JPH04101769A - Grinder device for jig - Google Patents
Grinder device for jigInfo
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、治具グラインダ装置、特に垂直軸を有する貫
通穴の内面を研削するのに好適な立型の治具グラインダ
装置の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an improvement of a jig grinder device, particularly a vertical jig grinder device suitable for grinding the inner surface of a through hole having a vertical axis. It is.
従来、精密な穴の内面を加工する場合には、治具グライ
ンダ装置を使用して、穴の内面を砥石によって研削する
のが最も一般的な手段である。第３図は砥石軸駆動用の
駆動軸を垂直に配設した立型の治具グラインダ装置の例
を示す一部断面要部正面図である。同図において、３１
は主軸ヘッドであり、下端部に主軸３２を垂直回転自在
に設けると共に、主軸ヘッド３１の回りに公転し、かつ
全体として垂直方向に上下動可能なように構成する。３
３はチャックであり、主軸３２の下端部に装着して軸付
砥石３４を着脱可能なように形成する。３５は加工テー
ブルであり、水平面内において移動自在に形成すると共
に、被加工体３６が載置される。以上の構成により、被
加工体３６の貫通穴３７の内面を軸付砥石３４によって
研削して精密に仕上げるのである。Conventionally, when processing the inner surface of a precise hole, the most common method is to use a jig grinder device and grind the inner surface of the hole with a grindstone. FIG. 3 is a partially sectional main part front view showing an example of a vertical jig grinder device in which a drive shaft for driving a grindstone shaft is arranged vertically. In the same figure, 31
1 is a main shaft head, which has a main shaft 32 vertically rotatable at its lower end, revolves around the main shaft head 31, and is configured to be vertically movable as a whole. 3
Reference numeral 3 denotes a chuck, which is attached to the lower end of the main shaft 32 so that the grindstone 34 with a shaft can be attached and detached therefrom. A processing table 35 is formed to be movable in a horizontal plane, and a workpiece 36 is placed thereon. With the above configuration, the inner surface of the through hole 37 of the workpiece 36 is ground by the shafted grindstone 34 to achieve a precise finish.
この場合、主軸３２は通常１０，００（１−２０，００
Ｏｒｐｍ （場合によっては５０，００（１−６０，０
０Ｏｒｐｍ ）の高速で回転させつつ、主軸ヘッド３１
の回りを公転および上下動により、貫通穴３７の内面を
研削する。In this case, the main shaft 32 is normally 10,00 (1-20,000
Orpm (in some cases 50,00 (1-60,0
While rotating at a high speed of 0Orpm), the spindle head 31
The inner surface of the through hole 37 is ground by revolving around it and moving up and down.
上記従来の治具グラインダ装置においては、軸付砥石３
４の下端が全く自由状態であるため、軸に対して直角方
向の外力（例えば研削力）が作用した場合には、容易に
撓み、若しくは変形してしまうため、加工精度を低下さ
せるのみならず、極めて僅かな研削力しか印加できない
ため、研削に長時間を要し、能率が低いという問題があ
る。また、上記加工精度および能率の低下は、貫通穴の
内径が小さい程、また軸方向長さが長い程助長され、極
端な場合には研削加工が不可能となるという非所望な問
題が発生する。In the above-mentioned conventional jig grinder device, the grinding wheel with shaft 3
Since the lower end of 4 is in a completely free state, when an external force (for example, a grinding force) is applied in a direction perpendicular to the axis, it easily bends or deforms, which not only reduces machining accuracy but also However, since only a very small grinding force can be applied, it takes a long time for grinding, resulting in low efficiency. Furthermore, the reduction in machining accuracy and efficiency increases as the inner diameter of the through hole becomes smaller and as the length in the axial direction increases, and in extreme cases, an undesirable problem occurs in which grinding becomes impossible. .
上記第３図図示従来例における非所望な問題は、軸付砥
石３４がいわゆる片持であることに起因している。即ち
、片持の場合といわゆる両持の場合とを比較すると、下
記の式により明らかなように撓みが大きく異なる。なお
、下記の式は、片持梁の撓みδ、と両持梁の撓みδ２と
を示すものである。The undesirable problem in the conventional example shown in FIG. 3 is due to the fact that the shafted grindstone 34 is so-called cantilevered. That is, when comparing the cantilever case and the so-called double support case, the deflection is greatly different as is clear from the following equation. Note that the following equation indicates the deflection δ of the cantilever beam and the deflection δ2 of the double-supported beam.
３ＥＩ ２４ＥＴ式中、Ｐは
荷重、２は荷重点と支点との間の距離、Ｅは縦弾性係数
、■は慣性モーメントを表す。In the 3EI 24ET formula, P represents the load, 2 represents the distance between the load point and the fulcrum, E represents the longitudinal elastic modulus, and ■ represents the moment of inertia.
そのため、本願発明者らは、先に上記の問題の解決を図
ることを目的とする治具グラインダ（特願昭６１−３１
３５２６号）を提案した。以下、当該提案の治具グライ
ンダを第４図に関連して説明する。Therefore, the inventors of the present application first developed a jig grinder (Japanese Patent Application No. 61-31
No. 3526) was proposed. The proposed jig grinder will be explained below with reference to FIG.
なお、第４図は上記提案の治具グラインダを説明するた
めの要部断面図であり、図中の符号４１は従動ユニット
、４２はチャック、４３は圧縮コイルばね。Note that FIG. 4 is a sectional view of the main parts for explaining the proposed jig grinder, in which reference numeral 41 is a driven unit, 42 is a chuck, and 43 is a compression coil spring.
４４はガイド穴、４５はコロガリ軸受、４６は砥石、４
６ａは研削部、４６ｂは取付軸を表し、その他の符号は
第３図に対応している。44 is a guide hole, 45 is a roller bearing, 46 is a grindstone, 4
6a represents a grinding portion, 46b represents a mounting shaft, and other symbols correspond to those in FIG. 3.
第４図において、主軸３２は垂直軸の回りに回転自在お
よび上下動自在に形成する。主軸３２の下方には、当該
主軸３２と同軸的に従動ユニット４１が設けられると共
に、当該従動ユニット４１の上端部にはチャック４２が
設けられている。そして、上記従動ユニット４１は、圧
縮コイルばね４３により支承されると共に、当該従動ユ
ニット４１を上記主軸３２と同軸的に位置決めするため
のガイド穴４４との間にコロガリ軸受４５が介装されて
いる。次に、砥石４６は、研削部４６ａの上下端部に取
付軸４．６ ｂが同軸的に設けられて一体に形成されて
いる。そして、砥石４６をチャック３３．４２間に着装
して、当該主軸３２を回転させ、かつ上下動させれば、
上記従動ユニット４１を上記主軸３２と協同して回転お
よび上下動自在とすることができる。なお、上記加工テ
ーブル３５は、例えばＮＣ制御により水平面内において
移動自在に構成されている。In FIG. 4, the main shaft 32 is formed to be rotatable around a vertical axis and movable up and down. A driven unit 41 is provided below the main shaft 32 coaxially with the main shaft 32, and a chuck 42 is provided at the upper end of the driven unit 41. The driven unit 41 is supported by a compression coil spring 43, and a rolling bearing 45 is interposed between the driven unit 41 and a guide hole 44 for coaxially positioning the driven unit 41 with the main shaft 32. . Next, the grindstone 46 is integrally formed with mounting shafts 4.6b coaxially provided at the upper and lower ends of the grinding portion 46a. Then, if the grindstone 46 is attached between the chucks 33 and 42 and the main shaft 32 is rotated and moved up and down,
The driven unit 41 can be rotated and moved up and down in cooperation with the main shaft 32. Note that the processing table 35 is configured to be movable within a horizontal plane, for example, by NC control.
第４図図示提案例は、貫通穴３７を有する被加工体３６
を加工テーブル３５上に載置固定した状態で、当該加工
テーブル３５に上記ＮＣ制御による移動を行わせながら
、主軸３２を介して砥石４６を回転かつ上下動させるこ
とにより、上記貫通穴３７の内面を所定の精度に仕上げ
ることができる。そして、第４図図示提案例においては
、砥石４６が両端にて保持されているため、前述した両
持梁の撓み原理により、砥石４６の剛性が向上し、軸と
直角方向の外力が作用しても撓み量を著しく軽減させる
ことが可能となり、加工精度や加工能率を大幅に向上さ
せることができる。The proposed example shown in FIG. 4 is a workpiece 36 having a through hole 37.
is placed and fixed on the processing table 35, and while the processing table 35 is moved by the NC control, the grindstone 46 is rotated and moved up and down via the main shaft 32, thereby cutting the inner surface of the through hole 37. can be finished to a predetermined accuracy. In the proposed example shown in FIG. 4, since the grinding wheel 46 is held at both ends, the rigidity of the grinding wheel 46 is improved due to the above-mentioned bending principle of the support beam on both sides, and an external force in the direction perpendicular to the axis is applied. However, the amount of deflection can be significantly reduced, and machining accuracy and efficiency can be greatly improved.
上記第４図図示提案例においては、従動ユニット４１が
主軸３２の回転、上下動に追随して回転、上下動するよ
う構成されているが、当該従動ユニット４１の慣性によ
り、上記砥石４６の取付軸４６ｂに捻り応力が作用する
ことを防止するため、当該従動ユニット４１に上記チャ
ック４２を回転せしめる例えばモータ等の駆動手段（図
示省略）を設け、当該チャック４２が上記主軸３２と同
期回転させるようにすることが考慮される。In the proposed example shown in FIG. 4, the driven unit 41 is configured to rotate and move up and down following the rotation and up and down movement of the main shaft 32, but the inertia of the driven unit 41 prevents the attachment of the grindstone 46. In order to prevent torsional stress from acting on the shaft 46b, the driven unit 41 is provided with a drive means (not shown) such as a motor for rotating the chuck 42, so that the chuck 42 rotates synchronously with the main shaft 32. Consideration will be given to
しかしながら、上記チャック４２と上記主軸３２との回
転を完全に同期させることは、非常に困難であるという
問題がある。However, there is a problem in that it is extremely difficult to completely synchronize the rotations of the chuck 42 and the main shaft 32.
本発明は、上記の如き問題点を解決することを目的とし
ており、そのため、本発明の治具グラインダ装置は、垂
直軸の回りに回転自在に構成された工具駆動用の駆動軸
と、被加工体が載置される加工テーブルとをそなえ、上
記駆動軸と加工テーブルとを水平方向に相対移動自在に
構成されてなり、上記駆動軸に着脱自在に装着される工
具により上記加工テーブルに載置された被加工体を加工
する治具グラインダ装置において、上記駆動軸と協同し
て移動する従動装置をそなえ、上記従動装置は、上記工
具の下端部を着脱自在に保持する従動軸と、上記従動軸
の外周面に対して所定の対向間隙を有する内周面をそな
えたドライブ・スリーブと、上記ドライブ・スリーブの
回転駆動を行う駆動手段とをそなえ、上記従動軸の外周
面とドライブ・スリーブの内周面との対向間隙に流体が
介在されるよう構成されていることを特徴としている。The purpose of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and therefore, the jig grinder device of the present invention has a drive shaft for driving a tool configured to be rotatable around a vertical axis, and a workpiece to be machined. a processing table on which the body is placed, and the drive shaft and the processing table are configured to be movable relative to each other in the horizontal direction, and the object is placed on the processing table by a tool detachably attached to the drive shaft. A jig grinder device for machining a processed workpiece is provided with a driven device that moves in cooperation with the drive shaft, and the driven device includes a driven shaft that removably holds the lower end of the tool, and a driven shaft that removably holds the lower end of the tool. The drive sleeve includes an inner circumferential surface having a predetermined opposing gap with respect to the outer circumferential surface of the shaft, and a driving means for rotationally driving the drive sleeve, the outer circumferential surface of the driven shaft and the drive sleeve It is characterized by being configured such that a fluid is interposed in a gap facing the inner circumferential surface.
以下、図面を参照しつつ説明する。This will be explained below with reference to the drawings.
第１図は本発明の治具グラインダ装置の一実施例側面図
、第２図は第１図図示実施例における従動装置を説明す
るための要部断面拡大図を示す。FIG. 1 is a side view of one embodiment of the jig grinder device of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part for explaining the driven device in the embodiment shown in FIG.
第１図において、図中の符号１は被加工体、２はベツド
３はＹ軸テーブルであって図示Ｙ軸方向へ移動自在に
ベツビ２上に設置されるもの、４はコラムであって図示
Ｘ軸方向へ移動自在にＹ軸テーブル３上に設置されるも
の、５は制御モータであってコラム４のＸ軸方向への移
動を制御するもの、６は昇降アームであって図示Ｘ軸方
向へ昇降自在にコラム４に支持されるもの、７は制御モ
ータであって昇降アーム６の２軸方向への昇降を制御す
るもの、８は工具駆動装置、９は駆動軸１０および１１
はチャック、１２は従動装置、１３は従動軸、１４は工
具軸、１５は砥石、１６は加工テーブルを表している。In Fig. 1, the reference numeral 1 in the figure is a workpiece, 2 is a bed, 3 is a Y-axis table which is installed on the bed 2 so as to be movable in the Y-axis direction shown in the figure, and 4 is a column (not shown). 5 is a control motor that controls the movement of the column 4 in the X-axis direction; 6 is a lifting arm that is movable in the X-axis direction; 7 is a control motor that controls the vertical movement of the lifting arm 6 in two axial directions; 8 is a tool drive device; 9 is a drive shaft 10 and 11;
12 is a chuck, 12 is a driven device, 13 is a driven shaft, 14 is a tool shaft, 15 is a grindstone, and 16 is a processing table.
第１図図示実施例は、昇降アーム６が上記制御モータ７
によりＸ軸方向への昇降自在かつＹ軸チー°プル３およ
びコラム４を介して水平方向における移動を可能とする
よう構成されている。そして、上記昇降アーム６の上部
先端に工具駆動装置８が装着されると共に、下部先端に
は第２図に関連して詳細に後述する従動装置１２が装着
されている。In the embodiment shown in FIG. 1, the lifting arm 6 is connected to the control motor 7.
It is configured so that it can be freely raised and lowered in the X-axis direction and can be moved in the horizontal direction via the Y-axis chieple 3 and column 4. A tool driving device 8 is attached to the upper end of the lifting arm 6, and a driven device 12, which will be described in detail later with reference to FIG. 2, is attached to the lower end.
上記砥石１５が取付けられた工具軸１４は、チャ、り１
０および１１を介して上記駆動軸９および従動軸１３に
着脱自在に装着される。以下、第２図に関連して上記従
動装置１２について説明する。なお、図中の符号２１は
従動装置本体、２２はモータ、２３はドライブ・スリー
ブ、２４はモータ２２の出力軸、２５はキ、２６は流体
導入孔を表しており、その他の符号は第１図に対応して
いる。The tool shaft 14 to which the above-mentioned grindstone 15 is attached has a cha, a grinder 1
It is removably attached to the drive shaft 9 and driven shaft 13 via pins 0 and 11. The driven device 12 will be explained below with reference to FIG. In the figure, the reference numeral 21 represents the main body of the driven device, 22 the motor, 23 the drive sleeve, 24 the output shaft of the motor 22, 25 the key, and 26 the fluid introduction hole. Corresponds to the diagram.
第２図において、従動装置１２は、従動装置本体２１、
モータ２２．ドライブ・スリーブ２３およびチャック１
１をそなえた従動軸１３により構成され、第１図に図示
されている如く、昇降アーム６の下部先端に装着されて
いる。そして、上記ドライブ・スリーブ２３は、モータ
２２により駆動され、従動装置本体２１に対して摺動回
転自在に構成されている。In FIG. 2, the driven device 12 includes a driven device main body 21,
Motor 22. Drive sleeve 23 and chuck 1
1, and is attached to the lower end of the lifting arm 6, as shown in FIG. The drive sleeve 23 is driven by the motor 22 and is configured to be slidable and rotatable relative to the driven device main body 21.
また、従動軸１３は、上記ドライブ・スリーブ２３に対
して摺動回転自在に構成されている。また、従動装置本
体２１には、上記従動軸１３とドライブ・スリーブ２３
との対向間隙に対して、流体（例えばエアー、油等）を
供給するための流体導入孔２６が形成されている。従っ
て、上記従動軸１３は、流体を介してドライブ・スリー
ブ２３に保持されることになる。即ち、従動軸１３は、
上記モータ２２により駆動されるドライブ・スリーブ２
３と共に回転する。Further, the driven shaft 13 is configured to be slidable and rotatable relative to the drive sleeve 23. The driven device main body 21 also includes the driven shaft 13 and a drive sleeve 23.
A fluid introduction hole 26 for supplying fluid (for example, air, oil, etc.) is formed in the opposing gap. Therefore, the driven shaft 13 is held in the drive sleeve 23 via fluid. That is, the driven shaft 13 is
Drive sleeve 2 driven by the motor 22
Rotates with 3.
そして、上記モータ２２の回転数を制御することにより
、従動軸１３の回転と工具駆動装置８側の駆動軸９の回
転即ちチャック１０の回転とチャック１１の回転を同期
させるようにすることにより、工具軸１４に捻しれが生
じることなく研削加工を行うことができる。なお、チャ
ック１０の回転とチャック１１の回転とが同期するよう
に上記モータ２２の回転数を制御すると説明したが、完
全に同期させることは事実上困難である。前述した如く
、上記従動軸１３は、出力軸２４に直接保持されている
のではなく、流体を介して保持されているため、当該流
体がいわばクツションの働きをすることにより、多少の
回転ズレがあっても問題ない。従って、上記モータ２２
の回転数制御が容易となる。即ち、例えば、上記工具駆
動装置８例の駆動軸９の回転とモータ２２の回転とが完
全に同期している場合を想定すると、上記チャック１０
．工具軸１４．チャック１１を介して上記駆動軸９に連
結されている従動軸１３の回転は、上記モータ２２によ
り駆動されるドライブ・スリーブ２３の回転と同期して
いて介在する流体はいわば静止状態にあり、上記ドライ
ブ、スリーブ２３の回転駆動力はそのまま上記従動軸１
３に供給される。上記従動軸１３とドライブ・スリーブ
２３とに回転差が生した場合には、上記流体がその回転
差に対応して流体の表面と裏面（即ち、上記従動軸１３
の外周面側と上記ドライブ・スリーブ２３の内周面側）
との間に速度差が生じる。即ち、流体自身の摩擦抵抗を
介して上記ドライブ・スリーブ２３の回転駆動力が従動
軸１３に伝達される。従って、上記従動軸１３とドライ
ブ・スリーブ２３とに回転差が生じた場合でも、工具軸
１４に生じる捻しれ力は無視できる程度のものである。By controlling the rotation speed of the motor 22, the rotation of the driven shaft 13 and the rotation of the drive shaft 9 on the tool drive device 8 side, that is, the rotation of the chuck 10 and the rotation of the chuck 11, are synchronized. Grinding can be performed without twisting the tool shaft 14. Although it has been explained that the rotation speed of the motor 22 is controlled so that the rotation of the chuck 10 and the rotation of the chuck 11 are synchronized, it is practically difficult to achieve complete synchronization. As mentioned above, the driven shaft 13 is not held directly by the output shaft 24, but is held via a fluid, so that the fluid acts as a cushion, so that some rotational deviation may occur. There is no problem. Therefore, the motor 22
The rotation speed can be easily controlled. That is, for example, assuming that the rotation of the drive shaft 9 of the eight examples of tool drive devices and the rotation of the motor 22 are completely synchronized, the chuck 10
．． Tool axis 14. The rotation of the driven shaft 13 connected to the drive shaft 9 via the chuck 11 is synchronized with the rotation of the drive sleeve 23 driven by the motor 22, and the intervening fluid is in a stationary state, so that the The rotational driving force of the drive and sleeve 23 remains as it is on the driven shaft 1.
3. When a rotational difference occurs between the driven shaft 13 and the drive sleeve 23, the fluid flows between the front and back surfaces of the fluid (i.e., between the driven shaft 13 and the back surface of the fluid) corresponding to the rotational difference.
(the outer peripheral surface side of the drive sleeve 23 and the inner peripheral surface side of the drive sleeve 23)
There is a speed difference between the two. That is, the rotational driving force of the drive sleeve 23 is transmitted to the driven shaft 13 through the frictional resistance of the fluid itself. Therefore, even if a rotational difference occurs between the driven shaft 13 and the drive sleeve 23, the twisting force generated on the tool shaft 14 is negligible.
以上、研削工具に砥石を用いた治具グラインダ装置につ
いて説明したが、本発明はこれに限られるものではなく
、砥石以外の研削工具を用いる場合にも適用することが
できる。Although the jig grinder apparatus using a grindstone as a grinding tool has been described above, the present invention is not limited to this, and can be applied to cases where a grinding tool other than a grindstone is used.
以上説明した如く、本発明によれば、工具の両端を保持
することにより、工具の剛性が向上し、工具軸と直角方
向の外力による撓み量を著しく減少させることが可能と
なると共に工具の両端を夫々独立して駆動し、かつ下端
の駆動を流体を介して行うことにより、工具の捻じれ発
生を防止することが可能となり、加工精度および加工能
率を大幅に向上させることができる。また、工具下端の
駆動を流体を介して行うことは、工具の駆動手段の回転
数制御を容易とする利点を生むことになる。As explained above, according to the present invention, by holding both ends of the tool, the rigidity of the tool is improved, and the amount of deflection due to external force in the direction perpendicular to the tool axis can be significantly reduced. By driving each of the two independently and driving the lower end via fluid, it is possible to prevent the tool from twisting, and it is possible to significantly improve machining accuracy and machining efficiency. Furthermore, driving the lower end of the tool via fluid has the advantage of making it easier to control the rotational speed of the driving means of the tool.
第１図は本発明の治具グラインダ装置の一実施例側面図
、第２図は第１図図示実施例における従動装置を説明す
るための要部断面拡大図、第３図および第４図はそれぞ
れ治具グラインダ装置の従来例を説明するための説明図
を示す。
図中、１は被加工体、２はベツド、３はＹ軸テーブル、
４はコラム、５および７は制御モータ。
６は昇降アーム、８は工具駆動装置、９は駆動軸。
１０および１１はチャック、１２は従動装置、１３は従
動軸、１４は工具軸、１５は砥石８１６は加工テーブル
。
２２はモータ、２３はドライブ・スリーブ、２４はモー
タ２２の出力軸、２５はキー、２６は流体導入孔を表わ
す。
第１図
第
図
第
図FIG. 1 is a side view of one embodiment of the jig grinder device of the present invention, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of essential parts for explaining the driven device in the embodiment shown in FIG. 1, and FIGS. 3 and 4 are Explanatory diagrams for explaining conventional examples of jig grinder devices are shown. In the figure, 1 is the workpiece, 2 is the bed, 3 is the Y-axis table,
4 is a column, 5 and 7 are control motors. 6 is a lifting arm, 8 is a tool drive device, and 9 is a drive shaft. 10 and 11 are chucks, 12 is a driven device, 13 is a driven shaft, 14 is a tool shaft, and 15 is a grindstone 816 is a processing table. 22 is a motor, 23 is a drive sleeve, 24 is an output shaft of the motor 22, 25 is a key, and 26 is a fluid introduction hole. Figure 1 Figure 1
Claims (1)
軸と、被加工体が載置される加工テーブルとをそなえ、
上記駆動軸と加工テーブルとを水平方向に相対移動自在
に構成されてなり、上記駆動軸に着脱自在に装着される
工具により上記加工テーブルに載置された被加工体を加
工する治具グラインダ装置において、 上記駆動軸と協同して移動する従動装置をそなえ、 上記従動装置は、 上記工具の下端部を着脱自在に保持する従動軸と、 上記従動軸の外周面に対して所定の対向間隙を有する内
周面をそなえたドライブ・スリーブと、上記ドライブ・
スリーブの回転駆動を行う駆動手段とをそなえ、 上記従動軸の外周面とドライブ・スリーブの内周面との
対向間隙に流体が介在されるよう構成されている ことを特徴とする治具グラインダ装置。[Scope of Claims] A drive shaft for driving a tool configured to be rotatable around a vertical axis, and a processing table on which a workpiece is placed,
A jig grinder device in which the drive shaft and the processing table are configured to be movable relative to each other in the horizontal direction, and which processes a workpiece placed on the processing table using a tool that is detachably attached to the drive shaft. The driven device is provided with a driven device that moves in cooperation with the drive shaft, and the driven device has a driven shaft that removably holds the lower end of the tool, and a predetermined opposing gap with respect to the outer peripheral surface of the driven shaft. a drive sleeve having an inner circumferential surface having a
A jig grinder device comprising a driving means for rotationally driving the sleeve, and configured such that a fluid is interposed in the opposing gap between the outer circumferential surface of the driven shaft and the inner circumferential surface of the drive sleeve. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JPH11349354A (en) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Nikon Corp | Substrate for information recording medium and its production |
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-
1990
- 1990-08-21 JP JP21960790A patent/JP2839670B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11349354A (en) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Nikon Corp | Substrate for information recording medium and its production |
| JP2005034951A (en) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Flattening device |
| JP2006088322A (en) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | Brush polishing method for inner peripheral end face of substrate for recording medium |
| JP4508982B2 (en) * | 2004-08-26 | 2010-07-21 | 昭和電工株式会社 | Brush polishing method for inner peripheral end face of substrate for recording medium |
| CN111546145A (en) * | 2020-05-18 | 2020-08-18 | 杭州加淼科技有限公司 | Finish machining equipment for manufacturing shaft sleeve |
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