JPH04121610A - Distance measuring apparatus by laser light - Google Patents
Distance measuring apparatus by laser lightInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
この発明は、レーザ光を使用して被測定物体の距離を正
確に測定するレーザ光による距離測定装置に関し、
１台のレーザトランスデユーサで、相互に力学的干渉な
く配設された、゛複数の距離測定装置に設置された被測
定物体の距離を正確に測定することを目的とし、
１台のレーザトランスデユーサと、レーザ光により距離
を測定する複数の距離測定装置とを相互に防振機構を介
して配設し、各距離測定装置は、この距離測定装置に必
要なレーザ光量を取り込み、かつ、その残りのレーザ光
量を他の距離測定装置に分配するためのビームスプリフ
タと、このビームスプリッタで分配されたレーザ光を受
光して被測定物体の距離を測定する距離測定光学系とよ
り構成したことを特徴とするものである。[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention relates to a distance measuring device using a laser beam that accurately measures the distance of an object to be measured using a laser beam. The purpose of this system is to accurately measure the distance of objects to be measured that are installed on multiple distance measuring devices installed without physical interference. and a distance measuring device are mutually arranged via an anti-vibration mechanism, and each distance measuring device takes in the amount of laser light necessary for this distance measuring device, and transmits the remaining amount of laser light to the other distance measuring device. The present invention is characterized by comprising a beam splitter for distributing the laser beam, and a distance measuring optical system for receiving the laser beam distributed by the beam splitter and measuring the distance to the object to be measured.
また、距離測定光学系は、前記ビームスプリフタで分配
されたレーザ光を受光するインタフェロメータと、この
インタフェロメータのレーザ光の受光方向と直角方向位
置に設けた固定リフレクタ−と、インタフェロメータの
レーザ光の受光方向と同一方向の対向位置で被測定物体
に設けた可動リフレクタ−と、インタフェロメータの前
記固定リフレクタ−と対向する位置に設けた距離測定信
号のレシーバとよりなることを特徴とするものである。Further, the distance measuring optical system includes an interferometer that receives the laser beam distributed by the beam splitter, a fixed reflector provided at a position perpendicular to the receiving direction of the laser beam of the interferometer, and an interferometer that receives the laser beam distributed by the beam splitter. It consists of a movable reflector provided on the object to be measured at a position facing the same direction as the receiving direction of the laser beam of the meter, and a receiver for a distance measurement signal provided at a position facing the fixed reflector of the interferometer. This is a characteristic feature.
また、被測定物体として、磁気ディスク装置のヘッド位
置決め信号の書込みにおける磁気ディスクのサーボ面上
を移動するサーボヘッドとしたことを特徴とするもので
ある。Furthermore, the object to be measured is a servo head that moves on a servo surface of a magnetic disk in writing a head positioning signal of a magnetic disk device.
この発明は、レーザ光を使用して被測定物体の距離を正
確に測定することができるレーザ光による距離測定装置
に関するものである。The present invention relates to a distance measuring device using a laser beam that can accurately measure the distance of an object to be measured using a laser beam.
従来のレーザ光を使用して被測定物体の距離を正確に測
定する距離測定装置においては、その心臓部であるレー
ザトランスデユーサを、レーザ光により距離を測定する
距離測定装置１台ごとに１台ずつ装備していた。In conventional distance measuring devices that use laser light to accurately measure the distance of objects to be measured, one laser transducer, which is the core of the device, is used for each distance measuring device that uses laser light to measure distance. They were equipped one by one.
しかしながら、レーザトランスデユーサは、レーザ光に
よる距離測定装置において最も高価で、最も設置スペー
スをとる部品であるため、この種のレーザ光による距離
測定装置を多量に設置する場合には、多額の設備費用と
多くの設置スペースを必要とすることになる。However, the laser transducer is the most expensive component and takes up the most installation space in a distance measuring device that uses laser light, so when installing a large number of this type of distance measuring device that uses laser light, it requires a large amount of equipment. This requires cost and a large amount of installation space.
したがって、レーザ光を使用して被測定物体の距離を測
定する距離測定装置を、生産ライン上に複数台集中的に
設置する場合にも、距離測定装置１台ごとにレーザトラ
ンスデユーサを持つことになり、高価かつ設置スペース
を多くとるといった問題を生じていた。Therefore, even when multiple distance measuring devices that measure the distance of objects to be measured using laser light are installed centrally on a production line, it is necessary to have a laser transducer for each distance measuring device. This resulted in problems such as being expensive and requiring a large amount of installation space.
この発明は、このような従来の課題を解消するために行
ったものであり、１台のレーザトランスデユーサで複数
の距離測定装置に設けられた被測定物体の距離を正確に
測定することができるようにすることを目的とするもの
である。This invention was made to solve these conventional problems, and it is possible to accurately measure the distances of objects installed in multiple distance measuring devices using one laser transducer. The purpose is to make it possible.
この発明は、前記のような課題を解決するため、１台の
レーザトランスデユーサｌと、レーザ光により距離を測
定する複数の距離測定装置２とを相互に防振機構３を介
して配設し、各距離測定装置２は、この距離測定装置２
に必要なレーザ光量を取り込み、かつ、その残りのレー
ザ光量を他の距離測定装置２に分配するためのビームス
プリッタ４と、このビームスプリッタ４で分配されたレ
ーザ光を受光して被測定物体５の距離を測定する距離測
定光学系６とより構成したことを特徴とするレーザ光に
よる距離測定装置。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a system in which one laser transducer l and a plurality of distance measuring devices 2 that measure distances using laser light are mutually arranged via a vibration isolation mechanism 3. However, each distance measuring device 2
A beam splitter 4 takes in the required amount of laser light and distributes the remaining amount of laser light to other distance measuring devices 2; 1. A distance measuring device using a laser beam, comprising a distance measuring optical system 6 for measuring the distance between.
また、距離測定光学系６は、前記ビームスプリッタ４で
分配されたレーザ光を受光するインタフェロメータ７と
、このインタフェロメータ７のレーザ光の受光方向と直
角方向位置に設けた固定リフレクタ−８と、インタフェ
ロメータ７のレーザ光の受光方向と同一方向の対向位置
で被測定物体５に設けた可動リフレクタ−９と、インタ
フェロメータ７の前記固定リフレクタ−８と対向する位
置に設けた距離測定信号のレシーバ１０とよりなること
を特徴とするレーザ光による距離測定装置。Further, the distance measuring optical system 6 includes an interferometer 7 that receives the laser beam distributed by the beam splitter 4, and a fixed reflector 8 provided at a position perpendicular to the receiving direction of the laser beam of the interferometer 7. and a movable reflector 9 provided on the object to be measured 5 at a position facing the same direction as the receiving direction of the laser beam of the interferometer 7, and a distance provided at a position facing the fixed reflector 8 of the interferometer 7. A distance measuring device using a laser beam, comprising a receiver 10 for measuring a measurement signal.
また、被測定物体５として、磁気ディスク装置のヘッド
位置決め信号の書込みにおける磁気ディスクのサーボ面
上を移動するサーボヘッドとしたことを特徴とするレー
ザ光による距離測定装置としたものである。Further, the distance measuring device using a laser beam is characterized in that the object to be measured 5 is a servo head that moves on a servo surface of a magnetic disk for writing a head positioning signal of a magnetic disk device.
なお、第１図における１１は前記レシーバ１０で受信し
た距離測定信号の信号処理回路、第２図における１２は
前記防振機構３を介して前記装置２を載置した共通フレ
ームである。Note that 11 in FIG. 1 is a signal processing circuit for the distance measurement signal received by the receiver 10, and 12 in FIG. 2 is a common frame on which the device 2 is mounted via the vibration isolation mechanism 3.
この発明のようなレーザ光による距離測定装置によると
、第１図および第２図に示すように、たとえば３台の距
離測定装置２が共通フレーム１２に防振機構３を介して
配設されていると、１台のレーザトランスデユーサ１か
ら発せられたレーザ光が、まず、１番目の距離測定装置
２のビームスプリッタ４に入ると、その光量の１／３が
その距離測定装置２の距離測定光学系６に取り込まれ、
２番目の距離測定装置２のビームスプリッタ４でも当初
の光量の１／３が２番目の距離測定装置２の距離測定光
学系６に取り込まれ、この繰り返しで３番目の距離測定
装置２までレーザ光が分配される。なお、３番目の距離
測定装置２に送られたレーザ光は次の距離測定装置に分
配する必要がいので、ビームスプリッタの代わりにビー
ムベダ４′が使用される。According to a distance measuring device using a laser beam according to the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, for example, three distance measuring devices 2 are arranged on a common frame 12 via a vibration isolation mechanism 3. When the laser beam emitted from one laser transducer 1 first enters the beam splitter 4 of the first distance measuring device 2, 1/3 of the amount of light is transmitted to the distance measuring device 2. taken into the measurement optical system 6,
Also in the beam splitter 4 of the second distance measuring device 2, 1/3 of the initial light amount is taken into the distance measuring optical system 6 of the second distance measuring device 2, and this process is repeated until the laser beam reaches the third distance measuring device 2. will be distributed. Note that since the laser beam sent to the third distance measuring device 2 needs to be distributed to the next distance measuring device, a beam bender 4' is used instead of the beam splitter.
このようにして各距離測定装置２の距離測定光学系６を
構成するインタフェロメータ７にレーザ光が受光される
と、固定リフレクタ−８で反射されたレーザ光と、被測
定物体５に設けた可動リフレクタ−９で反射されたレー
ザ光との干渉信号による距離測定信号をレシーバ１０で
受信し、この距離測定信号を信号処理回路１１で信号処
理することにより被測定物体５の基準位置からの移動距
離を測定することができるが、これ以上の詳細な説明は
、レーザ光による距離測定として周知のことであるので
省略する。When the laser beam is thus received by the interferometer 7 constituting the distance measuring optical system 6 of each distance measuring device 2, the laser beam reflected by the fixed reflector 8 and the laser beam provided on the object to be measured 5 are combined. The receiver 10 receives a distance measurement signal based on the interference signal with the laser beam reflected by the movable reflector 9, and the distance measurement signal is processed by the signal processing circuit 11 to move the object 5 from the reference position. Although distance can be measured, further detailed explanation will be omitted since distance measurement using laser light is well known.
また、レーザトランスデユーサｌと、各距離測定装置２
とを共通フレーム１２に防振機構３を介して配設し、距
離測定装置２の動作時の力学的な相互干渉を除去するこ
とにより、各距離測定装置２は距離測定を含む作業を同
時かつランダムに行うことができる。Also, a laser transducer 1 and each distance measuring device 2
are arranged on the common frame 12 via the vibration isolation mechanism 3, and by eliminating mechanical mutual interference during operation of the distance measuring devices 2, each distance measuring device 2 can perform operations including distance measurement at the same time. It can be done randomly.
第３図は、この発明の実施例として、磁気ディスク装置
の磁気ディスクのサーボ面にヘッド位置決め信号を書き
込む（サーボトラックライタ）際に、この発明を適応し
た例を示したもので、第４図はその正面図である。FIG. 3 shows, as an embodiment of the present invention, an example in which the present invention is applied when writing a head positioning signal to the servo surface of a magnetic disk of a magnetic disk device (servo track writer). is its front view.
以下、この発明の実施例を第１図および第２図に示した
ものと同一部には同一符号を付けて説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, with the same parts being given the same reference numerals as those shown in FIGS. 1 and 2.
この実施例においては、共通フレーム１２に、防振機構
３を介してレーザトランスデユーサｌと、磁気ディスク
装置の磁気ディスクのサーボ面にヘッド位置決め信号を
書き込むための各距離測定装置２とが配設されている。In this embodiment, a laser transducer l and distance measuring devices 2 for writing head positioning signals on the servo surface of a magnetic disk of a magnetic disk device are arranged in a common frame 12 via an anti-vibration mechanism 3. It is set up.
各距離測定装置２には、レーザトランスデユーサ１から
ビームベンダ１ａを介して発射されたレーザ光を、距離
測定装置２を構成する距離測定光学系に取り込むととも
に、他の距離測定装置２にも分配するためのビームスプ
リッタ４が設けられている。レーザ光が受光される最後
の距離測定装置２には、レーザ光を分配する必要がない
ので、ビームスプリッタに代えてビームベンダ４′が設
けられている。Each distance measuring device 2 receives the laser beam emitted from the laser transducer 1 via the beam bender 1a into the distance measuring optical system constituting the distance measuring device 2, and also inputs the laser beam emitted from the laser transducer 1 via the beam bender 1a into the distance measuring optical system constituting the distance measuring device 2. A beam splitter 4 is provided for distribution. The last distance measuring device 2 that receives the laser beam is provided with a beam bender 4' instead of a beam splitter since there is no need to distribute the laser beam.
また、各距離測定装置２には距離測定光学系を構成する
次のような部材が設けられている。すなわち、１３．１
４はビームベンダ、Ｉ５はインタフェロメータ、１６は
レシーバ、１７は磁気ディスク装置１８を距離測定装置
２に保持するためのホルダー １８ａは磁気ディスク、
１８ｂは図示しないサーボヘッドとり一ド／ライト・ヘ
ッドを磁気ディスクの半径方向に移動させるためのへソ
ドキャリジの揺動軸であり、この揺動軸１８ｂにリフレ
クタ−１９，２０を取り付けておく。Further, each distance measuring device 2 is provided with the following members constituting a distance measuring optical system. That is, 13.1
4 is a beam bender, I5 is an interferometer, 16 is a receiver, 17 is a holder for holding the magnetic disk device 18 in the distance measuring device 2, 18a is a magnetic disk,
Reference numeral 18b denotes a swing shaft of a umbilical carriage for moving a servo head (not shown) in the radial direction of the magnetic disk, and reflectors 19 and 20 are attached to this swing shaft 18b.
この発明の実施例において、レーザ光を使用して磁気デ
ィスクのサーボ面にヘッド位置決め信号を書き込む手順
は、従来の手順と同じであるので、その詳細な説明は省
略するが、その概略を説明すると、ヘッドキャリジの揺
動軸１８ｂを回動駆動するボイスコイルモータによって
、ヘッドキャリジの揺動軸１８ｂを揺動させて、これに
取り付けたりフレフタ−１９，２０から反射されたレー
ザ光をインタフェロメータ１５に入射させ、このインタ
フェロメータ１５では、これに入射されたレーザ光を、
レーザ光の干渉信号による距離測定信号に換えてレシー
バ１６で受信させ、この距離測定信号を信号処理回路に
よって信号処理することによって、サーボヘッドとリー
ド／ライト・ヘッドが一体に磁気ディスク上を所定ピッ
チ動いたのを確認しながら磁気ディスクのサーボ面にサ
ーボ情報を記録するものである。In the embodiment of this invention, the procedure for writing head positioning signals on the servo surface of the magnetic disk using laser light is the same as the conventional procedure, so a detailed explanation thereof will be omitted, but the outline will be explained below. A voice coil motor that rotationally drives the swing shaft 18b of the head carriage swings the swing shaft 18b of the head carriage, and the laser light reflected from the flutters 19 and 20 is transmitted to an interferometer. 15, and in this interferometer 15, the laser beam incident on it is
By having the receiver 16 receive the distance measurement signal instead of a laser beam interference signal, and processing this distance measurement signal by the signal processing circuit, the servo head and the read/write head work together to move the magnetic disk at a predetermined pitch. Servo information is recorded on the servo surface of the magnetic disk while confirming movement.
この発明は、以上説明したように、１台のレーザトラン
スデユーサと、レーザ光により距離を測定する複数の距
離測定装置とを相互に防振機構を介して配設し、各距離
測定装置は、この距離測定装置に必要なレーザ光量を取
り込み、かつ、その残りのレーザ光量を他の距離測定装
置に分配するためのビームスプリッタと、このビームス
プリッタで分配されたレーザ光を受光して被測定物体の
距離を測定する距離測定光学系とより構成したことを特
徴とするレーザ光による距離測定装置。As explained above, the present invention includes one laser transducer and a plurality of distance measuring devices that measure distance using laser light, which are mutually arranged via an anti-vibration mechanism, and each distance measuring device is , a beam splitter for capturing the amount of laser light necessary for this distance measuring device and distributing the remaining amount of laser light to other distance measuring devices, and a device to be measured by receiving the laser light distributed by this beam splitter. A distance measuring device using a laser beam, comprising a distance measuring optical system for measuring the distance to an object.
また、距離測定光学系は、前記ビームスプリッタで分配
されたレーザ光を受光するインタフェロメータと、この
インタフェロメータのレーザ光の受光方向と直角方向位
置に設けた固定リフレクタ−と、インタフェロメータの
レーザ光の受光方向と同一方向の対向位置で被測定物体
に設けた可動リフレクタ−と、インタフェロメータの前
記固定リフレクタ−と対向する位置に設けた距離測定信
号のレシーバとよりなることを特徴とするレーザ光によ
る距離測定装置としたので、１台のレーザトランスデユ
ーサで複数の距離測定装置に設置した被測定物体の距離
を正確に測定することができる。Further, the distance measuring optical system includes an interferometer that receives the laser beam distributed by the beam splitter, a fixed reflector provided at a position perpendicular to the receiving direction of the laser beam of the interferometer, and an interferometer. A movable reflector provided on the object to be measured at opposing positions in the same direction as the receiving direction of the laser beam, and a distance measurement signal receiver provided at a position opposing the fixed reflector of the interferometer. Since the distance measuring device uses a laser beam, it is possible to accurately measure the distance of objects to be measured installed in a plurality of distance measuring devices using one laser transducer.
また、被測定物体として、磁気ディスク装置のヘッド位
置決め信号書込みにおける磁気ディスクのサーボ面上を
移動するサーボヘッドとしたことを特徴とするレーザ光
による距離測定装置としたので、１台のレーザトランス
デユーサで複数の磁気ディスク装置の磁気ディスクにお
けるサーボ面に正確なピッチでサーボ情報を記録するこ
とができる。In addition, since the object to be measured is a servo head that moves on the servo surface of a magnetic disk when writing a head positioning signal in a magnetic disk device, a distance measuring device using a laser beam is used. The user can record servo information at accurate pitches on the servo surfaces of the magnetic disks of a plurality of magnetic disk devices.
また、１台のレーザトランスデユーサと、レーザ光によ
り距離を測定する複数の距離測定装置とを相互に防振機
構を介して配設したので、距離測定装置の動作時の力学
的な相互干渉を除去することにより、各距離測定装置は
距離測定を含む作業を同時かつランダムに行うことがで
きる。In addition, since one laser transducer and multiple distance measuring devices that measure distance using laser light are mutually arranged via an anti-vibration mechanism, mechanical mutual interference during operation of the distance measuring devices By removing , each distance measuring device can perform tasks including distance measurement simultaneously and randomly.
第１図はこの発明の原理説明図、第２図は第１図の右側
面図、第３図はこの発明の実施例の平面図、第４図は第
３図の正面図である。
１・・・レーザトランスデユーサ
２・・・距離測定装置
３・・・防振機構
４・・・ビームスプリッタ
５・・・被測定物体
６・・・距離測定光学系
７・・・インタフェロメータ
８・・・固定リフレクタ−
９・・・可動リフレクタ−
１０・・・レシーバ
１１・・・信号処理回路
１２・・・共通フレーム
１３・・・ビームベンダ
１４・・・ビームベンダ
１５・・・インタフェロメータ
１６・・・レシーバ
１７・・・ホルダー
１８・・・磁気ディスク装置
１８ａ・・・磁気ディスク
１８ｂ・・・揺動軸
１９・・・リフレクタ−
２０・・・リフレクター1 is a diagram illustrating the principle of this invention, FIG. 2 is a right side view of FIG. 1, FIG. 3 is a plan view of an embodiment of the invention, and FIG. 4 is a front view of FIG. 3. 1... Laser transducer 2... Distance measuring device 3... Vibration isolation mechanism 4... Beam splitter 5... Measured object 6... Distance measuring optical system 7... Interferometer 8... Fixed reflector 9... Movable reflector 10... Receiver 11... Signal processing circuit 12... Common frame 13... Beam bender 14... Beam bender 15... Interferro Meter 16... Receiver 17... Holder 18... Magnetic disk device 18a... Magnetic disk 18b... Swing shaft 19... Reflector 20... Reflector
Claims (3)
ザ光により距離を測定する複数の距離測定装置（２）と
を相互に防振機構（３）を介して配設し、 各距離測定装置（２）は、この距離測定装置（２）に必
要なレーザ光量を取り込み、かつ、その残りのレーザ光
量を他の距離測定装置（２）に分配するためのビームス
プリッタ（４）と、このビームスプリッタ（４）で分配
されたレーザ光を受光して被測定物体（５）の距離を測
定する距離測定光学系（６）とより構成したことを特徴
とするレーザ光による距離測定装置。(1) One laser transducer (1) and a plurality of distance measuring devices (2) that measure distance using laser light are mutually arranged via a vibration isolation mechanism (3), and each distance measuring device (2) is a beam splitter (4) for capturing the amount of laser light necessary for this distance measuring device (2) and distributing the remaining amount of laser light to other distance measuring devices (2), and this beam A distance measuring device using a laser beam, comprising a distance measuring optical system (6) that measures the distance to an object to be measured (5) by receiving the laser beam distributed by a splitter (4).
タ（４）で分配されたレーザ光を受光するインタフェロ
メータ（７）と、このインタフェロメータ（７）のレー
ザ光の受光方向と直角方向位置に設けた固定リフレクタ
ー（８）と、インタフェロメータ（７）のレーザ光の受
光方向と同一方向の対向位置で被測定物体（５）に設け
た可動リフレクター（９）と、インタフェロメータ（７
）の前記固定リフレクター（８）と対向する位置に設け
た距離測定信号のレシーバ（１０）とよりなることを特
徴とする請求項（１）に記載のレーザ光による距離測定
装置。(2) The distance measuring optical system (6) includes an interferometer (7) that receives the laser beam distributed by the beam splitter (4), and a direction in which the laser beam is received by the interferometer (7). A fixed reflector (8) provided at a perpendicular position, a movable reflector (9) provided on the object to be measured (5) at an opposing position in the same direction as the receiving direction of the laser beam of the interferometer (7), and an interferometer. Meter (7
2. A distance measuring device using a laser beam according to claim 1, further comprising a distance measuring signal receiver (10) provided at a position facing said fixed reflector (8).
ッド位置決め信号の書込みにおける磁気ディスクのサー
ボ面上を移動するサーボヘッドとしたことを特徴とする
請求項（１）に記載のレーザ光による距離測定装置。(3) The object to be measured (5) is a servo head that moves on a servo surface of a magnetic disk in writing a head positioning signal of a magnetic disk device. Distance measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2243055A JPH04121610A (en) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Distance measuring apparatus by laser light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2243055A JPH04121610A (en) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Distance measuring apparatus by laser light |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121610A true JPH04121610A (en) | 1992-04-22 |
Family
ID=17098138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2243055A Pending JPH04121610A (en) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | Distance measuring apparatus by laser light |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04121610A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4855483A (en) * | 1988-02-18 | 1989-08-08 | General Electric Company | Method for preparing polysalicylates |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP2243055A patent/JPH04121610A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4855483A (en) * | 1988-02-18 | 1989-08-08 | General Electric Company | Method for preparing polysalicylates |
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