JPH11328738A - Optical information recording medium - Google Patents

Optical information recording medium

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Publication number
JPH11328738A
JPH11328738A JP10153883A JP15388398A JPH11328738A JP H11328738 A JPH11328738 A JP H11328738A JP 10153883 A JP10153883 A JP 10153883A JP 15388398 A JP15388398 A JP 15388398A JP H11328738 A JPH11328738 A JP H11328738A
Authority
JP
Japan
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guide groove
transparent substrate
information recording
dvd
recording medium
Prior art date
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Pending
Application number
JP10153883A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Sano
孝史 佐野
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Nippon Columbia Co Ltd
Original Assignee
Nippon Columbia Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11328738A publication Critical patent/JPH11328738A/en
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent increase in crosstalk mixed in reproduced signals even when the track pitch is decreased, by providing a first guide groove of a recording medium with a second guide groove having a smaller width than the width of the first guide groove. SOLUTION: A second guide groove is formed in the bottom (the part near the surface of a first transparent substrate 101) of a first guide groove 102 having 0.4 μm width. The second guide groove is formed to have 0.2 μm width. A recording layer 104 comprising org dyes is formed on the information recording area where the first guide groove 102 and the second guide groove 103 are formed so that the inside of the first guide groove 102 and the second guide groove 103 are filled with the recording layer 104. The recording layer 104 is covered with a metal or alloy reflection film 105. Then a second transparent substrate 106 as a dummy substrate is laminated with an adhesive layer 106 on the first transparent substrate 101. By this method, information can be recorded with good signal characteristics even when the track pitch is decreased, and for example, about 4.7 GB memory capacity can be obtd.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ビームを用いて
情報を記録することができる光情報記録媒体に関し、特
に、記録膜として有機色素膜を用いた光情報記録媒体に
関する。
The present invention relates to an optical information recording medium on which information can be recorded using a light beam, and more particularly to an optical information recording medium using an organic dye film as a recording film.

【従来の技術】[Prior art]

【0002】近年、大容量高密度の光情報記録媒体の実
用化が進んでいる。再生専用媒体は、コンパクトディス
ク(CD:Compact Disc)、レーザディスク(LD:La
serDisc)等を中心として広く普及している。また、C
D−ROM(Compact Disc -Read Only Memory)やビデ
オCDの市場への普及も急速に広まっている。
[0002] In recent years, large-capacity, high-density optical information recording media have been put to practical use. Read-only media include compact discs (CD: Compact Disc) and laser discs (LD: La
serDisc) is widely used. Also, C
The spread of D-ROMs (Compact Disc-Read Only Memory) and video CDs to the market is rapidly spreading.

【0003】さらに、情報の書き換えが可能な媒体とし
て、相変化型ディスク(PD:Phase-change Disc)、
光磁気ディスク(MO:Magnet Optical Disc)など
が、コンピュータ外部記憶装置用媒体として実用化され
ている。また、1回だけの記録が可能であり、CD及び
CD−ROMドライブで再生が可能な追記型CD(CD
−R:Compact Disc - Recordable)が、オーサリング
段階の試作ディスク、マスターディスク、コンピュータ
の外部記憶装置用媒体として定着しつつある。
[0003] Further, as a rewritable medium, a phase-change disc (PD),
2. Description of the Related Art A magneto-optical disk (MO: Magnet Optical Disc) or the like has been put to practical use as a medium for a computer external storage device. In addition, a write-once CD (CD) that can be recorded only once and can be reproduced by a CD and a CD-ROM drive
-R: Compact Disc-Recordable) is being established as a prototype disc, a master disc, and a medium for an external storage device of a computer at the authoring stage.

【0004】このような状況の中、次世代のマルチメデ
ィア媒体として、CDのような音楽データ、LDのよう
な高品質の動画像データ、CD−ROMのようなコンピ
ュータデータを包括した光ディスクが提案された。この
光ディスクは、DVD(Digital Versatile Disc)とし
て1995年12月に規格統一された。
Under such circumstances, an optical disk including music data such as a CD, high-quality moving image data such as an LD, and computer data such as a CD-ROM has been proposed as a next-generation multimedia medium. Was done. This optical disc was standardized as a DVD (Digital Versatile Disc) in December 1995.

【0005】代表的なDVDのディスク構造について図
面を参照しながら簡単に説明する。図3は、従来のDV
Dの媒体断面を説明する図である。図中、301は第1
の透明基板、302は反射膜、303は接着層、304
は第2の透明基板、305はピックアップである。この
構造は、DVD規格のDVD−5の構造を表すものであ
り、1層式片面光ディスクである。以下、第1の透明基
板301について、接着層303側の面を「裏面」と
し、その反対側の面を「表面」として説明する。第1の
透明基板301は、裏面にピット列がトラックピッチ
0.74μmで形成された情報記録領域を有する基板で
ある。情報記録領域は反射膜302により覆われてい
る。ピット列は、記録すべきデータにより変調され、最
短ピット長が0.4μmである。
[0005] A typical DVD disk structure will be briefly described with reference to the drawings. FIG. 3 shows a conventional DV.
FIG. 4 is a diagram illustrating a medium section of D. In the figure, 301 is the first
, 302 is a reflective film, 303 is an adhesive layer, 304
Denotes a second transparent substrate, and 305 denotes a pickup. This structure represents the structure of DVD-5 of the DVD standard, and is a single-layer single-sided optical disk. Hereinafter, the first transparent substrate 301 will be described with the surface on the side of the adhesive layer 303 as “back surface” and the surface on the opposite side as “front surface”. The first transparent substrate 301 is a substrate having an information recording area in which pit rows are formed at a track pitch of 0.74 μm on the back surface. The information recording area is covered with the reflective film 302. The pit train is modulated by data to be recorded, and the shortest pit length is 0.4 μm.

【0006】第2の透明基板304は、情報記録領域を
有さないダミー基板であり、接着層303を介して第1
の透明基板301と貼り合わされている。接着層303
は、通常、透明な紫外線硬化樹脂層である。DVD−5
はピックアップ305により第1の透明基板301の表
面側から記録情報が再生される。その記憶容量は4.7
GBとCDの約7倍であり、LDと同等以上の画質を有
する動画を約2時間記録することができる。
[0006] The second transparent substrate 304 is a dummy substrate having no information recording area.
Is bonded to the transparent substrate 301. Adhesive layer 303
Is usually a transparent ultraviolet curable resin layer. DVD-5
The recorded information is reproduced from the front side of the first transparent substrate 301 by the pickup 305. Its storage capacity is 4.7
A moving image having about 7 times the GB and CD and having an image quality equal to or higher than that of the LD can be recorded for about 2 hours.

【0007】また、CD−Rのように、1回だけの記録
が可能であり、DVDドライブで再生することが可能な
追記型DVD(DVD−R:Digital Versatile Disk -
Recordable)がある。図4は、従来のDVD−Rの媒
体断面を説明する図である。図中、401は第1の透明
基板、402は記録層、403は反射膜、404は接着
層、405は第2の透明基板、406はピックアップで
ある。
[0007] Like a CD-R, a write once DVD (DVD-R: Digital Versatile Disk) which can be recorded only once and can be reproduced by a DVD drive.
Recordable). FIG. 4 is a diagram illustrating a cross section of a conventional DVD-R medium. In the figure, 401 is a first transparent substrate, 402 is a recording layer, 403 is a reflective film, 404 is an adhesive layer, 405 is a second transparent substrate, and 406 is a pickup.

【0008】以下、第1の透明基板401について、接
着層404側の面を「裏面」とし、その反対側の面を
「表面」として説明する。第1の透明基板401は、裏
面に幅0.4μmの案内溝がトラックピッチ0.8μm
で形成された情報記録領域を有している。情報記録領域
上には、シアニン系色素、アゾ系色素等の有機色素から
なる記録層402が形成されている。記録層402は反
射膜403により覆われている。案内溝内に記録される
ピット列は、記録すべきデータにより変調され、最短ピ
ット長は0.44μmである。
Hereinafter, the first transparent substrate 401 will be described with the surface on the adhesive layer 404 side as the “back surface” and the surface on the opposite side as the “front surface”. The first transparent substrate 401 has a guide groove having a width of 0.4 μm on the back surface and a track pitch of 0.8 μm.
Has an information recording area formed by the above. On the information recording area, a recording layer 402 made of an organic dye such as a cyanine dye or an azo dye is formed. The recording layer 402 is covered by the reflection film 403. The pit row recorded in the guide groove is modulated by data to be recorded, and the shortest pit length is 0.44 μm.

【0009】第2の透明基板405は、情報記録領域を
有さないダミー基板であり、接着層404を介して第1
の透明基板401と貼り合わされている。接着層404
は、通常、透明な紫外線硬化樹脂層である。DVD−R
はピックアップ406により第1の透明基板401の表
面側から情報の記録及び記録情報の再生がなされる。そ
の記憶容量は3.9GBである。
The second transparent substrate 405 is a dummy substrate having no information recording area, and the first transparent substrate 405
Of the transparent substrate 401. Adhesive layer 404
Is usually a transparent ultraviolet curable resin layer. DVD-R
The information is recorded and the recorded information is reproduced from the front side of the first transparent substrate 401 by the pickup 406. Its storage capacity is 3.9 GB.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、DVD
−5の記憶容量は4.7GBであるのに対し、DVD−
Rの記憶容量は3.9GBと記憶容量が小さい。これ
は、DVD−Rへの情報の記録が、第1の透明基板40
1(案内溝)と記録層402を変形させることによりピ
ットを形成させる方式であることに起因している。
As described above, the DVD
-5 has a storage capacity of 4.7 GB, whereas DVD-
R has a small storage capacity of 3.9 GB. This is because information is recorded on the DVD-R by the first transparent substrate 40.
1 (guide groove) and the recording layer 402 are deformed to form pits.

【0011】DVD−Rのような有機色素系の記録層4
02を用いた光情報記録媒体においては、照射された記
録レーザ光の熱を記録層402が吸収し、その結果、記
録層402と第1の透明基板401(案内溝)とが溶融
・変形することによりピットを形成する。ピットは隣接
するランド部分(当該案内溝と隣接する案内溝との間の
領域)をも変形させて形成される。トラックピッチを狭
くすると、隣接する案内溝に形成された情報を再生する
際、当該ランド部分の変形がクロストーク成分として再
生信号に混入してしまい、再生信号の品質を低下させて
しまう。
An organic dye-based recording layer 4 such as a DVD-R
In the optical information recording medium using No. 02, the heat of the irradiated recording laser beam is absorbed by the recording layer 402, and as a result, the recording layer 402 and the first transparent substrate 401 (guide groove) are melted and deformed. This forms pits. The pits are also formed by deforming adjacent land portions (regions between the guide grooves and the adjacent guide grooves). When the track pitch is reduced, when information formed in the adjacent guide groove is reproduced, the deformation of the land portion is mixed into the reproduced signal as a crosstalk component, and the quality of the reproduced signal is reduced.

【0012】したがって、クロストーク成分の混入を防
ぐために、DVD−Rのトラックピッチを0.8μm
と、再生専用型であるDVD−5等のトラックピッチ
0.74μmよりも広くしている。
Therefore, in order to prevent the crosstalk component from being mixed, the track pitch of the DVD-R is set to 0.8 μm.
The track pitch is wider than 0.74 μm for a read-only DVD-5 or the like.

【0013】また、一般に、再生専用型であるDVD−
5等のピット列は、波長350nmのKrイオンレーザ
によって記録される。一方、DVD−Rへのピット列の
記録は波長635〜650nmである半導体レーザによ
って記録される。波長が長い光ビーム程、回折限界まで
絞ったビーム径は大きくなる。したがって、DVD−R
の最短ピット長(0.44μm)は、DVD−5等の最
短ピット長(0.4μm)よりも大きく設定している。
[0013] In general, a read-only DVD-
The pit train such as 5 is recorded by a Kr ion laser having a wavelength of 350 nm. On the other hand, the recording of the pit train on the DVD-R is performed by a semiconductor laser having a wavelength of 635 to 650 nm. The light beam having a longer wavelength has a larger beam diameter narrowed down to the diffraction limit. Therefore, DVD-R
Is set to be longer than the shortest pit length (0.4 μm) of DVD-5 or the like.

【0014】以上のような要因から、DVD−Rの記憶
容量(3.9GB)は、DVD−5の記憶容量(4.7
GB)よりも小さくせざるを得ないため、DVD−Rを
DVD−5等のオーサリング用媒体として用いることが
できないという問題があった。即ち、DVD−5等に記
録される情報の素材を編集し、マスターディスクとする
媒体としてDVD−Rを用いたくても、記憶容量が不足
しているため、DVD−5に記録すべき全ての情報を記
録することができず、用いることができないという問題
があった。
From the above factors, the storage capacity of the DVD-R (3.9 GB) is equal to the storage capacity of the DVD-5 (4.7 GB).
However, there is a problem that the DVD-R cannot be used as an authoring medium such as a DVD-5 because it must be smaller than GB). That is, even if the user wants to edit the material of the information recorded on the DVD-5 or the like and use the DVD-R as the medium for the master disk, the storage capacity is insufficient. There has been a problem that information cannot be recorded and cannot be used.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本願の請求項1記載の発明は、片面に第1の案内溝
が形成された基板と、前記第1の案内溝を覆って形成さ
れた有機色素記録膜を備えた光情報記録媒体において、
前記第1の案内溝は前記第1の案内溝の幅よりも狭い幅
を有した第2の案内溝を備えることを特徴とするもので
ある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate having a first guide groove formed on one side, and a cover for covering the first guide groove. An optical information recording medium having the formed organic dye recording film,
The first guide groove includes a second guide groove having a width smaller than the width of the first guide groove.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の光情報記録媒体に
ついて図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実
施例である光情報記録媒体の媒体断面を説明するための
図である。図中、101は第1の透明基板、102は第
1の案内溝、103は第2の案内溝、104は記録層、
105は反射膜、106は接着層、107は第2の透明
基板である。以下、第1の透明基板101について、接
着層106側の面を「裏面」とし、その反対側の面を
「表面」として説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an optical information recording medium according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram for explaining a cross section of an optical information recording medium according to an embodiment of the present invention. In the figure, 101 is a first transparent substrate, 102 is a first guide groove, 103 is a second guide groove, 104 is a recording layer,
105 is a reflection film, 106 is an adhesive layer, and 107 is a second transparent substrate. Hereinafter, the surface of the first transparent substrate 101 on the side of the adhesive layer 106 is referred to as a “back surface”, and the surface on the opposite side is referred to as a “front surface”.

【0017】第1の透明基板101は、裏面に第1の案
内溝102がトラックピッチ0.7μmで形成された情
報記録領域を有する基板である。第1の案内溝102の
幅は0.4μmであり、深さは約80nmである。第1
の案内溝102の底面(第1の透明基板101の表面か
らみて近い部分)には、第2の案内溝103が形成され
ている。第2の案内溝102の幅は0.2μmであり、
深さ(第1の案内溝102の底面からの深さ)は、約5
0〜100nm範囲内にある任意の深さである。
The first transparent substrate 101 is a substrate having an information recording area in which first guide grooves 102 are formed on the back surface at a track pitch of 0.7 μm. The width of the first guide groove 102 is 0.4 μm, and the depth is about 80 nm. First
A second guide groove 103 is formed on the bottom surface of the guide groove 102 (a portion close to the surface of the first transparent substrate 101). The width of the second guide groove 102 is 0.2 μm,
The depth (depth from the bottom surface of the first guide groove 102) is about 5
Any depth in the range of 0-100 nm.

【0018】第1の案内溝102及び第2の案内溝10
3が形成された領域である情報記録領域上には、シアニ
ン系色素、アゾ系色素等からなる有機色素からなる記録
層104が形成される。記録層104は、ランド部分
(第1の案内溝102間の領域)の膜厚が100〜20
0nmの範囲内の任意の膜厚となるように形成され、第
1の案内溝102及び第2の案内溝103の内部は記録
層104が充填される。
First guide groove 102 and second guide groove 10
A recording layer 104 made of an organic dye such as a cyanine dye or an azo dye is formed on the information recording area in which 3 is formed. The recording layer 104 has a land portion (the region between the first guide grooves 102) having a thickness of 100 to 20.
The first guide groove 102 and the second guide groove 103 are formed to have an arbitrary film thickness within a range of 0 nm, and the inside of the first guide groove 102 and the second guide groove 103 is filled with the recording layer 104.

【0019】記録層104は、金(Au)、銀(A
g)、アルミニウム(Al)等の金属または合金からな
る反射膜105により覆われている。反射膜105の膜
厚は、50〜100nmである。第2の透明基板107
は、情報記録領域を有さないダミー基板であり、紫外線
硬化樹脂等の樹脂材料または粘着シート等からなる接着
層106を介して第1の透明基板101と貼り合わされ
ている。
The recording layer 104 is made of gold (Au), silver (A
g), and a reflective film 105 made of a metal or alloy such as aluminum (Al). The thickness of the reflective film 105 is 50 to 100 nm. Second transparent substrate 107
Is a dummy substrate having no information recording area, and is bonded to the first transparent substrate 101 via an adhesive layer 106 made of a resin material such as an ultraviolet curable resin or an adhesive sheet.

【0020】以上に示した構成を有する本実施例の光情
報記録媒体に、波長635nmの半導体レーザを用い、
記録レーザのパワーを9mWとし、線速度3.5m/s
の回転数において、4.4MHzの単一周波数信号を記
録した。記録した信号を再生しC/Nを測定したところ
60dBであった。また、記録信号のC/Nと隣接する
ランド部分のC/Nからクロストーク量を測定したとこ
ろ−35dBであった。比較として図4に示す従来の構
成のDVD−Rに対し、同じ条件で信号を記録し、C/
Nを測定したところ、60dBであった。しかし、記録
信号のC/Nと隣接するランド部分のC/Nからクロス
トーク量を測定したところ−25dBであった。このよ
うに、本実施例の光情報記録媒体は、従来のDVD−R
及びDVD−5等よりもトラックピッチが0.7μmと
狭いにも関わらず、従来のDVD−Rと比較して、クロ
ストーク量を減少させることができる。
A semiconductor laser having a wavelength of 635 nm is used for the optical information recording medium of this embodiment having the above-described configuration.
The recording laser power is 9 mW and the linear velocity is 3.5 m / s
At a rotation speed of 4.4, a single frequency signal of 4.4 MHz was recorded. When the recorded signal was reproduced and the C / N was measured, it was 60 dB. The crosstalk was measured from the C / N of the recording signal and the C / N of the land adjacent to the recording signal, and was found to be -35 dB. For comparison, a signal was recorded on the DVD-R having the conventional configuration shown in FIG.
When N was measured, it was 60 dB. However, when the crosstalk amount was measured from the C / N of the recording signal and the C / N of the land adjacent to the recording signal, it was -25 dB. As described above, the optical information recording medium of the present embodiment is a conventional DVD-R
Although the track pitch is narrower at 0.7 μm than that of the DVD-5 or the like, the crosstalk amount can be reduced as compared with the conventional DVD-R.

【0021】本実施例の光情報記録媒体のピット形成メ
カニズムを調べるために、上述した4.4MHzの単一
周波数信号を記録した光情報記録媒体を分解し、ピット
が形成された部分を電子顕微鏡で観察したところ、第2
の案内溝103内で記録層104と第1の透明基板10
1の変形が発生し、ピットが形成されていた。第1の案
内溝102の外部、即ちランド部分での記録層104及
び第1の透明基板101の変形は殆ど発生していなかっ
た。このため、本実施例の光情報記録媒体は、トラック
ピッチを狭めてもクロストーク量が少ない。
In order to investigate the pit formation mechanism of the optical information recording medium of this embodiment, the optical information recording medium on which the above-mentioned single-frequency signal of 4.4 MHz is recorded is disassembled, and the portion where the pits are formed is examined with an electron microscope. Observed at the second
Layer 104 and first transparent substrate 10 in guide groove 103 of FIG.
Deformation 1 occurred, and pits were formed. Deformation of the recording layer 104 and the first transparent substrate 101 outside the first guide groove 102, that is, at the land portion, hardly occurred. For this reason, the optical information recording medium of the present embodiment has a small amount of crosstalk even if the track pitch is narrowed.

【0022】以上のように、本実施例の光情報記録媒体
によれば、トラックピッチを0.7μmと従来のDVD
−5及びDVD−Rよりも狭めても、良好な信号特性で
情報を記録することができる。したがって、最短ピット
長を従来のDVD−Rと同じ0.44μmとしても、ト
ラックピッチをDVD−5のトラックピッチよりも狭い
0.7μmとすることができるため、4.7GB程度の
記憶容量を確保することができる。
As described above, according to the optical information recording medium of this embodiment, the track pitch is 0.7 μm and the conventional DVD
Information can be recorded with good signal characteristics even if the width is smaller than -5 and DVD-R. Therefore, even if the shortest pit length is 0.44 μm, which is the same as that of the conventional DVD-R, the track pitch can be 0.7 μm, which is narrower than the track pitch of DVD-5. can do.

【0023】次に、本発明の光情報記録媒体の製造方法
について説明する。図2は、本発明の光情報記録媒体の
製造方法の一実施例を説明するための図である。図中、
201はガラス原盤、202は第1の感光膜、203は
第2の感光膜、204は露光部、205は凹部、206
はスタンパ、207は第1の透明基板、208は第1の
案内溝、209は第2の案内溝、210は記録層、21
1は反射膜、212は第2の透明基板、213は接着層
である。
Next, a method for manufacturing the optical information recording medium of the present invention will be described. FIG. 2 is a diagram for explaining an embodiment of the method for manufacturing an optical information recording medium according to the present invention. In the figure,
201 is a glass master, 202 is a first photosensitive film, 203 is a second photosensitive film, 204 is an exposed portion, 205 is a concave portion, 206
Denotes a stamper, 207 denotes a first transparent substrate, 208 denotes a first guide groove, 209 denotes a second guide groove, 210 denotes a recording layer, 21
1 is a reflection film, 212 is a second transparent substrate, and 213 is an adhesive layer.

【0024】片面を研磨等の方法により平滑に加工し
た、直径200mm、厚さ6mmのガラス原盤201
を、ホットプレートによって120℃、5分間、脱水の
ためのベーキングを行う。図2(a)に示すように、ベ
ーキングを施したガラス原盤201をスピンコータに載
置し、吸収スペクトル極大値が365nm付近にある種
類のi線用ポジ型フォトレジストを、ガラス原盤201
の平滑に加工した面上に回転塗布し、第1の感光膜20
2を形成する。第1の感光膜202の厚さは、約50〜
100nm範囲内にある任意の厚さとなるように調整す
る。第1の感光膜202が形成されたガラス原盤201
は、90℃に加熱したホットプレート上で1分間のベー
キング処理が施される。
A glass master 201 having a diameter of 200 mm and a thickness of 6 mm, one surface of which is smoothed by a method such as polishing.
Is baked on a hot plate at 120 ° C. for 5 minutes for dehydration. As shown in FIG. 2A, the baked glass master 201 is placed on a spin coater, and a positive photoresist for i-line having a maximum absorption spectrum near 365 nm is applied to the glass master 201.
Spin coating on the smoothed surface of the first photosensitive film 20
Form 2 The thickness of the first photosensitive film 202 is about 50 to
The thickness is adjusted so as to have an arbitrary thickness within a range of 100 nm. Glass master 201 on which first photosensitive film 202 is formed
Is subjected to a baking treatment for 1 minute on a hot plate heated to 90 ° C.

【0025】さらに、図2(b)に示されるように第1
の感光膜202の表面に、第1の感光膜202であるi
線用ポジ型フォトレジストよりも波長端が長波長側にあ
る、即ち、吸収スペクトルの極大値が436nm付近に
ある種類のg線用ポジ型フォトレジストを回転塗布し、
第2の感光膜203を形成する。第2の感光膜203の
厚さは、80nmになるように調整する。第2の感光膜
203が形成されたガラス原盤201は、90℃に加熱
したホットプレート上で1分間のベーキング処理が施さ
れる。
Further, as shown in FIG.
Of the first photosensitive film 202 on the surface of the photosensitive film 202
The wavelength end is on the longer wavelength side than the line-type positive photoresist, that is, a type of g-line positive photoresist in which the maximum value of the absorption spectrum is around 436 nm is spin-coated,
A second photosensitive film 203 is formed. The thickness of the second photosensitive film 203 is adjusted to be 80 nm. The glass master 201 on which the second photosensitive film 203 is formed is baked for 1 minute on a hot plate heated to 90 ° C.

【0026】第1の感光膜202と第2の感光膜203
を形成したガラス原盤201は、発振波長が351nm
であるKrイオンレーザと、発振波長が457nmであ
るArイオンレーザの波長が異なる2つの光源を備えた
図示しない原盤記録装置に載置される。原盤記録装置
は、Krイオンレーザから出射したレーザ光とArイオ
ンレーザから出射したレーザ光を同時に発振し、同一の
光軸上に焦点を結ぶように構成されている。
First photosensitive film 202 and second photosensitive film 203
Formed on the glass master 201 has an oscillation wavelength of 351 nm.
And an Ar ion laser having an oscillation wavelength of 457 nm are mounted on a master recording apparatus (not shown) provided with two light sources having different wavelengths. The master recording apparatus is configured to simultaneously oscillate laser light emitted from a Kr ion laser and laser light emitted from an Ar ion laser and to focus on the same optical axis.

【0027】そして、波長が長いArイオンレーザから
出射したレーザ光は、第2の感光膜203上で焦点を結
び、第2の感光膜203を露光し、約0.4μmの幅で
感光させるよう調整されている。また、波長の短いKr
イオンレーザから出射したレーザ光は、第1の感光膜2
02上で焦点を結び、第1の感光膜202を露光し、約
0.2μmの幅で感光させるように調整されている。
Then, the laser light emitted from the Ar ion laser having a long wavelength is focused on the second photosensitive film 203, and the second photosensitive film 203 is exposed so as to be exposed with a width of about 0.4 μm. Has been adjusted. In addition, Kr having a short wavelength
The laser light emitted from the ion laser is applied to the first photosensitive film 2
The focus is on 02, and the first photosensitive film 202 is exposed so as to be exposed to a width of about 0.2 μm.

【0028】図2(c)に示すように、上述した構成の
原盤記録装置によって、第2の感光膜203はトラック
ピッチ0.7μm、幅0.4μmで露光され、第1の感
光膜202はトラックピッチ0.7μm、幅0.2μm
で露光され、図1に示す第1の案内溝102及び第2の
案内溝103に対応する露光部204が形成される。
As shown in FIG. 2C, the second photosensitive film 203 is exposed at a track pitch of 0.7 μm and a width of 0.4 μm by the master recording apparatus having the above-described configuration, and the first photosensitive film 202 is exposed. Track pitch 0.7 μm, width 0.2 μm
Then, an exposure portion 204 corresponding to the first guide groove 102 and the second guide groove 103 shown in FIG. 1 is formed.

【0029】露光部204が形成されたガラス原盤20
1は、現像装置に載置され、図2(d)に示すように現
像液により露光部204が除去される。現像されたガラ
ス原盤201は、90℃に加熱したホットプレート上で
1分間のベーキング処理が施される。
Glass master 20 on which exposure section 204 is formed
1 is placed on a developing device, and as shown in FIG. 2D, the exposed portion 204 is removed by a developing solution. The developed glass master 201 is baked for 1 minute on a hot plate heated to 90 ° C.

【0030】以上のように露光、現像により第1の感光
膜202及び第2の感光膜203が部分的に除去された
ガラス原盤201の表面に、スパッタリングによりNi
又はCr等の導電膜が形成される。その後、図2(e)
に示すように、Ni電鋳によりスタンパ206が作製さ
れる。
As described above, the surface of the glass master 201 from which the first photosensitive film 202 and the second photosensitive film 203 have been partially removed by exposure and development is coated with Ni by sputtering.
Alternatively, a conductive film such as Cr is formed. Then, FIG.
As shown in (1), the stamper 206 is manufactured by Ni electroforming.

【0031】図2(f)に示すように、スタンパ206
を射出成形機に取り付け、ポリカーボネート等の樹脂を
成形し、第1の案内溝208及び第2の案内溝209が
転写された第1の透明基板207を作製する。図2
(g)に示すように、第1の透明基板207はスピンコ
ータに載置され、第1の透明基板207の第1の案内溝
208及び第2の案内溝209が形成された面上に、シ
アニン系色素及びアゾ系色素等の有機色素からなる記録
層210が形成される。記録層210は、ランド部分
(第1の案内溝102間の領域)の膜厚が100〜20
0nmの範囲内の任意の膜厚となるように形成され、第
1の案内溝208及び第2の案内溝209の内部は記録
層210が充填される。
As shown in FIG. 2F, the stamper 206
Is mounted on an injection molding machine, and a resin such as polycarbonate is molded to produce a first transparent substrate 207 to which the first guide groove 208 and the second guide groove 209 are transferred. FIG.
As shown in (g), the first transparent substrate 207 is placed on a spin coater, and the first transparent substrate 207 is provided with a cyanine on the surface on which the first guide groove 208 and the second guide groove 209 are formed. A recording layer 210 made of an organic dye such as a system dye and an azo dye is formed. The recording layer 210 has a land portion (a region between the first guide grooves 102) having a thickness of 100 to 20.
The first guide groove 208 and the second guide groove 209 are filled with the recording layer 210 so as to have an arbitrary film thickness within a range of 0 nm.

【0032】図2(h)に示すように、記録層210が
形成された第1の透明基板207はスパッタリング装置
に載置され、Au、Ag及びAl等からなる反射膜21
1が、膜厚50〜100nmに形成される。そして、反
射膜211が形成された第1の透明基板201は、ダミ
ー基板である第2の透明基板212と接着層213を介
して貼り合わされる。接着層213としては、紫外線硬
化樹脂を用いることができ、2枚の基板の間に充填され
た後、紫外線を照射することによって硬化する。以上に
示すような製造方法により、本発明の光情報記録媒体を
製造することができる。
As shown in FIG. 2H, the first transparent substrate 207 on which the recording layer 210 is formed is placed on a sputtering apparatus, and the reflection film 21 made of Au, Ag, Al, or the like is formed.
1 is formed to a thickness of 50 to 100 nm. Then, the first transparent substrate 201 on which the reflective film 211 is formed is bonded to a second transparent substrate 212 which is a dummy substrate via an adhesive layer 213. As the adhesive layer 213, an ultraviolet curable resin can be used. After being filled between two substrates, the adhesive layer 213 is cured by irradiation with ultraviolet light. The optical information recording medium of the present invention can be manufactured by the manufacturing method as described above.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明の光情報記録媒体によれば、従来
のDVD−Rよりもトラックピッチを狭めても、再生信
号に混入するクロストーク量が増えることがないため、
より大きな記憶容量を備えた光情報記録媒体を提供する
ことができる。
According to the optical information recording medium of the present invention, even if the track pitch is narrower than that of the conventional DVD-R, the amount of crosstalk mixed in the reproduced signal does not increase.
An optical information recording medium having a larger storage capacity can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例である光情報記録媒体の媒体
断面を説明するための図。
FIG. 1 is a diagram illustrating a cross section of an optical information recording medium according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の光情報記録媒体の製造方法の一実施例
を説明するための図。
FIG. 2 is a diagram for explaining an embodiment of the method for manufacturing an optical information recording medium of the present invention.

【図3】従来のDVDの媒体断面を説明する図。FIG. 3 is a diagram illustrating a cross section of a conventional DVD medium.

【図4】従来のDVD−Rの媒体断面を説明する図。FIG. 4 is a diagram illustrating a cross section of a conventional DVD-R medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 第1の透明基板 102 第1の案内溝 103 第2の案内溝 104 記録層 105 反射膜 106 接着層 107 第2の透明基板 201 ガラス原盤 202 第1の感光膜 203 第2の感光膜 204 露光部 205 凹部 206 スタンパ 207 第1の透明基板 208 第1の案内溝 209 第2の案内溝 210 記録層 211 反射膜 212 第2の透明基板 213 接着層 301 第1の透明基板 302 反射膜 303 接着層 304 第2の透明基板 305 ピックアップ 401 第1の透明基板 402 記録層 403 反射膜 404 接着層 405 第2の透明基板 406 ピックアップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 1st transparent substrate 102 1st guide groove 103 2nd guide groove 104 Recording layer 105 Reflective film 106 Adhesive layer 107 2nd transparent substrate 201 Glass master 202 First photosensitive film 203 Second photosensitive film 204 Exposure Part 205 concave part 206 stamper 207 first transparent substrate 208 first guide groove 209 second guide groove 210 recording layer 211 reflective film 212 second transparent substrate 213 adhesive layer 301 first transparent substrate 302 reflective film 303 adhesive layer 304 Second transparent substrate 305 Pickup 401 First transparent substrate 402 Recording layer 403 Reflective film 404 Adhesive layer 405 Second transparent substrate 406 Pickup

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】片面に第1の案内溝が形成された基板と、
前記第1の案内溝を覆って形成された有機色素記録膜を
備えた光情報記録媒体において、 前記第1の案内溝は前記第1の案内溝の幅よりも狭い幅
を有した第2の案内溝を備えることを特徴とする光情報
記録媒体。
A substrate having a first guide groove formed on one side thereof;
An optical information recording medium having an organic dye recording film formed so as to cover the first guide groove, wherein the first guide groove has a width smaller than the width of the first guide groove. An optical information recording medium comprising a guide groove.
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