JPH0394422U - - Google Patents
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- JPH0394422U JPH0394422U JP368790U JP368790U JPH0394422U JP H0394422 U JPH0394422 U JP H0394422U JP 368790 U JP368790 U JP 368790U JP 368790 U JP368790 U JP 368790U JP H0394422 U JPH0394422 U JP H0394422U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- encoder
- slit
- air bearing
- spindle
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の具体例を示すエンコー
ダ組込み型エアスピンドル装置の縦断面図、第2
図は回折光干渉方式リニアエンコーダの概略斜視
図である。第3図は本考案の第2の具体例を示す
エンコーダ組込み型エアスピンドル装置の縦断面
図である。第4図は従来のエンコーダ組込式エア
スピンドル装置の縦断面図、第5図は光デイスク
装置の検査工程で使用されているエアベアリング
装置の概略縦断面図である。 1……静圧空気軸受(エアベアリング)、2…
…スピンドル、5……エンコーダ、5a……エン
コーダのステータ、10……スリツト。
ダ組込み型エアスピンドル装置の縦断面図、第2
図は回折光干渉方式リニアエンコーダの概略斜視
図である。第3図は本考案の第2の具体例を示す
エンコーダ組込み型エアスピンドル装置の縦断面
図である。第4図は従来のエンコーダ組込式エア
スピンドル装置の縦断面図、第5図は光デイスク
装置の検査工程で使用されているエアベアリング
装置の概略縦断面図である。 1……静圧空気軸受(エアベアリング)、2…
…スピンドル、5……エンコーダ、5a……エン
コーダのステータ、10……スリツト。
Claims (1)
- 静圧空気軸受によつて回転可能に支持されたス
ピンドルの周側面または側端面に、エンコーダの
スリツトを刻設し、かつ、このスリツトと対向状
態で前記静圧空気軸受の本体にエンコーダのステ
ータを固着したことを特徴とするエンコーダー体
型エアスピンドル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990003687U JP2521446Y2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | エンコ−ダ一体型エアスピンドル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990003687U JP2521446Y2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | エンコ−ダ一体型エアスピンドル装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0394422U true JPH0394422U (ja) | 1991-09-26 |
JP2521446Y2 JP2521446Y2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=31507494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1990003687U Expired - Fee Related JP2521446Y2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | エンコ−ダ一体型エアスピンドル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2521446Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013037204A1 (zh) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 成都伊贝基科技有限公司 | 高精度编码轮、及其构成的编码器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165851U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-21 |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP1990003687U patent/JP2521446Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165851U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-21 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013037204A1 (zh) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 成都伊贝基科技有限公司 | 高精度编码轮、及其构成的编码器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2521446Y2 (ja) | 1996-12-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |