JPH04130432U - 常圧ｃｖｄ装置の排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 排気用配管のつまり具合や大気の状態の影響
を受けることなく安定してガスを排出することができる
常圧ＣＶＤ装置の排気装置を提供する。 【構成】 常圧ＣＶＤ装置の排気装置は、一端が常圧Ｃ
ＶＤ装置本体１に接続され他端が大気に開放されている
排気用配管２と、排気用配管２を流通するガスを強制的
に大気側へ圧送するガス排出用ポンプ６と、排気用配管
２を流通するガスの圧力を検出する圧力計７と、圧力計
７の出力信号を受けて排気用配管２を流通するガスの圧
力が一定になるようにガス排出用ポンプ６の作動状態を
制御するコントローラ８とを備えている。 【効果】 排気用配管２を流通するガスの圧力が安定す
るため、常圧ＣＶＤ装置本体内にガスが残留しなくなる
ので、パーティクルの発生を確実に防止することができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は常圧ＣＶＤ装置の排気装置に関し、特に半導体装置の製造過程におい て、常圧下でシリコン基板上に各種の膜を成長させる常圧ＣＶＤ装置に用いられ る排気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図２は従来の常圧ＣＶＤ装置の排気装置の概略の全体構成を示している。

【０００３】 図２において、１は常圧ＣＶＤ装置本体、２は常圧ＣＶＤ装置本体１で発生し たガスを大気に排出するための排気用配管、３は排気用配管２内を流通するガス を大気開放側へ送る排気ファン、４は排気用配管２内の排気圧力を測定するため のマノメーター、５は排気用配管２の圧力を調節するための圧力調節バルブであ る。

【０００４】 以上のように構成された常圧ＣＶＤ装置の排気装置について以下その動作を説 明する。

【０００５】 常圧ＣＶＤ装置本体１で発生したガスは排気ファン３の作動に伴って排気用配 管２を流通して大気開放口から外部に排出される。この場合、排気用配管２内の 圧力はマノメーター４で測定され、該マノメーター４の測定値に基づき手動で圧 力調節バルブ５を操作することにより排気用配管２内の圧力は調節される。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来の排気装置によると、排気用配管の圧力の調整がマノ メーターの測定値に基づき行われているために、排気用配管の内部のつまり具合 や大気の状態によって排気用配管内の圧力が変動する。このため、排出されるべ きガスが常圧ＣＶＤ装置本体１の内部に残留することがあり、パーティクル発生 の原因となるという問題があった。

【０００７】 本考案は上記従来の問題点を解決するものであって、常圧ＣＶＤ装置本体で発 生したガスを、排気用配管２の内部のつまり具合や大気の状態の如何に拘らず安 定して外部に排出することができる常圧ＣＶＤ装置の排気装置を提供することを 目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するために、本考案の常圧ＣＶＤ装置の排気装置は、排気用 配管内を流通するガスを大気の影響を受け難いポンプによって強制的に大気側へ 圧送すると共に、排気用配管内を流通するガスの圧力が一定になるように上記ポ ンプの作動状態を制御するものである。

【０００９】 具体的に本考案が講じた解決手段は、一端が常圧ＣＶＤ装置本体に接続され他 端が大気に開放されており上記常圧ＣＶＤ装置本体で発生したガスを大気に排出 するためのガス排出路と、該ガス排出路を流通するガスを強制的に大気側へ圧送 するガス排出用ポンプと、上記ガス排出路を流通するガスの圧力を検出する圧力 検出手段と、該圧力検出手段の出力信号を受けて上記ガス排出路を流通するガス の圧力が一定になるように上記ガス排出用ポンプの作動状態を制御する制御手段 とを備えている構成とするものである。

【００１０】

【作用】

上記の構成により、ガス排出路を流通するガスを強制的に大気側へ圧送するガ ス排出用ポンプを備えているため、ガス排出路を流通するガスは排気用配管の内 部のつまり具合や大気の状態の影響を受けることなく安定して大気に放出される ので、常圧ＣＶＤ装置本体内にガスが残留しなくなる。

【００１１】 また、ガス排出路を流通するガスの圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検 出手段の出力信号を受けてガス排出路を流通するガスの圧力が一定になるように ガス排出用ポンプの作動状態を制御する制御手段を備えているため、ガスを強制 的に外部に放出するガス排出用ポンプを備えているにも拘らずガス排出路を流通 するガスの圧力が一定に保たれるので、常圧ＣＶＤ装置本体内の圧力が異常に低 下することはない。

【００１２】

【実施例】

以下本考案の実施例について図面を参照しながら説明する。

【００１３】 図１は本考案の一実施例に係る常圧ＣＶＤ装置の排気装置の概略の全体構成を 示しており、同図において、１は常圧ＣＶＤ装置本体、２は常圧ＣＶＤ装置本体 １で発生したガスを大気に排出するためのガス排出路としての排気用配管２であ って、両者共に従来のものと同様の構造である。

【００１４】 本実施例の特徴として、排気用配管２には、当該排気用配管２を流通するガス を強制的に大気側へ圧送するガス排出用ポンプ６と、当該排気用配管２を流通す るガスの圧力を検出する圧力検出手段としての圧力計７とが接続されている。ま た、図１において、８は制御手段としてのコントローラであって、該コントロー ラ８は、圧力計７からの圧力信号を受けて排気用配管２を流通するガスの圧力が 一定になるようにガス排出用ポンプ６の作動状態を制御する。

【００１５】 本実施例に係る常圧ＣＶＤ装置の排気装置においては、排気用配管２内を流通 するガスの圧力は次のようにして一定に保たれる。すなわち、常圧ＣＶＤ装置本 体１から出たガスは、ガス排出用ポンプ２によって排気用配管２内を流通して強 制的に外部に排出される。この場合、排気用配管２を流通するガスの圧力は圧力 計７によって測定される。そして、該圧力計７の出力信号を受けてコントローラ ８が、排気用配管２を流通するガスの圧力が一定になるようにガス排出用ポンプ ６の作動状態を制御するので、排気用配管２のガスの圧力は一定に保たれる。

【００１６】 従って、本実施例によると、排気用配管２を流通するガスを強制的に大気側へ 圧送するガス排出用ポンプ６を備えているため、排気用配管２を流通するガスは 大気の圧力の影響を受けることなく大気に放出されるので、常圧ＣＶＤ装置本体 １内にガスが残留することがなくなり、パーティクルの発生を防止することがで きる。

【００１７】 また、圧力計７とコントローラ８とを備えているため、圧力計７からの出力信 号に基づき排気用配管２のガスの圧力が一定になるように排気用ポンプ６が制御 されるので、常圧ＣＶＤ装置本体１内の圧力が異常に低下することはない。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案に係る常圧ＣＶＤ装置の排気装置によると、ガス 排出路を流通するガスを強制的に大気側へ圧送するガス排出用ポンプと、ガス排 出路を流通するガスの圧力を検出する圧力検出手段と、圧力検出手段の出力信号 を受けてガス排出路のガスの圧力が一定になるようにガス排出用ポンプの作動状 態を制御する制御手段とを備えているため、ガス排出路を流通するガスが安定し て大気に放出され常圧ＣＶＤ装置本体内にガスが残留しなくなるので、パーティ クルの発生を確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る常圧ＣＶＤ装置の排気
装置を示す概略全体構成図である。

【図２】従来の常圧ＣＶＤ装置の排気装置を示す概略全
体構成図である。

【符号の説明】

１…常圧ＣＶＤ装置本体 ２…排気用配管（ガス排出路） ６…ガス排出用ポンプ ７…圧力計（圧力検出手段） ８…コントローラ（制御手段）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端が常圧ＣＶＤ装置本体に接続され他
   端が大気に開放されており上記常圧ＣＶＤ装置本体で発
   生したガスを大気に排出するためのガス排出路と、該ガ
   ス排出路を流通するガスを強制的に大気側へ圧送するガ
   ス排出用ポンプと、上記ガス排出路を流通するガスの圧
   力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段の出力信
   号を受けて上記ガス排出路を流通するガスの圧力が一定
   になるように上記ガス排出用ポンプの作動状態を制御す
   る制御手段とを備えていることを特徴とする常圧ＣＶＤ
   装置の排気装置。