JPH04154657A - Production of ceramic power, device therefor and production of ceramics - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミック粉末の製造方法および装置並びに
セラミックスの製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method and apparatus for producing ceramic powder, and a method for producing ceramics.
（従来の技術）
セラミックスの製造方法としては、湿式法と乾式法とが
ある。(Prior Art) There are two methods for producing ceramics: a wet method and a dry method.
湿式法の代表的なものとして、原料粉末の溶液に沈澱剤
を加えて、原料粉末を沈澱させ、これを濾過、乾燥、焼
結してセラミックスを合成する沈澱法がある。この沈澱
法では、合成される原料粉末は均質かつ良質であるが、
沈澱剤の選択、ｐＨ条件、温度条件等の諸条件の適性化
に多大な労力と時間を費やし、更に原料粉末の合成に長
時間を要するという欠点がある。そして、これらの欠点
は、湿式性全般にわたって備えている欠点である。A typical wet method is a precipitation method in which a precipitant is added to a solution of raw material powder to precipitate the raw material powder, which is then filtered, dried, and sintered to synthesize ceramics. In this precipitation method, the raw material powder synthesized is homogeneous and of good quality, but
This method has disadvantages in that it takes a lot of effort and time to select a precipitant and to optimize various conditions such as pH conditions and temperature conditions, and furthermore, it takes a long time to synthesize the raw material powder. These drawbacks are common to all types of wet-type materials.
一方、乾式法は、例えばＹＢＣＯ系の超電導体の製造を
例にすれば、原料を乳鉢等で５〜１５分程度程度攪拌し
た後、これを仮焼（昇温：１時間、焼結：５時間）し、
冷却（１０時間）し、次いで乳鉢等で５〜１５分程度程
度混合し、これを所定量に秤量して、プレス成形し、最
後に本焼してセラミックスを製造する方法である。On the other hand, in the dry method, for example, in the production of YBCO-based superconductors, the raw material is stirred in a mortar for about 5 to 15 minutes, and then calcined (temperature increase: 1 hour, sintering: 5 minutes). time) and
In this method, the mixture is cooled (for 10 hours), then mixed in a mortar or the like for about 5 to 15 minutes, weighed to a predetermined amount, press-molded, and finally fired to produce ceramics.
この乾式法によれば、湿式法に対して、セラミックスを
極めて迅速に合成することができるという利点がある。This dry method has an advantage over the wet method in that ceramics can be synthesized extremely quickly.
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、この乾式法においては、例えば複数種類
の原料粉末の乳鉢での混合中に、同種の原料の分子が集
まり塊（粒子）を形成しており、長時間混合したとして
も、混合が不完全となり、その結果、粒子の内部は反応
性が悪く、原料粉末がそのまま残り易く、更に何れか一
つの元素が欠けた前駆体（不完全反応生成物）が生成し
て、不純物となり、目的の機能を完全に果たすことので
きない悪質なセラミックが製造されてしまい易いという
問題がある。(Problem to be Solved by the Invention) However, in this dry method, for example, during mixing of multiple types of raw material powder in a mortar, molecules of the same type of raw material gather to form lumps (particles), and for a long time. Even if they are mixed, the mixing will be incomplete, and as a result, the reactivity inside the particles will be poor, the raw material powder will likely remain as is, and a precursor (incomplete reaction product) lacking one of the elements will be formed. Therefore, there is a problem in that impurities tend to form in the product, resulting in the production of a poor quality ceramic that cannot completely fulfill its intended function.
そこで、本発明は、上記乾式法の利点を活かしつつ、均
質で良質なセラミックスを迅速に製造することのできる
セラミック粉末の製造方法および装置並びにセラミック
スの製造方法を提供することを目的とするものである。Therefore, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for manufacturing ceramic powder, and a method for manufacturing ceramics, which can quickly manufacture homogeneous and high-quality ceramics while taking advantage of the advantages of the dry method. be.
（課題を解決するための手段）
本発明のセラミック粉末の製造方法は、原料粉末を、混
合攪拌しながら焼結することによりセラミック粉末を合
成することを特徴とするものである。攪拌混合は、焼結
の前後に行われる昇温、冷却時にも行うことが望ましい
。(Means for Solving the Problems) The method for producing ceramic powder of the present invention is characterized in that ceramic powder is synthesized by sintering raw material powders while mixing and stirring. It is desirable that stirring and mixing be performed also during heating and cooling before and after sintering.
上記のようにして製造されたセラミック粉末を、プレス
し、焼結することによりセラミックスを製造することが
できる。上記方法は、超電導体セラミックスの製造に用
いて特に望ましい。Ceramics can be manufactured by pressing and sintering the ceramic powder manufactured as described above. The above method is particularly desirable for use in the production of superconducting ceramics.
また、本発明のセラミック粉末の製造装置は、焼結炉、
およびこの焼結炉の内部に配置された粉末混合器を備え
、該粉末混合器内に原料粉末を収容し、この原料粉末を
上記粉末混合器で混合攪拌しながら、上記焼結炉の作用
で焼結することによりセラミック粉末を合成することを
特徴とするものである。Further, the ceramic powder manufacturing apparatus of the present invention includes a sintering furnace,
and a powder mixer disposed inside the sintering furnace, the raw material powder is stored in the powder mixer, and while the raw material powder is mixed and stirred by the powder mixer, the raw material powder is mixed and stirred by the action of the sintering furnace. This method is characterized by synthesizing ceramic powder by sintering.
（作 用）
本発明においては、原料粉末を、混合攪拌しながら焼結
、あるいは昇温、冷却をも行うようにしたので、例えば
ＹＢＣＯ系の超電導体の製造を例にすれば、１６時間程
度混合攪拌が行われ、均質で良質なセラミック粉末を得
ることができるとともに、プレス前の焼結完了時に、そ
のままの状態で、セラミックを微粉末状で回収すること
ができる。従来の乾式法においては、混合時間が仮焼後
の混合を含めても３０分程度であったが、本発明におい
ては、上記したように１６時間程度となり、混合時間が
従来と比べて３０倍以上となり、完全な混合が行われる
。また、焼結前の原料粉末の混合も不要となる。(Function) In the present invention, the raw material powder is sintered or heated and cooled while being mixed and stirred, so for example, in the case of manufacturing a YBCO-based superconductor, it takes about 16 hours. Mixing and agitation is performed to obtain a homogeneous and high quality ceramic powder, and upon completion of sintering before pressing, the ceramic can be recovered in the form of a fine powder in its original state. In the conventional dry method, the mixing time was about 30 minutes including mixing after calcination, but in the present invention, as mentioned above, the mixing time is about 16 hours, which is 30 times longer than the conventional method. This completes the mixing process. Further, mixing of raw material powder before sintering is also unnecessary.
更に、本発明の方法により製造されたセラミック粉末は
、全体が完全に反応した反応生成物となり、そのままで
、初期の機能を果たし得るセラミックとなっている。Furthermore, the ceramic powder produced by the method of the present invention is a completely reacted reaction product, and is a ceramic that can perform its initial function as it is.
（実施例）
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ましい実施例
によるセラミック粉末およびセラミック製品の製造方法
および装置について説明する。(Example) Hereinafter, a method and apparatus for manufacturing ceramic powder and ceramic products according to a preferred example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
まず、第１図乃至第１１図を参照しつつ、本発明の実施
例によるセラミック粉末の製造装置について説明する。First, a ceramic powder manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 11.
第１図は、本発明の実施例によるセラミック粉末の製造
装置の概略を示す長手方向断面図であり、この図におい
て、符号１はセラミック粉末製造装置を示す。このセラ
ミック粉末製造装置１は、主として、焼結炉として作用
する管状の炉部２と、ボールミルである粉末混合器部３
とからなっている。上記炉部２は、特に第２図および第
３図に示されているように、管状の電気炉で構成され、
その内周部の両側端には、上記粉末混合器部３を長手方
向回転軸の周りに回転自在に支持するベアリング４が配
置されている。FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a ceramic powder manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and in this figure, reference numeral 1 indicates the ceramic powder manufacturing apparatus. This ceramic powder manufacturing apparatus 1 mainly includes a tubular furnace section 2 that functions as a sintering furnace, and a powder mixer section 3 that is a ball mill.
It consists of The furnace section 2 is composed of a tubular electric furnace, as particularly shown in FIGS. 2 and 3,
Bearings 4 that support the powder mixer section 3 rotatably around a longitudinal axis of rotation are disposed at both ends of the inner circumference thereof.
上記粉末混合器部３は、特に第４図および第５図に示さ
れているように、本体部５と蓋部６とを備えている。上
記本体部５は、特に第６図および第７図に示されている
ように、第６図で見て、右端から所定長さ管状部７とな
っており、内部に空間が形成されている。この管状部７
には、上記右端から該管状部７の途中まで延びる一対の
対向切欠き８が形成されている。The powder mixer section 3 comprises a main body section 5 and a lid section 6, as shown in particular in FIGS. 4 and 5. As particularly shown in FIGS. 6 and 7, the main body portion 5 is a tubular portion 7 extending a predetermined length from the right end when viewed in FIG. 6, and has a space formed inside. . This tubular part 7
A pair of opposing notches 8 are formed extending from the right end to the middle of the tubular portion 7 .
一方、上記蓋部６は、特に第８図および第９図に示され
ているように、上記管状部７の長さよりは短いほぼ円柱
状のものであり、その一端から延び、上記一対の対向切
欠き８にちょうど嵌合することのできる一対の突出部９
を備えている。この蓋部６は、第４図および第５図に特
に示されているように、その突出部９が溝８に嵌合した
状態で、本体部５の管状部７の開口側に嵌合され、それ
を閉塞するようになっている。この状態において、管状
部７は蓋部６より長いので、内部に混合空間１０が形成
されるようになっている。この混合空間１０内には、原
料粉末Ｍとともに、ミル用のボール１１が多数収容され
るようになっており、これによって、ボールミルを形成
するようになっている。On the other hand, as particularly shown in FIGS. 8 and 9, the lid part 6 has a substantially cylindrical shape shorter than the length of the tubular part 7, and extends from one end of the lid part 6, and extends between the pair of opposite ends. A pair of protrusions 9 that can fit exactly into the notch 8
It is equipped with As particularly shown in FIGS. 4 and 5, this lid part 6 is fitted into the opening side of the tubular part 7 of the main body part 5, with its protruding part 9 fitted into the groove 8. , it is supposed to be occluded. In this state, since the tubular portion 7 is longer than the lid portion 6, a mixing space 10 is formed inside. In this mixing space 10, a large number of milling balls 11 are accommodated together with the raw material powder M, thereby forming a ball mill.
上記本体部５にはまた、管状部７とは反対側の部分に温
度センサである熱電対１２を通すため、外部から上記混
合空間１０に貫通する開孔１３が形成され、この間口１
３には、第１図に示すようにして熱電対１２が配置され
る。The main body part 5 is also formed with an opening 13 that penetrates into the mixing space 10 from the outside in order to pass a thermocouple 12 which is a temperature sensor through the part opposite to the tubular part 7.
3, a thermocouple 12 is arranged as shown in FIG.
本セラミック粉末製造装置１は、更に、炉部２に回転自
在に支持された粉末混合器部３を長手方向回転軸の周り
に回転させるための回転駆動部１４を備えている。この
回転駆動部１４は、電気モータ１５と、この電気モータ
１５の回転を上記粉末混合器部３に伝達するための回転
伝達部材１６を有している。この回転伝達部材１６は、
上記モータ１５の回転軸に減速歯車（図示せず）を介し
て、あるいは介さずに直接連結された回転軸部材１７、
この回転軸部材１７に一体的に形成され、上記粉末混合
器部３と同じ径を有する円板１８、およびこの円板１８
の回転軸部材１７とは反対側の面の周辺に角度的に間隔
を置いて設けられた複数の指状部材１９を有している。The ceramic powder manufacturing apparatus 1 further includes a rotation drive unit 14 for rotating the powder mixer unit 3 rotatably supported by the furnace unit 2 around a longitudinal axis of rotation. The rotation drive section 14 has an electric motor 15 and a rotation transmission member 16 for transmitting the rotation of the electric motor 15 to the powder mixer section 3. This rotation transmission member 16 is
A rotating shaft member 17 directly connected to the rotating shaft of the motor 15 with or without a reduction gear (not shown);
A disk 18 is formed integrally with this rotating shaft member 17 and has the same diameter as the powder mixer section 3, and this disk 18
It has a plurality of finger-like members 19 provided at angular intervals around the surface opposite to the rotating shaft member 17 .
一方、上記粉末混合器部３には、第５図に最もよく示さ
れているように、その本体部５の管状部７の右端面およ
び蓋部６の上記突出部９の右端面に、上記回転駆動部１
４の複数の指状部材１９の位置に対応して、この指状部
材１９が嵌合することのできる開口２０が形成されてい
る。第１図に示されているように、この指状部材１９が
該開口２０に嵌合することにより、粉末混合器部３は、
上記回転駆動部１４に作動連結されるようになっている
。On the other hand, as best shown in FIG. 5, the powder mixer section 3 has the above-mentioned Rotation drive unit 1
Openings 20 into which the finger-like members 19 can be fitted are formed corresponding to the positions of the plurality of finger-like members 19 of 4. As shown in FIG. 1, the finger-like members 19 fit into the openings 20, so that the powder mixer section 3
It is operatively connected to the rotation drive section 14.
次に、以上説明したセラミック粉末製造装置１を用いて
の本発明の実施例によるセラミック粉末および該セラミ
ック粉末を用いてのセラミックス（試料）の製造方法に
ついて説明する。この実施例においては、ＹＢａｚ Ｃ
ｕ５０，４超電導体セラミックを製造するものとして説
明する。Next, a description will be given of a ceramic powder according to an embodiment of the present invention using the ceramic powder manufacturing apparatus 1 described above, and a method of manufacturing ceramics (sample) using the ceramic powder. In this example, YBaz C
The explanation will be given assuming that a u50,4 superconductor ceramic is manufactured.
この製造にあたっては、まず原料粉末のＹ２０ａ 、Ｂ
ａＣＯ３，ＣｕＯが重量比で、１：２：３になるように
秤量する。そして、この秤量した原料粉末を粉末混合器
部３内に入れる。この後、上記炉部２およびモータ１５
を作動させて、１時間程度、攪拌混合しながら９２０〜
９３０℃まで昇温する。次いで、９２０〜９３０℃で、
粉砕混合しながら、従来の仮焼に相当する焼結を５時間
行い、この後、粉砕混合しながら１０時間程度徐々に冷
却する。この状態で、従来の場合とは異なり、直接セラ
ミック粉末を製造することができる。以上のように、本
実施例においては、１６時間の長時間にわたり混合を行
うようになっているので、完全な混合を行うことができ
、原料粉末の元素同士が完全に反応した反応生成物すな
わち超電導体を得ることができる。しかもこの混合を、
焼結等の他の作業と同時に行うようにしたので、全体と
しての製造時間を長くすることが無く、反対に従来必要
であった焼結前の原料粉末の乳鉢での混合を省略するこ
とができ、全体としての製造時間を短縮することができ
る。In this production, first the raw material powders Y20a, B
Weigh out aCO3 and CuO in a weight ratio of 1:2:3. Then, this weighed raw material powder is put into the powder mixer section 3. After this, the furnace section 2 and the motor 15
920 ~ while stirring and mixing for about 1 hour.
Raise the temperature to 930°C. Then, at 920-930°C,
Sintering, which corresponds to conventional calcination, is performed for 5 hours while pulverizing and mixing, and then gradually cooling for about 10 hours while pulverizing and mixing. In this state, unlike the conventional case, ceramic powder can be directly produced. As described above, in this example, since the mixing is carried out over a long period of 16 hours, complete mixing can be achieved, and the reaction product in which the elements of the raw material powder have completely reacted with each other, i.e. Superconductors can be obtained. Moreover, this mixture
Since it is performed at the same time as other operations such as sintering, the overall manufacturing time is not increased, and on the other hand, the mixing of raw material powder in a mortar before sintering, which was previously necessary, can be omitted. This can shorten the overall manufacturing time.
次いで、上記のようにして得られたセラミック粉末を０
．５ｇずつ秤量し、これを所定形状にプレス成形し、こ
の後、従来方法の本焼に相当する焼結を行い、最後にア
ニールを行って、ＹＢａ２Ｃｕ ３０７−Ｘ超電導体セ
ラミック試料を製造したなお、従来法においては、上記
本焼は、仮焼における原料同士の不完全な反応を補い、
反応をより完全なものとすることを主眼として行われる
が、本発明においては、セラミック粉末自体が完全な反
応生成物であり、それ自体が超電導体であるため、反応
を補うという目的はなく、プレスしただけのプレス成形
体では超電導パス（超電導電流の流れる道筋）が無いの
で、全体として超電導体きならないため、プレス後に焼
結を行ってセラミック粉末の粒界を相互に結合し、超電
導体パスを形成して、成形体全体を１つの超電導体とす
る目的で行われるものである。Next, the ceramic powder obtained as described above was
．． Weighed 5g each, press-molded it into a predetermined shape, then performed sintering equivalent to the final sintering of the conventional method, and finally annealed to produce a YBa2Cu 307-X superconductor ceramic sample. In the conventional method, the above-mentioned main firing compensates for the incomplete reaction between raw materials during calcination,
Although the main purpose is to make the reaction more complete, in the present invention, the ceramic powder itself is a complete reaction product and is itself a superconductor, so the purpose is not to supplement the reaction. Since there is no superconducting path (path for superconducting current to flow) in a press-formed body that is simply pressed, the whole is not a superconductor. Therefore, after pressing, sintering is performed to bond the grain boundaries of the ceramic powder to each other, creating a superconducting path. This is done for the purpose of forming the entire molded body into one superconductor.
また、上記従来の技術の項で述べた従来の乾式法により
、温度等は本実施例とほぼ同様の条件でＹ Ｂ ａ ２
Ｃｕ ３０７−ｘ超１を溝体セラミック試料を製造し
、これを比較例とした。In addition, by the conventional dry method described in the above-mentioned prior art section, Y B a 2
A grooved ceramic sample of Cu 307-x Super 1 was manufactured and used as a comparative example.
本実施例の超電導体と比較例による超電導体を用いて、
電気を流しながら冷却して行き、電気抵抗がゼロとなる
温度すなわち臨界温度Ｔｃの測定。 を行ったきころ
、本実施例による超電導体の臨界電流密度Ｊｃ（単位断
面積当たりどれだけの電流を流したときに超電導から常
電導になるか、超電導から常電導へ移行する境界電流値
）は、比較例のものより２倍以上の高い値を示した。Using the superconductor of this example and the superconductor of the comparative example,
Measurement of the critical temperature Tc, which is the temperature at which electrical resistance becomes zero by cooling while passing electricity. When conducting this, the critical current density Jc of the superconductor according to this example (how much current per unit cross-sectional area changes from superconducting to normal conducting, the boundary current value at which the transition from superconducting to normal conducting) is , which was more than twice as high as that of the comparative example.
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、原料粉末を十分
に混合することができるので、均質で良質なセラミック
スを、迅速に製造することができる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, raw material powders can be sufficiently mixed, so homogeneous and high-quality ceramics can be rapidly manufactured.
第１図は、本発明の実施例によるセラミック粉末製造装
置の概略を示す長手方向断面図、第２図は、第１図に示
されたセラミック粉末製、 造装置の管状の炉部の長
手方向断面図、第３図は、第２図に示された炉部の右側
面図、第４図は、第１図に示されたセラミック粉末製造
装置の粉末混合器部の長手方向断面図、第５図は、第４
図に示された粉末混合器部の右側面図、
第６図は、第４図に示された粉末混合器部の本体部の長
手方向断面図、
第７図は、第６図に示された粉末混合器部の本体部の右
側面図、
第８図は、第４図に示された粉末混合器部の蓋部の長手
方向断面図、
第９Ｍは、第８図に示された粉末混合器部の蓋部の右側
面図、
第１０図は、第１図に示されたセラミック粉末製造装置
の回転駆動部の側面図、
第１１図は、第１０図に示された回転駆動部の正面図で
ある。
Ｍ 原料粉末
１ セラミック粉末製造装置
２ 管状の炉部
３ 粉末混合器部
４ ベアリング
１４ 回転駆動部
代理人 北 村 欣 −、−−−５・□：＋＋
Ｊｌ、−
外３名FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a ceramic powder manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the tubular furnace section of the ceramic powder manufacturing apparatus shown in FIG. 3 is a right side view of the furnace section shown in FIG. 2, and FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the powder mixer section of the ceramic powder manufacturing apparatus shown in FIG. Figure 5 shows the fourth
6 is a longitudinal sectional view of the main body of the powder mixer section shown in FIG. 4; FIG. 7 is a right side view of the powder mixer section shown in FIG. FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the lid of the powder mixer shown in FIG. 4; FIG. 9M is a right side view of the main body of the powder mixer shown in FIG. 10 is a side view of the rotary drive section of the ceramic powder manufacturing apparatus shown in FIG. 1; FIG. 11 is a right side view of the lid of the mixer section; FIG. 11 is the rotary drive section shown in FIG. 10; FIG. M Raw material powder 1 Ceramic powder manufacturing device 2 Tubular furnace section 3 Powder mixer section 4 Bearing 14 Rotary drive section representative Kin Kitamura -, ---5・□:++
Jl, - 3 others
Claims (5)
りセラミック粉末を合成する方法であって、少なくとも
前記焼結を、前記原料粉末の攪拌混合をしながら行うこ
とを特徴とするセラミック粉末の製造方法。(1) A method for synthesizing ceramic powder by heating, sintering, and cooling raw material powder, characterized in that at least the sintering is performed while stirring and mixing the raw material powder. manufacturing method.
ラミック粉末が超電導体であるセラミック粉末の製造方
法。(2) A method for producing ceramic powder, wherein the ceramic powder produced by the method according to claim 1 is a superconductor.
ラミック粉末をプレス成形し、焼結することによりセラ
ミックスを製造することを特徴とするセラミックスの製
造方法。(3) A method for producing ceramics, which comprises producing ceramics by press-molding and sintering the ceramic powder produced by the method according to claim 1.
ラミックスが超電導体素子であるセラミックスの製造方
法。(4) A method for producing ceramics, wherein the ceramic produced by the method according to claim 3 is a superconductor element.
末混合器を備え、該粉末混合器内に原料粉末を収容し、
この原料粉末を前記粉末混合器で混合攪拌しながら、前
記焼結炉の作用で焼結することによりセラミック粉末を
合成することを特徴とするセラミック粉末の製造装置。(5) comprising a sintering furnace and a powder mixer disposed inside the sintering furnace, containing raw material powder in the powder mixer;
A ceramic powder manufacturing apparatus characterized in that ceramic powder is synthesized by sintering the raw material powder by the action of the sintering furnace while mixing and stirring the raw material powder in the powder mixer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2277697A JPH04154657A (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Production of ceramic power, device therefor and production of ceramics |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2277697A JPH04154657A (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Production of ceramic power, device therefor and production of ceramics |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04154657A true JPH04154657A (en) | 1992-05-27 |
Family
ID=17587050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2277697A Pending JPH04154657A (en) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | Production of ceramic power, device therefor and production of ceramics |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04154657A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016528392A (en) * | 2013-08-22 | 2016-09-15 | コミコ カンパニー リミテッドＫｏｍｉｃｏ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Aerosol coating method and plasma-resistant member formed thereby |
-
1990
- 1990-10-18 JP JP2277697A patent/JPH04154657A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016528392A (en) * | 2013-08-22 | 2016-09-15 | コミコ カンパニー リミテッドＫｏｍｉｃｏ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Aerosol coating method and plasma-resistant member formed thereby |
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