JPH0399215A - 変位量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （概　要〕 材料に荷重をかけた際の変位量を測定する装置に関し、 被測定物に切り欠き等がある場合にも変位曲面の式を求
め得るようにすることを目的とし、被測定物に荷重若し
くは温度変化を加えて変形させる荷重手段と、被測定物
上に設定した格子点毎に変形を与える前と後での形状を
測定し両者の差より変位データを算出する変位データ測
定・算出部と、該変位データ測定・検出部で求められた
変位データをそれぞれ分割された領域毎に格納する変位
データ格納部と、該変位データ格納部に格納されている
変位データを入力し新たに被測定物を切り欠き部の存在
しない物体と見做して変位曲面の式を算出する変位曲面
の式算出部と、該変位曲面の式算出部で算出された変位
曲面の式を格納する変位曲面の式格納部と、変位曲面の
式格納部に格納されている変位曲面の式を用い指定され
た位置における変位を算出する変位量算出部と、を備え
、被測定物がコの字型形状を有する場合、若しくは切り
欠き部を有する場合、被測定物を格子状の測定点を設定
可能な複数の領域に分割し、該分割領域毎に測定・算出
され格納された変位データを入力し、被測定物を切り欠
き部の存在しない物体と見做して変位曲面の式を求め、
該変位曲面の式から指定された点におけ変位量を求める
ように構戒する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、材料に変形を与えた際の変位量を測定する装
置に関する。

〔従来の技術〕

製品の高機能化と軽量化の要請のもと、構造設計の分野
では、プラスチックのモールド技術を用いて、材料の薄
肉化を図り必要にして最小限の強度を付与する極限的な
設計が試みられている。このような構造体の多くは、変
形し易い柔構造となり、弾性変形のみならず塑性変形（
荷重を取り去っても復旧しない変形）やクリープ変形（
時間と共に大きくなる変形）をも伴う。

このような柔構造体の機械的な特性を測定するため、多
数の測定点の変位を自動的に計測する計測ロボットが提
案されている。第７図は、計測ロボットの構成例を示す
図である。

第７図において、２０．　３０はＸ，Ｙ，２３軸方向の
移動機構を有する直交型ロボットであり、ＩＯは被測定
物である。

ロボット２０．　３０はさらに回転機構２１０　３１を
備えている．カセンサ２２を介してロボット２０の先端
部に取りつけられたロッド２３によって被測定物１０に
力を加え、そのときの被測定物１０の変位をロボット３
０の先端部に取りつけられた変位検出用のブローブ３２
で測定する。測定した離散的な変位から歪分布等を求め
るようになっている。

第８図は、測定方法の例を示す図である。

平面板１０の一端１１を固定し、他端１２に荷重Ｐをか
ける。このときの変位量を格子状に配置された点で測定
する。測定した離散的な変位データから、？プライン関
数（ｓｐｌｉｎｅ　ｆｕｎｃｔｉｏｎ　：離散的な測定
点の関数近似の一種、例えば情報処理ハンドブック第１
６５頁参照）によって変位分布を関数で求める。

次に、変形データから歪量を求めるには、以下のように
行われる。

簡単のため、第９図（ａ）に示した平面板の場合を例に
とり説明する。第９図（ロ）は、平面板が曲げられた状
態を表し、Ｘ軸方向に沿っては、表面１３の側は伸び、
表面１４の側は圧縮した状態を表している．板に曲げが
生じた場合、一般に歪は曲率半径に比例する。具体的に
は、歪と曲率半径との間には、次の関係がある． εＸＸ　　＝Ｚ／ｒｘｘ εｖｖ　　””’　　Ｚ／ｒｖｖ εＮＶ＝ｚ／ｒＸＶ ここで、ε■はＸ方向の直歪、εｖｖはｙ方向の直歪、
ε×▼は剪断歪であり、２ε■がいわゆる工学的な剪断
歪に相当する。ｒＸＸはＸ方向の曲率半径、ｒｖｖはｙ
方向の曲率半径、ｒｘｖは捩しり率の逆数である。以下
では、ε。，Ｙ７．εｘｖを単にε まとめて歪と呼び、ｒ　ＸＸＩ　　ｒ　ｖｖ＋　　ｒ　
ｘｖをまとめて曲率半径と呼ぶ。２は中立面１５（伸び
も圧縮もしない面、即ち歪がＯの面）から考えている面
までの距離である。例えば、歪が比較的小さい場合は中
立面は、平面の中央（表面からも裏面からも等距離の面
）にあるとみなせる。従って、中立面から被測定物の表
面までの距離は板厚の約１／２と見做せる。

一方、曲率半径と変位分布Ｗとの間には、次の関係が戒
り立つ。

１／ｒ＊ｘ　　＝　　　ａ”　ｗ／ＢＸ”ｔ／ｒｖｖ　
　＝　　　８”　ｗ／ａ　ｙ”１／ｒｘｖ＝　　−δＺ
　ｗ　／δｘａｙ従って、変位分布を２階微分可能で且
つ２階微分が連続な関数Ｗとして求めることにより歪を
求めることができる．即ち、測定した離散的な変位分布
から変位曲面の式を求め、この式を２階偏微分すること
により、曲率半径を、ひいては歪分布を求めることがで
きる。さらに、材料の歪量が小？い場合は材料特性は線
形と見做すことができるので、歪分布から応力分布を求
めることができる．第１０図は、具体的な処理を実行す
る変位量測定装置の構戒を示す図である。

図において、ｈは変形を与える前の被測定物であり、１
■は変形を与えた後の被測定物であり、同じ被測定物を
変形前と後で区別して表したものである。２゜は被測定
物ｈに変形を与える荷重手段であり、第７図に示したロ
ボット２０の部分に相当する。

形状測定部３は変形を与える前と後の被測定物ｈ．１■
の形状を測定するものであり、第７図に示したロボット
３０の部分に相当する。形状データ格納部４，は変形前
の形状データを格納し、形状データ格納部４怠は変形後
の形状データを格納する。変位データ算出部５は、両者
の差をとって変位データを求め、変位データ格納部６に
格納する。

変位曲面の式算出部７は、変位データ格納部６に格納さ
れた離散的な変位データから変位曲面の式を求める装置
であり、その結果は変位曲面の式格納部８に出力される
。

変位曲面の式算出部７は具体的には、２次元スプライン
関数を用いて、変位曲面の式を算出するようになってい
る。９Ａは変位曲面の式格納部８の内容を基に指令部９
Ｃより指令された位置における変位を算出する変位算出
部である。変位算出部９Ａは変位曲面の式を基に変位を
算出するもので、変位データ算出部５とは異なり、任意
の位置における変位を算出することができる。

歪算出部９Ｂは、変位曲面の式格納部８の内容を基に指
令装置９Ｃにより指令された位置における歪を算出する
。具体的には、前述のように変位曲面の式を２階偏微分
する処理を行う。なお、歪算出部９Ｂでは、必要に応じ
て応力等を算出するようになっている。指令部９Ｃによ
り変位算出部９＾および歪算出部９Ｂに指令する位置を
様々に与えることによって、変位分布および歪分布を求
めることができる． 〔発明が解決しようとする課題〕 第１０図に示した変位量測定装置の構或では、以下に説
明する問題点がある。

変位曲面の式算出部７は２次元のスプライン関数を用い
ているので、変位曲面の式算出部７が変位データ格納部
６に格納された離散的な変位データから曲面の式を求め
ることができるためには、変位データ格納部６に格納さ
れた離散的な変位データはｍＸｎの格子状のデータであ
る必要がある。

数学的により厳密に表現すると、変位データ格納部６に
格納されているデータは、 Ｘ座標を表す集合Ｘ＝｛ＸＩ，　Ｘ２．　”　・，　　
Ｘｎ　１ｙ座標を表す集合Ｙ＝０’＋．）’ｚ，・・・
，）’ｎ）があったときに、ＸとＹとの直積ＸｘＹによ
って表される集合のｍＸｎ個の要素 （ｘ＋，ｙ，）．　　・・・・，（ｘ＋＊，ｙｔ＋）に
対応した位置における、ｍＸｎ個の変位データでなけれ
ばならない．そして、変位曲面の式算出部７により求ま
る変位曲面の式ｗ（ｘ，ｙ）の定義域は、　　　　　゛ （　（ｘ，ｙ）ｌ　ＸＩ　　≦Ｘ≦Ｘｓ＋　　ｙ＋　　
≦ｙ≦ｙｎ）となる。従って、長方形型の被測定物に対
しては、比較的容易に全体の変位を表す曲面の式を求め
ることができるのに対して、「コ１の字型の部品、或い
は部品の一部に切り欠きのあるものについては、変位曲
面の式を求めるのが困難であり、ひいては歪の算出が困
難という問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は、本発明の構戒を示すブロック図である。

図において、１は被測定物である。

２は変形手段であり、被測定物１に荷重若しくは温度変
化を加えて変形させる。

３，４．５は変位測定・算出部であり、被測定物１上に
設定された格子点における変形前および変形後の形状を
測定し両者の差から変位を算出する。

６Ａ，６Ｂ．６Ｃは変位データ格納部であり、変位デー
タ測定・算出部３，４．５で求められた変位データを分
割された領域毎に格納する。

７は変位曲面の式算出部であり、変位データ格納装置６
Ａ，６Ｂ．６Ｃに格納されている領域毎の変位データを
入力し新たに被測定物１を切り欠き部の存在しない長方
形と見做して変位曲面の式を算出して変位曲面の式格納
部８に格納する。

９Ａは変位算出部であり、変位曲面の式格納部８に格納
されている変位曲面の式を用い指定された位置における
変位を算出する。

９Ｂは歪算出部であり、変位曲面の式格納部８に格納さ
れている変位曲面の式を２階偏微分し指定された位置に
おける歪を算出する。

〔作　用〕 本発明の原理を、第２図に示すように切り欠き部Ｄ，Ｅ
を有する被測定物１を測定する場合を例にとって説明す
る。

まず、被測定物１をメッシュ切りが行えるような長方形
の領域Ａ，Ｂ，Ｃに分割する。

領域Ａにおいて、 Ｘ座標を表す集合Ｘ　Ａ　＝（　Ｘ　ａｌ＋　　Ｘ　ｍ
Ｚ＋　’−”＋　　Ｘ　ｍａｌｙ座標を表す集合Ｙ　−
｛ｙ，，ｙ２，−・−，ｙ７｝の直積ＸＡＸＹで表され
る集合の要素に対応した位置を測定点とする。

同様に、領域Ｂにおいて、 Ｘ座標を表す集合Ｘ　Ｂ”　（　Ｘｂ＋＋　　Ｘｂ！＋
　一・・，ｘｂ＊１ｙ座標を表す集合Ｙ　　”　｛）’
＋　，　　Ｙｔ　，−・−．ｙ７｝の直積ＸＢＸＹで表
される集合の要素に対応した位置を測定点とする。

同様に、領域Ｃにおいて、 Ｘ座標を表す集合Ｘ　Ｃ＝（　Ｘ　ｅｌ＋　　Ｘ　ｃ２
＋　’−’＊　　Ｘ　ｅｊｙ座標を表す集合Ｙ　　＝　
（３’＋　．　　Ｙｚ　．−，　　）’イ｝の直積ＸＣ
ＸＹで表される集合の要素に対応した位置を測定点とす
る。

測定された変位データは、′Ｆ！４１図に示すように、
それぞれ領域毎に、領域Ａの変位データは変位データ格
納部６Ａに、領域Ｂのデータは６Ｂに、領域Ｃの変位デ
ータは６Ｃに格納される。

変位曲面の式算出部７においては、変位データ格納部６
Ａ，６Ｂ，６Ｃに格納されている各領域毎の変位データ
を人力して、新たに、被測定物ｌを切り欠き部Ｄ，Ｈの
存在しない長方形の物体と見做して、測定データを、 Ｘ座標を表す集合　Ｘ　”’　（　Ｘ　ｌ＋　Ｘ　ｚ．
’−．　　Ｘ　＊　）ただし、Ｘ　Ｉ　””　Ｘ　ｍｊ
＋　’−’，　　Ｘ　ｗｈ　＝Ｘ　ｃｍｙ座標を表す集
合　Ｙ＝　（ｙ＋，ｙｔ．−．ｙ．）の直積ｘｘＹで表
される集合の要素に対応した位置における変位データと
見做して、変位曲面の式ｗ（ｘ，ｙ）を求める。求めた
曲面の式ｗ　（ｘ，ｙ）は、変位曲面の式格納部８に格
納される。

変位算出部９Ａは、変位曲面の式格納部８に格納されて
いる変位曲面の式から指定された任意の点の変位を算出
する。

歪算出部９Ｂは、変位曲面の式格納部８に格納されてい
る変位曲面の式を２階偏微分し指定された任意の点の歪
を算出する。

上述のように、被測定物ｌを切り欠き部の存在しない物
体と見做しているので、変位曲面の式算出部７の出力で
ある曲面の式ｗ（ｘ．ｙ）の定義域は、 ｛（ｘ，　　ｙ）ｌｘ＋　≦Ｘ≦ｘ，ｙ≦ｙ≦ｙ，）と
なり、切り欠き部Ｄ，　Ｅでの変位も含んだものとなっ
ている。従って、従来においては、物体が存在する領域
内でのみ求めていた変位曲面の式を、実際には測定デー
タが得られない領域（本例では切り欠き部）においても
仮想的に物体が存在するとして変位曲面の式を求めるこ
とにより、実際には測定不能な領域を含む領域において
処理可能となる。

？実施例〕 第３図は、本発明の一実施例システムの構或を示す図で
ある。

第３図に示した実施例システムにより、第４図に示すよ
うな被測定物を測定する場合を例にとり説明する。

第３図において、１１は変形を与える前の被測定物であ
り、１■は変形を与えた後の被測定物であり、同じ被測
定物を変形前と後で区別して表したものである。２″は
被測定物１０に変形を与える荷重手段である。

第４図に示すように、被測定物ｈは、両端がベース１０
１上に固定された台１０２．　１０３によって支持され
ている。荷重は被測定物ｈの中央１６にかけられる。変
位（形状）の測定は、次のようにして行われる。

第４図に示すようなコの字型であり、実線の格子で示さ
れる測定点しか測定のできない被測定物ｈについて計測
する場合には、被測定物ＩＩを領域Ａと領域Ｂに分割す
る。

領域Ａにおいて、 Ｘ座標を表す集合Ｘ　Ａ　＝　｛　Ｘ　ｍｌ　Ｘ　ａｚ
，＝−＋　　Ｘ　ａｓ｝ｙ座標を表す集合Ｙ　　＝（ｙ
＋，ｙｚ．−・．）’Ｉ＋）の直積ＸＡＸＹで表される
集合の要素に対応した位置での変位を測定する。

領域Ｂにおいて、 Ｘ座標を表す集合ＸＢ＝　（Ｘｂ＋Ｘｂｚ，　　−＋　
　Ｘｂｓ）ｙ座標を表す集合Ｙ　　＝　（ｙ＋，Ｖｚ．
−．Ｖｚ）の直積ＸＢＸＹで表される集合の要素に対応
した位置での変位を測定する。

形状測定部３は、変形を与える前と後の被測定物の形状
を測定する装置である。

領域Ａの形状データ格納部４Ａ＋は、領域Ａにおける変
形前の形状データ（５Ｘ１１＝５５点におけるデータ）
を格納し、領域Ａの形状データ格納部４＾２は、領域Ａ
における変形後の形状データ（５５点におけるデータ）
を格納する。領域Ｂの形状データ格納部４Ｂ．は、領域
Ｂにおける変形前の形状データ（５ｘｌｌ＝５５点にお
けるデータ）を格納し、領域Ｂの形状データ格納部４８
２は、領域Ｂにおける変形後の形状データ（５５点にお
けるデータ）を格納する。

領域八の変位データ算出部５Ａは、領域Ａの形状データ
格納部４Ａ＋内に格納されている領域Ａにおける変形前
の形状データと、領域Ａの形状データ格納部４＾２内に
格納されている領域Ａにおける変形後の形状データより
、領域Ａでの変位データ（５５点におけるデータ）を求
め、領域Ａの変位データ格納部６＾に格納する。同様に
、領域Ｂの変位データ算出部５Ｂは、領域Ｂの形状デー
タ格納部４Ｂ＋内に格納されている領域Ｂにおける変形
前の形状データと、領域Ｂの形状データ格納部４Ｂ２内
に格納されている領域Ｂにおける変形後の形状データよ
り、領域Ｂでの変位データ（５５点におけるデータ）を
求め、領域Ｂの変位データ格納部６Ｂに格納する。

変位曲面の式算出部７は、領域Ａの変位データ格納部６
Ａに格納されている領域Ａ内の５５点における変位デー
タと、領域Ｂの変位データ格納部６Ｂに格納されている
領域Ｂ内の５５点における変位データを基に、新たに領
域Ａと領域Ｂおよび切り欠き部を一体とした領域におけ
る、Ｘ座標を表す集合Ｘ　＝（　Ｘ　ｌ＋　Ｘ　ｚ＋・
・−＋　　Ｘ　ｔｏ）ただし、Ｘ　Ｉ　＝Ｘｍｌ＋　　
”　’　＋　　Ｘ％　＝Ｘｍ５＋Ｘｂ　　＝］（ｂ，，
　　”　　’＋　　Ｘ＋ｏ＝Ｘｂｓｙ座標を表す集合Ｙ
　””　（　Ｙ　Ｉ＋　ｙ　ｔ．−．　　）’　＋　＋
　）の直積で表される位置でのデータと見做して、変位
曲面の式　ｗ（ｘ，ｙ）を求める。

求めた変位曲面の式ｗ（ｘ．ｙ）の定義域は、｛（ｘ，
ｙ）Ｉｘ＋　≦Ｘ≦Ｘ＋ｏ，ｙ＋　≦ｙ≦Ｙ＋＋１であ
る。

求めた変位曲面の式ｗ（ｘ，ｙ）は、変位曲面の式格納
部８に格納する． 変位算出部９Ａは、変位曲面の式ｗ（ｘ，ｙ）を基に、
指令部９Ｃの指令に基づいて、任意の位置での変位を算
出する。

歪算出部９Ｂは、変位曲面の式ｗ（ｘ．ｙ）を基に指令
部９Ｃの指令に基づいて、任意の位置での歪を算出する
。

第５図は、上記に説明のようにして求められた変位分布
の例を示す図である。

図において、２００は被測定物の変位ゼロの面を表し、
２０１は被測定物の変位を表す曲線群である．なお、判
り易くするため、被測定物の寸法（ｘ，ｙ方向の長さ）
に比較して、変位は拡大して表している。曲線群２０１
は、１９Ｘ２１点の位置を基に作成した。これらの位置
は、ＩＯＸＩＩ点の測定位置（第４図参照）とこれらの
測定位置間をＸ，ｙ方向に２等分割した位置よりなり、
これらの位置における変位は変位曲面の式より求めた。

第５図より、荷重をかけている点の近辺の変位を含め、
被測定物全体での変位分布を直観的に知ることができる
。

第６図は、上記に説明のようにして求められた歪分布の
例を示す図である。

図において、２０２は歪ゼロの面を表し、２０３は被測
定物の測定表面におけるＸ方向の直歪を表す曲線群であ
る。曲線群２０３は、第５図の曲線群２０１と同様にし
て、１　９Ｘ２　１点の位置における直歪を変位曲線の
式から求めて作威した。第６図において、正の歪（歪ゼ
ロの面２０２の上方）は引張歪を表し、負の歪（面２０
２の下方〉は圧縮歪を表す。第６図より、荷重をかけて
いる点近辺では圧縮歪が生じ、両ｒ８２０４．　２０５
付近では引張歪が生じていることが判る。このように、
歪分布を求めることにより、被測定物の各場所にどのよ
うな歪が生じているかを知ることができる。第６図では
、Ｘ軸方向の歪分布を表示したが、同様にしてｙ軸方向
の直歪或いは剪断歪を表示することができる。

また、これら３種類の歪を基に座標変換することにより
被測定物の面内における任意の方向の歪分布を表示する
ことも可能である。さらに、線形材料においては同様に
して応力分布を表示することができる。

本実施例では、領域を二分割した場合で説明したが、被
測定物の領域は三領域以上に分割しても、それに応じて
形状データ格納装置、変位データ算出装置、変位データ
格納装置の個数を増加させることで対応できることはい
うまでもない。

位置を表すパラメタとしてｘ，ｙを用いて説明したが、
ｘ，ｙは必ずしも直交座標系におけるパラメタである必
要はなく、一般的な座標表示におけるパラメタとしても
よい。例えば２次元平面における曲座標（ｒ，　　θ）
を用いれば、円形状の物体における測定に適したものと
なる。

また、変形前の基準形状として既に変形を与えられた形
状を用いてもよい。例えば荷重をかけて変形を与える場
合、荷重３００ｇをかけたときを基準の形状としてｌｋ
ｇの荷重をかけたときの変位および歪を求めても本発明
の趣旨から外れるものではない。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、長方形
状の被測定物において切り火きかあったり、突起やコの
字状のものに対しても歪分布や応カ分布を求めることが
可能となり、計測ロポットの適用範囲を大幅に拡張する
ことがでるという著しい工業的効果がある。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明の構或を示すブロック図、第２図は切り
欠き部を有する被測定物における領域分割を示す図、 第３図は本発明の一実施例の構成を示す図、第４図は分
割された領域における測定点の座標を示す図、 第５図は本発明の一実施例で求めた変位分布例を示す図
、 第６図は本発明の一実施例で求めた歪分布例を示す図、 第７図は計測ロボットの構或例を示す図、？８図は変位
の測定法を示す図、 第９図は変位曲面を説明する図、 第１０図は変位量測定装置の構戒例を示す図である。 図において、 １０，１２．１０は被測定物、２は変形手段、２゜は荷
重手段、　　　　　３は形状測定部、４■４■．４Ａ１
０　　４Ａｚ．　　４Ｂ，，　　４Ｂｔは形状データ格
納部、 ５．５Ａ，５Ｂは変位データ算出部、 ６．６Ａ，６Ｂは変位データ格納部、 ７は変位曲面の式算出部、 １ ４ １１〜１６は被測定物の部分、 ２１０　３１は回転機構、 ２３はロンド、 を示す。 ２０．　３０はロボット、 ２２はカセンサ、 １０１〜１０３は支持具、 （Ｘ１） （Ｘｒｎ） １フ７リクてそ：吾Ｐ１九１ｉ″Ｖろ核１目リＳ＝ｑつ
７１＝フブ１−γう４ｊ冑ナＡう冫宇りｔ示ｔ岳≧コ冨
　　２　　積 ”Ｚ＋　２：２　２３　７４　２５ Ｚ６　Ｚ７ Ｚ＋ｏ ＋０１ 分争１さ刺仁碩プ頁におけろ』り宝点の座す瑣も示１纜
第　　　今　　　図 オ曙壱明の一実飛争｛τポめｋ変４立分布今りを示す剣
第　　５　　回 不発ａｆ４（ｒ＋−実矩命１でボの乙歪臂牟脅１ｇ示す
起第　　ｂ　　図 ｘ，／ゝ＼Ｙ 変盈の濁１芝珠Ｅ示ず図 第 ３ 厨 計清１ロボ・・トの惰八命１研す喝 番　７　口 プεイ立庄白ｉを首Ｌｔ３月する圧コ 箒　ｑ　口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物（１）に荷重若しくは温度変化を加えて変
   形させる変形手段（２）と、 被測定物（１）上に設定した格子点毎に変形を与える前
   と後での形状を測定し両者の差より変位データを算出す
   る変位データ測定・算出部（３、４、５）と、 変位データ測定・検出部（３、４、５）で求められた変
   位データをそれぞれ分割された領域毎に格納する変位デ
   ータ格納部（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）と、変位デー
   タ格納部（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）に格納されてい
   る変位データを入力し新たに被測定物（１）を切り欠き
   部の存在しない物体と見做して変位曲面の式を算出する
   変位曲面の式算出部（７）と、変位曲面の式算出部（７
   ）で算出された変位曲面の式を格納する変位曲面の式格
   納部（８）と、変位曲面の式格納部（８）に格納されて
   いる変位曲面の式を用い指定された位置における変位を
   算出する変位量算出部（９Ａ）と、を備え、被測定物（
   １）がコの字型形状を有する場合、若しくは切り欠き部
   を有する場合、被測定物（１）を格子状の測定点を設定
   可能な複数の領域に分割し、該分割領域毎に測定・算出
   され格納された変位データを入力し、被測定物（１）を
   切り欠き部の存在しない物体と見做して変位曲面の式を
   求め、該変位曲面の式から指定された点におけ変位量を
   求めるよう構成したことを特徴とする変位量測定装置。 ２、上記記載の変位曲面の式格納部（８）に格納されて
   いる変位曲面の式を２階偏微分し、指定された位置にお
   ける歪を算出する歪算出部（９Ａ）を備えるよう構成し
   たことを特徴とする請求項１０記載の変位量測定装置。