JPH0397923U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0397923U JPH0397923U JP743390U JP743390U JPH0397923U JP H0397923 U JPH0397923 U JP H0397923U JP 743390 U JP743390 U JP 743390U JP 743390 U JP743390 U JP 743390U JP H0397923 U JPH0397923 U JP H0397923U
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- JP
- Japan
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- substrate
- coating
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- Pending
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ａは本考案の実施例１を示す外形図、第
１図ｂは同側面図、第２図ａは本考案の実施例２
を示す外形図、第２図ｂは同側面図、第３図ａは
従来のフオトレジスト塗布装置を示す外形図、第
３図ｂは同側面図である。 １……基板、２……超音波加振器、２ａ……吸
着振動板、３……ドクターバー、４……コーテイ
ングロール、５……バツクアツプロール、６……
コンベア、７……レジスト液。
１図ｂは同側面図、第２図ａは本考案の実施例２
を示す外形図、第２図ｂは同側面図、第３図ａは
従来のフオトレジスト塗布装置を示す外形図、第
３図ｂは同側面図である。 １……基板、２……超音波加振器、２ａ……吸
着振動板、３……ドクターバー、４……コーテイ
ングロール、５……バツクアツプロール、６……
コンベア、７……レジスト液。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板にレジスト液を塗布するフオトレジスト塗
布装置であつて、 基板に超音波振動を付与する機構を装備したこ
とを特徴とするフオトレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP743390U JPH0397923U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP743390U JPH0397923U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397923U true JPH0397923U (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=31511091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP743390U Pending JPH0397923U (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397923U (ja) |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP743390U patent/JPH0397923U/ja active Pending