間隔(第5図中に符号14で例
示している部分)をROM領域とRAM領域との間に設
けることが必要とされるために、光学的記録媒体円盤の
全記録容量が減少するという欠点がある。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, a write-once optical disc that is compatible with the previously proposed compact disc, which has the ROM area that is a read-only area and the RAM area that is a recordable area, is As shown in FIG. 5, in the ROM area, a metal film 12 for light reflection and protection by, for example, an ultraviolet curing resin are provided on the side of the transparent substrate 10 on which the guide groove G for tracking is provided. In contrast, in the RAM area, the organic material recording film 11 and the light reflecting film are deposited on the surface of the transparent substrate 10 on which the guide groove G for track tracking is provided. a metal film 12;
For example, since the structure is such that the protective film 13 made of ultraviolet curable resin is sequentially deposited, in manufacturing it, the protective film 13 made of ultraviolet curing resin is applied to the transparent substrate 10 corresponding to the ROM area by applying the spin code method. When forming the material recording film 11, the above-described organic material recording film 1 is provided in the ROM area.
1 must be prevented from forming, the boundary conditions become very strict and therefore the spacing (marked 14 in FIG. 5) with very large dimensions, e.g. Since it is necessary to provide a portion (as illustrated in FIG. 1) between the ROM area and the RAM area, there is a drawback that the total recording capacity of the optical recording medium disk is reduced.

また、前記のようにスピンコード法の適用によって有機
材料記録膜11を構成させる場合には、光学的記録媒体
円盤の内周部分にROM領域を設け、前記したROM領
域よりも外周部分にRAM領域を設けることが必要とさ
れるという制約がある他、複数のRAM領域と複数のR
OM領域とが混在している形態の光学的記録媒体円盤を
作ることができない等の問題点がある。
In addition, when forming the organic material recording film 11 by applying the spin code method as described above, a ROM area is provided in the inner peripheral part of the optical recording medium disk, and a RAM area is provided in the outer peripheral part than the ROM area. In addition to the restriction that it is necessary to provide multiple RAM areas and multiple R
There are problems such as the inability to create an optical recording medium disk in which OM areas are mixed.

一方、これらの問題点を解決したものとして本出願人会
社より特願平2−36190号として、記録可能領域は
マスクリングの際、7字溝を形成し、かつ、再生専用域
であるROM領域および記録可能域であるRAM領域の
全領域にわたって、有機材料による記録層が形成されコ
ンパクト・ディスクとの互換性のある光ディスクを出願
している。
On the other hand, as a solution to these problems, the present applicant company has proposed in Japanese Patent Application No. 2-36190 that the recordable area is a ROM area that forms a figure 7 groove when masking and is a read-only area. Furthermore, the patent application is for an optical disc that is compatible with compact discs and has a recording layer made of an organic material formed over the entire recordable RAM area.

第4区は、その光ディスクの構成例を示す側断面図であ
る。なお、図中、従来と同一部分は同一符号を用い、そ
の詳細な説明は省略する。
The fourth section is a side sectional view showing an example of the configuration of the optical disc. In addition, in the drawings, the same parts as in the prior art are denoted by the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.

第4図中、GoはROM領域に情報信号により構成され
いるピットであり、GaはRAM領域に設けられたトラ
ッキング用の案内溝である。
In FIG. 4, Go is a pit formed by an information signal in the ROM area, and Ga is a tracking guide groove provided in the RAM area.

前記のピットG0の幅や、トラッキング用の案内溝Ga
の幅は、光学的記録媒体円盤のE録跡(トラック)の延
長する方向に直交する方向のピットGoの幅や、トラ・
ンキング用の案内溝Gaの幅である。
The width of the pit G0 and the guide groove Ga for tracking
The width of the pit Go in the direction perpendicular to the direction in which the E recording (track) of the optical recording medium disk extends, and the width of the track
This is the width of the guide groove Ga for linking.

前記したROM領域におけけるピットG0とRAM領域
におけるトラッキング用の案内溝Gaとが設けである方
の透明基板10の面のROM領域とRAM領域の全領域
には、予め定めら゛れた波長(例えば7g0ninの波
長)を有する記録用のレーザ光の適量を吸収して屈折率
が変化する有機材料配録膜11がスピンコード法を適用
して付着形成されている。そして、この有機材料記録膜
11は、例えば、有機色素或いは有機材料中に有機色素
を分散させた材料を用いたヒートモード光記録材料、フ
ォトンモード光記録材料、もしくはヒートモードとフォ
トンモードとの両モードで動作する有機色素或いは有機
材料中に有機色素を分散させた材料を用いた光記録材料
の内から選択した有機光記録材料を使用できるが、例え
ば、と錘用のレーザ光が照射されない状態における屈折
率nが、例えば実数部が+2.65で虚数部が−0,0
5であるようなシアニン系の有機色素材料を使用して構
成することができる。
A predetermined wavelength is applied to the entire area of the ROM area and RAM area of the surface of the transparent substrate 10 on which the pit G0 in the ROM area and the tracking guide groove Ga in the RAM area are provided. An organic material recording film 11 whose refractive index changes by absorbing an appropriate amount of recording laser light having a wavelength of 7g0nin, for example, is deposited using a spin code method. The organic material recording film 11 is, for example, a heat mode optical recording material using an organic dye or a material in which an organic dye is dispersed in an organic material, a photon mode optical recording material, or a heat mode and photon mode optical recording material. It is possible to use an organic optical recording material selected from among optical recording materials that use an organic dye or a material in which an organic dye is dispersed in an organic material that operates in the mode, but, for example, when the laser beam for the weight is not irradiated. For example, the real part is +2.65 and the imaginary part is -0,0.
It can be constructed using a cyanine-based organic dye material such as No. 5.

12は、前記した有機材料記録膜11上に、例えば蒸着
法又はスパッタリング法を適用して設けた光反射用の金
属膜であり、この金属膜12は、反射率が高い例えばA
u、AI、Cu等の金属或いは反射率が高い合金を用い
て構成されている。
Reference numeral 12 denotes a metal film for light reflection provided on the organic material recording film 11 by applying, for example, a vapor deposition method or a sputtering method.
It is constructed using metals such as u, AI, and Cu, or alloys with high reflectance.

13は、この金属膜12の上部に設けられた、例えば、
紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜である。
13 is provided on the top of this metal film 12, for example,
This is a protective film made of ultraviolet curable resin.

この第4図の構成によれば、ROM領域とRAM領域と
を自在に混在させることができ、記録密度の低下を防ぐ
ことができ、また、スピンコード法も従来の手法がその
まま使えるため、コート液の滴下位置の設定も簡単であ
る。
According to the configuration shown in FIG. 4, the ROM area and RAM area can be freely mixed, preventing a decrease in recording density, and the conventional spin code method can be used as is. Setting the drop position of the liquid is also easy.

しかしながら、この構成のものは、ROM領域のピット
深さと、RAM領域の溝深さが異なるため、マスタリン
グ時にRAM領域の渭深さを調節することが困難であり
、マスタリング工程が複雑になるるという問題点がある
However, with this configuration, the pit depth in the ROM area and the groove depth in the RAM area are different, making it difficult to adjust the depth of the RAM area during mastering, which complicates the mastering process. There is a problem.

本発明は、かかる点に鑑みなされたものであり、マスタ
リング時に、記録可能域に有機物を塗布して案内溝の深
さを変えてやることで、この製造方法で形成されたスタ
ンバを用いて成形されたディスク上への記録層の塗布は
全面スピンコード法の適用が可能となり、従って、生産
性が高く高信頼性の光学的情報記録媒体が容易に得られ
ることが可能となるようにした光学的情報記録媒体の製
造方法を提供することをその目的とするものである。
The present invention was made in view of this point, and by applying an organic substance to the recordable area and changing the depth of the guide groove during mastering, molding can be performed using a stand bar formed by this manufacturing method. The coating of the recording layer on the disc made possible by the application of the entire surface spin-coding method has made it possible to easily obtain a highly productive and highly reliable optical information recording medium. The purpose of this invention is to provide a method for manufacturing a digital information recording medium.

(課題を解決するための手段) 本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので
あり、光学的情報記録媒体の同一面上に再生専用域と記
録可能域とを有する光学的情報記録媒体の製造方法であ
って、鏡面研磨されたガラス原盤に、有機材料による記
録膜を形成させて、記録膜付きのガラス原盤を得る工程
と、前記ガラス原盤の記録膜に、記録の対象にされてい
る情報信号によって強度変調された状態で放射されたレ
ーザ光を集光させて、前記再生専用域と記録可能域に対
応する凹凸を形成させる工程と、前記ガラス原盤の記録
膜に形成された凹凸のうちの、記録可能域のみに有機物
を形成する工程とよりなるなる光学的情報記録媒体の製
造方法を提供するものである。
(Means for Solving the Problem) The present invention has been made to solve the problem, and provides an optical information recording medium having a read-only area and a recordable area on the same surface of an optical information recording medium. A method for producing a medium, comprising: forming a recording film made of an organic material on a mirror-polished glass master to obtain a glass master with a recording film; a step of condensing a laser beam emitted in a state in which the intensity is modulated by an information signal, forming unevenness corresponding to the read-only area and the recordable area; The present invention provides a method for manufacturing an optical information recording medium, which comprises a step of forming an organic substance only in the recordable area of the unevenness.

(実施例) 第1図は、本発明になる光学的情報記録媒体の製造方法
で成形されたスタンパを用いて形成された光学的情報記
録媒体の縦断面図、第2図(A)〜(K)は、本発明の
製造方法を説明するための工程図及びその製造途中にお
ける光学的情報記録媒体の一部縦断面図である。
(Example) FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an optical information recording medium formed using a stamper molded by the method for manufacturing an optical information recording medium according to the present invention, and FIGS. K) is a process diagram for explaining the manufacturing method of the present invention and a partial vertical cross-sectional view of the optical information recording medium in the middle of manufacturing.

第1図中1は、例えばポリカーボネート樹脂よりなる透
明基板であり、例えば直径120mmの透明基板1の主
面のうち、半径が25m m〜35m mのROM1[
域には、深さ130nmのCD−ROM信号のピットG
0が所望の情報に応じて形成されている。また、半径が
35m m 〜58m mのRAM領域には、深さ50
n m、幅0.5μm、ピッチ1.6.umで振幅30
nmのウオブリングにより、絶対時間変調されたトラッ
キング用の案内溝Gaが形成されている。
1 in FIG. 1 is a transparent substrate made of, for example, polycarbonate resin. For example, among the main surfaces of the transparent substrate 1 with a diameter of 120 mm, a ROM 1 with a radius of 25 mm to 35 mm [
In the area, there is a pit G of the CD-ROM signal with a depth of 130 nm.
0 is formed depending on the desired information. In addition, a RAM area with a radius of 35 mm to 58 mm has a depth of 50 mm.
nm, width 0.5 μm, pitch 1.6. amplitude 30 in um
An absolute time-modulated tracking guide groove Ga is formed by the nm wobbling.

前記したROM領域におけるビットG0とRAM領域に
おけるトラッキング用の案内溝Gaとが設けである方の
透明基板1の面の全面には予め定められた波長(例えば
780nmの波長)を有する記録用のレーザ光が照射さ
れた時に、前記のレーザ光の適量を吸収して屈折率が変
化する有機材料記録膜(以下、単に記録層と記載するこ
ともある)2がスピンコード法により付着形成されてい
る。
A recording laser having a predetermined wavelength (for example, a wavelength of 780 nm) is installed on the entire surface of the transparent substrate 1 on which the bit G0 in the ROM area and the tracking guide groove Ga in the RAM area are provided. An organic material recording film (hereinafter sometimes simply referred to as a recording layer) 2, which absorbs an appropriate amount of the laser light and changes its refractive index when irradiated with light, is deposited and formed by a spin code method. .

有機材料記録膜2としては、第3図に示す一般式で表さ
れるインドレニン系シアニン色素が用いられる。
As the organic material recording film 2, an indolenine cyanine dye represented by the general formula shown in FIG. 3 is used.

同式中、R2、R3、R4、R5はCf(3−。In the same formula, R2, R3, R4, and R5 are Cf(3-.

C2R5−のいずれかであり、R1、R4はC1〜C5
のアルキル基であり、R1=R4でもR1−R4でも良
い、なお、X−はアニオンを表し、例えば、I−、Br
  、ClO4,5bF6−である。
is either C2R5-, and R1 and R4 are C1 to C5
It is an alkyl group of
, ClO4,5bF6-.

ここで、インドレニン系シアニン色素をスピンコード法
により付着する方法について説明する。
Here, a method for attaching an indolenine cyanine dye using a spin code method will be described.

まず、上記したようなインドレニン系シアニン色素を、
ジアセトンアルコール・に重量濃度で6%溶解し、記録
層用のコート溶液を調整する。
First, indolenine cyanine dyes such as those mentioned above,
A coating solution for the recording layer is prepared by dissolving 6% by weight in diacetone alcohol.

そして、このコート溶液を、透明基板1上の内側から滴
下し、1500〜3000r p mで透明基板1を回
転させて振り切り、所定のROM、RAM領域上に、例
えば、50〜200nmの厚みで記録層2を塗布形成す
るものである。
Then, this coating solution is dropped from the inside onto the transparent substrate 1, and the transparent substrate 1 is rotated at 1,500 to 3,000 rpm to shake it off, and the coating solution is recorded on a predetermined ROM or RAM area with a thickness of, for example, 50 to 200 nm. Layer 2 is formed by coating.

そして、記録層2を乾燥させた後、この記録層2の全面
を覆うよう、例えば、蒸着法又はスパッタリング法を適
用して光反射用の金属膜(以下、単に反射層と記載する
こともある)3が付着されている。
After drying the recording layer 2, a metal film for light reflection (hereinafter sometimes simply referred to as a reflective layer) is applied, for example, to a vapor deposition method or a sputtering method so as to cover the entire surface of the recording layer 2. )3 is attached.

そして、この光反射用の金属膜3としては、半導体レー
ザ波長領域における反射率が高い金属、例えば、Au、
AI、Ag、Cu等の金属或いは反射率が高い合金を用
いるが、この実施例ではAUによる反射層を50〜70
nmの厚さで付着形成するものである。
The metal film 3 for light reflection may be a metal having a high reflectance in the semiconductor laser wavelength region, such as Au,
Metals such as AI, Ag, and Cu or alloys with high reflectance are used, but in this example, the reflective layer made of AU has a thickness of 50 to 70%.
It is deposited to a thickness of nm.

4は、この金属膜3の上部全面に亘って設けられた、例
えば、紫外線硬化型樹脂モノマがスピンコード法によっ
て、例えば、2〜5μmの厚さに成膜され、さらに紫外
線照射による硬化が行われて形成された保護膜である。
4, for example, an ultraviolet curable resin monomer provided over the entire upper surface of the metal film 3 is formed into a film with a thickness of, for example, 2 to 5 μm by a spin code method, and is further cured by ultraviolet irradiation. This is a protective film formed by

この光ディスクに対して、適宜のCDプレーヤで再生を
行なったところ、ROM領域については、そのまま通常
のCDと同様に再生を行なうことができた。
When this optical disc was played back on a suitable CD player, the ROM area could be played back as is, just like a normal CD.

また、この時の再生信号についてC1エラー率、シンメ
トリ、変調度などの測定を行ったところ、いずれの場合
においてもCDの規格を満足していた。また、RAM領
域について、波長78Qnmのレーザ光を用いて記録パ
ワー6.5〜9mWでEFM変調された信号の記録を試
みた結果、良好にその記録を行なうことができ、CDプ
レーヤでROM領域と同様にその再生を行なうことがで
きた。
Furthermore, when the C1 error rate, symmetry, modulation degree, etc. of the reproduced signal at this time were measured, the CD standards were satisfied in all cases. In addition, as a result of trying to record EFM modulated signals with a recording power of 6.5 to 9 mW using a laser beam with a wavelength of 78 Qnm in the RAM area, we were able to successfully record the signal, and the ROM area and the CD player were able to perform the recording successfully. I was able to reproduce it as well.

次に、前記説明した如くの光学的情報記録媒体を形成す
るためのスタンパを形成するまでの工程、すなわち、本
発明になる光学的情報記録媒体の製造方法につき、第2
図(A)〜(K)を参照して説明する。
Next, the steps up to forming a stamper for forming an optical information recording medium as explained above, that is, the second method of manufacturing an optical information recording medium according to the present invention, will be described.
This will be explained with reference to Figures (A) to (K).

まず、ガラス原盤を研磨して、レジスト塗布面全面を平
滑化する。  (第2図(A)、(B))次に、平滑化
されたガラス面に記録膜となるフォトレジスト膜を例え
ばスピンコード法により130nmの厚みで塗布する。
First, the glass master disk is polished to smooth the entire resist-coated surface. (FIGS. 2A and 2B) Next, a photoresist film to be a recording film is applied to the smoothed glass surface to a thickness of 130 nm by, for example, a spin code method.

(第2図(C))しかる後、このレジスト膜がガラス原
盤に固着されるよう熱処理を施し記録膜付きのガラス原
盤を得る。        (第2図(D))次に、こ
の記録膜に、例えば、ガスレーザから放射されたレーザ
光を図示しない光変調機を用いて集光し、記録の対象に
されている情報信号により強度変調し、それを微小な光
として再生専用域と記録可能域に対応する凹凸として感
光させるーこの場合、再生専用域のビットと記録可能域
のトラッキング溝深さを同じにする。(例えば、115
nm〜180nmで、実施例としては130nm>−(
第2図(E)) しかる後、現像処理を施し、前記再生専用域と記録能域
に対応させた凹凸を形成する。
(FIG. 2(C)) Thereafter, a heat treatment is performed so that this resist film is fixed to the glass master disc, thereby obtaining a glass master disc with a recording film. (Fig. 2 (D)) Next, laser light emitted from, for example, a gas laser is focused onto this recording film using an optical modulator (not shown), and the intensity is modulated by the information signal to be recorded. Then, it is exposed to a small amount of light as unevenness corresponding to the read-only area and the recordable area - in this case, the bits in the read-only area and the tracking groove depth in the recordable area are made the same. (For example, 115
nm to 180 nm, as an example 130 nm>-(
(FIG. 2(E)) After that, a development process is performed to form irregularities corresponding to the read-only area and the recordable area.

(第2図(F)) 次に、ガラス原盤の記録膜に形成された凹凸のうちの記
録可能域のみに有機物を塗布し、再生専用域のビットと
記録可能域のトラッキング溝深さを異ならしめたものと
する。(具体的な記録可能域の渭深さは、40〜110
nmで、実施例では、55nmである。)この場合の有
機物としては、1%濃度のポリビニールアルコール水溶
液を用いる。
(Fig. 2 (F)) Next, an organic material is applied only to the recordable area of the unevenness formed on the recording film of the glass master disk, and the depth of the tracking groove in the read-only area and the recordable area are set to be different. It shall be closed. (The specific depth of the recordable area is 40 to 110
nm, and in the example, it is 55 nm. ) In this case, a 1% polyvinyl alcohol aqueous solution is used as the organic substance.

(第2図(G)) この様に記録膜に有機物を塗布するのは、あくまでも、
前記した如く、本発明になる光学的情報記録媒体は、コ
ンパクトディスクとの互換性が前提であり、従って、記
録可能域は、反射率等の兼ね合いから必然的にこの程度
の溝深さが必要となるものだからである。
(Figure 2 (G)) Coating an organic substance on the recording film in this way is just a matter of
As mentioned above, the optical information recording medium of the present invention is premised on being compatible with compact discs, and therefore, the recordable area necessarily needs to have this level of groove depth in consideration of reflectance, etc. This is because.

しかる後、表面導電化処理、電鋳、剥離などの工程を経
て、所定のスタンパを形成する。
Thereafter, a predetermined stamper is formed through processes such as surface conductivity treatment, electroforming, and peeling.

(第2図(H)) 次に、このスタンパを基に射出成形する。(Figure 2 (H)) Next, injection molding is performed based on this stamper.

(第2図(1)) 以上の工程を経ることにより、所望の光学的情報記録媒
体が得られるものである。
(FIG. 2(1)) Through the above steps, a desired optical information recording medium can be obtained.

なお、第2図(J)は、第2図中(E)の力・ンティン
グ時の拡大側面図、同図(K)は、同図(G)の拡大側
面図である。
Note that FIG. 2(J) is an enlarged side view of FIG. 2(E) during force/setting, and FIG. 2(K) is an enlarged side view of FIG. 2(G).

(比較例) 次に、特性比較を行なうために比較例を作製した。(Comparative example) Next, a comparative example was prepared in order to compare the characteristics.

この比較例は、前記第2図(G)の工程において、有機
物を塗布せず、それ以下の工程は第2図のそれと全く同
じ工程で作成されたスタンパを用いて成形された透明基
板1を用い、実施例と同様の色素溶液を滴下し、スピン
コード法により所定の領域に記録層を形成し、以後前記
実施例と同様の方法で反射層、保護層を順次積層して光
ディスクを得、この光ディスクに対して実施例と同様に
CDプレーヤによる再生を行なったが、ROM領域は問
題なく再生できたが、RAM領域は記録再生ができなか
った。
This comparative example uses a transparent substrate 1 that is molded using a stamper that does not apply any organic substance in the step shown in FIG. A recording layer was formed in a predetermined area by a spin code method, and a reflective layer and a protective layer were sequentially laminated in the same manner as in the above example to obtain an optical disc. This optical disk was reproduced by a CD player in the same manner as in the example, but the ROM area could be reproduced without any problem, but the RAM area could not be recorded or reproduced.

(発明の効果) 以上詳述した如く、本発明になる光学的情報記録媒体の
製造方法によれば、マスタリング時に、記録可能域に有
機物を塗布して案内溝の深さを変えてやることにより、
この製造方法で形成されたスタンパを用いて成形された
ディスク上への記録層の塗布は、生産性の高いスピンコ
ード法の適用が可能となり、従って、高信頼性の光学的
情報記録媒体が得られる等実用的価値が大なるものであ
る。
(Effects of the Invention) As detailed above, according to the method of manufacturing an optical information recording medium according to the present invention, during mastering, the depth of the guide groove is changed by applying an organic substance to the recordable area. ,
Coating a recording layer onto a disk molded using a stamper formed by this manufacturing method makes it possible to apply the highly productive spin code method, and therefore a highly reliable optical information recording medium can be obtained. It has great practical value, such as being able to

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明になる光学的情報記録媒体の製造方法
で形成されたスタンパを用いて形成された光学的情報記
録媒体の縦断面図、第2図(A)〜(K)は、本発明の
製造方法を説明するための工程図及びその製造途中にお
ける光学的情報記録媒体の一部縦断面図、第3図は、本
発明の実施例に用いられるインドレニン系シアニン色素
の化学式、第4図、第5図は、それぞれ従来例になる光
学的情報記録媒体の縦断面図である。 1・・・・・・透明基板、2・・・・・・記録層、3・
・・・・・反射層、 4・・・・・・保護層。 特許出原人  日本ビクター株式会社 [咽 后4図 Yタロ 第3図 手続補正書(方式)
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of an optical information recording medium formed using a stamper formed by the method for manufacturing an optical information recording medium according to the present invention, and FIGS. 2(A) to (K) are A process diagram for explaining the manufacturing method of the present invention and a partial vertical cross-sectional view of an optical information recording medium during the manufacturing process, and FIG. 4 and 5 are longitudinal sectional views of conventional optical information recording media, respectively. 1...Transparent substrate, 2...Recording layer, 3.
...Reflection layer, 4...Protective layer. Patent originator Victor Company of Japan Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 光学的情報記録媒体の同一面上に再生専用域と記録可能
域とを有する光学的情報記録媒体の製造方法であつて、 鏡面研磨されたガラス原盤に、有機材料による記録膜を
形成させて、記録膜付きのガラス原盤を得る工程と、 前記ガラス原盤の記録膜に、記録の対象にされている情
報信号によって強度変調された状態で放射されたレーザ
光を集光させて、前記再生専用域と記録可能域に対応す
る凹凸を形成させる工程と、前記ガラス原盤の記録膜に
形成された凹凸のうちの、記録可能域のみに有機物を形
成する工程とよりなるなることを特徴とする光学的情報
記録媒体の製造方法。
[Claims] A method for manufacturing an optical information recording medium having a read-only area and a recordable area on the same surface of the optical information recording medium, the method comprising: recording with an organic material on a mirror-polished glass master disk; a step of forming a film to obtain a glass master with a recording film; and focusing a laser beam emitted in a state where the intensity is modulated by an information signal to be recorded on the recording film of the glass master. the step of forming unevenness corresponding to the read-only area and the recordable area; and the step of forming an organic substance only in the recordable area of the unevenness formed on the recording film of the glass master disk. A method for manufacturing an optical information recording medium, characterized by:
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