JPH0396704A - 流体圧シリンダの位置検出装置 - Google Patents
流体圧シリンダの位置検出装置Info
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- JPH0396704A JPH0396704A JP23352889A JP23352889A JPH0396704A JP H0396704 A JPH0396704 A JP H0396704A JP 23352889 A JP23352889 A JP 23352889A JP 23352889 A JP23352889 A JP 23352889A JP H0396704 A JPH0396704 A JP H0396704A
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、流体圧シリンダのピストンロットの動作位置
を検出するための位置検出装置に関するものてある。
を検出するための位置検出装置に関するものてある。
［従来の技術］
従来、流体圧シリンダのピストンロットに磁性部分と非
磁性部分とを交互に備えた磁気スケールを設け、この磁
気スケールを磁気センサて読み取ることによってピスト
ンロッドの動作位置を検出するようにしたものは公知で
ある（例えば、特開昭６０−１２０２１４号公報、特開
昭６２−２３７３０８号公報、特開昭６４−７４３０５
号公報参照。）．このような位置検出装置は，一般に、
磁気センサからの検出信号を処理してパルス信号化する
信号処理回路を備えているか、検出装置の取り扱いや保
守・管理等を容易にするという観点から，上記信号処理
回路は、磁気センサと共にシリンダに直接取り付けるこ
とか望ましい。
磁性部分とを交互に備えた磁気スケールを設け、この磁
気スケールを磁気センサて読み取ることによってピスト
ンロッドの動作位置を検出するようにしたものは公知で
ある（例えば、特開昭６０−１２０２１４号公報、特開
昭６２−２３７３０８号公報、特開昭６４−７４３０５
号公報参照。）．このような位置検出装置は，一般に、
磁気センサからの検出信号を処理してパルス信号化する
信号処理回路を備えているか、検出装置の取り扱いや保
守・管理等を容易にするという観点から，上記信号処理
回路は、磁気センサと共にシリンダに直接取り付けるこ
とか望ましい。
上記要求は、信号処理回路を基板上に搭載してブロック
化し、このブロックをシリンダに取り付けるようにする
ことによって解決可能であるか、一般に，上記信号処理
回路は多数の回路素子によって構成されているため、そ
れらを基板に搭載すると該基板即ちブロックが必然的に
大形化し、小形のシリンダに取り付けることが困難にな
る。
化し、このブロックをシリンダに取り付けるようにする
ことによって解決可能であるか、一般に，上記信号処理
回路は多数の回路素子によって構成されているため、そ
れらを基板に搭載すると該基板即ちブロックが必然的に
大形化し、小形のシリンダに取り付けることが困難にな
る。
一方、寸法の異なるシリンダ毎にそれに見合う大きさの
回路ブロックを取り付ける方法は、あらゆる観点から好
ましいことではないため、該回路ブロックはできるたけ
コンパクト化し、どのような寸法のシリンダにも共通に
取り付けられるようにしておくことか望まれる． また、上記信号処理回路は，例えば電圧比較部たけでも
、細分化された多数の信号を処理できるように多数のコ
ンバレータとそれらに付属する抵抗（例えば４０本以上
冫とを備えているか、これらの抵抗は，検出精度を高め
るためにその抵抗値か一定であることか必要であり，抵
抗値のバラツキは少なくとも１％以内でなければならな
い．このような要求は、少なくとも上述したような精度
が必要な抵抗素子を、チップ抵抗を使用することなく、
比較的安定した抵抗値が得られる印刷抵抗とすることに
よって解決することかできる．しかしながら，一般に印
刷抵抗は，合戒樹脂基板上にはプリントし難いため、セ
ラミック基板上にプリントしなければない．ところか，
セラミック基板を使用すると、一枚のシート上に多数の
り一ド線をプリントした可撓性プリントコードを用いて
磁気センサと信号処理回路とを連結する場合、この可撓
性プリントコードの基板への接続か難しいという問題が
ある． ［発明が解決しようとする課題コ 本発明の課題は、上記従来の問題を一挙に解決し、信号
処理回路をできるだけコンパクトなフロックにまとめて
各種寸法のシリンダに共通に取っ付け得るようにすると
共に、精度が必要な抵抗をプリント抵抗として搭載すべ
くセラミック基板を使用しているにも拘らず，磁気セン
サと信号処理回路とを可撓性プリントコートにより接続
可能にした流体圧シリンダの位置検出装置を提供するこ
とにある。
回路ブロックを取り付ける方法は、あらゆる観点から好
ましいことではないため、該回路ブロックはできるたけ
コンパクト化し、どのような寸法のシリンダにも共通に
取り付けられるようにしておくことか望まれる． また、上記信号処理回路は，例えば電圧比較部たけでも
、細分化された多数の信号を処理できるように多数のコ
ンバレータとそれらに付属する抵抗（例えば４０本以上
冫とを備えているか、これらの抵抗は，検出精度を高め
るためにその抵抗値か一定であることか必要であり，抵
抗値のバラツキは少なくとも１％以内でなければならな
い．このような要求は、少なくとも上述したような精度
が必要な抵抗素子を、チップ抵抗を使用することなく、
比較的安定した抵抗値が得られる印刷抵抗とすることに
よって解決することかできる．しかしながら，一般に印
刷抵抗は，合戒樹脂基板上にはプリントし難いため、セ
ラミック基板上にプリントしなければない．ところか，
セラミック基板を使用すると、一枚のシート上に多数の
り一ド線をプリントした可撓性プリントコードを用いて
磁気センサと信号処理回路とを連結する場合、この可撓
性プリントコードの基板への接続か難しいという問題が
ある． ［発明が解決しようとする課題コ 本発明の課題は、上記従来の問題を一挙に解決し、信号
処理回路をできるだけコンパクトなフロックにまとめて
各種寸法のシリンダに共通に取っ付け得るようにすると
共に、精度が必要な抵抗をプリント抵抗として搭載すべ
くセラミック基板を使用しているにも拘らず，磁気セン
サと信号処理回路とを可撓性プリントコートにより接続
可能にした流体圧シリンダの位置検出装置を提供するこ
とにある。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため，本発明の位置検出装置は、流
体圧シリンダのピストンロッドに形威された磁気スケー
ルを検出する磁気センサと，該磁気センサからの検出信
号を処理する信号処理回路を内蔵した回路ブロックとで
構成され、該回路ブロックは、上記信号処理回路におけ
る抵抗素子の少なくとも一部を印刷抵抗としてセラミッ
ク基板に搭載すると共に、それ以外の回路素子を合成樹
脂基板に搭載し、これらの基板をケースの内部に重設し
て合成樹脂により一体にモールトしてなり、これらの磁
気センサ及び回路フロックをシリンダに取り付けて、該
磁気センサと回路ブロックにおける合ｔ４ｊ４脂基板と
を可撓性プリントコートにより接続したことを特徴とす
るものである。
体圧シリンダのピストンロッドに形威された磁気スケー
ルを検出する磁気センサと，該磁気センサからの検出信
号を処理する信号処理回路を内蔵した回路ブロックとで
構成され、該回路ブロックは、上記信号処理回路におけ
る抵抗素子の少なくとも一部を印刷抵抗としてセラミッ
ク基板に搭載すると共に、それ以外の回路素子を合成樹
脂基板に搭載し、これらの基板をケースの内部に重設し
て合成樹脂により一体にモールトしてなり、これらの磁
気センサ及び回路フロックをシリンダに取り付けて、該
磁気センサと回路ブロックにおける合ｔ４ｊ４脂基板と
を可撓性プリントコートにより接続したことを特徴とす
るものである。
［作 用」
精度の必要な抵抗素子の少なくとも一部を印刷抵抗とし
てセラミック基板に搭載すると共に、それ以外の回路素
子を合ｔ樹脂基板に搭載することにより，回路素子を複
数の基板に別けて搭載するようにしたので，回路ブロッ
クを最小寸法のシリンダに合わせて小形化することがで
き，これにより、各種寸法のシリンダに共通に取り付け
ることが可能になる。
てセラミック基板に搭載すると共に、それ以外の回路素
子を合ｔ樹脂基板に搭載することにより，回路素子を複
数の基板に別けて搭載するようにしたので，回路ブロッ
クを最小寸法のシリンダに合わせて小形化することがで
き，これにより、各種寸法のシリンダに共通に取り付け
ることが可能になる。
また、磁気センサを可撓性プリントコードで合戒樹脂基
板に接続することにより，一方てセラミック基板を使用
しながら，可撓性プリントコートの使用が可能になる． ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
板に接続することにより，一方てセラミック基板を使用
しながら，可撓性プリントコートの使用が可能になる． ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
Ｍｌ図及び第２図において，１はシリンダ，２は該シリ
ンダｌに取り付けた位置検出装置を示している． 上記シリンダｌは、円形中空部５ａを備えた四角筒の一
角を平に切除し、そこに溝付きレール５ｂを設けたシリ
ンダチューブ５の中空部５８両端に，ヘットカハー６と
ロットカバー７とを気密に固定し，これらのカバー６．
７の間にピストン８を摺動自在に内装すると共に、該ピ
ストン８と一体のピストンロッド９をロットカバー７を
気密に貫通させて摺動自在に突出させ、ピストン８で区
喝されたヘッド室１０とロッド室１ｌとにそれぞれボー
ト１２．１３を連通させたもので、上記ピストンロッド
９の側面には平坦部が形威され２該平坦部に、第３図に
（Ａ）示すように、磁性部分１６ａと非磁性部分１６ｂ
とを交互に一定間隔で設けた磁気目盛を有する磁気スケ
ール１６が軸線方向に形成されている。
ンダｌに取り付けた位置検出装置を示している． 上記シリンダｌは、円形中空部５ａを備えた四角筒の一
角を平に切除し、そこに溝付きレール５ｂを設けたシリ
ンダチューブ５の中空部５８両端に，ヘットカハー６と
ロットカバー７とを気密に固定し，これらのカバー６．
７の間にピストン８を摺動自在に内装すると共に、該ピ
ストン８と一体のピストンロッド９をロットカバー７を
気密に貫通させて摺動自在に突出させ、ピストン８で区
喝されたヘッド室１０とロッド室１ｌとにそれぞれボー
ト１２．１３を連通させたもので、上記ピストンロッド
９の側面には平坦部が形威され２該平坦部に、第３図に
（Ａ）示すように、磁性部分１６ａと非磁性部分１６ｂ
とを交互に一定間隔で設けた磁気目盛を有する磁気スケ
ール１６が軸線方向に形成されている。
また、位置検出装置２は，上記磁気スケールｌ６を検出
するｍ気センサ２０と，該磁気センサ２ロからの検出信
号を処理する信号処理回路を内蔵した回路ブロック２ｌ
とで構威されている。磁気センサ２０は、第３図（Ａ）
に示すように、磁束を発生させる永久磁石２０ａと磁束
密度に応じて電気抵抗が変化する２つの磁気抵抗素子２
０ｂ，２０ｃとで構成され，上記シリンダ１の駆動によ
り磁気スケール１６か変移すると，２つの磁気抵抗素子
２０ｂ，２０ｃによって第３図ＣＢ）に示すような磁気
目盛の間黒（ピッチ）Ｐに応じた周期の正弦波信号ｓｂ
，ｓ．かそれぞれ得られるようになっており、該磁気セ
ンサ２０が、シリンダチューブ５とロッドカバー７とに
設けた収容部２２内に，上記ピストンロッド９上の磁気
スケールｌ６に臨むように配設され、シリンダチューブ
５に取り付けられたブラケット２３及び止めねじ２４に
より固定されている。また、回路ブロック２１は、上記
信号処理回路を分割搭載したセラミック基板２８と合或
樹脂基板２９とを金属ケース３０内に積層状態に収容し
，回路同士を相互に接続した状態で両基板２８．２９を
合成樹脂３ｌで一体にモールドすることにより構成され
ており、核回路ツロック２１か螺子３２によりシリンダ
チューブ５に固定され、該回路ブロック２１における合
成樹脂基板２９と上記磁気センサ２０とが可撓性プリン
トコード３３により接続されている．なお，合或樹脂基
板２９はガラスとエボキシ樹脂とにより構威されている
． 上記信号処理回路は、例えば第４図に示すように構威さ
れる．この回路は、上記磁気センサ２ロからの検出信号
を増幅する差動増幅部３５と，増幅した信号を電気的に
細分化して基準値と比較する電圧比較部３６と、電圧比
較部３６からの出力信号をパルス列信号に変換して出力
する論理演算部３７とで構威され、この論理演算部３７
から出力されるパルス数をカウンタで計数することによ
り、上記ピストンロッド９のストロークを検出ず−るも
のである。
するｍ気センサ２０と，該磁気センサ２ロからの検出信
号を処理する信号処理回路を内蔵した回路ブロック２ｌ
とで構威されている。磁気センサ２０は、第３図（Ａ）
に示すように、磁束を発生させる永久磁石２０ａと磁束
密度に応じて電気抵抗が変化する２つの磁気抵抗素子２
０ｂ，２０ｃとで構成され，上記シリンダ１の駆動によ
り磁気スケール１６か変移すると，２つの磁気抵抗素子
２０ｂ，２０ｃによって第３図ＣＢ）に示すような磁気
目盛の間黒（ピッチ）Ｐに応じた周期の正弦波信号ｓｂ
，ｓ．かそれぞれ得られるようになっており、該磁気セ
ンサ２０が、シリンダチューブ５とロッドカバー７とに
設けた収容部２２内に，上記ピストンロッド９上の磁気
スケールｌ６に臨むように配設され、シリンダチューブ
５に取り付けられたブラケット２３及び止めねじ２４に
より固定されている。また、回路ブロック２１は、上記
信号処理回路を分割搭載したセラミック基板２８と合或
樹脂基板２９とを金属ケース３０内に積層状態に収容し
，回路同士を相互に接続した状態で両基板２８．２９を
合成樹脂３ｌで一体にモールドすることにより構成され
ており、核回路ツロック２１か螺子３２によりシリンダ
チューブ５に固定され、該回路ブロック２１における合
成樹脂基板２９と上記磁気センサ２０とが可撓性プリン
トコード３３により接続されている．なお，合或樹脂基
板２９はガラスとエボキシ樹脂とにより構威されている
． 上記信号処理回路は、例えば第４図に示すように構威さ
れる．この回路は、上記磁気センサ２ロからの検出信号
を増幅する差動増幅部３５と，増幅した信号を電気的に
細分化して基準値と比較する電圧比較部３６と、電圧比
較部３６からの出力信号をパルス列信号に変換して出力
する論理演算部３７とで構威され、この論理演算部３７
から出力されるパルス数をカウンタで計数することによ
り、上記ピストンロッド９のストロークを検出ず−るも
のである。
上記電圧比較部３５は、電気的に細分化された多数の信
号を処理できるように多数のコンパレータ３６ａとそれ
らに付属する抵抗３６ｂとを備えており、検出精度を高
めるために抵抗値のバラッキの少ないことが要求される
これらの抵抗３．６ｂが，印刷抵抗として上記セラミッ
ク基板２８上に搭載されると共に、各コンバレータ３Ｅ
ｉａも同様に該セラミック基板２８上に搭載され，それ
以外の回路素子が合成樹脂基板２９に搭載されている。
号を処理できるように多数のコンパレータ３６ａとそれ
らに付属する抵抗３６ｂとを備えており、検出精度を高
めるために抵抗値のバラッキの少ないことが要求される
これらの抵抗３．６ｂが，印刷抵抗として上記セラミッ
ク基板２８上に搭載されると共に、各コンバレータ３Ｅ
ｉａも同様に該セラミック基板２８上に搭載され，それ
以外の回路素子が合成樹脂基板２９に搭載されている。
このように、精度の必要な抵抗素子を印刷抵抗としてセ
ラミック基板２８に搭載して，それ以外の回路素子を合
戒樹脂基板２９に搭載することにより、抵抗値のバラッ
キを防止して精度を高めることかできるばかりでなく，
回路素子を複数の基板に別けて搭載することにより回路
フロック２ｌを最小寸法のシリンダ１に合わせて小形化
することができ、これにより、各種寸法のシリンダｌに
上記回路ブロック２Ｉを共通に取り付けることか可能に
なる。
ラミック基板２８に搭載して，それ以外の回路素子を合
戒樹脂基板２９に搭載することにより、抵抗値のバラッ
キを防止して精度を高めることかできるばかりでなく，
回路素子を複数の基板に別けて搭載することにより回路
フロック２ｌを最小寸法のシリンダ１に合わせて小形化
することができ、これにより、各種寸法のシリンダｌに
上記回路ブロック２Ｉを共通に取り付けることか可能に
なる。
更に、磁気センサ２０を可鳩性プリントコート３３で合
戒樹脂基板２９に接続することにより，一方でセラミッ
ク基板２８を使用しながら、磁気センサ２０と信号処理
回路とを該可撓性プリントコード３３で接続することが
可能になる。
戒樹脂基板２９に接続することにより，一方でセラミッ
ク基板２８を使用しながら、磁気センサ２０と信号処理
回路とを該可撓性プリントコード３３で接続することが
可能になる。
なお，図中３９はケーブル、４０はフラケットを固定す
る螺子、４ｌはケースガスケットを示している。
る螺子、４ｌはケースガスケットを示している。
［発明の効果］
本発明によれば、精度の必要な抵抗素子の少なくとも一
部を印刷抵抗としてセラミック基板に搭載すると共に、
それ以外の回路素子を合戒樹脂基板に搭載することによ
り、回路素子を複数の基板に別けて搭載するようにした
ので，回路ブロックを最小寸法のシリンダｌに合わせて
小形化することができ，これにより，各種寸法のシリン
ダに共通に取り付けることが可能になる． また、磁気センサを町撓性プリントコードで合或樹脂基
板に接続することにより、一方でセラミック基板を使用
しながら、可撓性プリントコードの使用が可能になる．
部を印刷抵抗としてセラミック基板に搭載すると共に、
それ以外の回路素子を合戒樹脂基板に搭載することによ
り、回路素子を複数の基板に別けて搭載するようにした
ので，回路ブロックを最小寸法のシリンダｌに合わせて
小形化することができ，これにより，各種寸法のシリン
ダに共通に取り付けることが可能になる． また、磁気センサを町撓性プリントコードで合或樹脂基
板に接続することにより、一方でセラミック基板を使用
しながら、可撓性プリントコードの使用が可能になる．
第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図、第２図は
同縦断正面図，第３図（Ａ）．ＣＢ）は検出信号発生原
理の説明図、第４図は信号処理回路の一例を示す回路図
である． １・・シリンダ、 ２・・位置検出装置、９・・ピ
ストンロット， １６・・磁気スケール，２０・・ａ気センサ，２ｌ・・
回路ブロック、２８・・セラミック基板、２９・ ３】 ・ ３３ ・ ３Ｒａ ・合成樹脂基板、３０・・ケース、 ・合成樹脂、 ・可撓性プリントコード、 ・抵抗。 第３図
同縦断正面図，第３図（Ａ）．ＣＢ）は検出信号発生原
理の説明図、第４図は信号処理回路の一例を示す回路図
である． １・・シリンダ、 ２・・位置検出装置、９・・ピ
ストンロット， １６・・磁気スケール，２０・・ａ気センサ，２ｌ・・
回路ブロック、２８・・セラミック基板、２９・ ３】 ・ ３３ ・ ３Ｒａ ・合成樹脂基板、３０・・ケース、 ・合成樹脂、 ・可撓性プリントコード、 ・抵抗。 第３図
Claims (1)
- １、流体圧シリンダのピストンロッドに形成された磁気
スケールを検出する磁気センサと、該磁気センサからの
検出信号を処理する信号処理回路を内蔵した回路ブロッ
クとで構成され、該回路ブロックは、上記信号処理回路
における抵抗素子の少なくとも一部を印刷抵抗としてセ
ラミック基板に搭載すると共に、それ以外の回路素子を
合成樹脂基板に搭載し、これらの基板をケースの内部に
重設して合成樹脂により一体にモールドしてなり、これ
らの磁気センサ及び回路ブロックをシリンダに取り付け
て、該磁気センサと回路ブロックにおける合成樹脂基板
とを可撓性プリントコードにより接続したことを特徴と
する流体圧シリンダの位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23352889A JPH0689765B2 (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 流体圧シリンダの位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23352889A JPH0689765B2 (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 流体圧シリンダの位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396704A true JPH0396704A (ja) | 1991-04-22 |
| JPH0689765B2 JPH0689765B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=16956455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23352889A Expired - Lifetime JPH0689765B2 (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 流体圧シリンダの位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0689765B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062104A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-02-28 | Soc Appl Gen Electr Mec <Sagem> | 軸方向に可動なロッドのための軸位置センサー、及びこれが備えられているバルブの電磁アクチュエータ |
| JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
-
1989
- 1989-09-09 JP JP23352889A patent/JPH0689765B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062104A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-02-28 | Soc Appl Gen Electr Mec <Sagem> | 軸方向に可動なロッドのための軸位置センサー、及びこれが備えられているバルブの電磁アクチュエータ |
| JP4683765B2 (ja) * | 2000-05-23 | 2011-05-18 | ジョンソン コントロールズ オートモーティブ エレクトロニクス | 軸方向に可動なロッドのための軸位置センサー、及びこれが備えられているバルブの電磁アクチュエータ |
| JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0689765B2 (ja) | 1994-11-14 |
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