JPH0393541A - Composite ceramic green sheet composed of different kinds of materials and preparation thereof - Google Patents
Composite ceramic green sheet composed of different kinds of materials and preparation thereofInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野】
この発明は、セラミックグリーンシートとその製造方法
に関するもので、特に、互いに異なる組成を有する少な
くとも2つの部分が.複合された異種材料複合セラミッ
クグリーンシートとその製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a ceramic green sheet and a method for manufacturing the same, and particularly relates to a ceramic green sheet in which at least two parts having mutually different compositions are... The present invention relates to a composite ceramic green sheet made of different materials and a method for manufacturing the same.
この発明によって得られる!AFJ1材料複合セラミッ
クグリーンシートは、一体焼結されたセラミックからな
る部品本体を用いながらも、2以上の電気的要素をその
部品本体内に内蔵する複合電子部品を製造するために用
いることができる。Obtained by this invention! The AFJ1 material composite ceramic green sheet can be used to manufacture a composite electronic component that uses a component body made of integrally sintered ceramic but has two or more electrical elements built into the component body.
[従来の技術]
上述したような複合電子部品のためのセラミックからな
る一体的な部品本体を得ようとするとき、!A種材料か
らなる生のセラミック体を接合して、その状態で一体的
に焼成することが、通常、行なわれる。また、生のセラ
ミック体は、一般に、セラミックグリーンシートを積重
ね、互いに圧着されることによって得られる。したがっ
て、異種材料からなるセラミックグリーンシートを積重
ねることにより、一体焼結されたセラミック体には、特
性が互いに異なる2以上の領域を形成することができる
。[Prior Art] When trying to obtain an integrated component body made of ceramic for a composite electronic component as described above,! Normally, raw ceramic bodies made of type A materials are bonded together and then fired integrally in that state. Additionally, green ceramic bodies are generally obtained by stacking ceramic green sheets and pressing them together. Therefore, by stacking ceramic green sheets made of different materials, two or more regions having different characteristics can be formed in the integrally sintered ceramic body.
これらの領域は、領域の各々が有する特性に応じて、た
とえば、コンデンサを形成するための領域として、ある
いはインダクタを形成するための領域として、さらには
、抵抗器を形成するための領域として、それぞれ用いら
れる。このようにして、たとえば、コンデンサ、インダ
クタおよび抵抗器のような少なくとも2つの電気的要素
が複合された複合電子部品が得られる。なお、複合電子
部品というときは、コンデンサとインダクタのように異
なる種類の電気的要素を組合わせたものに限らず、たと
えば、特性が互いに穴なる2以上のコンデンサ等の同じ
種類の電気的要素を組合わせた場合も含む。These regions can be used, for example, as regions for forming capacitors, or as regions for forming inductors, or as regions for forming resistors, depending on the characteristics each region has. used. In this way, a composite electronic component is obtained in which at least two electrical elements such as, for example, a capacitor, an inductor and a resistor are combined. Note that composite electronic components are not limited to those that combine different types of electrical elements, such as capacitors and inductors, but also include the same type of electrical elements, such as two or more capacitors that have similar characteristics. Including cases in which they are combined.
上述したように、セラミックグリーンシートの積重ねに
より部品本体を形成する場合、そこに備える電気的要素
の少なくとも一部は、積重ね前の段階において、セラミ
ックグリーンシート上に印刷等により形成される。たと
えば、電気的要素がコンデンサである場合、静電容量を
形成すべき対向する電極は、互いに異なるセラミックグ
リーンシート上に印刷等により形成され、積重ね後の状
態において、部品本体出において、互いに対向する内部
電極となるようにされる。As described above, when a component body is formed by stacking ceramic green sheets, at least some of the electrical elements included therein are formed by printing or the like on the ceramic green sheets at a stage before stacking. For example, when the electrical element is a capacitor, opposing electrodes that should form a capacitance are formed by printing, etc. on different ceramic green sheets, and in the stacked state, when the parts are exposed, they are opposite to each other. It is made to serve as an internal electrode.
第17図には、従来のセラミックグリーンシートの積層
方法を用いて得られたコンデンサ・コンデンサ複合電子
部品1が、一部断面とされて斜視図で示されている。第
18図には、第17図に示した複合電子部品1の″.+
71IIIi回路図が示されている。FIG. 17 shows a partially cutaway perspective view of a capacitor-capacitor composite electronic component 1 obtained using a conventional ceramic green sheet lamination method. FIG. 18 shows the composite electronic component 1 shown in FIG.
71IIIi circuit diagram is shown.
複合電子部品1は、セラミックグリーンシートを積層し
、脱バインダ工程を経て一体に焼結された部品本体2を
備える。部品本体2は、界面3を境にして、互いに異な
る誘電体から構成された第1の部分4および第2の部分
5を備える。第1および第2の部分4および5のそれぞ
れには、第18図に示した第1および第2のコンデンサ
6および7を形成するため、それぞれ対をなす内部電極
8および9ならびに内部電極10および11が形成され
る。第1の部分4に形成された一方の内部電極8は、部
品本体2の外表面に形威された第1の外部電極12に電
気的に接続される。他方、第2の部分5に形成された一
方の内部電極lOは、部品本体2の外表面に形成された
第2の外部電極13に電気的に接続される。The composite electronic component 1 includes a component body 2 in which ceramic green sheets are laminated and sintered into one body through a binder removal process. The component body 2 includes a first portion 4 and a second portion 5 made of different dielectric materials, with an interface 3 as a boundary. The first and second portions 4 and 5 each have a pair of internal electrodes 8 and 9 and an internal electrode 10 and 10, respectively, to form the first and second capacitors 6 and 7 shown in FIG. 11 is formed. One internal electrode 8 formed on the first portion 4 is electrically connected to a first external electrode 12 formed on the outer surface of the component body 2. On the other hand, one internal electrode IO formed on the second portion 5 is electrically connected to a second external electrode 13 formed on the outer surface of the component body 2.
第18図に示すように、第1のコンデンサ6と第2のコ
ンデンサ7とは、直列に接続されるので、第17図に示
すように、内部電極9と内部電極11とは、部品本体2
の外表面に形威された接続用電極l4によって互いに接
続される。なお、接続用電極14に代えて、第17図に
おいて想像線で示すように、部品本体2の内部にパイア
ホール14aを設けて、内部電極つと内部電極11とを
互いに電気的に接続してもよい。As shown in FIG. 18, the first capacitor 6 and the second capacitor 7 are connected in series, so as shown in FIG.
are connected to each other by a connecting electrode l4 formed on the outer surface of the . In addition, instead of the connection electrode 14, as shown by the imaginary line in FIG. 17, a pipe hole 14a may be provided inside the component body 2 to electrically connect the internal electrodes 11 and 11 to each other. good.
第19図には、従来のセラミックグリーンシートの積層
方法によって得られるコンデンサ●インダクタ複合部品
15が、一部断面とされて斜視図で示されている。第2
0図には、第19図に示した複合電子部品15の等価回
路図が示されている。FIG. 19 shows a partially cross-sectional perspective view of a capacitor/inductor composite component 15 obtained by the conventional method of laminating ceramic green sheets. Second
0 shows an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 15 shown in FIG. 19.
複合電子部品15は、部品本体2の界而3より上方の部
分においては、前述した複合電子部品1と実質的に同様
である。したがって、相当の部分には同様の参照番号を
付し、重複する説明を省略する。The composite electronic component 15 is substantially the same as the composite electronic component 1 described above in the portion above the boundary 3 of the component body 2. Therefore, corresponding parts will be given the same reference numerals and redundant explanation will be omitted.
複合電子部品15においては、部品本体2の第2の部分
16は、磁性体から構成される。第2の部分16には、
そこを貫通するように、内部電極17が形成される。内
部電極17の一方端は、部品本体2の外表面に形成され
た第2の外部電極18に接続され、他方、内部電極17
の他方端は、接続用電極14に接続される。なお、この
場合においても、接続用電極14に代えて、パイアホー
)k 1 4 aが用いられてもよい。In the composite electronic component 15, the second portion 16 of the component body 2 is made of a magnetic material. The second portion 16 includes:
Internal electrodes 17 are formed so as to penetrate there. One end of the internal electrode 17 is connected to a second external electrode 18 formed on the outer surface of the component body 2;
The other end of is connected to the connection electrode 14. In addition, in this case as well, instead of the connection electrode 14, a piezoelectric material (Piaho) k 1 4a may be used.
第19図に示した複合電子部品15は、第20図に示す
ように、コンデンサ6とインダクタ19とが直列に接続
された回路を実現し、たとえば、LCフィルタとして用
いられる。The composite electronic component 15 shown in FIG. 19 realizes a circuit in which a capacitor 6 and an inductor 19 are connected in series, as shown in FIG. 20, and is used, for example, as an LC filter.
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、電気的要素の少なくとも一部をセラミッ
クグリーンシート上に形威し、このようなセラミックグ
リーンシートを含むセラミックグリーンシートを積層し
て得られた部品本体を用いる場合には、そのような複合
電子部品によって与え得る回路の構成に限界がある。す
なわち、或る種の電気的要素を形成するのに適したセラ
ミックは、他の種類の電気的要素を形成するのに適した
セラミックと異なる場合がある。この場合、これらセラ
ミックを、セラミックグリーンシートの積層によって得
ようとするとき、積層に用いるセラミックグリーンシー
トとしては、たとえば、その成分または紹成比等が互い
に異なる複数種類のものを用いることになる。そして、
これらセラミックグリーンシートのうち、特定のものに
関連して、電気的要素が形成される。これら電気的要素
は、セラミックグリーンシートが積層されたときには、
積層体の積層方向における互いに異なる位置に形成され
る。したがって、これら電気的要素を互いに接続する場
合には、積層体すなわち部品本体の外表面に接続用電極
を形成したり、部品本体の内部においてパイアホールを
形或したりすることが必要となる。また、電気的要素を
、部品本体の外部にまで互いに別々に引き出そうとする
場合には、個々の電気的要素にそれぞれ接続される外部
電極を、部品本体の外表面上の相異なる位置に互いに干
渉し合わないように形成しなければならない。[Problems to be Solved by the Invention] However, it is not possible to form at least a part of an electrical element on a ceramic green sheet and use a component body obtained by laminating ceramic green sheets including such a ceramic green sheet. In some cases, there are limits to the configuration of circuits that can be provided by such composite electronic components. That is, a ceramic suitable for forming one type of electrical element may be different from a ceramic suitable for forming another type of electrical element. In this case, when attempting to obtain these ceramics by laminating ceramic green sheets, a plurality of types of ceramic green sheets with different components or composition ratios, etc., are used for lamination. and,
Electrical elements are formed in relation to specific ceramic green sheets. These electrical elements, when ceramic green sheets are laminated,
They are formed at mutually different positions in the stacking direction of the stack. Therefore, in order to connect these electrical elements to each other, it is necessary to form connection electrodes on the outer surface of the laminate, that is, the component body, or to form a pipe hole inside the component body. In addition, when attempting to draw out electrical elements separately to the outside of the component body, the external electrodes connected to the individual electrical elements may be placed at different positions on the outer surface of the component body by interfering with each other. They must be formed so that they do not overlap.
これらのことを、第】7図および第19図にそれぞれ示
した複合電子部品1および15についてより具体的に説
明すると、第18図に示した第1のコンデンサ6と第2
のコンデンサ7とを直列に接続したり、第20図に示す
ように、コンデンサ6とインダクタ19とを直列に接続
するためには、接続用電極14またはパイアホール14
aが必要になる。また、第1のコンデンサ6と第2のコ
ンデンサ7とをそれぞれ外部へ別々に引き出すためには
、第1の外部電極12と第2の外部電極l3とを互いに
干渉し合わないように形成しなければならない。同様に
、コンデンサ6とインダクタ19とを外部へ別々に引き
出すためには、第1の外部電極12と第2の外部電極1
8とを、互いに干渉し合わないように形成しなければな
らない。To explain these matters in more detail with respect to the composite electronic components 1 and 15 shown in FIGS. 7 and 19, respectively, the first capacitor 6 and the second capacitor shown in FIG.
In order to connect the capacitor 7 in series, or to connect the capacitor 6 and the inductor 19 in series as shown in FIG.
You will need a. Furthermore, in order to draw out the first capacitor 6 and the second capacitor 7 separately to the outside, the first external electrode 12 and the second external electrode l3 must be formed so as not to interfere with each other. Must be. Similarly, in order to draw out the capacitor 6 and the inductor 19 separately to the outside, the first external electrode 12 and the second external electrode 1
8 must be formed so as not to interfere with each other.
しかしながら、上述したような接続用電極l4またはパ
イアホール14aの形成、および上述したような条件を
満たしながらの第1の外部電極12および第2の外部電
極13または18の形或は、煩雑な作業を伴なう。特に
、このことは、部品本体2の寸法が小さい場合、顕著で
ある。However, the formation of the connection electrode 14 or the via hole 14a as described above, the shape of the first external electrode 12 and the second external electrode 13 or 18 while satisfying the above-mentioned conditions, or the complicated work. accompanied by. This is particularly noticeable when the component body 2 has small dimensions.
また、接続用電極またはパイアホールを用いて、電気的
要素を互いに接続することには、自ずと限界があり、そ
れほど複雑な接続態様を達成することは困難である。こ
の理由からも、従来のセラミックグリーンシートを積層
する技術を用いて複合電子部品の部品本体を構或した場
合、複合電子部品が実現し得る回路の構成には限界があ
る。Furthermore, there are limitations to connecting electrical elements to each other using connection electrodes or via holes, and it is difficult to achieve such a complicated connection mode. For this reason as well, when the component body of a composite electronic component is constructed using the conventional technique of laminating ceramic green sheets, there is a limit to the circuit configuration that can be realized by the composite electronic component.
それゆえに、この発明の目的は、一体焼結されたセラミ
ックからなる部品本体を用いながらも、2以上の電気的
要素をその部品本体内に内蔵する複合電子部品において
、電気的要素間の接続および電気的要素の外部への取出
を比較的容易に行なうことを可能にする、部品本体を形
成するためのセラミックグリーンシートを堤供しようと
することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a composite electronic component in which two or more electrical elements are built into the component body while using a component body made of integrally sintered ceramic. The object of the present invention is to provide a ceramic green sheet for forming a component body, which allows electrical elements to be taken out to the outside relatively easily.
この発明の他の目的は、上述のようなセラミックグリー
ンシートの製造方法を提供しようとすることである。Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic green sheet as described above.
[課題を解決するための手段]
この発明は、上述した技術的課題を解決するため、異種
材料複合セラミックグリーンシートを提供するもので、
この!Am材料複合セラミックグリーンシートは、少な
くとも第1および第2の材料からそれぞれなる第1およ
び第2のシート部分を備え、これら第1および第2のシ
ート部分がそれぞれの主面を同一平面上に位置させた状
態で互いに接合されていることを特徴とするものである
。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned technical problems, the present invention provides a composite ceramic green sheet of different materials,
this! The Am material composite ceramic green sheet includes first and second sheet portions each made of at least a first material and a second material, and the first and second sheet portions have their respective main surfaces located on the same plane. They are characterized in that they are joined to each other in a tilted state.
上述した異種材料複合セラミックグリーンシートにおけ
る第1および第2のシート部分の接合部が、直線状に延
びるときには、このような複合セラミックグリーンシー
トを得るため、次のような第1および第2の製造方法の
いずれかが有利に適用され得る。When the joint between the first and second sheet portions in the above-described composite ceramic green sheet of different materials extends in a straight line, the following first and second manufacturing steps are performed to obtain such a composite ceramic green sheet. Any of the methods may be applied advantageously.
第1の製造方法では、まず、少なくとも第1および第2
の材料をそれぞれ含む第1およびffi2のスラリか用
意される。これら第1および第2のスラリは、互いに隣
接した状態でドクターブレードに供給され、当該ドクタ
ーブレードを用いたドクターブレード法によって、第1
および第2のスラリか、互いに接した状態で並行してキ
ャスティングされる。In the first manufacturing method, first, at least the first and second
First and ffi2 slurries are provided, each containing the following materials. These first and second slurries are supplied to a doctor blade in a state adjacent to each other, and by a doctor blade method using the doctor blade, the first slurry is
and a second slurry are cast in parallel in contact with each other.
第2の方法では、まず、少なくとも第1および第2の材
料をそれぞれ含む第1および第2の層を有する積層体が
準備される。この積層体は、mlおよび第2の層の界面
と交差する方向にスライスされる。In the second method, a laminate having first and second layers containing at least first and second materials, respectively, is first prepared. This stack is sliced in a direction transverse to the ml and second layer interfaces.
[作用]
この発明にかかる異種材料複合セラミックグリーンシー
トは、異種材料からなる複数のシート部分を、同一平面
上で隣接させている。したがって、このような異P14
4料複合セラミックグリーンシートに対して、たとえば
印刷を適用することにより、互いに異なる材料からそれ
ぞれなる複数のシート部分の各々に電気的要素を形成す
ることができるとともに、これら電気的要素間の接続も
達成することができる。[Function] The dissimilar material composite ceramic green sheet according to the present invention has a plurality of sheet portions made of dissimilar materials adjacent to each other on the same plane. Therefore, such a difference P14
For example, by applying printing to a four-component composite ceramic green sheet, it is possible to form electrical elements on each of a plurality of sheet parts made of different materials, and also to connect these electrical elements. can be achieved.
〔発明の効果]
このように、この発明にかかる異種材料複合セラミック
グリーンシートによれば、当該複合セラミックグリーン
シートの範囲内において、2以上の電気的要素の形成お
よびそれら電気的要素間の接続を達成することができる
。したがって、このような複合セラミックグリーンシー
トを積層して部品本体を構成したとき、必要な電気的接
続が既に達成された状態で、複数の電気的要素が、その
部品本体に形成されることができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the composite ceramic green sheet of different materials according to the present invention, the formation of two or more electrical elements and the connection between the electrical elements are possible within the range of the composite ceramic green sheet. can be achieved. Therefore, when such composite ceramic green sheets are laminated to form a component body, multiple electrical elements can be formed in the component body with the necessary electrical connections already achieved. .
したがって、複数の電気的要素を接続するため、接続用
電極を部品本体の外表面上に形威したり、パイアホール
を部品本体内に形成したりする必要がなくなる。そのた
め、このような接続用電極またはパイアホールを杉成す
るための煩雑な作業が不要となり、特に、小型の複合電
子部品のための部品本体を得ることがより容易になる。Therefore, in order to connect a plurality of electrical elements, it is not necessary to form a connecting electrode on the outer surface of the component body or to form a pipe hole in the component body. Therefore, the complicated work of forming such connection electrodes or pipe holes becomes unnecessary, and in particular, it becomes easier to obtain a component body for a small-sized composite electronic component.
また、この発明にかかる複合セラミックグリーンシート
を用いた場合、部品本体に形成される複数の電気的要素
は、セラミックグリーンシートの積層方向ではなく主面
方向に分布するように配置されることができる。したが
って、これら電気的要素を外部へ引き出すための外部電
極は、部品本体の外表面における比較的離れた場所に位
置させることができ、したがって、外部電極を形成する
にあたり、互いの干渉を避けるための細かな配慮が不要
となる。Furthermore, when using the composite ceramic green sheet according to the present invention, the plurality of electrical elements formed in the component body can be arranged so as to be distributed not in the stacking direction of the ceramic green sheet but in the main surface direction. . Therefore, the external electrodes for extracting these electrical elements to the outside can be located at relatively distant locations on the outer surface of the component body. No detailed consideration is required.
また、ドクターブレード法を基本とするこの発明にかか
る第1の製造方法によれば、ドクターブレード法を適用
してキャスティングされた段階で、互いに異なる材料か
らそれぞれなるシート部分が既に接合された状態となっ
ているので、能率的に異種材料複合セラミックグリーン
シートを得ることができる。Further, according to the first manufacturing method of the present invention based on the doctor blade method, sheet parts made of different materials are already joined together at the stage of casting by applying the doctor blade method. Therefore, a composite ceramic green sheet made of different materials can be obtained efficiently.
また、積層体をスライスするステップによって特徴づけ
られる、この発明にかかる第2の製造方法によれば、積
層体の段階で、互いに異なる材料をそれぞれ含む複数の
層を確実に接合させておくことができる。したがって、
スライスして得られた複合セラミックグリーンシートは
、複数のシート部分が互いに強固に接合されたものとさ
.れることかできるとともに、その接合の界面において
、異種の材料が互いに混ざり合うことを確実に防止する
ことができる。Furthermore, according to the second manufacturing method of the present invention, which is characterized by the step of slicing the laminate, it is possible to reliably bond a plurality of layers each containing different materials at the laminate stage. can. therefore,
The composite ceramic green sheet obtained by slicing is made up of multiple sheet parts firmly joined to each other. In addition, it is possible to reliably prevent different types of materials from mixing with each other at the bonding interface.
第1図は、この発明の一実施例による異種材料複合セラ
ミックグリーンシートを用いて得られたコンデンサ・コ
ンデンサ複合電子部品に備える部品本体20を示す斜視
図である。第2図は、第l図に示した部品本体20を用
いて得られたコンデンサ・コンデンサ複合電子部品21
を示す断面図であり、第1図の線■−■に沿う断面に相
当する断面を示している。第3図は、第2図に示した複
合電子部品21の等価回路図である。FIG. 1 is a perspective view showing a component body 20 included in a capacitor-capacitor composite electronic component obtained using a composite ceramic green sheet of different materials according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a capacitor-capacitor composite electronic component 21 obtained using the component body 20 shown in FIG.
2 is a cross-sectional view corresponding to the cross section taken along the line ■-■ in FIG. 1. FIG. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 21 shown in FIG. 2.
部品本体20は、界面22において互いに接合された状
態にある第1の部分23と第2の部分24とからなる。The component body 20 consists of a first portion 23 and a second portion 24 that are joined to each other at an interface 22.
部品本体20は、第1の部分23から第2の部分24へ
と一連に延びる主面に内部電極となる導電ペーストを印
刷した異種材料複合セラミックグリーンシートを積層し
、次いで、脱バインダ工程を経て、焼結されて得られた
セラミックからなる。The component body 20 is made by laminating composite ceramic green sheets made of different materials on which conductive pastes serving as internal electrodes are printed on the main surfaces extending in series from the first part 23 to the second part 24, and then subjected to a binder removal process. , made of ceramic obtained by sintering.
部品本体20に含まれるセラミック層25(第2図)は
、異種材料複合セラミックグリーンシートの焼結により
得られたものである。複合セラミックグリーンシートは
、これから得られたセラミック層25からわかるように
、第1および第2の材料からそれぞれなる第1および第
2のシート部分26および27を備える。これら第1お
よび第2のシート部分26および27は、それぞれの主
面を同一平面上に位置させた状態で互いに接合されてい
る。セラミック層25は、全体的には、誘電体から構成
されるが、第1のシート部分26と第2のシート部分2
7とでは、成分または組成比において互いに異ならされ
ている。第1のシート部分26の積重ねによって第1の
部分23が与えられ、第2のシート部分27の積重ねに
よって第2の部分24が与えられる。The ceramic layer 25 (FIG. 2) included in the component body 20 is obtained by sintering a composite ceramic green sheet of different materials. The composite ceramic green sheet comprises first and second sheet portions 26 and 27 of first and second materials, respectively, as can be seen from the ceramic layer 25 obtained therefrom. These first and second sheet portions 26 and 27 are joined to each other with their respective main surfaces located on the same plane. The ceramic layer 25 is generally composed of a dielectric material, and has a first sheet portion 26 and a second sheet portion 2.
No. 7 and No. 7 differ from each other in terms of components or composition ratios. The stacking of the first sheet parts 26 provides the first part 23 and the stacking of the second sheet parts 27 provides the second part 24.
セラミック層25の特定のものの上には、内部電極が形
成される。内部電極は、第1の部分23において延びか
つ部品本体20の一方端面28において露出するように
形成される第1グループの内部電極29、第2の部分2
4において延びかつ部品本体20の他方端1li30に
おいて露出するように形成される第2グループの内部電
極31、ならびに第1の部分23から第2の部分24へ
と延びかつ部品本体20の両端面28および30のいず
れにおいても露出しないように形威される第3グループ
の内部電極32を備える。第3グループの内部電極32
は、その各一方半部において、第1グループの内部電極
29の各々と対向するとともに、その各他方半部におい
て、第2グループの内部電極31の各々と対向する。こ
れら第1グループの内部電極29と第3グループの内部
電極32との対向によって、第3図に示した第1のコン
デンサ33が形成され、他方、第2グループの内部電極
31と第3グループの内部電極32との対向によって、
第2のコンデンサ34が形威される。Internal electrodes are formed on certain of the ceramic layers 25. The internal electrodes include a first group of internal electrodes 29 that extend in the first portion 23 and are exposed at one end surface 28 of the component body 20, and a second group of internal electrodes 29.
4 and exposed at the other end 1li30 of the component body 20; and 30, a third group of internal electrodes 32 is provided so as not to be exposed at any of them. Third group internal electrode 32
faces each of the internal electrodes 29 of the first group at one half thereof, and faces each of the internal electrodes 31 of the second group at each other half thereof. The first capacitor 33 shown in FIG. 3 is formed by the internal electrodes 29 of the first group and the internal electrodes 32 of the third group, while the internal electrodes 31 of the second group and the internal electrodes 32 of the third group By facing the internal electrode 32,
A second capacitor 34 is present.
第3図に示すように、第1のコンデンサ33と第2のコ
ンデンサ34とは、直列に接続されるが、この接続は、
第3グループの内部電極32によって与えられる。As shown in FIG. 3, the first capacitor 33 and the second capacitor 34 are connected in series.
provided by a third group of internal electrodes 32.
部品本体20の端面28および30の各々には、第2図
に示すように、第1および第2の外部電極35および3
6が形成される。第1の外部電極35は、第1グループ
の内部電極29に電気的に接続され、他方、第2の外部
電極36は、第2グループの内部電極31に接続される
。これによって、複合電子部品21は、第3図に示すよ
うな等価回路を実現する。As shown in FIG. 2, first and second external electrodes 35 and 3 are provided on each of the end surfaces 28 and 30 of the component body 20
6 is formed. The first external electrode 35 is electrically connected to the first group of internal electrodes 29, while the second external electrode 36 is connected to the second group of internal electrodes 31. Thereby, the composite electronic component 21 realizes an equivalent circuit as shown in FIG.
第4図には、この発明の他の実施例による異種材料複合
セラミックグリーンシートを用いて得られたコンデンサ
・コンデンサ複合電子部品37を示す斜視図である。第
5図は、第4図に示した複合電子部品37の等価回路図
である。FIG. 4 is a perspective view showing a capacitor-capacitor composite electronic component 37 obtained using a composite ceramic green sheet of different materials according to another embodiment of the present invention. FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 37 shown in FIG.
この複合電子部品37は、前述した複合電子部品21と
実質的に同様の製造方法により得られるものである。複
合電子部品37は、第5図に示すように、第1および第
2のコンデンサ38および39を並列に接続した回路を
構或する。This composite electronic component 37 is obtained by substantially the same manufacturing method as the composite electronic component 21 described above. As shown in FIG. 5, the composite electronic component 37 constitutes a circuit in which first and second capacitors 38 and 39 are connected in parallel.
複合電子部品37は、異種材料複合セラミックグリーン
シートからなる積層体を焼結して得られた部品本体40
を備える。部品本体40は、界而41を互いの境とする
第1および第2の部分42および43からなる。これら
第1および第2の部分42および43は、共通の異種材
料複合セラミックグリーンシートから与えられ、第1の
部分42と第1の部分43とは、互いに異なる材料から
構成される。The composite electronic component 37 has a component body 40 obtained by sintering a laminate made of composite ceramic green sheets of different materials.
Equipped with The component body 40 consists of first and second parts 42 and 43, which are separated by a boundary 41. The first and second portions 42 and 43 are made of a common composite ceramic green sheet of different materials, and the first portion 42 and the first portion 43 are made of different materials.
M1の部分42には、第1グループの内部電極44なら
びに第2グループの内部電極45が交互に形威される。In the portion 42 of M1, a first group of internal electrodes 44 and a second group of internal electrodes 45 are formed alternately.
また、第2の部分43には、第3グループの内部電極4
6ならびに第4グループの内部電極47が交互に形成さ
れる。第1グループおよび第3グループの内部電極46
および47は、部品本体40の一方端而48に露出する
ように形成され、第2グループおよび第4グループの内
部電極45および47は、部品本体40の他方端面49
に露出するように形成される。これら端面48および4
9の各々には、第1および第2の外部電極50および5
1が形成される。したがって、第1の外部電拠50は、
第1グループおよび第3グループの内部電極44および
46に電気的に接続される。他方、第2の外部電極51
は、第2グループおよび第4グループの内部電極45お
よび47に電気的に接続される。このようにして、第1
グループおよび第2グループの内部電極44および45
によって、第5図に示した第1のコンデンサ38が形成
され、他方、第3グループおよび第4グループの内部電
極46および47によって、第2のコンデンサ39が形
戊され、さらに、これら第1および第2のコンデンサ3
8および39が、第1および第2の外部電極50および
51によって並列接続される。Further, a third group of internal electrodes 4 is provided in the second portion 43.
6 and the fourth group of internal electrodes 47 are alternately formed. First group and third group internal electrodes 46
and 47 are formed to be exposed on one end surface 48 of the component body 40, and the second and fourth groups of internal electrodes 45 and 47 are formed on the other end surface 49 of the component body 40.
formed in such a way that it is exposed to These end faces 48 and 4
9 includes first and second external electrodes 50 and 5.
1 is formed. Therefore, the first external power source 50 is
It is electrically connected to the first group and the third group of internal electrodes 44 and 46. On the other hand, the second external electrode 51
are electrically connected to the internal electrodes 45 and 47 of the second and fourth groups. In this way, the first
group and second group of internal electrodes 44 and 45
The first capacitor 38 shown in FIG. 5 is formed by this, and the second capacitor 39 is formed by the third and fourth groups of internal electrodes 46 and 47. second capacitor 3
8 and 39 are connected in parallel by first and second external electrodes 50 and 51.
第6図は、この発明のさらに他の実施例による異種材料
複合セラミックグリーンシートを用いて横成されたコン
デンサ・インダクタ複合電子部品52を示す断面図であ
る。第7図は、第6図に示した複合電子部品52の等価
回路図である。FIG. 6 is a sectional view showing a capacitor-inductor composite electronic component 52 formed using a composite ceramic green sheet of different materials according to still another embodiment of the present invention. FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 52 shown in FIG. 6.
複合電子部品52は、第7図に示すように、コンデンサ
53とインダクタ54とを直列に接続した回路を構成し
ている。複合電子部品52は、部品本体55を備える。As shown in FIG. 7, the composite electronic component 52 constitutes a circuit in which a capacitor 53 and an inductor 54 are connected in series. The composite electronic component 52 includes a component body 55.
部品本体55は、界面56を互いの境とする第1および
第2の部分57および58からなる。第1の部分57は
、誘電体からなり、第2の部分58は、磁性体からなる
。The component body 55 consists of first and second portions 57 and 58 with an interface 56 as their boundary. The first portion 57 is made of a dielectric material, and the second portion 58 is made of a magnetic material.
部品本体55は、叉種材料複合セラミックグリーンシー
トの積層体を焼結して得られたものである。ここで用い
る累種材料複合セラミックグリ−ンシ一トは、誘電体か
らなる第1のシート部分と磁性体からなる第2のシート
部分とを備え、これら第1および第2のシート部分は、
それぞれの主而を同一平面上に位置させた状態で互いに
接合されている。上述の第1のシート部分の積重ねによ
って、第1の部分57が与えられ、かつ、第2のシート
部分の積重ねによって、第2の部分58が与えられる。The component body 55 is obtained by sintering a laminate of composite ceramic green sheets of different materials. The multi-material composite ceramic green sheet used here includes a first sheet portion made of a dielectric material and a second sheet portion made of a magnetic material, and these first and second sheet portions are
They are connected to each other with their respective bodies located on the same plane. The stacking of the first sheet portions described above provides the first portion 57, and the stacking of the second sheet portions provides the second portion 58.
第1の部分57と第2の部分58とは、同時に焼結され
、それによって一体的な部品本体55が形成されるので
、第1の部分57を構成する誘電体と第2の部分58を
構成する磁性体とは、同じ温度で焼結できるものである
ことが必要である。The first portion 57 and the second portion 58 are sintered at the same time, thereby forming the integral component body 55, so that the dielectric material constituting the first portion 57 and the second portion 58 are sintered simultaneously. The constituent magnetic materials must be able to be sintered at the same temperature.
たとえば、誘電体として、Pb (N i −Nb)
0,−PbTiO,−Pb (Cu−Nb)O,のよう
なpb系複合ペロブス力イト材料を用い、磁性体として
、(Nj−Zn−Cu)Fe2 0,を用いたとき、1
000℃の焼成温度によって、これらを一体焼結するこ
とができる。For example, as a dielectric, Pb (N i −Nb)
When a pb-based composite perovsite material such as 0,-PbTiO, -Pb(Cu-Nb)O, and (Nj-Zn-Cu)Fe20, are used as the magnetic material, 1
These can be sintered together at a firing temperature of 000°C.
部品本体55の第1の部分57には、部品本体55の一
方端面59にまで延びる内部電極60および61が形威
される。また、内部電極60および61の間には、内部
電極62が位置される。内部電極62は、第1の部分5
7から第2の部分58へと一連に延び、かつ、部品本体
55の他方端面63において露出する。The first portion 57 of the component body 55 has internal electrodes 60 and 61 extending to one end surface 59 of the component body 55 . Moreover, an internal electrode 62 is located between internal electrodes 60 and 61. The internal electrode 62 is connected to the first portion 5
7 to the second portion 58, and is exposed at the other end surface 63 of the component body 55.
部品本体55の端面59および63の各々には、第1お
よび第2の外部電極64および65が形成される。した
がって、第1の外部電極64は、内部電極60および6
1と電気的に接続され、第2の外部電極65は、内部電
極62に電気的に接続される。このようにして、複合電
子部品52は、第7図に示したような回路を構成する。First and second external electrodes 64 and 65 are formed on end surfaces 59 and 63 of component body 55, respectively. Therefore, the first external electrode 64 is similar to the internal electrodes 60 and 6.
The second external electrode 65 is electrically connected to the internal electrode 62 . In this way, the composite electronic component 52 constitutes a circuit as shown in FIG.
すなわち、コンデンサ53は、内部電極60および61
とこれらに対向する内部電極62とによって与えられ、
インダクタ54は、磁性体からなる第2の部分58を貫
通する内部電極62によって与えられる。また、コンデ
ンサ53とインダクタ54との電気的接続は、内部電極
62によって達成される。That is, the capacitor 53 has internal electrodes 60 and 61
and an internal electrode 62 facing these,
The inductor 54 is provided by an internal electrode 62 passing through a second portion 58 made of magnetic material. Further, electrical connection between the capacitor 53 and the inductor 54 is achieved by an internal electrode 62.
上述したような複合電子部品21.37.52に備える
部品本体20,40.55を得るため、異種材料複合セ
ラミックグリーンシートが用意される。以下に、このよ
うな複合セラミックグリーンシートの製造方法について
説明する。In order to obtain the component bodies 20, 40.55 for the composite electronic component 21.37.52 as described above, a composite ceramic green sheet of different materials is prepared. A method for manufacturing such a composite ceramic green sheet will be described below.
第8図ないし第12図は、そのような製造方法の一例を
説明するための図である。この実施例では、基本的に、
ドクターブレード法が用いられる。FIGS. 8 to 12 are diagrams for explaining an example of such a manufacturing method. In this example, basically:
A doctor blade method is used.
また、得ようとする複合セラミックグリーンシートは、
誘電体となるべきシート部分および磁性体となるべきシ
ート部分を備えているものとする。In addition, the composite ceramic green sheet to be obtained is
It is assumed that a sheet portion that is to become a dielectric material and a sheet portion that is to be a magnetic material are provided.
前述したように、誘電体として、Pb(Ni−Nb)
Os −P bT iOa P b (C u−Nb
)O,が用いられ、磁性体として、(Ni−Zn −C
u)Fez 03が用いられる。これら誘電体および磁
性体は、それぞれ、スラリの状態とされる。As mentioned above, Pb (Ni-Nb) is used as the dielectric material.
Os −P bT iOa P b (C u−Nb
)O, is used, and (Ni-Zn-C
u) Fez 03 is used. The dielectric material and the magnetic material are each in a slurry state.
これらスラリを得るために用いられる分散媒としては、
誘電体および磁性体の各々に関して、両者とも水系、ま
たは有機系を用いる場合、または、一方が水系で他方が
有機系を用いる場合があり得るが、上述した材料系では
、誘電体および磁性体の双方共に、有機系が有利に用い
られる。たとえば、トルエンーアルコール混合系溶剤あ
るいは分散媒に、ソルビタン脂肪酸エステル系の分散剤
を加えたもの、等が適当である。また、スラリには、た
とえばポリブチラール樹脂からなるバインダが添加され
る。得られた各スラリは、それぞれ、粘度調整が行なわ
れる。The dispersion medium used to obtain these slurries is as follows:
Regarding each of the dielectric and magnetic materials, it is possible that both are aqueous or organic, or one is aqueous and the other is organic. In both cases, organic systems are advantageously used. For example, a toluene-alcohol mixed solvent or a dispersion medium in which a sorbitan fatty acid ester dispersant is added is suitable. Further, a binder made of, for example, polybutyral resin is added to the slurry. Each of the obtained slurries is subjected to viscosity adjustment.
第8図に概略的に示すように、矢印66方向に移動され
るキャリアフィルム67上に、ドクターブレード装置6
8によって複合セラミックグリーンシート69が形威さ
れ、次いで、乾燥ゾーン70において、グリーンシ一ト
69が乾燥される。As schematically shown in FIG. 8, the doctor blade device 6
8, the composite ceramic green sheet 69 is shaped, and then the green sheet 69 is dried in a drying zone 70.
ドクターブレード装置68の詳細が、第9図ないし第1
1図に示され、また、ドクターブレード装置68を使っ
て複合セラミックグリーンシート6つを形成している状
態の詳細が、第12図に示されている。Details of the doctor blade device 68 are shown in FIGS.
1, and details of the formation of six composite ceramic green sheets using the doctor blade device 68 are shown in FIG.
ドクターブレード装置68は、キャリアフィルム67の
上面との間に所定の隙間71(第10図および第11図
)を形成して配置されるブレード72を備える。ブレー
ド72の背方には、仕切り&73,74.75によって
分割された4つのスラリ貯留部76.77,78.79
(第9図)が設けられる。The doctor blade device 68 includes a blade 72 arranged to form a predetermined gap 71 (FIGS. 10 and 11) between the blade 72 and the upper surface of the carrier film 67. Behind the blade 72 are four slurry reservoirs 76.77, 78.79 divided by partitions &73, 74.75.
(Fig. 9) is provided.
第12図に示すように、スラリ貯留部76および78に
は、それぞれ、誘電体スラリ80および81が貯留され
、スラリ貯留部77および79には、それぞれ、磁性体
スラリ82および83が貯留される。これらスラリ80
〜83は、それぞれ関連の貯留部76〜7つから排出さ
れたとき、互いに隣接した状態となり、この状態でブレ
ード72に供給される。スラリ80〜83は、ブレード
72とキャリアフィルム67との隙間71を通って、キ
ャリアフィルム67上に供給されたとき、互いに接した
状態となるとともに、並行してキャスティングされる。As shown in FIG. 12, dielectric slurries 80 and 81 are stored in the slurry storage parts 76 and 78, respectively, and magnetic slurries 82 and 83 are stored in the slurry storage parts 77 and 79, respectively. . These slurries 80
-83, when discharged from the respective associated reservoirs 76-7, become adjacent to each other and are supplied to the blade 72 in this state. When the slurries 80 to 83 are supplied onto the carrier film 67 through the gap 71 between the blade 72 and the carrier film 67, they come into contact with each other and are cast in parallel.
これによって、キャリアフィルム67上には、各々誘電
体からなるシート部分84および85ならびに各々磁性
体からなるシート部分86および87を備える、複合セ
ラミックグリーンシート69が形成される。As a result, a composite ceramic green sheet 69 is formed on the carrier film 67, which includes sheet portions 84 and 85 each made of a dielectric material and sheet portions 86 and 87 each made of a magnetic material.
なお、このようなドクターブレード法を用いて複合セラ
ミックグリーンシート6つを得ようとする場合、乾燥ゾ
ーン70(第8図)において乾燥されるまで、シート部
分84〜87をそれぞれ溝戊するスラリ80〜83が、
互いに混ざり合わないようにする必要がある。すなわち
、スラリ80〜83の粘度が低すぎる場合には、シート
部分84〜87の形態をそれぞれの表面張カにょって保
つことができず、スラリ80〜83が混ざり合ってしま
うことがある。したがって、スラリ8o〜83の粘度調
整は、比較的重要である。たとえば、誘電体スラリ80
および81については、1750cp,磁性体スラリ8
2および83については、413cpのとき、良好な結
果が得られることが実験により確認されている。In addition, when attempting to obtain six composite ceramic green sheets using such a doctor blade method, the slurry 80 that grooves the sheet portions 84 to 87, respectively, is used until the sheet parts 84 to 87 are dried in the drying zone 70 (FIG. 8). ~83 is,
You need to make sure that they don't mix with each other. That is, if the viscosity of the slurries 80-83 is too low, the shape of the sheet portions 84-87 cannot be maintained by their respective surface tensions, and the slurries 80-83 may mix together. Therefore, adjusting the viscosity of slurries 8o to 83 is relatively important. For example, dielectric slurry 80
and 81, 1750 cp, magnetic slurry 8
As for No. 2 and No. 83, it has been experimentally confirmed that good results can be obtained when the amount is 413 cp.
上述のようにして得られた複合セラミックグリーンシー
ト6つは、金型で打抜かれ、所定の寸法および形状を有
するようにされる。次いで、たとえばスクリーン印刷法
により、導体ペーストを印刷し、内部電極等が形成され
る。次いで、積層、圧着および切断の各工程を経て、成
形体が得られ、この成形体に対して、脱バインダ工程お
よび焼或工程を施すことによって、焼結された部品本体
が得られる。The six composite ceramic green sheets obtained as described above are punched with a die to have predetermined dimensions and shapes. Next, a conductive paste is printed using, for example, a screen printing method to form internal electrodes and the like. Next, a molded body is obtained through the steps of lamination, pressure bonding, and cutting, and a sintered component body is obtained by subjecting this molded body to a binder removal process and a sintering process.
複合セラミックグリーンシートは、また、次のような方
法によっても製造されることができる。The composite ceramic green sheet can also be manufactured by the following method.
第13図ないし第15図には、そのような他の製造方法
が示されている。Another such manufacturing method is shown in FIGS. 13-15.
第13図に示すように、積層体88が、まず、準備され
る。積層体88は、大別して、誘電体からなる第1の層
8つおよび磁性体からなる第2の層90を有する。第1
の層89は、誘電体からなる所定枚数のセラミックグリ
ーンシート91を積層することにより得られる。また、
第2の層90は、所定枚数の磁性体からなるセラミック
グリーンシート92を積層することによって得られる。As shown in FIG. 13, a laminate 88 is first prepared. The laminate 88 can be roughly divided into eight first layers made of dielectric material and a second layer 90 made of magnetic material. 1st
The layer 89 is obtained by laminating a predetermined number of ceramic green sheets 91 made of dielectric material. Also,
The second layer 90 is obtained by laminating a predetermined number of ceramic green sheets 92 made of magnetic material.
これら第1および第2の層89および90を積層してな
る積層体88、より細かくは、セラミックグリーンシー
ト91および92を積層してなる積層体88は、矢印9
3および94で示すように、その積層方向に圧着される
。なお、この圧着時に適用される圧力は、積層体88を
構成するセラミックグリーンシート91および92の性
状によって調整されるものであるが、たとえば、1.5
t/cm2の圧力が適用される。The laminate 88 formed by laminating these first and second layers 89 and 90, more specifically, the laminate 88 formed by laminating ceramic green sheets 91 and 92, is indicated by arrow 9.
3 and 94, they are crimped in the stacking direction. Note that the pressure applied during this pressure bonding is adjusted depending on the properties of the ceramic green sheets 91 and 92 that constitute the laminate 88, and is, for example, 1.5.
A pressure of t/cm2 is applied.
次に、第14図に示すように、圧着された積層体88は
、第1および第2の層89および90の界面95と交差
する方向、この実施例では、界面95と直交する方向に
、たとえば切断刃96を用いて、スライスされる。Next, as shown in FIG. 14, the pressed laminate 88 is moved in a direction intersecting the interface 95 between the first and second layers 89 and 90, in this example, in a direction perpendicular to the interface 95. For example, it is sliced using a cutting blade 96.
上述のようなスライスによって、第15図に示すような
複合セラミックグリーンシート97が得られる。この複
合セラミックグリーンシート97は、第1の層89に由
来する誘電体からなる第1のシート部分98、および第
2の層90に由来する磁性体からなる第2のシート部分
99を備える。By slicing as described above, a composite ceramic green sheet 97 as shown in FIG. 15 is obtained. This composite ceramic green sheet 97 includes a first sheet portion 98 made of a dielectric material derived from the first layer 89 and a second sheet portion 99 made of a magnetic material derived from the second layer 90.
これら第1および第2のシート部分98および9つは、
それぞれの主曲を同一平面上に位置させた状態で、昇面
95において互いに接合されている。These first and second sheet portions 98 and 9 are
The respective main pieces are placed on the same plane and are joined to each other at the rising surface 95.
このようにして得られた複合セラミックグリーンシート
97の特定のものには、電気的要素および電気的接続を
形成するため、導電ペースト等が印刷によ,り形成され
る。そして、複合電子部品の部品本体を得るため、第1
6図に示すように、複合セラミックグリーンシート97
は積層される。A conductive paste or the like is printed on a specific composite ceramic green sheet 97 thus obtained in order to form electrical elements and electrical connections. Then, in order to obtain the component body of the composite electronic component, the first
As shown in Figure 6, composite ceramic green sheet 97
are laminated.
以後の工程は、前述したドクターブレード法によって得
られた複合セラミックグリーンシート69の場合と同様
である。The subsequent steps are the same as those for the composite ceramic green sheet 69 obtained by the doctor blade method described above.
第1図は、この発明の一実施例による異種材料複合セラ
ミックグリーンシートを用いて得られたコンデンサ・コ
ンデンサ複合電子部品の部品本体20を示す斜視図であ
る。第2図は、第1図に示した部品本体20を備えるコ
ンデンサ・コンデンサ複合電子部品21の断市図であり
、第1図の線■−■に沿う断面に相当する断面を示して
いる。
第3図は、第2図に示した複合電子部品21の等価回路
図である。
第4図は、この発明の他の実施例による異種材料複合セ
ラミックグリーンシートを用いて構威した部品本体40
を備えるコンデンサ・コンデンサ複合電子部品37を示
す斜視図である。第5図は、第4図に示した複合電子部
品37の等価回路図である。
第6図は、この発明のさらに他の実施例による異種材料
複合セラミックグリーンシートを用いて構威された部品
本体55を備えるコンデンサ・インダクタ複合電子部品
52を示す断面図である。
第7図は、第6図に示した複合電子部品52の等価回路
図である。
第8図は、複合セラミックグリーンシート69を拐るた
めのドクターブレード法を示す図解図である。第9図は
、第8図に示したドクターブレード装置68の上面図で
ある。第10図は、同じドクターブレード装置68を示
す正面図である。第11図は、同じドクターブレード装
置68を示す側面図である。第12図は、ドクターブレ
ード装置68を用いて複合セラミックグリーンシート6
つをキャスティングしている状態を示す斜視図である。
第13図は、複合セラミックグリーンシートを製造する
ための他の方法を説明するためのもので、積層体88を
示す斜視図である。第14図は、積層体88にスライス
を適用している状態を示す斜視図である。第15図は、
スライスによって得られた複合セラミックグリーンシー
ト97を示す斜視図である。第16図は、複合セラミッ
クグリーンシート97を用いて部品本体を得るため当該
グリーンシ一ト97を積層した状態を示す斜視図である
。
第17図は、従来のコンデンサ・コンデンサ複合電子部
品1を示す一部断面斜視図である。第18図は、第17
図に示した複合電子部品1の等価回路図である。
第19図は、従来のコンデンサ・インダクタ複合電子部
品15を示す一部断面斜視図である。第20図は、第1
9図に示した複合電子部品15の等価回路図である。
図において、20,40.55は部品本体、22.41
.56.95は昇面、23.42.57は第1の部分、
24.43.58は第2の部分、25はセラミック層、
26は第1のシート部分、27は第2のシート部分、6
8はドクターブレード装置、69.97は複合セラミッ
クグリーンシート、72はブレード、76〜79はスラ
リ貯留部、80.81は誘電体スラリ、82.83は磁
性体スラリ、84〜87はシート部分、88は積層体、
89は第1の層、90は第2の層、91.92はセラミ
ックグリーンシート、96は切断刃、98は第1のシー
ト部分、99は第2のシート部分である。FIG. 1 is a perspective view showing a component body 20 of a capacitor-capacitor composite electronic component obtained using a composite ceramic green sheet of different materials according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the capacitor-capacitor composite electronic component 21 including the component main body 20 shown in FIG. 1, and shows a cross section corresponding to the cross section taken along the line ■--■ in FIG. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 21 shown in FIG. 2. FIG. 4 shows a component body 40 constructed using a composite ceramic green sheet of different materials according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view showing a capacitor/capacitor composite electronic component 37 including a capacitor/capacitor composite electronic component 37; FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 37 shown in FIG. FIG. 6 is a sectional view showing a capacitor-inductor composite electronic component 52 including a component body 55 constructed using a composite ceramic green sheet of different materials according to still another embodiment of the present invention. FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 52 shown in FIG. 6. FIG. 8 is an illustrative diagram showing a doctor blade method for cutting the composite ceramic green sheet 69. FIG. 9 is a top view of the doctor blade device 68 shown in FIG. 8. FIG. 10 is a front view of the same doctor blade device 68. FIG. 11 is a side view of the same doctor blade device 68. FIG. 12 shows a composite ceramic green sheet 6 using a doctor blade device 68.
FIG. FIG. 13 is a perspective view showing a laminate 88 for explaining another method for manufacturing a composite ceramic green sheet. FIG. 14 is a perspective view showing a state in which slicing is applied to the stacked body 88. Figure 15 shows
FIG. 3 is a perspective view showing a composite ceramic green sheet 97 obtained by slicing. FIG. 16 is a perspective view showing a state in which composite ceramic green sheets 97 are stacked to obtain a component body using the composite ceramic green sheets 97. FIG. 17 is a partially sectional perspective view showing a conventional capacitor/capacitor composite electronic component 1. As shown in FIG. Figure 18 shows the 17th
FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 1 shown in the figure. FIG. 19 is a partially sectional perspective view showing a conventional capacitor-inductor composite electronic component 15. As shown in FIG. Figure 20 shows the first
9 is an equivalent circuit diagram of the composite electronic component 15 shown in FIG. 9. FIG. In the figure, 20, 40.55 is the component body, 22.41
.. 56.95 is the rising plane, 23.42.57 is the first part,
24.43.58 is the second part, 25 is the ceramic layer,
26 is the first sheet portion, 27 is the second sheet portion, 6
8 is a doctor blade device, 69.97 is a composite ceramic green sheet, 72 is a blade, 76 to 79 are slurry storage parts, 80.81 is a dielectric slurry, 82.83 is a magnetic slurry, 84 to 87 are sheet parts, 88 is a laminate;
89 is a first layer, 90 is a second layer, 91.92 is a ceramic green sheet, 96 is a cutting blade, 98 is a first sheet portion, and 99 is a second sheet portion.
Claims (3)
る第1および第2のシート部分を備え、これら第1およ
び第2のシート部分がそれぞれの主面を同一平面上に位
置させた状態で互いに接合されている、異種材料複合セ
ラミックグリーンシート。(1) First and second sheet portions made of at least first and second materials, respectively, and the first and second sheet portions are mutually arranged with their respective principal surfaces located on the same plane. A composite ceramic green sheet made of different materials that is bonded together.
第1および第2のスラリを準備し、前記第1および第2
のスラリを互いに隣接した状態でドクターブレードに供
給し、当該ドクターブレードを用いたドクターブレード
法によって、前記第1および第2のスラリを互いに接し
た状態で並行してキャスティングする、 各ステップを備える、異種材料複合セラミックグリーン
シートの製造方法。(2) preparing first and second slurries each containing at least a first and second material;
feeding the slurries adjacent to each other to a doctor blade, and casting the first and second slurries in parallel in contact with each other by a doctor blade method using the doctor blade, A method for producing a composite ceramic green sheet made of different materials.
第1および第2の層を有する積層体を準備し、 前記積層体を、前記第1および第2の層の界面と交差す
る方向にスライスする、 各ステップを備える、異種材料複合セラミックグリーン
シートの製造方法。(3) preparing a laminate having first and second layers each containing at least a first and second material; slicing the laminate in a direction intersecting an interface between the first and second layers; A method for manufacturing a composite ceramic green sheet of different materials, comprising steps of:
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61105828A (en) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | 松下電器産業株式会社 | Laminated ceramic capacitor |
JPH01183863A (en) * | 1988-01-18 | 1989-07-21 | Murata Mfg Co Ltd | Laminated thermoelectric element |
-
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- 1989-09-07 JP JP1231880A patent/JP2535617B2/en not_active Expired - Fee Related
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JPS61105828A (en) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | 松下電器産業株式会社 | Laminated ceramic capacitor |
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