JPH04135647A - Clean room - Google Patents
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- JPH04135647A JPH04135647A JP25633690A JP25633690A JPH04135647A JP H04135647 A JPH04135647 A JP H04135647A JP 25633690 A JP25633690 A JP 25633690A JP 25633690 A JP25633690 A JP 25633690A JP H04135647 A JPH04135647 A JP H04135647A
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 23
- 238000004887 air purification Methods 0.000 claims description 8
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンルームに関し、更に詳しくは、室内に
設けた有害ガス発生源部の空気を除害処理して室外の排
出部より排出する除害手段と、前記室内から取り出した
空気を清浄化して前記室内へ返戻する空気浄化手段とを
備えたクリーンルームに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a clean room, and more specifically, to a clean room, and more specifically, to a clean room, in which the air in a noxious gas generation source section provided indoors is subjected to a decontamination treatment and then discharged from an outdoor exhaust section. The present invention relates to a clean room comprising: a means for cleaning air taken out from the room; and an air purifying means for cleaning air taken out from the room and returning it to the room.
従来のクリーンルームにおいて、その室内での有害ガス
の発生状況に異常か生じた場合、前記室内の空気を、前
記除害手段及び前記空気浄化手段を用いて除害・清浄化
していた。In a conventional clean room, when an abnormality occurs in the generation of harmful gases in the room, the air in the room is removed and purified using the above-mentioned abatement means and the air purification means.
前記除害手段は前記有害ガス発生源部で通常発生する有
害ガスの処理のためのものであり、前記室内で有害ガス
が異常に発生した状態に対処するにはその処理能力が不
足するので、その処理は、前記空気浄化手段を用いて行
われるようになる。然るに、前記空気浄化手段は前記室
内の空気を循環させつつ清浄化するものであるため、そ
の処理に長時間を要するという問題がある。The abatement means is for treating the harmful gas normally generated in the harmful gas generation source, and its processing capacity is insufficient to deal with the abnormal generation of harmful gas in the room. The treatment is performed using the air purification means. However, since the air purifying means cleans the indoor air while circulating it, there is a problem in that the process takes a long time.
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、上
述の問題の解消を図り得るクリーンルームを提供するこ
とを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a clean room that can solve the above-mentioned problems.
本発明に係るクリーンルームの第１の特徴構成は、有害
ガスの発生状況の異常を検知するセンサを前記有害ガス
発生源部又はその近傍に設けると共に、外気を室内に取
り入れ且つ室内の空気を除害処理して室外の排出部より
排出する換気手段を設け、前記センサによる異常検知に
基づいて前記空気浄化手段を非作動状態にし且つ前梧換
気手段を作動状態にする制御手段を設けてある点にあり
、その作用効果は次の通りである。A first feature of the clean room according to the present invention is that a sensor for detecting an abnormality in the generation of harmful gases is provided at or near the harmful gas generation source, and the outside air is taken into the room and the indoor air is detoxified. Ventilation means for processing and discharging the air from an outdoor exhaust section is provided, and control means is provided for deactivating the air purifying means and activating the front ventilation means based on abnormality detection by the sensor. The functions and effects are as follows.
かかる本発明装置においては、クリーンルーム内で有害
ガスが異常に発生した場合、前記センサによってその異
常を検知し、その検知に基づく前記制御手段の制御によ
り、前記空気浄化手段を非作動状態にし且つ前記換気手
段を作動状態にする。その結果、前記室内の空気は、従
来のように循環されつつ清浄化されるのではなく、前記
換気手段を用いて一挙に一掃されるように処理されるこ
ととなる。しかも、その処理される空気は、除害処理さ
れた状態で外に排出されるようになる。In such an apparatus of the present invention, when a harmful gas is abnormally generated in a clean room, the abnormality is detected by the sensor, and the control means is controlled based on the detection to put the air purification means into a non-operating state and to Activate ventilation means. As a result, the air in the room is not circulated and purified as in the conventional case, but is treated so as to be purged all at once using the ventilation means. Moreover, the treated air is discharged to the outside in a detoxified state.
従って、本発明装置によれば、前記異常の処理が短時間
で行われるようになり、クリーンルーム内で作業する作
業者が有害ガスに曝される時間の短縮が図れ、作業の安
全化か図れるようになる。しかも、処理後に排出される
空気は除害処理されているので、公害対策も図れる。Therefore, according to the device of the present invention, the above-mentioned abnormalities can be handled in a short time, and the time that workers working in a clean room are exposed to harmful gas can be shortened, making work safer. become. Furthermore, since the air discharged after treatment has been treated to eliminate pollution, it is possible to take measures against pollution.
〔本発明の第２の特徴構成〕
本発明に係るクリーンルームの第２の特徴構成は、前記
制御手段を、前記センサによる異常検知に基づき、前記
除害装置による処理量を増大させるように構成してある
点にある。[Second Characteristic Configuration of the Present Invention] A second characteristic configuration of the clean room according to the present invention is such that the control means is configured to increase the throughput by the abatement device based on abnormality detection by the sensor. At a certain point.
かかる本発明装置によれば、クリーンルーム内での前記
異常に対する処理を、前記換気手段に加え、処理量の増
大した前記除害装置によっても行えるようになり、その
処理量が更に増大する。According to the apparatus of the present invention, the abnormality in the clean room can be treated not only by the ventilation means but also by the abatement device, which has an increased throughput, and the throughput is further increased.
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
図面は、本発明に係るクリーンルームの一実施例を示し
ており、図中、（Ａ）はそのクリーンルームの室内を示
している。The drawing shows an embodiment of a clean room according to the present invention, and in the drawing, (A) shows the interior of the clean room.
その室内（Ａ）の雰囲気は、空気浄化手段（Ｂ）によっ
て清浄化され、その清浄化された雰囲気の室内（Ａ）に
おいては、清浄な雰囲気の下てないと不都合が生じる各
種作業が行われるようになっでいる。The atmosphere in the room (A) is purified by the air purification means (B), and in the room (A) with the purified atmosphere, various operations that would cause inconveniences unless the atmosphere is clean are performed. It looks like this.
前記空気浄化手段（Ｂ）は、具体的には、以下に詳述す
るように構成されている。Specifically, the air purification means (B) is configured as described in detail below.
即ち、クリーンルームの側壁部には空気排出口（１）が
設けられ、またクリーンルームの天井部には空気供給口
（２）が設けられており、前記空気排出口（１）から前
記室内（Ａ）の空気を排出すると共に、前記空気供給口
（２）から清浄空気を供給することにより、室内（Ａ）
の空気は清浄な状態に維持されるようになっている。That is, an air exhaust port (1) is provided in the side wall of the clean room, and an air supply port (2) is provided in the ceiling of the clean room, and the air is discharged from the air outlet (1) to the room (A). By discharging the air of the room (A) and supplying clean air from the air supply port (2),
The air is kept clean.
前記空気供給口（２）には、管路にファン（３）を介装
した空気供給管（４）が接続されており、そのファン（
３）を駆動することにより、前記空気供給管（４）内の
空気は前記空気供給口（２）経由で前記室内（Ａ）へ供
給されるようになっている。An air supply pipe (4) having a fan (3) interposed in the pipe is connected to the air supply port (2).
3), the air in the air supply pipe (4) is supplied to the room (A) via the air supply port (2).
前記空気供給管（４）における、ファン（３）介装位置
よりも上流側には、フィルター（５）が介装されており
、そのフィルター（５）に前記空気を通すことで、前記
空気は清浄化されるようになる。尚、前記空気供給管（
４）においては、前記ファン（３）介装位置と前記フィ
ルター（５）介装位置との間から、調整弁（６ａ）を介
装し且つ先端が前記室内（Ａ）に開口している分岐管（
６）か分岐している。そして、前記調整弁（６ａ）を調
整することにより、前記空気供給管（４）内の空気の前
記室内（Ａ）への供給量が調整されるようになっている
。A filter (5) is installed in the air supply pipe (4) upstream of the fan (3) installation position, and by passing the air through the filter (5), the air is Becomes purified. In addition, the air supply pipe (
In 4), a branch is provided between the fan (3) intervening position and the filter (5) intervening position, the regulating valve (6a) being interposed, and the tip thereof opening into the room (A). tube(
6) or branched. By adjusting the regulating valve (6a), the amount of air supplied into the room (A) in the air supply pipe (4) is adjusted.
前記空気排出口（１）には、管路に開閉弁（７ａ）を介
装し且つ先端が前記空気供給管（４）のフィルター（５
）介装位置の上流側に通じている（図中の仮想線参照）
空気排出管（７）か接続されている。そして、前記空気
排出口（１）から排出される前記室内（Ａ）の空気は前
記空気供給管（４）へ導かれ、前記フィルター（５）を
通過することで清浄化された後、前記室内（Ａ）へ返戻
されるようになっている。尚、その空気の返戻時には必
要に応じて外気が補給される。The air outlet (1) has an on-off valve (7a) interposed in the pipe line and a filter (5) at the tip of the air supply pipe (4).
) Leads to the upstream side of the intervening position (see imaginary line in the diagram)
The air exhaust pipe (7) is also connected. The air in the room (A) discharged from the air outlet (1) is guided to the air supply pipe (4), and is purified by passing through the filter (5). It is designed to be returned to (A). Note that when the air is returned, outside air is replenished as necessary.
前記空気浄化手段（Ｂ）は以上のように構成されている
。The air purifying means (B) is constructed as described above.
前記室内（Ａ）の適宜位置には、前記各種作業に使用さ
れる有害ガスが充填されたボンベ（８）を内部に貯蔵配
置したボックス（９）が設けられている。そのボックス
（９）内においては、ボンベ（８）の開閉作業を行うと
き等にボンベ（８）から有害ガスが漏洩する虞れがあり
、前記ボックス（９）内は有害ガス発生源部（Ｃ）とな
る。そこで、その有害ガス発生源部（Ｃ）における有害
ガスは、除害手段（Ｄ）によって除害処理されて室外に
排出されるようになっている。A box (9) in which a cylinder (8) filled with harmful gas used in the various operations is stored is provided at an appropriate position in the room (A). Inside the box (9), there is a risk of harmful gas leaking from the cylinder (8) when the cylinder (8) is opened and closed. ). Therefore, the harmful gas in the harmful gas generation source section (C) is removed by the removal means (D) and then discharged to the outside.
前記除害手段（Ｄ）は、具体的には、以下に詳述するよ
うに構成されている。Specifically, the harm removal means (D) is configured as described in detail below.
即ち、前記ボックス（９）の天井部から引き出された有
害ガス排出管（１２）は、その先端かクリーンルームの
室外に設置された除害装置（１３）に引き込まれている
。そして、その有害ガス排出管（１２）経由で、前記ボ
ックス（９）内から前記除害装置（１３）まで導かれる
有害ガスは、前記除害装置（１３）によって除害処理が
行われた後、その排出部としての排出管（１０）から排
出されるようになっている。That is, the noxious gas exhaust pipe (12) drawn out from the ceiling of the box (9) has its tip led into a detoxification device (13) installed outside the clean room. The harmful gas that is led from inside the box (9) to the abatement device (13) via the harmful gas exhaust pipe (12) is subjected to abatement treatment by the abatement device (13). , and is discharged from a discharge pipe (10) serving as its discharge section.
前記除害手段（Ｄ）は以上のように構成されている。The harm removal means (D) is configured as described above.
さて、前記有害ガス発生源部（Ｃ）及びその近傍には、
前記室内（Ａ）における有害ガスの発生状況の異常を検
知するセンサ（１４）が設けられており、そのセンサ（
１４）の検知情報に関する信号は、制御手段（Ｅ）へ入
力されるようになっている。Now, in the harmful gas generation source part (C) and its vicinity,
A sensor (14) is provided to detect an abnormality in the generation of harmful gas in the room (A), and the sensor (14)
The signal related to the detection information 14) is input to the control means (E).
また、前記クリーンルームには、外気を前記室内（Ａ）
に−挙に取り入れると共に、前記室内（Ａ）の空気を除
害処理して室外の排出部より排出する換気手段（Ｆ）が
付設されている。In addition, outside air is supplied to the clean room (A).
Ventilation means (F) is provided for taking in the air from inside the room (A) at once, detoxifying the air from the room (A), and discharging it from an outdoor exhaust section.
前記換気手段（Ｆ）は、具体的には、以下に詳述するよ
うに構成されている。The ventilation means (F) is specifically configured as described in detail below.
即ち、前記クリーンルームの天井部に設けられた外気取
入口（１７）には、外気を前記室内（Ａ）へ取り入れる
ための外気取入管（１６）が接続されている。その外気
取入管（１６）には開閉弁（１６ａ）か管路に介装され
ている。また、前記クリーンルームの側壁部に設けられ
た空気排出口（１８）には、前記室内（Ａ）の空気を排
出するための空気排出管（１９）が接続されている。そ
の空気排出管（１９）には、開閉弁（１９ａ）が管路の
介装されている。そして前記空気排出管（１９）の端末
部には、その管（１９）内の空気を吸引して端末側へ送
り出すための吸引力を引き起こすファン（２０）が接続
されており、そのファン（２０）の駆動によって、前記
管（１９）内の空気は端末側へ吸引されて送り出される
。更に、その空気は前記ファン（２０）の更に端末側に
接続された除害装置（２１）に送り込まれ、その装置（
２１）によって適宜の除害処理が行われた後、前記室外
の排出部としての排出管（１５）から排出されるように
なっている。That is, an outside air intake pipe (16) for taking outside air into the room (A) is connected to an outside air intake port (17) provided in the ceiling of the clean room. An on-off valve (16a) or a conduit is interposed in the outside air intake pipe (16). Furthermore, an air exhaust pipe (19) for discharging air from the room (A) is connected to an air exhaust port (18) provided on a side wall of the clean room. An on-off valve (19a) is interposed in the air exhaust pipe (19). A fan (20) is connected to the terminal end of the air discharge pipe (19), which generates a suction force to suck the air in the pipe (19) and send it out to the terminal side. ), the air in the tube (19) is sucked toward the end and sent out. Furthermore, the air is sent to the abatement device (21) connected to the terminal side of the fan (20), and
21), the waste is discharged from the discharge pipe (15) serving as the outdoor discharge section.
前記換気手段（Ｆ）は以上のように構成されている。The ventilation means (F) is constructed as described above.
尚、前記外気取入管（１６）の開閉弁（１６ａ）及び前
記空気排出管（１９）の開閉弁（１９ａ）の開閉制御は
、前記制御手段（Ｅ）からの制御信号によって行われる
。また、その制御手段（Ｅ）からの制御信号によって、
前記空気供給管（４）の管路に介装されたファン（３）
の駆動制御、及び、前記空気排出管（７）の管路に介装
された開閉弁（７ａ）の開閉制御も行われるようになっ
ている。The opening/closing control of the on-off valve (16a) of the outside air intake pipe (16) and the on-off valve (19a) of the air exhaust pipe (19) is performed by a control signal from the control means (E). Further, by the control signal from the control means (E),
A fan (3) interposed in the conduit of the air supply pipe (4)
and the opening/closing control of an on-off valve (7a) interposed in the air discharge pipe (7).
また、前記クリーンルームの室内（Ａ）には、その室内
（Ａ）にて生じる廃液等の処理を行うためのスクラバー
（２２）も配置されており、そのスクラバー（２２）か
ら引き出された排出管（２３）も前記空気排出管（１９
）の端末部（前記ファン（３）の接続位置の上流側）に
連通接続されている。In addition, a scrubber (22) for treating waste liquid generated in the clean room (A) is also arranged in the clean room (A), and a discharge pipe (22) drawn out from the scrubber (22) is installed. 23) also the air exhaust pipe (19)
) (on the upstream side of the connection position of the fan (3)).
かかる構成の本発明装置において、前記室内（Ａ）内で
の有害ガスの発生状況に異常を来していない状態（通常
時）では、前記制御手段（Ｅ）の制御によって前記開閉
弁（７ａ）を開くと共に前記ファン（３）を駆動して前
記空気浄化手段（Ｂ）を作動状態にし、もって前記室内
（Ａ）の空気を循環させつつ清浄化する。この場合、前
記空気供給口（２）から前記室内（Ａ）へ供給される清
浄化空気の流量は例えば８４ＣＭＭ程度であり、前記空
気排出口（１）から排出される空気の流量は例えば５〜
２０ＣＭＭ程度である。そして、その条件では前記空気
の循環を行うのに流量か不足して釣り合いがとれないの
で、その不足分は外気補給によって補われる。またこの
状態で、前記ボックス（９）内の空気も例えば５ＣＭＭ
程度の流量で前記除害装置（１３）へ送り出され、そこ
で除害処理が行われる。尚、前記開閉弁（１６ａ）、
（１９ａ）は、前記換気手段（Ｆ）を非作動状態とする
ために閉じておく。In the apparatus of the present invention having such a configuration, when there is no abnormality in the generation of harmful gas in the room (A) (normal state), the on-off valve (7a) is controlled by the control means (E). When opened, the fan (3) is driven to put the air purifying means (B) into operation, thereby circulating and purifying the air in the room (A). In this case, the flow rate of clean air supplied from the air supply port (2) to the room (A) is, for example, about 84 CMM, and the flow rate of air discharged from the air discharge port (1) is, for example, about 5 to 5 cm.
It is about 20CMM. Under these conditions, the flow rate for circulating the air is insufficient and balance cannot be maintained, so the shortage is compensated for by supplying outside air. In addition, in this state, the air inside the box (9) is also, for example, 5CMM.
The water is sent to the abatement device (13) at a flow rate of about 100 mL, and is subjected to a abatement process there. In addition, the on-off valve (16a),
(19a) is closed in order to put the ventilation means (F) into a non-operating state.
また、前記室内（Ａ）内での有害ガスの発生状況に異常
を来した状態（緊急時）では、前記制御手段（Ｅ）の制
御によって前記開閉弁（１６ａ）。Further, in a state where the generation of harmful gases in the room (A) is abnormal (in an emergency), the opening/closing valve (16a) is controlled by the control means (E).
（１９ａ）を開いて前記換気手段（Ｆ）を作動状態にし
、もって前記室内（Ａ）の空気を一挙に一掃する。尚、
前記開閉弁（７ａ）を閉じると共に前記ファン（３）の
駆動を停止することにより、前記空気浄化手段（Ｂ）は
非作動状態にしておく。この場合、前記外気取入口（１
７）から前記室内（Ａ）へ取り入れる外気の流量は、例
えば８４ＣＭＭ程度であり、前記空気排出口（１８）か
ら排出する前記室内（Ａ）の空気の流量は、例えば５０
ＣＭＭ程度である。また、前記ボックス（９）内の空気
は、例えば１００ＭＭ程度の流量で通常時よりも多量に
前記除害装置（１３）へ送り出され、そこで除害処理が
行われる。尚、前記空気浄化手段（Ｂ）を作動させない
ので、前記開閉弁（７ａ）は閉じると共に前記ファン（
３）はその駆動を停止させておく。(19a) is opened to activate the ventilation means (F), thereby sweeping out the air in the room (A) at once. still,
By closing the on-off valve (7a) and stopping the drive of the fan (3), the air purifying means (B) is kept in a non-operating state. In this case, the outside air intake (1
The flow rate of outside air taken into the room (A) from 7) is, for example, about 84 CMM, and the flow rate of the air in the room (A) discharged from the air outlet (18) is, for example, about 50 CMM.
It is about the same as CMM. Further, the air in the box (9) is sent to the abatement device (13) at a flow rate of, for example, about 100 MM in a larger amount than normal, and is subjected to a abatement process there. Note that since the air purifying means (B) is not operated, the on-off valve (7a) is closed and the fan (
3), the drive is stopped.
尚、前記スクラバー（２２）経由で前記室内（Ａ）から
排出される空気は、例えば１９ｃＭＭ程度の流量である
（通常時・緊急時共）。Note that the air discharged from the room (A) via the scrubber (22) has a flow rate of, for example, about 19 cMM (both in normal times and in emergencies).
尚、緊急時においても、前記空気排出口（１）から例え
ば５ ＣＭＭ程度の流量の空気を排出することも考えら
れる。この場合、前記空気排出口（１８）から排出され
る前記室内（Ａ）の空気の流量は前記流量に応じて減る
。In addition, even in an emergency, it is conceivable to exhaust air at a flow rate of, for example, about 5 CMM from the air exhaust port (1). In this case, the flow rate of air in the room (A) discharged from the air outlet (18) decreases in accordance with the flow rate.
また、緊急時においても、前記ボックス（９）内の空気
を通常時と同様の流量で前記除害装置（１３）へ送り出
すことも考えられる。Furthermore, even in an emergency, it is conceivable to send the air in the box (9) to the abatement device (13) at the same flow rate as in normal times.
また、有害ガスの発生状況の異常を検知する前記センサ
（１４）の設置位置は、前記有害ガス発生源部（Ｃ）の
みであってもよく、またその近傍のみであってもよい。Further, the sensor (14) for detecting an abnormality in the harmful gas generation situation may be installed only at the harmful gas generation source section (C) or only in the vicinity thereof.
要するに、前記異常が前記センサ（１４）によって検知
できればよい。In short, it is sufficient if the abnormality can be detected by the sensor (14).
尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構成
に限定されるものではない。Incidentally, although reference numerals are written in the claims section for convenient comparison with the drawings, the present invention is not limited to the structure shown in the accompanying drawings.
図面は本発明に係るクリーンルームの一実施例を模式的
に示す縦断面図である。
（１４）・・・・・・センサ、（Ａ）・・・・・・室内
、（Ｂ）・・・・・・空気浄化手段、（Ｃ）・・・・・
・有害ガス発生源部、（Ｄ）・・・・・・除害手段、（
Ｅ）・・・・・・制御手段、（Ｆ）・・・・・・換気手
段。The drawing is a vertical sectional view schematically showing an embodiment of a clean room according to the present invention. (14)...Sensor, (A)...Indoor, (B)...Air purification means, (C)...
・Harmful gas generation source part, (D)...Hazard removal means, (
E)... Control means, (F)... Ventilation means.
Claims (1)
を除害処理して室外の排出部より排出する除害手段（Ｄ
）と、前記室内（Ａ）から取り出した空気を清浄化して
前記室内（Ａ）へ返戻する空気浄化手段（Ｂ）とを備え
たクリーンルームであって、 有害ガスの発生状況の異常を検知するセンサ（１４）を
、前記有害ガス発生源部（Ｃ）又はその近傍に設けると
共に、 外気を室内（Ａ）に取り入れ、且つ、室内（Ａ）の空気
を除害処理して室外の排出部より排出する換気手段（Ｆ
）を設け、 前記センサ（１４）による異常検知に基づき、前記空気
浄化手段（Ｂ）を非作動状態にし、且つ、前記換気手段
（Ｆ）を作動状態にする制御手段（Ｅ）を設けてあるク
リーンルーム。 ２、前記制御手段（Ｅ）を、前記センサ（１４）による
異常検知に基づき、前記除害装置（Ｄ）による処理量を
増大させるように構成してある請求項１記載のクリーン
ルーム。[Scope of Claims] 1. Harm removal means (D) that detoxifies the air in the noxious gas generation source part (C) provided in the room (A) and discharges it from the exhaust part outside the room.
) and an air purification means (B) for purifying the air taken out from the room (A) and returning it to the room (A), the sensor detecting an abnormality in the generation of harmful gases. (14) is installed at or near the harmful gas generation source (C), and the outside air is taken into the room (A), and the air in the room (A) is subjected to detoxification treatment and discharged from the outdoor exhaust part. Ventilation means (F
), and a control means (E) is provided for deactivating the air purification means (B) and activating the ventilation means (F) based on abnormality detection by the sensor (14). clean room. 2. The clean room according to claim 1, wherein the control means (E) is configured to increase the throughput by the abatement device (D) based on abnormality detection by the sensor (14).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25633690A JPH04135647A (en) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | Clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25633690A JPH04135647A (en) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | Clean room |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04135647A true JPH04135647A (en) | 1992-05-11 |
Family
ID=17291257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25633690A Pending JPH04135647A (en) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | Clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04135647A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6482083B1 (en) * | 1998-12-02 | 2002-11-19 | Johnson Medical Development Pte. Ltd. | Method and device for ventilating a so called clean room |
| DE102009044044A1 (en) * | 2009-09-17 | 2011-05-26 | Weiss Klimatechnik Gmbh | Method for examining or monitoring air flow in work space, such as pure area, particularly area of operations, involves arranging flow probe in, on and or within portion of work center |
| DE102010037345A1 (en) | 2010-09-06 | 2012-03-08 | Weiss Klimatechnik Gmbh | Method for checking and/or monitoring of air quality in operating room, involves arranging measuring sensor in region of operating table, for measuring quality of flow air in region of operating table |
| EP2636964A1 (en) | 2012-03-06 | 2013-09-11 | Weiss Klimatechnik GmbH | Method for checking the air quality in an operating theatre |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP25633690A patent/JPH04135647A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6482083B1 (en) * | 1998-12-02 | 2002-11-19 | Johnson Medical Development Pte. Ltd. | Method and device for ventilating a so called clean room |
| DE102009044044A1 (en) * | 2009-09-17 | 2011-05-26 | Weiss Klimatechnik Gmbh | Method for examining or monitoring air flow in work space, such as pure area, particularly area of operations, involves arranging flow probe in, on and or within portion of work center |
| DE102010037345A1 (en) | 2010-09-06 | 2012-03-08 | Weiss Klimatechnik Gmbh | Method for checking and/or monitoring of air quality in operating room, involves arranging measuring sensor in region of operating table, for measuring quality of flow air in region of operating table |
| DE102010037345B4 (en) * | 2010-09-06 | 2013-08-22 | Weiss Klimatechnik Gmbh | Method for checking the air quality in an operating room |
| EP2636964A1 (en) | 2012-03-06 | 2013-09-11 | Weiss Klimatechnik GmbH | Method for checking the air quality in an operating theatre |
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