JPH04169809A

JPH04169809A - 測定装置

Info

Publication number: JPH04169809A
Application number: JP29832190A
Authority: JP
Inventors: Satoru Mizuno; 哲水野
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1990-11-02
Filing date: 1990-11-02
Publication date: 1992-06-17
Anticipated expiration: 2011-07-24
Also published as: JP2516471B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、例えば表面粗さ測定や輪郭測定或いは部分
真円度測定といったように、検出手段が被測定物を走査
検出することによって、測定をおこなう測定装置に関す
る。詳しくは、走査検出させるために、検出手段と被測
定物を相対移動させるが、その相対移動の量を設定する
ことに関する。

［従来の技術］検出手段が被測定物を走査検出することによって測定を
おこなう従来の測定装置１ａは第３図に示すように、走
査検出に関わる検出手段５ａと被測定物４ａの相対移動
の量を、相対移動をおこなう前に、つまり走査検出する
前に予め移動量設定手段２２ａで設定する構成になって
いた。

或いは、測定者が移動手段６ａを作動して検出手段５ａ
と被測定物４ａを相対移動させ、所望の位置で移動手段
６ａの作動を停止させることによって相対移動の量を決
めていた。

［発明が解決しようとする課題］測定装置１ａは第３図に示すように、移動手段６ａによ
っておこなわれる検出手段２ａと被測定物４ａの相対移
動の量を、制御手段１２ａをに信号入力して走査検出前
に設定しておこなう構成であった。このため、例えば設
定した移動の量が５０ｍｍであるのに対し被測定物の距
離が４８ｍｍといったように、その設定した移動の量が
被測定物４ａの検出走査される量より大きい場合では、
被測定物４ａを越えて検出手段５ａが走査してしまうと
いう問題が生じる。

又、被測定物４ａの検出走査できる量が不明な測定では
、予め相対移動の量を設定することをおこなわず、相対
移動させて走査検出をおこない、所望の位置に達したら
移動手段６ａの作動を停止することによって、上記の問
題を解決する方法が考えられる。

しかし、走査検出による測定では一般に移動量が一定で
ある複数個のデータを検出することが多く、移動の量を
検出走査しながら所望の位置で停止することで決めると
いう方法では、各検出走査の量を一定にとることができ
ないという問題があった。殊に、今日のように、表面粗
さ測定、輪郭測定、部分真円度測定等では三次元的な測
定結果か求められ、各測定の走査検出に関わる移動の量
は一定であることがより重要になって来ている。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、検
出手段と被測定物を相対移動させ走査検出することで測
定をおこない、検出走査において検出手段が被測定物を
越えて走査することがなく、又複数個のデータを取る際
には各データの走査検出に関わる移動距離を簡便に一定
にとることかできる測定装置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］この発明は、走査検出するように検出手段と被測定物を
相対移動させ、所望の位置でその移動を停止させた際に
、その移動の量か記憶される記憶手段を備えて構成した
測定装置である。

その詳細な構成は、検出手段と、その検出手段が被測定
物を走査検出するように、それらの検出手段と被測定物
を相対移動させる移動手段と、その移動手段を作動させ
た際にその作動の量を記憶する記憶手段と、その記憶手
段に記憶される作動の量だけを、前記移動手段に作動さ
せるように制御する制御手段と、前記検出手段からの信
号を演算処理する演算手段と、演算手段の演算結果を表
示する表示手段が備えられてなる測定装置である。

［作用コある測定の走査検出に関わる、検出手段と被測定物の相
対移動の量は、記憶手段に記憶され得、それ以降の測定
において記憶手段に記憶された移動の量に基づき同じ量
だけ移動手段を作動させることができる。

［実施例］この発明を、第１〜２図に示す実施例に基づき詳述する
。しかし、この実施例によってこの発明が限定されるも
のではない。

表面粗さを測定する測定装置１は第１〜２図に示すよう
に、基台２と、基台２に垂直に立設された支柱３と、検
出手段Ｓと、検出手段５を前後方向（矢印Ａ方向）に移
動させるための移動手段６と、移動手段６の作動の量で
ある移動距離を記憶する記憶手段７と、被測定物４を載
置し、その状態で被測定物４を検出手段５の移動方向と
水平垂直方向（矢印Ｂ方向）に移動させ得る載置移動手
段８と、移動手段６を上下方向（矢印Ｃ方向）にスライ
ド可能に保持するスライド手段９と、検出手段５からの
信号を演算処理する演算手段１０と、演算手段１０の算
出した結果を表示する表示手段１１と、移動手段６、記
憶手段７、載置移動手段８、スライド手段９、演算手段
１０、表示手段１１等の制御をおこなう制御手段１２が
備えられている。

基台２の前面は、測定装置１をマニュアル及び一部自動
で操作するための操作パネル１３になっている。基台２
の上部には、被測定物（図示省略）や載置移動手段８を
搭載するための定盤１４が配設されている。

検出手段５は、走査して被測定物４の表面粗さを接触式
に検出するものである。

移動手段６は、検出手段ホルダ１５、モータ、ボールネ
ジ、スライダ、ガイド（以上図示省略）等を備え、検出
手段５を矢印Ａ方向に移動させるものである。移動手段
６には、移動量、つまり移動手段６の作動の量を光学式
に検出する作動量検出手段１６が備えられている。

記憶手段７は、作動量検出手段１６からの信号を受け、
移動手段６が作動した量を記憶するものである。

載置移動手段８は、モータ、ボールネジ、スライダ、ガ
イド（以上、図示省略）等を備え、ベース１７に対して
載置部材１８が矢印Ｂ方向に所望の量だけ移動できる構
成になっている。

スライド手段９は、支柱３、ボールネジ１９、モータ（
図示省略）、連結部材２０等を備え、移動手段６を矢印
Ｃ方向にスライドさせるものである。

演算手段１ｏは、検出手段５からの信号を制御手段１２
の指令に基づき所定の演算処理をおこなうものである。

表示手段１１は、演算手段１０からの信号を受けて演算
結果を表示するものである。又、表示手段１１は、操作
パネル１３及びマウス２１で操作信号を制御手段１２に
入力した際に、その内容を表示するものである。

以下において、測定装置１の使用を説明する。

まず、検出手段５の検出先端部の下方に位置するように
して、被測定物４を載置移動手段８に載置する。

次に、スライド手段９を作動させて検出手段５を矢印Ｃ
下方向にスライドさせると、検出手段５が被測定物４に
接触する位置に至ってスライド手段９は停止する。

ここで、操作パネル１３を操作して移動手段６を矢印Ａ
後方向に移動させて操作検出をおこなう。

操作検出している検出手段５が被測定物４に対して所望
の位置に至ったら、移動手段６の作動を停止する。この
走査検出の際、作動量検出手段１６は、検出手段５の検
出走査距離、つまり移動手段６の作動の量を検出する。

更に、移動手段６が作動を停止すると、移動手段６の作
動の量が記憶手段７に記憶される。

続いて、連続測定をおこなうようにマウス２１を操作し
て制御手段１２に信号を送る。制御手段１２は移動手段
６に、検出手段５を矢印Ａ前方向に記憶手段７に記憶さ
れた作動の量だけを移動させるための信号を出力する。

移動手段６が作動して検出手段５を矢印Ａ前方向に移動
し終わると、制御手段１２は載置移動手段８に矢印Ｂ前
方向に予め設定した移動距離だけ作動する信号を出力す
る。

載置移動手段８が作動してベース１７に対して載置部材
１８が矢印Ｂ前方向に前記設定距離だけ移動し終わると
、制御手段１２は移動手段６に記憶手段に記憶されてい
る作動の量だけ作動して検出手段５を矢印Ａ後方向に移
動するための信号を出力する。移動手段６は作動して、
検出手段５は最初の走査検出と同じ距離だけ走査検出し
、その検出結果を演算手段１０に信号で送る。

この後、検出手段５は、移動手段６及び載置移動手段８
の作動によって、初めに設定した距離を予め設定した回
数だけ被測定物４を走査検出し、測定結果を演算手段１
０に出力する。

測定者は検出手段５の検出が終了すると、マウス２１を
操作し、所望に応じて、記憶手段７に記憶されている記
憶のクリア、演算手段１０において検出手段５からの検
出結果を所望通りの演算処理、演算結果の表示手段１１
への表示及びクリア等をおこなうとよい。

上述した走査検出において、第一回目に走査検出しなが
ら検出手段５の走査させるべき距離を決めると、第二回
目以降の検出手段５の走査検出は走査させるべき同じ距
離だけを走査できることにより、被測定物を越えて検出
手段５を走査させる畏れがなく、又、得られる測定結果
は走査検出の距離が一定であって取り扱いが容易となっ
ている。

測定手段１では移動手段６が検出手段５を移動する構成
になっているが、被測定物４の側が移動する構成、検出
手段５と被測定物４が共に移動する構成であってもよい
。

測定手段１は表面粗さを測定する構成であるが、輪郭測
定、部分真円度測定等であってもよい。

測定手段１は移動手段６が、移動距離を設定するための
最初の検出走査は低速で、２回目以降の検出走査は高速
で作動する構成であってもよい。

［発明の効果コこの発明によれば、検出手段と被測定物を相対移動させ
る移動手段を設け、その作動の量を記憶する記憶手段、
及びこの記憶手段に記憶される移動手段の作動の量だけ
を作動するように移動手段を制御し得る制御手段を備え
たことにより、走査検出しながら設定した検出手段と被
測定物の相対移動の量をそれ以降の走査検出においても
用いることができ、従って走査検出の距離が一定である
ことにより測定結果が取り扱い易く、検出手段が被測定
物を越えて走査する畏れが少ないという効果が得られて
いる。　　・

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の実施例の構成説明図、第３図は従来例の第２図相当図
である。１・・・測定装置、２・・・基台、　　　　　　３・・・支柱、４・・・非
測定物、　　　５・・・検出手段、６・・・移動手段、
　　　７・・・記憶手段、８・・・載置移動手段、　９
・・・スライド手段、１０・・・演算手段、　　１１・
・・表示手段、１２・・・演算手段、　　１３・・・走
査パネル、２１・・・マウス。特許出願人　株式会社　ミツトヨ代　理　人　弁理士　岩橋　祐司

Claims

【特許請求の範囲】

（１）検出手段と、その検出手段が被測定物を走査検出
するように、それらの検出手段と被測定物を相対移動さ
せる移動手段と、その移動手段を作動させた際にその作
動の量を記憶する記憶手段と、その記憶手段に記憶され
る作動の量だけを、前記移動手段に作動させるように制
御する制御手段と、前記検出手段からの信号を演算処理
する演算手段と、演算手段の演算結果を表示する表示手
段が備えられてなる測定装置。