JPH04121904A - Anisotropic conductive material and its manufacture - Google Patents

Anisotropic conductive material and its manufacture

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JPH04121904A
JPH04121904A JP2241139A JP24113990A JPH04121904A JP H04121904 A JPH04121904 A JP H04121904A JP 2241139 A JP2241139 A JP 2241139A JP 24113990 A JP24113990 A JP 24113990A JP H04121904 A JPH04121904 A JP H04121904A
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JP
Japan
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conductor
electrode
electrostatic flocking
insulating
adhesive layer
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Application number
JP2241139A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuhisa Masuko
増子 和久
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Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH04121904A publication Critical patent/JPH04121904A/en
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/325Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by abutting or pinching, i.e. without alloying process; mechanical auxiliary parts therefor

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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain an anisotropic conductive material having low conductive resistance and contact resistance, strength, stable resistant value even if stress is applied or it is rubbed and having little secular change by using a linear conductor as a conductor. CONSTITUTION:An anisotropic conductive material 1 is provided with an adhesive material layer 4, which is spread on an electrode for electrostatic planting and is removed after the curing of insulation material 3 which forms a structure body, metal short fibers 2, 2... which are electrostatically planted as multiple linear conductors into this adhesive material layer 4 and an insulation material 3, which is filled among the short fibers 2, 2... and cured so as to form the structure body, with short fibers 2, 2... oriented in thickness direction both ends of the short fibers 2, 2... exposed, from obverse and reverse side and the insulation material, for forming the abovementioned structure body, composed of different kinds of plural insulation materials 3a, 3b... and the structure body so composed as having plural layers. The short fibers 2, 2... are combined in plural number and then form an aggregate, and the short fibers 2, 2... are arranged on the surface of the insulation substrate 3 in checker board pattern.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、厚さ方向には導電性を有するが、面方向に
は絶縁性である、いわゆる異方導電体及びその製造方法
に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a so-called anisotropic conductor that is conductive in the thickness direction but insulating in the plane direction, and a method for manufacturing the same. be.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

厚さ方向には導電性を有するが、面方向には絶縁性であ
るいわゆる異方導電体は、電子機器等の分野において広
く利用されてきている。
So-called anisotropic conductors, which are conductive in the thickness direction but insulating in the plane direction, have been widely used in fields such as electronic devices.

たとえば、異方導電体は、その性質を利用して、プリン
ト回路基板同士の接続やプリント回路基板と各種の電気
電子素子、特に接続ピッチの細かな液晶表示板の接続な
どによく使用されている。
For example, due to its properties, anisotropic conductors are often used to connect printed circuit boards to each other, and to connect printed circuit boards to various electrical and electronic devices, especially liquid crystal display boards with fine connection pitches. .

また、異方導電体は、ノンインパクトタイプのプリンタ
の印字用電極に応用することもできる。
Further, the anisotropic conductor can also be applied to printing electrodes of non-impact type printers.

すなわち、インク媒体のインクを熱によって被記録媒体
上に転写して画像の記録を行うノンインパクトタイプの
プリンタにおいて、インク媒体への画像情報に応じた熱
エネルギの印加を、画像情報に応じて発熱する記録ヘッ
ドによって行うのではなく、インク媒体自体に発熱層を
担持させ、このインク媒体の発熱層に異方導電体からな
る印字用電極を通して画像情報に応じた領域にのみ通電
を行い、インク媒体の発熱層を画像情報に応じて発熱さ
せることによって画像の記録を行うようにしたものであ
る。
In other words, in a non-impact type printer that records an image by transferring ink from an ink medium onto a recording medium using heat, thermal energy is applied to the ink medium in accordance with image information, and heat energy is applied to the ink medium in accordance with image information. Instead of using a recording head that carries a heat generating layer on the ink medium itself, electricity is applied only to the area corresponding to the image information through a printing electrode made of an anisotropic conductor to the heat generating layer of the ink medium. The image is recorded by causing the heating layer of the image forming apparatus to generate heat according to the image information.

このような応用例を考えた場合、異方導電体の導体は、
導通抵抗及び接触抵抗が低く、かつ導体が強度を有し、
外力が加わったり擦られたりしても抵抗値が安定してい
ることが望ましい。この観点からは、異方導電体の導体
に金属繊維等からなる線状導体を用いるのが好適である
Considering such an application example, the conductor of the anisotropic conductor is
Conduction resistance and contact resistance are low, and the conductor has strength,
It is desirable that the resistance value remains stable even when external force is applied or the material is rubbed. From this point of view, it is preferable to use a linear conductor made of metal fiber or the like as the conductor of the anisotropic conductor.

従来、この種の線状導体を用いた異方導電体及びその製
造方法に関するものとしては、次に示すようなものがあ
る。すなわち、特公昭58−58766号公報、特公昭
60−32282号公報、特公昭61−46922号公
報に示すように、はぼ等しい長さを有する多数の磁性線
状導電体を電気的に絶縁特性を有するマトリックス液中
に分散させ、その混合液を前記磁性線状導電体の長さに
ほぼ等しい厚みのシート状に保持するとともに、このシ
ート状混合液を規則的に配列された多数の凸部を有する
磁極面に近接して対向させ、シート状混合液に厚み方向
の不均一磁界を作用させて磁性線状導電体を前記磁極面
の凸部に集中させるとともにこれを前記厚み方向に配向
させ、この状態を維持しつつ前記マトリクス液を固化せ
しめるように構成したものが提案され、実際に製造され
てもいる。
Conventionally, there are the following methods related to anisotropic conductors using this type of linear conductor and methods for manufacturing the same. That is, as shown in Japanese Patent Publication No. 58-58766, Japanese Patent Publication No. 60-32282, and Japanese Patent Publication No. 61-46922, a large number of magnetic linear conductors having approximately equal lengths have electrically insulating properties. The mixed liquid is held in the form of a sheet with a thickness approximately equal to the length of the magnetic linear conductor, and the mixed liquid is dispersed in a matrix liquid having a large number of regularly arranged convex portions. , and apply a nonuniform magnetic field in the thickness direction to the sheet-like mixed liquid to concentrate the magnetic linear conductors on the convex portions of the magnetic pole surface and orient them in the thickness direction. A device configured to solidify the matrix liquid while maintaining this state has been proposed and actually manufactured.

一方、特開昭59−93323号公報や特開昭61−1
33586号公報に示すように、絶縁性材料に金属線ま
たは金属繊維を混合したのち、これを円盤状に成型され
る金型にその中心部から円周方向に射出成形して金属線
または金属繊維が射出方向に配向された円盤状成形品を
作り、ついでこの成形品をその円周方向に沿ってスライ
スし、連続シート状体を取得するように構成したものも
提案されている。
On the other hand, JP-A-59-93323 and JP-A-61-1
As shown in Publication No. 33586, metal wires or metal fibers are mixed with an insulating material and then injection molded into a disk-shaped mold from the center in the circumferential direction to form metal wires or metal fibers. There has also been proposed a structure in which a disk-shaped molded product is made in which the particles are oriented in the injection direction, and then this molded product is sliced along the circumferential direction to obtain a continuous sheet-like body.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかし、上記従来技術の場合には、次のような問題点を
有している。すなわち、前者の異方導電体及びその製造
方法の場合には、マトリックス液中に分散された金属繊
維を磁界で配向させるものであるため、導体の密度を高
めたり、導体を規則的に配列させようとすると、一部に
磁界を集中させたり、磁界を規則的に発生させる必要が
あるため、複雑な形状の磁極が必要となる。そのため、
異方導電体を製造するための製造装置の構成か複雑にな
りコスト高になるとともに、大きなサイズの異方導電体
を製造するのが困難であるという問題点がある。
However, the above conventional technology has the following problems. In other words, in the case of the former anisotropic conductor and its manufacturing method, metal fibers dispersed in a matrix liquid are oriented using a magnetic field, so it is difficult to increase the density of the conductor or arrange the conductors regularly. If this were to be done, it would be necessary to concentrate the magnetic field in one area or to generate the magnetic field regularly, which would require magnetic poles with complex shapes. Therefore,
There are problems in that the structure of a manufacturing apparatus for manufacturing an anisotropic conductor becomes complicated, resulting in high costs, and it is difficult to manufacture a large-sized anisotropic conductor.

また、硬化前のマトリックス液に磁界を作用させて、マ
トリックス液中に分散させた金属繊維を配向させるもの
であるため、金属繊維が絶縁材料中で容易に動き得るも
のでなければならない。そのため、マトリックス液は、
必然的に未硬化の際の粘度が低いものに限定されるので
、硬化後のマトリックスは、可撓性を有するシート状の
ものとなり、プリンタの印字用電極のような所定の形状
を維持し得る構造体をつくるのが困難であるという問題
点がある。
Furthermore, since a magnetic field is applied to the matrix liquid before hardening to orient the metal fibers dispersed in the matrix liquid, the metal fibers must be able to move easily within the insulating material. Therefore, the matrix liquid is
Since the uncured viscosity is necessarily limited to low viscosity, the cured matrix becomes a flexible sheet-like material that can maintain a predetermined shape, such as the printing electrode of a printer. The problem is that it is difficult to create a structure.

一方、後者の異方導電体及びその製造方法の場合には、
金属繊維を混合した絶縁性材料を金型に射出成形して製
造するものであるため、大きなサイズのものをつくるの
は容易であるか、金属繊維を射出成形時の流動特性によ
って配向させるものであるため、導体を規則的に配列さ
せることはできずしかも必ずしも全部の導体が絶縁性材
料を貫通して導通しているわけではないという問題点が
ある。また、導体の密度の制御が困難であるばかりか、
異方導電体を精度良く薄く切断するための装置等が必要
であり、製造装置の構成が複雑になるという問題点を有
している。
On the other hand, in the case of the latter anisotropic conductor and its manufacturing method,
Since it is manufactured by injection molding an insulating material mixed with metal fibers into a mold, it is easy to make large sizes, or the metal fibers are oriented using the flow characteristics during injection molding. Therefore, there is a problem in that the conductors cannot be arranged regularly and not all the conductors necessarily penetrate through the insulating material and are electrically conductive. In addition, it is not only difficult to control the density of the conductor, but also
This requires a device or the like to cut the anisotropic conductor into thin pieces with high precision, which poses a problem in that the configuration of the manufacturing device becomes complicated.

そこで、上記の問題点のうち、生産性の問題点を解決し
、金属製繊維を導体とする異方導電体を効率良く製造す
るための方法としては、特開昭63−34806号公報
に示すように、静電植毛法を応用したものが既に提案さ
れている。
Therefore, among the above problems, a method for solving the productivity problem and efficiently manufacturing an anisotropic conductor using metal fibers as a conductor is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-34806. As mentioned above, methods applying the electrostatic flocking method have already been proposed.

これは、離型シート上に植毛用樹脂層を形成し、樹脂層
に導電性を有する短繊維を離型シートの離型面に短繊維
の一端が実質的に到達するように植毛し、樹脂層を硬化
させた後、植毛した短繊維の樹脂層から突出する部分を
個々に絶縁性樹脂の塗膜で覆い、離型シートを剥離して
構成したものである。
This involves forming a flocking resin layer on a release sheet, flocking conductive short fibers onto the resin layer so that one end of the short fibers substantially reaches the release surface of the release sheet, and After curing the layer, the parts of the flocked short fibers that protrude from the resin layer are individually covered with an insulating resin coating, and the release sheet is peeled off.

しかし、この方法は、厚さ方向の導通を得るために導電
性繊維を植毛のヘースとする樹脂層を貫通させる必要が
あるため、樹脂層の粘度が高くなったり、厚さが厚くな
ったりすると貫通しない導電性繊維があられれ、導通不
良が起こるほか、樹脂層の粘度が低いと樹脂層が硬化す
るまでに、植毛された導電性繊維が倒れてしまい、面方
向に導通してしまうという問題点を有している。また、
導電性繊維が樹脂層に横に寝て付着するのを防止できな
いうえ、横に寝て付着した導電性繊維を除去できないの
で、面方向に導通が生じるのを防止することができない
という問題点をも有している。
However, this method requires the conductive fibers to penetrate the resin layer that serves as the hair flocking in order to obtain conductivity in the thickness direction. In addition to causing conductive fibers that do not penetrate to form, causing poor conductivity, there is also the problem that if the viscosity of the resin layer is low, the flocked conductive fibers will fall down before the resin layer hardens, resulting in conductivity in the plane direction. It has points. Also,
The problem is that it is not possible to prevent the conductive fibers from adhering to the resin layer by laying them down, and it is also impossible to remove the conductive fibers which have adhered to the resin layer by lying them down, so it is impossible to prevent conduction from occurring in the plane direction. It also has

このほか導体を規則的に配列させることができないとい
う問題点もある。
Another problem is that the conductors cannot be arranged regularly.

そこで、本発明者は、上記従来技術の問題点を解決し、
導体として線状導体を用いることによって、導体の導通
抵抗及び接触抵抗が低く、かつ導体が強度を有し、外力
が加わったり擦られたりしても抵抗値が安定しているの
は勿論のこと導体の経時変化が少なくしかもサイズの制
約がなく、導体を高密度にかつ規則的に配列できるとと
もに、様々な絶縁体を使用できる異方導電体を、簡単な
製造装置によって製造することができ、コストダウンが
可能な異方導電体及びその製造方法を既に提案している
(特願平2−94975号)。
Therefore, the present inventor solved the problems of the above-mentioned conventional technology,
By using a linear conductor as the conductor, the continuity resistance and contact resistance of the conductor are low, the conductor has strength, and the resistance value is stable even when external force is applied or rubbed. It is possible to manufacture anisotropic conductors with simple manufacturing equipment, which have little change in conductors over time, have no size restrictions, can arrange conductors in a high-density and regular manner, and can use a variety of insulators. We have already proposed an anisotropic conductor and its manufacturing method that can reduce costs (Japanese Patent Application No. 2-94975).

この異方導電体は、第21図に示すように、静電植毛用
の電極上に塗布され、構造体を形成する絶縁性材料10
0が硬化した後は除去されてしまう接着剤層lO1と、
この接着剤層101に静電植毛される多数本の線状導体
102.102・・・と、植−毛された線状導体102
.102・・・の間に充填・硬化され、線状導体102
.102・・・がその厚さ方向に配向しており、かつ線
状導体102.102・・・の両端が表裏両面から露出
している構造体を形成するための絶縁性材料100を備
えるように構成したものである。
As shown in FIG. 21, this anisotropic conductor is coated on an electrode for electrostatic flocking, and an insulating material 10 forming a structure is used.
an adhesive layer lO1 that is removed after 0 is cured;
A large number of linear conductors 102, 102, etc. are electrostatically flocked to this adhesive layer 101, and the flocked linear conductors 102
.. The linear conductor 102 is filled and hardened between 102 and 102.
.. 102... are oriented in the thickness direction thereof, and both ends of the linear conductors 102, 102... are exposed from both the front and back sides. It is composed of

しかし、この提案に係る異方導電体は、構造体を形成す
る絶縁性材料1.00が一種類の材料から形成されてい
るため、異方導電体を構成する構造体が一層構造となっ
ている。そのため、異方導電体に耐熱性が要求される場
合には、構造体を形成するための絶縁性材料100とし
て、例えば耐熱性に優れたポリイミド樹脂等を用いるこ
とになる。
However, in the anisotropic conductor according to this proposal, since the insulating material 1.0 that forms the structure is made of one type of material, the structure that makes up the anisotropic conductor has a single layer structure. There is. Therefore, when heat resistance is required for the anisotropic conductor, for example, polyimide resin or the like having excellent heat resistance is used as the insulating material 100 for forming the structure.

ところか、上記異方導電体を上述したように、ノンイン
パクトタイプのプリンタの印字用電極に適用した場合を
考えると、異方導電体には、ある程度の機械的強度が要
求される。しかし、構造体を形成するための絶縁性材料
100として、ポリイミド樹脂を使用した場合には、ポ
リイミド樹脂はワニス状であり、注型しても薄いフィル
ム状のものしか製造できない。そのため、ノンインパク
トタイプのプリンタの印字用電極として使用できるよう
な機械的強度を有する厚い異方導電体は製造できないと
いう問題点がある。
However, when the anisotropic conductor is applied to a printing electrode of a non-impact type printer as described above, the anisotropic conductor is required to have a certain degree of mechanical strength. However, when polyimide resin is used as the insulating material 100 for forming the structure, the polyimide resin is varnish-like and can only be produced in the form of a thin film even if cast. Therefore, there is a problem that a thick anisotropic conductor having mechanical strength that can be used as a printing electrode of a non-impact type printer cannot be manufactured.

一方、異方導電体に機械的強度を持たせるためには、構
造体を形成する絶縁性材料100として、例えば厚い構
造体を形成可能なエポキシ樹脂等を選択することが考え
られる。
On the other hand, in order to impart mechanical strength to the anisotropic conductor, it is conceivable to select, for example, an epoxy resin or the like that can form a thick structure as the insulating material 100 forming the structure.

ところが、上記異方導電体を上述したように、ノンイン
パクトタイプのプリンタの印字用電極に応用した場合、
異方導電体の一方の表面は、インク媒体の発熱層と接触
するため、その表面温度は、300〜400℃にも達す
る。したがって、構造体を形成するための絶縁性材料1
00として、例えばエポキシ樹脂等を使用した場合には
、今度は耐熱性の点で問題が生じる。
However, as mentioned above, when the anisotropic conductor is applied to the printing electrode of a non-impact type printer,
Since one surface of the anisotropic conductor comes into contact with the heat generating layer of the ink medium, its surface temperature reaches as high as 300 to 400°C. Therefore, the insulating material 1 for forming the structure
If, for example, epoxy resin or the like is used as 00, a problem arises in terms of heat resistance.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

そこで、この発明は、上記従来技術の問題点を解決する
ためになされたもので、導体として線状導体を用いるこ
とによって、導体の導通抵抗及び接触抵抗が低く、かつ
導体が強度を有し、外力が加わったり擦られたりしても
抵抗値が安定しているのは勿論のこと導体の経時変化が
少なくしかもサイズの制約がなく、導体を高密度にかつ
規則的に配列できるとともに、様々な絶縁体を使用でき
る異方導電体を、簡単な製造装置によって製造すること
ができ、コストダウンが可能なことは勿論のこと、異方
導電体に要求される耐熱性や機械的強度等を同時に満足
することが可能な異方導電体及びその製造方法を提供す
ることにある。
Therefore, the present invention was made to solve the problems of the prior art described above, and by using a linear conductor as the conductor, the conductor has low conduction resistance and contact resistance, and has strength. Not only does the resistance value remain stable even when external force is applied or rubbed, but the conductor changes little over time, and there are no size restrictions, allowing conductors to be arranged densely and regularly. Anisotropic conductors that can use insulators can be manufactured using simple manufacturing equipment, which not only reduces costs but also provides the heat resistance and mechanical strength required for anisotropic conductors. It is an object of the present invention to provide an anisotropic conductor and a method for manufacturing the same that can satisfy the requirements.

すなわち、この発明に係る異方導電体は、第1図に示す
ように、静電植毛用の電極上に塗布され、構造体を形成
する絶縁性材料3が硬化した後は除去されてしまう接着
剤層4と、この接着剤層4に静電植毛される多数本の線
状導体2.2・・・と、植毛された線状導体2.2・・
・の間に充填・硬化され、線状導体2.2・・・がその
厚さ方向に配向しており、かつ線状導体2.2・・・の
両端が表裏両面から露出している構造体を形成するため
の絶縁性材料3を備え、上記構造体を形成するための絶
縁性材料3が種類の異なる複数の絶縁性材料からなり、
構造体か複数の層を有するように構成されている。
That is, as shown in FIG. 1, the anisotropic conductor according to the present invention is an adhesive that is applied onto an electrode for electrostatic flocking and is removed after the insulating material 3 forming the structure has hardened. An adhesive layer 4, a large number of linear conductors 2.2 that are electrostatically flocked to the adhesive layer 4, and the flocked linear conductors 2.2...
・A structure in which the linear conductors 2.2... are filled and hardened between the spaces, and are oriented in the thickness direction, and both ends of the linear conductors 2.2... are exposed from both the front and back surfaces. comprising an insulating material 3 for forming the structure, the insulating material 3 for forming the structure being made of a plurality of different types of insulating materials,
The structure is constructed to have multiple layers.

そして、この異方導電体の第1の製造方法としては、第
2図(a)に示すように、静電植毛用の電極上に接着剤
を塗布する接着剤塗布工程A1と、静電植毛用電極上に
塗布された接着剤層上に多数本の線状導体を静電植毛す
る静電植毛工程A2と、静電植毛用電極上の接着剤層に
植毛された線状導体間に複数の絶縁性材料を層状に充填
硬化させ、複数の絶縁性構造体3を積層形成する絶縁性
構造体形成工程A3と、絶縁性構造体の片面に固着して
いる静電植毛用電極を除去した後、絶縁性構造体の表裏
両面を研磨して、線状導体の両端を絶縁性構造体の表裏
両面から露出させる研磨工程A4とからなる。
As shown in FIG. 2(a), the first manufacturing method of this anisotropic conductor includes an adhesive application step A1 of applying an adhesive on an electrode for electrostatic flocking, and An electrostatic flocking step A2 in which a large number of linear conductors are electrostatically flocked onto the adhesive layer applied on the electrode for electrostatic flocking, and a plurality of linear conductors are flocked between the adhesive layer on the electrode for electrostatic flocking. An insulating structure forming step A3 of filling and curing the insulating material in a layered manner to form a plurality of insulating structures 3 in a layered manner, and removing an electrode for electrostatic flocking stuck to one side of the insulating structure. Thereafter, a polishing step A4 is performed in which both the front and back surfaces of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back surfaces of the insulating structure.

また、この異方導電体の第2の製造方法としては、第2
図(b)に示すように、静電植毛用の電極上にホットメ
ルト接着剤を塗布する接着剤塗布工程B1と、静電植毛
用電極上に塗布された接着剤層上に多数本の磁性を有す
る線状導体を静電植毛する静電植毛工程B2と、ホット
メルト接着剤を軟化させた状態で、静電植毛用電極上の
接着剤層上に植毛された線状導体に磁界を印加すること
により、線状導体の直立性を向上させる磁界印加工程B
3と、静電植毛用電極上の接着剤層に植毛された線状導
体間に複数の絶縁性材料を層状に充填硬化させ、複数の
絶縁性構造体を積層形成する絶縁性構造体形成工程B4
と、絶縁性構造体の片面に固着された静電植毛用電極を
除去した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状
導体の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研
磨工程B5とからなる。
Moreover, as a second manufacturing method of this anisotropic conductor, the second
As shown in FIG. Electrostatic flocking step B2 of electrostatically flocking the linear conductor having the above-mentioned properties, and applying a magnetic field to the linear conductor flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode while the hot melt adhesive is softened. Magnetic field application step B improves the uprightness of the linear conductor by
3, an insulating structure forming step of filling and curing a plurality of insulating materials in layers between the linear conductors flocked to the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode to form a plurality of insulating structures in layers. B4
After removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating structure, both the front and back sides of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back sides of the insulating structure. It consists of a polishing step B5.

さらに、この異方導電体の第3の製造方法としては、第
2図(c)に示すように、静電植毛用の電極上に接着剤
を塗布する接着剤塗布工程C1と、静電植毛用電極上に
塗布された接着剤層上に、線状導体を所定のパターンに
したがって植毛するための植毛位置規制部材を敷設する
植毛位置規制部材敷設工程C2と、静電植毛用電極上に
塗布された接着剤層に多数本の線状導体を静電植毛する
静電植毛工程C3と、静電植毛用電極上の接着剤層上に
植毛された線状導体間に複数の絶縁性材料を層状に充填
硬化させ、複数の絶縁性構造体を積層形成する絶縁性構
造体形成工程C4と、絶縁性構造体の片面に固着された
静電植毛用電極を除去した後、絶縁性構造体の表裏両面
を研磨して、線状導体の両端を絶縁性構造体の表裏両面
から露出させる研磨工程C5とからなる。
Furthermore, as a third manufacturing method of this anisotropic conductor, as shown in FIG. A flocking position regulating member laying step C2 of laying a flocking position regulating member for flocking the linear conductor according to a predetermined pattern on the adhesive layer applied on the electrode for electrostatic flocking; An electrostatic flocking step C3 in which a large number of linear conductors are electrostatically flocked on the adhesive layer, and a plurality of insulating materials are inserted between the linear conductors flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode. Insulating structure forming step C4 in which a plurality of insulating structures are laminated by filling and curing in layers, and after removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating structure, It consists of a polishing step C5 in which both the front and back surfaces of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back surfaces of the insulating structure.

さらにまた、この異方導電体の第4の製造方法としては
、第2図(d)に示すように、静電植毛用の電極上にホ
ットメルト接着剤を塗布する接着剤塗布工程D1と、静
電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に、線状導体を
所定のパターンにしたがって植毛するための植毛位置規
制部材を敷設する植毛位置規制部材敷設工程D2と、静
電植毛用電極上に塗布された接着剤層に多数本の磁性を
有する線状導体を静電植毛する静電植毛工程D3と、ホ
ットメルト接着剤を軟化させた状態で、静電植毛用電極
上の接着剤層に植毛された線状導体に磁界を印加するこ
とにより、線状導体の直立度を向上させる磁界印加工程
D4と、静電植毛用電極上の接着剤層上に植毛された線
状導体間に複数の絶縁性材料を層状に充填硬化させ、複
数の絶縁性構造体を積層形成する絶縁性基板形成工程D
5と、絶縁性基板の片面に固着された静電植毛用電極を
除去した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状
導体の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研
磨工程D6とからなる。
Furthermore, as a fourth manufacturing method of this anisotropic conductor, as shown in FIG. 2(d), an adhesive application step D1 of applying a hot melt adhesive onto an electrode for electrostatic flocking; A flocking position regulating member laying step D2 for laying a flocking position regulating member for flocking linear conductors according to a predetermined pattern on the adhesive layer applied on the electrostatic flocking electrode; and an electrostatic flocking electrode. An electrostatic flocking process D3 in which a large number of magnetic linear conductors are electrostatically flocked to the adhesive layer applied on the adhesive layer, and the adhesive on the electrode for electrostatic flocking is applied in a state where the hot melt adhesive is softened. A magnetic field application process D4 of improving the uprightness of the linear conductor by applying a magnetic field to the linear conductor flocked on the layer, and a step D4 of applying a magnetic field to the linear conductor flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode. Insulating substrate forming step D, in which a plurality of insulating materials are filled and cured in layers, and a plurality of insulating structures are laminated.
Step 5: After removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating substrate, both the front and back sides of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back sides of the insulating structure. It consists of a polishing step D6.

このような技術的手段において、上記絶縁性構造体を形
成する複数の絶縁性材料としては、例えばシリコンゴム
、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等の合成樹脂からなる
ものを複数適宜組合わせたものが用いられるが、これ以
外にも、線状導体とする金属等との密着性が良く、注型
することによって所定の形状に成形可能なものであれば
、他の材料を組合わせて用いても良いことは勿論である
In such technical means, as the plurality of insulating materials forming the insulating structure, an appropriate combination of a plurality of synthetic resins such as silicone rubber, epoxy resin, and polyimide resin is used. However, in addition to this, other materials may be used in combination as long as they have good adhesion to the metal used as the linear conductor and can be molded into the specified shape by casting. Of course.

また、上記絶縁性構造体の一部に、例えばセラミックス
やガラスのスラリーを用いることによって、耐熱性を有
する異方導電体を製造することができる。さらに、上記
絶縁性構造体の摺動性を向上させるためには、絶縁性構
造体の表面に、例えばテフロンの粉末を混合したエポキ
シ樹脂等を用いても良い。
Further, by using, for example, a slurry of ceramics or glass as a part of the insulating structure, an anisotropic conductor having heat resistance can be manufactured. Furthermore, in order to improve the slidability of the insulating structure, an epoxy resin mixed with, for example, Teflon powder may be used on the surface of the insulating structure.

また、接着剤としては、ホットメルト接着剤が用いられ
るが、ホットメルト接着剤を要件としない請求項に記載
の発明にあっては、必ずしもこれに限定されるわけでは
なく、通常よく用いられる接着剤やタックシートを接着
剤層として用いてもよい。
In addition, as the adhesive, a hot melt adhesive is used, but in the claimed invention that does not require a hot melt adhesive, the invention is not necessarily limited to this, and commonly used adhesives are used. An adhesive or a tack sheet may be used as the adhesive layer.

さらに、線状導体としては、金属製の短繊維や炭素繊維
等からなるものが用いられる。この線状導体は、異方導
電体の抵抗を低くするという観点からすれば、比抵抗の
小さい銅、アルミニウム、銀等の金属あるいはこれらの
合金を素材としたものを用いればよく、また、入手性、
価格の適当な点からすれば、例えば鉄、ニッケル、錫、
コバルトあるいはこれらの合金(Ni−Co、Co−3
n、ステンレス、青銅(Cu−8n)、黄銅(Cu−Z
n)、Cu−Be、  リン青銅、洋白(Cu−Ni−
Zn)、Dバール(Ni−Co−Fe)。
Further, as the linear conductor, one made of short metal fibers, carbon fiber, or the like is used. From the viewpoint of lowering the resistance of the anisotropic conductor, this linear conductor may be made of metals with low resistivity such as copper, aluminum, silver, or alloys of these materials. sex,
From a reasonable price point, for example, iron, nickel, tin,
Cobalt or alloys thereof (Ni-Co, Co-3
n, stainless steel, bronze (Cu-8n), brass (Cu-Z
n), Cu-Be, phosphor bronze, nickel silver (Cu-Ni-
Zn), Dvar (Ni-Co-Fe).

Cu−Fe、Fe−Ni等)を選択することができる。Cu-Fe, Fe-Ni, etc.) can be selected.

また、線状導体の長さ、太さについては、異方導電体の
特性等を考慮して決定される。
Further, the length and thickness of the linear conductor are determined in consideration of the characteristics of the anisotropic conductor.

また、上記線状導体に磁性が要求される場合には、ニッ
ケル、鉄、フェライト又はマルテンサイト系のステンレ
スのような磁性を有する金属ならばそのまま用いること
ができ、更に、銅、銀、アルミニウムのような磁性を有
しない金属でも、表面に磁性を有するニッケルや鉄等を
メツキすることによって使用することができる。
In addition, if the above-mentioned linear conductor is required to have magnetism, any magnetic metal such as nickel, iron, ferrite, or martensitic stainless steel can be used as is. Even non-magnetic metals can be used by plating the surface with magnetic nickel, iron, or the like.

さらに、上記線状導体の表面に表れている部分には、金
や錫等をメツキすることにより、接点の耐食性を向上さ
せることができるとともに、接触抵抗を低減させること
もできる。また、上記線状導体の表面には、必要に応じ
て絶縁処理を施すことによって、線状導体が互いに接触
することによる面方向の導通を防止することができる。
Furthermore, by plating the surface of the linear conductor with gold, tin, etc., the corrosion resistance of the contact can be improved and the contact resistance can also be reduced. Furthermore, by applying insulation treatment to the surfaces of the linear conductors as necessary, it is possible to prevent conduction in the planar direction due to the linear conductors coming into contact with each other.

そして、上記金属短繊維の製造方法としては、金属の溶
湯を細いノズルから高速回転するロールにジェット噴射
させるメルトスピニング法、線引き法による引抜き成形
で長い金属繊維を制作した後これを分断する方法、板材
をせん断する方法、びびり振動切削法で直接母材から生
成する方法等適宜選択して差し支えない。
The methods for producing the short metal fibers include a melt spinning method in which molten metal is jet-sprayed from a thin nozzle onto a roll rotating at high speed, a method in which long metal fibers are produced by pultrusion molding using a wire drawing method, and then separated. A method of shearing the plate material, a method of directly generating it from the base material by chatter vibration cutting method, etc. may be selected as appropriate.

また、接着剤層に線状導体を静電植毛する方法としては
、静電界の作用によって帯電された線状導体を接着剤層
側へ飛翔させて植毛するものであれば適宜選択して差し
支えない。この場合において、線状導体の飛翔方向につ
いても、上方から下方へ飛翔させるダウン法、下方から
上方へ飛翔させるアップ法、横方向へ飛翔させるサイド
法等適宜選択して差し支えないが、線状導体のロスを少
なくし、回収を容易にするという観点からすれば、アッ
プ法が好ましい。
In addition, as a method of electrostatically flocking the linear conductor to the adhesive layer, any method may be selected as appropriate as long as the electrically charged linear conductor is flung toward the adhesive layer by the action of an electrostatic field. . In this case, the flying direction of the linear conductor may be selected as appropriate, such as the down method in which it flies from above to below, the up method in which it flies from below to above, or the side method in which it flies in the horizontal direction. From the viewpoint of reducing loss and facilitating recovery, the up method is preferable.

〔作用〕[Effect]

上述したような技術的手段によれば、接着剤層に線状導
体を静電植毛するように構成されているため、線状導体
を起立した状態で容易に植毛することができ、線状導体
間に絶縁性材料を充填硬化させた場合でも、線状導体を
絶縁性構造体の厚さ方向に配向させることができ、異方
導電体の厚さ方向のみの導電性を線状導体によって確保
することができるとともに、異方導電体の面方向の導通
を防止することができる。
According to the above-mentioned technical means, since the linear conductor is electrostatically flocked to the adhesive layer, it is possible to easily flock the linear conductor in an upright state. Even when an insulating material is filled and cured between the layers, the linear conductor can be oriented in the thickness direction of the insulating structure, and the linear conductor ensures conductivity only in the thickness direction of the anisotropic conductor. In addition, it is possible to prevent conduction in the plane direction of the anisotropic conductor.

また、絶縁性構造体は、接着剤層上に線状導体を静電植
毛し、線状導体間に絶縁性材料を充填硬化させることに
よって形成されるので、絶縁性構造体の材質は特に限定
されず、しかも異方導電体を任意の形状に成形すること
ができる。
In addition, since the insulating structure is formed by electrostatically flocking linear conductors onto the adhesive layer and filling and curing the insulating material between the linear conductors, the material of the insulating structure is particularly limited. Moreover, the anisotropic conductor can be formed into any shape.

さらに、異方導電体は、主に静電植毛工程と、絶縁性構
造体形成工程と、研磨工程等からなるため、簡単な製造
装置でしかも比較的短時間に製造することができ、コス
トダウンが可能となる。
Furthermore, since anisotropic conductors mainly consist of an electrostatic flocking process, an insulating structure formation process, and a polishing process, they can be manufactured using simple manufacturing equipment and in a relatively short time, reducing costs. becomes possible.

また、線状導体を規則的に配列する場合でも、静電植毛
工程に先立って植毛位置規制部材を接着剤層に敷設すれ
ばよく、極めて簡単な工程で線状導体が規則的に配列し
た異方導電体をも製造することができる。また、植毛位
置規制部材を用いることによって線状導体が接着剤層に
横に寝て付着するのを防止することができるので、面方
向の絶縁性を保つことができる。
In addition, even when linear conductors are arranged regularly, it is only necessary to lay a flocking position regulating member on the adhesive layer prior to the electrostatic flocking process, and it is possible to arrange the linear conductors regularly in a very simple process. Direct conductors can also be produced. Further, by using the flocking position regulating member, it is possible to prevent the linear conductor from adhering to the adhesive layer horizontally, so that insulation in the plane direction can be maintained.

さらにまた、構造体を形成するための絶縁性材料が種類
の異なる複数の絶縁性材料からなり、構造体が複数の層
を有するように構成されているので、異方導電体に例え
ば耐熱性と機械的強度の両方が要求される場合には、耐
熱性の高い絶縁性材料と機械的強度に優れた絶縁性材料
とを、耐熱性の高い絶縁性材料が耐熱性が要求される側
に位置するように積層して用いることによって、耐熱性
や機械的強度等に優れた異方導電体を提供することがで
きる。
Furthermore, since the insulating material for forming the structure is made of a plurality of different types of insulating materials, and the structure is configured to have a plurality of layers, the anisotropic conductor has, for example, heat resistance. When both mechanical strength is required, an insulating material with high heat resistance and an insulating material with excellent mechanical strength are placed on the side where the insulating material with high heat resistance is required. By laminating and using them in such a manner, it is possible to provide an anisotropic conductor having excellent heat resistance, mechanical strength, and the like.

〔実施例〕〔Example〕

以下、添付図面に示す実施例に基づいてこの発明に係る
異方導電体及びその製造方法を詳細に説明する。
EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, an anisotropic conductor and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings.

実施例1 第3図及び第4図はこの発明に係る異方導電体の一実施
例を示すものである。
Example 1 FIGS. 3 and 4 show an example of an anisotropic conductor according to the present invention.

図において、1は異方導電体を示すものであり、この異
方導電体1は、静電植毛用の電極上に塗布され、構造体
を形成する絶縁性材料3が硬化した後は除去されてしま
う接着剤層4と、この接着剤層4に静電植毛される多数
本の線状導体としての金属短繊維2.2・・・と、植毛
された金属短繊維2.2・・・の間に充填・硬化され、
金属短繊維2.2・・・がその厚さ方向に配向しており
、かつ金属短繊維2.2・・・の両端が表裏両面から露
出している構造体を形成するための絶縁性材料3を備え
、上記構造体を形成するための絶縁性材料が種類の異な
る複数の絶縁性材料3a、3bからなり、構造体が複数
の層を有するように構成されている。
In the figure, 1 indicates an anisotropic conductor, which is applied onto the electrode for electrostatic flocking and is removed after the insulating material 3 forming the structure has hardened. adhesive layer 4, a large number of short metal fibers 2.2 as linear conductors that are electrostatically flocked to this adhesive layer 4, and flocked short metal fibers 2.2... Filled and hardened between
An insulating material for forming a structure in which short metal fibers 2.2... are oriented in the thickness direction, and both ends of the short metal fibers 2.2... are exposed from both the front and back surfaces. 3, the insulating material for forming the structure is composed of a plurality of insulating materials 3a and 3b of different types, and the structure is configured to have a plurality of layers.

上記金属短繊維2.2・・・は、複数本集まったものが
集合体を形成しており、この金属短繊維2.2・・・は
、第3図に示すように、絶縁性基板3の表面に基盤の目
状に配列されている。
A plurality of short metal fibers 2.2... form an aggregate, and as shown in FIG. 3, these short metal fibers 2.2... They are arranged in a pattern on the surface of the base.

この実施例において、上記絶縁性基板3を形成する絶縁
性材料としては、厚さ30〜80μmのポリイミド樹脂
3aと、厚さ900〜950μmのエポキシ樹脂3bと
が積層して用いられる。
In this embodiment, as the insulating material forming the insulating substrate 3, a polyimide resin 3a having a thickness of 30 to 80 μm and an epoxy resin 3b having a thickness of 900 to 950 μm are used in a laminated manner.

また、上記金属短繊維2としては、例えばステンレス線
を所定の長さに切断したものが用いられ、この金属短繊
維2の長さ及び太さの平均は1.2mm、50μmであ
った。
Further, as the metal short fibers 2, for example, stainless steel wires cut into predetermined lengths were used, and the average length and thickness of the metal short fibers 2 was 1.2 mm and 50 μm.

次に、上述した異方導電体の製造方法について説明する
Next, a method for manufacturing the above-mentioned anisotropic conductor will be explained.

先ず、静電植毛用の電極上に接着剤を塗布する接着剤塗
布工程を行う。すなわち、第5図(a)に示すように、
所定の大きさの矩形状に形成された電極としてのアルミ
板10を用意し、このアルミ板10上に、導電性のホッ
トメルト接着剤4を塗布する。この実施例では、導電性
のホットメルト接着剤4として、ポリアミドのホットメ
ルト接着剤4に200メツシユ以下の電解銀粉を75w
t%混合したものが用いられる。また、上記ホットメル
ト接着剤4の塗布方法としては、ローラの表面に塗膜の
厚さを規制する溝が設けられ、接着剤4を均一な厚さに
塗布可能なローラコータを用い、電極とするアルミ板1
0上に40μmの厚さに導電性のホットメルト接着剤4
を塗布する。
First, an adhesive application step is performed to apply an adhesive onto the electrode for electrostatic flocking. That is, as shown in FIG. 5(a),
An aluminum plate 10 as an electrode formed into a rectangular shape of a predetermined size is prepared, and a conductive hot melt adhesive 4 is applied onto the aluminum plate 10. In this example, as the conductive hot melt adhesive 4, 75w of electrolytic silver powder of 200 mesh or less is added to the polyamide hot melt adhesive 4.
A mixture of t% is used. Further, as a method of applying the hot melt adhesive 4, a roller coater is used, which has grooves on the surface of the roller to regulate the thickness of the coating film, and is capable of applying the adhesive 4 to a uniform thickness. Aluminum plate 1
conductive hot melt adhesive to a thickness of 40 μm on top of the
Apply.

次に、上記静電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に
、線状導体を所定のパターンにしたがって植毛するため
の植毛位置規制部材を敷設する植毛位置規制部材敷設工
程が行われる。この植毛位置規制部材敷設工程において
は、第5図(b)に示すように、上記アルミ板10上に
金属短繊維2を所定の位置に植毛するための植毛位置規
制シート11が敷設される。この植毛位置規制シート1
1としては、第6図に示すように、例えば感光性のポリ
ビニルアルコール樹脂を、所定のパターンに従って感光
させて、植毛位置規制用の正方形状の孔12.12・・
・を所定のピッチで基盤の目状に穿設したものが用いら
れる。この実施例では、上記植毛位置規制シー)11と
して、500μmピッチで一辺が300μmの平面正方
形状の孔12.12・・・を、基盤の目状に穿設した厚
さ100μmのものを用いた。
Next, a flocking position regulating member laying step is performed in which a flocking position regulating member for flocking the linear conductors according to a predetermined pattern is laid on the adhesive layer applied on the electrostatic flocking electrode. In this flocking position regulating member laying process, as shown in FIG. 5(b), a flocking position regulating sheet 11 for flocking the short metal fibers 2 at predetermined positions is laid on the aluminum plate 10. This flocking position regulation sheet 1
1, as shown in FIG. 6, for example, photosensitive polyvinyl alcohol resin is exposed to light according to a predetermined pattern to form square holes 12, 12, . . . for regulating the position of flocking.
・ are used, which are drilled in the shape of the base at a predetermined pitch. In this example, as the above-mentioned flocking position regulating sheet 11, a 100-μm-thick one in which square-shaped holes 12, 12, each side of which is 300 μm on a side, are bored at a pitch of 500 μm in the shape of a grid in the substrate was used. .

その後、第5図(C)に示すように、上記静電植毛用電
極上に塗布された接着剤層に多数本の磁性を有する線状
導体を静電植毛する静電植毛工程が行われる。この金属
短繊維植毛工程において用いられる静電植毛法は、所謂
アップ法と称されるもので、第7図に示すように、高圧
電極13を略水平方向に配設するとともに、この高圧電
極13には高圧電源からなる高圧発生器14を接続する
Thereafter, as shown in FIG. 5(C), an electrostatic flocking process is performed in which a large number of magnetic linear conductors are electrostatically flocked onto the adhesive layer coated on the electrostatic flocking electrode. The electrostatic flocking method used in this short metal fiber flocking process is the so-called up method, and as shown in FIG. A high-voltage generator 14 consisting of a high-voltage power supply is connected to.

また、高圧電極13の上方には、高圧電極13に対向す
る接地電極としてのアルミ板lOを、アクリル製のカバ
ーCを介して適宜間隔(この実施例では17cm)離し
て配設し、高圧電極13上に多数の金属短繊維2.2・
・・を載置する。尚、第7図中、Dは絶縁性の基台を示
している。
Further, above the high voltage electrode 13, an aluminum plate 10 as a ground electrode facing the high voltage electrode 13 is placed at an appropriate distance (17 cm in this embodiment) via an acrylic cover C. A large number of short metal fibers on 13 2.2.
...is placed. In addition, in FIG. 7, D indicates an insulating base.

また、上記アルミ板10の上部には、シリコンラバーヒ
ータ15を載置するとともに、このシリコンラバーヒー
タ15に通電して発熱させて、アルミ板10−上に塗布
されたホットメルト接着剤4を軟化させる。そして、上
記高圧電極13に高圧発生器14からの高電圧(この実
施例では約+27’KV)を所定時間(この実施例では
3分)印加することにより、高圧電極13上の金属短繊
維2.2・・・を帯電させると同時に、高圧電極13と
接地電極としてのアルミ板10との間に鉛直方向に作用
する電界Eを形成し、この電界Eに沿って上記金属短繊
維2.2・・・をアルミ板10の接着剤層4側へ飛翔さ
せ、接着剤層4に金属短繊維2.2・・・を静電気力で
植毛するものである。その後、高圧電極13に電圧を印
加したまま、シリコンラバーヒータ15への通電を停止
してアルミ板IOを冷却し、ホットメルト接着剤4を硬
化させて、金属短繊維2.2・・・を接着剤層4に固定
する。
Further, a silicon rubber heater 15 is placed on the top of the aluminum plate 10, and the silicon rubber heater 15 is energized to generate heat to soften the hot melt adhesive 4 applied on the aluminum plate 10. let Then, by applying a high voltage (approximately +27'KV in this example) from the high voltage generator 14 to the high voltage electrode 13 for a predetermined time (3 minutes in this example), the short metal fibers on the high voltage electrode 13 are At the same time as charging the short metal fibers 2.2, an electric field E acting in the vertical direction is formed between the high voltage electrode 13 and the aluminum plate 10 serving as a ground electrode, and the metal short fibers 2.2 are charged along the electric field E. ... is flown toward the adhesive layer 4 side of the aluminum plate 10, and short metal fibers 2.2... are flocked onto the adhesive layer 4 by electrostatic force. Thereafter, while applying voltage to the high-voltage electrode 13, electricity to the silicon rubber heater 15 is stopped to cool the aluminum plate IO, the hot melt adhesive 4 is hardened, and the short metal fibers 2.2... It is fixed to the adhesive layer 4.

上記静電植毛に際して、上記接着剤層4の表面側には、
植毛位置規制シート11が配置されているため、金属短
繊維2.2・・・は、植毛位置規制シート11の開口部
12.12・・・を通してのみ植毛される。その結果、
金属短繊維2.2・・・は、第5図(c)に示すように
、植毛位置規制シートllの開口部12.12・・・に
、十数本が比較的直立した状態で植毛される。
During the electrostatic flocking, on the surface side of the adhesive layer 4,
Since the flocking position regulating sheet 11 is arranged, the short metal fibers 2.2... are flocked only through the openings 12, 12... of the flocking position regulating sheet 11. the result,
As shown in FIG. 5(c), the short metal fibers 2.2... are implanted in openings 12.12... of the flocking position regulating sheet 11 in a relatively upright state. Ru.

この金属短繊維植毛工程においては、電界Eの作用方向
は接着剤層4に直交するため、電界Eの作用方向に沿っ
て飛翔する金属短繊維2.2・・・は上記接着剤層4に
起立した状態で、高密度に植毛されることになる。
In this short metal fiber flocking process, since the direction of action of the electric field E is perpendicular to the adhesive layer 4, the short metal fibers 2.2... flying along the direction of action of the electric field E are attached to the adhesive layer 4. The hair will be densely implanted in an upright position.

なお、上記金属短繊維2.2・・・が植毛される接着剤
層4は、導電性を有しているので、静電植毛に際して金
属短繊維2.2・・・に帯電した電荷は、金属短繊維2
.2・・・が接着剤層4に植毛されたときに、接着剤層
4及びアルミ板10を介してアースに逃げ中和される。
In addition, since the adhesive layer 4 on which the metal short fibers 2.2... are flocked has conductivity, the electric charges charged on the metal short fibers 2.2... during electrostatic flocking are as follows. Short metal fiber 2
.. 2... are flocked to the adhesive layer 4, they escape to the ground via the adhesive layer 4 and the aluminum plate 10 and are neutralized.

そのため、金属短繊維2.2・・・が帯電したまま植毛
される場合のように、金属短繊維2.2・・・の先端部
に帯電した電荷が互いに反発して、金属短繊維2.2・
・・の直立性が乱されるのを防止することができる。
Therefore, as in the case where the short metal fibers 2.2... are flocked while being charged, the electric charges charged at the tips of the short metal fibers 2.2... repel each other, and the short metal fibers 2.2... 2・
It is possible to prevent the uprightness of ... from being disturbed.

また、上記金属短繊維2.2・・・は、植毛後に再度静
電誘導現象によって電荷の分極が起こるが、接着剤層4
側の電荷はアースに逃げて中和されるので、植毛された
金属短繊維2.2・・・の下端は、下方の高圧電極13
からクーロン力によって引かれ、この点からも金属短繊
維2.2・・・の直立性を保持することができる。
In addition, in the short metal fibers 2.2..., charge polarization occurs again due to electrostatic induction phenomenon after flocking, but the adhesive layer 4
Since the charge on the side escapes to the ground and is neutralized, the lower end of the flocked short metal fibers 2.2...
The short metal fibers 2.2... can maintain their uprightness from this point as well.

尚、静電植毛法としては、上記のものに限られるもので
はなく、例えば、第8図に示す所謂ダウン法と称される
もの、具体的には、植毛用の金属短繊維2.2・・・が
収容されるホッパ19の下面部に金属ネット等からなる
高圧電極16を略水平方向に配設するとともに、この高
圧電極16の下部には高圧電極16に対向する接地電極
17を配設し、上記高圧電極16に高圧発生器18から
の高電圧を印加することにより画電極16.17間に鉛
直方向に作用する電界Eを形成し、接地電極17側に配
置された接着剤層4に上記金属短繊維2.2・・・を植
毛するようにしたものや、第9図に示す所謂サイド法と
称されるもの、具体的には、植毛用の金属短繊維2.2
・・・か収容されるホッパ19の下方側に高圧電極20
と接地電極21とを略鉛直方向に沿って対向配置し、高
圧電極20に高圧発生器22からの高電圧を印加するこ
とにより画電極20.21間に水平方向に作用する電界
Eを形成し、接地電極21側に配置された接着剤層4に
ホッパ19から落下する金属短繊維2.2・・・を略9
0°方向転換させて植毛するようにしたものであっても
よい。
Incidentally, the electrostatic flocking method is not limited to the above method, but for example, the so-called down method shown in FIG. A high-voltage electrode 16 made of metal net or the like is arranged in a substantially horizontal direction on the lower surface of the hopper 19 in which ... is accommodated, and a ground electrode 17 facing the high-voltage electrode 16 is arranged below the high-voltage electrode 16. By applying a high voltage from the high voltage generator 18 to the high voltage electrode 16, an electric field E acting vertically between the picture electrodes 16 and 17 is formed, and the adhesive layer 4 disposed on the ground electrode 17 side is formed. The short metal fibers 2.2 for flocking are implanted in the hair, or the so-called side method shown in FIG. 9 is used, specifically, the short metal fibers 2.2 for flocking
. . . A high voltage electrode 20 is placed on the lower side of the hopper 19 that is accommodated.
and a ground electrode 21 are arranged to face each other along the substantially vertical direction, and by applying a high voltage from a high voltage generator 22 to the high voltage electrode 20, an electric field E acting in the horizontal direction is formed between the picture electrodes 20 and 21. , metal short fibers 2.2... falling from the hopper 19 onto the adhesive layer 4 disposed on the ground electrode 21 side are approximately 9
The hair may be transplanted by changing the direction by 0°.

その後、上記静電植毛用電極上の接着剤層上に植毛され
た線状導体に磁界を印加することにより、線状導体の直
立度を向上させる磁界印加工程が行われる。すなわち、
上記の如く金属短繊維2.2・・・が植毛されたアルミ
板10を植毛装置から取り出し、このアルミ板10を磁
界発生装置23に取り付ける。
Thereafter, a magnetic field application step is performed to improve the uprightness of the linear conductor by applying a magnetic field to the linear conductor flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode. That is,
The aluminum plate 10 on which the short metal fibers 2, 2, .

この磁界発生装置23は、第1O図に示すように、断面
コ字形状に形成されたヨーク24の互いに平行な対向面
に固着された一対の永久磁石25.26を備えており、
両永久磁石25.26の対向するN極とS極との間に均
一な磁界Hを発生させるものである。そして、上記金属
短繊維2.2・・・が植毛されたアルミ板10を支持部
材27によって支持することにより、両永久磁石25.
26の対向するN極とS極との中間に配置するとともに
、アルミ板10の背面にシリコンラバーヒータ15を載
置する。
As shown in FIG. 1O, this magnetic field generating device 23 includes a pair of permanent magnets 25 and 26 fixed to mutually parallel opposing surfaces of a yoke 24 having a U-shaped cross section.
A uniform magnetic field H is generated between the opposing N and S poles of both permanent magnets 25 and 26. By supporting the aluminum plate 10 on which the short metal fibers 2.2 are flocked by the support member 27, both permanent magnets 25.
The silicon rubber heater 15 is placed between the opposed north and south poles of the aluminum plate 10 and placed on the back surface of the aluminum plate 10.

次に、このシリコンラバーヒータ15に通電してアルミ
板10を加熱し、アルミ板10上に塗布されているホッ
トメルト接着剤4を軟化させる。
Next, the silicon rubber heater 15 is energized to heat the aluminum plate 10 and soften the hot melt adhesive 4 coated on the aluminum plate 10.

この状態で数分間保持することによって、金属短繊維2
.2・・・は、ホットメルト接着剤層4の軟化に伴っで
ある程度自由に動き得るようになり、磁界発生装置23
によって形成される磁界Hに沿って配向し、植毛位置規
制シート11の孔12.12・・・内において直立した
状態となる。その後、シリコンラバーヒータ15への通
電を停止してアルミ板IOを冷却し、アルミ板10上に
塗布されているホットメルト接着剤層4を硬化させ、金
属短繊維2.2・・・を起立した状態に保持する。こう
することによって、第59 (d)に示すように、金属
短繊維2.2・・・の直立性をさらに向上させることが
できる。
By holding this state for several minutes, the short metal fibers 2
.. 2... becomes able to move freely to some extent as the hot melt adhesive layer 4 softens, and the magnetic field generating device 23
The fibers are oriented along the magnetic field H formed by the fibers, and stand upright within the holes 12, 12, . . . of the flocking position regulating sheet 11. Thereafter, the power supply to the silicon rubber heater 15 is stopped to cool the aluminum plate IO, the hot melt adhesive layer 4 applied on the aluminum plate 10 is hardened, and the short metal fibers 2.2... are erected. keep it in the same state. By doing so, as shown in No. 59 (d), the uprightness of the short metal fibers 2.2... can be further improved.

本発明者は、上記磁界印加工程による金属短繊維2.2
・・・の直立性の向上を確認するため、磁界印加工程終
了後の金属短繊維2.2・・・の植毛状態を顕微鏡で観
察したところ、金属短繊維2.2・・・の直立性が確実
に向上していることがわかった。
The inventor of the present invention has discovered that the metal short fibers 2.2 obtained by the above-mentioned magnetic field application process are
In order to confirm the improvement in the uprightness of the short metal fibers 2.2, we observed the flocked state of the short metal fibers 2.2 after the magnetic field application process using a microscope. was found to have definitely improved.

なお、この実施例では、上記磁界発生装置23として、
約500 [gauss)の均一な磁界を発生するもの
を用いた。
In addition, in this embodiment, as the magnetic field generating device 23,
A device that generates a uniform magnetic field of about 500 [gauss] was used.

さらに、上記静電植毛用電極上の接着剤層に植毛された
線状導体間に複数の絶縁性材料を層状に充填硬化させ、
複数の絶縁性基板を積層形成する絶縁性基板形成工程が
行われる。その際、絶縁性合成樹脂の充填に先立って、
植毛部を磁界発生装置23から取り畠し、金属短繊維2
.2・・・と絶縁性基板3aの一層目を構成するポリイ
ミド樹脂との接触部で生ずる気泡を抑制するため、チタ
ネート系カップリング剤(味の素(株)製:138S3
38X)やシラン系カップリング剤を、ポリイミド樹脂
に0.5〜1.0%添加するのが好ましい。そして、第
5図(e)に示すように、植毛部の周囲に注型用の型枠
30を取付け、ポリイミドワニス3a(カネボウN5C
I!I P630をNMPに20%希釈したもの)を注
型脱泡し、このポリイミドワニス3aを硬化させる。
Furthermore, filling and hardening a plurality of insulating materials in layers between the linear conductors flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode,
An insulating substrate forming step is performed in which a plurality of insulating substrates are laminated. At that time, prior to filling with insulating synthetic resin,
The flocked part is removed from the magnetic field generator 23, and the short metal fiber 2 is
.. 2... and the polyimide resin constituting the first layer of the insulating substrate 3a, a titanate coupling agent (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.: 138S3) is used to suppress air bubbles generated at the contact area between the polyimide resin and the first layer of the insulating substrate 3a.
38X) or a silane coupling agent in an amount of 0.5 to 1.0% is preferably added to the polyimide resin. Then, as shown in FIG. 5(e), a casting mold 30 is attached around the flocked area, and polyimide varnish 3a (Kanebo N5C
I! A 20% diluted IP630 in NMP) was cast and defoamed, and the polyimide varnish 3a was cured.

次に、上記の如く型枠30内で注型硬化されたポリイミ
ドワニス3a上に、第5図(f)に示すように、エポキ
シ樹脂3b (CECO9IC:日立化成工業株式会社
製)を注型脱泡し、このエポキシ樹脂3bを硬化させる
Next, as shown in FIG. 5(f), epoxy resin 3b (CECO9IC: manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is poured onto the polyimide varnish 3a that has been cast and cured in the formwork 30 as described above. The epoxy resin 3b is foamed and cured.

最後に、上記絶縁性基板の片面に固着された静電植毛用
電極を除去した後、絶縁性基板の表裏両面を研磨して、
線状導体の両端を絶縁性基板の表裏両面から露出させる
研磨工程が行われる。すなわち、上記エポキシ樹脂3b
が硬化した後、植毛部をアルミ板10から取り外し、絶
縁性基板3の上下を順に#500、#1000、#20
00のサンドペーパーで研磨し、ポリイミドフェス3a
及びエポキシ樹脂3bの表面を平滑にするとともに、表
面からニッケル製の金属短繊維2.2・・・の端面を露
出させ、第5WJ(g)に示すように、ポリイミドワニ
ス3aとエポキシ樹脂3bとを層状に積層形成した異方
導電体1を製造した。その際、アルミ板10上に塗布さ
れた接着剤層4も、研磨工程によって絶縁性基板3の表
面から除去される。
Finally, after removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating substrate, both the front and back sides of the insulating substrate are polished.
A polishing step is performed to expose both ends of the linear conductor from both the front and back surfaces of the insulating substrate. That is, the above epoxy resin 3b
After curing, remove the flocked part from the aluminum plate 10, and sequentially coat the top and bottom of the insulating substrate 3 with #500, #1000, and #20.
Polished with 00 sandpaper and polyimide face 3a
And while smoothing the surface of the epoxy resin 3b, the end faces of the nickel short metal fibers 2.2... are exposed from the surface, and as shown in the 5th WJ (g), the polyimide varnish 3a and the epoxy resin 3b are coated. An anisotropic conductor 1 was manufactured by laminating the following materials in a layered manner. At this time, the adhesive layer 4 applied on the aluminum plate 10 is also removed from the surface of the insulating substrate 3 by the polishing process.

上記の如く構成される異方導電体1は、耐熱性に優れた
ポリイミドワニス3aと、厚く層形成することができ機
械的強度に優れたエポキシ樹脂3bとを層状に積層形成
して構成されているため、耐熱性及び機械的強度を同時
に兼ね備えた異方導電体1を提供することができる。
The anisotropic conductor 1 constructed as described above is constructed by laminating a polyimide varnish 3a with excellent heat resistance and an epoxy resin 3b which can be formed into a thick layer and has excellent mechanical strength. Therefore, it is possible to provide an anisotropic conductor 1 that has both heat resistance and mechanical strength.

このようにして、製造された異方導電体1の厚さは0.
9mmであり、絶縁性基板3の表面には、500umピ
ッチで線状導体であるステンレス製の金属短繊維2.2
・・・が基盤の目状に配列していた。
The thickness of the anisotropic conductor 1 manufactured in this way is 0.
9 mm, and stainless steel short metal fibers 2.2, which are linear conductors, are arranged on the surface of the insulating substrate 3 at a pitch of 500 um.
... were arranged in a pattern on the base.

次に、上記異方導電体1の厚さ方向及び隣接する導体間
の抵抗値を、デジタルボルトメータによって測定した。
Next, the resistance values in the thickness direction of the anisotropic conductor 1 and between adjacent conductors were measured using a digital voltmeter.

異方導電体1の厚さ方向の抵抗値のホリ定は、第11図
に示すように、絶縁性の基盤31上に幅ICmの導体パ
ターン32を設け、その上に試作された異方導電体1を
載置するとともに、さらに、異方導電体1上の導体パタ
ーン32に対応した位置に、直径1.3mm(面積1c
m2)の金属棒33の端面を載置し、導体パターン32
と金属棒33との間の抵抗値をデジタルボルトメータに
よって測定し、異方導電体1が導体パターン32と金属
棒33との間に介在しないときの抵抗値を減算すること
によって求めた。
The Hori constant of the resistance value in the thickness direction of the anisotropic conductor 1 is as shown in FIG. In addition to placing the body 1 on the anisotropic conductor 1, a wire with a diameter of 1.3 mm (area of 1 c
Place the end face of the metal rod 33 of m2) on the conductor pattern 32.
The resistance value between the conductor pattern 32 and the metal rod 33 was measured using a digital voltmeter, and the resistance value when the anisotropic conductor 1 was not interposed between the conductor pattern 32 and the metal rod 33 was subtracted.

また、異方導電体lの隣接する導体間の抵抗値は、第1
2図に示すように、試作された異方導電体l上に2つの
幅1cmの電極34.35を厚さ0.1mmの絶縁性テ
ープ36を介して面方向に載置し、画電極34.35間
の抵抗値をデジタルボルトメータによって測定し、異方
導電体lが画電極34.35間に介在しないときの抵抗
値を減算することによって求めた。
Furthermore, the resistance value between adjacent conductors of the anisotropic conductor l is the first
As shown in Figure 2, two electrodes 34 and 35 each having a width of 1 cm are placed in the plane direction on the prototype anisotropic conductor L with an insulating tape 36 having a thickness of 0.1 mm interposed therebetween. The resistance value was determined by measuring the resistance value between .

上記の測定の結果、異方導電体1の厚さ方向及び隣接す
る線状導体間の抵抗値は、約20mΩ及び無限大であっ
た。
As a result of the above measurement, the resistance value in the thickness direction of the anisotropic conductor 1 and between adjacent linear conductors was approximately 20 mΩ and infinite.

なお、上記実施例では、異方導電体1を構成する絶縁性
材料として、最初にポリイミドワニス3aを充填硬化さ
せ、次にエポキシ樹脂3bを充填硬化させて、ポリイミ
ドワニス3aとエポキシ樹脂3bとを積層形成する場合
について説明したが、これに限定されるわけではなく、
最初にエポキシ樹脂3bを充填硬化させ、次にポリイミ
ドワニス3aを充填硬化させて、ポリイミドワニス3a
とエポキシ樹脂3bとを積層形成するようにしても良い
In the above embodiment, as the insulating material constituting the anisotropic conductor 1, the polyimide varnish 3a is first filled and cured, and then the epoxy resin 3b is filled and cured, so that the polyimide varnish 3a and the epoxy resin 3b are combined. Although the case of laminated formation has been described, it is not limited to this.
First, the epoxy resin 3b is filled and cured, then the polyimide varnish 3a is filled and cured, and the polyimide varnish 3a is
and the epoxy resin 3b may be formed in a laminated manner.

実施例2 第13図及び第14図はこの発明の第2の実施例に係る
異方導電体を示すものであり、前記実施例と同一の部分
には同一の符号を付して説明すると、この実施例では、
植毛位置規制部材として線状導体を高密度で規則的に配
列するためにステンレスメツシュを用いているとともに
、絶縁性基板としでは、表面の摺動性を向上させるため
、表面にテフロンの粉末を混合したエポキシ樹脂3Cを
積層している。
Embodiment 2 FIGS. 13 and 14 show an anisotropic conductor according to a second embodiment of the present invention, and the same parts as in the previous embodiment are denoted by the same reference numerals. In this example,
Stainless steel mesh is used as a flocking position regulating member to regularly arrange linear conductors at high density, and as an insulating substrate, Teflon powder is applied to the surface to improve surface sliding properties. Mixed epoxy resin 3C is laminated.

そして、この実施例に係る異方導電体は、第15図に示
すようにして製造される。
The anisotropic conductor according to this example is manufactured as shown in FIG. 15.

先ず、第15図(a)に示すように、所定の大きさの矩
形状に形成された電極としてのアルミ板lOを用意し、
このアルミ板10に第16図に示すように矩形状の開口
部40を形成する。そして、このアルミ板10の開口部
40の表面側に、第15図(b)及び第18図に示すよ
うに、ピッチ63μm1開口部41aの大きさが40μ
m四方のステンレスメツシュ41(第17図に図示)を
貼り付けるとともに、開口部40の裏面側に導電コート
剤を塗布し表面の抵抗値を101〜10°Ωに調整した
ポリアミドのホットメルト接着剤シート42を貼り付け
る。
First, as shown in FIG. 15(a), an aluminum plate 10 as an electrode formed in a rectangular shape of a predetermined size is prepared.
A rectangular opening 40 is formed in this aluminum plate 10 as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 15(b) and FIG. 18, on the surface side of the opening 40 of this aluminum plate 10, the pitch is 63 μm, and the size of the opening 41a is 40 μm.
A polyamide hot-melt adhesive is attached with a m square stainless steel mesh 41 (shown in Figure 17) and a conductive coating agent is applied to the back side of the opening 40 to adjust the surface resistance to 101-10°Ω. Attach the agent sheet 42.

この実施例では、金属短繊維2として長さ、太さの平均
が1.2mm、20μmのNi金属短繊維を用いた。
In this example, Ni metal short fibers having an average length and thickness of 1.2 mm and 20 μm were used as the metal short fibers 2.

次に、この金属短繊維2の表面に無電解銅メツキ法で、
厚さ1〜3μmの銅メツキ層を設け、ついでこの金属短
繊維2を過硫酸カリウム10g/lと水酸化ナトリウム
50g/βを混合し、102〜110℃に熱した溶液中
に3〜10分浸漬し、第19図に示すように、銅メツキ
層を酸化させ酸化第二銅からなる高抵抗層43を生成さ
せた。
Next, the surface of the short metal fiber 2 is coated with electroless copper plating.
A copper plating layer with a thickness of 1 to 3 μm is provided, and then the short metal fibers 2 are placed in a solution of 10 g/l of potassium persulfate and 50 g/β of sodium hydroxide heated to 102 to 110°C for 3 to 10 minutes. As shown in FIG. 19, the copper plating layer was oxidized to form a high resistance layer 43 made of cupric oxide.

その後、実施例1と同様に、第7図に示す植毛装置にこ
の金属短繊維2.2・・・を入れ、静電植毛工程を行う
。このとき、シリコンラバーヒータ15に通電して発熱
させてホットメルト接着剤シート42を軟化させるとと
もに、高圧電極13に高圧発生器14からの高電圧(こ
の実施例では約+22KV)を所定時間(この実施例で
は3分)印加することにより、静電植毛工程を行う。こ
うすることによって、ステンレスメツシュ41の開口部
41aに金属短繊維2.2・・・を高密度でしかも微細
なピッチで植毛することができる。
Thereafter, in the same manner as in Example 1, the short metal fibers 2.2... are placed in the flocking apparatus shown in FIG. 7, and the electrostatic flocking process is performed. At this time, the silicon rubber heater 15 is energized to generate heat to soften the hot melt adhesive sheet 42, and a high voltage (approximately +22 KV in this embodiment) is applied to the high voltage electrode 13 from the high voltage generator 14 for a predetermined period of time. In the example, the electrostatic flocking process is performed by applying the voltage for 3 minutes. By doing so, the short metal fibers 2.2... can be implanted in the opening 41a of the stainless steel mesh 41 at high density and at a fine pitch.

次に、実施例1と同様に、磁界印加工程を行い、植毛部
の直立性を向上させる。
Next, in the same manner as in Example 1, a magnetic field application step is performed to improve the uprightness of the flocked portion.

さらに、実施例1と同様に絶縁性基板形成工程を行う。Furthermore, an insulating substrate forming step is performed in the same manner as in Example 1.

すなわち、第15図(e)に示すように、アルミ板lO
の開口部40にポリイミドワニス3a(カネボウNSC
製IP630を溶剤NMPに20%希釈したもの)を注
型脱泡し、このポリイミドワニス3aを硬化させる。
That is, as shown in FIG. 15(e), the aluminum plate lO
polyimide varnish 3a (Kanebo NSC)
Polyimide varnish 3a is cured by casting and degassing a product obtained by diluting 20% of polyimide varnish 3a with the solvent NMP.

その後、上記の如く型枠30内で注型硬化されたポリイ
ミドワニス3a上に、第15図(f)に示すように、エ
ポキシ樹脂3b(CECO91C:日立化成工業株式会
社製)を注型脱泡し、エポキシ樹脂3bを硬化させる。
Thereafter, as shown in FIG. 15(f), epoxy resin 3b (CECO91C: manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is cast and defoamed onto the polyimide varnish 3a that has been cast and cured in the mold 30 as described above. Then, the epoxy resin 3b is cured.

次に、上記の如く型枠30内で注型硬化されたエポキシ
樹脂3b上に、第15図(g)に示すように、テフロン
の粉末を混合したエポキシ樹脂3c (CECO91C
:日立化成工業株式会社製)を注型脱泡し、このエポキ
シ樹脂3cを硬化させる。
Next, as shown in FIG. 15(g), epoxy resin 3c (CECO91C
: manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is cast and defoamed, and this epoxy resin 3c is cured.

そして最後に、上記植毛部をアルミ板lOから取り出し
、片面ラッピングマシンで絶縁性基板3の上下両面を順
に研磨し、第15図(h)に示すように、表面を平滑に
するとともに、絶縁性基板3の表面から金属短繊維2.
2・・・を露畠させ、第13図に示すように、ポリイミ
ドワニス3aとエポキシ樹脂3a、3bとからなる絶縁
性基板3を有する異方導電体lを製造する。
Finally, the flocked portion is taken out from the aluminum plate 10, and the upper and lower surfaces of the insulating substrate 3 are sequentially polished using a single-sided lapping machine to make the surface smooth and insulating. Short metal fibers 2 from the surface of the substrate 3.
2... are exposed, and as shown in FIG. 13, an anisotropic conductor 1 having an insulating substrate 3 made of polyimide varnish 3a and epoxy resins 3a, 3b is manufactured.

この実施例では、異方導電体1の表面がテフロンの粉末
を混合したエポキシ樹脂3cによって形成されており、
このテフロンの粉末を混合したエポキシ樹脂3cは、表
面の接触抵抗が小さいため、異方導電体1の表面の摺動
性を向上させることができる。
In this embodiment, the surface of the anisotropic conductor 1 is made of epoxy resin 3c mixed with Teflon powder,
Since the epoxy resin 3c mixed with Teflon powder has a low surface contact resistance, it is possible to improve the slidability of the surface of the anisotropic conductor 1.

このようにして、製造された異方導電体1の厚さは0.
9mmであり、絶縁性基板3の表面には、平均12本/
 m mのピッチで線状導体であるニッケル製の金属短
繊維2.2・・・が基盤の目状に配列していた。
The thickness of the anisotropic conductor 1 manufactured in this way is 0.
The surface of the insulating substrate 3 has an average of 12 wires/
Short metal fibers made of nickel, which are linear conductors, were arranged in the shape of a grid on the substrate at a pitch of mm.

次に、上記異方導電体1の厚さ方向及び隣接する導体間
の抵抗値を、デジタルボルトメータによって測定したと
ころ、異方導電体1の厚さ方向及び隣接する線状導体間
の抵抗値は、約20mΩ及び無限大であった。
Next, when the resistance values in the thickness direction of the anisotropic conductor 1 and between adjacent conductors were measured using a digital voltmeter, the resistance values in the thickness direction of the anisotropic conductor 1 and between adjacent linear conductors were measured. was approximately 20 mΩ and infinite.

また、異方導電体1の金属端繊維2.2・・・に連続し
て大きな電流を流した場合における異方導電体1の温度
上昇を調べる測定を行った。この温度測定は、第20図
に示すように、絶縁性の基盤50上に幅3cmの導体パ
ターン51を設け、その上に試作された異方導電体lを
載置するとともに、さらに、異方導電体1上の導体パタ
ーン51に対応した位置に、直径1.3mm(面積1c
m2)の金属棒52の端面を載置し、導体パターン51
と金属棒52との間に、電源53、電流計54及び定電
胤負荷装置55を介して4Aの電流を流し、金属棒52
の上端、導体パターン51上の異方導電体1表面及び導
体パターン51から離れた位置の異方導電体1表面の温
度をそれぞれ測定した。
In addition, measurements were conducted to examine the temperature rise of the anisotropic conductor 1 when a large current was continuously passed through the metal end fibers 2, 2, . . . of the anisotropic conductor 1. As shown in FIG. 20, this temperature measurement is carried out by providing a conductor pattern 51 with a width of 3 cm on an insulating substrate 50, placing the prototype anisotropic conductor l on it, and then At a position corresponding to the conductor pattern 51 on the conductor 1, a diameter 1.3 mm (area 1 c
m2) is placed on the end face of the metal rod 52, and the conductor pattern 51 is placed.
A current of 4 A is passed between the metal rod 52 and the metal rod 52 via a power source 53, an ammeter 54, and a constant voltage load device 55.
The temperatures of the upper end, the surface of the anisotropic conductor 1 on the conductor pattern 51, and the surface of the anisotropic conductor 1 at a position away from the conductor pattern 51 were measured.

その結果、導体パターン51上の異方導電体1表面と金
属棒52の上端Tdとの温度差は24℃であった。
As a result, the temperature difference between the surface of the anisotropic conductor 1 on the conductor pattern 51 and the upper end Td of the metal rod 52 was 24°C.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明は以上の構成及び作用よりなるもので、請求項
第1項乃至第8項の異方導電体及びその製造方法によれ
ば、導体として線状導体を用いるものであるため、導体
の導通抵抗及び接触抵抗が低く、かつ導体が強度を有し
、外力が加わったり擦られたりしても抵抗値が安定して
いるのは勿論のこと、導体の経時変化が少ない異方導電
体を製造することができるばかりか、接着剤層に線状導
体を静電植毛するように構成されているため、線状導体
を起立した状態で容易に植毛することができ、線状導体
間に絶縁性材料を充填硬化させた場合でも、線状導体を
絶縁性基板の厚さ方向に配向させることができ、異方導
電体の厚さ方向のみの導電性を線状導体によって確保す
ることができる。また、異方導電体は、主に静電植毛工
程と、絶縁性基板形成工程と、研磨工程等からなるため
、簡単な製造装置で製造することができ、コストダウン
が可能となる。さらに、静電植毛された線状導体間に充
填硬化される絶縁材−料は、特に限定されないので、任
意形状及び大面積の異方導電体をも製造することができ
る。
This invention consists of the above-mentioned structure and operation, and according to the anisotropic conductor and the manufacturing method thereof according to claims 1 to 8, since a linear conductor is used as the conductor, the conductor is not electrically conductive. We manufacture anisotropic conductors that have low resistance and contact resistance, have strong conductors, and have stable resistance values even when external force is applied or rubbed, and the conductors change little over time. Not only can the wire conductors be electrostatically flocked to the adhesive layer, so the wire conductors can be easily flocked in an upright state, and there is no insulation between the wire conductors. Even when the material is filled and cured, the linear conductor can be oriented in the thickness direction of the insulating substrate, and the linear conductor can ensure conductivity only in the thickness direction of the anisotropic conductor. Moreover, since the anisotropic conductor mainly consists of an electrostatic flocking process, an insulating substrate forming process, a polishing process, etc., it can be manufactured using a simple manufacturing apparatus, and costs can be reduced. Furthermore, since the insulating material filled and hardened between the electrostatically flocked linear conductors is not particularly limited, it is possible to manufacture anisotropic conductors of arbitrary shapes and large areas.

また、請求項第6項記載の異方導電体の製造方法によれ
ば、静電植毛した後、磁性を有する線状導体に均一な磁
界を印加することによって、線状導体の直立性を向上さ
せることができるので、線状導体を高密度で配列した場
合でも、異方導電体の面方向の絶縁性を確実に保持する
ことができる。
Further, according to the method for manufacturing an anisotropic conductor according to claim 6, after electrostatic flocking, a uniform magnetic field is applied to the magnetic linear conductor, thereby improving the uprightness of the linear conductor. Therefore, even when the linear conductors are arranged at high density, the insulating properties of the anisotropic conductor in the plane direction can be reliably maintained.

さらに、請求項第6項又は第7項記載の異方導電体の製
造方法によれば、静電植毛に先立って接着剤層の表面に
植毛位置規制部材を敷設するようにしたので、線状導体
が規則的に配列した異方導電体を極めて簡単に製造する
ことができる。
Furthermore, according to the method for producing an anisotropic conductor according to claim 6 or 7, the flocking position regulating member is laid on the surface of the adhesive layer prior to electrostatic flocking. An anisotropic conductor in which conductors are regularly arranged can be manufactured extremely easily.

さらにまた、請求項第8項記載の異方導電体の製造方法
によれば、上記請求項第6項及び第7項記載のものの効
果を兼ね備えた異方導電体を製造することができる。
Furthermore, according to the method for manufacturing an anisotropic conductor as set forth in claim 8, it is possible to manufacture an anisotropic conductor that has both the effects of the above claims 6 and 7.

このように、絶縁性材料を複数積層するように構成した
ので、異方導電体に複合的な機能を持たせることが可能
となる。例えば、耐熱性や摺動性等を向上させることが
可能となる。
In this way, since a plurality of insulating materials are laminated, it is possible to provide the anisotropic conductor with multiple functions. For example, it is possible to improve heat resistance, sliding properties, etc.

また、構造体を形成するための絶縁性材料が種類の異な
る複数の絶縁性材料からなり、構造体が複数の層を有す
るように構成されているので、異方導電体に例えば耐熱
性と機械的強度の両方が要求される場合には、耐熱性に
優れた絶縁性材料と機械的強度に優れた絶縁性材料とを
積層することによって、耐熱性及び機械的強度等を同時
に満足する異方導電体を提供することができる。
In addition, since the insulating material for forming the structure is made of a plurality of different types of insulating materials, and the structure is configured to have a plurality of layers, the anisotropic conductor has, for example, heat resistance and mechanical properties. When both mechanical strength and mechanical strength are required, an anisotropic material that satisfies both heat resistance and mechanical strength can be created by laminating an insulating material with excellent heat resistance and an insulating material with excellent mechanical strength. A conductor can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明に係る異方導電体を示す概念図、第2
図(a)〜(cl)はこの発明に係る異方導電体の製造
方法をそれぞれ示す工程図、第3図及び第4図はこの発
明に係る異方導電体の一実施例を示す斜視図及び断面図
、第5図(a)〜(g)は異方導電体の製造工程をそれ
ぞれ示す断面図、第6図は植毛位置規制シートを示す平
面図、第7図は静電植毛装置を示す構成図、第8図及び
第9図は静電植毛装置の他の実施例をそれぞれ示す構成
図、第1θ図は磁界発生装置を示す構成図、第11図及
び第12図は異方導電体の抵抗値を測定する装置をそれ
ぞれ示す斜視図、第13図及び第14図はこの発明に係
る異方導電体の他の実施例を示す斜視図及び断面図、第
15図(a)〜(h)はこの発明に係る異方導電体の製
造工程をそれぞれ示す断面図、第16図はアルミ板を示
す斜視図、第17図はステンレスメツシュを示す平面図
、第18図はアルミ板にステンレスメツシュと接着剤シ
ートを貼り付けた状態を示す斜視図、第19図(a)(
b)は金属短繊維の絶縁層を示す外観斜視図及び断面図
、第20図は異方導電体の温度上昇を測定する装置を示
す斜視図、第21図は本出願人の提案に係る異方導電体
を示す概念図である。 〔符号の説明〕 1・・・異方導電体 2・・・金属短繊維 3・・・絶縁性構造体 4・・・接着剤 特 許 出 願 人  富士ゼロックス株式会社代 理
 人 弁理士  中村 智廣(外1名)2 金属短繊維 3 絶縁性構造体 4 接着剤 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第10図 第11図 第12 図 第13図 第14 図 第15図 第15図 第16図 第17図 (a) 第18図 第19図 (b)
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an anisotropic conductor according to the present invention, and FIG.
Figures (a) to (cl) are process diagrams showing the method for manufacturing an anisotropic conductor according to the present invention, and Figures 3 and 4 are perspective views showing an embodiment of the anisotropic conductor according to the present invention. 5(a) to 5(g) are sectional views showing the manufacturing process of the anisotropic conductor, FIG. 6 is a plan view showing the flocking position regulating sheet, and FIG. 7 is the electrostatic flocking device. Fig. 8 and 9 are block diagrams showing other embodiments of the electrostatic flocking device, Fig. 1θ is a block diagram showing a magnetic field generating device, and Figs. 13 and 14 are perspective views and cross-sectional views showing other embodiments of the anisotropic conductor according to the present invention, respectively, and FIGS. (h) is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the anisotropic conductor according to the present invention, FIG. 16 is a perspective view showing an aluminum plate, FIG. 17 is a plan view showing a stainless steel mesh, and FIG. 18 is an aluminum plate. Fig. 19(a) is a perspective view showing the state in which the stainless steel mesh and adhesive sheet are attached to the
b) is an external perspective view and a cross-sectional view showing an insulating layer of short metal fibers, FIG. 20 is a perspective view showing an apparatus for measuring the temperature rise of an anisotropic conductor, and FIG. 21 is a difference according to the applicant's proposal. FIG. 2 is a conceptual diagram showing a directional conductor. [Explanation of symbols] 1...Anisotropic conductor 2...Metal short fibers 3...Insulating structure 4...Adhesive patent Applicant Fuji Xerox Co., Ltd. Representative Patent attorney Satoshi Nakamura Hiroshi (1 other person) 2 Short metal fiber 3 Insulating structure 4 Adhesive Figure 15 Figure 16 Figure 17 (a) Figure 18 Figure 19 (b)

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)静電植毛用の電極上に塗布され、構造体を形成す
る絶縁性材料が硬化した後は除去されてしまう接着剤層
と、 この接着剤層に静電植毛される多数本の線状導体と、 植毛された線状導体の間に充填・硬化され、線状導体が
その厚さ方向に配向しており、かつ線状導体の両端が表
裏両面から露出している構造体を形成するための絶縁性
材料を備え、 上記構造体を形成するための絶縁性材料が種類の異なる
複数の絶縁性材料からなり、構造体が複数の層を有する
ことを特徴とする異方導電体。
(1) An adhesive layer that is applied on the electrode for electrostatic flocking and is removed after the insulating material forming the structure has hardened, and a large number of wires that are electrostatically flocked to this adhesive layer. It is filled and hardened between the conductor and the flocked linear conductor, forming a structure in which the linear conductor is oriented in the thickness direction and both ends of the linear conductor are exposed from both the front and back sides. An anisotropic conductor comprising: an insulating material for forming the structure, wherein the insulating material for forming the structure is made of a plurality of different types of insulating materials, and the structure has a plurality of layers.
(2)上記線状導体が金属短繊維からなることを特徴と
する請求項第1項記載の異方導電体。
(2) The anisotropic conductor according to claim 1, wherein the linear conductor is made of short metal fibers.
(3)上記線状導体が、その表面が絶縁処理された金属
短繊維からなることを特徴とする請求項第1項又は第2
項記載の異方導電体。
(3) Claim 1 or 2, wherein the linear conductor is made of short metal fibers whose surface is insulated.
Anisotropic conductor described in section.
(4)上記線状導体が規則的に配列されていることを特
徴とする請求項第1項乃至第3項のいずれかに記載の異
方導電体。
(4) The anisotropic conductor according to any one of claims 1 to 3, wherein the linear conductors are regularly arranged.
(5)静電植毛用の電極上に接着剤を塗布する接着剤塗
布工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に多数本の線
状導体を静電植毛する静電植毛工程と、静電植毛用電極
上の接着剤層に植毛された線状導体間に複数の絶縁性材
料を層状に充填硬化させ、複数の絶縁性構造体を積層形
成する絶縁性構造体形成工程と、 絶縁性構造体の片面に固着している静電植毛用電極を除
去した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状導
体の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研磨
工程とからなることを特徴とする異方導電体の製造方法
(5) An adhesive application process of applying adhesive onto the electrode for electrostatic flocking, and an electrostatic process of electrostatic flocking of a large number of linear conductors on the adhesive layer coated on the electrode for electrostatic flocking. The flocking process and the formation of an insulating structure in which multiple insulating materials are filled and cured in layers between the linear conductors that are flocked to the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode, and a plurality of insulating structures are laminated. After removing the electrostatic flocking electrode stuck to one side of the insulating structure, both the front and back sides of the insulating structure are polished, and both ends of the linear conductor are removed from both the front and back sides of the insulating structure. A method for manufacturing an anisotropic conductor, comprising a polishing step for exposing.
(6)静電植毛用の電極上にホットメルト接着剤を塗布
する接着剤塗布工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に多数本の磁
性を有する線状導体を静電植毛する静電植毛工程と、 ホットメルト接着剤を軟化させた状態で、静電植毛用電
極上の接着剤層上に植毛された線状導体に磁界を印加す
ることにより、線状導体の直立性を向上させる磁界印加
工程と、 静電植毛用電極上の接着剤層に植毛された線状導体間に
複数の絶縁性材料を層状に充填硬化させ、複数の絶縁性
構造体を積層形成する絶縁性構造体形成工程と、 絶縁性構造体の片面に固着された静電植毛用電極を除去
した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状導体
の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研磨工
程とからなることを特徴とする異方導電体の製造方法。
(6) An adhesive coating process in which hot melt adhesive is applied onto the electrode for electrostatic flocking, and a large number of magnetic linear conductors are statically coated on the adhesive layer coated on the electrode for electrostatic flocking. The electrostatic flocking process involves applying a magnetic field to the wire conductor flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode while the hot melt adhesive is softened. A magnetic field application process that improves uprightness is performed, and multiple insulating materials are filled and cured in layers between the linear conductors flocked to the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode to form multiple insulating structures. After removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating structure, the front and back surfaces of the insulating structure are polished to form an insulating structure at both ends of the linear conductor. A method for manufacturing an anisotropic conductor, comprising a polishing step of exposing the body from both the front and back sides.
(7)静電植毛用の電極上に接着剤を塗布する接着剤塗
布工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に、線状導体
を所定のパターンにしたがって植毛するための植毛位置
規制部材を敷設する植毛位置規制部材敷設工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層に多数本の線状
導体を静電植毛する静電植毛工程と、静電植毛用電極上
の接着剤層上に植毛された線状導体間に複数の絶縁性材
料を層状に充填硬化させ、複数の絶縁性構造体を積層形
成する絶縁性構造体形成工程と、 絶縁性構造体の片面に固着された静電植毛用電極を除去
した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状導体
の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研磨工
程とからなることを特徴とする異方導電体の製造方法。
(7) An adhesive application step of applying adhesive on the electrode for electrostatic flocking, and for flocking a linear conductor according to a predetermined pattern on the adhesive layer applied on the electrode for electrostatic flocking. an electrostatic flocking process in which a large number of linear conductors are electrostatically flocked to an adhesive layer coated on an electrode for electrostatic flocking; an insulating structure forming step in which a plurality of insulating materials are filled and cured in layers between the linear conductors flocked on an adhesive layer on an adhesive layer on an electrode, and a plurality of insulating structures are layered; After removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the body, both the front and back sides of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back sides of the insulating structure. A method for manufacturing an anisotropic conductor, characterized by:
(8)静電植毛用の電極上にホットメルト接着剤を塗布
する接着剤塗布工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層上に、線状導体
を所定のパターンにしたがって植毛するための植毛位置
規制部材を敷設する植毛位置規制部材敷設工程と、 静電植毛用電極上に塗布された接着剤層に多数本の磁性
を有する線状導体を静電植毛する静電植毛工程と、 ホットメルト接着剤を軟化させた状態で、静電植毛用電
極上の接着剤層に植毛された線状導体に磁界を印加する
ことにより、線状導体の直立度を向上させる磁界印加工
程と、 静電植毛用電極上の接着剤層上に植毛された線状導体間
に複数の絶縁性材料を層状に充填硬化させ、複数の絶縁
性構造体を積層形成する絶縁性構造体形成工程と、 絶縁性構造体の片面に固着された静電植毛用電極を除去
した後、絶縁性構造体の表裏両面を研磨して、線状導体
の両端を絶縁性構造体の表裏両面から露出させる研磨工
程とからなることを特徴とする異方導電体の製造方法。
(8) An adhesive application step of applying hot melt adhesive onto the electrode for electrostatic flocking, and flocking a linear conductor in a predetermined pattern on the adhesive layer applied on the electrode for electrostatic flocking. an electrostatic flocking process in which a large number of magnetic linear conductors are electrostatically flocked to the adhesive layer coated on the electrostatic flocking electrode; A magnetic field application process that improves the uprightness of the linear conductor by applying a magnetic field to the linear conductor flocked to the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode while the hot melt adhesive is softened. and an insulating structure forming step in which a plurality of insulating materials are filled and cured in layers between the linear conductors flocked on the adhesive layer on the electrostatic flocking electrode, and a plurality of insulating structures are layered. After removing the electrostatic flocking electrode fixed to one side of the insulating structure, both the front and back sides of the insulating structure are polished to expose both ends of the linear conductor from both the front and back sides of the insulating structure. 1. A method for producing an anisotropic conductor, comprising a polishing step.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110198666A (en) * 2017-01-25 2019-09-03 国立研究开发法人产业技术综合研究所 Retractility fluffing electrode and its manufacturing method

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